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1 經 濟 部 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 專 案 計 畫 期 末 執 行 成 果 報 告 計 畫 名 稱 : 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 契 約 編 號 : 執 行 期 間 : 全 程 : 自 99 年 01 月 25 日 至 102 年 12 月 20 日 止 本 年 度 : 自 102 年 01 月 01 日 至 102 年 12 月 20 日 止 主 辦 單 位 : 受 委 託 單 位 : 經 濟 部 工 業 局 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心

2 第 1 部 分 目 錄 第 1 部 分 計 畫 執 行 成 果 摘 要 Ⅰ 頁 次

3 第 1 部 分 計 畫 執 行 成 果 摘 要 組 別 計 畫 名 稱 受 委 託 單 位 政 府 經 費 ( 元 ) 金 屬 機 電 組 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 41,051,000 計 畫 中 文 摘 要 一 計 畫 目 標 : 1. 協 助 達 成 前 段 晶 圓 製 程 設 備 自 製 率 由 2012 年 9% 提 升 至 2013 年 10% 2. 協 助 達 成 後 段 封 測 製 程 設 備 自 製 率 由 2012 年 36% 提 升 至 2013 年 40% 3. 協 助 達 成 半 導 體 製 程 設 備 之 耗 材 零 組 件 自 給 率 由 2012 年 38% 提 升 至 2013 年 50% 二 計 畫 內 容 : ( 一 ) 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 1. 建 立 半 導 體 設 備 本 土 供 應 鏈 體 系 2. 推 動 半 導 體 設 備 產 業 本 土 化 平 台 3. 輔 導 計 畫 審 查 與 管 理 4. 輔 導 半 導 體 設 備 產 業 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 開 發 ( 二 ) 建 構 產 業 研 發 聯 盟 1. 推 動 研 發 聯 盟 廠 商 開 發 2. 促 成 聯 盟 與 學 研 技 術 合 作 三 計 畫 成 果 達 成 情 形 : 1. 推 動 日 商 WAIDA( 和 井 田 ) 公 司 與 台 廠 友 嘉 半 導 體 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 之 晶 圓 植 球 機 2.a. 推 動 日 商 DISCO( 迪 斯 科 高 ) 公 司 研 磨 設 備 之 鑽 石 磨 輪 研 磨 環 與 台 廠 中 國 砂 輪 京 鼎 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 共 2 案 b. 推 動 日 商 TAKAKI( 高 木 公 司 ) 與 台 廠 進 期 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 曝 光 移 載 平 台 晶 圓 承 載 盤 共 2 案 3. 媒 合 國 內 廠 商 漢 泰 元 鐙 奈 晶 千 附 進 期 柏 夫 等 公 司 分 別 切 入 ASML 及 AMAT 共 2 案 外 商 之 零 組 件 供 應 鏈 4. 完 成 終 端 廠 製 程 設 備 之 耗 材 零 組 件 使 用 規 範 資 料 共 10 筆 5. 完 成 Y102 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 報 告 1 份 及 18 類 半 導 體 設 備 共 77 間 廠 商 名 錄 1 份 6. 完 成 崑 山 科 大 與 馗 鼎 奈 米 公 司 之 產 學 合 作 計 畫 1 案, 並 培 訓 3 位 學 生 投 入 研 究 計 畫 7. 推 動 量 測 中 心 及 儀 科 中 心 技 轉 化 學 溶 液 瑕 疵 檢 測 技 術 及 高 精 度 石 英 光 學 積 分 器 技 術 予 國 內 廠 商 共 3 案 8. 完 成 1 場 3DIC 設 備 技 術 研 討 會 4 場 媒 合 商 談 會 71 家 廠 商 參 與 及 1 場 成 果 發 表 會 9. 完 成 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 共 10 案 次 合 計 廠 商 自 籌 款 9,850 仟 元 10. 預 估 輔 導 案 期 末 可 增 加 半 導 體 設 備 產 業 增 加 產 值 10.6 億 元 促 成 廠 商 投 資 1.5 億 元, 降 低 半 導 體 產 業 廠 商 成 本 4.8 億 元 11. 預 估 期 末 可 增 加 國 內 就 業 人 口 達 88 人 12. 完 成 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 及 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 2 項 SBIR 開 發 計 畫 申 請 13. 完 成 聯 盟 廠 商 與 台 大 光 電 工 程 研 究 進 行 全 光 通 量 測 技 術 研 究 交 大 機 械 系 進 行 光 阻 塗 佈 模 擬 研 究 學 研 技 術 合 作 共 2 案 四 檢 討 與 展 望 : 半 導 體 終 端 產 品 更 新 週 期 快 速, 帶 動 製 程 發 展 腳 步 加 快, 設 備 產 業 面 臨 快 速 對 應 及 服 務 多 工 之 經 營 模 式, 國 內 半 導 體 設 備 業 者 為 因 應 產 業 環 境 變 化, 積 極 調 整 供 應 鏈 結 構, 強 化 終 端 廠 商 服 務 及 整 合 技 術 量 能, 開 發 整 機 設 備, 若 能 持 續 協 助 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 朝 向 製 造 業 服 務 化 之 方 向 發 展, 貼 近 客 戶 滿 足 需 求, 提 升 國 產 設 備 供 應 比 例, 可 為 產 業 創 造 雙 贏 局 面 彙 整 國 內 終 端 廠 商 及 設 備 廠 商 之 開 發 建 議, 未 來 推 動 重 點 如 下 : 1. 建 立 零 組 件 品 質 檢 測 驗 證 平 台 : 建 立 終 端 廠 或 外 商 設 備 所 需 之 模 組 或 零 組 件 使 用 規 格 資 訊, 除 提 供 國 內 廠 商 開 發 參 考, 並 可 建 置 線 外 檢 測 驗 證 實 驗 室, 協 助 國 內 廠 商 產 品 進 行 品 質 驗 證 2. 透 過 政 府 協 助 國 內 廠 商 快 速 切 入 3DIC 製 程 設 備 : 以 終 端 廠 需 求 為 主, 整 合 國 內 設 備 廠 及 零 組 件 廠, 並 投 入 政 府 資 源 輔 導 以 降 低 開 發 風 險, 協 助 國 內 廠 商 快 速 開 發 3DIC 設 備 或 模 組 I

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5 第 2 部 分 目 錄 頁 次 第 2 部 分 計 畫 執 行 報 告 一 緣 起... 1 二 計 畫 目 的 計 畫 架 構 與 主 要 內 容... 2 三 實 際 執 行 方 法... 4 四 計 畫 經 費 與 人 力 執 行 情 形 五 計 畫 已 獲 得 之 主 要 成 果 與 重 大 突 破 ( 含 量 化 成 果 output)21 六 主 要 成 就 及 成 果 之 價 值 與 貢 獻 度 (outcome) 七 後 續 工 作 構 想 之 重 點 八 檢 討 與 展 望 九 附 錄 ( 一 ) 委 員 審 查 意 見 回 復 ( 二 ) 出 國 報 告 目 錄 ( 三 ) 分 包 資 訊 ( 四 ) 產 學 合 作 同 意 書 ( 五 ) 廠 商 基 本 資 料 表 ( 六 ) 產 業 調 查 資 訊 ( 七 ) 廠 商 訪 談 記 錄 0

6 第 2 部 分 執 行 報 告 一 緣 起 國 際 半 導 體 設 備 暨 材 料 協 會 (SEMI) 對 全 球 半 導 體 設 備 市 場 所 作 的 預 測,2011 年 全 球 半 導 體 設 備 市 場 預 估 仍 將 維 持 300 億 美 元 以 上 之 水 準, 顯 示 2011 年 全 球 半 導 體 景 氣 仍 相 當 不 錯, 且 半 導 體 產 業 發 展 將 進 入 下 一 世 代, 不 管 是 在 更 大 尺 寸 晶 圓 生 產 設 備 或 是 現 有 晶 圓 中 更 微 細 線 路 之 高 階 技 術 生 產 設 備, 預 期 都 將 有 新 投 資 掖 注, 預 估 若 下 世 代 製 程 正 式 投 入 產 線, 相 對 現 有 之 設 備 投 資, 其 成 長 率 可 達 到 47% 台 灣 半 導 體 設 備 產 業 發 展 始 於 1980 年 代, 最 初 是 由 半 導 體 後 段 製 程 的 封 裝 設 備 與 模 具 開 始 切 入, 發 展 至 今 已 有 30 幾 年 且 製 程 大 部 份 皆 屬 於 成 熟 技 術 層 次, 因 此 相 較 於 前 段 製 程 與 後 段 測 試 設 備, 台 灣 封 裝 設 備 的 自 給 率 明 顯 較 高 根 據 調 查 資 料 顯 示,2010 年 全 球 半 導 體 設 備 需 求 達 到 392 億 美 元, 其 中 台 灣 市 場 規 模 為 110 億 美 元, 佔 全 球 半 導 體 設 備 需 求 市 場 的 比 率 達 到 28%, 高 居 全 球 第 一 然 台 灣 空 有 龐 大 的 市 場 規 模, 整 體 本 土 設 備 自 給 率 仍 偏 低, 不 僅 無 法 創 造 規 模 經 濟, 更 欠 缺 掌 握 關 鍵 技 術 的 能 力 在 半 導 體 前 段 晶 圓 製 程 設 備 部 分, 晶 圓 製 造 業 者 如 台 積 電 聯 電 等 基 於 製 造 成 本 與 服 務 效 率 之 考 量, 對 於 設 備 耗 材 零 組 件 之 本 土 化 已 逐 漸 凝 聚 共 識, 起 而 推 動 並 訂 立 自 身 本 土 化 目 標, 台 灣 業 者 可 藉 由 其 所 釋 出 委 外 代 工 及 維 修 訂 單, 輔 以 學 研 單 位 深 化 技 術 能 力 而 後 段 封 裝 業 者 對 於 本 土 設 備 已 有 相 當 高 之 接 受 度, 但 在 部 分 關 鍵 製 程 設 備, 因 設 備 要 求 高 度 準 確 性, 仍 無 法 取 代 國 外 設 備 要 使 台 灣 的 半 導 體 產 業 發 展 能 更 蓬 勃, 設 備 產 業 的 同 步 成 長 是 相 當 關 鍵 的 因 素, 台 灣 的 競 爭 對 手, 例 如 南 韓 與 中 國 近 年 體 認 到 發 展 本 土 設 備 的 重 要 性, 積 極 結 合 產 官 學 研 的 力 量 來 增 加 設 備 自 給 率, 台 灣 也 應 體 認 到 此 一 趨 勢, 迅 速 培 養 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 的 研 發 與 技 術 實 1

