碳-石墨产品 特种石墨 1 单晶硅制造设备 2 临界等离子测试设备 JT-6 * 照片由日本原子能研究开发机构提供 (1) (2)
CIP 1 μm 2 25 1 μm 5 1 15 2 [Mg/m 3 ] 5 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息
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LEDEDM * * CVD 7 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息
MOCVD MOCVD SiC EDM EDM 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 8
Mg/m 3 HSD μω m MPa MPa MPa GPa 1-6 /K W/(m K) (mm) IG-11 1.77 51 11. 39 78 25 9.8 4.5 12 35 x 62 x 1 41 x 41 x 24 D585 x 15 IG-12 1.78 55 12.5 39 88 28 1.8 4.7 1 35 x 62 x 1 D585 x 15 IG-15 1.9 6 9.5 54 13 29 11.8 4.8 14 23 x 62 x 1 IG-19 1.75 6 17. 38 88 25 9.5 4.6 8 D585 x 15 35 x 62 x 1 IG-43 1.82 55 9.2 54 9 37 1.8 4.8 14 3 x 54 x 85 IG-45 1.88 55 9. 6 11 4 12. 4.9 14 3 x 54 x 85 IG-56 1.77 57 12.2 43 88 27 1.3 4.7 1 19 x 62 x 15 D115 x 56 IG-7 1.83 58 1. 47 13 31 11.8 4.6 13 35 x 62 x 1 D46 x 15 ISEM-1 1.68 45 13.5 36 69 2 8.8 4.2 9 35 x 62 x 1 ISEM-2 1.78 55 11. 41 83 25 9.8 4.6 12 35 x 62 x 1 ISEM-3 1.85 6 1. 49 13 29 11.8 5. 13 35 x 62 x 1 ISEM-8 1.78 63 13.4 52 16 34 1.1 5.6 9 35 x 62 x 15 12 ISO-63 1.78 76 15. 65 135 46 12. 5.6 7 23 x 54 x 1 ISO-66 1.82 75 14.4 7 134 46 12.6 7.1 8 18 x 45 x 85 ISO-68 1.82 8 15.5 76 172 54 13.2 5.6 7 23 x 54 x 1 TTK-5 1.8 7 13. 6 13 4 11.5 5.1 1 35 x 62 x 1 23 x 54 x 1 TTK-4 1.78 72 14. 73 135 49 1.9 5. 9 21 x 51 x 95 TTK-5 1.78 8 15.5 8 15 53 11.6 5.7 8 21 x 51 x 95 TTK-8 1.77 78 15. 8 155 55 12. 5.3 8 15 x 4 x 7 TTK-9 1.77 9 18. 92 18 67 13. 5.8 7 15 x 4 x 7 SIC-6 1.85 6 1. 49 13 29 11.8 5. 13 35 x 62 x 1 SIC-12 1.77 65 14.1 47 93 29 1.8 5. 8 35 x 62 x 1 HPG-51 1.78 73 14.3 75 14 5 11. 5.1 9 21 x 51 x 95 HPG-53 1.78 81 15.7 8 156 55 11.8 5.8 8 21 x 51 x 95 HPG-59 1.91 88 13.5 1 21 74 12.7 5.7 95 1 x 5 x 95 HPG-81 1.77 8 15.1 83 161 58 12.2 5.2 8 15 x 4 x 7 HPG-83 1.77 92 18.2 96 187 7 13.3 5.9 7 15 x 4 x 7 * * 3545 * μω m=μω cm.1 MPa=kgf/cm 2.98 GPa=kgf/mm 2.98 W/(m K)=kcal/h m C 1.16 * ppm <.1 <.1 <.3 ICP-MS <.1.18 4 ICP-MS.1.15 3 ICP-MS <.4.6 <.3 ICP-MS <.2 <.2 <.5 ICP-MS <.1 <.1 <.2 ICP-MS <.1.4.2 ICP-MS <.2.6 26 ICP-MS <.1.12 14 ICP-MS <.1 <.1 <.3 ICP-MS <.1 <.1 2 <.1.6 4 ICP-MS <.3.4 2 FL-AAS <.2 <.2 <1 ICP-MS <.1.8 6 FL-AAS <.2 <.2 <.6 ICP-MS <.1 <.1 33 ICP-MS <.1 <.1 <1 ICP-MS * * ICP-MS:FL-AAS * 4ppm ppm 9 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息
* 8 Al4C3 16 B4C 68 Fe3C 445 C64Na O2 218 CoC, Co3C 7 Mo2C 131 115 SiC 14 W2C, WC 3 C8K 5 Li2C2 9 Be2C 12 COB V 438 CO, V III 485 CO, Fe IV 93 CO, Ti, TiC 125 CO, Si, SiC 128 CO, Al, Al4C3 96 CO, Be, Be2C 135 CO, Mg IV 13 CO, Zr, ZrC * [Pa] 1 7 1 5 1 3 1 1 1-1 1-3 1-5 1atm=1.1 1 5 Pa 1-7 1 15 2 25 3 35 4 45 [] 2,2 TDS [Pa/g] 1-1 1-2 1-3 1-4 1-5 1K/s 1 1 1mm IG-11 IG-11 IG-11U 1-6 1-7 5 1 15 [] / * / / 4246 /CO, CO2 1 (O2) 4246 /CO, CO2 (H2O) 65 /CO, CO2, H2 (CO2) 9 / CO (H2) 7 /CH4 C2H2, C2H4, C2H6 (N2) 27N2C2N2 (Cl2) (F2) 4219 /CF CF4, C2F6 Ar 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 1
2 (IG-11) 12 [μωm] 15 1 5 IG-19 IG-56 IG-11 [MPa] 1 8 6 4 2 5 1 15 [] 2 5 1 15 2 25 [] 25.8 14 [%].7.6.5.4.3.2.1 ISO-66 ISO-68 IG-11 (W/(m K)) 12 1 8 6 IG-15, IG-43 IG-11 IG-12 5 1 [] 4 5 1 15 [] 1 2 3 [1-6 /K] 1 2 3 4 [W/(m K)] (%) 1-2 = 1-6 /K [W/(m K)] =.13 1 4 [μω m] 11 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息
2.5 2. 1.4 1.2 1. [J/(g K)] 1.5 [m 2 /s 1-4 ].8.6 1..4.2.5 5 1 15 [] 1/3 5 1 15 [] = - 1 9 [%] 8 7 IG-61U 6 5 1 15 2 [] (IG-12) 4 2 1 8 [MPa] -2-4 -6-8 [mm 3 /g] 5 ISO-63 IG-11-1 -4-3 -2-1 1 2 [].1.5.1.5 1 1.8 5 [μm] IG-11 8/2 = 4 mm 3 /gg1.8 μm 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息 12
Ry12 Ry3 RyRaRz Ry Ra Rz Ry Ra Rz.75 Rz3 Ry.8.2 Rz.8 3. Rz12 Ry6.3 1.6 Rz6.3 Ry35 8.75 Rz35 Ry25 6.3 Rz25 Ry1 25 Rz1 Ry1 25 Rz1 * 3. Ra 3. JIS B45.5 6.1 6 3.2 3 12.3 12 4.5 4 1.8 1 2 1.2 mm * 13 未经东洋炭素的事先许可, 不得使用或转载本目录信息