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1 海德汉简讯 最新产品及技术信息专刊 第一期 海德汉是一家拥有 100 多年光刻制造技术历史的德国公司 以生产高精度 高质量的产品而著名, 产品主要包括直线光栅尺 长度计 角度编码器 旋转编码器 数控系统 3D 测头和数显装置等 光栅尺的分辨率高达 1 纳米, 精度高达 ±0.1 微米, 角度编码器精度高达 ±0.2 角秒, 绝对式角度编码器位数为 29 位,iTNC 530 高档数控系统具有优良的高速和 5 轴功能, 产品遍布全球 今天, 海德汉公司在全球范围内建立了 50 多个分支机构 销售工程师和技术服务人员都能够用当地语言为用户提供技术信息和服务 产品具有广泛的应用领域, 包括 : 机床行业 三坐标测量机 精密转台 工厂自动化 电机行业 电子制造设备 印刷行业 造纸行业 水利行业 纺织行业 天文望远镜 航空和航天工业等 约翰内斯 海德汉博士 ( 中国 ) 有限公司是德国海德汉公司在中国的独资公司, 从建立的第一天起就立志把为中国市场提供世界上技术最领先的产品, 以及最大力度地为广大的中国客户提供优质的服务作为宗旨, 并立志为中国制造业的发展做出一份贡献 目前, 在全国 9 个城市设有分支机构, 它们分别是 : 北京总部 上海办事处 哈尔滨办事处 广州办事处 成都办事处 西安办事处 沈阳办事处 武汉办事处和在香港的海德汉有限公司 目前, 约翰内斯 海德汉博士 ( 中国 ) 有限公司已经具备了完善的技术咨询 销售以及售后服务的组织结构 针对客户的不同需求, 我们会根据您所在的不同区域作出最迅速的反应 假如您是初次接触海德汉产品的用户, 我们的技术人员会给您详细的技术咨询和帮助 假如您是经常使用海德汉产品的用户, 您一定能充分体验到世界上第一流产品的质量和海德汉人执著的精神 海德汉的全体员工将秉承为客户提供最优质的服务 品质最优良的产品, 并不断自我完善的宗旨, 我们坚信海德汉必将成为广大客户在发展过程中最紧密的伙伴 目录 展会 技术交流及培训信息发布 P2 新产品新技术介绍 P2-6 直线光栅尺提高加工精度 P 年 4 月

2 展览会 TNC 系列数控培训 展会名称展会时间展会地点 CCMT 中国数控机床展览会 4 月 21~25 日 北京中国国际展览中心 1B-001 Die & Mould 第十二届中国国际模具技术和设备展览会 5 月 12~16 日 上海新国际博览中心 A266 CIEME 第七届中国国际装备制造业博览会 9 月 1~5 日 沈阳国际会展中心 CIMES 第九届中国国际机床工具展览会 10 月 9~13 日 北京新中国国际展览中心 DMP 第十届东莞国际模具及金属加工展 11 月 12~15 日 东莞广东现代国际展览中心 技术交流 重庆立嘉机床展览会期间 时间 : 4 月 2 日下午 14:00-16:00 地点 : 重庆国际会议展览中心 2 层 中国数控机床展览会期间 时间 : 4 月 23 日上午 9:30-12:00 地点 : 北京国际展览中心综合服务楼 204 会议室 中国国际模具 模具装备及相关工业展览会期间 时间 : 5 月 14 日上午 9:30-12:00 地点 : 上海浦东新国际博览中心 W1 馆会议室 约翰内斯 海德汉博士 ( 中国 ) 有限公司在北京总公司与上海办事处设有数控系统培训室, 拥有完善的培训设备 编程培训站 调试实验台 五轴加工中心 定期提供 TNC 系统基础编程操作 TNC 系统高级功能 TNC 系统基础维修 TNC 系统调试 PLC 培训 定期培训内容与计划可以查询公司网站 同时可以针对客户具体需求提供现场培训 NC 编程 基础培训针对最终用户或机床厂商全面地介绍 TNC 530 系统的基础操作编程功能 NC 编程 高级培训针对较熟悉 TNC 530 系统的客户全面介绍系统高级编程功能与五轴功能 TNC 系统基础维修培训针对最终用户或机床厂商维修人员介绍 TNC 530 