7 力, 並 垂 直 整 合 半 導 體 產 業 的 上 下 游, 如 此 才 能 充 分 發 揮 原 有 優 勢 並 創 造 產 業 的 另 一 高 峰 二 計 畫 目 的 計 畫 架 構 與 主 要 內 容 ( 一 ) 計 畫 目 的 與 預 期 成 果 1 計 畫 目 的 透 過 本 土 化 設 備 與 零 組 件 供 應, 減 少 對 進 口 設 備 之 依 賴 程 度, 降 低 國 內 半 導 體 產 業 生 產 成 本, 並 協 助 提 昇 其 競 爭 力 與 日 韓 抗 衡 (1) 推 動 達 成 前 段 晶 圓 製 程 設 備 自 給 率 由 2012 年 9% 提 升 至 2013 年 10%( 含 ) 以 上 (2) 推 動 達 成 後 段 封 測 製 程 設 備 自 給 率 由 2012 年 36% 提 升 至 2013 年 40%( 含 ) 以 上 (3) 推 動 達 成 半 導 體 耗 材 零 組 件 自 給 率 由 2012 年 38% 提 升 至 2013 年 50%( 含 ) 以 上 2 預 期 成 果 (1) 協 助 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 整 機 設 備 進 口 替 代 1 案 ( 含 ) 以 上 (2) 促 成 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 耗 材 零 組 件 進 口 替 代 4 案 ( 含 ) 以 上 (3) 協 助 新 增 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 應 鏈 體 系 2 案 ( 含 ) 以 上 (4) 建 立 半 體 設 備 廠 之 零 組 件 使 用 規 範 10 案 ( 含 ) 以 上 (5) 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 產 業 資 訊 及 廠 商 名 錄 各 1 份 (6) 完 成 產 學 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上, 培 訓 在 學 學 生 2 人 ( 含 ) 以 上 (7) 國 內 技 轉 案 2 案 ( 含 ) 以 上 (8) 完 成 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 1 場 ( 含 ) 以 上 辦 理 排 半 導 體 設 備 與 零 組 件 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 並 促 成 30 家 業 者 ( 含 ) 以 上 參 與 辦 理 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上 (10) 完 成 輔 導 半 導 體 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 輔 導 開 2

8 發 案 9 案 ( 含 ) 以 上 (10) 預 計 增 加 產 值 270,000 千 元 ( 含 ) 以 上 直 接 降 低 生 產 成 本 90,000 千 元 ( 含 ) 以 上 及 直 接 促 進 投 資 90,000 千 元 ( 含 ) 以 上 (11) 協 助 增 加 國 內 就 業 人 口 72 人 次 ( 含 ) 以 上 (12) 推 動 已 成 立 之 設 備 研 發 聯 盟 提 出 設 備 開 發 計 畫 申 請 2 案 ( 含 ) 以 上 (13) 促 成 聯 盟 與 學 研 技 術 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上 ( 二 ) 計 畫 架 構 ( 含 樹 狀 圖 ) 1 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 (1) 建 立 半 導 體 設 備 本 土 供 應 鏈 體 系 (2) 推 動 半 導 體 設 備 產 業 本 土 化 平 台 (3) 輔 導 半 導 體 設 備 產 業 模 組 及 次 系 統 技 術 開 發 (4) 輔 導 計 畫 審 查 與 管 理 2 推 動 設 備 產 業 研 發 聯 盟 (1) 推 動 研 發 聯 盟 廠 商 開 發 (2) 促 成 聯 盟 與 學 研 技 術 合 作 3

9 ( 三 ) 計 畫 主 要 內 容 三 實 際 執 行 方 法 ( 一 ) 推 動 半 導 體 製 程 設 備 及 模 組 本 土 化 之 實 施 方 法 說 明 1. 建 立 半 導 體 設 備 本 土 化 供 應 鏈 體 系 (1) 配 合 使 用 端 需 求, 掃 描 篩 選 出 具 潛 力 之 產 品, 解 析 其 模 組 及 零 組 件 1 依 企 業 經 營 理 念 企 業 營 運 目 標 及 顧 客 需 求, 尋 求 使 用 端 協 助 與 合 作 2 如 使 用 端 有 配 合 意 願, 由 執 行 單 位 協 助, 共 同 定 義 其 對 供 應 鏈 體 系 管 理 需 求 3 依 使 用 端 的 管 理 需 求, 進 行 供 應 端 產 品 掃 描, 篩 選 具 潛 力 產 品 深 入 解 析 其 模 組 與 零 組 件 (2) 分 析 國 內 具 潛 力 製 造 商, 建 立 使 用 端 所 需 之 供 應 鏈 體 系 1 依 使 用 端 廠 商 供 應 鏈 體 系 的 管 理 需 求, 深 入 分 析 目 前 供 應 鏈 資 料 庫 中 的 資 訊 2 專 案 拜 訪 使 用 端 業 者, 篩 選 有 合 作 意 願 之 使 用 端 廠 商, 並 就 4

10 其 所 提 供 之 現 階 段 供 應 商, 進 行 管 理 分 析 及 調 查 3 金 屬 中 心 以 多 年 的 供 應 鏈 體 系 輔 導 經 驗, 建 立 平 面 顯 示 器 製 程 設 備 之 零 組 件 供 應 鏈 評 鑑 制 度 4 針 對 使 用 端 之 零 組 件 供 應 商, 金 屬 中 心 由 專 人 專 職 臨 廠 訪 查 供 應 商 的 企 業 管 理 制 度 及 發 展 目 標 ; 以 組 織 / 流 程 / 改 善 等 各 方 面 作 成 個 廠 評 估 診 斷 報 告, 並 彙 總 為 零 組 件 整 體 供 應 鏈 改 善 建 議 書, 作 為 使 用 端 廠 商 的 供 應 鏈 管 理 提 升 依 據 5 列 為 優 先 輔 導 之 提 案, 並 獲 得 使 用 端 廠 商 的 支 持, 即 可 進 行 供 應 鏈 改 善 工 作 計 畫 書 之 撰 寫, 並 配 合 本 計 畫 執 行 進 度 進 行 審 查, 通 過 後 即 可 進 行 輔 導 (3) 協 助 國 內 零 組 件 廠 商 切 入 前 段 製 程 設 備 廠 商 供 應 鏈 體 系 1 拜 訪 AKT ULVAC ASML Lam Research 等 國 際 大 廠, 說 明 本 計 畫 之 輔 導 措 施 及 策 略, 以 及 政 府 相 關 優 惠 措 施 2 推 動 外 商 在 台 發 展 技 術 門 檻 高 之 製 程 設 備 3 推 動 外 商 與 國 內 供 應 商 形 成 研 發 聯 盟 或 設 立 研 發 / 製 造 中 心 4 配 合 終 端 商 耗 材 需 求, 協 助 國 際 設 備 大 廠 ( 如 Lam Research Novellus Canon Nikon TEL 等 國 際 大 廠 ) 來 台 設 立 零 組 件 供 應 據 點 5 由 外 商 輔 以 技 術 支 援, 提 供 品 質 標 準 協 助 輔 導 國 內 設 備 與 零 組 件 製 造 商 進 行 設 備 模 組 及 次 系 統 開 發, 提 升 並 擴 大 設 備 的 供 應 能 力 6 媒 合 本 土 廠 商 使 其 進 入 外 商 的 協 力 供 應 體 系 成 為 供 應 鏈 的 成 員, 降 低 外 商 成 本 同 時 能 提 升 國 內 設 備 製 造 商 技 術 (4) 協 助 國 內 零 組 件 廠 商 切 入 後 段 製 程 設 備 廠 商 供 應 鏈 體 系 1 搭 配 工 業 局 其 他 資 源, 提 供 本 土 設 備 廠 商 協 助, 包 括 : 優 質 本 土 供 應 商 支 援 專 業 維 修 人 才 政 策 資 源 協 助 等 2 配 合 終 端 商 耗 材 需 求, 協 助 國 內 設 備 及 零 組 件 廠 商 進 行 技 術 5

11 開 發 及 品 質 驗 證 3 舉 辦 技 術 媒 合 商 談 會, 增 加 終 端 商 設 備 商 與 零 組 件 廠 商 之 技 術 交 流, 促 成 合 作 機 會 2. 推 動 半 導 體 設 備 產 業 本 土 化 平 台 (1) 建 置 半 導 體 設 備 廠 之 零 組 件 使 用 規 範, 協 助 國 內 廠 商 進 行 功 能 測 試, 進 而 提 升 國 內 零 組 件 之 自 給 率 1 取 得 半 導 體 廠 商 及 設 備 廠 的 支 持, 提 供 耗 材 或 模 組 品 質 規 範, 以 協 助 製 程 設 備 廠 進 行 零 組 件 品 質 測 試 2 配 合 國 際 半 導 體 設 備 及 材 料 協 會, 蒐 集 設 備 技 術 資 訊, 建 立 半 導 體 製 程 設 備 之 零 組 件 品 質 資 料 庫 (2) 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 1 半 導 體 產 業 動 態 監 測 即 時 回 應, 定 期 彙 整 資 料 對 外 公 佈, 以 次 級 資 料 之 蒐 集 與 分 析 為 主, 包 括 : 國 內 外 相 關 產 業 研 究 資 料 庫 與 報 告 期 刊 公 協 學 會 新 聞 資 料 庫 各 公 司 網 站 等 2 定 期 半 導 體 產 業 觀 察 與 現 況 解 析 互 動 關 係 概 況 調 查 及 掌 握 國 內 設 備 及 耗 材 零 組 件 自 給 率 狀 況, 採 資 料 蒐 集 彙 整 與 分 析 方 式 進 行, 其 中 資 料 蒐 集 以 初 級 資 料 為 主 次 級 資 料 為 輔 3 建 立 半 導 體 產 業 初 級 資 料 庫, 以 問 卷 郵 寄 與 電 話 訪 問 做 抽 樣 調 查, 並 親 訪 國 內 重 要 半 導 體 製 造 廠 與 相 關 設 備 零 組 件 製 造 商, 安 排 與 該 產 業 同 業 上 下 游 及 同 公 司 但 不 同 階 層 人 員 做 訪 談, 進 行 資 料 交 叉 檢 定 以 掌 握 資 訊 正 確 性 4 建 立 半 導 體 產 業 次 級 資 料 庫, 以 定 期 檢 索 政 府 統 計 資 料 國 內 外 相 關 期 刊 公 協 學 會 新 聞 資 料 庫 重 要 研 究 機 構 所 出 版 之 報 告 等 方 式 進 行 蒐 集 5 透 過 參 與 國 內 相 關 之 研 討 會 論 壇 座 談 會 與 展 覽, 甚 至 具 指 標 性 之 國 際 半 導 體 設 備 展 覽 等, 以 獲 取 產 業 情 報, 內 容 包 6

