01 - PDF Free Download

1974 02

04 C/C 14 PERMA-FOIL 22 30 40 / 54 03 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

碳-石墨产品特种石墨 1 单晶硅制造设备 2 临界等离子测试设备 JT-60 * 照片由日本原子能研究开发机构提供 (1) (2)

CIP 100 μm 2000 2500 100 μm 0 5 10 15 20 [Mg/m 3 ] 05 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

/ 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 06

LEDEDM * * CVD 07 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

MOCVD MOCVD SiC EDM EDM 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 08

Mg/m 3 HSD μω m MPa MPa MPa GPa 10-6 /K W/(m K) (mm) IG-11 1.77 51 11.0 39 78 25 9.8 4.5 120 305 x 620 x 1000 410 x 410 x 2040 D585 x 1050 IG-12 1.78 55 12.5 39 88 28 10.8 4.7 100 305 x 620 x 1000 D585 x 1050 IG-15 1.90 60 9.5 54 103 29 11.8 4.8 140 230 x 620 x 1000 IG-19 1.75 60 17.0 38 88 25 9.5 4.6 80 D585 x 1050 305 x 620 x 1000 IG-43 1.82 55 9.2 54 90 37 10.8 4.8 140 300 x 540 x 850 IG-45 1.88 55 9.0 60 110 40 12.0 4.9 140 300 x 540 x 850 IG-56 1.77 57 12.2 43 88 27 10.3 4.7 100 190 x 620 x 1500 D1150 x 560 IG-70 1.83 58 10.0 47 103 31 11.8 4.6 130 305 x 620 x 1000 D460 x 1050 ISEM-1 1.68 45 13.5 36 69 20 8.8 4.2 90 305 x 620 x 1000 ISEM-2 1.78 55 11.0 41 83 25 9.8 4.6 120 305 x 620 x 1000 ISEM-3 1.85 60 10.0 49 103 29 11.8 5.0 130 305 x 620 x 1000 ISEM-8 1.78 63 13.4 52 106 34 10.1 5.6 90 305 x 620 x 1050 1200 ISO-63 1.78 76 15.0 65 135 46 12.0 5.6 70 230 x 540 x 1000 ISO-66 1.82 75 14.4 70 134 46 12.6 7.1 80 180 x 450 x 850 ISO-68 1.82 80 15.5 76 172 54 13.2 5.6 70 230 x 540 x 1000 TTK-50 1.80 70 13.0 60 130 40 11.5 5.1 100 305 x 620 x 1000 230 x 540 x 1000 TTK-4 1.78 72 14.0 73 135 49 10.9 5.0 90 210 x 510 x 950 TTK-5 1.78 80 15.5 80 150 53 11.6 5.7 80 210 x 510 x 950 TTK-8 1.77 78 15.0 80 155 55 12.0 5.3 80 150 x 400 x 700 TTK-9 1.77 90 18.0 92 180 67 13.0 5.8 70 150 x 400 x 700 SIC-6 1.85 60 10.0 49 103 29 11.8 5.0 130 305 x 620 x 1000 SIC-12 1.77 65 14.1 47 93 29 10.8 5.0 80 305 x 620 x 1000 HPG-51 1.78 73 14.3 75 140 50 11.0 5.1 90 210 x 510 x 950 HPG-53 1.78 81 15.7 80 156 55 11.8 5.8 80 210 x 510 x 950 HPG-59 1.91 88 13.5 100 210 74 12.7 5.7 95 100 x 500 x 950 HPG-81 1.77 80 15.1 83 161 58 12.2 5.2 80 150 x 400 x 700 HPG-83 1.77 92 18.2 96 187 70 13.3 5.9 70 150 x 400 x 700 * * 350450 * μω m=μω cm 0.01 MPa=kgf/cm 2 0.098 GPa=kgf/mm 2 0.0098 W/(m K)=kcal/h m C 1.16 * ppm <0.001 <0.001 <0.03 ICP-MS <0.001 0.018 40 ICP-MS 0.10 0.15 3 ICP-MS <0.004 0.006 <0.3 ICP-MS <0.002 <0.002 <0.5 ICP-MS <0.001 <0.001 <0.2 ICP-MS <0.001 0.004 0.2 ICP-MS <0.02 0.06 26 ICP-MS <0.001 0.012 14 ICP-MS <0.001 <0.001 <0.3 ICP-MS <0.1 <0.1 2 <0.001 0.006 4 ICP-MS <0.03 0.04 2 FL-AAS <0.002 <0.002 <1 ICP-MS <0.01 0.08 6 FL-AAS <0.002 <0.002 <0.6 ICP-MS <0.001 <0.001 33 ICP-MS <0.001 <0.001 <1 ICP-MS * * ICP-MS:FL-AAS * 400ppm ppm 09 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

