1 MCP MCP X MCP [1] X [23] Wolter [4~8] [910] X MCP MCP X 2 MCP X MCP X MCP MCP ; MCP MCP MCP MCP (MCP) 1978 X Land [11] MCP X Angel [12] MCP X Land M

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1 32 10 Vol.32No ACTAOPTICASINICA October ( ) (MCP) X MCP Tracepro MCP MCP (MTC) Taper Twist Nonsquare 4 MCP 3 Taper 4 MCP MCP X ;X ; ; ; TH744;O434 A doi: /aos InfluenceofStructuralDefectofSquare-HoleMicro ChannelPlateonImagingQuality LiXu 12 HeFei 1 LiDa 12 ChenBo 1 1 ChangchunInstituteofOpticsFine Mechanicsand PhysicsChineseAcademyofSciences 烄烌 ChangchunJilin130033China 烆 2 Graduate UniversityofChineseAcademyofSciencesBeijing China 烎 Abstract Asanew X-rayimagingsystemmoreandmoreatentionhasbeenpaidtothesquare-holemicrochannel plate(mcp)whichhasthepropertiesoflargefieldofviewhighresolutionandcolectionofenormousradiationto becolimatedorfocused.howeverduringthefabricationandprocessofthe MCPitishardtoavoidgenerating structuraldefectsinthesquareholeswhichgreatlyinfluenttheimagingquality.thestandardsquare-holemcpmodel andmcpmodelswithdiferentstructuraldefectsarefirstsetupwiththesoftwaretraceproandthenthesimulative imagesofthesemodelsaresimulatedbyraytracemethodofmontecarlo.thentheinfluencesofstructuraldefectsof TapertypeTwisttypeandNonsquaretypeonimagingqualityareanalyzed.Basedonabovesimulationsthefour samplesofmcpareimagedinvisiblebandswithanickel-tungstersource.theexperimentalresultsareconsistent withthesimulatedimagesprovingthatthesimulationsarecorrect.theexperimentalresultsshowthatalofthe threedefectscanresultinareaincreaseandintensitydecreaseofthecentralbrightspotwithexpectthatthethird defectcandividethefocusedraysintotwobeamswhichformsfourfocusandmakesthedegradationofenergymore seriousandthus moreseriouslyinfluencetheimagingqualitycompared withtheothertwodefects.thispaper providesanimportantbasisforthefutureresearchesoncurvedmcpandx-rayopticalsystembasedonmcp. Keywords imagingsystems;x-rayoptics;microchannelplate;raytracing;structuraldefect OCIScodes ; ; ; : ; : : ( ) : (1983 ) lixu ciomp@163.com : (1961 ) chenb@ciomp.ac.cn ( )

2 1 MCP MCP X MCP [1] X [23] Wolter [4~8] [910] X MCP MCP X 2 MCP X MCP X MCP MCP ; MCP MCP MCP MCP (MCP) 1978 X Land [11] MCP X Angel [12] MCP X Land MCP MCP MCP MCP : ) X γc Priedhorsky [13] MCP ( MCP η ) X 0;2)MCP ε;3)x MCP X MCP [13~17] X ;4)MCP MCP : 1 ;5) MCP MCP ;6) 1 MCP Fig.1 Sketchmapofone-dimensionalsquare-holeMCP

3 : MCP MCP 4) 1 2 z MCP MCP d h F MCP MCP l S F MCP (00 -l S ) l F 2 OO OO MCP l S MCP (x 1 y1z 1 ) MCP 2 r i = (x 1 y1z 1 +l S ). (1) MCP Δx MCP 2 MCP Fig.2 Schematicdiagramfortwo-dimensional flatsquare-holemcpfocusing : 1) MCP 2 EE 2) MCP 2 MCP EO 3) MCP 2 OE 4) MCP 2 3 MCP OO (010) r R = (x 1 -y1z 1 +l S ) (2) x 1 +Δx- y1 z1 +ls Δx+y1- Δx+z 1. ( x 1 x 1 ) (-100) r 2R = (x 1 +2Δxy1z 1 ) (3) r u = -Δx- y1 z1 +ls Δx- Δ ( x 1 x x (4) 1 ) (3) (4) (00l S ) 3 MCP Fig.3 Pictureofflatsquare-holeMCP 2) 3) MCP

4 4 MCP MCP 5nm 1 1 MCP Table1 Parametersofflatsquare-holeMCP MCP 3 MCP Sample1 Sample2 Sample3 Sample4 Material Si Si Si Si Dimension (mm mm) Holedimension ( μ m μm) Walthicknessofhole/ μ m Lengthofhole/mm MCP :Taper Taper MCP Twist Nonsquare 1)Taper Fig.4 Micrographofsample1 4(a)(b) MCP 4 2)Twist Twist MCP 3)Nonsquare MCP 5 4 Nonsquare Fig.5 Micrographofsample4 5 MCP 5 4 MCP 4 MCP Tracepro 6 3 MCP MCP 3 MCP (MTC) 3 MCP

