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1 2 08 Flexible All Solid State Thin Film Li-ion Battery ( 300Wh/kg) (3.4~3.8 V) ( 1000 cycles) (LiCoO 2 ) (LiPON) (Mica) 26mAhcm -2 mm % LED Abstract With the ever-changing technology, human life is filled with all kinds of portable electronic products, such as smart phones, digital cameras, notebook computers and all kinds of smart accessories, the demand for power supply is higher than in the past, not only need extremely high endurance and stability, safety and plasticity are more important.since the all-solid lithium ion secondary battery has high energy density ( 300 Wh/kg), high operating voltage (3.4 to 3.8 V), long cycle life ( 1000 cycles), no memory effect, and no traditional lithium ion secondary battery liquid electrolyte leakage and flammable problems, with high security, not subject to the restrictions on the package, it can be used as the majority of consumer electronics products, power supply.if we can improve the performance of all solid-state lithium-ion secondary battery and reduce the cost of production, then we can make its use more widely. In this study, a flexible all-solid-state thin-film battery was prepared on a mica sheet using lithium cobalt oxide (LiCoO 2 ) as the cathode material, lithium-phosphorus oxynitride (LiPON) as the electrolyte and lithium metal as the anode material. After the charge and discharge cycle measurement, it was found that the discharge capacity was 26 mahcm -2 mm -1 and the discharge capacity was more than 85% after the charge and discharge cycle 30 times, and the LED bulb was successfully driven.

2 NANO COMMUNICATION 24 No Keywords Flexible All-solid Thin-film battery Li-ion battery Lithium Cobalt Oxide Lithium-phosphorus Oxynitride 1970 Whittingham [1] 1991 Sony [2] (De-intercalation) (Intercalation) 1 [3] 1 [3]

3 2 010 " (Dendrites)" " (Metal Whiskers )" 2016 Samsung Galaxy Note [4] (Oxide) (Sulfide) (Hydride) (Halide) (Polymer) (Thin Film) [5] 3 [6] ( m) 1 (LiPON) LiPON 4 [7] 4 3 [6] : 1980 Goodenough [8] 2 [4] 3.0V 4.2V

4 NANO COMMUNICATION 24 No [9] 4 [7] % 90% (LiNiO 2 ) (LiMn 2 O 4 ) (Magnetron Sputter) 1.5 m (101) (104) 5 [9] (003) / / (101) (104) / 520 (101) 6 (101) (003) V 6 X- 7 : : 1993 (Oak Ridge National Laboratory) [10] (Li 3 PO 4 )

5 2 012 ( 0.54V) x10-6 S/cm 10 2 m mAhcm -2 mm % 3.9V (Lght-emitting Diodes; LED)

6 NANO COMMUNICATION 24 No / Rechargeable Lithium 91 Batteries with Lithium Cobalt Oxide Cathodes, J. Electrochem. Soc., vol. 143, no. 10, pp , Jan [7] A. Patil, V. Patil, D. Wook Shin, J.-W. Choi, D.-S. Paik, and S.-J. Yoon, Issue and Challenges Facing Rechargeable Thin Film Lithium Batteries, Mater. Res. Bull., vol. 43, no. 8 9, pp , Sep [8] K. Mizushima, P. C. Jones, P. J. Wiseman, and J. B. Goodenough, LixCoO 2 (0<x<-1): A New Cathode Material for Batteries of High Energy Density, Mater. Res. Bull., vol. 15, no. 6, pp , Jun LED [9] Y. Yoon, C. Park, J. Kim, and D. Shin, Lattice Orientation Control of Lithium Cobalt Oxide Cathode Film for All-solid-state Thin Film Batteries, J. Power Sources, vol. 226, pp , Mar [10] J. B. Bates, N. J. Dudney, G. R. Gruzalski, R. A. Zuhr, A. Choudhury, C. F. Luck, and J. D. Robertson, Fabrication and Characterization of Amorphous Lithium Electrolyte Thin Films and Rechargeable Thin-film Batteries, J. Power Sources, vol. 43, no. 1 3, pp , Mar [1] M. S. Whittingham, Electrical Energy Storage and Intercalation Chemistry, Science, vol. 192, no. 4244, pp , Jun [2] Keywords to Understanding Sony Energy Devices Sony Energy Devices Corporation. [Online]. Available: [3] K. Xu, "Nonaqueous Liquid Electrolytes for Lithium- Based Rechargeable Batteries" Chem. Rev., 104 (10), pp [4] [5] A. Manthiram, X. Yu and S. Wang, Lithium Battery Chemistries Enabled by Solid-State Electrolytes, Nature Reviews Materials, Article number: 16103, [6] B. Wang, J. B. Bates, F. X. Hart, B. C. Sales, R. A. Zuhr, and J. D. Robertson, Characterization of Thin Film

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