* 800 Al4C3 1600 B4C 600800 Fe3C 400450 C64Na O2 218 CoC, Co3C 700 Mo2C 1310 1150 SiC 1400 W2C, WC 300 C8K 500 Li2C2 900 Be2C 1200 COB V 438 CO, V III 485 CO, Fe IV 930 CO, Ti, TiC 1250 CO, Si, SiC 1280 CO, Al, Al4C3 960 CO, Be, Be2C 1350 CO, Mg IV 1300 CO, Zr, ZrC * [Pa] 10 7 10 5 10 3 10 1 10-1 10-3 10-5 1atm=1.01 10 5 Pa 10-7 1000 1500 2000 2500 3000 3500 4000 4500 [] 2,200 TDS [Pa/g] 10-1 10-2 10-3 10-4 10-5 1K/s 10 10 1mm IG-11 IG-110 IG-110U 10-6 10-7 0 500 1000 1500 [] / * / / 420460 /CO, CO2 100 (O2) 420460 /CO, CO2 (H2O) 650 /CO, CO2, H2 (CO2) 900 / CO (H2) 700 /CH4 C2H2, C2H4, C2H6 (N2) 2700N2C2N2 (Cl2) 0 (F2) 4201900 /CF CF4, C2F6 Ar 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 10

20 (IG-11) 120 [μωm] 15 10 5 IG-19 IG-56 IG-11 [MPa] 100 80 60 40 20 0 0 500 1000 1500 [] 2000 0 0 500 1000 1500 2000 2500 [] 2500 0.8 140 [%] 0.7 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 ISO-66 ISO-68 IG-11 (W/(m K)) 120 100 80 60 IG-15, IG-43 IG-11 IG-12 0 0 500 1000 [] 40 0 500 1000 1500 [] 0 10 20 30 [10-6 /K] 0 100 200 300 400 [W/(m K)] (%) 10-2 = 10-6 /K [W/(m K)] = 0.13 10 4 [μω m] 11 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

2.5 2.0 1.4 1.2 1.0 [J/(g K)] 1.5 [m 2 /s 10-4 ] 0.8 0.6 1.0 0.4 0.2 0.5 0 500 1000 1500 [] 1/3 0 0 500 1000 1500 [] = - 100 90 [%] 80 70 IG-610U 60 0 500 1000 1500 2000 [] (IG-12) 40 20 100 80 [MPa] 0-20 -40-60 -80 [mm 3 /g] 50 ISO-63 IG-11-100 -4-3 -2-1 0 1 2 [] 0 0.01 0.05 0.1 0.5 1 1.8 5 [μm] IG-11 80/2 = 40 mm 3 /gg1.8 μm 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 12

Ry12 Ry3 RyRaRz Ry Ra Rz Ry Ra Rz 0.75 Rz3 Ry0.8 0.2 Rz0.8 3.0 Rz12 Ry6.3 1.6 Rz6.3 Ry35 8.75 Rz35 Ry25 6.3 Rz25 Ry100 25 Rz100 Ry100 25 Rz100 * 3.0 Ra 3.0 JIS B0405 0.5 6 0.1 6 30 0.2 30 120 0.3 120 400 0.5 400 1000 0.8 1000 2000 1.2 mm * 13 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

- C/C JAXA

C/C C/C - C/CCX C/C (1000) 200 C/C C/C C/C MPa 200 100 CX-761 IG-56 0.5 % C/C 2000 MPa 600 300 SUS310 CX-761 500 1000 C/C Mg/m 3 10 5 C/C CX-2002 CVI W/(m K) 400 200 IG-56 CX-2002 15 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

CF FW C/C 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 16

C/C PECVD * C/C 17 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

C/C 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 18

C/C (Mg/m 3 ) (μω m) (MPa) (GPa) (MPa) RT 1273K (10-6 /K) / (W/(m k)) (^) (//) (^) (//) CX-741 1.51 23 140 46 185 8.1 <1 6 35 CX-761 1.58 20 185 55 250 8.4 <1 9 44 C/C CX-742 1.48 24 130 42 170 7.8 <1 5 34 B CX-762 1.58 21 170 50 185 8.2 <1 8 42 2DC/C B CX-31 1.61 22 90 23 98 4.1 <1 12 52 C/C-201 1) 1.50 30 147 47 127 8.2 <1 5 20 C/C-501 1) 1.50 29 216 50 147 <1 5 20 CX-743 1.48 24 130 7.8 <1 5 34 CX-763 1.58 21 170 8.2 <1 8 42 CX-45 1.44 24 105 34 114 8 <1 4 34 CX-47 1.52 23 140 45 154 8 <1 6 35 CX-510V 1.57 13 195 290 7 <1 7 - FW FWC/C C/C-FW1) 150 12 245 245 <1 5 30 FW CX-55 1.60 11 195 290 7.4 <1 7 - FW CX-2002U 2) 1.65 2.7, 3.4, 5.1 (X, Y, Z) 47, 43, 17 (X, Y, Z) 35, 30, 11 (X, Y, Z) 5.3 (Z) 1.7, 2.3 (X, Y) 1.77 12 43 10 27 4.7 104 IG-56 * 1 Ohwada Carbon Industrial Co., Ltd. 2ZXY 190 (Z) 390, 320 (X, Y) C/C A A mm mm CX-741, CX-761 2000*1500*0.8-30 CX-743, CX-763 U 80*20-145*1.2*1000 CX-742, CX-762 3000*1500*0.8-30 CX-743, CX-763 h 107*44*1.5*1000 CX-31 850*400 3.2-90t CX-510V ø116846" C/C-201 1020*970*1-12 970*720*1-12 C/C-FW ø950*800h, 20-150t C/C-501 300*300*20 CX-55 ø10-1400, 1400L CX-45, CX-47 ø300-1400, 1400L CX-2002U 40*150*150 (X*Y*Z) * Uh 50 (1) (1) (1) (2) (2) (2) CX-510V ppm <0.05 <0.02 <0.08 <0.1 <0.04 <0.09 <0.07 <0.07 <0.04 <0.1 <0.08 AAS ICP-AES ICP-AES AAS ICP-AES ICP-AES AAS ICP-AES ICP-AES ICP-AES ICP-AES * * ICP-AES:AAS * CX-510V GK1 Glastix Kote CVI* R1 TS* * / / % GKI 5 CVI TS R1 60 GKI 30 CVI 19 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

