碳石墨產品 特種石墨 (1) 單晶矽製造設備 (2) 臨界電漿測試設備 (JT-6) * 照片由日本原子力研究開發機構提供 (1) (2)
特種石墨產品特性 (CIP) 等方性石墨 等方性石墨和異方性石墨 1 µm 可靠性高 超強耐熱性 2, 2,5 卓越的導電性 出色的耐化學性 輕量且便於加工 1 µm 5 1 15 2 [Mg/m 3 ] 5
製程 / 6
用途 LED EDM 環境和能源 * * 電子 CVD 7
電子 MOCVD LCD MOCVD 冶金 EDM EDM 8
性能資料 典型性能 Mg/m 3 HSD µω m MPa MPa MPa GPa 1-6 /K W/(m K) (mm) IG-11 1.77 51 11. 39 78 25 9.8 4.5 12 35 x 62 x 1 41 x 41 x 24 585 x 15 IG-12 1.78 55 12.5 39 88 28 1.8 4.7 1 35 x 62 x 1 585 x 15 IG-15 1.9 6 9.5 54 13 29 11.8 4.8 14 23 x 62 x 1 IG-19 1.75 6 17. 38 88 25 9.5 4.6 8 585 x 15 35 x 62 x 1 IG-43 1.82 55 9.2 54 9 37 1.8 4.8 14 3 x 54 x 85 IG-45 1.88 55 9. 6 11 4 12. 4.9 14 3 x 54 x 85 IG-56 1.77 57 12.2 43 88 27 1.3 4.7 1 19 x 62 x 15 115 x 56 IG-7 1.83 58 1. 47 13 31 11.8 4.6 13 35 x 62 x 1 46 x 15 ISEM-1 1.68 45 13.5 36 69 2 8.8 4.2 9 35 x 62 x 1 ISEM-2 1.78 55 11. 41 83 25 9.8 4.6 12 35 x 62 x 1 ISEM-3 1.85 6 1. 49 13 29 11.8 5. 13 35 x 62 x 1 ISEM-8 1.78 63 13.4 52 16 34 1.1 5.6 9 35 x 62 x 15-12 ISO-63 1.78 76 15. 65 135 46 12. 5.6 7 23 x 54 x 1 ISO-66 1.82 75 14.4 7 134 46 12.6 7.1 8 18 x 45 x 85 ISO-68 1.82 8 15.5 76 172 54 13.2 5.6 7 23 x 54 x 1 TTK-5 1.8 7 13. 6 13 4 11.5 5.1 1 35 x 62 x 1 23 x 54 x 1 TTK-4 1.78 72 14. 73 135 49 1.9 5. 9 21 x 51 x 95 TTK-5 1.78 8 15.5 8 15 53 11.6 5.7 8 21 x 51 x 95 TTK-8 1.77 78 15. 8 155 55 12. 5.3 8 15 x 4 x 7 TTK-9 1.77 9 18. 92 18 67 13. 5.8 7 15 x 4 x 7 SIC-6 1.85 6 1. 49 13 29 11.8 5. 13 35 x 62 x 1 SIC-12 1.77 65 14.1 47 93 29 1.8 5. 8 35 x 62 x 1 HPG-51 1.78 73 14.3 75 14 5 11. 5.1 9 21 x 51 x 95 HPG-53 1.78 81 15.7 8 156 55 11.8 5.8 8 21 x 51 x 95 HPG-59 1.91 88 13.5 1 21 74 12.7 5.7 95 1 x 5 x 95 HPG-81 1.77 8 15.1 83 161 58 12.2 5.2 8 15 x 4 x 7 HPG-83 1.77 92 18.2 96 187 7 13.3 5.9 7 15 x 4 x 7 * * 35 45 * µω m=µω cm.1 MPa=kgf/cm 2.98 GPa=kgf/mm 2.98 W/(m K)=kcal/h