ISO 9000 ISO BS 8800 OHSAS 18001
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2 ISO 9000 ISO BS 8800 OHSAS 18001
3 Dow What-if FMEA HazOp I
4 ( ) F&EI CO P&ID HazOp HazOp II
5 (HI) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) PE What-if III
6 4.4 ( Hook-up ) HazOp HazOp HazOp HazOp ( ) ( ) ( ) SEMI S SEMI S SEMI S SEMI S SEMI S IV
7 (Occupational Health and Safety Management Systems-Specification, OHSAS 18001:1999)[1]4.3.1 : ( ) : () -- (Lifecycle) " 1
8 OSHA (PSM) [2]29CFR Part (e) (Process Hazard Analysis, PHA) : PHA " () "" " (Risk-based) "
9 1. (1) " ERPG-3 IDLH 38(100) SEMI S (2) (3) (Checklist) What-if (What-if brainstorming) (Failure Modes and Effects Analysis, FMEA) (Hazard and Operability Study, HazOp) (4) (Fault Tree Analysis) 2. 3
10 (1) (2) (Job Safety Analysis, JSA) (3) JSA (4) 4
11 vs. ( ).. ( ) vs Checklist FMEA HazOp 2 / / Review SOP/ / 1.1 5
12 (Significant Risk) (Physical Models) (Effect Models) (HazOp) (FMEA) (Fault Tree Analysis) : (Risk Matrix) (Critical Few Principle) : (1) (2) (3) ( ) (4) (Frequency of Occurrence) (probability of loss) : (Severity) (Frequency) (Probability) (1) (Severity): : ( x ) 6
13 2: ( ) ( x y ) 4: ( ) ( y z ) 6: ( z ) xyz (2) (Frequency of Exposure): 2.1 : 2.1 ( ) A 2 2 ( )2 (3) (Probability of Loss): -101 : -1:( ) 0:( ) 1:( ) : a. (Hazardousness): b. (Difficulty): c. (Complexity) ( 0) 7
14 ( 0~10) ~ () (Critical Few Principle) 20~ (International Loss Control Institute, ILCI) Practical Loss Control Leadership [3] / (Likelihood/Frequency) / (Severity/Consequence) 8
15 2.1 9
16 2.2 : : : : : : : 10
17 2.3 : : : : 4/18/1990 : : : 4/25/ / C-12 C
18 2.2 (Risk Matrix) 2.4 A E (Unacceptable Risk) ( ) ( ) ) ( ) HI 12
19 2.4 ( ) A 2000 B C ( ) ( ) D 500 E
20 A B C D E : 3 3 2: 3 3 3: 4: 14
21 :
22 2.7 (HI)
23 2.3 : (1) / ( ) ( ( ) ( ) ( )( ) ( ) 0 1 ( )( ) ( ) (3)2.8 ( ) 10 ( ) 6 ( ) 3 ( ) 2 ( ) 1 ( )
24 (4)2.9 (Quite possible): ( ) 10 1/1,000 (Possible): 2 1/10,000 (Virtually impossible): 0.5 1/100,000 (5)2.10 ( NT ) 100 ( NT ) 40 ( NT ) 15 ( NT ) 7 ( NT ) 3 1 :1. ( /3000) (6) (7) : : : : 20 5: 18
25 2.12 :
26 2.12 ( ) :D505 MUCK : MUCK 1. 1.MUCK FC kg/cm kg/cm buggy D505 2.MUCK MUCK FC PURGE 2-1 D505 MUCK SM 2-3 MUCK MUCK PURGE 3.MUCK 4.PURGE 3-1 PURGE MUCK 3. SM MUCK purge 3-2 MUCK steam PURGE D MUCK MUCK 4.MUCK PURGE MUCK 4-3 D505 5.Buggy MUCK 20
27 /( ) CO /( ) ( )
28 2.13 ( ) / / 01 / W A01 W J01 W F01 W J02 W D01 02 / W D02 W J03 03 / W J04 W D03 W D01 04 / W J04 W J05 W B01 16 CO W D05 W J02 W J06 W C01 W J07 W J08 05 / W D06 / W J09 W I01 W J10 W D03 06 / W D07 W J11 W J12 22
29 2.14 ( ) (C) A B (SJP ) (A) (B) C D (D) 01 W A W322A-001 W J W322A-001 W F W322A-001 W J W322A-001 W D W322A W D W322A-002 W J W322A W J W322B-003 W D W322B-004 W D W322B W J W322C-001 W J W322C-008 W B W322C-008 W D W322C-008 W J W322C-008 W J W322G-002 W C W322C-006 W J W322C-006 W J W322C W D W322E-002 W J W322E-002 W J W322E-002 W J W322F-001 W D W322E W D W322F-004 W J W322F-004 W J W322F
30 2.4 /
31 ( ) / /
32 ( )() * * 48 * * 32 * * 16 * * 15 * * = 0
33 2.16 ( ) A*B / * / C= (A) (B) (C) (D) (R) (G) (T) (P) (H) (CL) (E) (W) (O) PEA PEA a.100 b c
34 ( ) PEA a b PEA a b c
35 2.17 ( ) ABC PEA / ( ) / ( )
36 (ChecklistWhat-ifHazOp FMEAFTA) (1) (2) (3) (Dow Fire and Explosion Index, Dow F&EI) (1) (2) (3) ( ) 30
37 (4) (5) (6) (7) 2. OSHA (PSM) (1) A. B. C. D. E. F. G. (MSDS) (2) A. (PFD) B. C. D. 31
38 (3) A. B. (P&ID) C. D. E. F. G. H. 3.2 (inherent hazard) (interact hazard) (1) [4] (A) A 3.1 (B) B 3.2 (C) C 3.3 (2) (A) 32
