机床在加工精度和表面质量等方面的性能主要取决于机床运动精度 因此高精度加工时, 必须测量和补偿运动偏差 检测机床的标准和法令, 例如 ISO 230-2,ISO 和 ISO 和 VDI/ DGQ 3441 中都规定了动态和静态偏差的检测方法 如果同时使用海德汉机床检验和验收测

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1 测量系统机床检验和验收检测 2007 年 9 月

2 机床在加工精度和表面质量等方面的性能主要取决于机床运动精度 因此高精度加工时, 必须测量和补偿运动偏差 检测机床的标准和法令, 例如 ISO 230-2,ISO 和 ISO 和 VDI/ DGQ 3441 中都规定了动态和静态偏差的检测方法 如果同时使用海德汉机床检验和验收测量系统以及功能强大的数据处理软件, 只需简单安装和调整就能精确测量和提供信息丰富的测量结果 2

3 目录 概要 应用领域 4 配置 5 测量方法 ACCOM 数据处理软件 6 动态测量 静态测量 圆弧插补检测 自由曲面检测 步距响应检测 定位精度 导轨误差 6 8 测量热飘移 9 检验直线轴的测量系统 KGM 181 KGM 182 VM 182 栅格编码器测量 短行程直线运动 圆弧运动 自由曲面检测 比较仪测量系统测量 直线轴 导轨误差 检验旋转轴的测量系统 一般信息一般信息和安装说明 14 角度编码器 ROD 880,RON 886,RPN 886,RON 905 概要 15 辅件 IK 220 PC 计算机计数卡 16 适配电缆 17 3

4 概要应用领域 机床常规检测和验收检测基本只限于机床空载时几何尺寸的静态测量, 数控机床只限于定位精度测量 偏离名义轮廓的动态偏差和机床的大加速度运动对最终加工结果有很大影响 因此, 必须通过测试件的加工和尺寸精度的检查才能确定机床动态性能 海德汉公司的测量系统直接测量动态和静态偏差 相比只检验加工结果, 直接检测方法优点在于它能排除机床本身影响因素和区分不同影响因素 动态测量 特别是高速运动时, 能提供轮廓加工特性, 以确定机床状态和包括 CNC 数控系统 驱动系统和位置反馈系统在内的整个控制环的参数设置情况 这些信息有助于优化机床特性 ( 例如 kv 系数, 反向尖角 ) 静态测量, 例如用比较仪系统测量直线轴和旋转轴位置误差, 确定机床几何精度和热特性 机床制造商用这些机床测量结果可找到提高精度的有效措施 这些测量还能帮助机床制造商优化 CNC 机床精度控制环的工作参数 机床用户用这些测量系统可进行机床验收和周检 极小半径圆弧插补和自由曲面检测可以确定数控系统动态特性, 大半径圆弧插补检测可以确定机床几何精度 机床直线轴位置精度和重复精度以及导轨误差用比较仪系统测量 它也能确定旋转轴, 回转工作台和摆动工作台位置精度和重复精度 超高精度角度编码器用作比较仪系统 4

5 配置 检验机床通常用以下部件 : 检查轴运动的测量系统 (KGM,VM 或角度编码器 ) 带 IK 220 计算机计数卡的 PC 计算机和 ACCOM 数据处理软件 检验直线轴的测量系统 KGM 181 或 KGM 182 二维编码器和 VM 182 比较仪系统 非接触和高动态性能地测量实际运动路径 这两种测量都是高精度, 真二维测量 角度编码器用于测量旋转轴 角度编码器固定在回转工作台或倾斜轴处和用测量桥连接机床静止件 由于检验的测量系统完全独立安装,PC 计算机与 CNC 系统间不需要任何通信 因此可以检验任何类型数控系统的机床 ACCOM 数据处理软件只用于在 CNC 系统和 PC 计算机中对相同的运动进行编程 ACCOM 可导入 NC 程序, 也可以导出用 ACCOM 创建的 NC 检测程序 这样可以大大减轻编程工作量, 例如方便和快速地导入现有 NC 程序中的自由曲面轮廓 海德汉简易语言程序可轻松地在海德汉 TNC 数控系统与 PC 计算机之间传送 简化的 G 代码格式的 DIN/ISO 程序也可导入到 ACCOM 中 ACCOM 自动检测检验程序起点, 例如离开起点一定距离或角度 也自动记录满足一定条件的测量点数据 ( 位置窗口, 速度窗口 ) 测量数据在 ACCOM 系统中处理, 然后用易于理解的格式显示测量结果 由于测量数据用文本格式, 因此也可被其它程序读取 ( 例如 Matlab,Origin,Excel 等 ) CNC CNC NC 程序检测程序 计算机 ACCOM 检测程序 5