系统硬件组成 基础诊断功能与 PLC 命令与基本结构 itnc 530 OEM 培训针对机床厂商与改造厂商介绍 TNC 530 系统安装调试 PLC 编程 系统优化咨询或报名请发 至 : training@heidenhain.com.cn 封闭式直线光栅尺 绝对式直线光栅尺 LC 183/LC 483: 新的单场扫描技术提高了光栅尺的信号质量和抗污染能力 ; 测量长度可达 4240mm, 分辨率高达 5nm; 绝对式光栅尺使得机床运行时不需要回零操作, 同时简化机床结构设计 ( 不需参考开关 ); 最新的双向数字接口 EnDat 2.2 可传输绝对式编码器和增量式编码器位置信息值, 还能传输或更新保存在编码器中的信息或保存新信息 LC 483/LC 183 角度编码器 内置轴承绝对式角度编码器 RCN 829 /RCN 729 可应用于高精度转台, 其空心轴直径尺寸可达 Φ100mm, 系统精度高达 ±1 / 2, 每转位置数达 29bits 无内置轴承增量式角度编码器 ERA 4000 系列可应用于机床转台和摆头, 其尺寸紧凑, 安装简便, 允许的轴转速可达 10,000 rpm, 其空心轴直径可达 Φ512 mm, 系统精度可达 ±2 模块化磁电角度编码器 ERM 2400 系列主要应用于铣床电主轴和车床 C 轴定位, 对污染不敏感, 安装简便, 允许的轴转速高达 rpm, 空心轴直径可达 Φ55 mm RCN 829 / RCN 729 ERA 4000 ERM

3 敞开式直线光栅尺 EnDat 2.2 接口 高精度纳米级开放式直线光栅尺 LIP 200 系列 : 主要应用于半导体制造设备 齿轮测量设备 高精密加工机床等, 具有超高精度 (±1 μm) 高分辨率 (~31.25 pm), 低细分误差, 移动速度 3m/s 玻璃或玻璃陶瓷基体 刻线参考点, 测量长度可达到 3m, 易于安装等特点 温度稳定性好的敞开式直线光栅尺 LIDA 403 系列 : 刻线的基体为玻璃或玻璃陶瓷, 主要应用于坐标测量机 自动化生产线或与直线电机配合等, 具有很好的温度稳定性 较快的移动速度 较高的精度和允许较大的安装误差等特点 EnDat 2.2 数据接口是海德汉公司开发的双向数字接口, 它不仅能够传输增量式或绝对式编码器位置数据, 而且能够传输和存储编码器参数 OEM 数据以及报警和诊断信息 显著特点 : 低系统成本 : 通用接口适于所有增量和绝对式编码器 ; 后续电路简化 ; 无需遥控传感信号, 供电电源简化 ; 连接电缆不需双屏蔽和接头标准化 ; 可发送附加信息 ( 限位开关 / 温度 / 加速度 ); 快速的系统配置, 零点可根据偏置值设置 高数据传输频率 : 时钟频率最高可达 8MHz (EIB 可达 16 MHz) 更好的信号质量 : 全数字信号传输, 抗干扰能力增强 ; 内部集成了细分和优化功能提高系统精度 ; 为数控系统提供更好的轮廓精度, 尤其是直接驱动 更高的实用性 : 自动电子 ID; 可提供监控与诊断信息 ; 可实现在线诊断 系统的安全性提高 : 两个独立的位置信息及错误信息位, 数据侦的校验及应答, 满足 SIL2 标准 LIP 200 LIDA 403 itnc 530 最新功能 海德汉的数控系统一直由于其友好的人机操作界面 超强的高速 高精 高表面质量和五轴加工控制功能而著称, 在高档数控机床密集的欧洲市场拥有大量忠实用户 itnc 530 是海德汉公司久经市场验证的高端数控系统, 主要具有如下特点 : 友好的界面 面向车间的编程方法, 对话式编程和 SmarT.NC 编程 更短的程序段处理时间 (0.5 ms) 和优异的轮廓加工精度 优异的五轴加工特性 刀具中心点管理和倾斜加工面功能, 使加工速度 精度 表面光洁度达到良好的统一 DCM 动态碰撞监控功能 解决了多轴加工复杂的干涉碰撞实时检查问题 3 AFC 自适应进给控制功能 减少加工时间 监控刀具 减少机床故障率 DXF 转换 导入 DXF 文件, 直接生成加工程序, 