300 400 (MPa) 200 100 CX-761 CX-31 1) (MPa) 300 200 100 CX-761 CX-31 1) 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1400 0 0 500 1000 1500 2000 (kn) 20 15 10 5 2) CX-31 C/C-201 CX-31V (μω m) 300 200 100 CX-761 CX-31 1) C/C 0 M6 M8 M10 M12 M16 M18 M20 0 0 500 1000 1500 2000 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 0 1) CX-31 CX-761 (J/(g k)) 2.5 2 1.5 1 0.5 CX-761 CX-31 1) -0.1 0 200 400 600 800 1000 1200 0 0 500 1000 1500 2000 ( ) 120 (//) 120 100 100 (W/(m k)) 80 1) 60 40 CX-31 20 CX-761 0 0 200 400 600 800 1000 1200 (W/(m k)) 80 60 40 20 1) CX-31 CX-761 0 0 200 400 600 800 1000 1200 1) :IG-56 2) :ISO68 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 20

C/C 1. 2. 3. <>30MPa200mm250mm [] C/C 1 2 3 4 5 6 1 C/C C/C-FW 2 OP-4800N 3 IG-70 4 C/C C/C-201 5 ISO-68 6 IG-70 C/C C/C-FW 245MPa ø340 23kg 31MPa ø520 83kg C/C :Ohwada Carbon Industrial Co., Ltd. 1. : 9006004085kgC/C8.5kg C/C 2. : 100010 3. : 2000 4. C/C 5. * [] Kgf mm 500 900 x 600 x 40 750 900 x 600 x 45 1000 900 x 600 x 50 21 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

- PERMA-FOIL (1) (2) (3) (1) PERMA-FOIL (2) PERMA-FOIL (3) PERMA-FOIL

PERMA-FOIL PERMA-FOIL PERMA-FOIL z PERMA-FOIL -2003,200 c0 = 0.6708 nm x a0 = 0.2461 nm 0.1421 nm y PERMA - FOIL PERMA-FOIL PERMA-FOIL * 3691836 IT * 2620606 PERMA-FOIL 0 10 20 [Mg/m 3 ] PERMA-FOIL 0 1000 2000 3000 [] 23 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

500 μm PERMA - FOIL 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 24

PERMA-FOIL IT PF PERMA-FOIL PF-R2 PF-HP PERMA - FOIL PF-G3 R2 PF-UHP, UHPU, UHPL PF-A 1.5 PF-SUS, AL SUS S PF48F * 25 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

PF PF-R2 PF-HP PF-G3 PF-UHPL PF-UHP, UHPU -2003200 mm 0.21.0 0.21.5 0.051.0 0.21.0 0.38 0.11.5 Mg/m 3 0.51.1 0.51.1 0.52.0 0.51.1 1.0 1.0, 0.9 % 40 25 40 3 5 5 440 730 630 850 820 820 MPa 4.9 5.2 4.9 5.1 6.3 6.3 ppm 1000 1000 1000 1000 <1 <1 ppm <10 <10 <10 <10 <3 <3 % 47 % 15 % 1.0 % 0.5 0.5 0.1 0.5 <20 ppm <10 ppm ph - 5.1 5.1 5.1 5.1 7.0 7.0 0.1MPa m 2 /s 1.3 x 10-10 5 x 10-6 1/K 2 x 10-4 25 25 200 W/(m K) 5 7 μω m 1000 - UL94 V-0 * * 1.0Mg/m 3 * 6701 * * 300400 * * PERMA - FOIL 12 0 PF-50 PF-50R2 PF-50G3 10 [] 50 [MPa] 8 6 4 2 PF 100 300 500 700 900 [] 0 0 0.5 10 15 Mg/m 3 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 26

PF-50 Mg/m 3 3.0 2.5 2.0 1.5 1.0 / * JIS R3453 0.5 1 2 5 10 20 50 100 200 500 / [MPa] PF-50 [10-6 m 3 /s] 0.05 0.04 0.03 0.02 0.01 0 0.1 0.5 1 2 3 4 5 10 Ø65xØ50 (mm) [MPa] 10MPa 20MPa 30MPa PERMA - FOIL 25 [W/(m k)] 500 400 300 200 100 <> 0 0 0.5 1.0 1.5 [Mg/m 3 ] 25 [μω m] 20 15 10 5 <> 0 0 0.5 1.0 1.5 [Mg/m 3 ] [W/(m k)] <> 10 8 6 4 2 0 0 0.5 1.0 1.5 [Mg/m 3 ] [μω m] <> 2000 1500 1000 500 0 0 0.5 1.0 1.5 [Mg/m 3 ] PERMA-FOIL (D=2.0) PERMA-FOIL (D=1.0) 0 100 200 300 400 [W/(m K)] 27 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

