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1 石墨產品

2 01

3 人類與碳關係淵遠流長

4 特種石墨 04 C/C 複合材料 14 PERMA-FOIL 石墨紙 22 機械用碳素產品 30 碳刷 40 表面處理和新開發的產品 / 技術服務 54 03

5 碳石墨產品 特種石墨 (1) 單晶矽製造設備 (2) 臨界電漿測試設備 (JT-60) * 照片由日本原子力研究開發機構提供 (1) (2)

6 特種石墨產品特性 (CIP) 等方性石墨 等方性石墨和異方性石墨 100 µm 可靠性高 超強耐熱性 2,000 2,500 卓越的導電性 出色的耐化學性 輕量且便於加工 100 µm [Mg/m 3 ] 05

7 製程 / 06

8 用途 LED EDM 環境和能源 * * 電子 CVD 07

9 電子 MOCVD LCD MOCVD 冶金 EDM EDM 08

10 性能資料 典型性能 Mg/m 3 HSD µω m MPa MPa MPa GPa 10-6 /K W/(m K) (mm) IG x 620 x x 410 x x 1050 IG x 620 x x 1050 IG x 620 x 1000 IG x x 620 x 1000 IG x 540 x 850 IG x 540 x 850 IG x 620 x x 560 IG x 620 x x 1050 ISEM x 620 x 1000 ISEM x 620 x 1000 ISEM x 620 x 1000 ISEM x 620 x ISO x 540 x 1000 ISO x 450 x 850 ISO x 540 x 1000 TTK x 620 x x 540 x 1000 TTK x 510 x 950 TTK x 510 x 950 TTK x 400 x 700 TTK x 400 x 700 SIC x 620 x 1000 SIC x 620 x 1000 HPG x 510 x 950 HPG x 510 x 950 HPG x 500 x 950 HPG x 400 x 700 HPG x 400 x 700 * * * µω m=µω cm 0.01 MPa=kgf/cm GPa=kgf/mm W/(m K)=kcal/h m 1.16 * 雜質分析範例 ppm Li <0.001 <0.001 <0.03 ICP-MS V < ICP-MS B ICP-MS Cr < <0.3 ICP-MS Na <0.002 <0.002 <0.5 ICP-MS Mn <0.001 <0.001 <0.2 ICP-MS Mg < ICP-MS Fe < ICP-MS Al < ICP-MS Co <0.001 <0.001 <0.3 ICP-MS Si <0.1 <0.1 2 UV Ni < ICP-MS K < FL-AAS Cu <0.002 <0.002 <1 ICP-MS Ca < FL-AAS Zn <0.002 <0.002 <0.6 ICP-MS Ti <0.001 < ICP-MS Pb <0.001 <0.001 <1 ICP-MS * * ICP-MSFL-AASUV * 400 ppm ppm 09

11 化學性質 與各種物質的起始反應溫度 * 800 Al4C B4C Fe3C C64Na O2 218 CoCCo3C 700 Mo2C SiC 1400 W2C, WC 300 C8K 500 Li2C2 900 Be2C 1200 CO, B (V) 438 COV (III) 485 COFe (IV) 930 COTiTiC 1250 COSiSiC 1280 COAlAl4C3 960 COBeBe2C 1350 COMg (IV) 1300 COZrZrC 蒸汽壓 * [Pa] = Pa [] 2,200 熱脫附譜 (TDS) [Pa/g] K/s (mm) IG-11 IG-110 IG-110U [] 與多種大氣 / 氣體的反應 * / / /COCO2 100 (O2) /COCO2 (H2O) 650 /COCO2H2 (CO2) 900 /CO (H2) 700 /CH4 C2H2C2H4C2H6 (N2) 2700 N2 C2N2 (Cl2) 0 (F2) /CF CF4C2F6 (Ar) 10

