Cleanroom Classification Standards(無塵室分類的標準 )

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1 Cleanroom Classification Standards ( 無塵室分類的標準 )

2 The History ( 歷史沿革 )

3 歷史沿革 1961 年, 美國空軍發表無塵室分類之標準技術手冊 (Technical Manual) 設計與微塵粒子的標準 操作程序的規範 1963 年, 美國聯邦標準 209(Federal Standard 209) 第一次提到微塵粒子粒徑應訂為 0.5μm 建議藉由光學微粒子計數器來計算 1999 年, 國際標準化組織 ISO 標準 3-3

4 Why? 為何採用 0.5μm 之粒徑作為標準尺寸? 當時的微塵粒子計數器所能捕捉到的最小粒徑 為何均勻流型無塵室要採用 90 ft/min 的風速? 1. 理論上計算移除濾網前微塵粒子之風速為 90 ft/min 2. 供風風扇的氣流速度可達 50 ft/min 至 200 ft/min 當高流速時, 室內噪音將會相當大且維修費高 風速為 50 ft/min 且僅有一人時, 可獲得滿意的微塵粒子計數 若有數個人時, 風速須 90 ft/min 至 100 ft/min 才足以控 制微塵粒子之污染 3-4

5 The Basis of Cleanroom Standards ( 無塵室標準的基礎 )

6 微塵粒子尺寸 測量的單位為微米 (micrometer) (1μm =10-6 m) 人類頭髮的尺寸, 直徑大約介於 μm 3-6

7 空氣的潔淨度 (cleanliness) 區分等級 聯邦標準 209(A 至 D) 之定義是每立方英呎的空氣中所含有 0.5μm 的微塵粒子數 聯邦標準 209(E 版本 ) 用公制的命名法 ISO 標準很快地被各國採用 依照 ISO 標準作為無塵室分類之規範, 並附有聯邦標準 209 分類之規範, 例如 :ISO Class 5(Class 100) 3-7

8 Federal Standard 209 ( 美國聯邦標準 209,Fed 209 或 FS 209 )

9 早期美國聯邦標準 209(A 至 D) Fed 209 法規 Fed 209 Fed 209A Fed 209B Fed 209C Fed 209D 發表年月 1963 年 12 月 1966 年 8 月 1973 年 4 月 1987 年 10 月 1988 年 6 月 制定或修正內容 1. 無塵室與工作站的需求及環境控制 1. 無塵室等級分類 :0.5μm Class 無塵室設計, 層流與非層流 3. 無塵室量測方法, 項目包括 : 氣流速度 壓力 溫度 相對溼度 震動 噪音 換氣次數 1. 修正氣流速度 2. 修正相對溼度 3. 增加 Class 修正無塵室等級, 增加 Class1 與 Class10 2. 明確定義微塵粒子量測位置 粒徑 取樣時間 樣品數 1. 修正 209C 之印刷錯誤 3-9

10 每立方英呎之空氣中所含有 0.5μm 粒徑的微塵粒子數 無塵室與工作站的需求及環境控制 ( Cleanroom and Work Station Requirements, Controlled Environments) 聯邦政府標準 209D 之規範 3-10

11 美國聯邦標準 209E Fed 209 法規 發表年月 制定或修正內容 Fed 209E 1992 年 9 月 1. 採用公制單位, 為明確表示, 於無塵室等級前加 M 字母 2. 明確定義 ClassM1 與 ClassM7 廢止 Fed 年 11 月 1. 停止使用 209E, 改使用 ISO

12 美國聯邦標準 209E 增加公制單位表示室內微塵粒子的濃度, 即每立方公尺 (m 3 ) 為標準 定義以量測每立方公尺之空氣中含有 0.5μm 粒徑之微塵粒子數為基礎 對量測到的微塵粒子總數取對數, 所得之值即為公制單位分類之等級 M3 等級每立方公尺之空氣中所含有 0.5μm 粒徑之微塵粒子不得超過 1000 顆, 而對 1000 取對數即得到 3, 即為 M3 等級之無塵室 3-12

13 聯邦標準 209E 對無塵室等級分類之規範 3-13

14 ISO Standard ( 國際標準化組織 ISO 標準 )

15 國際標準化組織 ISO 標準 國際標準化組織 (International Organization for Standardization, ISO) ISO 標準發表於 1999 年, 其標題命名為 空氣潔淨度之等級 (Classification of Air Cleanliness), 並且提供了無塵室分類之方法 3-15

16 ISO 分類方程式 : C n = 10 N 0.1 D 2.08 Cn: 微塵粒子濃度 N: 為潔淨度等級 D: 微塵粒子粒徑, 單位為微米 (μm) 0.1: 是一常數, 單位為微米 (μm) 3-16

17 Ex:ISO 5(Class 0.3 μm Cn = = 個 Ex:ISO 5(Class 100)@ 0.5 μm Cn = = 個 3-17

18 3-18

19 ISO 標準之等級是跨越聯邦標準 209 之等級 如 1 m 3 的微塵粒子數是根據 35.2 個粒子數來劃分時, 轉換為 1 ft 3, 相當於聯邦標準 209 之分類標準的級數 ( 針對 0.5μm 粒子 ) 相同等級的 FS 209 與 ISO 標準的比較 註 :ISO Class 3 = FS Class 之次方 3-19