12 括 客 戶 關 係 市 場 需 求 產 品 趨 勢 技 術 競 爭 行 銷 策 略 等 6 解 析 產 業 現 況 技 術 需 求 人 才 需 求 分 析 問 題 所 在 及 發 展 瓶 頸, 以 擬 定 或 修 正 適 當 的 輔 導 措 施 (3) 辦 理 半 導 體 製 程 及 設 備 技 術 交 流 會 1 研 討 會 政 策 性 指 示 辦 理 者 不 收 取 自 籌 款, 辦 理 半 天 者 由 計 畫 決 定 是 否 收 取 自 籌 款, 辦 理 1 天 ( 含 1 天 ) 以 上 者 每 日 至 少 收 取 自 籌 款 新 台 幣 500 元 2 依 據 計 畫 屬 性, 舉 辦 半 導 體 相 關 技 術 交 流 座 談 會, 透 過 各 界 專 家 經 驗 交 流, 提 升 設 備 產 業 技 術 深 度 及 廣 度 ; 同 時, 廣 宣 計 畫 成 果, 促 成 產 業 界 上 下 游 合 作 商 機 3 利 用 現 有 網 路 平 台, 提 供 計 畫 輔 導 產 品 本 土 供 應 鏈 現 況 產 業 資 訊 等, 提 供 國 內 廠 商 資 訊 交 流 (4) 整 合 學 研 量 能, 進 行 設 備 應 用 技 術 研 究, 提 升 產 品 加 工 獲 利 1 結 合 相 關 學 界 研 發 能 量, 針 對 製 程 技 術 應 用 進 行 研 究, 以 強 化 設 備 開 發 2 成 立 審 查 委 員 會, 名 單 包 含 : 金 屬 中 心 半 導 體 晶 圓 製 程 廠 商 半 導 體 封 測 製 程 廠 商 之 代 表 3 擬 定 提 案 審 查 辦 法, 如 下 圖 示 7

13 * 收 件 : 推 動 辦 公 室 收 件 * 任 務 : 構 想 書 格 式 經 費 編 列 進 行 資 格 審 查 計 畫 申 請 * 審 查 委 員 會 初 審 初 審 工 業 局 核 報 簽 約 計 畫 執 行 * 完 成 期 末 執 行 成 果 技 術 報 告 ㄧ 份 * 完 成 國 內 ( 外 ) 論 文 投 稿 一 篇 * 尋 求 業 界 BETA TEST 廠 商 驗 證 測 試 結 案 成 果 發 表 8

14 (5) 舉 辦 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 及 成 果 發 表 會 1 依 年 度 產 業 資 訊 技 術 輔 導 及 供 應 鏈 服 務 之 最 終 成 果, 進 行 公 開 之 成 果 發 表, 並 配 合 輔 導 廠 商 進 行 產 品 展 示 2 舉 辦 半 導 體 相 關 技 術 媒 合 交 流 商 談 會, 透 過 終 端 商 設 備 商 及 零 組 件 商 面 對 面 交 流, 促 成 產 業 界 上 下 游 合 作 商 機 (6) 配 合 本 局 其 他 交 辦 事 項 依 局 內 業 務 範 圍, 協 助 進 行 推 動 及 辦 理 3. 輔 導 計 畫 審 查 與 管 理 (1) 為 引 導 國 內 業 者 投 入 半 導 體 製 程 設 備 模 組 及 次 系 統 開 發, 擬 訂 半 導 體 製 程 設 備 模 組 及 次 系 統 技 術 輔 導 申 請 辦 法 ( 流 程 如 下 圖 所 示 ) 法 人 輔 導 單 位 及 廠 商 工 研 院 - 機 械 所 精 機 中 心 金 屬 中 心 計 畫 辦 公 室 計 畫 申 請 資 格 審 查 不 通 過 退 回 技 審 委 員 會 通 過 計 畫 審 查 不 通 過 通 過 推 動 委 員 會 修 正 計 畫 複 審 計 畫 變 更 通 過 簽 約 工 作 報 告 查 訪 成 果 發 表 計 畫 結 案 9

15 (2) 根 據 產 品 需 求 的 不 同, 搭 配 法 人 之 技 術 量 能, 協 助 國 內 模 組 及 零 組 件 廠 商 進 行 技 術 輔 導, 輔 導 方 式 為 由 法 人 擬 定 相 關 輔 導 計 畫 提 交 專 案 辦 公 室 及 國 產 化 推 動 委 員 會 審 查, 視 該 案 實 際 需 求 情 況 決 定 政 府 補 助 金 額, 以 不 超 過 200 萬 元 為 原 則 (3) 於 計 畫 內 設 置 半 導 體 製 程 設 備 模 組 及 次 系 統 技 術 輔 導 審 議 委 員 會, 遴 聘 國 內 專 家 及 學 者 擔 任 委 員 執 行 半 導 體 製 程 設 備 及 零 組 件 開 發 審 核 及 成 果 (4) 採 公 開 方 式 擬 定 計 畫 書 向 本 計 畫 執 行 單 位 提 出 申 請 (5) 計 畫 管 理 與 計 畫 成 果 追 蹤 (6) 工 作 協 調 及 進 度 掌 握 (7) 設 備 模 組 及 次 系 統 技 術 資 料 收 集 分 析 4. 半 導 體 設 備 產 業 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 輔 導 實 施 方 法 說 明 (1) 廠 商 自 籌 款 比 例 至 少 30%, 如 有 特 殊 情 況 者, 可 另 案 簽 核, 自 籌 款 須 全 數 使 用 於 該 工 作 項 目 不 得 移 作 他 用 過 去 連 續 2 年 接 受 本 局 補 助 或 輔 導 之 廠 商, 如 第 3 年 再 度 獲 得 本 局 補 助 或 輔 導 時, 其 自 籌 款 比 例 應 提 高 至 40% 以 上 (2) 技 術 輔 導 半 導 體 製 程 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 開 發 及 品 質 驗 證, 並 配 合 半 導 體 終 端 廠 商 設 備 廠 商 需 求 進 行 模 組 及 系 統 開 發 及 品 質 驗 證 ( 工 作 流 程 如 下 圖 所 示 ) (3) 確 認 輔 導 廠 商 之 產 品 開 發 項 目 是 否 符 合 現 階 段 或 未 來 市 場 規 格, 並 考 量 開 發 項 目 與 終 端 使 用 者 之 間 的 關 鍵 性 與 需 求 性, 各 執 行 單 位 於 評 估 後 提 出 輔 導 需 求 及 構 想 書 (4) 就 技 術 可 行 性 產 品 檢 測 驗 證 方 法 與 市 場 需 求 進 行 分 析, 確 定 需 求 與 可 行 後 擬 定 輔 導 計 畫, 確 認 產 品 開 發 規 格, 並 參 與 產 品 設 計 (5) 針 對 不 同 屬 性 的 輔 導 案 進 行 必 要 的 設 計 與 分 析 工 作 設 計 部 分 10

16 利 用 電 腦 輔 助 工 程 分 析 技 術 整 合 應 用, 確 保 最 佳 化 結 構 與 製 程 方 案 機 構 部 份 以 電 腦 輔 助 設 計 確 認 運 動 軌 跡, 並 計 算 動 力 學 模 式 確 保 結 構 動 力 之 充 足 與 控 制 方 法 之 正 確 性 系 統 整 合 部 分 應 依 循 半 導 體 光 電 設 備 相 關 規 範 進 行 網 路 通 訊 軟 體 撰 寫 (6) 運 用 機 械 設 計, 電 控 設 計 與 各 種 製 程 ( 成 型 加 工 銲 接 處 理 等 ) 與 實 驗 設 計 方 法, 與 合 作 廠 商 人 員 同 步 進 行 開 發 案 必 要 時 進 行 原 型 件 製 作 (7) 關 鍵 模 組 進 行 性 能 規 格 測 試 及 尺 寸 精 度 檢 測 (8) 產 品 性 能 分 析, 製 作 流 程 設 計 試 製 後 與 其 他 零 組 件 組 合 性 能 測, 試 測 試 結 果 回 饋 修 正 及 試 量 生 產 技 術 建 立 (9) 完 成 開 發 及 試 量 產, 對 合 作 廠 商 人 員 進 行 教 育 課 程 與 技 術 移 轉 (10) 彙 整 結 案 報 告 11

17 技 術 應 用 載 具 分 析 廠 商 提 出 輔 導 申 請 建 議 其 他 輔 導 方 式 NO 符 合 計 畫 輔 導 宗 旨 YES 技 術 與 市 場 需 求 分 析 擬 定 輔 導 計 畫 確 認 產 品 開 發 規 格 實 驗 與 電 腦 輔 助 分 析 實 驗 設 備 設 定 材 料 準 備 與 處 理 製 程 設 計 與 參 數 規 劃 NO 實 驗 進 行 YES 性 能 分 析 NO YES 完 成 開 發 工 作 流 程 圖 12

18 ( 二 ) 建 構 產 業 研 發 聯 盟 之 實 施 方 法 說 明 研 發 補 助 計 畫 主 導 性 新 產 品 業 界 科 專 SBIR 產 聯 盟 運 作 學 研 半 導 體 終 端 使 用 者 需 求 盟 主 半 導 體 關 鍵 設 備 製 造 廠 次 系 統 製 造 廠 A1,A2,A3 An 半 導 體 產 銷 服 務 平 台 封 測 製 造 廠 B1,B2,B3 Bn 零 組 件 製 造 廠 C1,C2,C3 Cn 材 料 製 造 廠 D1,D2,D3 Dn 技 術 輔 導 計 畫 設 備 供 應 鏈 解 析 產 業 資 訊 提 供 產 品 行 銷 媒 合 網 路 交 流 平 台 專 利 資 訊 服 務 提 供 展 覽 服 務 產 品 驗 證 服 務 (1) 協 助 研 發 聯 盟 規 劃 並 提 出 計 畫 案 開 發 結 合 聯 盟 廠 商 之 設 備 模 組 或 次 系 統 需 求, 搭 配 法 人 研 發 量 能 進 行 技 術 輔 導 及 提 出 整 合 型 開 發 計 畫, 期 能 協 助 廠 商 達 成 前 段 設 備 模 組 及 後 端 設 備 整 機 之 本 土 化 目 標 本 計 畫 已 形 成 之 聯 盟 如 下 : 13

19 (2) 推 動 新 設 研 發 聯 盟 1 以 終 端 使 用 廠 ( 半 導 體 廠 商 ) 為 盟 主, 與 製 程 設 備 製 造 廠 商 共 同 籌 組 研 發 聯 盟 End User 中 心 廠 設 備 製 造 廠 A 1 廠 商 設 備 製 造 廠 A 2 廠 商 設 備 製 造 廠 A 3 廠 商... 設 備 製 造 廠 A n 廠 商 2 以 關 鍵 設 備 製 造 廠 商 為 盟 主, 與 次 系 統 模 組 零 組 件 或 材 料 等 製 造 業 者 及 終 端 使 用 廠 共 同 籌 組 研 發 聯 盟 次 系 統 製 造 廠 A1, A2, A3 An 關 鍵 設 備 製 造 廠 模 組 製 造 廠 B1, B2,B3 Bn 材 料 製 造 廠 D1, D2, D3 Dn 零 組 件 製 造 廠 C1, C2, C3 Cn (4) 運 作 方 式 A. 形 成 階 段 : 提 供 產 業 資 訊 及 專 利 訊 息 交 流 平 台, 協 助 業 者 群 聚 討 論 產 業 研 發 動 態, 凝 聚 研 發 聯 盟 業 者 1 媒 體 公 告 及 召 開 說 明 會 方 式 讓 業 界 了 解 推 動 措 施 對 象 為 半 導 體 廠 商 及 設 備 零 組 件 模 組 與 次 系 統 開 發 廠 商 等 2 專 案 拜 訪 半 導 體 相 關 業 者, 協 助 設 備 零 組 件 等 業 者, 了 解 半 導 體 廠 商 需 求 3 藉 由 中 心 廠 與 設 備 / 零 組 件 製 造 業 者 訊 息 交 流 互 動, 篩 選 出 具 市 場 潛 力 之 設 備 零 組 件 及 耗 材 B. 籌 組 階 段 : 篩 選 研 發 主 題, 促 成 業 者 形 成 研 發 聯 盟 14