6 测量方法 ACCOM 数据处理软件 机床检验和验收检测测量方法有国家和国际标准和法令规定 海德汉公司的 ACCOM 数据处理 PC 计算机软件是非常易用的数据获取和数据处理应用程序, 符合 ISO 230 2,ISO 230-3,ISO 和 ISO (K2 和 K3) 标准和 3441 号 VDI/DGQ 法令要求 ACCOM 数据处理软件可运行在所有 Windows 98SE/2000/XP 的 PC 计算机中 动态测量 圆弧插补检测进行圆弧插补时,CNC 数控系统在加工面中进行圆弧插补 ACCOM 数据处理软件比较圆弧路径的二维编码器测量值与理论值 ( 编程值 ) 和将偏差放大显示在 PC 计算机屏幕中 ACCOM 还根据 ISO 计算数字值, 例如圆弧误差, 反向间隙和径向误差 圆弧插补检测的测量数据用于确定误差原因 : 机床轴垂直度 像限过渡位置的反向尖角 迟滞误差, 反向误差 数控系统不正确的误差补偿值 机床部件不规则热膨胀导致的误差 机床轴倾斜和悬垂 轴调整 运动速度影响 加速度影响 大半径圆弧插补检测反映机床几何特性 另一方面, 小半径圆弧插补检测反映大加速度运动时的数控系统精度 机床几何特性对小半径检测测量结果的影响不大 但数控系统和驱动系统有显著影响 KGM 圆弧插补检测的标准测量图 : 像限过渡位置的反向尖角可见, 表示顺时针与逆时针运动间的不同 圆弧插补检测用 KGM 181 和 KGM 182 二维编码器 线图显示 90º 位置处的局部放大的反向尖角 6

7 自由曲面检测自由曲面检测中,CNC 使机床轴沿任何编程路径在平面中进行运动 KGM 用于测量实际运动路径 ACCOM 用多种视图显示误差 该项检测用于反映机床在角点和轮廓过渡位置处的动态性能 检查 ISO K2 进给速度的自由曲面路径和两轴 K3 插补情况 自由曲面检测用 KGM 181 和 KGM 182 二维编码器 自由曲面检测反映轮廓过渡位置以下特性 : 线到圆弧平滑连接 圆弧到线平滑连接 线到圆弧突变过渡 圆弧到线突变过渡 线到线突变过渡 KGM 的其它典型自由曲面检测还包括跟随误差, 数控系统影响或机械系统影响, 例如 : 两轴垂直度 ( 大截面 ) 固有频率 ( 约 45 角点位置的斜线 ) 两轴路径插补 ( 小角度的斜线 ) KGM 检测自由曲面的标准测量图和局部放大图 : 这个常规视图为过度倒圆误差情况 ( 名义路径 : 黑色, 实际路径 : 红色 ) 误差严重的自由曲面检测结果 步距响应检测步距响应检测用于测量最小可能定位步距值 ( 步距响应功能 ) 和静摩擦情况以及位置保持精度 该项检测也用于 0.1 µm 至 0.01 µm 步距要求的高精度加工检测 ACCOM 也显示距离与时间 (Xt,Yt) 和速度与时间 (vt) 关系图 步距响应检测用 KGM 181 和 KGM 182 二维编码器以及 VM 182 比较仪系统 Xt 图显示步距响应检测结果 7

8 测量方法静态测量 测量机床轴运动至确定位置后的定位精度和重复定位精度 确定直线轴静态定位精度用 VM 和 KGM 确定机床轴运动到要求位置时的定位精度 除能测量定位精度外, 还能测量垂直于机床滑座方向的导轨误差 ACCOM 基于相应标准显示误差 用 KGM 181 和 KGM 182 二维编码器测量最大至 230 mm 的短行程, 用 VM 182 比较仪系统测量最大至 1520 mm 的大行程 确定旋转轴静态定位精度用角度编码为基准测量角度运动的位置和记录精度的详细图形, 海德汉公司的精密 ROD,RON 或 RPN 角度编码器用于测量旋转编码器定位精度 基于 ISO 测量静态定位精度和用 VM 182 测量运动方向的导轨误差 ACCOM 处理测量数据和显示测量结果 图例为蜗轮回转工作台的两个高分辨率测量结果 上图为电机中旋转编码器的位置反馈信号 ( 半闭环 ) 图中显示蜗杆导致的误差 ( 短波长波动 ) 和回转工作台的蜗轮导致的误差 ( 长波长波动 ) 用角度编码器反馈位置信息测量同一回转工作台 ( 闭环 ) 显示误差范围很小 用 RON 905 和电机编码器 ( 半闭环 ) 测量蜗轮回转工作台的静态定位精度 和用角度编码器测量 ( 闭环 )