12 性能資料 高溫性能 電阻率 20 強度 (IG-11) 120 [µω m] IG-19 IG-56 IG-11 [MPa] [] [] 2,500 線性熱膨脹 熱導率 [%] ISO-66 ISO-68 IG-11 [W/(m K)] IG-12 IG-15, IG-43 IG [] [] [10-6 /K] [W/(m K)] (10-6 /K) = (%) 10-2 () [W/(m K)] = [µω m] 11

13 比熱 熱擴散係數 [J/(g K)] [m 2 /s 10-4 ] [] 1/ [] = 發射率 [%] IG-610U [] 物理特性 應力應變曲線 (IG-12) 孔隙分佈曲線 [MPa] [mm 3 /g] 50 ISO-63 IG [%] [µm] IG-11 80/2 = 40 mm 3 /g1.8 µm 12

14 Ry12 Ry3 加工 表面粗糙度標準 RyRaRz 表面粗糙度標準 Ry Ra Rz Ry Ra Rz 0.75 Rz3 Ry Rz Rz12 Ry Rz6.3 Ry Rz35 Ry Rz25 Ry Rz100 Ry Rz100 * 3.0 Ra 3.0 加工尺寸公差 JIS B 0405 尺寸公差標準 mm * 13

15 碳石墨產品 C/C 複合材料 JAXA Akihiro Ikeshita

16 C/C 複合材料產品的特性 C/C - C/C CX C/C (1000) (200) C/C 高機械強度 高彈性和高韌性 C/C C/C (MPa) CX-761 IG (%) 超強耐熱性 C/C 2000 (MPa) (SUS310) CX () 品質輕且易於處理 C/C (Mg/m 3 ) 10 5 C/C 高熱導率 CX-2002 (CVI) (W/(m K)) IG-56 CX

17 製程 CF FW C/C 16

18 用途 電子 C/C 環境和能源 PECVD * 汽車 其他運輸方式等 17

19 普通工業爐 用於熱處理爐 熱處理爐 料盤 網格 C/C 複合材料 多層料盤 料筐 網眼料盤 波浪料盤 爐內驅動零件 加熱器 螺母和螺栓 彈簧 隔熱防護罩 碳棒 用於熱壓爐 模具 未事先獲得東洋炭素許可 不得使用或複製本型錄中的任何資訊 18

20 性能資料 C/C 典型性能 (µω m) (Mg/m 3 ) (MPa) (GPa) (MPa) RT 1273K (10-6 /K) (W/(m K)) C/C (^) (//) (^) (//) CX < A CX < A CX < B CX < B CX < DC/C C/C-201 1) < C/C-501 1) < CX < CX < CX < CX < CX-510V <1 7 - FW C/C-FW1) < FWC/C FW CX <1 7 - FW CX-2002U 2) , 3.4, 5.1 (X, Y, Z) 47, 43, 17 (X, Y, Z) 35, 30, 11 (X, Y, Z) 5.3 (Z) 1.7, 2.3 (X, Y) (IG-56) * 1) Ohwada Carbon Industrial Co., Ltd. 2) Z X Y 190 (Z) 390, 320 (X, Y) C/C 可用尺寸 (mm) (mm) CX-741CX *1500* CX-743CX-763 U 80*20-145*1.2*1000 CX-742CX *1500* CX-743CX-763 H 107*44*1.5*1000 CX * t CX-510V ø C/C *970* *720*1-12 C/C-FW ø950*800h20-150t C/C *300*20 CX-55 ø l CX-45CX-47 ø l CX-2002U 40*150*150 (X*Y*Z) * U h 50 (1) (1) (1) (2) (2) (2) CX-510V 雜質分析範例 ( 經高純度處理的產品 ) ppm Na Mg Al K Ca Ti V Cr Fe Ni Cu <0.05 <0.02 <0.08 <0.1 <0.04 <0.09 <0.07 <0.07 <0.04 <0.1 <0.08 AAS ICP-AES ICP-AES AAS ICP-AES ICP-AES AAS ICP-AES ICP-AES ICP-AES ICP-AES * * ICP-AESAAS * CX-510V 不同表面處理 表面處理及其效果詳細資訊 GK1 (Glastix Kote ) CVI * R1 TS * / / SiO SiC (%) 5 GKI CVI TS R1 SiO (%) 60 GKI 30 CVI 19