39 33 (B) Q>20%TQ (oxidation) (nitration) (halogenation) (organmetallics) (diazotization) (hydrogenation) (thermal decomposition) (polymerization) (sulphonation) (condensation) (LEL) (UEL) ( 25% ) 100 P 10psig(1.75atm.Abs) T>AIT P 20kg/cm 2 P 500mmHg P( ) 4( ) Q kg TQ T AIT P P 3.4
40 i.e. NOTE 45 A / ( / ) / 34
41 3.2 i.e. NOTE B 35
42 3.3 C i.e. NOTE ( / ) 36
43 ,000 25,000 >4,000 1/5 1/5 3.3Dow Dow F&EI 1964 (1994)[5]Dow F&EI Dow F&EI ( 5,000 ) (1) SBR SM (2) Dow F&EI ( ) (3) A. B. C. D. 37
44 E. F. (4) A. B. C. D. E. F. G. H. I. J. K. L. (5) (unit hazard factor) (damage factor) (6) (F&EI) (7) (base maximum probable property damage, Base MPPD) (8) (credit factors) (9)Base MPPD (8) MPPD 3.1 (LPG) F&EI=
45 F 1 F 2 F 1 F 2 F 3 F 3 F&EI Base MPPD Actual MPPD MPDO BI 3.1 F&EI 39
46 A DOW LPG LPG LPG (MF 1 A B) A. ( ) B. ( ) C. ( ) 0.5 D. ( ) E F. ( ) 221, (F 1 ) A. ( ) B. (500 mmhg) 0.50 C. (1) (2) 0.30 (3) 0.80 D. ( )( 2) E. ( 2) 132 Psig F. ( ) G bsHc BTU/1b (1) ( 3) (2) ( 4) 1.4 (3) ( 5) H. ( ) 0.2 I. ( ) 0.1 J. ( 6) K. ( )( 3) L (F 2 ) (F 1 F 2 F 3 ) (F 3 MFF&EI)
47 B 1. (C 1 ) a) f) b) 0.99 c) d) e) g) h) i) C (C 2 ) a) c) b) d) 0.98 C (C 3 ) a) 0.94 b) 0.97 c) f) 0.97 g) h) d) i) / e) 0.91 j) C C 1 C 2 C D A-1... F&EI A ft A $MM 5 B C... MPPD(A-3 B)...$MM 4.2 D E... MPPD(C D)...$MM 3.1 F... (MPDO) days G... (BI)...$MM
48 " "[7] (Fault Tree Analysis) (1) (2) (3.5) (3) (4) ABCD A(10 )B(5 )C(2 )D(0 ) (PE) I 42
49 3.5 A 10 B 5 C 2 D ABC kg/cm m 3 500m 3 100m 3 100m m 3 500m 3 100m 3 50m 3 10m 3 50m 3 10m 3 100m kg/cm 2 200kg/cm 2 10kg/cm 2 10kg/cm kg/cm 2 200kg/cm Qr/Cp V 1.Qr/Cp V 4 1.Qr/Cp V 400/min /min 4/min 400/min % 25% 25% % (batch) (Pro- 4. gramming) Qr/Cp V (/min)qr (Kcal/min) Cp (Kcal/Kg) (Kg/m 3 )V (m 3 ) 43
50 I 11~15 II 1~10 III 3.7 PE m ,600kg/cm =630/min 5 (element) 22 I 44
51 (1) (Checklist) (2) (3) 4.1 What-if What-if "?"(What-if) What-if What-if 4.1 What-if 45
52 4.1 What-if What-if VCM EDC ( ) ( ) ( ) ( )? / a 1.a 2.b 1.b a 2.a VCM a VCM 3.a 3.b 3.b 3.c 3.c a 4.a ( ) 46
53 (1) (2) (3) (4) (5) (1) (2) (3) (4) (5) 2. (1) ( )
54
55 a. b. c. d. 2. ( / ) a. b. c. d. 3. a. b. c. d. 4. a. b. c. d. 49
56 ( )
57 4.4 ( Hook-up ) ( ) 12. SUBMAIN
58 (2) A. B. C. D. 4.1 A. B. C. ( ) D.Hook-up E. F. G. H. I. J. 52
59 NO OK
60 FMEAHazOp (Guidewords) (Failure Modes and Effects Analysis, FMEA) (Hazard and Operability Study, HazOp) FMEA HazOp (Failure Mode) (Process Deviation) 5.1 FMEA FMEA FMEA HazOp (process deviation) HazOp FMEA (1) (P&ID) (2) ( ) (3) 54
61 FMEA (1) (2) (3) (1) FMEA (A) (B) (boundary conditions) FMEA FMEA FMEA FMEA FMEA (A) (B) (2) FMEA FMEA FMEA (PFD P&ID) 55
62 FMEA A. B. 3-in C. (fails to open when require) (inadvertently moves to an open position) (leaks to the environment) (leaks internally) (ruptures)
63 5.2 (external leak) (vessel, drum, knockout pot) (external rupture) (pluggage) (coil leak) (coil rupture) (coil fouled) (external leak) (reactor) (external rupture) (liner cracked) (coil leak) (coil rupture) (coil fouled) (external leak) (scrubber column) (external rupture) (tray rupture) (tray plugged) (packed bed plugged) (bed support collapsed) (contacting surface fouled) (electrostatic plate fails off) (electrostatic plate shorted) (electrostatic plate fouled) (external leak) (demister) (external rupture) (mesh plugged) (hole in mesh) (shell leak) (heat exchanger) (shell rupture) (shell plugged) (tube leak) (tube rupture) (tube plugged) (tube fouled) 57
