製程危害評估
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- 珈祖 戚
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5 (Literature Search/Industry Survey) (Preliminary Hazard Analysis, PHA) (Relative Ranking) (Plant Walk-through) (Checklist Analysis) (Safety Audit). (What-if Review/Brainstorming) (Failure Modes and Effects Analysis, FMEA) (Hazard and Operability Study, HazOp) (Fault Tree Analysis, FTA) (Event Tree Analysis, FTA)
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9 1. (MSDS) (PFD) (Commuity Map) 9. (Site Plot) 10. (Plant Layout)
10 a. A b. B c. C /
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15 A CO CO
16 Q20% TQ Oxidation Nitration Halogenation Organmetallics Diazotization Hydrogenation / Thermal Decomposition Polymerization Sulphonation Condensation LEL UEL 100 P 10psig1.75atm. Abs. TA.I.T. P 20/ 2 P 500Hg D P 4
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20 (0 (0-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (0 (0-5) 5)
21 ( ) (0 (0-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (0 (0-4) 4)
22 () (0-4) 4) (0-4) (0-5)
23 ( ) 5 (0 (0-5) 5) 4 3 (0 (0-4) 4) (0 (0-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (1 (1-3) 3) (1 (1-4) 4) (0 (0-5) 5) (0 (0-4) 4) AMT Producer AMT Producer SiH SiH 4 NF NF 3 CVD CVD
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27 (More) (Less) (No) (Reverse) (Part of) (As Well As) / (Other Than)
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33 (VMB VMBSiH4 SiH4 )
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39 Chamber Pump Local Scrubber...
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41 Gas Cabinet VMB/P Gas Box/Panel Tool (Chamber) Foreline (Pumping Line) Local Scrubber Central Scrubber Fan
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57 Central Scrubber Fume Exhaust Purge vent Scrubber VMB SiH4 Gas Cabinet PECVD Vacuum Local Scrubb
58 PI LI 250 psig PCV-1 N2 (200 psig) A.O. PI A.O. 90 T HCV-1 HCV psig LI 1 T LAH N2
59 () PI LI 250 psig PCV-1 N2 (200 psig) A.O. PI A.O. 90 T HCV-1 HCV psig LI 1 T LAH N2
第三章製程安評估報告書
第 三 章 製 程 安 全 評 估 報 告 書 鑒 於 危 險 性 工 作 場 所 多 具 有 大 量 危 險 物 及 有 害 物, 或 製 程 中 涉 及 複 雜 之 化 學 反 應 及 高 溫 高 壓 等 操 作 參 數, 危 害 風 險 較 高 傳 統 的 工 廠 安 全 設 計, 係 以 加 裝 保 護 性 的 設 備 及 依 循 安 全 操 作 規 範 來 防 止 災 害 之 發 生, 欠
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防 災 教 材 教 案 下 載 使 用 說 明 本 教 材 已 經 過 教 育 部 101 年 度 防 災 教 育 教 材 統 整 計 畫 之 教 材 教 案 審 議 委 員 審 查, 審 查 結 果 如 下 : 教 材 名 稱 : 化 學 相 關 場 所 之 危 害 評 估 ( 編 號 :UVOTTP03) 學 習 階 段 : 大 專 院 校 作 者 : 仇 敏 教 授 等 編 輯 勘 誤 說 明
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TEL03-5919133E-mailyang-ming@itri.org.tw 1 / 65 2. 3. 2 / 65 / ( Occupational Health Safety Assessment System, OHSAS 18001) OSHA( Process Safety Management, PSM) (Risk Management Plan, RMP) 3 / 65 .. 4
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320 321 0.12% (340 ) 3.44% (1.001 ) 0.30% (860 ) 5.93% (7.542 ) 7.83% (2.277 ) ( 7,960 1,810 ) 3.36% (9,770 ) 9.08% (2.642 ) 20.27% (5.898 ) ( ) 29.67% (8.63 ) 322 π 323 324 325 326 327 328 329 330 331
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5 55 75 91 5 6 1 2 3 4 5 7 8 1 2 3 4 5 9 10 1 2 3 4 5 6 7 11 12 1 2 3 13 14 1 2 3 15 16 1 2 17 18 1 2 3 19 20 1 2 21 22 1 2 3 23 24 1 2 3 25 26 1 2 3 4 5 27 28 1 3 2 4 5 6 7 8 9 29 30 31 32 1 2 3 4 33
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