使 CAD/CAM 与数控加工无缝集成 对话格式编程 无需记忆 G 代码, 清晰的提问和提示可帮助用户输入加工程序, SmarT.NC 使编程前所未有的简易 TNCGuide 在控制系统中提供在线帮助, 方便在机编程查询 全局程序参数设置 特别适合于大型模具再加工过程中进行设置变换 itnc 的 x-04 版 NC 数控软件为机床制造商和用户提供了一系列新增功能 这些新功能使数控系统操作更简单, 机床工作更安全 下面着重介绍 itnc 530 的最新功能 动态碰撞监测 DCM( 选装项 ) 动态碰撞检测 DCM 功能用于避免机床和工件被损坏 虽然 CAD/CAM 系统创建的 NC 程序可以避免刀具与工件的碰撞, 但机床加工区域内的机床部件碰撞情况却未被考虑到 海德汉公司对此进行了研究, 使机床制造商可以通过数控系统定义机床加工区 操作人员在显示器上可以看到有碰撞危险的机床部件, 并可操作机床移出碰撞区 可调整的分屏显示布局是一个新特性, 例如可以在一个窗口显示程序段, 而在另一个窗口显示加工区 如果检测到有碰撞危险, 数控系统将自动中断加工, 从而避免碰撞发生

4 自适应进给控制 AFC ( 选装项 ) 自适应进给控制 AFC 是一个根据刀具轴性能和其他工艺参数优化进给速率的功能 状态窗口显示的动态条形图是一个新特性 它显示轮廓加工进给速率和主轴性能间的相互关系 在数据获取阶段,TNC 在弹出窗口中显示当前保存的参考功率 根据需要, 可用软键复位参考功率测量值, 将其复位到设置点并重新获取数据 DXF 转换工具 ( 选装项 ) 使用 DXF 转换工具可以在 itnc 530 系统中直接打开 CAD 文件, 读取轮廓信息 方便地读取轮廓不仅能节省编程和测试时间, 更重要的是可以确保最终加工轮廓完全符合设计人员的技术要求 新版软件的处理效率显著提高 : 可保存最后选择的 DXF 文件的缩放设置值 可保存最后选择的 DXF 文件的原点设置 允许直接指定圆心 新增信息框显示被选元素的全部相关信息, 体贴周到 同时, 系统还显示加工位置的 X/Y 坐标值 轮廓元素的起点和终点 圆的圆心和旋转方向 KinematicsOpt( 选装项 ) 如何获取较高的加工精度是永恒的热点话题, 特别是 5 轴加工 复杂工件的加工意味着刀具运动复杂, 定位精度要求高 最新 KinematicsOpt 能够确保精度在长时间内有很好的可重复性, 从而保证大批量生产的高质量 原理 : 旋转轴可用 3 - D 测头进行全自动测量 3 - D 测头探测循环在机床上全自动地测量旋转轴, 旋转轴可以在工作台上或也可以在铣头上 将校准球固定在机床上的任何位置处, 以操作人员定义的分辨率进行测量 允许操作人员定义需测量的任一旋转轴 itnc 530 系统用该信息确定倾斜精度的统计值 最大限度减小倾斜运动导致的空间误差 机床几何特性保存在运动特性表中 全面的日志文件 实际被测值和测量值的分布或优化的分布值 ( 偏离精度的统计值 ) 和实际补偿值也同时被保存起来 全局程序参数设置 ( 选装项 ) itnc 530 的全局程序参数设置功能使大量已有 NC 程序的修改简单易行 定义坐标变换和影响全局的设置值, 并应用到所选零件程序上 这样使实际 NC 程序不需要修改 除原点平移 旋转和镜像外, 还允许启动或停止轴运动, 调整手轮倍率调节设置值 新增虚拟轴 (VT) 功能 例如, 若用一个常数余量执行整个零件程序, 用手轮沿当前刀具轴移动刀具 ( 启动刀具中心点管理功能 ) 用 HR 420 手轮 : 然后直接用手轮软键选择虚拟轴 (VT) 在手轮显示屏上可看到沿虚拟轴方向的运动距离值 对无位置显示功能的手轮 : 用机床制造商定义的机床软键选择虚拟轴 在单独位置显示区 ( 以及全局程序参数设置窗体中 ) 显示移动的距离 这个值将被一直保存到换刀或该功能停止时 因此, 全局程序参数设置特别适合大型模具制造应用 3-D 基本旋转, 特定机床 ( 升级功能 ) 该功能用于修正工件的三维不对正误差 (3-D 设置补偿 ) 前提条件 : 机床至少有两个旋转轴 机床制造商开放此功能 4

