碳石墨產品表面處理和新研發產品 / 技術服務東洋炭素相信碳的無限可能, 而且我們積極開展的基礎和應用研究永無止境表面處理產品 PYROGRAPH 產品 55 PERMA KOTE 產品 56 新研發產品 59 技術服務 62 分析技術 65

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纣拘奚
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1 碳石墨產品表面處理和新研發產品 / 技術服務東洋炭素相信碳的無限可能, 而且我們積極開展的基礎和應用研究永無止境表面處理產品 PYROGRAPH 產品 55 PERMA KOTE 產品 56 新研發產品 59 技術服務 62 分析技術 65

2 表面處理產品 PYROGRAPH 產品 PYROGRAPH (CVD) PYROGRAPH 產品特點 PYROGRAPH 20 µm 用途 OLED PYROGRAPH 產品性能資料雜質分析範例 B <0.01 Na 0.03 Al 0.02 Cr <0.10 Fe <0.01 Ni <0.01 * * 透氣性 [m 2 /s] ppm [µm] 一般物理特性 Mg/m HSD 100 µω m x /K MPa GPa W/(m K) * 1,000 * 發射率 [%] [ ] 55

3 PERMA KOTE 產品 PERMA KOTE (CVD) PERMA KOTE 產品特點 PERMA KOTE SEM 100 µm 塗層厚度 120 µm µm 用途 MOCVD 56

4 PERMA KOTE 產品性能資料耐蝕性 (%) ( ) (h) (g/m 2 ) HF HCl H2SO HNO HF + HNO3 (1:1) HNO3 + H2SO4 (1:1) NaOH H3PO HCl + HNO3 (3:1) 與不同物質發生反應 ( 在真空中 ) 塗層特性 1200 x 3h 1600 x 3h Al B Co Cr Cu Fe Mo Ni Pb Si Sn Ta Ti V W Al2O3 B2O3 (III) Cr2O3 (III) Fe2O3 MgO (IV) MnO2 (II) PbO SiO2 (IV) TiO2 (V) V2O5 (IV) ZrO2 * ß-SiC 3.2 Mg/m HK 0.2 Ω m 170 MPa 320 GPa * 雜質分析範例 B 0.15 Na 0.02 Al 0.01 Cr <0.1 Fe 0.02 Ni <0.01 * * :Si :C ppm 57

5 碳化矽蒸汽壓 * 10 6 氧化作用 C [Pa] [ %] C 800 C [ ] PERMA KOTE [h] PERMA KOTE SiO2 800 CVD-SiC 與基底石墨的熱膨脹係數熱導率 [%] CVD-SiC [W/(m k)] [ ] [ ] 透氣性 1 發射率 Pm=100 kpa Ry5 100 µm [m 2 /s] [%] [µm] [ ] 58

6 新研發產品多孔碳 CNovel CNovel (2-50 nm) (1) (2) CNovel 金屬碳化物塗層石墨 MetalizeKote MetalizeKote Cr Fe MetalizeKote SEM 59

7 TaC 塗層石墨 EVEREDKOTE (SiC) (GaN) (AlN) (ZnO) EVEREDKOTE TaC TaC 4,000 TaC SEM TaC-Ta 複合材料 EVEREDKOTE -K EVEREDKOTE -K (Kwansei Gakuin University) TaC EVEREDKOTE EVEREDKOTE -K SEM 金屬 / 碳複合材料 KLASTA MATE KLASTA MATE KLASTA MATE KLASTA MATE DLC 60

8 陶瓷 / 金屬複合材料 CARBOCELL CARBOCELL (Osaka University) CBC MBC CARBOCELL CBC (AlN) (SiC) MBC (Al) CBC (SiC) MBC 含氟表面改質 61

9 技術服務石墨和碳加工 0.2 mm 3D 3D ø300 mm L = 400 mm 3D C/C C/C ø500 mm ø600 mm ø1,400 mm 62

熱處理 1,000 1,000 3,000 3,000 N2 Ar H2 (mm) 1500W x 1400H x 2000L ø1050 x 830H ( ) 2000 2300 1500 0.

(CVD) (SiC) ø1,050 x 830 mm PERMA KOTE SEM 100 µm (mm) SiC ø1050 x 830H SiC (µm) 120 30 B:0.

10 熱處理 1,000 1,000 3,000 3,000 N2 Ar H2 (mm) 1500W x 1400H x 2000L ø1050 x 830H ( ) KPa KPa 高純度處理 5 ppm ( ) 2300 (mm) 1500W x 1400H x 2000L ( ppm) 5 * 表面處理 SiC PERMA KOTE (CVD) (SiC) ø1,050 x 830 mm PERMA KOTE SEM 100 µm (mm) SiC ø1050 x 830H SiC (µm) B:0.15/Na:0.02 ppm 0.01/Cr:<0.1 * GDMS 0.02/Ni:<0.01 * SiC PYROGRAPH PYROGRAPH 20 µm (CVD) SiC/C SiC/C (SiC) 63

浸漬 250 成形 (CIP) 測量 3D CNC 1,600 (X) x 3,000 (Y) x

11 浸漬 250 成形 (CIP) 測量 3D CNC 1,600 (X) x 3,000 (Y) x 1,200 (Z) mm ø0.5 mm Crysta-Apex (Mitutoyo Corporation) 1. (X.Y.Z) 1600 x 3000 x 1200 mm kg 3. (µm) MPEE L/1000 CNC CCD 1,500 x 1,750 x 100 mm (X, Y, Z) QV ACCEL (Mitutoyo Corporation) 1. (X.Y.Z) 1500 x 1750 x 100 mm kg 3. (µm) (X.Y) L/

12 分析技術熱分析 TMA TG-DTA FEM 結構和表面分析 XRD FE-SEM 元素分析 ICP- OES XRF 物理特性 / 65

3D CAD 圖紙 3D CAD 3D CAD 有限元素法 (FEM 分析範例 ) FEM

20 1.05 0.90 0.75 0.60 0.45 0.30 0.15 0.90 0.60 0.30 0.00 (mm) 1.

0 電流密度分佈結果 (A/cm 2 ) 300 270 240 210 180 150

13 3D CAD 圖紙 3D CAD 3D CAD 有限元素法 (FEM 分析範例 ) FEM 熱變形分析結果熱應力分析結果 (mm) (mm) (MPa) (mm) 電流密度分佈結果 (A/cm 2 )

PYROGRAPH PYROGRAPH CVD PYROGRAPH PYROGRAPH 20 μm OLED PYROGRAPH B < <0.10 <0.01 <0.01 * * [m 2 /s] pp

- / PYROGRAPH 55 PERMA KOTE 56 59 62 65 PYROGRAPH PYROGRAPH CVD PYROGRAPH PYROGRAPH 20 μm OLED PYROGRAPH B

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