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(i) (ii) (iii) (iv) 380,000 [ ] , , % % % 5.5% 6.5%

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89 500 100 3D CAD/CAE/CAM (CAE) (Rapid Prototyping, RP) (Rapid Tooling, RT) (CAM) (CMM) RP RT RP/RT CCD 3D 1 320 CATIA 20 3D Printing 180 RP/ 1 272 (RT) 92

1 9.5 CNC 1 9.5 1 94.6 1 9.6 C-Mold 25 55 (1) / 1 89- (3/3) 2 (3/3) 89-90 3 (3/3) 90-4 (3/3) 90- (2) 1 2 3 4 5 6 7 3D 8 CAD/CAM/CAE 9 10 11

(3) 1 UG CAD/CAM 89.1.12-89.2.5 2 3D 89.6.19-89.7.15 3 89.6.19-89.9.11 4 89.6.19-89.9.11 5 90.3-90.7 6 UG- 90.2.26-90.3.12 7 UG- 90.4.23-90.5.9 8 UG- 90.6.4-90.6.13 9 (300 91.7.8-91.9.14 ) 3C 10 91.7.15-91.9.20 (300 ) (4) 90 2 49,000 91 14 170,000 (5) 1. 89 01 06 / / 8 8 2. 89 12 25 / / - 8 8 3. 89 2 1718 RP/RT 4. 91 10 30 RP/RT (6) 1. 2001 7 20-21 2. - (C09)2001 6 16-17

3. (C07)2001 6 16-17 90 / / 666 133.2 - Probe-station 2 70,350 system 1475,000 1 90,700 1 95,000 1344,000 1388,000

(1) / 1 (3/3) 89-2 89-90 (3/3) 3 (3/3) 89-4 (3/3) 90-5 90- (3/3) 6 90- (3/3) (2) 1 91.7.22-91.9.27 (300 ) 2 91.10.22-91.12.15 (300 ) (3) 1. 89 8 2829 2. 90 10 6 3. 91 6 20 () 4. 91 7 11 () (4) 1. 2001 2. 2001 3. Pan, Chi-Hsiang, A Simple Method for Determination of Thermal Conductivity Coefficients of Thin Films, Will appear to ASME 2001 IMECE symposium on Fabrication and testing of Micro, lectromechanical- systems, Nov. 11-16, 2001, New York, USA. 4. Pan, Chi-Hsiang, A Simple Method for the Characterization of Thin Films During Heat Treatment, Microsystem Technologies, 8 (2002) 63-66. Pan, Chi-Hsiang, A Simple Method for Determining Linear Thermal Expansion Coefficients of Thin Films, J. Micromech. and Microeng. 12 (2002) 1-8.

91 51.2 17.4 CNC 1 34 1 6.75 1 17.4 16MHz CVD 1 34.4 1200 10-3 torr, 200 1 16 GAUSSVIEW 1 2.6 DC, 450V, 30A 1 24 20MHz 1 2.2 1 10

1000 kg 1 28 (1) / 1 (3/3) 90- (2) 1. 91 11 11-15 18-20 22-2. 91 11 14-28 - 3. 91 10 21-12 7 - (3) 1. CVD 91 12 2. CVD 91 12 3.,,,, CCVD

91 - / / 150 30-1 327,200 2 43,900 3 184,000 4 5 ( 180,800 ) (8% ) 795,500 60,000 10 12 - - - 36 100 (1) -

1 91.11.11 09:00~12:00 2 91.11.12 09:00~12:00 3 91.11.12 13:30~16:30 4 91.11.13 13:30~16:30 5 91.11.14 09:00~12:00 Field Emission Properties of Carbon-related Nanostructures using Microwave plasma Excitation 6 91.11.14 13:30~16:30 / 7 91.11.15 09:00~12:00 8 91.11.15 13:30~16:30 Micro-electro Mechanical Systems for Optical/Biomedical Applications 9 91.11.18 09:00~12:00 1. 2. 3. 10 91.11.19 09:00~12:00 1. 2. 11 91.11.19 13:30~14:30 12 91.11.20 09:00~12:00 13 91.11.20 13:30~16:30 14 91.11.22 09:00~12:00