9 测量热飘移 确定进给轴热特性基于 ISO 标准, 检测定位精度可容易地确定直线轴滚珠丝杠或旋转轴蜗轮摩擦热对进给轴定位特性的影响 该标准提供了推荐用于车床和铣床内热源和机床外热源造成热飘移的统一测量方法 检测进给轴时, 标准建议向尽可能靠近行程端点的两个位置用共同认可的快移速度的一定百分比重复进行定位运动 记录相对初始值的位置变化量 持续进行该检测直到测量结果趋于稳定 图例为直线轴两次测量结果 上图为用电机中旋转编码器测量位置, 该图可见由于滚珠丝杠发热导致位置误差随时间增加而增大 下图为用直线光栅尺对同一直线轴进行位置测量情况 位置误差与滚珠丝杠发热无关, 其原因是轴实际运动位置用直线光栅尺进行测量 直线轴热特性用 KGM 181 或 KGM 182 编码器或如果行程较大用 VM 182 比较仪系统测量 旋转轴用 ROD,RON 或 RPN 角度编码器 基于 ISO 用 VM 182 和电机中旋转编码器 ( 半闭环 ) 确定直线轴热特性 和用直线光栅尺测量 ( 闭环 ) 更多相关信息, 参见以下技术信息 进给轴精度 用直线光栅尺提高加工精度 9

10 检验直线轴的测量系统 KGM 181 和 KGM 182 二维编码器 KGM 二维编码器包括一个固定在基座中圆晶形状的二维栅格光栅和一个读数头 测量时, 读数头非接触地在栅格光栅面上运动 KGM 编码器检测平面中运动和分别输出两轴的测量值 应用领域 KGM 编码器动态检测数控机床的轮廓精度 例如用进给速率最高至 80 m/min 和 115 mm 到 1 µm 半径进行圆弧插补检测 特别是用小半径检测时, 机床几何特性对测量结果将无影响 非接触测量也能检测两轴任何轮廓的自由曲面 测量系统安装设置时, 基座安装至工件夹具 ( 例如工作台 ) 并与轴对正 读数头安装至夹刀件 ( 例如加工中心的主轴 ) 并大致与轴对正 测量基准热膨胀系数 精度等级 ± 2 µm KGM 181 KGM 182 两坐标 TITANID 相位光栅 Þ therm 8 x 10 6 K 1 测量范围 140 mm 230 mm 增量信号 信号周期» 1 V PP 4 μm, 测量方向 I 和 II 测量步距 µm( 带 IK 220) 电源 5 V ± 5 %/< 100 ma( 每轴 ) 安装, 读数头 运动速度 20h7 80 m/min 编码器随带一个调整盘, 用于将扫描间隙调整为 0.5 ± 0.05 mm 读数头调节螺丝用于进行细调 也用于优化 ACCOM 数据处理软件的测量信号显示 重量 格栅板读数头 约 4.0 kg 约 0.6 kg 约 3.1 kg 约 0.6 kg 随带部件 : KGM 181 或 KGM 182 读数头安装至 90 角位置的适配接头 ( 例如配合直径 : 20 mm) XZ/YZ 面安装件 ( 仅适用于 KGM 181) 辅件 : IK 220 PC 计算机计数卡 ACCOM 数据处理软件 两根适配电缆 : KGM IK 220 读数头 二维格栅 安装座 测量方向 10

11 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm: ± 0.2 mm KGM 181 KGM 182 L B D D I, II = 测量方向 F = 机床导轨 * = 工作期间的最大变化 11

