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2 (03) (03) (03) (03) (03) B1 (02) (02)

3

4

5 LED : : GaAs HBT WB LED : : 36.28% : 11 ISO WB LED 1

6 ( ) ( ) , , GaN LED HBT 1 LED 2 HBT 87 3 LED 7 13, ,000 2 (88) / , ,000 7 ISO (89) nm 3 19, , HBT 10 LD 2

7 , , InP HBT 11 ISO

8 4 ( ) 1.

9

10

11 ( ) ,074, % 2,074, % 1,772, % ( ) ,215, % 6,215, % 105 ( ) ,170, % 4,170, % - ( ) ,090, % 2,090, % - ( 3) , % 491, % 826, % , % 319, % , % 995, % 751, % 2 ( ) ,196, % 1,196, % , % 190, % 97, %

12 (1) (2) (3) (4) (5) (6) (7) 8

13 , % 159, % , % 237, % - - EMBA , % 826, % - - 5,383 ( ) 131 9

14 ( ) ( ) ( ) ( ) 11,409 (838,342) (435,684) (181,776) ( 1) (26,100) ( 2) (43,500) ( 3) ( 4) (162,248) (1,800,000) (2,500,000) % 90/01/ /06/ /04/ % 4. ( ) ( ) 2,544, , % 6.30% 16,753, , % 4.02% 19,298, , % 10.32%

15 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) (85) , ,000 23, , , ,000 36, , , (87) ( ) , ,000 50, , , ,000 1,000,000 70, , , ,000 1,000,000 77, , (88) ( ) (89) ( ) (90) 46,800 ( ) , : ( ) 77,900,000 52,100, ,000, , ,121 1,468,000 15,441,091 60,616, ,000 77,900, % 11

16 % , ,000 10,000 2,623 9,054, ,001 20, ,959, ,001 30, ,761, ,001 50, ,494, , , ,853, , , ,474, , , ,038, , , ,269, , , ,676, ,001 1,000, , ,000, ,168, ,121 77,900, % ,215, ,170, ,090, ,074, ,551, ,525, ,343, ,196, , ,

17 ( 1) ( ) 77,900 77,900 77, (2.92) 0.58 (2.92) ( 3) ( 4) ( 5) ( 6) (1). 13

18 (2) (1). (2). A. B. C. (3) ( ) ( ) ( ) 14

19 ( ) (91) ( ) (91) ( ) ,117 3, % 3.85% % ,117,000 3,000, % 3.85% % ( ) 15

20 ( ) 1. (1) A1 Ga As A1 Ga In P In Ga As In Ga As P In Ga N Ga As P Ga P (2) (3) (4) 2. % (%) 237, % 118, % % 356, % 3. (1) HBT PHEMT InP HBT 16

21 (2) LD Wafer Bonding LED LD InGaAs PIN 4. (1) 650nm 650nmLD (2) Wafer Bonding LED ( ) (1) ,623 37,756 (4) AlGaAs HBT InGaP HBT PHEMT 850nm VCSEL 780nm LD 650nm LD PIN Diode 17

22 ( ) (1) ( % ) ( % ) 13, % 11, % 142, % 174, % 358, % 168, % 514, % 354, % (2) A. TRW RF Micro Devices Fujitsu B. Kopin Epitronics Emcore Hitachi Cable Picogiga IQE A. Picogiga IQE B. Hitachi Cable ,539 1,909, ,539 6,472,009 (3) 18

23 Electronic Trend Publication ISM/WLAN PA ABI 2002 PA 15.8 PA % PA PA 2001 PA PA PA

24 Laser Focus World 2003 DVD % % LED 2005 LED 2,640 17% (4) A. B. A. B. C. MOCVD D InGaP HBT nm VCSEL 780nm Laser Diode 2000 HBT 89 ( ) Laser Diode 20

25 2~3 (5) HBT PHEMT Laser Diode VCSEL PIN Diode LED A. HBT PHEMT VCSEL Laser Diode B. Elsevier Advanced Technology GaAs Electronic Materials and Devices IDM (in-house) % (Sub-contract epi-service) (process)

