CIP 1 μm μm [Mg/m 3 ] 5 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

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1 碳-石墨产品 特种石墨 1 单晶硅制造设备 2 临界等离子测试设备 JT-6 * 照片由日本原子能研究开发机构提供 (1) (2)

2 CIP 1 μm μm [Mg/m 3 ] 5 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

3 / 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 6

4 LEDEDM * * CVD 7 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

5 MOCVD MOCVD SiC EDM EDM 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 8

6 Mg/m 3 HSD μω m MPa MPa MPa GPa 1-6 /K W/(m K) (mm) IG x 62 x 1 41 x 41 x 24 D585 x 15 IG x 62 x 1 D585 x 15 IG x 62 x 1 IG D585 x x 62 x 1 IG x 54 x 85 IG x 54 x 85 IG x 62 x 15 D115 x 56 IG x 62 x 1 D46 x 15 ISEM x 62 x 1 ISEM x 62 x 1 ISEM x 62 x 1 ISEM x 62 x ISO x 54 x 1 ISO x 45 x 85 ISO x 54 x 1 TTK x 62 x 1 23 x 54 x 1 TTK x 51 x 95 TTK x 51 x 95 TTK x 4 x 7 TTK x 4 x 7 SIC x 62 x 1 SIC x 62 x 1 HPG x 51 x 95 HPG x 51 x 95 HPG x 5 x 95 HPG x 4 x 7 HPG x 4 x 7 * * 3545 * μω m=μω cm.1 MPa=kgf/cm 2.98 GPa=kgf/mm 2.98 W/(m K)=kcal/h m C 1.16 * ppm <.1 <.1 <.3 ICP-MS < ICP-MS ICP-MS <.4.6 <.3 ICP-MS <.2 <.2 <.5 ICP-MS <.1 <.1 <.2 ICP-MS < ICP-MS < ICP-MS < ICP-MS <.1 <.1 <.3 ICP-MS <.1 <.1 2 < ICP-MS < FL-AAS <.2 <.2 <1 ICP-MS < FL-AAS <.2 <.2 <.6 ICP-MS <.1 <.1 33 ICP-MS <.1 <.1 <1 ICP-MS * * ICP-MS:FL-AAS * 4ppm ppm 9 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

7 * 8 Al4C3 16 B4C 68 Fe3C 445 C64Na O2 218 CoC, Co3C 7 Mo2C SiC 14 W2C, WC 3 C8K 5 Li2C2 9 Be2C 12 COB V 438 CO, V III 485 CO, Fe IV 93 CO, Ti, TiC 125 CO, Si, SiC 128 CO, Al, Al4C3 96 CO, Be, Be2C 135 CO, Mg IV 13 CO, Zr, ZrC * [Pa] atm= Pa [] 2,2 TDS [Pa/g] K/s 1 1 1mm IG-11 IG-11 IG-11U [] / * / / 4246 /CO, CO2 1 (O2) 4246 /CO, CO2 (H2O) 65 /CO, CO2, H2 (CO2) 9 / CO (H2) 7 /CH4 C2H2, C2H4, C2H6 (N2) 27N2C2N2 (Cl2) (F2) 4219 /CF CF4, C2F6 Ar 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 1

8 2 (IG-11) 12 [μωm] IG-19 IG-56 IG-11 [MPa] [] [] [%] ISO-66 ISO-68 IG-11 (W/(m K)) IG-15, IG-43 IG-11 IG [] [] [1-6 /K] [W/(m K)] (%) 1-2 = 1-6 /K [W/(m K)] = [μω m] 11 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

9 [J/(g K)] 1.5 [m 2 /s 1-4 ] [] 1/ [] = [%] 8 7 IG-61U [] (IG-12) [MPa] [mm 3 /g] 5 ISO-63 IG [] [μm] IG-11 8/2 = 4 mm 3 /gg1.8 μm 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 12

10 Ry12 Ry3 RyRaRz Ry Ra Rz Ry Ra Rz.75 Rz3 Ry.8.2 Rz.8 3. Rz12 Ry Rz6.3 Ry Rz35 Ry Rz25 Ry1 25 Rz1 Ry1 25 Rz1 * 3. Ra 3. JIS B mm * 13 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息

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