5 MANUALplus 620 数控和手自一体车床的轮廓加工数控系统 多年来,MANUALplus 4110 已被事实证明是面向应用的车床数控系统 现在, 海德汉公司推出了新一代车床数控系统 MANUALplus 620, 它适用于 CNC 数控车床和手自一体车床, 提供更强的循环编程功能和全新的编程操作模式 smartturn MANUALplus 数控和手自一体车床的数控系统 MANUALplus 620 设计用于带主轴 一个滑板 (X 和 Z 轴 ) C 轴或位置可调主轴和动力驱动刀具的车床, 适用于卧式或立式带简单刀座或转台的车床 MANUALplus 620 简单易学的循环编程功能为操作人员带来更多好处, 使其更快和更高效地加工工件 如果要求提高或车床的加工任务难度增加, 操作人员可以用最新的 smartturn 编程模式编写 NC 程序 smartturn 编程操作模式的基础是 CNC 车床的 NC 程序 这种全新的 NC 编程方法简单易学, 机床操作员不需要处理 G 或 M 代码, 而是用结构化的加工单元程序段进行编程, 只需要用户按需在操作窗口中进行输入 循环加工 用 G 或 M 代码的 实际 NC 程序的编写和测试对中小批量生产应用而言非常耗时 MANUALplus 的循环编程功能使机床操作人员可以集中精力在工件加工上 操作人员决定加工用刀具 选择循环 定义所需参数 通过图形仿真功能监测加工过程和执行循环 这种面向应用的方式在加工第一件工件的同时也完成了循环程序的编程 保存循环程序后, 机床操作员可以使程序自动执行, 节省今后零件加工时间并降低成本 用户可以在 MANUALplus 系统上直接定义简单的车削和铣削轮廓的加工循环, 也可以用 ICP 轮廓编程功能快速描述复杂的轮廓, 没有附加的计算工作 用 ICP 描述轮廓 通过 ICP 轮廓编辑器的交互式图形描述工件或轮廓, 也可以逐次输入轮廓元素来创建轮廓 选择轮廓元素时, 就指定了线段方向或圆弧旋转方向 因此, 输入非常有限的轮廓元素信息后,MANUALplus 会自动计算缺失的坐标值 交点 圆心点等 如有多个解,ICP 显示每一个可能的数学解, 使用户可以选择正确的解 导入 DXF: 如果已经有 DXF 格式的工件图纸文件, 那么描述轮廓更加简单, 这是由于 ICP 功能允许用户导入 DXF 格式文件中的轮廓 这样不仅能节省测试时间, 更重要的是能确保最终轮廓完全符合设计人员的技术要求 刀具和工艺数据库 MANUALplus 保存刀具及切削数据和设置尺寸的操作非常简单, 其刀具数据库不仅容量更大, 数据输入更容易理解, MANUALplus 620 还支持将刀具置于转台上的功能 如需改变刀具布置或更换转台上的刀具, 在顶部窗口将显示转台上的当前刀具, 在底部窗口将显示刀具数据库中的信息 这时用户只需选择所需转台刀位并从刀具数据库中选择正确刀具 只需一键就能将刀具数据传输到转台布置记录中 MANUALplus 620 用户只需输入一次切削数据 工艺数据库按照工件材质 切削材质和加工模式条件保存切削数据 由于该表为三维结构, 数控系统可以自始至终确定恰当的进给速率和正确的切削速度 MANUALplus 620 用循环或 smartturn 的加工单元决定加工模式 切削材料定义包含在刀具描述中 只需将工件材料定义在循环程序或 smartturn 程序中, 然后工艺数据库将为加工操作提出合理的建议值 操作人员可以用建议的切削参数, 也可根据需要调整参数 5