20 1 透 過 社 群 研 討 模 式, 凝 聚 產 業 技 術 發 展 主 軸 2 依 不 同 技 術 發 展 屬 性 形 成 子 社 群, 並 協 助 成 員 推 舉 子 社 群 主 導 公 司 3 協 助 主 導 公 司 與 社 群 成 員 形 成 技 術 研 發 討 論 群 組, 討 論 共 同 研 發 運 作 模 式 研 發 成 果 分 享 經 費 支 出 分 配 研 發 項 目 分 工 等 事 宜, 並 評 估 形 成 研 發 聯 盟 之 風 險 與 解 決 之 道 4 整 合 聯 盟 技 術 量 能, 並 協 助 聯 盟 會 員 通 過 使 用 端 驗 證 流 程 5 媒 合 聯 盟 會 員 產 品, 進 入 使 用 端 廠 商 C. 運 作 階 段 : 整 合 聯 盟 成 員 技 術 量 能, 協 助 聯 盟 成 員 申 請 政 府 科 技 計 畫 補 助 資 源, 舊 有 聯 盟 規 劃 如 下 圖 1 協 助 主 導 公 司 篩 選 適 當 之 研 發 載 具, 並 協 調 聯 盟 成 員 或 是 具 潛 力 之 廠 商, 與 主 導 公 司 進 行 上 中 下 游 同 步 研 發 2 結 合 本 土 化 技 術 輔 導 案, 協 助 聯 盟 成 員 開 發 關 鍵 性 零 組 件 3 協 助 聯 盟 成 員 提 出 整 合 性 計 畫 申 請, 爭 取 主 導 性 新 產 品 計 畫 業 界 科 專 或 SBIR 等 政 府 研 發 經 費 補 助 資 源 15

21 四 計 畫 經 費 與 人 力 執 行 情 形 ( 一 ) 計 畫 經 費 執 行 情 形 千 元 項 目 簽 約 數 結 報 數 繳 庫 數 保 留 數 備 註 政 府 廠 商 委 辦 費 補 助 款 代 管 補 助 款 41, , 自 籌 款 補 助 計 畫 自 7, , 籌 款 ( 二 ) 經 資 門 經 費 表 千 元 項 目 會 計 科 目 一 經 常 支 出 1. 人 事 費 2. 業 務 費 3. 差 旅 費 4. 管 理 費 5. 營 業 稅 6. 公 費 小 計 二 資 本 支 出 三 代 管 補 助 款 小 計 金 額 合 計 占 總 經 費 % 主 管 機 關 預 算 ( 委 託 補 助 ) 6, (6, ) 24, (30, ) 7, ( ) 2, (2, ) 0 (0) ( ) 41, (41, ) 0 (0) 0 (0) 0 (0) 41, (41, ) (80.15) 簽 約 數 / ( 執 行 數 ) 自 籌 款 合 計 金 額 ( 元 ) 占 總 經 費 % 1, (1, ) 7, (7, ) 5,089,664 29, (6, ) (37, ) , (25.493) (1, ) , (1, ) (4, ) ( ) ( ) (0) ( ) 7, , (10, ) (51, ) 0 0 (0) (0) 0 0 (0) (0) 0 0 (0) (0) 7, , (10, ) (51, ) (19.85) (100) (15.35) (72.33) (1.96) 7.60 (7.98) 0.76 (0.95) 1.50 (1.43) 100 (100) 0 (0) 0 (0) 0 (0) 100 (100) 備 註 16

22 ( 三 ) 經 費 與 原 計 畫 規 劃 差 異 說 明 : 本 計 畫 簽 約 數 為 41,051 千 元, 實 際 執 行 數 為 41,051 千 元, 無 差 異 ( 四 ) 撥 款 進 度 已 撥 款 期 數 撥 款 日 期 已 撥 款 項 ( 千 元 ) 差 異 說 明 1 3/11 6,000 無 2 6/24 12,472 無 3 10/2 12,000 無 ( 五 ) 計 畫 人 力 計 畫 名 稱 執 行 總 人 力 情 形 ( 人 月 ) 研 究 員 級 副 研 究 員 級 助 理 研 究 員 級 研 究 員 助 理 級 原 訂 實 際 差 異 ( 六 ) 主 要 人 力 投 入 情 形 ( 副 研 究 員 級 以 上 ) 姓 名 計 畫 職 稱 投 入 主 要 工 作 及 人 月 數 學 經 歷 及 專 長 學 歷 碩 士 吳 春 森 研 究 員 3 鄭 永 茂 研 究 員 8 曾 坤 三 研 究 員 1 殷 啟 勝 研 究 員 4 邱 振 璋 研 究 員 3 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 金 屬 中 心 年 資 31 年 表 面 處 理 銲 接 學 士 金 屬 中 心 年 資 18 年 機 械 工 程 分 析 碩 士 金 屬 中 心 年 資 18 年 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 22 年 精 密 鑄 造 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 運 動 控 制 系 統 整 合 張 成 仲 研 究 員 4 學 歷 碩 士 17

23 蔡 政 哲 副 研 究 員 5 張 浩 庭 副 研 究 員 1 陳 韋 仁 副 研 究 員 10 張 光 寒 副 研 究 員 3 楊 志 勝 副 研 究 員 2 蔡 昕 燁 副 研 究 員 4 曾 季 清 副 研 究 員 3 陳 怡 臻 副 研 究 員 1 劉 懿 修 副 研 究 員 3 謝 余 松 副 研 究 員 0.5 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 金 屬 中 心 年 資 16 年 控 制 程 式 設 計 機 器 視 覺 整 合 碩 士 金 屬 中 心 年 資 7 年 視 覺 定 位 系 統 規 劃 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 6 年 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 6 年 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 10.9 年 自 動 化 系 統 製 程 整 合 監 控 系 統 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 5.8 年 機 電 系 統 整 合 規 劃 與 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 4 年 機 電 系 統 整 合 規 劃 與 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 19 年 機 械 設 計 材 質 分 析 碩 士 金 屬 中 心 年 資 14 年 計 畫 管 理 碩 士 金 屬 中 心 年 資 8 年 光 學 檢 測 程 式 介 面 開 發 楊 思 華 副 研 究 員 1 學 歷 碩 士 18

24 楊 育 彬 副 研 究 員 6 鍾 逸 駿 副 研 究 員 1 秦 懷 山 副 研 究 員 1 孫 嘉 鴻 副 研 究 員 1 張 益 三 副 研 究 員 0.5 許 哲 彰 副 研 究 員 1 翁 敏 航 副 研 究 員 0.5 李 宗 信 副 研 究 員 0.5 陳 佳 麟 副 研 究 員 2 陳 慧 娟 副 研 究 員 8 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 金 屬 中 心 年 資 4.5 年 自 動 控 制 與 系 統 整 合 碩 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 機 械 設 計 加 工 製 作 碩 士 金 屬 中 心 年 資 9.1 年 機 械 設 計 加 工 製 作 碩 士 金 屬 中 心 年 資 9 年 薄 膜 工 程 半 導 體 製 程 碩 士 金 屬 中 心 年 資 9 年 面 板 製 程 雷 射 加 工 半 導 體 製 程 博 士 金 屬 中 心 年 資 7 年 電 子 封 裝 製 程 機 電 整 合 碩 士 金 屬 中 心 年 資 5 年 Shadow moire 量 測 機 電 整 合 博 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 光 電 半 導 體 製 程 設 備 博 士 金 屬 中 心 年 資 3.4 年 薄 膜 成 長 與 特 性 分 析 碩 士 金 屬 中 心 年 資 6 年 材 料 科 技 碩 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 產 業 分 析 孫 銘 琨 副 研 究 員 2 學 歷 碩 士 19

25 許 理 媖 副 研 究 員 2 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 金 屬 中 心 年 資 5.2 年 光 電 半 導 體 製 程 設 備 碩 士 金 屬 中 心 年 資 8.6 年 計 畫 管 理 ( 七 ) 人 力 與 原 計 畫 規 劃 差 異 說 明 : 本 計 畫 與 原 規 劃 人 力 無 差 異 20

26 五 計 畫 已 獲 得 之 主 要 成 果 與 重 大 突 破 ( 含 量 化 成 果 output) ( 一 ) 本 計 畫 重 要 之 成 果 說 明 計 畫 工 作 項 目 預 定 成 果 重 要 成 果 達 成 情 形 推 動 半 導 體 製 程 設 備 及 模 組 本 土 化 (1) 協 助 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 整 機 設 備 進 口 替 代 1 案 ( 含 ) 以 上 (2) 促 成 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 耗 材 零 組 件 進 口 替 代 4 案 ( 含 ) 以 上 (3) 協 助 新 增 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 應 鏈 體 系 2 案 ( 含 ) 以 上 (4) 建 立 半 導 體 設 備 廠 之 零 組 件 使 用 規 範 10 案 ( 含 ) 以 上 (5) 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 產 業 資 訊 及 廠 商 名 錄 各 1 份 (6) 完 成 產 學 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上, 培 訓 在 學 學 生 2 人 ( 含 ) 以 上 (7) 國 內 技 轉 案 2 案 ( 含 ) 以 上 (8) 完 成 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 1 場 ( 含 ) 以 上 辦 理 排 半 導 體 設 備 與 零 組 件 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 並 促 成 30 家 業 者 ( 含 ) 以 上 參 與 辦 理 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上 (9) 完 成 輔 導 半 導 體 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 輔 導 開 發 案 9 案 ( 含 ) 以 上 (10) 預 計 增 加 產 值 270,000 千 元 ( 含 ) 以 上 直 接 降 低 生 產 成 本 90,000 千 元 ( 含 ) 以 上 及 直 接 促 進 投 資 90,000 千 元 ( 含 ) 以 上 (11) 協 助 增 加 國 內 就 業 人 口 72 人 次 ( 含 ) 以 上 (1) 推 動 日 商 WAIDA( 和 井 田 ) 公 司 與 台 廠 友 嘉 半 導 體 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 之 晶 圓 植 球 機 (2)a. 推 動 日 商 DISCO( 迪 斯 科 高 ) 公 司 研 磨 設 備 之 鑽 石 磨 輪 研 磨 環 與 台 廠 中 國 砂 輪 京 鼎 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 共 2 案 b. 推 動 日 商 TAKAKI( 高 木 公 司 ) 與 台 廠 進 期 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 曝 光 移 載 平 台 晶 圓 承 載 盤 共 2 案 (3) 媒 合 國 內 廠 商 漢 泰 元 鐙 奈 晶 千 附 進 期 柏 夫 等 公 司 分 別 切 入 ASML 及 AMAT 共 2 案 外 商 之 零 組 件 供 應 鏈 (4) 完 成 終 端 廠 製 程 設 備 之 耗 材 零 組 件 使 用 規 範 資 料 共 10 筆 (5) 完 成 Y102 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 報 告 1 份 及 18 類 半 導 體 設 備 共 77 間 廠 商 名 錄 1 份 (6) 完 成 崑 山 科 大 與 馗 鼎 奈 米 公 司 之 產 學 合 作 計 畫 1 案, 並 培 訓 3 位 學 生 投 入 研 究 計 畫 (7) 推 動 量 測 中 心 及 儀 科 中 心 技 轉 化 學 溶 液 瑕 疵 檢 測 技 術 及 高 精 度 石 英 光 學 積 分 器 技 術 予 國 內 廠 商 共 3 案 (8) 完 成 1 場 3DIC 設 備 技 術 研 討 會 4 場 媒 合 商 談 會 71 家 廠 商 參 與 及 1 場 成 果 發 表 會 (9) 完 成 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 共 10 案 次 合 計 廠 商 自 籌 款 9,850 仟 元 (10) 預 估 輔 導 案 期 末 可 增 加 半 導 體 設 備 產 業 增 加 產 值 10.6 億 元 促 成 廠 商 投 資 1.5 億 元, 降 低 半 導 體 產 業 廠 商 成 本 4.8 億 元 (11) 預 估 期 末 可 增 加 國 內 就 業 人 口 達 88 人 21