15 91.11.22 Communication MEMS 13:30~16:30 (2) - 1 2 3 4 5 6 7 8 11 14 9:00~12:00; 13:00~16:00 11 15 9:00~12:00; 13:00~16:00 11 19 9:00~12:00; 13:00~16:00 11 21 9:00~12:00; 13:00~16:00 11 22 9:00~12:00; 13:00~16:00 11 26 9:00~12:00; 13:00~16:00 11 26 9:00~12:00; 13:00~16:00 11 28 9:00~12:00; 13:00~16:00 MEMS-Pro (Matrox Inspector 3.1 ) ANSYS

(4) - 10/21 10:00-12:00 10/28 10:00-12:00 11/11 09:00-12:00 11/11 14:00-17:00 11/12 09:00-12:00 SEM 11/12 13:00-16:00 TEM 11/13 09:00-12:00 11/13 13:00-16:00 11/14 10:00-12:00 Crompton PU APPLIED CMP 11/14 14:00-17:00 MATERIALS

1. 3. 11/15 09:00-12:00 11/15 13:00-16:00 11/23 14:00-16:00 2. 12/7 09:00-12:00

(93-94) --- ( ) 120 93.8.1~94. 7.31 ( 04-23931259 04-23931260 E-mail jmhuang@chinyi.ncit.edu.tw ) ( ) ( ) _ ( ) 1. 4. _ 2. 3. _ (, ) 75 (1) (2) (3)

(4) (5) CAD/CAM/CAE

/ ( ) ( ) CAD / 20 ( ) /CAM/ / 20 ( ) ( ) 25 ( ) ( ) 15 ( ) / / 30 ( ) / / / 12

( / CAID) ( ) (, ) 18 / 12 / / / 15 / 3C ( 4 CAD/CAM/ ) / / 17 ( CAID, / ) ( / 28 ) / ( / / 40,CAID,CA E) (CAID) (CAID) (CAE) / 4 / / 16 / 6 CAD/CAE ( 18 ) // ( ) / 22 /

120,000 16,00 *120 =192,000 200,000 1,600 (120 / ) 1. 50,000 2. 200,000 30,000 30,000 30,000 30,000 572,000

(93-94) --- A () 93 1 1 1 94 1 0 3 1 04-25131138 FAX 04-25131209 620 N120065312 () 04-23924505~7173 FAX 04-23934553 () 04-23924505~2600 215 35 爲 B ( )

爲 C (1) (2) (3) (4) (5) (6) (7) (7) (8) (9) 爲 C

( ) 87.8.26-87.10.21 87.10.31-88.1.9 (CAD/CAM/CAE) 87.11.1-87.12.6 87.11.1-88.2.25 Auto CAD 3D 88.4.26-88.5.27 UG CAD/CAM 88.5.1-88.9.6 Auto CAD R-14 88.9.3-88.12.26 CAD/CAM 88.9.13-88.10.22 89-1.10-89.1.28 89.1.10-89.2.25 UG CAD CAM 89.1.12-89.2.5 Pro/E CAD 89.2.28-89.3.29 Pro/E CAD 89.4.10-89.5.10 Solid Works 89.5.8-89.6.16 3D (Sokid Edge) 89.6.19-89.7.15 89.6.19-89.9.11 Solid Works CAD/CAM 89.6.20-89.7.27 Solid Works CAD/CAM 89.7.3-89.7.28 89.7.10-89.8.23 89.6.19-89.9.11 Pro/E CAD (A) 89.9.11-89.10.18 UG/CAM 89.10.25-89.10.26 Pro/E CAD (B) 89.10.23-89.11.29 Pro/E CAD (B) 89.6.18-89.7.31 UG- 90.2.26-90.3.12 UG- 90.4.23-90.5.9 UG-90.6.4-90.6.13 Pro/E CAD 90.9.17~90.10.30 Pro/E CAD 90.11.5~90.12.18 Pro/E CAD 91.2.25~91.4.16 Pro/E CAD 91.03.05~91.04.24 Pro/E CAD 91.4.29~91.6.11 Pro/E CAD 91.6.24~91.8.6 (UG/Hybrid&Mold) 91.2.25~91.4.05 91.7.22~91.09.07 奬 91.7.22~91.09.07 91.7.22~91.09.07 91.7.22~91.09.07 91.7.22~91.09.07