6 创新的红外线测头 TS 740 和 TS 444 是海德汉公司最新开发的工件测头 TS 高精度测头 TS 740 测头特别适用于高精度和高重复性测量任务, 重复定位精度 <0.25 μm TS 740 的测量力非常小, 但在大加速度和快速探测时却不会产生非受控触发信号 探测过程 : 接触工件时, 测针偏离自由位置, 使力作用在感压元件上, 感压元件是最新开发的该型测头的核心 受力大小变化被电子设备处理并生成触发信号 TS 无电池测头 TS 444 是一个全新的无电池测头产品 它完全避免了电池的拆装 存放和处置 唯一需要的是通过主轴提供压缩空气, 而且压缩空气无需进行特别的净化处理 TS 444 可以在被测位置进行工件清洁的同时对测头充电 气压力不能低于 5 bars 在压力为 5.5 bars 时,3 秒钟可完成一次探测充电, 所产生的电量足以为 2 分钟的测量供电 TS 640 和 TS 高可靠性测头 海德汉高可靠性的 TS 640 和 TS 440 测头也增加了一些新功能 延长工作时间每套电池的工作时间增加了一倍 通过改进电路,TS 640 工作时间达到约 800 小时,TS 440 达到约 200 小时 可用多种电池现在开始也可用普通的碱性电池或充电电池, 但是请注意高质量锂电池使用寿命更长 光学指示灯操作人员可以知道测头是否在工作 新指示灯反映测针是否偏离自由位置 供电原理 : 压缩空气通过锥柄进入测头, 在探测前清洁被测位置 压缩空气驱动涡轮转动产生变化的磁场从而产生电流, 电流保存在大容量电容内 离开涡轮的空气用于清洁被测位置 测头的充电时间取决于压力大小, 压力越高, 充电时间越短 为确保充电可在合理时间内完成, 压缩空 TS 740 TS 444 直线光栅尺提高加工精度 机床能否适应快速变化的工作条件是影响其加工精度的决定性因素 从粗加工到精加工, 机床承受的机械和热负荷完全不同 小批量生产的灵活加工方式也造成工作条件的快速变化 特别是小批量生产, 尤其是公差要求严格的订单的创利能力取决于首件工件能够达到的加工精度 这是为什么机床温度精度越来越重要的原因 本文重点讨论进给驱动 高速和高加速度情况下驱动大载荷造成机床生热 如果没有相应位置检测技术, 几分钟时间内温度变化导致的定位误差可达到 100 μm 图 1: 典型加工情况 6

7 机床热稳定性 避免造成工件尺寸因机床发热而产生偏差是机床行业面对的日益重大课题 主动冷却 对称的机床结构和温度测量技术已获广泛应用 机床温度变化主要是由进给轴滚珠丝杠造成的 沿滚珠丝杠的温度分布与进给速率和驱动力大小紧密相关 在没有采用直线光栅尺的机床上, 因温度导致丝杠长度的变化 ( 典型值 :20 分钟 100 μm/m), 会使工件产生严重缺陷 进给驱动的位置测量 图 2: 半闭环控制模式下的滚珠丝杠和旋转编码器位置反馈控制 原则上可以用滚珠丝杠和安装在丝杠上的旋转编码器作 NC 进给轴位置检测, 也可以用直线光栅尺检测 如果滑架位置用丝杠螺距和旋转编码器 ( 图 2) 检测, 滚珠丝杠必须承担两项任务 : 作为驱动系统, 它必须传递大驱动力, 但作为测量设备, 希望它能提供高精度位置值和可重复性的螺距值 但是, 位置控制环上只有旋转编码器 因为驱动机构的磨损或温度变化不能被补偿, 所以这种结构被称为半闭环控制 驱动系统存在无法避免的定位误差, 并严重影响工件质量 如果用直线光栅尺检测滑架位置 ( 图 3), 位置控制环包括全部进给机构 因此, 也被称为全闭环控制 那么, 机床驱动部件的间隙和传递误差就不再影响位置检测精度 其精度几乎只取决于直线光栅尺精度和安装位置 图 3: 全闭环控制模式下的直线光栅尺位置反馈控制 驱动精度的保证 举例 : 阵列孔工件 全闭环控制模式的进给轴加工精度可以用连续加工简单阵列孔工件说明, 阵列孔沿长度方向均匀分布 半闭环控制模式加工时, 热变形导致的误差造成钻孔位置改变, 可以明显看出滚珠丝杠的受热影响 半闭环控制模式下的加工误差可以用同一毛坯被加工为同批次的多个零件方法检查 图 4 为同一毛坯被加工为同批次多个工件情况 首先钻三个孔, 然后铣前后端面 再空刀模拟加工其他 30 个工件 之后, 用 2 mm 进给重复进行钻孔和铣削 经过 9 次往返,40 分钟后, 加工完成 图 4: 驱动精度对连续生产的影响 : 滚珠丝杠的固定轴承 7