TDS [Pa/g] 10-1 10-2 10-3 PF-38 PF-38UHP [%] 100 80 60 40 PF-100UHP 10-4 10-5 20/min 1000 10-6 Pa 0 500 1000 [] 20 0 0 500 1000 1500 2000 [] 30 50 30 85 6 PF-50 100 90 95 10 20 +=9:1 36 85 46 28 25 100 100 100 * * * * * 1250 CO, Si, SiC 600800 Fe3C 218 CoC, Co3C 1280 CO, Al, Al4C3 1350 CO, Mg 1300 CO, Zr, ZrC [dbμv/m] 80 60 40 20 0 0 200 400 600 800 1000 * KEC [MHz] ppm <0.01 <0.01 46 <0.05 1.9 <0.1 1.0 <0.08 <0.02 <0.02 0.7 <0.02 40 <0.04 <0.1 <0.1 90 <0.08 0.7 <0.07 1000 <1.0 160 <0.04 <0.1 <0.1 PERMA - FOIL 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 28

PERMA-FOIL PERMA-FOIL PERMA-FOIL 20 PERMA - FOIL T1-T0 15 10 5 0 PERMA-FOIL T0 T1 PERMA-FOIL PERMA-FOIL PERMA-FOIL PERMA- FOIL 29 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

- (2) (1) (6) (5) (4) (3) (7) (8) (9) (10) (11) (12) (13) (14) 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14

IGKCTUG 36 39 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 [] 0 5 10 15 20 [10-6 /K] 0 5 10 15 20 [Mg/m 3 ] 31 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 32

应用轴承深井水下机动泵炼油及石油化工工艺用泵电站工艺用泵一般工业用泵化工泵船用泵流量计泵径向轴承推力轴承家用热水循环泵自动售后机循环泵洗碗机胶合板烘干机轴承碳素产品的机械应用密封环机械密封炼油及石油化工工艺用泵电站工艺用泵一般工业用泵化工泵搅拌器船用泵汽车水泵家用热水循环泵冰箱压缩机机械密封 33 未经东洋炭素的事先许可不得使用或转载本目录信息

JR 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 34

/ / 24 35 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

/ Mg/m 3 HSD MPa MPa GPa 10-6 /K W/(m K) IG-11 1.77 51 39 78 10 4.5 a) 120 450 ISO-68 1.82 80 76 172 13 5.6 a) 70 450 KC-36 1.72 65 48 135 15 3.5 15 350 KC-57 1.78 105 70 270 20 4.0 5 350 KC-67 1.77 72 60 185 20 3.5 10 350 KC-83K 1.74 80 55 160 15 4.0 10 350 KP-001 1.72 90 70 240 17 5.0 4 350 KP-002 1.73 60 58 170 17 3.5 7 350 KC-360 1.78 75 58 165 17 4.0 15 300 KC-570* 1.85 110 84 370 22 5.0 5 300 KC-573* 1.85 110 85 370 22 5.5 5 250 KC-670* 1.87 87 78 240 22 5.0 10 300 KC-673* 1.87 87 78 245 22 5.5 10 250 KC-830K 1.84 90 70 205 17 5.0 10 250 IKC-433 1.97 70 70 140 20 6.0 139 200 KC-5709* 2.25 110 100 430 27 5.0 5 500 KC-6709* 2.30 88 90 300 27 5.0 13 500 IKC-6809 2.67 88 105 300 21 6.0 80 500 PC-78A 2.90 95 110 410 27 6.5 13 350 TS-002 2.31/2.75 63/70 113/78 300/205 18/16 4.5/5.2 80/80 500 TS-003 2.28/1.82 83/80 116/76 410/172 30/13 5.4/5.6 70/70 400 TS-004 2.28/1.92 83/86 116/88 410/235 30/15 5.4/7.5 70/60 200 TS-005 2.28/2.67 83/88 116/105 410/300 30/21 5.4/6.0 70/80 500 IG-11R1 1.85 55 46 92 11 4.5 a) 120 500 IG-43R1 1.88 57 59 108 12 4.8 a) 140 500 ISO-68R1 1.87 84 83 190 15 5.6 a) 70 500 TUG-105 1.67 90 60 250 20 4.0 350 TUG-110 1.78 105 90 290 20 4.0 350 TUG-120 1.68 95 70 245 20 4.0 350 TUG-308 1.87 90 65 215 23 3.5 350 TUG-309 1.85 80 55 185 20 3.5 350 TUG-3095 1.81 75 50 170 20 3.5 350 TUG-505 1.89 80 68 185 20 3.0 350 W-1500 1.77 70 75 175 15 23.0 b) 150 W-3500* 1.63 85 90 250 12 30.0 b) 200 LS 1.77 60 70 100 15 15.0 b) 150 NLA 1.70 75 85 175 15 23.0 b) 150 MR-10* 1.43 78 100 230 10 35.0 b) 220 GM-1 4.60 18 25 55 12.0 200 GM-5 6.20 18 205 350 12.0 400 * * / /+ * /+ * * a350450b50150100200 * MPa=kgf/cm 2 x0.098 GPa=kgf/mm 2 x0.0098 W/(m K)=kcal/h m x 1.16 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 36