12 检验直线轴的测量系统 VM 182 比较仪系统 VM 182 比较仪系统由超精密两坐标相位光栅尺和读数头组成, 读数头与光栅间无机械接触 光栅尺嵌在 U 型钢槽中, 因此可直接安装在机床工作台中 VM 182 测量纵向位置的同时还测量垂直于测量方向的小范围误差 (± 1 mm) 应用领域 VM 182 用于机床和测量设备的验收检测, 检验和校准, 行程范围为 mm 机床制造商和分销商通过 VM 182 和 ISO 标准可确定机床轴线性和非线性误差曲线以及反向误差 除了位置误差外, 还能测量导轨垂直于机床轴运动方向的误差 测量系统安装安装时, 读数头用辅助滑架连接至光栅尺 光栅尺沿轴向固定至机床工作台, 读数头用磁铁连接至机床主轴 安装后, 拆下读数头的辅助滑架 由于安装容差大, 因此 VM 182 安装非常方便 随带部件 : VM 182 辅件 : 读数头到机床主轴固定架 IK 220 PC 计算机计数卡 ACCOM 数据处理软件 两根适配电缆 : VM IK 220 测量基准热膨胀系数 精度等级 测量长度 ML( 纵向 ) 单位 mm 测量范围 ( 横向 ) 参考点 增量信号 信号周期 VM 182 两坐标 DIADUR 相位光栅 Þ therm 10 x 10 6 K 1 ± 1 µm 纵向 ± 1.5 µm 横向 ± 1 mm 1 个, 测量长度起点位置» 1 V PP 4 μm, 纵向和横向 测量步距 µm( 带 IK 220) 电源 5 V ± 5 %/< 100 ma( 每轴 ) 连接 运动速度 重量 光栅尺读数头 磁力连接至一个平面, 固定架为辅件 80 m/min 光栅尺重量约 340 g g/mm 测量长度约 1.86 kg 光栅尺 读数头辅助滑架 二维格栅 参考点 12

13 尺寸单位 mm 公差 ISO 8015 ISO 2768 m H < 6 mm: ± 0.2 mm F = 机床导轨 R = 参考点位置 S = 测量长度 (ML) 起点 13

14 旋转轴测量一般信息 海德汉公司提供测量旋转轴的 高精度角度编码器 用于测量任何位置的旋转轴 由于没有位置限制, 例如每 360 测量 12 个位置, 它也能测量短波长位置误差 基准角度编码器 此外, 角度编码器允许回转工作台测量点间进行高速运动 ( 如 ISO 中要求 ) 应用领域旋转轴 ( 回转或倾斜工作台, 摆动铣头 ) 位置误差常常决定机床整体精度 大多数情况时, 旋转和摆动轴不参与机床轴联动 例如, 根据 ISO 230-2, 分度轴必须有确定的定位精度 此外, 根据 ISO 230-3, 联动轴数量越多, 动态性能和热特性越重要 位置误差 [µm] R Dj Dx 测量系统安装由于机床旋转轴安装情况复杂 ( 旋转轴和倾斜轴, 回转工作台直径大小不同等 ), 客户必须自己安装基准角度编码器 必须确保基准编码器的定子与转子间的连接刚性 为使基准编码器转动需要一定扭矩, 如果连接不牢, 将影响测量精度 半径 [mm] 回转工作台不同角度误差 ¹j 与加工位置距回转工作台中心距离 R 对定位精度 ¹x 的影响 基准编码器轴与测量系统静止件间长度为 L 和直径为 D 的连接件间有扭转, 如图 唯一需注意的因素是实心轴还是空心轴 扭矩误差 ["] a L D1 D b 直径 [mm] 100 mm 长联轴器的 ROD 880 扭转误差,a a) 不同直径 D1 实心轴 b) 外径 D1 = 25 mm 和不同内径 D2 的空心轴 14

15 测量回转轴的角度编码器 下表中的角度编码器精度和机械结构特别适用于旋转轴测量 它有内置轴承, 但与轴间有不同连接方式 : ROD 880 的轴用独立联轴器连接被测轴 相应联轴器, 例如 K01 膜片式联轴器或 K16 和 K17 扁平联轴器的详细说明, 参见内置轴承角度编码器产品样本 RON 886 和 RPN 886 编码器带定子联轴器 被测轴直接连接空心轴 RON 905 也有定子联轴器 被测轴直接连接盲孔轴 ROD 880 RON 886 RPN 886 RON 905 系统精度 ± 1 ± 0.4 增量信号» 1 V PP» 11 µa PP 线数 ( 个信号 周期 ) 测量步距用 IK 轴实心轴 D = 14 mm 空心轴,D= 60 mm 盲孔轴 启动扭矩 Nm,20 C 时 0.5 Nm,20 C 时 Nm,20 C 时 轴载荷 轴向径向 30 Nm; 30 Nm, 在轴端位置 重量约 2.0 kg 约 2.5 kg 约 4.0 kg ROD 880 RON 886/RPN 886 RON 905 更多信息, 参见内置轴承角度编码器样本 15