26 22 (6) ( ) 1. ( ) 1. (LD) (CD-R CD-RW) 2. (VCSEL) ( / ) 3. (LED) 2. MOCVD MOCVD MOCVD MOCVD MOCVD MOCVD ECV ECV X-ray X-ray Hall Hall PL PL ( ) AXT Freiberger Sumitomo Mitsubishi Epichem Morton Tosho

27 ( ) 1. % % % % 1 O , O , O , O , O , O , O , O , O , O , O , L , O , O , O-021 7, O , O , O-007 5, O , O-087 6, O-038 3, O-007 5, O-038 6, O-027 2, , L-033 4, O-073 1, NDI 3, L-021 3, O , , , , , , MOCVD (PA) LD 89 O-012 O O-012 CD-R O-020 LD O O-012 O

28 2. % (%) ( % ) 92 ( % ) 1 Freiberger 43, Freiberger 55, Freiberger 47, Epichem 40, AXT 25, Sumitomo 6, AXT 37, Epichem 4, Epichem tw 4, Mitsubishi 11, Sumitomo 4, , Sumitomo 9, Mitsubishi 3, Supercom 1, , Energy 3, , , RHJ 2, UM Mochem AKZO 2, Epichem SHARP MCC 1, SHARP Epichem tw 1, , , (12,581) (23.88) , , , % 67.30% 87.45% AXT Sumitomo Mitsubishi Freiberger 24

29 ( ) / \ 67,774 15, ,381 95,712 15, , ,660 23, , , ,096 90, ,434 38, , , , ,095 ( ) / ,186 12, , ,883 13, , ,493 27, ,614 37,208 1,997 24, ,538 10,183 5, , ,966 13,077 40, ,582 37,773 11,149 38, , % 3.86% 3.86% 13.05% 10.63% 10.63% 70.65% 60.87% 57.49% 12.50% 24.64% 28.02% % % %

30 89.12~94.11 ( ) , = / 100% 2. =( + )/ 100% 3. =( + )/ / ~ , ~ , ~ , ~ , ~ , ~ , ~ ~ , , ~ ~ , ,470 2, ~ ~ , ,604 1, ~ ~ , , ~ ~ , , ~ ~ , ,

31 (88) ( ) ,640 A. 14, ,000 B. 125, ,170 64,320 28, ,880 46,728 15,576 15, ,000 7,600 22,800 22,800 22, ,000 18,000 6,000 6, ,590 53,295 37,307 15,988 MOCVD ,000 15,000 15, ,640 64,320 28,850 75, ,835 44,376 60, (89) ( ) ,000 19, , ,500 52, , ,800 83,200 28,600 31, ,000 10,000 40,000 20,000 20,000 10, ,000 15,000 15, ,500 94,318 93,682 17,625 5, , , , , ,075 38,600 31,

32 (1) 89 93, , (%) ,880 78, (%) ,000 76, (%) ,000 30, (%) , ,725 MOCVD (%) ,000 30, (%) , , (%) (2) ,480 57, , , ,504 60, , , ,528 63, , ,

33 A. MOCVD 88 60,480 57, , , ,160 7,808 49,389 15, % 13.56% 8.57% 5.61% 63,504 60, , , ,235 28, ,107 69, % 46.82% 38.21% 17.69% 66,528 63, , , ,096 62, ,535 37, % 98.11% 18.71% 12.34% a b.led 88 LED LED LED LED LED % 80.0% LED Wafer ,692 4,974 YOY(%) 59.3% 80.0% 51.7% Chip 4,197 5,140 6,322 11,765 YOY(%) 22.5% 23.0% 23.0% Packaged 12,000 13,800 15,870 24,136 YOY(%) 15.0% 15.0% 15.0% 16,787 19,880 23,884 40,875 YOY(%) 18.4% 20.1% 19.7% PIDA LED

34 LED LED LED LED LED Wafer ,155 1,963 3,340 Chip 5,060 6,780 7,970 9,800 12,060 Packaged 12,900 15,480 18,600 22,300 26,800 18,322 22,953 27,725 34,063 42,200 PIDA % % % 69.99% 88 1,744 23,836 2,409 29, ,160 39,126 7,808 49, % 64.15% % 69.99% a % 56.72% IMF World Economic Outlook