21 彎曲強度 300 抗張強度 400 (MPa) CX-761 CX-31 1) (MPa) CX-761 CX-31 1) () () 螺紋強度 電阻率 (kn) ) CX-31 C/C-201 CX-31V [µω m] CX-761 CX-31 1) C/C 0 M6 M8 M10 M12 M16 M18 M () 線性熱膨脹係數 比熱 (%) ) CX-31 CX-761 [J/(g K)] CX-761 CX-31 1) () () 熱導率 ( ) 120 熱導率 (//) (W/(m k)) 80 1) CX CX (W/(m k)) ) CX-31 CX () () 1) IG-56 2) ISO68 20

22 C/C 複合材料產品設計範例 熱壓模具 特性 設計 <> 30 MPa200 mm250 mm [] C/C C/C C/C-FW 2 OP-4800N 3 IG-70 4 C/C C/C ISO-68 6 IG-70 C/C C/C-FW 245 MPa ø kg 31 MPa ø kg C/C Ohwada Carbon Industrial Co., Ltd. 熱處理料盤 特性 x 600 x kg C/C 8.5 kg C/C 2. 1, , * 設計 [] (Kgf) (mm) x 600 x x 600 x x 600 x 50 21

23 碳石墨產品 PERMA-FOIL 石墨紙 (1) (2) (3) (1) PERMA-FOIL (2) PERMA-FOIL (3) PERMA-FOIL

24 PERMA-FOIL 的特性 PERMA-FOIL 出色的自潤滑特性 PERMA-FOIL z 可在廣泛溫度條件下保持穩定性 PERMA-FOIL ,200 c0 = nm 柔韌性 壓縮恢復特性 x a0 = nm nm y 出色的耐化學性 PERMA-FOIL PERMA - FOIL 出色的導熱性和導電性 PERMA-FOIL * 高純度 IT * PERMA-FOIL [Mg/m 3 ] PERMA-FOIL [] 23

25 製程 500 µm PERMA - FOIL 24

26 等級和用途 PERMA-FOIL IT PF PERMA-FOIL PF-R2 PF-HP PERMA - FOIL PF-G3 R2 PF-UHPUHPUUHPL PF-A 1.5 mm PF-SUSAL SUS S PF 48F * 25

27 性能資料 典型性能 PF PF-R2 PF-HP PF-G3 PF-UHPL PF-UHPUHPU mm Mg/m % MPa ppm <1 <1 ppm <10 <10 <10 <10 <3 <3 % 47 % 15 % 1.0 % <20 ppm <10 ppm ph MPa m 2 /s 1.3 x x /K 2 x 10-4 (25) (25) 200 W/(m K) 5 7 µω m UL94 V-0 * * 1.0 Mg/m 3 * * * * * PERMA - FOIL 起始氧化溫度 密度和抗張強度之間的關係 12 0 PF-50 PF-50R2 PF-50G3 10 [ %] 50 [MPa] PF [] [Mg/m 3 ] 26

28 性能資料 壓縮和釋放期間密度和壓應力之間的關係 (PF-50) [Mg/m 3 ] / * JIS R / [MPa] 夾持壓力和洩漏量之間的關係 (PF-50) [10-6 m 3 /s] ø65 x ø50 (mm) [MPa] 10 MPa 20 MPa 30 MPa PERMA - FOIL 密度和熱導率之間的關係 (25 ) [W/(m K)] <> [Mg/m 3 ] 密度和電阻率之間的關係 (25 ) [µω m] <> [Mg/m 3 ] [W/(m K)] <> [Mg/m 3 ] [µω m] <> [Mg/m 3 ] PERMA-FOIL (D=2.0) PERMA-FOIL (D=1.0) [W/(m K)] 27