20 特定 ISO 等級粒子濃度極限之圖形表示 無塵室內最大容許之粒子數, 是依據所考慮之微塵粒子粒徑及要求之等級而定 3-20

21 三種不同的操作狀態 (occupancy state) 完工時 (As built) 建造完成, 無工作人員與設備 設備進機完成 (At rest) 已完工, 有設備無工作人員 正式運轉中 (Operational) 進行正常地運轉, 有設備無工作人員 3-21

22 半導體工業無塵室所採用之微塵粒子粒徑超出時的方法, 即超微細 ( 0.1μm) 之微塵粒子 粒徑較大之微塵粒子 ( 5μm) 之量測大部份應用於一般工業 M 的敘述方法是針對包含較大微塵粒子 (macroparticles): M(a;b); c a: 是每立方公尺所容許之最大微塵粒子數 b: 是等效直徑 c: 是指定量測之方法 如,M(1,000;10μm-20μm); 在使用微小尺寸與計數後之多級衝擊法, 而超微細之微塵粒子的分類方法亦類似 3-22

23 Pharmaceutical Cleanroom Classification ( 製藥用無塵室之分類 )

24 歐盟之優良產品製造法規 1997 年, 歐盟醫藥產品管理法規, 第四卷中, 人類及家畜用之醫藥產品優良產品製造法規 歐盟之優良產品製造法規 (European Union Guide to Good Manufacturing Practice, EU GGMP) 無菌醫藥產品製造之潔淨度區分為四個等級 (Grade) 3-24

25 EU GGMP 對於無菌醫藥產品製程的分類 3-25

26 B C 及 D 之等級, 決定換氣次數時, 要考慮無塵室空間大小 製程設備及人員多寡的問題 A B 及 C 等級的系統, 應裝設過濾 HEPA 在 at-rest 之狀態時, 對於微塵粒子之最大允許值相當於聯邦標準 209E ISO 法規分類原則 A B 等級約 Class 100 M 3.5 及 ISO 5 C 等級約 Class 100,000 M 6.5 及 ISO 8 僅需在無塵室完成運轉 (operational) 後, 經過 分鐘 ( 建議值 ) 的短暫清理 (clean up) 後, 就能實現 at-rest 狀態下的限制值 3-26

27 無塵室各種操作所需條件之例子 運作中的 A 等級之區域內, 當有藥品或開放性容器暴露於環境中時, 要立即地控制微塵粒子的條件以維持其在一定的標準範圍內

28 微生物污染之建議值 微生物之監測在生產期間亦必須加以進行, 以保持無塵室內的微生物潔淨度 3-28

29 製藥用無塵室內須有一個隔離區 (isolator) 之設計, 用以防範污染並達成不同等級要求之無塵室 潔淨之隔離區應該加以控制, 並且無菌製程至少應在 D 等級以上 使用在無菌生產製藥業的 吹 - 填 - 封 (blow/fill/seal) 工作檯設備 加裝一高效率等級 A 的空氣浴塵 (air shower) 設備 安裝在至少 C 等級之環境 穿著等級 A 或 B 之服裝 環境在 at rest 操作狀態下須遵守有運轉及無運轉時之限制, 在 operational 操作狀態下, 僅須遵守有運轉時之限制即可 藥品生產之終端殺菌的設備應安裝於 D 等級以上環境 3-29

30 經由無菌處理之無菌藥品製造準則 1981 年, 美國食品藥物管理局 (Food and Drug Administration, FDA) 無菌處理製程時, 定義影響藥品品質區域 關鍵區域 (critical area) 經殺菌藥劑 容器及密閉空間等所直接暴露的環境空間 控制區域 (controlled area) 針對未消毒之產品 處理中之材料及容器等而準備的區域 3-30

31 關鍵區域 (critical area) 空氣在接近暴露於消毒容器或空間時, 以及藥品充填或密封操作時, 空氣微塵粒子品質 1ft 3 之空氣中所含有 0.5μm 粒徑之微塵粒子不得超過 100 個 (Class 100) 測量點距離充填或密封工作點上游不超過 1ft 以上 HEPA 過濾網所供給的層流空氣, 必須擁有足夠的風速帶走充填或密封區域內的微塵粒子 3-31

32 關鍵區域 (critical area) 90 ft/min(±20%) 的風速是較適當的 空氣應該擁有高品質的微生物控制, 每 10 立方英呎的落菌數不超過 1 個群集形成單位 (colony forming unit, cfu) 為準則 須與鄰近的潔淨區域維持正壓差, 一般此壓差以 0.05 英吋水柱高為原則 3-32

33 控制區域 (controlled area) 空氣在接近暴露於消毒容器或空間以及藥品充填或密封操作時, 空氣微塵粒子品質 1ft 3 之空氣中所含 0.5μm 粒徑之微塵粒子不得超過 100,000 個 (Class 100,000) 量測點應在工作期間且臨近暴露於環境之物品旁 微生物的品質, 每 10ft 3 的落菌數不超過 25 cfu 3-33

34 控制區域 (controlled area) 足夠之風量以及與鄰近非控制區域維持正壓差 氣流風量必須達到至少每小時 20 次的換氣次數 壓差方面, 一般至少須有 0.05 英吋水柱高之壓差 ( 所有門均關閉時 ) 當門開啟時, 則向外流動的氣流應該供應足以減小污染進入的量 3-34

Cleanroom Classification Standards(無塵室分類的標準 )

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