/ IG-11 ISO-68 KC-36 KC-57 KC-67 KC-83K KP-001 KP-002 KC-360 KC-570, KC-573 KC-670, KC-673 KC-830K KC-5709 KC-6709 IKC-6809 PC-78A TS-002 TS-003 TS-004 TS-005 IG-11R1 IG-43R1 ISO-68R1 TUG-105 TUG-110 TUG-120 TUG-308 TUG-309 TUG-3095 TUG-505 W-1500 W-3500 LS NLA MR-10 GM-1 GM-5 37 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

* * * * 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 38

NH3 100 H Cl2 100 H HCl 100 H Br2 100 C HBr 100 H SO2 100 H F2 100 C HF 100 W NH4OH 25 W KOH 60 C 60 H NaOH 60 C 60 H NaClO2 20 H H2SO3 100 C HCl 36 H / HCl/HNO3 100 C KMnO4 7 C 7 H 20 C 20 H H2CrO4 40 C 40 H 60 C HNO3/ /) H2SO4 100 C 38 H HNO3 65 C 65 W 65 H 7 H NaClO 13 W 23 C HF 40 W 60 C H2SO4+SO3 98 C H2SO4 48 H 98 H H3PO4 85 C 85 H CH3COCH3 100 C C6H5NH2 100 C R-O-R 100 C HCOOH 100 C C6H8O7 100 C C3H5(OH)3 100 C CHCl3 100 C CCl4 100 C * H 100 W 50 C 20 39 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

- (1) (2) (3) (3) (1) (1) (4) (5) (6) (7) (8) (1) (2) (3) (4) (5) (6) (7) (8)

0 0.2 0.4 0.6 0.8 1.0 [] 0 5 10 15 20 [10-6 /K] 0 5 10 15 20 [g/cm 3 ] 41 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

/ 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 42

43 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 44

g/cm 3 HSC μω m MPa V m/s A/cm 2 / 401 1.68 18 9 10 M M 30 10 502 1.77 51 11 37 M M 25 10 503 1.68 46 13 29 M M 30 10 176 1.62 28 14 16 M M 45 12 502 502/ BZ-229 1.6 23 22 11 M M 40 12 BZ-256 1.61 28 19 14 M M 40 12 BZ-229 213 1.61 32 23 16 M M 40 12 321 1.74 62 34 31 M M 35 10 TH-03 1.75 68 40 35 M M 35 10 176 351A 1.63 49 47 22 H M 40 10 641 1.64 59 75 12 H M 40 10 402 1.71 24 10 18 M M 25 10 801 1.65 30 35 19 M M 45 15 TR-52 1.74 30 14 16 M M 40 12 78848V TR-19 1.51 33 200 19 M M 40 12 3 * H() 0.25 M 0.20-0.25 /9.3m/s0A * M 0.5-1.0 V/ (/9.3m/s10A/cm 2 * 45 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

g/cm 3 HSC μω m MPa V m/s A/cm 2 M-90 6.30 15 0.32 108 M VL 20 25 M-1T 6.19 13 0.27 108 M VL 22 22 M-2T 5.70 15 0.50 80 M VL 25 20 / M-1H 6.83 6 0.04 87 M VL 25 20 M-1 5.41 12 0.08 42 L VL 30 25 M-1F 5.30 18 0.15 49 L VL 30 25 M-2H 4.93 13 0.10 34 L VL 30 20 M-2HF 4.80 18 0.33 44 M VL 30 20 M-2 4.40 15 0.50 29 L VL 30 20 I M-2F 4.35 15 0.50 44 M VL 30 20 M-3H 4.04 16 0.70 29 M VL 30 18 M-3HF 4.05 20 0.60 44 M VL 30 18 M1M-2H M-3 3.78 17 1.00 29 L VL 30 18 M-4 3.48 17 2.00 25 L L 30 18 M-550 2.96 25 2.50 39 M L 35 15 M-750 2.32 23 6.00 32 M L 35 15 / 788 2.02 23 9.00 23 M M 45 12 48V M-2TB 5.74 12 0.48 65 M VL 25 20 M-1B 5.30 10 0.10 43 L VL 30 25 M-1M-2 M-2B 4.34 13 0.28 31 L VL 30 20 MF-302 2.65 18 3.00 23 M L 30 20 12V MF-501 3.00 20 0.90 28 L L 30 20 12V MF-101 2.90 18 2.20 28 M L 30 20 MF-202 2.05 10 38.0 23 H M 30 15 MF-203 2.05 10 30.0 23 L M 30 15 19.2V II MF-301 2.40 15 10.0 23 M M 30 20 24V MF-401 2.67 18 10.0 21 M M 30 20 19.2V MF-204 3.78 15 0.30 40 M L 30 25 7.2V MF-205 3.00 20 0.80 28 M L 30 20 24V MF-701 2.26 18 10.0 30 M M 30 20 22-36V MF-201 2.25 10 30.0 23 M M 30 15 MF-601 2.05 10 50.0 23 M M 30 15 * H 0.25 M 0.20-0.25 L 0.20/9.0m/s0A * M 0.5-1.0V/ L 0.25-0.50V/ VL0.25//9.0m/s10A/cm 2 * 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 46

