PYROGRAPH PYROGRAPH CVD PYROGRAPH PYROGRAPH 20 μm OLED PYROGRAPH B < <0.10 <0.01 <0.01 * * [m 2 /s] pp

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1 - / PYROGRAPH 55 PERMA KOTE

2 PYROGRAPH PYROGRAPH CVD PYROGRAPH PYROGRAPH 20 μm OLED PYROGRAPH B < <0.10 <0.01 <0.01 * * [m 2 /s] ppm [μm] Mg/m HSD 100 μω m x /K MPa GPa W/(m K) * RT 1,000 * [%] [ ] 55 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

3 PERMA KOTE PERMA KOTE CVD PERMA KOTE PERMA KOTE SEM 100 μm MOCVD 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 56

4 PERMA KOTE h g/m 2 HF HCl H2SO HNO HF + HNO3 (1:1) HNO3 + H2SO4 (1:1) NaOH H3PO HCl + HNO3 (3:1) x 3h 1600 x 3h Al B Co Cr Cu Fe Mo Ni Pb Si Sn Ta Ti V W Al2O3 B2O3 III Cr2O3 III Fe2O3 MgO MnO2 II PbO SiO2 IV TiO2 V V2O5 IV ZrO2 * ß-SiC 3.2Mg/m HK 0.2Ω m 170MPa 3 320GPa * B 0.15 Na 0.02 Al 0.01 Cr <0.1 Fe 0.02 Ni <0.01 * * : :C ppm 57 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

5 * C [Pa] C 800 C [ ] PERMA KOTE [h] PERMA KOTE 800SiO2 CVD-SiC [%] CVD-SiC [W/(m K)] [ ] [ ] [m 2 /s] Pm=100kPa [%] Ry5 100 μm [μm] [ ] 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 58

6 CNovel CNovel 2 50nm 12 CNovel MetalizeKote MetalizeKote Cr-Fe MetalizeKote SEM 59 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

7 EVEREDKOTE SiCGaNAlNZnO EVEREDKOTE 4,000 SEM - EVEREDKOTE -K EVEREDKOTE -K EVEREDKOTE SEM / KLASTA MATE KLASTA MATE KLASTA MATE KLASTA MATE DLC 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 60

8 /CARBOCELL CARBOCELL // Ceramic Bonded Carbon CBCMetal Bonded Carbon MBCCARBOCELL AlN SiCCBC MBC Al CBC MBC 61 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

9 0.2mm 3D 3D Ø300mm L=400mm 3D C/C C/C ø500mm ø600mm ( ø1,400mm 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 62

10 1000 ( ( 3000) N2 H2 mm 1500W x 1400H x 2000L ø1050 x 830H KPa 20 86KPa 5 ppm 2300 mm 1500W x 1400H x 2000L ppm 5 * PERMA KOTE CVD SiC ø1,050 x 830mm PERMA KOTE SEM 100 mm ø1050 x 830H μm ( 0.15/0.02 ppm) 0.01/ : <0.1 * GDMS 0.02/ : <0.01 * PYROGRAPH PYROGRAPH 20 μm CVD / / (SiC) 63 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

11 250 CIP 3D CNC1,600 X 3,000 Y 1,200 Zmm ø0.5mm CRYSTA-Apex 1. X.Y.Z mm kg 3. μm MPEE L/1000 CNC CCD 1,500 x1,750 x 100mm XYZ QV ACCEL 1. X.Y.Z 1500 x 1750 x 100mm 2. 50kg 3. μm X.Y L/1000 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 64

12 TMA TG-DTA FEM XRD FE-SEM ICP-OES XRF / 65 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

13 CAD CAD CAD FEM mm mm MPa mm A/cm 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 66

01

01 - 01 1974 02 04 C/C 14 PERMA-FOIL 22 30 40 / 54 03 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 碳-石墨产品 特种石墨 1 单晶硅制造设备 2 临界等离子测试设备 JT-60 * 照片由日本原子能研究开发机构提供 (1) (2) CIP 100 μm 2000 2500 100 μm 0 5 10 15 20 [Mg/m 3 ] 05 未经东洋炭素的事先许可,

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