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(m) BM2 TP1 TP2 TP3 TP4 BM2 (m) 1.332 2.371 1.224 1.915 0.960 1.723 2.465 1.710 2.363 0.615 11

12

揷 1. Ci = [ ( l l ) / l ] l l l 2. Tempertuer Ct = K(Ti T)L 3. 13

Cp = (Pi P)L / AE 4. sag Cs = (w 2 Ls 3 / 24Pi 2 ) 1/10000 (1 /100 ) V = f V = c / n ng (group index of refraction) ng = 1(2876.04 48.864 / 0.680 / ) 10-7 = 0.6328 micro-meter (red laser) = 0.900~0.930 micro-meter (infrared) 2. na (actual index) 14

na = 1 [[ (ng 1) / (10.003661T) ](P/760) ] [[5.5e / (1 0.003661T)] 10-8 ] +/-1mm1ppm +/-10mm1ppm 15

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C = Kn K1.7, 3, 4.5, 10, 12 n 23

D Sin = X D Cos= Y (X Y 24

A2 225-27-00 26-52 A3 279-41-20 41-12 A4 248-39-40 39-32 A5 289-14-20 14-12 62,269 56,702 94,344 40,439 A1 216-58-20 58-12 ( 120 ) 48,935 A2 A2 225-27-00 26-52 A3 279-41-20 41-12 A4 248-39-40 39-32 310-26-52 62,269 47.386 40.397 50-08-04 56,702 43.522 36.345 25

A5 289-14-20 14-12 A1 216-58-20 58-12 A2 118-47-36 94,344 82.680 45.441 228-01-48 40,439 30.066 27.043 265-00-00 48,935 48.749 4.265 ( 120 ) 0.001 0.007 (X Y (0.001)(0.007)/ 302.689 1 / 43000 26

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