g/cm 3 HSC μω m MPa V m/s A/cm 2 SX-50 3.20 15 2.70 29 M VL 20 12 SX-70 4.45 15 0.25 40 M VL 20 15 SX-90 6.85 18 0.05 84 M VL 20 22 / * M 0.20-0.25 /9.0m/s0A * VL 0.25V//9.0m/s10A/cm 2 * g/cm 3 HSC μω m MPa V m/s A/cm 2 X-03 1.50 12 200 15 L H 54 20 / X-09 1.52 14 260 15 L H 54 20 X-17 1.54 15 330 18 L H 54 20 X-72 1.47 19 380 14 L H 48 20 X-87 1.50 17 380 22 L H 54 20 X-88 1.52 14 360 20 L H 54 20 X-05 1.48 15 400 18 L H 50 20 X-10 1.52 15 270 17 L H 50 20 X-78 1.51 17 370 22 L H 48 20 X-80 1.51 17 360 22 L H 48 20 X-13 1.48 19 700 22 L H 50 15 100-120V 100-120V X-85 1.48 20 400 14 L H 48 20 X-89 1.53 19 350 21 L H 48 20 X-93 1.50 18 640 27 L H 50 15 120-240V X-95 1.51 19 640 24 L H 50 15 X-97 1.45 19 430 14 L H 50 20 X-11 1.35 15 1100 14 L VH 54 13 X-73 1.52 24 920 24 L VH 40 13 X-91 1.35 15 1100 17 L VH 54 13 200-240V X-94 1.36 14 1200 17 L VH 54 13 X-04 1.36 17 1600 11 L VH 54 10 X-08 1.29 14 1600 14 L VH 54 10 X-96 1.31 14 1600 16 L VH 54 10 B-2 1.75 25 390 24 L H 25 8 200-240V 18mm * L() 0.20 (/10A/cm 2 20m/s 50kPa * VH() 3.0V/H() 2.0-3.0V/ (/10A/cm 2 20m/s 50kPa * 47 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

g/cm 3 HSC μω m MPa V m/s A/cm 2 C-3 1.62 35 240 24 L H 35 13 107 1.62 34 100 29 L H 35 13 113 1.58 37 290 27 L H 35 13 / 100-120V C-1 1.49 30 330 13 L H 35 12 100-120V200-240V TX-174 1.55 36 390 24 L H 35 18 105S 1.55 36 390 24 L H 35 18 108 1.55 36 390 24 L H 35 18 110 1.54 37 350 20 L H 35 13 100-120V200-240V 118 1.64 34 390 23 L H 35 18 129 1.64 34 620 20 L H 35 18 106 1.52 33 680 15 M VH 35 13 111 1.61 37 600 23 M VH 35 13 200-240V 114 1.62 35 900 20 M VH 35 13 122 1.62 42 840 22 M VH 35 13 124 1.60 47 790 26 M VH 35 13 200-240V 127 1.53 33 850 21 M VH 35 13 116 1.62 35 900 20 M VH 35 13 119 1.59 42 1300 20 M VH 35 13 B-1 1.75 47 450 13 L H 25 8 C-2 1.55 44 660 17 L H 25 10 C-2N 1.58 18 660 14 L H 25 10 200-240V 200-240V L12mm L15mm L15mmC-2 FX-08 1.66 32 590 19 L H 25 10 L18mmC-2 * M() 0.20-0.25L() 0.20 (/10A/cm 2 20m/s 50kPa * VH 3.0V/H 2.0-3.0 V/ (/10A/cm 2 20m/s 50kPa * 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 48

JIS C2802 C1 C1-1 C1-2 C1-3 C1-4 C1-5 C1-6 C1-7 C1-8 C1-9 C1-10 C2 C2-1 C2-2 C2-3 C2-4 C2-5 C2-6 C2-7 C2-8 C2-9 C2-10 C2-11 C2-12 C4-1 C4-2 C4-3 C4-4 C4-5 C4-6 C4-7 C4-8 C4-9 C4-10 C4 1 C4-11 C4-12 C4-13 C4-14 C4-15 C4-16 C4-17 C4-18 C4-19 C4-20 C4-21 C5 2 C5-1 C5-2 C5-3 C5-4 C5-5 C5-6 C5-7 C5-8 C5-9 C5-10 C5-11 C5-12 C5-13 C5-14 C5-15 C5-16 C5-17 C5-18 C6 C6-1 C6-2 C6-3 C6-4 49 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

JIS C2802 mm / / 1.6 / 2 / 2.5-0.09-0.03 +0.05 +0.01 0.14 0.04 0.3 3.2-0.09-0.03 +0.07 +0.02 0.16 0.05 0.3 4 / 5-0.11-0.03 +0.07 +0.02 0.18 0.05 0.3 6.3 / 8 / 10-0.11-0.03 +0.09 +0.03 0.20 0.06 0.3 12.5 / 16-0.13-0.04 +0.10 +0.03 0.23 0.07 0.5 20 / 25-0.13-0.04 +0.12 +0.04 0.25 0.08 0.5 32 / 40 / 50-0.15-0.05 +0.15 +0.05 0.30 0.10 0.8 64 / 80-0.15-0.05 +0.18 +0.06 0.33 0.11 0.8 100 / 125 1.0 * 0.02mm 16 0.04 X 25 0.04 X 40 0.8 0.15 0.13 * ab 16 (0.14 + a) X 25 (0.04 + a) X 40 0.8 (0.13 + a) (0.13 + a) * 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 50