27 推 動 產 業 研 發 聯 盟 (1) 推 動 已 成 立 之 設 備 研 發 聯 盟 提 出 設 備 開 發 計 畫 申 請 2 案 ( 含 ) 以 上 (2) 促 成 聯 盟 與 學 研 技 術 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上 (1) 完 成 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 及 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 2 項 SBIR 開 發 計 畫 申 請 (2) 完 成 聯 盟 廠 商 與 台 大 光 電 工 程 研 究 進 行 全 光 通 量 測 技 術 研 究 交 大 機 械 系 進 行 光 阻 塗 佈 模 擬 研 究 學 研 技 術 合 作 共 2 案 產 學 合 作 單 位 崑 山 科 技 大 學 馗 鼎 奈 米 科 技 1 學 術 成 就 為 強 化 學 界 與 產 業 界 連 結, 並 解 決 供 應 鏈 技 術 缺 口 問 題, 以 終 端 廠 所 需 之 設 備 技 術 促 成 產 學 合 作, 藉 由 學 界 力 量 加 深 研 究 範 疇 本 年 度 共 執 行 1 案 產 學 合 作 研 究 計 畫 如 下 表, 並 檢 附 開 發 廠 商 合 作 意 願 書 ( 如 附 件 四 ) 執 行 計 畫 2 技 術 創 新 IC 封 裝 模 具 表 面 抗 沾 黏 鍍 膜 製 程 研 究 關 鍵 技 術 (1) 辦 理 1 場 半 導 體 設 備 技 術 研 討 會 a. 研 討 會 名 稱 :3DIC 設 備 技 術 發 展 研 討 會 b. 時 間 :102 年 6 月 26 日 c. 地 點 : 竹 科 科 技 生 活 館 2F 愛 因 斯 坦 廳 d. 參 加 人 數 :94 人 採 用 物 理 氣 象 沉 積 (Physical Vapor Deposition, 簡 稱 PVD) 的 濺 鍍 技 術, 發 展 Zr 中 界 層 的 陶 瓷 硬 膜 設 計 是 本 研 究 重 點, 藉 由 Zr 與 基 材 作 為 中 界 層 再 做 第 二 層 陶 瓷 ZrN 的 沈 積, 其 性 質 可 以 達 到 互 補 或 加 強 與 基 材 附 著 作 用, 因 ZrN 的 鍍 層 機 械 性 質 優 異 及 Zr 增 加 鍍 膜 與 底 材 的 附 著 力, 可 有 效 降 低 鍍 膜 之 內 應 力, 以 獲 得 鍍 膜 組 織 較 高 密 度, 提 升 機 械 性 質, 是 本 項 研 究 的 重 要 關 鍵 技 術 e. 研 討 會 內 容 摘 要 : 近 來 3DIC 技 術 在 半 導 體 產 業 上 十 分 受 到 矚 目, 本 研 討 會 邀 集 業 界 先 進 與 會 共 同 討 論, 台 灣 應 該 如 何 因 應 此 趨 勢 及 切 入 才 能 提 升 產 業 競 爭 優 勢 22

28 時 間 議 題 內 容 主 講 人 13:40~14:20 3DIC 關 鍵 技 術 介 紹 淺 談 3DIC TEMPORARY 14:20~15:00 BONDER 相 關 設 備 技 術 Just Good Enough: Low 15:20~16:00 Cost 3DIC PVD 交 通 大 學 電 子 工 程 系 陳 冠 能 教 授 志 聖 工 業 股 份 有 限 公 司 楊 敬 明 經 理 力 鼎 精 密 股 份 有 限 公 司 劉 明 暉 執 行 副 總 經 理 (2) 完 成 1 場 計 畫 成 果 發 表 會 a. 成 果 發 表 會 主 題 : 工 業 局 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 擴 大 成 果 展 b. 時 間 :102 年 9 月 4 日 至 9 月 6 日 c. 地 點 : 台 北 南 港 展 覽 館 4F d. 內 容 摘 要 : SEMICON Taiwan 國 際 半 導 體 展 做 為 與 半 導 體 產 業 交 流 的 最 佳 平 台, 展 覽 主 軸 分 為 3D IC 構 裝 與 基 板 MEMS 微 系 統 綠 色 製 程 以 及 精 密 機 械 等 產 業 議 題, 同 時 匯 集 世 界 頂 尖 半 導 體 科 技 廠 商 參 與, 因 此 今 年 度 半 導 體 計 畫 成 果 展 特 地 參 加 展 覽, 展 出 內 容 主 要 分 為 (1) 實 品 及 影 片 展 示 (2) 新 技 術 / 產 品 發 表 會 二 部 份, 吸 引 如 台 積 電 聯 電 日 月 光 矽 品 銀 泰 科 技 榮 升 益 和 科 技 揚 博 科 技 台 灣 玻 封 瀚 軒 矽 菱 英 商 全 球 科 技 薪 宇 科 技 元 稼 等 業 者 蒞 臨 參 與 23

29 (3) 辦 理 4 場 產 業 媒 合 活 動, 共 安 排 71 家 次 台 灣 設 備 零 組 件 業 者 與 12 間 國 內 外 潛 力 買 主 ( 台 積 電 聯 電 Toshiba 日 本 suzuki 商 社 六 甲 電 子... 等 ) 進 行 商 談 媒 合 辦 理 時 間 會 議 名 稱 潛 力 買 主 媒 合 廠 商 102/09/04 一 對 一 採 購 洽 談 1 Toshiba 1 佑 邦 科 技 2 建 泓 科 技 2 聯 華 電 子 3 漢 鐘 精 機 3 ( 株 )スズキ 4 台 灣 向 大 5 廣 運 機 械 4 ( 株 )ホックス 6 友 嘉 科 技 7 齊 璣 科 技 5 ( 株 ) 大 川 金 型 設 計 事 務 所 8 三 好 科 技 9 均 碩 精 密 6 ( 株 )デンケン 10 中 國 砂 輪 11 華 順 科 技 102/09/05 台 日 交 流 商 談 會 7 8 大 分 精 密 工 業 ( 株 ) 柳 井 電 機 工 業 ( 株 ) 12 帆 宣 系 統 13 元 捷 應 用 材 料 14 揚 朋 科 技 9 タカキ 製 作 所 ( 株 ) 10 エスティケイ テクノロジー ( 株 ) 11 六 甲 電 子 ( 株 ) 15 一 寶 實 達 有 限 公 司 16 沅 進 工 業 有 限 公 司 102/09/05 台 積 電 採 購 說 明 會 12 台 灣 積 體 電 路 中 勤 實 業 股 份 有 限 公 司 元 稼 企 業 有 限 公 司 18 佳 宸 科 技 20 佳 霖 科 技 21 世 恩 科 技 有 限 公 司 22 奇 裕 企 業 24

30 台 銨 科 技 股 份 有 限 公 司 台 灣 日 立 化 成 國 際 股 份 有 限 公 司 台 灣 派 克 漢 尼 汾 股 份 有 限 公 司 亦 立 科 技 有 限 公 司 24 祐 邦 科 技 通 又 順 氣 動 馬 達 製 造 有 限 公 司 復 華 機 械 股 份 有 限 公 司 華 谷 電 機 股 份 有 限 公 司 31 兆 勗 企 業 有 限 公 司 32 雅 森 科 技 股 份 有 限 公 司 33 全 球 傳 動 科 技 股 份 有 限 公 司 34 雄 牧 企 業 有 限 公 司 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 宏 屹 企 業 股 份 有 限 公 司 聯 亞 國 際 科 技 股 份 有 限 公 司 邁 斯 精 密 機 械 鈦 昇 科 技 股 份 有 限 公 司 煒 群 科 技 股 份 有 限 公 司 精 石 精 密 量 校 科 技 國 際 顧 問 有 限 公 司 廣 碩 系 統 股 份 有 限 公 司 43 勵 威 電 子 股 份 有 限 公 司 44 錐 光 金 屬 股 份 有 限 公 司 45 鴻 騏 欣 技 股 份 有 限 公 司 46 力 鼎 精 密 47 京 鼎 精 密 48 台 禹 科 機 49 凌 嘉 科 技 50 由 田 新 技 51 海 鴻 科 技 52 帆 宣 系 統 53 崇 文 科 技 102/11/08 台 灣 半 導 體 設 備 零 組 件 交 流 商 談 會 12 台 灣 積 體 電 路 54 旭 東 機 械 55 凱 樂 士 公 司 56 均 華 精 密 57 富 蘭 登 科 技 58 均 豪 精 密 59 智 勝 科 技 60 志 聖 工 業 61 愛 樹 科 技 62 沛 科 精 密 63 新 鶴 公 司 64 辛 耘 企 業 65 瑞 耘 科 技 66 京 華 石 英 67 漢 鐘 精 機 68 精 耀 科 技 69 聯 毅 科 技 25