64 5.2 (external leak) (contact dryer) (external rupture) (desiccant plugged) (desiccant saturated) (pump) (external leak) (external rupture) (fails to start) (fails off while running) (started prematurely) (operates too long) (operates at degraded head/flow performance: too fast, too slow, etc.) (pipe/duct/hose) (external leak) (external rupture) (plugged/kinked) (filer/strainer) (external leak) (external rupture) (internal element rupture) (element plugged) (relief devices) (external leak) (external rupture) (plugged) (fails to open on demand) (fails to re-seat) (opens permaturely) (closes permaturely) (sensor element) (external leak) (external rupture) (tap plugged) (fails with no output signal) (fails with a low output signal) (fails with a high output signal) (fails to respond to an input change) (spurious output signal) 58
65 5.2 (generator) (high voltage) (low voltage) (high current) (low current) (started prematurely) (operated too long) (fails opened) (conductor/bus) (shorts line to ground) (shorts line to line) (circuit board) (transformers) (uninterrupptible power supply, UPS) (fails opened) (shorts line to ground) (shorts line to line) (spurious output signal) (fails with no output voltage/current) (fails with a high output voltage/current) (fails with a low output voltage/current) (fails with no output voltage/current) (fails to transfer correctly) (fails with a low output voltage/current) (started prematurely) (operates too long) 59
66 4. (1) ( CHF 3 CF 4 ) (2) N2 R-1 CO (R-3) (H-2) O2 5.1 R-1 CO 5.1 CO R-1 R-1 O 2 CO CO 170 CO 2 R-1 CO R-1 CO, R-1 CO 5.2 (P&ID) FMEA
67 5.2 CO P&ID 61
68 5.3 TICA-1 L H CO SD-2 SD-1 TIA-2 H CO 400 SD-1 TIA-3 H CO 250 SD-1 TIA-4 H 60 SD-1 TI-5 40 PIA-1 H HH -50mmH 2 O 2000 mmh 2 O SD-4 PI-2 PI-3 CO O 2 PI-4 N 2 PI-5 FIA-1 L 25 1/min FIA-2 L CO O 2 5 1/min SD-3 CI-1 R-1 CIA-2 A R-1 SD-2 CI-3 CO CIA-5 A SD-2 AIA-1 H CO 20 ppm SD-2 AIA-2 H CO 20 ppm SD-2 BL-1 A SD-4 BL-2 A BL-3 A H-2 SD-1 SD-2 SD-3 SD COAV-5 COAV-5 COAV-5 AV-3 COAV-5 AV-1/AV-2 62
69 (AV-1) CO FI-3 PI-4 FIA-1 TICA-1,TIA-2/3/ FI CO FI-3 PI-4 FIA-1 TICA-1,TIA-2/3/ BL-2 PI BL-2 PI / BL-2 PI R-1 R-3 CO CI-1/CIA-2 R-3 CO (CIA-2) CO AIA-1-1 AIA-1-1 CO 63
70 5.5 ( ) 3.2 CI-1 CI CO CO TIA-2/TIA-3 R-3 CO (TICA-1) AIA-1-1 CO AIA R-3 TIA-2/TIA CO CO TIA-2/TIA-3 R-3 CO AIA-1-1 CO AIA R-3 TIA-2/TIA R-3 TIA-2/TIA CO CO TIA-2/TIA-3 R-3 CO AIA-1-1 CO AIA
71 5.2 (HazOp) 1961 ICI HazOp HazOp ICI HazOp HazOp HazOp HazOp HazOp HazOp HazOp (study nodes) HazOp (deviation) (guidewords) (10 20 ) HazOp HazOp P&ID HazOp HazOp HazOp HazOp HazOp 5.6 HazOp 5.7 ICI HazOp 5.8 ICI ( ) 65
72 (guideword) (parameter) (deviation) + = + = + = + = ( ) ( ) ( ) () HazOp
73 HazOp ( ) ( ) P&ID ( ) HazOp ( P&ID) ph (phase) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( )
74 5.7 HazOp (No) (Less) (More) (Part of).(as well as) (Reverse). (Other than) 5.8 HazOp ph 5.9 HazOp 68
75 ( ) ( ) 5.3 HazOp 69
76 HazOp / HazOp (P&ID, PFD) 5.4 HazOp 70
77 : XYZ 90 (Cl 2 storage tank) (feed tank) PCV-1 HCV-1 (HCV-2 ) 1 HCV-1 PCV-1 HCV-1 HCV-2 (scrubber) (N 2 purge) ( ) ( )
78 5.5 72
79 CFL (High flow) / 1. HCV HCVs (Low / no flow) HCV HCV-1(HCV-2) 2. 3.HCV-1(HCV-2) 4. ( PCV-1 ) ( 1.5) 73
80 5.10 ( ) (Long flow duration) 2.HCV HCV-1 2. (HCV-2)( 4. HCV-1 AO fail closed) HCV (Short flow duration) 2.HCV-1 HCV-2 3. HCV-1 HCV ( PCV-1 ) 74
81 5.10 ( ) ( 1.2) (Skipped/ missing) (Reverse 1. flow) 1.7 (High temp) ( 1.12) ( 1.9) 1.8 (Low temp) ( ) 1.9 (High 1. ( 1.7) 1. (1. 12 pressure) 2. HCV ) psig 75
