穨OK_2001__CH4光電半導體影像感測.PDF

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1 4-1 CCD CCD CMOS CMOS CMOS full frame transfer CCD CMOS 30 camcorder CCD CMOS CCD CMOS Hybrid CID Charge Injection Device CCD CCD CCD CMOS CMOS CCD CMOS Hybrid CCD CMOS CCD CMOS

2 4-2 CID 1985 CCD CCTV Charge Coupled Device CCD Contact Image Sensor CIS CCD IC CCD CIS 600dpi CIS

3 CCD CIS ( ) CCD LED (a) ( b) CCD CCD CCD MIS Interline Transfer Frame Transfer Full Frame CCD Interline CCD Frame CCD CCD CCD CCD CCD Interline CCD

4 CCD Readout Shift Register (a) Full Frame CCD (b) Interline Transfer CCD (c) Frame Transfer CCD CCD X 1.1µm CCD CCD RGB CCD CCD CCD micro-lens CCD Micro Lens Micro-lens CCD CCD 100%

5 % CCD thermal electron charge transfer efficiency CCD smear CCD CCD 2. CMOS CMOS Complementary MOS MOS p-n junction MOS photogate CMOS photodiode photgate CMOS photodiode CMOS N-type P-type MOS DRAM random access CMOS Passive Pixel Active Pixel Passive Pixel Passive Pixel sensitivity random noise Active Pixel Active Pixel

6 4-6 fixed pattern noise CMOS Row-select Switch Photo Detector Vertical Scan Register Amplifier Photo Detector Vertical Scan Register Output Output Buffer Horizontal Scan Register Column Amplifier Array Buffer Horizontal Scan Register (a) Passive Pixel (b) Active Pixel CMOS 1968 photolithography 1990 CMOS 2µm Passive Pixels µm 54% Active Pixel Active Pixel CMOS 0.5µm CMOS 8 8µm 30% inter-line CCD

7 4-7 Active Pixel CMOS CCD Active Pixels CMOS m design rule 13.5 m 54% m design rule % Microlens NIKKEI ELECTRONICS 3. CMOS CCD CMOS CCD CCD

8 4-8 CCD smear CCD CCD CMOS CMOS CMOS CMOS a. CMOS timing control multiplexer A D Camera on a chip CMOS CMOS ADC CCD CMOS CCD ADC CCD CCD b. CCD MOS 5-15V clock CCD CCD

9 4-9 CMOS 5V 3.3V CCD 2-5 W CMOS mw CMOS CCD Charge C ouple Device CCD CCD readout register CMOS 3.3V CCD c. CMOS CCD d. Anti-blooming CCD blooming CMOS blooming e. frame rate CMOS A D frame rate CMOS 1000 frame rate f. Active Pixel CMOS

10 4-10 edge detection motion detection CCD CMOS Active pixel CCD CCD CCD CMOS APS CMOS CMOS CCD CCD 4. CCD CCD pixel MIS Metal Insulator Semiconductor MOS Metal Oxide Semiconductor p-type gate CCD p-type

11 4-11 potential well Surface channel p-tpye buried channel CCD CCD MIS ( ) V G ( ) V G N-type P-type implant (a)surface Channel (b)buried Channel

12 CCD φ 1 φ 2 φ 3 φ 4 CCD Phase Gate Timing T 2 T 4 T 3 T 5 T 1 T 2 φ 1 T 1 φ 2 T 3 T 4 φ 3 T 5 φ 4 1 pixel (a) (b) CCD CCD charge transfer clock CCD CCD 4. CIS CIS Self-focus Lens Array Rod Lens Array 1 1 CIS

13 CIS ( ) LED CIS CIS LED LED CIS LED CIS LED LED edge light LED radial gradient index lens 1 1 CCD CIS

14 4-14 CIS a-si CdS MOS Metal Oxide Semiconductor S N Si MOS CIS CIS CIS CIS CCD CCD CIS dpi dpi CCD CCD 30 CCD CCD Digital Video Camcorder Digital Still Camera DSC CCD DSC CCD

15 4-15 a CCD Sony Sharp Matsushita Megapixel b. CCD form factor CCD " 1 4" 1 5" CCD 1 3" CCD 1 8" 1 10" CCD CCD Multichip Module CCD CMOS CCD ( µm) ( µm 2 ) (mm mm) 2/3" /2" /3" /4"