29 熱脫附譜 (TDS) 發射率 [Pa/g] PF-38 PF-38UHP [%] PF-100UHP / Pa [] [] 耐化學性 電磁遮罩特性 (PF-50) 100 ( %) N = 9: * * * * 與各種物質的起始反應溫度 * 1250 COSiSiC Fe3C 218 CoCCo3C 1280 COAlAl4C COMg 1300 COZrZrC [dbµv/m] * Kansai (KEC) 雜質分析範例 [MHz] ppm Li <0.01 <0.01 Na 46 <0.05 K 1.9 <0.1 Cu 1.0 <0.08 Be <0.02 <0.02 Mg 0.7 <0.02 Ca 40 <0.04 Zn <0.1 <0.1 Al 90 <0.08 V 0.7 <0.07 S 1000 <1.0 Fe 160 <0.04 Ni <0.1 <0.1 PERMA - FOIL 28

30 PERMA-FOIL 出色的導熱性和壓力均衡效應 熱傳導效應 PERMA-FOIL PERMA-FOIL 20 (T1-T0) () T0 PERMA - FOIL 0 PERMA-FOIL T1 壓力均衡效應 PERMA-FOIL PERMA-FOIL PERMA-FOIL PERMA-FOIL 29

31 碳石墨產品機械用碳素製品 (2) (1) (6) (5) (4) (3) (7) (8) (9) (10) (11) (12) (13) (14) (1) (2) (3) (4) (5) (6) (7) (8) (9) (10) (11) (12) (13) (14)

32 機械用碳素產品特性 IGKC TUG 出色的自潤滑特性 極佳的耐熱性 36 出色的耐化學性 39 耐熱震性 支持輕量設計 [] [10-6 /K] [Mg/m 3 ] 31

33 製程 32

34 用途 軸承 深井水下電動泵 煉油和石化工藝用泵 發電站工藝用泵 工業通用泵 化工泵 船用泵 流量計用泵 向心軸承 推力軸承 家庭熱水迴圈泵 自動售貨機迴圈泵 洗碗機 膠合板乾燥機 軸承 機械用碳素製品 密封環 機械密封圈 煉油和石化工藝用泵 發電站工藝用泵 工業通用泵 化工泵 攪拌機 船用泵 汽車水泵 家庭熱水迴圈泵 冰箱壓縮機 機械密封圈 33 未事先獲得東洋炭素許可 不得使用或複製本型錄中的任何資訊

35 填料 葉片 接縫密封圈 閥座 導電弓滑塊 JR 34

36 典型性能 SiC/C 石墨 碳石墨 樹脂含浸碳和金屬含浸碳 SiC/C 複合材料 2 4 mm 無機化合物含浸碳 防滲碳石墨 樹脂結合碳 金屬結合碳 35

37 SiC/C Mg/m 3 HSD MPa MPa GPa 10-6 /K W/(m K) IG a) ISO a) KC KC KC KC-83K KP KP KC KC-570* KC-573* KC-670* KC-673* KC-830K IKC KC-5709* KC-6709* IKC PC-78A TS / /70 113/78 300/205 18/16 4.5/5.2 80/ TS / /80 116/76 410/172 30/13 5.4/5.6 70/ TS / /86 116/88 410/235 30/15 5.4/7.5 70/ TS / /88 116/ /300 30/21 5.4/6.0 70/ IG-11R a) IG-43R a) ISO-68R a) TUG TUG TUG TUG TUG TUG TUG W b) 150 W-3500* b) 200 LS b) 150 NLA b) 150 MR-10* b) 220 GM GM * * SiC/C SiC/C + * SiC/C + * * a) b) * MPa=kgf/cm 2 x GPa=kgf/mm 2 x W/(m K)=kcal/h m x

38 按照用途分類的產品選擇表 SiC/C IG-11 ISO-68 KC-36 KC-57 KC-67 KC-83K KP-001 KP-002 KC-360 KC-570, KC-573 KC-670, KC-673 KC-830K KC-5709 KC-6709 IKC-6809 PC-78A TS-002 TS-003 TS-004 TS-005 IG-11R1 IG-43R1 ISO-68R1 TUG-105 TUG-110 TUG-120 TUG-308 TUG-309 TUG-3095 TUG-505 W-1500 W-3500 LS NLA MR-10 GM-1 GM-5 37