82 5.10 ( ) 3. ( ) 4.PCV (Low pressure) (As well as) ( 1.7) (As well as ) (diaphragm) 1.13 (Leakage) (gasket) ( 1.9) HCV-1 HCV-2 (Rupture) (gasket) 2. HCV psig 4. HCV-2 76
83 H 2 SiH 4 SiH 2 Cl 2 PH 3 B 2 H 6 Cl 2 CONF 3 C 2 F 6 ( ) 77
84 6.1 SiH 4 (duct) N 2 ( PVC ) ( ) CCl 4 (purge) (purge) CCl CCl 4 Cl 2 (CCl 4 C+2Cl 2 ) SiH 4 +2Cl 2 SiCl 4 +2H 2 H 2 +Cl 2 2HCl SiH 4 20 PVC 30 PH 3 N 2 ( ) AsH 3,PH 3 (packing) packing SiH 4 SiH 4 ( ) N 2 N 2 SiH4 (purge) N 2 78
85 6.1 () ( SUS ) SiH 4 ( ) ( ) CVD (chemical vapor deposition) SUS ( ) N 2 Flange SiH 4 N 2 SiH 4 N 2 N 2 purge batch SiH 4 ( ) ( ) SiH 4 SiH 4 packing packing SiH 4 SiH 4 phosphine N 2 N 2 phosphine 79
86 (1) (2) (HF) (3) (Ion Implanter) (Ion Beam)X-ray (4) (Etching) (sputtering) RF (Heat Lamps) (IR) (Mercury Vapor Lamps) (UV) 80
87 (3) (5) (Robotics) 6.2 Cl 2 HClCO SiH 4 PH 3 B 2 H 6 HFH 2 SO 4 (DOW) (CEI)[6] 81
88 (1) ( ) (2) (3) (4) (5)
89 6.1 83
90 (1) 6.2 (2) ( ) (3) (4) (5) 6.3 (6) (Nf) (Nr) (7) (8) (9) 6.4 (10) 3 1 (11) 6.5 (HazOp) (FMEA) 84
91 (0-5) (0-4) 2. (1-4) 3. (1-3) 4. (1-4) 5. (1-3) (0-4) (0-4) (0-5) 85
92 > >
93 6.2.1 (1) (1.1) ppm (ERPG-2) mmhg 760 ERPG-2(ppm) 760(mmHg)/ (mmhg) 5-0~ ~ ~ ~ ~100, >100,000 ERPG-2 (STEL) (CEILING) (TWA)3 NFPA Nh( )4( HF) Nh (1.2) (a) 2 (b) 2A (c)
94 (2) % 15 4->10kg 3-1~10kg 2-100g~999g 1-<100g (3) (RAP SUB-FAB) 1 FAB 1 (4) (a) 10psig(1.75 ) 2 (b) (c)
95 (d) 4 (5) 3FAB 24 2 (RAP SUB-FAB) PM (1) NFPA Nf( ) 0~4 Nr 3 Nf Nr Nf Nf Nf (73) 37.8(100) 1. <22.8(73) 37.8(100) (73) 37.8(100) (2) (100)< <93.4(200) 1 >93.4(200) 0 89
96 15 100% kg 31~10kg 2100g~999g 1 100g (3) (RAP SUB-FAB) 1 FAB 1 3 (4) (a) 10psig(1.75 ) 2 (b) (c) (Nh2) (d) 4 (5) / 90
97 / 3FAB 24 FAB 2 (RAP SUB-FAB) PM Chemical Station HNO 3, H 2 O 2, IPA, HF(49%), NH 4 OH PECVD SiH 4, N 2 O, N 2, PH 3, NH 3, O 2, C 2 F 6 DUV Stepper F 2 (1%) 6.7 ERPG-2 TWA(ppm) STEL(ppm) (ppm) N h (mmhg) N f HNO H 2 O IPA HF KPa 4 0 NH 4 OH NH gas 3 1 SiH gas 1 4 PH gas 4 4 F gas ( ) - - HF IPA Chemical Station 1. (0-5) 4 3 (0-4) 2. (1-4) (1-3) (1-4) (1-3)
98 (0-4) 4 4 (0-4) (0-5) ( ) - - PH 3 SiH 4 PECVD 1. (0-5) 5 4 (0-4) 2. (1-4) (1-3) (1-4) (1-3) (0-4) 3 4 (0-4) (0-5) ( ) - - F 2 - Chemical Station 1. (0-5) 4 (0-4) 2. (1-4) 1 3. (1-3) 1 4. (1-4) 2 5. (1-3) (0-4) 2 0 (0-4) (0-5) 2 92
99 6.3 (Semiconductor Equipment and Material International, SEMI)[9]2000 SEMI S SEMI S (Single point failure) (HazOp) (FMECA)"What-if" SEMI S SEMI S10-96[11] (Severity) (Likelihood) (Risk Matrix) SEMI S Catastrophic Severe Moderate / HF / Minor 93
100 6.12 SEMI S10-96 A B C D E 5 (Frequent) 1 5 (Likely) (Possible) (Rarely) 10 1 (Unlikely) 6.13 SEMI S10-96 A B C D E SEMI SEMI S8-0999[10]SEMI S SEMI S8 (Supplier Ergonomic Success Criteria, SESC) 94
101 SEMI S10-96 (SESC) (1) (Manual Material Handling) (2) (Product Loading) (3) (Wafer Cassette Loading) (4) (Work in Process) (5) (Manual Wafer Cassette Rotation) (6) (Handle Design) (7) (Maintainability and Serviceability) (8) (Displays and Touch Screens) (9) (Hand Controls) (10) (Workstation Design) SEMI S8-0999SESC (Recommended Weight Limit, RWL) =(0.9RWL)(2) 14~20 20~30 6~18 ( 30 ) ( ) ( % ) (1)NIOSH (1991)[10][13] (2) (Psychophysical Data) 95
102 (3) (Biomechanical Analysis) 26 ( / / ) ( ) 1991 NIOSH RWL=LC HM VM DM AM FM CM LC (Load Constant), LC=51 lbs HM (Horizontal Multiplier), HM=10/H VM (Vertical Mutiplier), VM=1-(0.0075V-30) DM (Distance Multiplier), DM=0.82+(1.8/D) AM (Asymmetric Multiplier), AM= A FM (Frequency Multiplier), CM (Coupling Multiplier), / 6.14 SEMI S
103 6.14 ( ) H H=10~25inches H>25, HM=0 V V=0~70inches V>70, VM=0 D A D=10~70 inches D>70, DM=0 A=0~135 A>135, AM=0 CM FM 0.9 V 97