m 1.16 * 雜質分析範例 ppm Li <.1 <.1 <.3 ICP-MS V <.1.18 4 ICP-MS B.1.15 3 ICP-MS Cr <.4.6 <.3 ICP-MS Na <.2 <.2 <.5 ICP-MS Mn <.1 <.1 <.2 ICP-MS Mg <.1.4.2 ICP-MS Fe <.2.6 26 ICP-MS Al <.1.12 14 ICP-MS Co <.1 <.1 <.3 ICP-MS Si <.1 <.1 2 UV Ni <.1.6 4 ICP-MS K <.3.4 2 FL-AAS Cu <.2 <.2 <1 ICP-MS Ca <.1.8 6 FL-AAS Zn <.2 <.2 <.6 ICP-MS Ti <.1 <.1 33 ICP-MS Pb <.1 <.1 <1 ICP-MS * * ICP-MSFL-AASUV * 4 ppm ppm 9
化學性質 與各種物質的起始反應溫度 * 8 Al4C3 16 B4C 6 8 Fe3C 4 45 C64Na O2 218 CoCCo3C 7 Mo2C 131 115 SiC 14 W2C, WC 3 C8K 5 Li2C2 9 Be2C 12 CO, B (V) 438 COV (III) 485 COFe (IV) 93 COTiTiC 125 COSiSiC 128 COAlAl4C3 96 COBeBe2C 135 COMg (IV) 13 COZrZrC 蒸汽壓 * [Pa] 1 7 1 5 1 3 1 1 1-1 1-3 1-5 1 =1.1 1 5 Pa 1-7 1 15 2 25 3 35 4 45 [] 2,2 熱脫附譜 (TDS) [Pa/g] 1-1 1-2 1-3 1-4 1-5 1K/s 1 1 1 (mm) IG-11 IG-11 IG-11U 1-6 1-7 5 1 15 [] 與多種大氣 / 氣體的反應 * / / 42 46 /COCO2 1 (O2) 42 46 /COCO2 (H2O) 65 /COCO2H2 (CO2) 9 /CO (H2) 7 /CH4 C2H2C2H4C2H6 (N2) 27 N2 C2N2 (Cl2) (F2) 42 19 /CF CF4C2F6 (Ar) 1
性能資料 高溫性能 電阻率 2 強度 (IG-11) 12 [µω m] 15 1 5 IG-19 IG-56 IG-11 [MPa] 1 8 6 4 2 5 1 15 [] 2 5 1 15 2 25 [] 2,5 線性熱膨脹 熱導率.8 14 [%].7.6.5.4.3.2.1 ISO-66 ISO-68 IG-11 [W/(m K)] 12 1 8 6 IG-12 IG-15, IG-43 IG-11 5 1 [] 4 5 1 15 [] 1 2 3 [1-6 /K] 1 2 3 4 [W/(m K)] (1-6 /K) = (%) 1-2 () [W/(m K)] =.13 1 4 [µω m] 11
比熱 熱擴散係數 2.5 1.4 1.2 [J/(g K)] 2. 1.5 1. [m 2 /s 1-4 ] 1..8.6.4.2.5 5 1 15 [] 1/3 5 1 15 [] = 發射率 1 9 [%] 8 7 IG-61U 6 5 1 15 2 [] 物理特性 應力應變曲線 (IG-12) 孔隙分佈曲線 4 2 1 8 [MPa] -2-4 -6-8 [mm 3 /g] 5 ISO-63 IG-11-1 -4-3 -2-1 1 2 [%].1.5.1.5 1 1.8 5 [µm] IG-11 8/2 = 4 mm 3 /g1.8 µm 12
Ry12 Ry3 加工 表面粗糙度標準 RyRaRz 表面粗糙度標準 Ry Ra Rz Ry Ra Rz.75 Rz3 Ry.8.2 Rz.8 3. Rz12 Ry6.3 1.6 Rz6.3 Ry35 8.75 Rz35 Ry25 6.3 Rz25 Ry1 25 Rz1 Ry1 25 Rz1 * 3. Ra 3. 加工尺寸公差 JIS B 45 尺寸公差標準.5 6.1 6 3.2 3 12.3 12 4.5 4 1.8 1 2 1.2 mm * 13