39 * * * * 38

40 耐化學性 ( %) ( %) NH3 100 H Cl2 100 H HCl 100 H Br2 100 C HBr 100 H SO2 100 H F2 100 C HF 100 W NH4OH 25 W KOH 60 C 60 H NaOH 60 C 60 H NaClO2 20 H H2SO3 100 C HCl 36 H HCl/HNO3 100 C / KMnO4 7 C 7 H 20 C 20 H H2CrO4 40 C 40 H 60 C HNO3/ / H2SO4 100 C 38 H HNO3 65 C 65 W 65 H 7 H NaClO 13 W 23 C HF 40 W 60 C H2SO4+SO3 98 C H2SO4 48 H 98 H 85 C H3PO4 85 H CH3COCH3 100 C C6H5NH2 100 C R-O-R 100 C HCOOH 100 C C6H8O7 100 C C3H5(OH)3 100 C CHCl3 100 C CCl4 100 C * H 100 W 50 C 20 39

41 碳石墨產品碳刷 (1) (2) (3) (3) (1) (1) (4) (5) (6) (7) (8) (1) (2) (3) (4) (5) (6) (7) (8)

42 碳刷產品特性 出色的自潤滑性和耐磨性 超高的導電性 出色的耐用性 滑動接觸中的高度密合性 [] [10-6 /K] [g/cm 3 ] 41

43 製程 / 42

44 碳刷類型與用途 : 一些範例 一般工業用途 電源 汽車用途 43

45 真空吸塵器 電動工具 家用電器 微型馬達等 產品說明 汽車燃油泵碳刷與碳盤 截流器碳刷 洗衣機碳刷 特殊塗層碳刷 44

46 典型性能 g/cm 3 HSC µω m MPa V m/s A/cm 2 / M M M M M M M M / BZ M M BZ M M / BZ-229/ M M M M TH M M A H M H M M M M M TR M M V TR M M * H 0.25 M /9.3 m/second0 A * M V/unit/9.3 m/second 10 A/cm sq. * 45

47 g/cm 3 HSC µω m MPa V m/s A/cm 2 M M VL M-1T M VL M-2T M VL / M-1H M VL M L VL M-1F L VL M-2H L VL M-2HF M VL M L VL I M-2F M VL M-3H M VL M-3HF M VL M1M-2H M L VL M L L M M L M M L / M M V M-2TB M VL M-1B L VL M-1 M-2 M-2B L VL MF M L V MF L L V MF M L MF H M MF L M V II MF M M V MF M M V MF M L V MF M L V MF M M V MF M M MF M M * M H 0.25 M L 0.20 /9.0 m/second0 A * M V/unitL V/unitVL0.25 /unit/9.0 m/second 10 A/cm sq. * 46

48 典型性能 g/cm 3 HSC µω m MPa V m/s A/cm 2 SX M VL SX M VL SX M VL / * M /9.0 m/second0 A * VL 0.25 V/unit/9.0 m/s 10 A/cm sq. * g/cm 3 HSC µω m MPa V m/s A/cm 2 X L H / X L H X L H X L H X L H X L H X L H X L H X L H X L H X L H V V X L H X L H X L H V X L H X L H X L VH X L VH X L VH V X L VH X L VH X L VH X L VH B L H V 18 mm * L 0.20/ 10 A/cm sq20 m/second50 kpa * VH 3.0 V/unitH volts/unit/ 10 A/cm sq20 m/second50 kpa * 47

49 g/cm 3 HSC µω m MPa V m/s A/cm 2 C L H L H L H / V C L H V-120V V TX L H S L H L H L H V V L H L H M VH M VH V M VH M VH M VH V M VH M VH M VH B L H 25 8 C L H C-2N L H V V 12 mm 15 mm 15 mm C-2 FX L H mm C-2 * M L 0.20/ 10 A/cm sq20 m/second50 kpa * VH 3.0 V/unitH volts/unit/ 10 A/cm sq20 m/second50 kpa * 48