104 (Catastrophic) 2 RWL (Severe) 3 RWL ( (Moderate) 10%~100% ) 4 RWL 10% (Minor) 6.5 SEMI SEMI S14[12] (reasonably foreseeable single point failures) (residual risk level) (acceptable risk) SEMI S10-96 SEMI S (1) (2) (3) (4) 98
105 (5) 6.16 SEMI S14 ( ) 1: (Catastrophic) 2. (Severe) 3. (Moderate) 4. (Minor), 6.17 SEMI S14 ( %) A: (Frequent) B: (Likely) C: (Possible) D: (Rare) E: (Unlikely) 1% 0.2% 1% 0.04% 0.2% 0.02% 0.04% 0.02% 6.2 FM
106 100
107
108 1.Occupational Health and Safety Management Systems-Specification (OHSAS 18001), BSI, CFR Part Process Safety Management of Highly Hazardous Chemicals, US Government, F. E. Bird, Jr., G. L. Germain, Practical Loss Control Leadership, ILCI, Process SHE Guide 13 Hazard Study Methodology Part 1-Hazad Study 1, ICI Engineering, Dow's Fire & Explosion Index Hazard Classification Guide, Seventh ed., AIChE, Chemical Exposure Index Guide, First ed., The Dow Chemical Company, , Guidelines for Hazard Evaluation Procedures, Second ed. with Worked Examples, AIChE, SEMI S2-93A & SEMI S Semiconductor Manufacturing Equipment Safety Guidelines, SEMI International. 10.SEMI S Ergonomics/ Human Factors Engineering Guidelines, SEMI International. 11.SEMI S10-96 Risk Assessment Guidelines, SEMI International. 12.SEMI S14 Fire Risk Assessment and Mitigation for SEM, SEMI International. 13. GS ~
109 ( ) (02) (02) (03) (03) [email protected]
製程危害評估
Tel:03-5915020,Fax:03 5915020,Fax:03-59184705918470 E-mail:[email protected] (Literature Search/Industry Survey) (Preliminary Hazard Analysis, PHA) (Relative Ranking) (Plant Walk-through) (Checklist Analysis)
<4D6963726F736F667420576F7264202D20A46AB14DA4C6BEC7B1D0A7F75FA5FEA4E52E646F63>
防 災 教 材 教 案 下 載 使 用 說 明 本 教 材 已 經 過 教 育 部 101 年 度 防 災 教 育 教 材 統 整 計 畫 之 教 材 教 案 審 議 委 員 審 查, 審 查 結 果 如 下 : 教 材 名 稱 : 化 學 相 關 場 所 之 危 害 評 估 ( 編 號 :UVOTTP03) 學 習 階 段 : 大 專 院 校 作 者 : 仇 敏 教 授 等 編 輯 勘 誤 說 明
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第三章製程安評估報告書
第 三 章 製 程 安 全 評 估 報 告 書 鑒 於 危 險 性 工 作 場 所 多 具 有 大 量 危 險 物 及 有 害 物, 或 製 程 中 涉 及 複 雜 之 化 學 反 應 及 高 溫 高 壓 等 操 作 參 數, 危 害 風 險 較 高 傳 統 的 工 廠 安 全 設 計, 係 以 加 裝 保 護 性 的 設 備 及 依 循 安 全 操 作 規 範 來 防 止 災 害 之 發 生, 欠
化學材料業自主管理實務手冊
----------------------------------------------------------1 1.1 -------------------------------------------------------------1 1.2 ----------------------------------2 ----------------------------------------------------------3
人因危害風險鑑別方法
occupational ergonomics 2.1 subjective objective questionnaire Nordic Musculoskeletal QuestionnaireNMQ Nordic Council of Ministries NMQ NMQ reliability77 100 validity 80 100 [1]NMQ 2.2 checklist 2.2.1
職業安全衛生績效量測技術手冊
performance measurement Pro-active Reactive II . 1. 2 2.1.....2 2.2..2 2.2.1. 2 2.2.2. 3 2.2.3. 4 2.2.4.....5 2.2.5. 5 2.2.6 OHSAS 18001... 6 2.2.7 OHSAS 18002....7...12 3.1....12 3.2....14 3.3....16 3.3.1...16
E15-3D1 1. Specifications Compact 4-Way Cassette type Model name MMU- AP0071MH2UL AP0091MH2UL AP0121MH2UL AP0151MH2UL AP0181MH2UL Cooling Capacity kbt
E15-3D1 Compact 4-Way Cassette type MMU-AP0071MH2UL MMU-AP0091MH2UL MMU-AP0121MH2UL MMU-AP0151MH2UL MMU-AP0181MH2UL Contents 1. Specifications 2. Dimensions 3. Center of gravity 4. Piping diagram 5. Wiring
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1999工業污染防治工程實務技術研討會論文
* ** * / / ph 1. 2. * ** 1 Operational Practices of Scrubber Systems in Semiconductor Chinggaam Lin * Chun Hung Tsai**Li Der Chen * Abstract Scrubbers are widely used for air pollution treatment in semiconductor.