16 辅件 IK 220 计数卡 IK 220 是一个 PC 计算机计数卡, 有两路海德汉直线测量和角度测量位置编码器 ( 例如 KGM 或 VM) 输入接口 计数卡直接插在计算机的空闲 PCI 扩展槽中 IK 220 可将编码器正弦信号细分 倍 编码器信号用软件或用可调时间内部定时器读取和处理. 位置值用运行 ACCOM 数据处理软件的 PC 计算机确定 用户也可以借助驱动软件开发自己的软件 示例程序随 IK 220 提供 如果应用要求高分辨率信号和快速获取测量值,IK 220 是理想选择 随带部件 : IK 220 驱动软件 演示程序 输入信号 ( 可切换 ) 编码器输入 IK 220» 1 V PP» 11 µa PP EnDat 2.1 SSI 2 个 D-sub 型接头 (15 针 ), 针式 最大输入频率 500 khz 33 khz 最大电缆长度 60 m 10 m 信号细分倍数 ( 信号周期 : 测量步距 ) 至 倍 测量值数据寄存器 ( 每通道 ) 内部存储器 48 bit( 使用 44 bit) 个位置值 接口 PCI 总线 ( 即插即用 ) 驱动软件和演示程序 尺寸 Windows 98/NT/2000/XP VISUAL C++,VISUAL BASIC 和 BORLAND DELPHI 大约 190 mm x 100 mm 16

17 适配电缆 编码器到 IK 220 后续电子电路的连接电缆为辅件 不允许超过 10 m 的最大电缆长度 15-polig 15-pin 15-polig 15-pin 6mm xx 8mm xx 15-polig 15-pin KGM 181 KGM 182 ND 280, ND 287 6mm xx 8mm xx IK 220 VM 182 ROD 880 RON 886 RPN polig 12-pin xx xx ND 280, ND polig 9-pin RON xx xx 17

18 应用举例 用 KGM 182 检测自由曲面 用 VM 182 确定定位精度 18

19 约翰内斯 海德汉博士 ( 中国 ) 有限公司 地址 : 北京市顺义区天竺空港工业区 A 区天纬三街 6 号邮编 : 电话 : 传真 : sales@heidenhain.com.cn 上海办事处地址 : 上海市徐汇区淮海中路 1010 号嘉华中心 1701 室邮编 : 电话 : 传真 : shanghai@heidenhain.com.cn 广州办事处地址 : 广州市天河区天河路 208 号天河城侧粤海天河城大厦 3004B 邮编 : 电话 : 传真 : guangzhou@heidenhain.com.cn 哈尔滨办事处地址 : 黑龙江省哈尔滨市南岗区长江路 99-9 号辰能大厦 1308 室邮编 : 电话 : 传真 : harbin@heidenhain.com.cn 沈阳办事处地址 : 辽宁省沈阳市和平区和平北大街 69 号总统大厦 C 座 1808 室邮编 : 电话 : 传真 : shenyang@heidenhain.com.cn 西安办事处地址 : 陕西省西安市长安北路 91 号富城国际大厦 907 室邮编 : 电话 : 传真 : xian@heidenhain.com.cn 武汉办事处地址 : 湖北省武汉市武昌区中南路 7 号中商广场写字楼 A 座 2017 室邮编 : 电话 : 传真 : wuhan@heidenhain.com.cn 成都办事处地址 : 四川省成都市人民南路一段 86 号城市之心 19 楼 F 座邮编 : 电话 : 传真 : chengdu@heidenhain.com.cn 宁波办事处地址 : 浙江省宁波市江东区惊驾路 565 号中信泰富 B 座 204 室邮编 : 电话 : / 传真 : ningbo@heidenhain.com.cn 公司网址 : 海德汉有限公司 地址 : 香港九龙观塘开源道 49 号创贸广场 室 Unit , 20/F, Apec Plaza, 49 Hoi Yuen Road, Kwun Tong, Kowloon, Hong Kong 电话 : 传真 : sales@heidenhain.com.hk 208_871-Z /2012 H 中国印刷 如有变更, 恕不另行通知

µmµm µm ±µm µm ± µm µm ± µm µm µm µm µm µm ±µm ±µm ±µm µm µm µm µm µm µm µm µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm µm µm µm µm µm µm µm µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm µm µm ± µm ± µm ± µm µm µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm

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