50 設計資料 參考 : 導線的安裝方法和碳刷形狀 (JIS C2802) C1 C1-1 C1-2 C1-3 C1-4 C1-5 C1-6 C1-7 C1-8 C1-9 C1-10 C2 C2-1 C2-2 C2-3 C2-4 C2-5 C2-6 C2-7 C2-8 C2-9 C2-10 C2-11 C2-12 C4-1 C4-2 C4-3 C4-4 C4-5 C4-6 C4-7 C4-8 C4-9 C4-10 C4 C4-11 C4-12 C4-13 C4-14 C4-15 C4-16 C4-17 C4-18 C4-19 C4-20 C4-21 C5 C5-1 C5-2 C5-3 C5-4 C5-5 C5-6 C5-7 C5-8 C5-9 C5-10 C5-11 C5-12 C5-13 C5-14 C5-15 C5-16 C5-17 C5-18 C6 C6-1 C6-2 C6-3 C6-4 49

51 厚度 寬度和長度公差 (JIS C2802) mm / / 1.6/2/ / /8/ / / /40/ / / * 0.02 mm X X * ab 16 ( a) X 25 ( a) X ( a) ( a) * 50

52 設計資料 導線結構 (JIS C2802) mm mm 0.08 mm 0.10 mm +15% / / / -10% mm g/m mm mm 2 mm mm 2 mm mm 2 A /10/ / * /17/ / * /26/ / * /34/ / /42/ /17/ /51/ /20/ /60/ /23/ /15/ /27/ /17/ /33/ /21/ * /50/ /32/ /26/ /16/ /28/ /18/ /36/ /23/ /40/ /25/ * /43/ /27/ /57/ /36/ /71/ /46/ /91/ /58/ /100/ /64/ /114/ /73/ /127/ /82/ /157/ /100/ /170/ /109/ /119/ /146/ /182/ /7/32/ /7/42/ * JIS C3664 (IEC60228) * 0.05/0.08 mm JIS mm JIS3102 * * 51

53 端子形狀與尺寸 (JIS C2802) T-1 T-2 T-13 T-4 T-5 B d t G L T-1 T-2 t L G B d d B t T-6 T-7 t G t L B t T-8 T-9 d T-3 T-4 T-5 d t B G L T-6 T-7 d L G B T-8 T-9 * t G 10% * 4 5 T-8 t L L B d d d G G t L G L B G B d B G L t mm > > > > > > > > > > >

54 53

55 碳石墨產品表面處理和新研發產品 / 技術服務 東洋炭素相信碳的無限可能, 而且我們積極開展的基礎和應用研究永無止境 表面處理產品 PYROGRAPH 產品 55 PERMA KOTE 產品 56 新研發產品 59 技術服務 62 分析技術 65

56 表面處理產品 PYROGRAPH 產品 PYROGRAPH (CVD) PYROGRAPH 產品特點 PYROGRAPH 20 µm 用途 OLED PYROGRAPH 產品性能資料 雜質分析範例 B <0.01 Na 0.03 Al 0.02 Cr <0.10 Fe <0.01 Ni <0.01 * * 透氣性 [m 2 /s] ppm [µm] 一般物理特性 Mg/m HSD 100 µω m x /K MPa GPa W/(m K) * 1,000 * 發射率 [%] [] 55