35 % , % (75.61) 291, % (118.18) b. LED , ,794 39,760 47, , % 29.10% 7.73% 9.30% % ,032 4:6 1,067, % % 89 8,160 39,126 7,808 49, , ,224 28, , % % % % % % % % % % % 98.11% 18.71% 12.34%

36 88 66,528 63, , , ,096 62, ,535 37, % 98.11% 18.71% 12.34% Laser Focus World 2003 DVD % % a. b. LD MOCVD LD c. B % 118, , , ,613 81,201 38, , , , , , ,

37 88 3, , , , , , , LED 87 24, , % % % % % % % % 2.89 (1) , , (%) , , (%) ,000 30, (%) , , (%) , , (%) (2) 33

38 89 2,880 2,400 43,200 21,600 12, ,520 84,600 1,520, , , , ,400 1,964, , ,356 A. 2,880 2,400 43,200 21, ,520 84,600 1,520, , ,734 12, ,480 68, % 14.58% 18.18% 9.01% 154, ,400 1,964, , ,307 14, ,735 (82,112) 9.93% 10.91% 12.00% a.mocvd 89 (PA) HBT (PA) HBT HBT 89 GaAs HBT MOCVD MOCVD MOCVD 90 34

39 b. 90 MOCVD % % % PA 2001 PA a. b. MOCVD c. 35

40 B % 793, , , ,657 81, , ,992, ,652 1,217, , , , ,641 63, , ( ) 0.74 (1.44) , , , , ,992, ,652 1,217, , , % , , , % % % % % % 89 36

41 ( ) ( 1) , , , , , ,117 40,716 45,710 45, , ,496 1,092,552 1,368,873 1,220,817 1,184, ,346 1,291 1,286 1,286 33,792 70, , , , , , ,652 1,992,092 2,143,857 1,865,876 1,826,761 42,613 81, , , , ,364 42,613 81, ,364 85, , , , , , ,684 3,116 4,475 4, , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , ,223 (38,905) (113,577) 53,382 45,788 (186,123) (206,962) (38,905) (113,577) 5,621 (206,962) 321, ,423 1,371,805 1,416,349 1,188,989 1,158, , ,423 1,370, ,158,

42 ( ) ( 1) ,081 63, , , , ,192 27,574 23, , ,732 (44,555) 20,856 45,022 82,693 55,965 (37,870) (252,799) (33,304) 1,964 11,102 31,763 42,282 11,475 4,150 5,408 38,556 66,412 22,284 33,094 4,360 (48,466) (110,147) 21,316 (17,872) (274,418) (33,514) 27,920 74,672 53,382 45,505 (227,360) (30,728) ,920 74,672 53,382 45,505 (227,360) (30,728) (2.92) (0.39) ,600 6,000 1,926 2,121 ( )

43 ( 1) (%) (%) (10.21) (6.91) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 6.86 (11.29) (10.42) (5.97) ( ) ( (17.45) (2.62) ( (4.86) (32.45) (4.28) (%) (2.29) (35.23) (4.30) ( ) ( (64.13) (19.18) ( ) (2.92) (0.39) ( ) ( (1.74) (16.53) (7.54) ( ) (27.36) (12.86) (2.16) (4.01) - ( ) (12.40 (0.35) 6.49 (2.33)

44 40

45 60 41

46 ( ( ) ( ) ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) (%) (%) (%) 878, , , , , , , , , , , , , , , , , , , ,269 (44,895) (44,555) ,251-20, , , , , , , ,865-54, ,571 (28,448) (37,870) (85,028) (249,783) (252,799) ,386 - (33,304) (113.33) 30,650 54,086 42, ,864 9,703 11, ,603-4, ,953 25,211 22, ,493 28,158 33, ,626-4, , (17,872) (95,657) (268,238) (274,418) ,363 - (33,514) (624.91) 235,258 57,911 45, (64,856) (221,329) (227,360) ,690 - (30,728) (317.11) 42

47 % %; % 78.18% 88.39% 427 (17,872) 63, % 90 (2) % 99.24% % % (268,238) (274,418) 47,075 6,031 43