5 : 4.1 Tracepro 6 3 Fig.6 Micrographofsample3 Tracepro 7 MCP Fig.7 Modelofsquare-holeMCP Tracepro Tracepro Tracepro MCP MCP 4.2 MCP : MCP 30mm 30mm; 30μm 30μm; 10μm ;MCP 0.36 mm MCP MCP Twist 350mm 1mm MCP Twist 3)Nonsquare 7 MCP Tracepro Taper Twist Nonsquare MCP 1)Taper 30μm 39μm Tracepro 1μm 1 MCP 8 MCP 2)Twist Taper Fig.8 ChannelmodelofTaper-type Nonsquare 40μm 9

6 9 Nonsquare Fig.9 ChannelmodelofNonsquare-type MCP 4.3 MTC MTC 4.4 MTC MTC MTC MCP Taper Twist : Nonsquare MCP 10~12 x ζ E ( ζ ) X ζ N ζ ζ 1 ζ 2 ζ n : 珔 ζ N = N 1 N ζ N. (5) n=1 MTC MCP MCP MTC N 珔 ζ N E ( ζ )= x P(lim 珔 ζ N N =x )= 1 ζ x 10 MCP Fig.10 Simulationresultofstandardsquare-holeMCP 10 MCP MCP MTC 11 Taper : MCP ( ) MCP 4 ( ) 4 1 MCP

7 : MCP 3 11 Taper Fig.11 SimulationresultofTaper-typechannel Nonsquare Twist Leicester 4 12 Nonsquare Twist Fig.12 SimulateionresultofNonsquare-typeand Twist-type 13 Leicester Fig.13 SimulationresultofLeicesteruniversity Taper 1 MCP MCP mm Nonsquare Twist CCD CCD 36mm 24 mm 8μm 15(a)~(d) 4 1/5000s MCP CCD Matlab 5 MCP 500 mm 1~4 MCP 14(a)~(d) 1~4 MCP 3 3 MCP 1 MCP 16(a)~ (d) (FWHM) MCP

8 MCP Fig.14 ExperimentalresultsofMCPsample MCP Fig.15 Iluminationpicturesofsample Taper 6 1 MCP Tracepro MCP 2 4 MCP MTC MCP MCP Taper Twist MCP Nonsquare

9 : MCP Fig.16 Intensitydistributionsofsample1234 MCP 3 30(3):753~757 光学学报 (3):753~757 Taper Science200424(4):302~ Nonsquare Twist Taper MCP 37~67 X Report[R].NASA/DRD867MA-001 X X 4842:73~84 MCP 1YuLeiQuYiLinGuanyuetal..Designandstudyofanoptical systemforafarultravioletimagingspectrographin120~180nm carriedby satelite [J].Acta Optica Sinica201131(1): [J]. 光学学报 (1):.120~180nm 10SunTianxiLiuZhiguoLiYudeetal..Applicationofcapilary X-raylensintheidentification ofplasticevidence [J].Acta Optica Sinica201131(5): X [J]. 光学学报 (5): M.F.Land.Animaleyeswith mirroroptics [J].Sci.Am.. X (6):88~ MaJieCaoLeifengXieChangchunetal..Fabricationofhigh aspect-ratio hard X-rayzoneplates withsupportingstructures [J].Opto-Electronic Engineering200936(10):30~ [J]. 光电工程 (10):30~34 3YiTaoDongJianjunZhuXiaolietal..Studyontheimaging performanceofspiralzoneplate [J].Acta Optica Sinica2010. [J]. 4LiBaoquanZhuGuangwuLin Huaanetal..Thedevelopment andstatusof X-rayimagingtelescope [J].Chinese J.Space X [J]. 空间科学学报 (4):302~311 5S.TsunetaL. Acton M.Bruneret al..the soft X-ray telescopeforthesolar-amission[j].solar Phys (1): 6L.Golub.Solar-B X-ray Telescope (XRT) Concept Study 7D.D.WalkerA.T.H.BeaucampR.G.Binghametal.. Theprecessionsprocessforeficientproductionofasphericoptics forlargetelescopesandtheirinstrumentation [C].SPIE2003 8Cui Tiangang Zhang Hongji Ma Wensheng et al.. ImprovementsofsurfaceprofilemeasuringdeviceforWoltertype- 1mirror[J].Acta Optica Sinica201131(4): Wolter1 [J]. 光学学报 (4): SunTianxiLiuZhiguoLiYudeetal..Applicationofcapilary focusingx-rayinobtaininglatentfingerprint [J].Acta Optica Sinica201131(4): X [J]. 光学学报 (4):

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[1~5] sp 2 C sp 3 C [17] (ta-c) sp 2 C sp 3 C 250~1700nm 380~1700nm XPS ta-c ta-c sp 2 -πc sp 3 -σc sp 2 C 2 sp 3 C 2.1 FCVA ta-c sp 2 C sp 3 C ta-c (

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