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2 1984Chroma Turnkey LED /IC (Wafer) (Cell) (Module) I-V / (Sorting)

3 Model 3710-HS Chroma 3710-HS 2D Thickness Lifetime % 2D Resistively/Thickness : / : /

4 / Model 3775 / () Model CCD 0.1% MES

5 Model : 0.1% I-V IV Chroma 3730/3760 CCD Chroma 3760 IV

6 / Model 7200 Model 7201 Model 7210 Model 7202 Model 7231 Model 7212-HS Model 7213-AD Model 7214-D 7214-D Wafer incoming inspection Texturing Diffusion process Isolation process Anti-Reflection Coating process HS 7213-AD HS 7213-AD Sorting process Co-firing process Metalization process "" " " "" (AOI) Chroma 7200 Chroma 72005"6" 8AOI "" "" " "

7 HS AD 7214-D (,, ) (,, ) (,, ) (,, ) Model 7201 Chroma 7201 MES/CIM 5" 6" MES A B C A C F E E A: B: C: D: D D E E: F: 7201 Model 7202 Chroma crack local shunting 5" 6" MES 7202

8 Model 7231 ChromaEN " 6" MES EN Groove type Step type Model 7210 Chroma Chroma 7210 Chroma CIE1976 Lab60X * : Chroma 3730

9 " " "" "" "" (AOI)Chroma 7210 Chroma 7210 I-V 7210 Chroma 7210 Bifacial PREC Model 7212-HS! Chroma 7212-HS 14 m/pixel Chroma 7212-HS 20 m/pixel 14 m/pixel

10 Model 7213-AD Chroma 7213-AD Chroma 7210 Chroma 7213-AD 7213-AD PERC Model 7214-D Chroma 7214-D 4MRGB Chroma 7214-D AOI Chroma 7214-D :

11 Model Description Solar wafer geometry & surface inspector Solar wafer quality inspector Solar wafer sawmark inspector Wafer size 5' or 6'wafers, for mono c-si, multi c-si and quasi mono c-si Detection limit 80µm 80µm 5µm Speed NA *3 350mm/s 350mm/s Inspection items Length, Width, Diagonal, Chamfer length, Pinhole, Stain, Chipping, Grain-size, Sawmark, backside UPH * ~3600 Interface TCP/IP ; Option: IO,RS-232 Options RAID, UPS, MES, Model HS Camera 25M mono CCD 8K linescan (option) 12K linescan (option) Resolution 33µm/pixel *1 20µm/pixel (option) 14µm/pixel (option) Speed NA 350mm/s (option) 500mm/s (option) Light Source LED strobe lighting RGB LED strobe lighting Application Frontside defect and color inspection Frontside defect inspection Lens Low distortion lens Dimension 320mm x 324mm x 1032mm 340mm x 380mm x 760mm Weight 60 kg 70 kg Accessory External keyboard, mouse, PC, monitor Interface Ethernet, Option : IO, RS-232 Model 7213-AD 7214-D Camera 4M mono CCD 4M mono CCD Resolution 90µm/pixel 90µµm/pixel Speed NA NA Light Source LED strobe lighting WRGB LED strobe lighting Application Backside defect inspection Anti-reflection coating inspection Lens Low distortion lens Dimension 320mm x 324mm x 1032mm Weight 60 kg Accessory External keyboard, mouse, PC, monitor Interface Ethernet, Option : IO, RS-232 All specifications are subject to change without notice. Please visit our website for the most up-to-date specifications. Note *1 : When work with Chroma 3730 Note *2 : When work with Chroma 3710-HS Note *3 : On-fly inspection on demand, maximum speed is 250mm/s 7201 : 7202 : 7231 : 7210 : 7212-HS : ( ) 7213-AD : 7214-D :

12 T F () T / F () T F () 8557 T F () T / F () 55 B T F () 4 8F T F () YD3-4 T F Chroma ATE Inc. All Rights Reserved pdf

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