48 % 562, ,810 (196,188) (34.85) 1,368,873 1,220,817 (148,056) (10.82) 169, ,253 61, ,143,857 1,865,876 (277,981) (12.97) 247, ,868 44, , ,544 (96,694) (20.26) 727, ,887 (50,621) (6.96) 779, , , ,223 45,788 (186,123) (231,911) (506.49) 1,416,349 1,188,989 (227,360) (16.05) 1. (1) % % % 153, , , % (2) 2. (1) , , % % % 76.21% (2) 44

49 ( ) ( ) (%) 556, ,820 (199,518) (35.86) 41,679 2,281 (39,398) (94.53) 514, ,539 (160,120) (31.11) 376, ,094 22, ,732 (44,555) (182,287) 175, ,244 32, (37,870) (252,799) (214,929) 42,282 11,475 (30,807) (72.86) 22,284 33,094 10, (17,872) (274,418) (256,546) 63,337 47,058 (16,319) (25.75) ( ) 45,505 (227,360) (272,865) 1. (1) LD (2)

50 ( ) (86,782) 22,918 79,186 17,358 (47,872) 6 53,890 14,338 10,457 10,195 39, LD O-020 LED (150,507) (68,977) 71,696 (19,140) 9,306 46

51 (31,515) (177,113) (125,162) (62,098) 82,535 ( ) ( ) 26,930 (48,255) 70,662 49, (1) 91 48, ,360 (2) ,354 (3) 91 43, % ( ) (16.53) (128.49) (4.01) (2.16) (85.65) (2.33) 6.49 (136.90) 3. ( ) ( ) 49, , ,000 33, , ,000 50,000 47

52 ( ) ,584 51,724 48, ,748 46,775 29,973 ( ) ( ) 1. (1) 91 24, % 10.76% (2) 2. (1) (2) 48

53 A. B. 3. ( ) 91 ( ) Wafer Bonding LED WB 20, ( ) ( ) ( ) 49

54 ( ) 59 ( ) 50

55 5% 51

56 52

57 53

58 ( ) ( ) ( ) ( )227,359,513 41,237, ,121, (89 ) 41,237,690 (227,359,513) (186,121,823) 9,888, ,233,093 (50,000,000) ,195 9,690 ( ) 54

59 (1) ( ) 13,900 (2) 10% 1, % 2,085 75% 10, (3) ( ) 55

60 ( ) ( ) ΟΟ ΟΟΟ % (1) (2) (3) (4) 45,505, ,929 45,788,219 10% 4,550,529 41,237,690 56

61 20% 82 50,979, ,341, ,013, ,013, ,013, ,013,064 H ,013, ,646, ,646, ,646,910 57

62 58

63 (

64 (81) ( ) (86) ( )

65 $ 49, $ 26, $ 50, $ 58, , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , , ,094, ,060, , , , , , , , , ,652, ,611, X9 (501,356) (26.87) (313,986) (14.65) , , , , , , , , ,220, ,368, ( ) (186,123) (9.98) 45, , , ,188, ,416, , , , , , , $ 1,865, $ 2,143, $ 1,865, $ 2,143,

66 ( ) $ 356, $ 556, (1,651) (0.46) (40,046) (7.78) 4191 (630) (0.18) (1,633) (0.32) , , (399,094) (112.57) (376,927) (73.24) 5900 ( ) (44,555) (12.57) 137, (208,244) (58.73) (175,602) (34.12) 6900 (252,799) (71.30) (37,870) (7.36) , , , , , , , , , , (24,472) (6.90) (21,808) (4.24) 7550 (1,388) (0.39) (131) (0.03) 7570 (6,191) (1.75) (1,043) (0.30) (345) (0.06) (33,094) (9.34) (22,284) (4.33) 7900 (274,418) (77.40) (17,872) (3.47) , , ( ) $ (227,360 ) (64.13) $ 45, ( ) $(3.52) $(0.23) ( ) $(2.92) $

67 $ 700,000 $ 618,423 $ - $ 53,382 $ 1,371, ,338 (5,338) - 37,800 (37,800) - 9,000 (9,000) - (955) (955) (6) (6) 32,200 (32,200) ,505 45, , ,223 5,338 45,788 1,416, ,551 (4,551) - 91 (227,360) (227,360) $ 779,000 $ 586,223 $ 9,889 $ (186,123 ) $ 1,188,989 63