31 70 億 力 鑫 71 耀 群 科 技 (4) 促 成 法 人 研 發 技 術 技 轉 國 內 廠 商 3 案 次 如 下 表, 協 助 國 內 廠 商 開 發 自 主 設 備 項 次 技 術 名 稱 預 定 技 轉 內 容 技 轉 單 位 技 轉 廠 商 發 展 溶 液 微 粒 監 控 之 自 動 取 樣 系 統 溶 液 微 粒 之 監 控 系 統 高 精 度 石 英 光 學 積 分 器 研 製 (1) 整 合 自 動 取 樣 系 統 於 線 上 奈 米 粒 徑 監 測 技 術, 提 供 全 域 尺 寸 分 布 監 測 之 需 求 (2) 配 合 監 測 系 統 進 行 樣 品 之 自 動 取 樣, 與 稀 釋 液 之 均 勻 混 和, 準 確 控 制 不 同 混 和 比 (1) 以 噴 霧 器 方 式 將 溶 液 中 粒 子 轉 換 成 氣 膠 粒 子, 再 以 尺 寸 分 類 的 方 式 進 行 粒 子 數 量 計 數 並 以 此 技 術 完 成 模 組 後 線 上 奈 米 粒 徑 分 佈 監 測 系 統 (2) 可 監 測 水 溶 液 中 粒 子 粒 徑 及 其 分 佈, 其 粒 徑 監 測 範 圍 為 20 nm ~ 1000 nm, 符 合 半 導 體 產 業 對 溶 液 中 粒 徑 監 測 的 需 求 (1) 透 過 光 學 鏡 片 加 工 拋 光 夾 具 與 檢 測 輔 具 檢 測 技 術 等 移 轉 予 國 內 廠 商 發 展 光 學 元 件 (2) 移 轉 光 學 元 件 拋 光 參 數 調 控 加 工 夾 具 與 檢 測 治 具 等 技 術 量 測 中 心 量 測 中 心 儀 科 中 心 耀 群 科 技 耀 群 科 技 昇 銳 材 料 科 技 (5) 結 合 使 用 端 需 求 促 成 國 內 外 廠 商 技 術 合 作, 開 發 進 口 替 代 整 機 1 案 及 零 組 件 耗 材 4 案 a. 整 機 設 備 進 口 替 代 1 案 : 推 動 日 商 和 井 田 (WAIDA) 技 術 授 權 台 廠 友 嘉 半 導 體 公 司 代 工 生 產 晶 圓 植 球 機, 供 應 予 矽 品 公 司 b. 促 成 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 耗 材 零 組 件 進 口 替 代 4 案 26

32 i. 鑽 石 磨 輪 : 推 動 日 商 DISCO 公 司 釋 出 鑽 石 磨 輪 規 格, 並 媒 合 中 國 砂 輪 技 術 合 作 生 產 鑽 石 磨 輪, 預 計 供 應 予 日 月 光 公 司 ii. 研 磨 環 : 推 動 日 商 DISCO 釋 出 研 磨 環 規 格, 並 媒 合 京 鼎 公 司 技 術 合 作 生 產 研 磨 環, 預 計 供 應 予 日 月 光 公 司 iii. 雷 射 打 印 設 備 移 載 平 台 : 推 動 日 商 TAKAKI 製 作 所 技 術 授 權 進 期 公 司 代 工 生 產 雷 射 打 印 設 備 移 載 平 台, 預 計 供 應 予 台 積 電 iv. 晶 圓 承 載 盤 : 推 動 日 商 TAKAKI 製 作 所 與 揚 朋 公 司 技 術 合 作, 在 台 生 產 雷 射 打 印 設 備 晶 圓 承 載 盤, 預 計 供 應 予 台 積 電 (6) 協 助 媒 合 2 案 次 國 內 廠 商 切 入 外 商 AMAT( 美 商 應 材 ) 及 ASML( 荷 商 愛 斯 摩 爾 ) 之 供 應 鏈 促 成 漢 泰 科 技 元 鐙 與 奈 晶 科 技 3 家 具 量 能 陽 極 處 理 商 與 AMAT 進 行 零 組 件 陽 極 處 理 供 應 業 務 洽 談 ; 協 助 ASML 尋 找 國 內 千 附 進 期 駐 龍 及 柏 夫 等 零 組 件 製 造 廠 商 與 其 洽 談 生 產 製 造 業 務 ( 如 附 件 七 ) (7) 完 成 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 共 10 案 次 ( 廠 商 基 本 資 料 如 附 件 五 ) 如 下 表, 廠 商 自 籌 款 合 計 9,850 千 元 序 號 計 畫 名 稱 輔 導 單 位 受 輔 導 廠 商 名 稱 1 3D IC 蝕 刻 電 漿 源 模 組 研 發 機 械 所 崇 文 科 技 股 份 有 限 公 司 2 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發 機 械 所 新 鶴 股 份 有 限 公 司 3 晶 圓 陶 瓷 靜 電 承 載 盤 開 發 計 畫 機 械 所 凱 樂 士 股 份 有 限 公 司 4 3D IC 超 薄 晶 片 之 快 速 分 離 取 放 模 組 技 術 機 械 所 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 5 CoW molding system 之 膠 體 隔 離 模 組 開 發 精 機 中 心 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 6 高 精 度 真 空 晶 圓 傳 送 機 械 手 臂 設 備 開 發 金 屬 中 心 聯 毅 科 技 股 份 有 限 公 司 7 IC Design House 專 用 之 高 低 溫 度 測 試 系 統 金 屬 中 心 穎 崴 科 技 股 份 有 限 公 司 8 永 磁 電 機 驅 動 魯 氏 真 空 泵 浦 開 發 金 屬 中 心 漢 鐘 精 機 股 份 有 限 公 司 9 電 漿 式 尾 氣 處 理 系 統 之 反 應 腔 體 開 發 金 屬 中 心 臺 禹 科 機 股 份 有 限 公 司 10 射 頻 功 率 產 生 器 模 組 開 發 金 屬 中 心 富 蘭 登 科 技 股 份 有 限 公 司 27

33 3 經 濟 效 益 (1) 協 助 國 內 半 導 體 產 業 設 備 推 動 本 土 化, 直 接 增 加 半 導 體 產 業 產 值 新 台 幣 10.6 億 元 直 接 促 成 廠 商 投 資 新 台 幣 1.5 億 元 直 接 降 低 成 本 新 台 幣 4.8 億 元, 並 帶 動 國 內 半 導 體 設 備 產 業 計 26 家 進 行 研 發 擴 產 增 資 土 地 購 置 等 投 資 計 畫, 總 計 投 資 金 額 達 新 台 幣 37.3 億 (2) 協 助 聯 盟 廠 商 完 成 設 備 開 發 計 畫 2 案 : a. 協 助 點 量 中 國 製 釉 博 美 晶 旌 暘 等 圖 案 化 基 板 設 備 研 發 聯 盟 相 關 業 者, 提 出 聯 盟 型 SBIR 計 畫 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 (a) 白 光 LED 儼 然 成 為 下 世 代 照 明 的 主 流, 世 界 各 國 除 了 持 續 追 求 逼 近 發 光 效 率 之 理 論 極 限 外, 次 世 代 LED 照 明 已 逐 漸 趨 向 高 值 化 需 求, 為 此 美 國 能 源 局 (DOE) 更 明 訂 2015 年 起 LED 燈 具 空 間 色 偏 < 200K, 色 差 < 2 SDCM(standard deviation of color matching) (b) 目 前 傳 統 螢 光 粉 點 膠 法 因 為 空 間 色 偏 大 (>1000K) 批 量 色 差 大 (>7 SDCM) 螢 光 粉 沉 降 等 問 題, 故 本 計 畫 擬 以 超 低 色 偏 之 大 面 積 螢 光 晶 片 整 合 COB 封 裝 製 程 的 創 新 構 想, 達 成 低 空 間 色 偏 (<100K) 低 成 本 ( 減 少 30%) 低 色 差 (<2 SDCM) 的 新 產 品 開 發, 優 於 美 國 DOE 2015 年 之 需 求, 有 助 於 台 灣 封 裝 廠 與 燈 具 廠 進 入 歐 美 高 階 市 場 b. 協 助 半 導 體 探 針 檢 測 設 備 研 發 聯 盟 業 者 景 美 科 技, 完 成 SBIR 計 畫 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 (a) 目 前 半 導 體 光 電 檢 測 為 單 顆 晶 粒 逐 一 檢 測, 而 未 來 將 朝 大 尺 寸 晶 圓 發 展, 其 逐 步 檢 測 之 系 統 成 本 高 且 速 度 慢, 且 需 再 提 升 光 學 特 性 檢 驗 品 質 因 此 產 業 需 大 面 積 晶 圓 級 的 快 速 自 動 化 檢 測 技 術, 且 須 達 高 解 析 之 光 學 特 性 檢 驗 標 準 及 可 靠 度, 以 提 升 產 能 品 質 及 降 低 生 產 成 本 (b) 本 聯 盟 所 研 發 的 快 速 多 通 道 複 合 檢 測 技 術 主 要 可 應 用 於 半 導 體 產 業 中 之 光 / 電 特 性 檢 測 分 類 製 程, 以 提 升 檢 測 速 度 產 能 品 質, 降 低 生 產 成 本, 使 我 國 半 導 體 產 業 更 具 世 28

34 界 競 爭 力 未 來, 本 技 術 成 熟 後 更 可 提 昇 用 於 IC 晶 圓 影 像 感 測 晶 元 等 產 品 之 檢 測 (c) 相 關 多 通 道 透 明 微 陣 列 電 極 探 針 技 術 可 應 用 於 觸 控 螢 幕 之 透 明 導 電 膜 ; 高 光 譜 解 析 度 影 像 光 譜 技 術 可 應 用 於 顯 示 產 業 之 面 板 檢 測 ; 設 備 視 覺 掃 描 定 位 技 術 可 運 用 於 晶 粒 特 徵 比 對 自 動 瑕 疵 檢 測 (3) 促 成 聯 盟 與 學 界 技 術 合 作 2 案 : a. 台 大 光 電 工 程 研 究 團 隊 參 與 半 導 體 探 針 檢 測 設 備 研 發 聯 盟 完 成 光 電 半 導 體 晶 粒 建 模 集 光 元 件 模 擬 分 析 與 設 計 優 化 (a) 本 案 針 對 未 來 多 通 道 複 合 功 能 檢 測 光 通 量 檢 測 之 需 求, 進 行 全 光 通 量 測 技 術 研 究, 利 用 光 學 設 計 理 論 及 技 術, 設 計 一 新 式 全 光 通 量 量 測 光 學 元 件, 以 降 低 微 型 化 積 分 球 所 引 入 之 量 測 誤 差, 提 升 高 功 率 光 電 半 導 體 晶 粒 量 測 之 準 確 性 與 速 度 完 成 探 針 卡 與 LED 元 件 模 型 整 合 機 構 設 計 元 件 模 型 整 合 機 構 設 計 圖 及 CPC 集 光 元 件 (b) 藉 由 本 案 之 執 行 亦 同 步 培 育 碩 士 班 學 生 一 名, 完 成 光 電 半 導 體 晶 粒 建 模 集 光 元 件 模 擬 分 析 與 設 計 優 化, 完 成 量 測 誤 差 分 析 並 回 饋 改 良 設 計, 使 全 光 通 量 收 集 大 於 70% b. 交 通 大 學 機 械 系 研 究 團 隊 參 與 圖 案 化 基 板 設 備 研 發 聯 盟, 運 用 CFD 模 擬 軟 體, 完 成 塗 佈 行 為 模 擬 (a) 本 研 究 旨 在 利 用 計 算 流 體 力 學 軟 體, 建 立 狹 縫 塗 佈 製 程 的 數 值 模 擬 方 法, 並 探 討 製 程 參 數 對 於 薄 膜 塗 佈 特 性 的 影 響, 輔 助 分 析 狹 縫 塗 佈 時 邊 緣 不 均 勻 區 的 發 生 原 因 和 特 性 (b) 首 先 透 過 實 驗 取 得 非 牛 頓 流 體 塗 料 的 流 變 特 性 和 表 面 張 力 資 料, 並 將 其 建 置 於 模 擬 軟 體 內, 進 行 數 學 模 型 的 擬 合 其 次, 建 立 三 維 狹 縫 塗 佈 製 程 模 型, 並 使 用 軟 體 內 的 Volume-of-Fluid (VOF) 及 Arbitrary Lagrangian-Eulerian (ALE) 方 法 進 行 計 算, 再 將 得 到 的 模 擬 結 果 與 實 驗 數 據 以 及 文 獻 進 行 比 較, 進 行 塗 佈 製 程 成 膜 效 果 分 析, 探 討 系 統 29