91.7.22~91.09.07 91.7.22~91.09.07 91.7.22~91.09.07 MEMS-Pro/UG 91.7.22~91.09.07 ANSYS 91.7.22~91.09.07 91.7.22~91.09.07 91.7.22~91.09.07 91.7.22~91.09.07 91.7.22~91.09.07 89.9.25-90.1 89.9.25-90.1 89.9.25-90.1 89.9.25-90.1 90.3-90.7 90.3-90.7 90.3-90.7 90.3-90.7

92

1 3C 92.5.7-92.6.25 -- (66 ) 2 3C 92,7.14-9.9 -- (300 ) 3 3C 92.9.22-11.01 -- (66 ) 4 92,10.2-12.26 (288 ) 5 92,11-93.1 (288 ) 6 -UG / 93.8.9-93.9/6 -- CAD/ (64 ) 7-3C - 93.6.28-7/30 -- UG/ CAD /CAM (76 )

91 ( ) 13,300 ( ) 91 56,000 ( ) 92 165,000 93 60,000 93 165,000 ( ) 89.3.22 92.5.23 2001 B1 90.10.4 B1 91.6.5 2002 B1

91.9.26 B1 ASHRAE Taiwan Chapter 91.12.19 91.12.20 B1 92.10.24 B1 92.10.3 B1 92.11.19 B1 93.07.05~06 B1 93.10.20 B1 93.11.26 E227

89 01 06 89 12 25 89 8 2829 89 2 1718 90 10 6 91 6 6 91 6 20 91 7 11 91 11 11~22 92 4 3 92 4 17 89 " 90 88 " 13 ((0)() 0 ) - : 1. 9290102/92 2. 9290104/92 3. 9290105/92 3.1 (MEMS) - : 1. 2.

94,,, 463 94,,, 313 94, 477 94, 538 94, 592 94, 300, 100 400 94 / 604 50,000 94 684 94 / (1/2) 953 93 379.6 93 - / (2/2) 634.2 93 377.4 93 813.4 93. - - - 670 93 344.8 93 (1/2) 617.2 93 622.3 93 Ni-Al2O3

696.4 93 418.5 93 540 93 540 92 : (II) 699.8 92 410.4 92 - / (1/2) 643.8 92 Ni-Al2O3 534.7 92 543.3 92 / 561.7 92 343.4 92 / 2003080120040731 419,100 92 2003080120040731 365,100 92 2003080120040731 396,400

92 / 2003080120040731 419,100 92 2003080120040731 423,300 92 2003080120040731 331,600 92 2003080120040731 297,700 92 2003080120040731 431,000 91 2002060120030531 200,000 91 2002080120030731 377,000 91 2002060120031130 354,800 91 (2/2) 2002080120030731 597,300 91 2002120120031231 5,550,400 91

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892218E167003.pdf 2000080120010731 293,600 89 892218E167006.pdf 2000080120010731 309,500

11 91. 11. 0 01 12 Angl pulseanglog pulse 8 chapuuels 1sec () 168 8051 498000 13 CAD/CAM/C () 498000 AE 14 303000 15 303000 16 歩 303000 17 BOM 2D&3D 303000 18 c-mold,moldflow.modlex 303000

19 RP 143000 20 143000 21 143000

1 88.11.1 475000 2 90.9.13 498000 3 90.9.13 498000 4 91.8.15 303000 5 92.7.15 143000 6 93.02.15 60000 7 93.03.01 60000

94 300 94 / 953 (1/2) 94 684 94 645 94 210 94 313 94 463 94 447 94 400 94 60 94 529 94 538

94 444 91-93 OK 93 OK 93 - OK (RDS) 93 OK 93 OK 93 OK 93 OK 93 () 92 93 92 NSC 91-2218-E-167-001 92 ( ) NSC 92-2218-E-167-004