68 ( ) $ (227,360 ) $ 45,505 ( ) 13,369 (437) 192, ,803 ( ) 6,191 (13,314) (6,785) (4,329) ( )( ) (24) 24 25,942 1,241 11,649 6,516 ( ) (5,553) 9,334 (1,490) (701) ( ) (1,363) 2,088 (47,075) (63,377) 2,429 4,957 ( ) (627) (15,649) 1,359 1,442 (11,026) 7,318 ( ) (48,255) 143,421 (1,134,815) (932,782) 1,301, ,329 (4,994) (40,716) (38,162) (469,805) ( ) (9,940) 37,366 ( ) 2,607 (5,222) (210) (358) (1,455) (11,323) ( ) 114,354 (748,511) ( ) 64

69 ( ) (8,438) (112,180) - (10) (114,968) (43,008) 79, ,327 - (961) ( ) (43,692) 153,168 ( ) 22,407 (451,922) 26, ,852 $ 49,337 $ 26,930 ( ) $ 24,687 $ 23,077 $ 41 $ 838 $ 153,475 $ 92,035 $ 39,098 $ 424,829 ( ) (936) 44,976 $ 38,162 $ 469,805 65

70 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 66

71 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 10% ( ) ( ) $ 11,000 $ 1, , , , , , ,013 $ 1,094,050 $ 1,083,074 67

72 ( ) ( ) $ 118 $ ,412 16, ,470 15,801 - $ 49,337 $ 26, ( ) ( ) ( ) $ 103,059 $ 262,782 - (24) $ 103,059 $ 262,758 $ 103,142 $ 262, ( ) ( ) 1. $ 7,362 $ 1,809 (73) (18) $ 7,289 $ 1, $ - $ 5,482 49,618 69,165 (2,688) (2,754) $ 46,930 $ 71, $ 13,380 $ - (13,380) - $ - $ ( ) ( ) $ 78,592 $ 140,872 4, ,121 36,885 68

73 (404) (6,849) $ 138,775 $ 170, , , % % ( ) ( ) ( ) $ 40, $ 40, ( ) 4, $ 45,710 $ 40, ( ) ( ) $ 128,439 $ - $ 128,439 $ 128, ,661 65, , ,778 1,094, , , ,855 4,308 2,504 1,804 2,461 13,677 7,049 6,628 7,823 79,065 19,586 59,479 67,169 34,933-34,933 34,875 34,707-34,707 36,689 $ 1,722,173 $ 501,356 $ 1,220,817 $ 1,368, ,016,844 1,013, ,072 27,808 2,600 6, % 6.52% ( ) ( ) ( ) $ 229,107 $ 213,522 $ - $ 146,356 (15,585) - 69

74 9,149 11,756 49,076 36,440 (49,076) - (36,440) - 8,582 11, $ 231,253 $ 169, ( ) ( ) ( ) ( ) $ - - $ 3, % 50, % 55, % 3.75% $ 50,000 $ 58, ( ) 120, ( ) ( ) ( ) $ 533,255 $ 566, , , ,273 (153,475) (92,035) $ 380,544 $ 477,238 ( ) ( ) ( ) ( ) $ 50,000 $ - $ 8,820 70

75 ( ) 4,800-1,120 ( ) 1, ( ) 3, ( ) 1, ( ) 22,000 11,595 15,933 ( ) 7,150 6,188 6,738 ( ) 30,000 6,000 12,000 ( ) 28,000 8,400 14,000 ( ) 30,000 14,872 21,437 ( ) 64,000 51,200 64,000 ( ) 93,500 93,500 93,500 ( ) 27,000-17, , , , , ,869 (152,711) (90,395) $ 380,544 $ 476, % % 4.00% 6.513% ( ) , ,940 ( ) ( ) ( ) ( )

76 ( ) ( ) , ( ) ,500 ( ) ,400 ( ) ( ) ,200 ( ) ,675 ( ) , ,786 4,900 ( ) ( ) ( ) $ 764 $ 2,404 (764) (1,640) $ - $ ,864 4, ,737 ( ) 72