16 CCD Dimension, Microns K 4K 16K CMOS design rule Pixel size K 256K 1M 9.1 4M M M 256M O Plus E c. CCD NTSC PAL 4 3 Aspect Ratio interlace 4 3 CCD progressive scan d. CCD CCD CANON IXY DIGITAL CCD

17 Y M C 0 (a) (b) 2. CMOS CMOS CIF VGA CIF CMOS " 1 4" 1 4" 1 5" 1 7" CIF CMOS SHARP TOSHIBA 1 7" CIF CMOS POWER CONSUMPTION 30mW

18 CIF CMOS SENSOR Company Product Pixel size µm µ m Lens A gilent HDCS " Operating current power 90mW(typ) 200mW(max) Date of version May, 2000 Conexant CN " 30mA(typ) Apr, 1999 Fujitsu MB86S02 1 7" 30mW(@15fps) Oct, 2001 Hitachi HAM " 45mW(@15fps) Dec, 2001 Hyundai HV7121B " 85mW 2001 IC-Media ICM-102A " 25mA(@30fps, 12MHz) Aug, 2001 Matsushita MN " 38mW(@15fps) Sep, 2001 Mitsubishi M64271Y " 51mW May, 2001 Motorola SCM " 200mW(max) Apr, 2000 Olympus SC " 50mW 2000 Omni Vision OV " <80mW May, 2000 Omni Vision OV " <25mA Jul, 2001 Photobit PB " 55mW(typ) Mar, 2001 PixArt PAS106B " 35mA Jul, 2000 SHARP LZ37C1B " 30mW 2001 ST VV N A 40mA(max) Jun, 2000 TASC TASC5110A " 30mW Mar, 2000 TOSHIBA TCM5023ALU " N A May, 2001 TOSHIBA TCM5023LU " 15mW Apr,

19 VGA CMOS SENSOR Company Product Pixel size Lens A gilent HDCS " Operating current power 150mW(typ) 200mW(max) Date of version Feb, 2001 Conexant CX " 50mA(typ) May, 2001 Hyundai HV7131D " 80mW@10MHz 2000 IC-Media ICM-105A " 25mA(max) Aug, 2001 Kodak KAC-0310 Aug, 2000 Motorola MCM " 215mW(max) Nov, 1999 Olympus SC N A 200mW(typ) 2000 OmniVision OV " <120mA(30fps) May, 2000 OmniVision OV " <25mA(30fps) Jul, 2001 Photobit PB " 300mW (max) Mar, 2000 Photobit PB " <100mW(max) Sep, 2001 PixArt PAS202B " 30mA Jan, 2001 Sharp LZ34B1B " 35mW 2001 ST VV " 42mA(max,) Sep, 2000 TASC TASC5130A " 76mW Jan, 2000 TOSHIBA TCM5003D " 50mW Mar, 2001 TOSHIBA TCM5033T " 60mW Feb, 2001 TOSHIBA TCM5043T " N A Apr,

20 4-20 VGA CMOS " 1 4" 1 4" Conexant 0.18µm 1 5" CMOS PC CAMERA CIF VGA VGA VGA VGA CMOS POWER CONSUMPTION 300mW 100mW 2002 VGA CMOS CIF CMOS CMOS VGA CCD CCD CMOS CCD M CMOS 1.3MCMOS CCD CMOS Y Media 317 P hotobit 4 CMOS Foveon 16.8 CMOS CIF CMOS CIF CMOS CIF QCIF CMOS POWER CONSUMPTION 25mW CIF VGA CIF

21 VGA CMOS SENSOR Company Product Resolution Pixel size (µm µm) Lens Operating current power Date of version Conexant CX mm 105mA Jun, 2000 Conexant CX N A N A N A Foveon 16 Megapixel N A N A N A Sep, 2000 Hyundai HV7141B N A 2000 Kodak KAC N A N A N A Motorola MCM " 250mW Jan, 2001 OmniVision OV " TBD Apr, 2001 OmniVision OV " <30mA Aug, 2001 Photobit PB-MV mm Photobit PB " < f s < f s f s f s Aug, 2000 May, 2000 Photobit PB-MV " f s Y Media YM-3170A " 250mW Nov, 2000 Zoran ZR32112PLC mm 250mW Dec, CIF CMOS SENSOR Company Product Resolu-tion Pixel size ( µm µm) Lens Operating current power Date of version Mitsubishi M64270G " 35mW Feb, 2000 PixArt PAS009A " N A Nov, 2000 ST VV N A 14.6mA Jul, 2000