8 滚珠丝杠产生的大量热量使前端面 后端面和孔的内表面 ( 图 5) 形成台阶 距离滚珠丝杠固定轴承最远位置处孔偏移距离达 213 μm 按照 ISO 标准用 VM182 比较仪测量热稳定性造成的位置误差也能得到类似结果 : 滚珠丝杠螺母距离固定轴承位置越远, 位置偏移越大 在全闭环控制模式下, 高精度直线光栅尺可以补偿温度变化影响 VDI-DGQ 3431 和 ISO 测试标准通常用于机床验收时精度检测, 但它不包括温度影响的精度 总结 要成功完成加工订单, 必须要求机床具有高的热稳定性 即使负载不同, 也必须保证加工精度 这样才能在整个行程上保证要求的公差精度, 包括速度和切削力大幅变化时 直线进给轴驱动的滚珠丝杠热膨胀严重影响精度且受速度和载荷大小变化的影响 如果滑架位置仅用丝杠螺距和旋转编码器反馈,20 分钟的定位误差可达 100 μm 由于该方法在控制环内无法补偿 这些基本驱动误差, 因此称它为半闭环控制系统 但是直线光栅尺可以完全补偿这些误差 采用直线光栅尺的进给驱动工作模式为全闭环控制系统, 滚珠丝杠的误差在被测量并在全闭环控制中被补偿 用角度编码器取代旋转编码器也有类似的优点, 因为机械传动部件也有热膨胀 直线光栅尺和角度编码器是确保加工工件精度的基础, 包括机床工作条件不断变化的严酷情况 半闭环 : 热漂移 全闭环 : 无热漂移 40 图 5: 连续生产中阵列孔偏差 图 6:X 轴运动范围上不同位置的偏移情况 (ISO 230-3) 约翰内斯 海德汉博士 ( 中国 ) 有限公司 地址 : 北京市顺义区天竺空港工业区 A 区天纬三街 6 号邮编 : 电话 : 传真 : sales@heidenhain.com.cn 海德汉有限公司 地址 : 香港九龙观塘开源道 49 号创贸广场 室电话 : 传真 : sales@heidenhain.com.hk 公司网址 : 上海办事处地址 : 上海市徐汇区天钥桥路 333 号腾飞大厦 8 层邮编 : 电话 : 传真 : shanghai@heidenhain.com.cn 哈尔滨办事处地址 : 黑龙江省哈尔滨市南岗区长江路 99-9 号辰能大厦 1308 室邮编 : 电话 : 传真 : harbin@heidenhain.com.cn 西安办事处地址 : 陕西省西安市长安北路 91 号富城国际大厦 907 室邮编 : 电话 : 传真 : xian@heidenhain.com.cn 广州办事处地址 : 广东省广州市天河区黄埔大道西 76 号富力盈隆广场 305 室邮编 : 电话 : 传真 : guangzhou@heidenhain.com.cn 成都办事处地址 : 四川省成都市人民南路一段 86 号城市之心 19 楼 F 座邮编 : 电话 : 传真 : chengdu@heidenhain.com.cn 沈阳办事处地址 : 辽宁省沈阳市和平区和平北大街 69 号总统大厦 C 座 1808 室邮编 : 电话 : 传真 : shenyang@heidenhain.com.cn 武汉办事处地址 : 湖北省武汉市武昌区中南路 7 号中商广场写字楼 A 座 2017 室邮编 : 电话 : 传真 : wuhan@heidenhain.com.cn

µmµm µm ±µm µm ± µm µm ± µm µm µm µm µm µm ±µm ±µm ±µm µm µm µm µm µm µm µm µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm µm µm µm µm µm µm µm µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm µm µm ± µm ± µm ± µm µm µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm ±µm

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