57 PERMA KOTE 產品 PERMA KOTE (CVD) PERMA KOTE 產品特點 PERMA KOTE SEM 100 µm 塗層厚度 120 µm µm 用途 MOCVD 56

58 PERMA KOTE 產品性能資料 耐蝕性 (%) () (h) (g/m 2 ) HF HCl H2SO HNO HF + HNO3 (1:1) HNO3 + H2SO4 (1:1) NaOH H3PO HCl + HNO3 (3:1) 與不同物質發生反應 ( 在真空中 ) 塗層特性 1200 x 3h 1600 x 3h Al B Co Cr Cu Fe Mo Ni Pb Si Sn Ta Ti V W Al2O3 B2O3 (III) Cr2O3 (III) Fe2O3 MgO (IV) MnO2 (II) PbO SiO2 (IV) TiO2 (V) V2O5 (IV) ZrO2 * ß-SiC 3.2 Mg/m HK 0.2 Ω m 170 MPa 320 GPa * 雜質分析範例 B 0.15 Na 0.02 Al 0.01 Cr <0.1 Fe 0.02 Ni <0.01 * * :Si :C ppm 57

59 碳化矽蒸汽壓 * 10 6 氧化作用 C [Pa] [ %] C 800 C [] PERMA KOTE [h] PERMA KOTE SiO2 800 CVD-SiC 與基底石墨的熱膨脹係數 熱導率 [%] CVD-SiC [W/(m k)] [] [] 透氣性 1 發射率 Pm=100 kpa Ry5 100 µm [m 2 /s] [%] [µm] [] 58

60 新研發產品 多孔碳 CNovel CNovel (2-50 nm) (1) (2) CNovel 金屬碳化物塗層石墨 MetalizeKote MetalizeKote Cr Fe MetalizeKote SEM 59

61 TaC 塗層石墨 EVEREDKOTE (SiC) (GaN) (AlN) (ZnO) EVEREDKOTE TaC TaC 4,000 TaC SEM TaC-Ta 複合材料 EVEREDKOTE -K EVEREDKOTE -K (Kwansei Gakuin University) TaC EVEREDKOTE EVEREDKOTE -K SEM 金屬 / 碳複合材料 KLASTA MATE KLASTA MATE KLASTA MATE KLASTA MATE DLC 60

62 陶瓷 / 金屬複合材料 CARBOCELL CARBOCELL (Osaka University) CBC MBCCARBOCELL CBC (AlN) (SiC) MBC (Al) CBC (SiC) MBC 含氟表面改質 61

63 技術服務 石墨和碳加工 0.2 mm 3D 3D ø300 mm L = 400 mm 3D C/C C/C ø500 mm ø600 mm ø1,400 mm 62

64 熱處理 1,000 1,000 3,000 3,000 N2 Ar H2 (mm) 1500W x 1400H x 2000L ø1050 x 830H () KPa KPa 高純度處理 5 ppm () 2300 (mm) 1500W x 1400H x 2000L ( ppm) 5 * 表面處理 SiC PERMA KOTE (CVD) (SiC) ø1,050 x 830 mm PERMA KOTE SEM 100 µm (mm) SiC ø1050 x 830H SiC (µm) B:0.15/Na:0.02 ppm 0.01/Cr:<0.1 * GDMS 0.02/Ni:<0.01 * SiC PYROGRAPH PYROGRAPH 20 µm (CVD) SiC/C SiC/C (SiC) 63

65 浸漬 250 成形 (CIP) 測量 3D CNC 1,600 (X) x 3,000 (Y) x 1,200 (Z) mm ø0.5 mm Crysta-Apex (Mitutoyo Corporation) 1. (X.Y.Z) 1600 x 3000 x 1200 mm kg 3. (µm) MPEE L/1000 CNC CCD 1,500 x 1,750 x 100 mm (X, Y, Z) QV ACCEL (Mitutoyo Corporation) 1. (X.Y.Z) 1500 x 1750 x 100 mm kg 3. (µm) (X.Y) L/

66 分析技術 熱分析 TMATG-DTA FEM 結構和表面分析 XRDFE-SEM 元素分析 ICP- OESXRF 物理特性 / 65

67 3D CAD 圖紙 3D CAD 3D CAD 有限元素法 (FEM 分析範例 ) FEM 熱變形分析結果 熱應力分析結果 (mm) (mm) (MPa) (mm) 電流密度分佈結果 (A/cm 2 )

68 東洋炭素有限公司 Tel : Fax : CT

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