77 2% (1) (2) 40% 1,946 1, ( ) ( ) ( ) $ 3,095 $ 2, (189) (168) $ 3,225 $ 3,224 ( ) ( ) ( ) $ - $ - 5,225 4,059 5,225 4,059 5,102 5,638 10,327 9,697 (6,089) (4,108) 4,238 5, (196) (206) ( ) 433 (2,267) - - $ 4,475 $ 3,116 $ - $ - ( ) % 4.75% 73

78 3.25% 4.25% 3.75% 4.75% $ 1,866 $ 1,782 $ - $ ,300, , , ,000 ( ) $ 230, ,000 37,800 32,200 9,000 $ 779, ( ) ( ) $ 732,000 $ 732,000 (113,577) (113,577) (32,200) (32,200) $ 586,223 $ 586,

79 (90 ) ( ) ( ) ( ) $ (274,418 ) $ (17,872 ) (6,785) (4,329) 2,678 3,147 (8,919) (8,919) ( ) 6,191 (13,314) (999) (11,891) ( ) 13,431 (239) 1,340 (3,305) (267,481) (56,722) 25% 25% % (579) 17 - (47,075) (63,377) (47,058) (63,377) 47,075 63,377 (17) - (41) (838) $ (41) $ (838) ( ) ( ) ( ) ( ) 1. $ 180 $ ,370 10,822 3, ,230-6,107 16,585 20,091 (16,585) - $ - $ 75

80 20, $ 1,080 $ ,440 43, , , , ,356 (15,585) - $ 213,522 $ 146,356 ( ) ( ) ( ) 92 $ 7,617 $ 7, ,654 21, , , ,619 66,870 $ 117,587 $ 110,440 ( ) ( ) 88 ( ) ( ) ( ) $ - $ - 91 ( ) 90 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) 77,900 ( ) 76

81 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) % % ( ) ( ) ( ) $ - - $ 5, % % ( ) ( ) ( ) $ $ ( ) ( ) % % ( ) ( ) ( ) $ $ ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) % % ( ) ( ) ( ) $ - - $ 5, ( ) ( ) ( ) 5,429 77

82 ( 3,990 ) 11,001 ( 10,562 ) ( ) 90 ( ) 290,206 68,127 33,859 34,268 ( ) 88 4,864 4,864 ( ) 19,433 ( ) ( ) ( ) 50% , ,790, (91) ( ) ,117 6, (1) (2) ( ) 78

83 2 30% 3 70% 4 100% ( ) 2 50% 3 100% (3) (4) (1) ( ) (2) ( ) 1,117 1,000 ( ) 1, ( ) ( ) ( ) ( ) 1,117,000( ) 0 79

84 ( ) ( ) ( ) % ( ) ( ) $ 173, % $ 142, % 180, % 371, % ( ) % % % ( ) ( ) $ 109, % $ 203, , % 68, , % 65, , % 61, $ 292,623 $ 399,031 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) $ 6,963 $ - $ - $ - (USD200) ( ) ( )

85 ( ) 6,963 ( ) ( ) ( ) ( ) $ 6,968 $ - (6,963) (1) - ( ) $ 4 $ - ( ) ( ) ( ) $ 103,059 $ 103,142 $ 262,758 $ 262, , , , ,199 6,963 6, (USD200)

86 ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) ( ) % 5 20% 6 20% 7 20% 8 20% 9 ( ) ( ) 82

87 ( ) 2,820, $ 35,081 - $ 35,108 3,011, ,585-42,621 2,417, ,393-25,413 $ 103,059 $ 103,142 ( ) 2,544,772 $ 4.93% 40,716 ( ) 454,000 4, % $ 45, ,257, $ - $ 82,782 82,763 6,920, ,000-95,000 5,955, ,000-60,000 2,451, ,000-24, ,782 $ 262,758 (24) $ 262,758 2,544,772 $ ( ) 83 40, %

88 91 ( ) ,259, ,970 15,259, , , ,920, ,000 24,339, ,101 28,247, , ,516 2,232 3,011, ,585 5,955, ,000 22,355, ,104 28,310, , ,104 2, ,451, ,000 9,752, ,399 9,786, , , ,417, , ,106, ,000 8,106, , , ,927, ,242 6,106, ,540 75, ,820, , ,518, ,782 22,261, , ,000 2,552 6,257, , ,662, ,000 14,741, , ,000 1,442 6,920, , ,617, ,000 12,617, , ,

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