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Microsoft Word - 219 26-50 論文1 戴基福.doc
論 著 與 譯 文 英 國 政 府 推 行 工 作 場 所 風 險 評 估 及 管 理 的 作 法 戴 基 福 壹 前 言 英 國 政 府 對 於 保 護 工 作 相 關 人 員 的 職 業 安 全 衛 生 工 作, 向 來 積 極 從 事 不 遺 餘 力, 因 此 職 業 災 害 率 在 世 界 各 國 是 最 低 的, 依 據 國 際 勞 工 局 (ILO) 相 關 統 計 年 報 資 料, 英
British Compressed Gases Association 18 Code of Practice 18 The Safe Storage, Handling and Use of Special Gases in the Micro-electronic Industry - 1 -
British Compressed Gases Association 18 Code of Practice 18 The Safe Storage, Handling and Use of Special Gases in the Micro-electronic Industry - 1 - - 2 - 1 5 2 6 3 7 4 8 5 10 6 11 7 12 8 14 9 18 10
安全防范
8989 Be Right TM Sigma 900 5/03 2003 ...1...4...8 1.1...8 1.2...9 1.2.1...9 1.2.2...12 1.3...12 1.4...12 1.4.1...12 1.4.2...13 1.4.3...14 1.5...15 1.6...16 1.7...16 1.7.1...17 1.7.2...17 1.7.3...18 1.7.4
= = F d ( ) = q ε λ q ε λ q e - + Ar + Ar + hν (2) - - ( ) (Degree of Ionization) 0.1% 100% PECVD 1% PECVD (2) e - + Ar Ar + hν (3) Ar* 1 torr (q ε λ
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BC04 Module_antenna__ doc
http://www.infobluetooth.com TEL:+86-23-68798999 Fax: +86-23-68889515 Page 1 of 10 http://www.infobluetooth.com TEL:+86-23-68798999 Fax: +86-23-68889515 Page 2 of 10 http://www.infobluetooth.com TEL:+86-23-68798999
. Land Patterns for Reflow Soldering.Recommended Reflow Soldering Conditions (For Lead Free) TYPE PID0703 PID0704 PID1204 PID1205 PID1207 PID1209 L(mm
.Features: 1.Magnetic Shielded surface mount inductor with high current rating. 2.Low resistance to keep power loss minimum..applications: Excellent for power line DC-DC conversion applications used in
林 德 集 团 2006 年 9 月 6 日 集 团 成 立 日 2
林 德 气 体 知 识 及 气 瓶 操 作 介 绍 2015 年 10 月 29 日, 苏 州 1 林 德 集 团 2006 年 9 月 6 日 集 团 成 立 日 2 林 德 电 子 全 球 概 览 Medford OR WF6 BCL3 HBr HF SIH4 Hillsboro-OR TCS Phoenix - AZ NH3 CF4 C2F6 HCL DCS Lovington-NM HCL
IEC A( ) B C D II
ICS 13.120 K 09 GB 4706.1 2005/IEC 60335-1:2004(Ed4.1) 1 Household and similar electrical appliances- Safety General requirements IEC60335-1 2004 Ed4.1,IDT 2005-08-26 2006-08-01 IEC 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10
目 录
安 全 生 产 职 业 体 系 建 设 及 职 业 资 格 管 理 ( 英 国 ) 人 事 司 乔 树 清 二 〇 一 三 年 十 二 月 1 目 录 一 基 本 情 况... 3 二 英 国 职 业 健 康 与 安 全 管 理... 3 ( 一 ) 政 府 层 面... 3 ( 二 ) 民 间 层 面... 6 ( 三 ) 法 律 层 面... 6 三 英 国 国 家 职 业 资 格 制 度 概
LH_Series_Rev2014.pdf
REMINDERS Product information in this catalog is as of October 2013. All of the contents specified herein are subject to change without notice due to technical improvements, etc. Therefore, please check
TSI 8384/8385/8386 Manual
8384/85/86 TSI/ VELOCITY FLOWRATE PRESSURE zero TEMP HUMIDITY SAMPLE options NEXT TEST clear STATISTICS review data SAMPLE INTERVAL HEAT FLOW THERMAL PITOT ACTUAL STANDARD ENTER ON/OFF 7 1 8 TEL:(02)26018201
GH1220 Hall Switch
Unipolar Hall Switch - Medium Sensitivity Product Description The DH220 is a unipolar h all switch designed in CMOS technology. The IC internally includes a voltage regulator, Hall sensor with dynamic
2 / 156
. TEL03-5919133 [email protected] / V6. 1 / 156 2 / 156 . () 3 / 156 4 / 156 . 5 / 156 6 / 156 7 / 156 http://140.124.100.107/dcse/ 8 / 156 9 / 156 - 10 / 156 . - A. B. C. D. E. F. 11 / 156 12
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Copyright 2008 ITRI
988 Copyright 2008 ITRI Copyright 2008 ITRI Copyright 2008 ITRI Copyright 2008 ITRI Copyright 2008 ITRI 1. 2. 3. Copyright 2008 ITRI ( ) Copyright 2008 ITRI TOSHMS 4.3.1 Copyright 2008 ITRI TOSHMS 4.3.3
SAHTECH 安全衛生技術中心 財團法人 事故 2
SAHTECH 03-5836885#102 [email protected] 1 SAHTECH 安全衛生技術中心 財團法人 事故 2 SAHTECH 11.20 2010 SAHTECH SAHTECH 发 开关 点 图 SAHTECH 点 SAHTECH SAHTECH (2009.03.04) 2009.7.29 2009.7.29 SAHTECH SAHTECH 6.29 2010
EMI LOOPS FILTERING EMI ferrite noise suppressors
(HighSpeedBoardDesign) (HIGHSPEEDBOARDDESIGN) 1 1 3 1.1 3 1.1.1 3 1.1.2 vs 4 1.1.3 5 1.1.4 8 1.2 9 1.2.1 9 1.2.2 vs 1 1.3 1 1.3.1 11 1.3.1.1 11 1.3.1.2 12 1.3.1.3 12 1.3.1.4 12 1.3.1.5 12 2. 2.1 14 2.1.1
TECHNICAL DATA Date 12/22/15 Series F21U F MOTOR SPECIFICATIONS Motor Design Applications Insulation Class Maximum Liquid Temp Frequency RPM Air Filled Effulent water Class B 0-40 C ( 32-104 F ) 60 HZ
Design of Experiments DOE 1. (Design of Experiments) (Designed Experiments), , 1-1 Input ; Output ; Controllable input factors X1,X2,,Xp; Uncon
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勞工肌肉骨骼傷害檢點技術手冊
IOSH92-T-49 IOSH92-T-49 MSDs BRIEF Chaffin 99 2D 2D MSDs BRIEF i ... i...ii...iii...iii...... 2 MSDs... 3 BRIEF... 4... 5 NMQ... 6... 8 Chaffin 2D... 8 2D...... 2... 4 MSDs... 5 BRIEF... 22 NMQ... 26...