JIS C2802 mm 2 0.05mm 0.08mm 0.10mm +15 / / / -10 mm g/m mm mm 2 mm mm 2 mm mm 2 A 0.06 0.5 0.48 3/10/0.05 0.06 12/0.08 0.06 2 0.10* 0.6 0.72 3/17/0.05 0.10 20/0.08 0.10 3 0.15* 0.7 1.00 3/26/0.05 0.15 30/0.08 0.15 4 0.20* 0.8 1.40 3/34/0.05 0.20 40/0.08 0.20 4.8 0.25 1.0 2.00 3/42/0.05 0.25 3/17/0.08 0.26 5.5 0.30 1.1 2.20 3/51/0.05 0.30 3/20/0.08 0.30 6 0.35 1.1 2.80 3/60/0.05 0.35 3/23/0.08 0.35 3/15/0.10 0.35 7 0.40 1.2 2.90 3/27/0.08 0.41 3/17/0.10 0.40 8 0.50 1.3 4.00 3/33/0.08 0.50 3/21/0.10 0.49 9 0.75* 1.6 5.60 3/50/0.08 0.75 3/32/0.10 0.75 12 0.90 1.7 6.50 7/26/0.08 0.91 7/16/0.10 0.88 13 1.00 1.8 8.00 7/28/0.08 0.99 7/18/0.10 0.99 15 1.25 2.0 10 7/36/0.08 1.27 7/23/0.10 1.26 17.5 1.40 2.1 11 7/40/0.08 1.41 7/25/0.10 1.37 19 1.50* 2.2 13 7/43/0.08 1.51 7/27/0.10 1.48 20 2.00 2.4 16 7/57/0.08 2.01 7/36/0.10 1.98 24 2.50 2.7 20 7/71/0.08 2.50 7/46/0.10 2.53 28 3.20 3.0 26 7/91/0.08 3.20 7/58/0.10 3.19 32 3.50 3.2 28 7/100/0.08 3.52 7/64/0.10 3.52 34 4.00 3.3 32 7/114/0.08 4.01 7/73/0.10 4.01 38 4.50 3.5 36 7/127/0.08 4.47 7/82/0.10 4.15 40 5.50 3.7 44 7/157/0.08 5.52 7/100/0.10 5.50 45 6.00 4.2 48 7/170/0.08 5.98 7/109/0.10 5.99 50 6.50 4.4 52 7/119/0.10 6.54 53 8.00 4.7 64 7/146/0.10 8.03 60 10.00 5.3 80 7/182/0.10 10.01 75 12.50 5.9 100 7/7/32/0.10 12.32 85 16.00 6.7 128 7/7/42/0.10 16.16 100 * JIS C3664IEC60228 * 0.05/0.08mmJIS 31030.10mmJIS 3102 * * 51 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

JIS C2802 T-1 T-2 T-13 T-4 T-5 B d t G L T-1 T-2 t L G B d d B t T-6 T-7 t G t L B t T-8 T-9 d T-3 T-4 T-5 d t B G L T-6 T-7 d L G B T-8 T-9 * tg10 * 45T-8t1.2681.5 L L B d d d G G t L G L B G B 3 3.5 +0.2-0.2 4 4.5 +0.3-0.1 5 5.5 +0.3-0.1 6 6.5 +0.3-0.1 8 8.5 +0.3-0.1 10 10.5 +0.3-0.1 5 5.5 +0.3-0.1 6 6.5 +0.3-0.1 8 8.5 +0.3-0.1 3 3.5 +0.2-0.2 4 4.5 +0.3-0.1 5 5.5 +0.3-0.1 6 6.5 +0.3-0.1 8 8.5 +0.3-0.1 10 10.5 +0.3-0.1 5 5.5 +0.3-0.1 6 6.5 +0.3-0.1 8 8.5 +0.3-0.1 10 10.5 +0.4-0.1 4 4.5 +0.3-0.1 5 5.5 +0.3-0.1 6 6.5 +0.3-0.1 8 8.5 +0.3-0.1 10 10.5 +0.3-0.1 d B G L t mm 8 0.3 4 12 1 0.5 0.8 10 0.3 5 15 1 0.8 13 0.4 6.5 20 1 0.8 1.0 16 0.4 8 24 1 1.0 19 0.5 9.5 29 1 1.0 1.2 23 0.5 12 40 1 1.2 13 0.8 6.5 20 1.5 0.4 0.5 16 0.8 8 24 1.5 0.4 0.5 19 1 9.5 29 1.5 0.4 0.5 8 0.3 4 > 8 0.5 0.8 10 0.3 5 > 10 0.8 13 0.4 6.5 > 13 0.8 1.0 16 0.4 8 > 16 1.0 19 0.5 9.5 > 19 1.0 1.2 23 0.5 12 > 25 1.2 13 0.8 6.5 20 1 0.4 0.5 16 0.8 8 24 1 0.4 0.5 19 1 9.5 29 1 0.6 0.8 23 1 11.5 35 1 0.6 0.8 10 1 5 > 10 0.8 1.0 14 1 7 > 12 0.8 1.0 16 1 8 > 14 1.0 1.2 20 1 10 > 18 1.0 1.2 23 1 12 > 26 1.2 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 52