22 4-22 CMOS CMOS VGA 100mW CIF 40mW QCIF 25mW CMOS 2.8V CCD CMOS CCD CMOS Complementary color processing VGA 640*480 Noise cancellation function in both sensor and DSP Optical assembly unit manfactured on own Lower power consumption VGA:300mW 100mW CIF:220mW 40mW QCIF:25 mw CIF 352*288 YUV 4:2:2 8bit multiple output Higher sensitivity with blanced S/N ratio dB up YUV 4:2:2 16bit parallel output 3.3V power input 2.8V power input QCIF 476*144 Auto flicker detection Pulse clock selection Power input selection Sleep mode IIC I/F for external control of the camera DSP Matsushita 3. CIS CIS CIS

23 4-23 CIS CIS CIS CIS GaN LED CIS Canon LED LED CCD LED Xe NEC Ricoh 1995 RMLA Roof Mirror Lens Array CIS NSG CIS CIS 1980 CIS CIS 1991 CIS CIS stand-alone MFP Multifunction Peripheral SOHO MFP CIS MFP CIS

24 4-24 CIS CIS CIS 90 ( ) CIS CIS 600dpi sheet-fed scanner CIS flatbed scanner dpi 100 CIS Canon Sharp

25 CCD 2001 CCD 55, , % CCD CCD CMOS CCD CCD CCD PC Camera Mobile phone CCD CCD CCD 60,000 50,000 40,000 30,000 20,000 10,

26 4-26 CMOS CCD 1.3M CMOS CCD M CMOS CCD SONY SONY 2000 MATSUSHITA SHARP FUJIFILM MICRO DEVICE SANYO CCD Other 10% Sharp 20% SONY 50% Matsushita 20% 2. CMOS CMOS Techno Systems Research Co., Ltd CMOS %

27 CMOS 160, , , ,000 80,000 60,000 40,000 20, Techno Systems Research Co., Ltd Techno Systems Research Co., Ltd CMOS % CMOS CCD 2001 Hynix VGA CMOS CIF CMOS M CMOS CCD M CMOS CCD Agilent T echno Systems Research Co., Ltd. Agilent % ST Omnivision 16% Photobit 13% Hynix 12% 6% 3%

28 CMOS Sharp 3% Toshiba 3% Elec Vision 3% Mitsubishi 2% Other 2% Agilent 24% TASC 6% Hynix 12% Photobit 13% Omnivision 16% ST 16% Techno Systems Research Co., Ltd CCD 2001 CCD 32, ,000 10% CCD CCD CCD

29 CCD 35,000 34,000 33,000 32,000 31,000 30,000 29,000 28,000 27,000 26, CIS CCD TOSHIBA Fuji Chimera Research Institute, Inc. TOSHIBA 1999 NEC SONY CCD SONY 20% OTHER 3% TOSHIBA 47% NEC 30% Fuji Chimera Research Institute, Inc

30 CIS 2001 CIS 23, ,000 15% CIS CIS 30,000 25,000 20,000 15,000 10,000 5, CMOS PC CAMERA CMOS 2000 PC CAMERA CMOS CMOS PC CAMERA Security Camera TOY 2000 CCD Camcorder DSC Security Camera

31 CMOS Toy 15% DSC 5% Other 5% SecurityCamera 15% PCC 60% CCD Other 5% DSC 30% Camcorder 40% PCC 5% Security 20% PC Camera PC Camera CMOS PC CAMERA CMOS CMOS PC CAMERA CCD 2001 PC CAMERA

32 4-32 CMOS Motorola 1.3Mega pixel CCD CMOS CCD CMOS CMOS CCD CMOS CCD VGA 1.3 Mega Pixel CMOS 1.3 Mega Pixel CMOS Dual Mode DSC PC Camera CMOS CCD CCD CMOS IC Security Camera Security Camera 2000 Security Camera CCD CMOS CCD Security Camera Security Camera CCD CCD CMOS CMOS 2005 CMOS Security Camera

33 4-33 CMOS SONY AIBO ERS-220 AIBO ERS RISC 10 CMOS CMOS CMOS IC CMOS CMOS CMOS G G 3G 3G GSM GPRS 3G 3G 2002 GSM GPRS WCDMA Java XHTML

34 4-34 CMOS J-Phone CMOS CCD CMOS CCD J-Phone CMOS CCD CCD J-Phone 2002 SHARP J-SH51 KENWOOD J -K51 31 CMOS CMOS CCD CCD CMOS CMOS CCD CMOS PDA CMOS PDA CMOS PDA