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實 驗 室 安 全 衛 生 講 習 1 大 綱 實 驗 室 安 全 衛 生 概 論 實 驗 室 災 害 案 例 相 關 法 令 規 定 及 內 涵 危 害 通 識 化 學 性 危 害 生 物 性 危 害 個 人 防 護 具 急 救 實 驗 室 廢 棄 物 2 實 驗 室 安 全 衛 生 概 論 3 災 害 金 字 塔 1 件 死 亡 重 傷 害 29 件 輕 傷 害 事 件 300 件 虛 驚 事
(baking powder) 1 ( ) ( ) 1 10g g (two level design, D-optimal) 32 1/2 fraction Two Level Fractional Factorial Design D-Optimal D
( ) 4 1 1 1 145 1 110 1 (baking powder) 1 ( ) ( ) 1 10g 1 1 2.5g 1 1 1 1 60 10 (two level design, D-optimal) 32 1/2 fraction Two Level Fractional Factorial Design D-Optimal Design 1. 60 120 2. 3. 40 10
(CIP) /. :,2001 ISBN TU CIP (2001) : : 16 : : ( 0531 ) : w w w.lkj.c om.c n : jn-publi c.sd
(CIP) /. :,2001 ISBN 7-5331-3005-7... - -. TU723. 3-44 CIP (2001) 061636 : : 16 :250002 : ( 0531 ) 2065109 : w w w.lkj.c om.c n : sdkj @ jn-publi c.sd.c ninfo.ne t : : 16 :250002 : ( 0531 ) 2020432 : :
01CP-WX3030WNetc_CO_ENG.indd
Data Video Projector User s Manual (Concise) ModelS: 8928A/8930A/8931WA/ 8933W Information in this Guide may change due to product improvements. To obtain the latest manuals, literature, and software please
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无锡卓尔阀业有限公司 301E 三偏心高温 蝶阀 Triple Eccentric High Temperature Butterfly Valves STANDARD SPECIFICATION 301E GENERAL 301E Triple Eccentric High Temperature Butterfly valve 301E Triple eccentric high temperature
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DreamStation CPAP DreamStation CPAP Pro DreamStation Auto CPAP ... 1... 1... 1... 2... 2... 3... 3 Philips Respironics...3... 4 /...5... 6...6... 7... 8... 8...9... 9...10 Bluetooth...14...15...15...15...16...20...22...23...24...24...24...24...25...26...27
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XYR XYR XYR Tel: 00 567068 www.zolix.com.cn 99 Tel: 00 567068 www.zolix.com.cn XYR500 XYR500 XYR000 XYR0000-CH XYmm.5 0 5 z 5 mm 5050 0000 0000 mm 00 00 0000 mm 6.5 76 98 8 Kg 6 8 5 XY/μm 0/5 0XYμm 0.5
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WARNINGS Note: Read ALL the following BEFORE using this product. Follow all Guidelines at all times while using this product. CAUTION This warning indicates possibility of personal injury and material
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The power behind competitiveness Ultron NTUPS www.deltagreentech.com.cn Ultron NT ii 1 : ---------------------------------------------------------1 2 : --------------------------------------------------------------------4
(i) (ii) (iii) (i) (ii) (iii) (iv) 1. 2
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0000137925 REV 1.0 ... 4... 5... 6... 7... 8... 9... 11... 12... 13... 14... 15... 17... 18... 20... 22 ( 1)... 25... 26 ( 2)... 28 \ 1 ( 2A)... 29 \ 2 ( 2B)... 30 SSR ( 2C)... 31 \ ( 2D)... 32 \ ( 3A)...
Gerotor Motors Series Dimensions A,B C T L L G1/2 M G1/ A 4 C H4 E
Gerotor Motors Series Size CC-A Flange Options-B Shaft Options-C Ports Features 0 0 5 5 1 0 1 0 3 3 0 0 SAE A 2 Bolt - (2) 4 Bolt Magneto (4) 4 Bolt Square (H4) 1.0" Keyed (C) 25mm Keyed (A) 1.0' 6T Spline
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Gerolor Motors Series Dimensions A,B C T L L G1/2 M8 G1/ A 4 C H4 E
Gerolor Motors Series Size CC-A Flange Options-B Shaft Options-C Ports Features 0 0 12 12 1 1 0 0 2 2 31 31 0 0 SAE A 2 Bolt - (2) 4 Bolt Magneto (4) 4 Bolt Square (H4) 1.0" Keyed (C) 2mm Keyed (A) 1.0'
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簡 報 資 料 供 授 課 參 考, 講 座 可 視 實 際 需 求 ( 法 令 政 策 等 ) 調 整 內 容 1/192 2/192 本 課 程 旨 在 說 明 何 為 毒 化 物 緊 急 應 變 處 理 與 善 後 復 原 : 說 明 災 害 發 生 時, 如 何 進 行 通 報 及 啟 動 對 外 支 援 體 系, 並 說 明 現 有 毒 性 化 學 物 質 災 害 聯 合 防 救 小 組
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(1) (2) (3) (4) (5) (6) /10/13 11: (57) (201
1. () 2. () CPC [email protected] 0933-763586 2014 2 1. 2. 3. 4. 5. 烟 2014 3 2014 4 2014 5 2014 6 (1) (2) (3) (4) (5) (6) 1. 2. 3. 4. 5. 6. 7. 8. 9. 10. 11. 12. 2014 7 2014 8 93511 4 4 1 400 9 1 2010/10/13