- / PYROGRAPH 55 PERMA KOTE 56 59 62 65

PYROGRAPH PYROGRAPH CVD PYROGRAPH PYROGRAPH 20 μm OLED PYROGRAPH B <0.01 0.03 0.02 <0.10 <0.01 <0.01 * * [m 2 /s] 1 10-2 10-4 10-6 10-8 10-10 10-12 ppm 0 20 40 60 80 [μm] Mg/m 3 2.2 2.2 HSD 100 μω m 2.004.00 25 x 10 3 10-6 /K 1.7 28 MPa 98147 GPa 2939 W/(m K) 170420 24 * RT1,000 * [%] 100 80 60 40 20 0 0 500 1000 1500 2000 [] 55 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

PERMA KOTE PERMA KOTE CVD PERMA KOTE PERMA KOTE SEM 100 μm 12020500 MOCVD 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 56

PERMA KOTE h g/m 2 HF 47 80 144-1.0 HCl 36 144 0 H2SO4 97 110 144 0 HNO3 61 144 0 + HF + HNO3 (1:1) 100 80 288-1.0 + HNO3 + H2SO4 (1:1) 100 25 288-1.0 NaOH 20 80 288 0 H3PO4 100 100 192-1.0 HCl + HNO3 (3:1) 100 80 192 0 1200 x 3h 1600 x 3h Al B Co Cr Cu Fe Mo Ni Pb Si Sn Ta Ti V W Al2O3 B2O3 III Cr2O3 III Fe2O3 MgO MnO2 II PbO SiO2 IV TiO2 V V2O5 IV ZrO2 * ß-SiC 3.2Mg/m 3 2800HK 0.2Ω m 170MPa3 320GPa * B 0.15 Na 0.02 Al 0.01 Cr <0.1 Fe 0.02 Ni <0.01 * * : :C ppm 57 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

* 10 6 0.10 10 4 1400 C [Pa] 10 2 10-0 10-2 10-4 0.05 0.00 1100 C 800 C 10-6 1600 1800 2000 2200 2400 [] PERMA KOTE -0.05 0 200 400 500 800 [h] PERMA KOTE 800SiO2 CVD-SiC [%] 0.6 0.5 0.4 0.3 0.2 0.1 CVD-SiC [W/(m K)] 200 150 100 50 0 0 200 400 600 800 1000 [] 0 0 200 400 600 800 1000 1200 [] 1 100 [m 2 /s] 10-2 10-4 10-6 10-8 10-10 Pm=100kPa [%] 90 80 70 Ry5 100 μm 10-12 0 20 40 60 80 [μm] 60 0 500 1000 1500 2000 [] 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 58

CNovel CNovel 250nm 12 CNovel MetalizeKote MetalizeKote Cr-Fe MetalizeKote SEM 59 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

EVEREDKOTE SiCGaNAlNZnO EVEREDKOTE 4,000 SEM -EVEREDKOTE -K EVEREDKOTE -K EVEREDKOTE SEM /KLASTA MATE KLASTA MATE KLASTA MATE KLASTA MATE DLC 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 60

/CARBOCELL CARBOCELL //Ceramic Bonded Carbon CBCMetal Bonded Carbon MBCCARBOCELL AlNSiCCBC MBCAl CBC MBC 61 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

0.2mm 3D 3D Ø300mm L=400mm 3D C/C C/C ø500mm ø600mm ( ø1,400mm 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 62

1000 (1000 3000 ( 3000) N2 H2 mm 1500W x 1400H x 2000L ø1050 x 830H 2000 2300 1500 0.5KPa 2086KPa 5 ppm 2300 mm 1500W x 1400H x 2000L ppm 5 * PERMA KOTE CVDSiC ø1,050 x 830mm PERMA KOTE SEM 100 mm ø1050 x 830H 12030 μm ( 0.15/0.02 ppm) 0.01/: <0.1 * GDMS 0.02/: <0.01 * PYROGRAPH PYROGRAPH 20 μm CVD / / (SiC) 63 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

250 CIP 3D CNC1,600X3,000Y 1,200Zmmø0.5mm CRYSTA-Apex 1. X.Y.Z 160030001200mm 2. 3500kg 3. μm MPEE 6.0 + 5.5 L/1000 CNC CCD 1,500 x1,750 x 100mmXYZ QV ACCEL 1. X.Y.Z 1500 x 1750 x 100mm 2. 50kg 3. μm X.Y 3.5 + 4 L/1000 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 64

TMATG-DTA FEM XRDFE-SEM ICP-OESXRF / 65 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

CAD CAD CAD FEM mm 1.50 1.35 mm 1.50 1.20 MPa 30 24 1.20 1.05 0.90 0.75 0.60 0.45 0.30 0.15 0.90 0.60 0.30 0.00 mm 1.0 0.8 18 12 6 0 6 12 18 24 0.00 0.6 30 0.4 0.2 0.0 A/cm 2 300 270 240 210 180 150 120 90 60 30 0 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 66

www.toyotanso.co.jp http://www.toyotanso.co.jp 486 Tel: 86-21-3774-2888 Fax: 86-21-5774-1762 http://www.sttanso.com/ 150 Tel: 86-21-5773-6628 Fax: 86-21-5773-6550 http://www.sttanso.com/ Tel: 86-21-5944-1531 Fax: 86-21-5944-1518 http://www.sttanso.com/ Tel: 86-537-6988-883 Fax: 86-537-6988-882 http://www.sttanso.com/ CS-01-01 2013