35 參 數 對 塗 層 邊 緣 不 均 勻 區 的 發 展 和 膜 寬 方 向 的 膜 厚 均 勻 性 的 影 響, 並 提 出 改 善 建 議 4 社 會 影 響 透 過 技 術 輔 導 半 導 體 產 業 廠 商 提 升 產 能 及 品 質 改 善, 並 使 廠 商 釋 出 就 業 機 會, 增 加 就 業 人 數 75 人 5 非 研 究 類 成 就 本 案 本 項 無 6 其 他 效 益 (1) 完 成 彙 整 終 端 使 用 廠 所 需 之 耗 材 零 組 件 品 質 使 用 規 範 共 10 案, 包 括 :IC 製 程 之 化 學 機 械 研 磨 模 組 晶 圓 雷 射 切 割 設 備 CMP 晶 圓 定 位 研 磨 卡 環 爐 管 用 改 良 式 磁 流 體 軸 承 真 空 引 入 模 組 機 械 手 臂 用 之 減 速 機 模 組 陶 瓷 晶 圓 加 熱 器 6 片 式 晶 圓 加 熱 盤 CMP 製 程 之 研 磨 盤 曝 光 機 精 密 對 位 模 組 等 終 端 需 求 產 品 30

36 說 明 終 端 使 用 者 需 求 規 格 項 目 化 學 機 械 研 磨 模 組 1. 重 複 定 位 精 度 X,Y,Z 軸 : 3. 有 效 行 程 125mm ±0.001 mmr 軸 :± 無 塵 等 級 傳 送 裝 置 壽 6 年 晶 圓 雷 射 切 割 設 備 CMP 晶 圓 定 位 研 磨 卡 環 爐 管 用 改 良 式 磁 流 體 軸 承 真 空 設 備 之 真 空 引 入 模 組 機 械 手 臂 用 之 減 速 機 模 組 1. 最 大 適 用 晶 片 直 徑 :300mm. 2.X 軸 可 切 割 範 圍 :310mm 3.X 軸 最 大 進 刀 速 度 軸 定 位 精 度 :600 mm/s 1. 定 位 卡 環 組 裝 - 工 作 面 PPS( 聚 苯 硫 醚 ) 2. 表 面 粗 糙 度 : Ra 0.3 µm 1. 轉 速 : 130 rpm 2. 使 用 壽 命 : 1500 hr 1. 扭 力 範 圍 : 9~1013 kg/cm 2. 導 電 材 質 : SUS304 OFHC 1. 減 速 比 : 1/30~1/ 輸 入 2000r/min 時 的 額 定 轉 矩 : 4~800 Nm 陶 瓷 晶 圓 加 熱 器 1. 產 品 尺 寸 :8 2. 產 品 材 質 : AlN 或 Al 2 O 3 六 片 式 晶 圓 加 熱 盤 CMP 製 程 之 研 磨 盤 晶 圓 曝 光 機 精 密 對 位 模 組 1. 產 品 尺 寸 : 可 同 時 承 載 6 片 8 吋 晶 圓 2. 產 品 材 質 : Al 本 體 材 質 : Al 磨 墊 材 質 : Al 2 O 3 1. 預 對 位 (fine alignment) 時 間 :1-2 秒 2. 細 對 位 (fine alignment) 時 間 :3-4 秒 4. Y 軸 最 小 步 進 量 :0.0001mm 5.Y 軸 最 小 光 學 尺 分 辨 率 :0.0001mm 6. Z 軸 最 小 移 動 量 : mm 3. 8 吋 Retainer Ring 尺 寸 : 外 徑 :250 mm 內 徑 :200 mm 總 厚 度 :12 mm 4. 表 面 平 行 度 : 0.03 mm 3. 耐 溫 度 防 沾 黏 接 觸 角 耐 溫 範 圍 :0~80 度 4. 真 空 耐 壓 :10-6 Pa 5. 承 載 電 流 : 10~200 A 3. 啟 動 / 停 止 時 的 容 許 最 大 轉 矩 : 9~1840 Nm 4. 瞬 間 容 許 最 大 轉 矩 : 17~3430 Nm 3. 加 熱 溫 度 : 升 溫 速 率 : 480 /40min 5. 環 境 氣 氛 : SiH 4 N 2 O He 3. 加 熱 溫 度 : 升 溫 速 率 : 400 /40min 5. 真 空 度 : 10-9 torr 3. 產 品 尺 寸 :200mm 4. 研 磨 精 度 : 0.25 um 3. 對 位 精 度 : 1µm 4. 對 位 模 式 : 雙 CCD/ 雙 組 標 記 共 兩 套 備 註 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 (2) 完 成 Y102 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 報 告 1 份 ( 如 附 件 六 ) 及 國 內 18 類 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 共 77 間 廠 商 名 錄 1 份 31

37 ( 二 ) 本 計 畫 之 量 化 績 效 指 標 屬 性 學 術 成 就 ( 科 技 基 礎 研 究 ) 技 術 創 新 ( 科 技 整 合 創 新 ) 績 效 指 標 原 訂 值 初 級 產 出 量 化 值 效 益 說 明 A 論 文 N/A N/A N/A N/A B 研 究 團 隊 養 成 N/A N/A N/A N/A C 博 碩 士 培 育 N/A N/A N/A N/A D 研 究 報 告 N/A N/A N/A N/A E 辦 理 學 術 活 動 N/A N/A N/A N/A F 形 成 教 材 N/A N/A N/A N/A 其 他 完 成 產 學 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上, 培 訓 在 學 學 生 2 人 ( 含 ) 以 上 完 成 產 學 合 作 1 案, 共 培 育 在 學 學 生 3 人 促 成 產 學 研 合 作, 提 供 在 學 學 生 學 習 企 業 實 地 學 習 管 道 G 專 利 N/A N/A N/A N/A H 技 術 報 告 N/A N/A N/A N/A I 技 術 活 動 J 技 術 移 轉 S 技 術 服 務 預 計 辦 理 製 程 設 備 相 關 領 域 之 交 流 座 談 1 場 ( 含 ) 以 上 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上, 並 促 成 30 家 ( 含 ) 以 上 業 者 參 與 協 助 國 內 法 人 技 術 移 轉 2 案 ( 含 ) 以 上 1. 促 成 國 內 外 設 備 業 者 與 使 用 端 進 行 合 作 開 發 整 機 設 備 進 口 替 代 1 案 ( 含 ) 以 上 2. 促 成 國 內 使 用 端 與 國 內 業 者 開 發 耗 材 零 組 件 進 口 替 代 4 案 ( 含 ) 以 上 3. 協 助 新 增 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 完 成 1 場 3DIC 設 備 技 術 研 討 會 4 場 媒 合 商 談 會 71 家 廠 商 參 與 及 1 場 成 果 發 表 會 推 動 量 測 中 心 及 儀 科 中 心 技 轉 化 學 溶 液 瑕 疵 檢 測 技 術 及 高 精 度 石 英 光 學 積 分 器 技 術 予 國 內 廠 商 共 3 案 1. 促 成 日 商 WAIDA 與 台 廠 友 嘉 半 導 體 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 矽 品 公 司 所 需 之 晶 圓 植 球 機 取 代 進 口 共 1 案 2. 促 成 國 內 業 者 中 國 砂 輪 京 鼎 進 期 及 揚 朋 公 司 結 合 日 商 DISCO TAKAKI 技 術 在 台 製 造 使 用 端 所 需 之 耗 材 零 組 件 共 4 案 3. 媒 合 國 內 廠 商 漢 泰 透 過 研 討 會 商 談 會 及 成 果 發 表 會 之 舉 辦, 促 成 國 內 廠 商 獲 得 終 端 使 用 廠 如 Toshiba 台 積 電 及 聯 電 之 訂 單, 預 估 新 增 訂 單 產 值 約 新 台 幣 2 億 元 促 成 法 人 研 發 技 術 技 轉 廠 商, 應 用 於 設 備 開 發 1. 促 成 外 商 來 台 技 術 合 作, 提 升 國 內 廠 商 技 術 及 產 品 訂 單, 預 計 可 增 加 產 值 新 台 幣 約 2.5 億 元 2. 協 助 技 術 輔 導 國 內 廠 商 開 發 終 端 產 品 提 升 產 能, 預 計 可 增 加 設 備 產 值 10.8 億 元 促 成 廠 商 投 資 1.5 重 大 突 破 提 供 設 備 技 術 研 究 及 培 訓 在 學 學 生 提 早 熟 悉 職 場 協 助 國 內 設 備 及 零 組 件 廠 商 取 得 國 內 外 使 用 端 之 訂 單 N/A N/A 32