RF & MICROWAVE COMPONENTS
MICROOT MICROWAVE CO., LTD. RF & MICROWAVE COMPONENTS WWW.MIC-ROOT.COM Catalogue 1. ABOUT MICROOT...3 2. Broadband 90/180deg Hybrid and Coupler...4 3. Broadband Power Divider... 13 4. Filter... 20 5. RF
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化學危害作業之毒性與 防護用選用原則
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U17 10220 UDC624 Thesis for the Master degree in Engineering Research on Negative Pressure Wave Simulation and Signal Processing of Fluid-Conveying Pipeline Leak Candidate:Chen Hao Tutor: Xue Jinghong
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防 范 性 声 明 预 防 : 穿 戴 防 护 手 套 防 护 服 防 护 眼 镜 防 护 面 罩 (P280) 操 作 后 彻 底 清 洗 (P264) 反 应 : 眼 睛 接 触 : 用 渴 帏 心 清 洗 数 分 钟 如 带 隐 形 眼 镜 且 可 方 便 取 出, 取 出 隐 形 眼 镜,
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Shanghai International Studies University A STUDY ON SYNERGY BUYING PRACTICE IN ABC COMPANY A Thesis Submitted to the Graduate School and MBA Center I
上 海 外 国 语 大 学 工 商 管 理 硕 士 学 位 论 文 ABC 中 国 食 品 公 司 的 整 合 采 购 研 究 学 科 专 业 : 工 商 管 理 硕 士 (MBA) 作 者 姓 名 :0113700719 指 导 教 师 : 答 辩 日 期 : 2013 年 12 月 上 海 外 国 语 大 学 二 一 四 年 一 月 Shanghai International Studies
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96 年 度 南 部 毒 性 化 學 物 質 災 害 防 救 動 員 研 討 會 ( 第 1 期 ) 講 義 資 料 中 華 民 國 96 年 6 月 5 日 96 年 度 南 部 毒 性 化 學 物 質 災 害 防 救 動 員 研 討 會 ( 第 1 期 ) 議 程 表 一 對 象 : 南 區 轄 內 各 縣 市 環 保 消 防 國 軍 及 其 他 相 關 政 府 單 位 二 時 間 :96 年
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MODEL 61509/61508/61507/ 61609/61608/61607 PROGRAMMABLE AC POWER SOURCE MODEL 61509/61508/61507/ 61609/61608/61607 61509/61609: 6kVA 61508/61608: 4.5kVA 61507/61607: 3kVA : 0-175V/0-350V/Auto : DC, 15Hz-2kHz
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16 6 2018 11 Chinese Journal of Bioprocess Engineering Vol. 16 No. 6 Nov. 2018 doi 10. 3969 /j. issn. 1672-3678. 2018. 06. 004 1 2 1 1 1. 330200 2. 330006 4 Box-Behnken 1 25 g /ml 121 92 min 2 6. 284%
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JOURNAL OF EARTHQUAKE ENGINEERING AND ENGINEERING VIBRATION Vol. 31 No. 5 Oct /35 TU3521 P315.
31 5 2011 10 JOURNAL OF EARTHQUAKE ENGINEERING AND ENGINEERING VIBRATION Vol. 31 No. 5 Oct. 2011 1000-1301 2011 05-0075 - 09 510405 1 /35 TU3521 P315. 8 A Earthquake simulation shaking table test and analysis
第 1 部 分 目 錄 第 1 部 分 計 畫 執 行 成 果 摘 要 Ⅰ 頁 次
經 濟 部 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 專 案 計 畫 期 末 執 行 成 果 報 告 計 畫 名 稱 : 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 契 約 編 號 :10231101004 執 行 期 間 : 全 程 : 自 99 年 01 月 25 日 至 102 年 12 月 20 日 止 本 年 度 : 自 102 年 01 月 01 日 至 102 年
基 礎 化 學 ( 一 ) 講 義 目 次 第 1 章 物 質 的 組 成 1 1 物 質 的 分 類 1 1 2 原 子 與 分 子 16 1 3 原 子 量 與 分 子 量 31 1 4 溶 液 48 實 驗 二 硝 酸 鉀 的 溶 解 與 結 晶 74 國 戰 大 考 試 題 78 實 驗 相
內 容 由 蔡 明 倫 老 師 和 李 雅 婷 老 師 編 纂 基 礎 化 學 ( 一 ) 講 義 第 1 章 物 質 的 組 成 班 級 : 拉 瓦 節 和 其 使 用 的 實 驗 儀 器 座 號 : 姓 名 : 基 礎 化 學 ( 一 ) 講 義 目 次 第 1 章 物 質 的 組 成 1 1 物 質 的 分 類 1 1 2 原 子 與 分 子 16 1 3 原 子 量 與 分 子 量 31 1
T20 Diesel Operator Manual (CN)
T20 () Chinese CN The Safe Scrubbing Alternative China, : www.tennantco.com/manuals 331507 Rev. 10 (07-2013) *331470* ,,, :, M30,/( ), Tennant Company PO Box 1452 Minneapolis, MN 55440 Phone: (800) 553
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15500 特 定 瓦 斯 器 具 裝 修 丙 級 工 作 項 目 01: 瓦 斯 基 礎 知 識 1.(4) 1kg 之 液 化 石 油 氣 完 全 燃 燒 時, 其 熱 值 約 為 多 少 kcal? 3000 6000 9000 12000 2.(3) 天 然 氣 之 著 火 溫 度 約 為 多 少? 400 500 600 700 3.(4) 紅 外 線 燃 燒 器 一 次 空 氣 之 混
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, Jinluh Chen Director General, Senior Industrial Hygienist,MPH Labor Standards Inspection Office, Labor Affairs Bureau, K C G 2009/3/8 Created by Jinluh Chen 1 2009/3/8 Created by Jinluh Chen 2 2009/3/8
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