35 CMOS PDA CMOS CMOS PDA LCD CMOS CMOS CMOS CMOS Given Imaging Ltd. Given Imaging Diagnostic System 2. CCD 200dpi

36 4-36 Fuji Chimera Research Institute, Inc CCD 54% 17% 14% CCD DSC 5% Other 5% Toy 15% SecurityCamera 15% PCC 60% Fuji Chimera Research Institute, Inc CIS CCD CIS CCD 1997

37 4-37 CCD CCD CIS MFP CCD CCD CCD

38 CCD CCD Sony Sharp NEC Hamamatsu Fujifilm Sony Sharp CCD Toshiba NEC CCD CCD Hamamatsu CCD CCD DSC CCD 2. CMOS CMOS Techno Systems Research Co., Ltd CMOS SONY CMOS H ynix 2001 CMOS H ynix CMOS

39 4-39 CMOS CMOS total solution CMOS OEM CMOS 2001 CMOS 0.5µm 0.35µm µm 0.25µm 0.35µm VGA CIF CMOS M CMOS M CMOS MOTOROLA CMOS CMOS CMOS Wafer Sensor

40 CCD CCD Toshiba NEC Sony Matsushita Toshiba CCD 47% NEC 30% CCD NEC CCD Sony CCD CCD LSI 4. CIS CIS Canon Rohm Toshiba Mitsubishi Matsushita Kyocera Fujitsu CIS Canon Mitsubishi Canon LED CIS Canon CIS CIS 1991 CIS CIS CIS CIS CIS CIS Agilent Agilent CMOS PC CAMERA DSC 2000 Agilent VGA CIF

41 4-41 CMOS 1 Agilent CONEXANT CONEXANT VGA 640(H) 480(V) CMOS 10 CX20490 CMOS PDA PC Camera 3.3V 50mW 10bit ADC Analog Digital Converter Hitachi CMOS 11 CMOS 10mm 10mm 5.8mm 45mW 15 frame sec H ynix H ynix 2001 CIF VGA CMOS CMOS KODAK KODAK CCD CMOS CCD 510 KAF-5100CE

42 KAF-16801CE CMOS VGA KAC SXGA KAC-1310 CCD APS CCD APS CMOS Mitsubishi Mitsubishi CIF M64271Y CMOS 1 4 QCIF M64270G OmniVision OmniVision CMOS OV M CMOS OmniVision PC CAMERA DSC 2001 CIF 1 5 CMOS Photobit Photobit 2000 PC CAMERA SANYO CCD CCD CMOS Sensor CCD 2001

43 4-43 CIF Size 11 VGA Size CCD IGT99263 CCD 15 Frame sec 90mW 11.2mm 11.2mm 6.7mm J-Phone CMOS CCD CCD 1 9 CI F 1 6 VGA CCD 1 9 CIF 50mW CMOS 1 6 VGA PDA SONY SONY CCD FA CCD % 1973 SONY 2000 CCD CCD SONY SHARP SONY CMOS CCD 1 6 CIF 10 CMOS 2002 VGA 30 PDA CMOS CCD

44 4-44 Sharp CCD SHARP CCD RJ24N3AAOPT 3 CCD CCD CCD (H) 1257(V) (H) 1230(V) 2.75µm mV CMOS SHARP 2000 J-Phone CMOS QCIF CIF SHARP 1 7 CIF 1 4 VGA CMOS 2.8V ST ST VVL CMOS 0.18µm TOSHIBA CMOS µm µm 1 4 VGA 1 7 CIF 2001 VGA ADC DSP CIF ADC ADC DSP 10% 25%

45 4-45 CMOS CCD CMOS CMOS CMOS Toshiba DIVIO VGA CIF IC PC DSC CMOS Image Sensor Tomy Total Solution 1998 CMOS IC

46 CMOS QQVGA CIF PDA Toy Camera Watch Camera PC Camera Dual Camera VGA CMOS VGA CIF 1 7 CIF ICM-102Asa 1 4 VGA ICM-105Asa 1997 CIS IC 1997 CIS CIS CIS CIS CIS CIS

47 PDA PHS CMOS CMOS VGA 100mW CIF 40mW QCIF 25mW CMOS 2.8V CCD CMOS CMOS Sanyo igt99263 CIF CCD 11.2mm 11.2mm 6.7mm Signal Processing LSI Lens 15fps 90mW CCD CMOS CMOS CCD CMOS CCD CMOS AGILENT CMOS CCD

48 4-48 CMOS SONY CMOS CCD CMOS CMOS CMOS CMOS CMOS CMOS total solution CMOS CCD CMOS

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