38 屬 性 經 濟 效 益 ( 產 業 經 濟 發 展 ) 績 效 指 標 原 訂 值 初 級 產 出 量 化 值 效 益 說 明 應 鏈 體 系 2 案 ( 含 ) 以 上 4. 建 構 半 導 體 關 鍵 性 模 組 製 造 技 術, 特 別 是 在 Wafer Packing 及 3D IC 等 製 程 設 備 領 域, 完 成 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 9 案 次 ( 含 ) 以 上 元 鐙 奈 晶 千 附 進 期 柏 夫 等 公 司 分 別 切 入 ASML 及 AMAT 共 2 案 外 商 之 零 組 件 供 應 鏈 4. 建 構 半 導 體 關 鍵 性 模 組 製 造 技 術, 特 別 是 在 Wafer Packing 及 3D IC 等 製 程 設 備 領 域, 完 成 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 10 案 次 億 元, 降 低 半 導 體 產 業 廠 商 成 本 4.8 億 元 其 他 N/A N/A N/A N/A L 促 成 廠 商 或 產 業 團 體 投 1. 增 加 產 值 10.8 億 元 資 2. 促 進 投 資 1.5 億 元 1. 預 估 增 加 產 值 2.7 億 元 ( 含 ) 以 上 2. 預 估 促 進 投 資 9 千 萬 元 ( 含 ) 以 上 協 助 廠 商 發 展 本 土 化 設 備 及 零 組 件, 廠 商 共 投 入 9,850 千 元 進 行 開 發 重 大 突 破 本 年 度 帶 動 漢 民 微 測 中 國 砂 輪 家 登 等 26 家 國 內 業 者 進 行 投 資, 總 投 資 金 額 達 37.3 億 元 M 創 新 產 業 或 模 式 建 立 N/A N/A N/A N/A N 協 助 提 升 我 國 產 業 全 球 地 位 或 產 業 競 爭 力 1. 協 助 聯 盟 廠 商 提 出 2 案 ( 含 ) 以 上 設 備 開 發 申 請 計 畫 2. 執 行 關 鍵 零 組 件 及 耗 材 技 術 輔 導 開 發 9 案 次 ( 含 ) 以 上 1. 完 成 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 及 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 2 項 SBIR 開 發 計 畫 申 請 2. 完 成 半 導 體 關 鍵 零 組 件 及 耗 材 技 術 輔 導 開 發 10 案 次 1. 辦 理 國 內 外 產 官 學 研 交 流, 推 動 異 業 整 合, 加 速 產 業 形 成 2. 推 動 半 導 體 前 段 設 備 自 製 率 達 10.8%, 後 段 製 程 設 備 自 製 率 達 41.2%, 耗 材 零 組 件 自 製 率 達 50.4% 建 立 具 技 術 自 主 能 力 的 半 導 體 設 備 產 業 降 低 國 內 半 導 體 產 業 營 運 成 本, 提 升 國 內 精 密 機 械 產 業 技 術 層 次, 以 造 就 產 業 整 體 發 展 優 勢 33

39 屬 性 重 大 績 效 指 標 原 訂 值 初 級 產 出 量 化 值 效 益 說 明 突 破 O 共 通 / 檢 測 技 術 服 務 N/A N/A N/A N/A T 促 成 與 學 界 或 產 業 團 體 合 作 研 究 促 成 聯 盟 廠 商 與 學 研 技 術 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上 完 成 聯 盟 廠 商 與 台 大 光 電 工 程 研 究 進 行 全 光 通 量 測 技 術 研 究 交 大 機 械 系 進 行 光 阻 塗 佈 模 擬 研 究 學 研 技 術 合 作 共 2 案 協 助 廠 商 取 得 學 研 技 術 量 能 開 發 半 導 體 設 備, 提 升 自 主 技 術 U 促 成 智 財 權 資 金 融 通 N/A N/A N/A N/A 其 他 N/A N/A N/A N/A P 創 業 育 成 N/A N/A N/A N/A N/A 社 會 影 響 非 研 究 類 成 就 非 研 究 類 成 就 民 生 社 會 發 展 環 境 安 全 永 續 人 才 培 育 法 規 制 度 Q 資 訊 服 務 N/A N/A N/A N/A R 增 加 就 業 本 計 畫 增 加 之 就 業 人 口 在 設 備 及 模 組 部 分 預 估 可 每 年 增 加 72 人 ( 含 ) 以 上 就 業 機 會 預 估 期 末 可 增 加 國 內 就 業 人 口 達 88 人 此 計 畫 可 帶 動 半 導 體 設 備 產 業 蓬 勃 發 展, 增 加 產 業 之 就 業 機 會, 並 培 育 研 發 及 設 計 人 才 W 提 升 公 共 服 務 N/A N/A N/A N/A X 提 高 人 民 或 業 者 N/A N/A N/A N/A 收 入 其 他 N/A N/A N/A N/A O 共 通 / 檢 測 技 術 服 N/A N/A N/A N/A 務 V 提 高 能 源 利 用 率 N/A N/A N/A N/A Z 調 查 成 果 N/A N/A N/A N/A 其 他 N/A N/A N/A N/A 1. 學 程 教 材 設 計, N/A N/A N/A N/A 知 識 平 台 建 立 2. 培 育 人 才 情 形, 含 N/A N/A N/A N/A 人 數 及 內 容 3. 研 討 會 ( 學 術 活 動 ) N/A N/A N/A N/A 4. 人 才 出 路 ( 就 業 去 N/A N/A N/A N/A 向 ) 5. 證 照 及 競 賽 獲 獎 N/A N/A N/A N/A 6. 其 他 N/A N/A N/A N/A 7. 先 進 國 制 度 蒐 集 及 N/A N/A N/A N/A 研 析 8. 法 規 制 度 訂 定, 模 N/A N/A N/A N/A 式 或 資 料 庫 建 構 等 9. 法 規 草 案 確 定 N/A N/A N/A N/A 10. 主 管 部 會 之 認 可 或 通 過 N/A N/A N/A N/A N/A 34

40 屬 性 績 效 指 標 原 訂 值 初 級 產 出 量 化 值 效 益 說 明 重 大 突 破 11. 法 規 被 採 用 或 參 N/A N/A N/A N/A 考 情 形 12. 其 他 N/A N/A N/A N/A 國 際 合 作 13. 人 員 互 動 N/A N/A N/A N/A 14. 學 術 活 動 互 動 ( 研 N/A N/A N/A N/A 討 會 專 題 討 論 等 ) 15. 計 畫 合 作 研 究 N/A N/A N/A N/A 16. 簽 訂 協 議 N/A N/A N/A N/A 17. 合 作 智 財 申 請 N/A N/A N/A N/A 其 他 效 益 ( 科 技 政 策 管 理 及 其 它 ) 推 動 輔 導 18. 其 他 N/A N/A N/A N/A 19. 輔 導 / 推 廣 目 標 達 N/A N/A N/A N/A 成 率 20. 輔 導 / 推 廣 對 象 滿 N/A N/A N/A N/A 意 度 21. 輔 導 / 推 廣 對 象 相 N/A N/A N/A N/A 對 投 入 22. 其 他 N/A N/A N/A N/A K 規 範 / 標 準 制 訂 N/A N/A N/A N/A Y 資 料 庫 1. 建 立 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 之 零 組 件 使 用 規 範 10 筆 ( 含 ) 以 上 2. 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 產 業 資 訊 及 廠 商 名 錄 各 1 份 1. 完 成 終 端 廠 製 程 設 備 之 耗 材 零 組 件 使 用 規 範 資 料 共 10 筆 2. 完 成 Y102 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 報 告 及 廠 商 名 錄 各 1 份 提 供 模 組 及 零 組 件 廠 商 生 產 品 質 資 訊 參 考, 媒 合 具 備 技 術 能 力 廠 商 進 入 設 備 供 應 鏈 體 系 XY 性 別 平 等 促 進 N/A N/A N/A N/A AA 決 策 依 據 N/A N/A N/A N/A 其 他 N/A N/A N/A N/A 成 立 國 內 半 導 體 設 備 模 組 及 耗 材 零 組 件 規 範 資 料 庫 35

41 六 主 要 成 就 及 成 果 之 價 值 與 貢 獻 度 (outcome) ( 一 ) 學 術 成 就 ( 科 技 基 礎 研 究 ) ( 權 重 10%) 計 畫 結 合 法 人 單 位 及 學 術 研 究 單 位 協 助 業 界 廠 商 進 行 技 術 輔 導, 更 建 立 產 學 研 共 同 研 發 機 制, 加 深 研 究 範 疇 本 年 度 執 行 1 案 產 學 合 作 案, 解 決 產 業 技 術 問 題, 俾 能 契 合 業 界 需 求, 並 發 表 研 究 成 果 於 研 討 會 及 期 刊 論 文 共 5 篇, 提 供 國 內 廠 商 參 考 發 表 性 質 刊 物 題 目 期 刊 Applied Mechanics and Materials Vol. 440 (2014) pp Structural state and mechanical characteristics of the ZrN films 研 討 會 研 討 會 研 討 會 研 討 會 International Conference on Mechanical Structures and Smart Materials (ICMSSM2013), November.16-17,2013, Xiamen,China 中 國 材 料 科 學 學 會 2013 年 年 會, 於 中 央 大 學 ( ) 中 國 材 料 科 學 學 會 2013 年 年 會, 於 中 央 大 學 ( ) International Conference on Advanced Materials & SportsEquipment Design (AMSED September 21-23, 2013, Singapore) prepared by sputtering Tribological properties of the ZrN coatings by DC Magnetron Sputtering 多 層 氮 化 鉻 / 氮 化 矽 薄 膜 之 機 械 性 能 分 析 RF 反 磁 控 濺 鍍 奈 米 多 層 薄 膜 沈 積 於 模 具 鋼 之 機 械 性 能 研 究 Structural state and mechanical characteristics of the ZrN films prepared by sputtering ( 二 ) 技 術 創 新 ( 科 技 整 合 創 新 ) ( 權 重 50%) 本 年 度 完 成 1 場 技 術 研 討 會 共 94 人 次 參 與 及 1 場 成 果 發 表 會 參 觀 人 次 達 1 萬 餘 人, 成 功 媒 合 漢 鍾 臺 禹 崇 文 科 技 等 公 司 產 品 予 終 端 使 用 者, 推 動 國 內 設 備 及 零 組 件 自 製 率 提 升 本 年 度 完 成 4 場 媒 合 商 談 會, 成 功 推 動 2 家 國 內 業 者 產 品 進 入 日 商 Toshiba 供 應 鏈 體 系, 其 中 建 O 科 技 已 獲 得 Toshiba 之 蝕 刻 離 子 植 入 製 程 零 組 件 訂 單 ; 祐 O 科 技 獲 得 奈 米 探 針 零 36

42 組 件 訂 單, 預 計 可 增 加 國 內 產 值 新 台 幣 6 千 5 百 萬 另 媒 合 沛 O(CMP Membrane) 智 O(CMP Membrane) 台 O( 電 漿 尾 氣 處 理 器 ) 富 O 登 (RF Generator) 瑞 O(Shower Head) 聯 O( 晶 圓 傳 送 Robot) 海 O( 奈 米 探 針 ) 等 耗 材 零 組 件 產 品 進 入 台 積 電 進 行 品 質 測 試 ; 媒 合 煒 O 科 技 ( 粉 塵 檢 測 儀 ) 均 O 精 密 (D2W Bonding 機 ) 獲 得 台 積 電 採 購 訂 單 預 估 經 本 計 畫 媒 合 提 升 台 積 電 本 土 採 購 金 額 約 新 台 幣 2 億 元 本 年 度 推 動 國 外 設 備 廠 WAIDA DISCO 及 TAKAKI 與 國 內 廠 商 中 國 砂 輪 京 鼎 進 期 及 揚 朋 等 公 司 技 術 合 作 開 發 使 用 端 台 積 電 日 月 光 及 矽 品 所 需 之 整 機 設 備 及 零 組 件, 預 計 可 增 加 國 內 產 值 約 新 台 幣 2.3 億 元, 增 加 就 業 人 數 55 人 本 年 度 協 助 媒 合 2 案 次 國 內 廠 商 切 入 外 商 AMAT( 美 商 應 材 ) 及 ASML( 荷 商 愛 斯 摩 爾 ) 之 供 應 鏈 由 計 畫 協 助 取 得 外 商 相 關 產 品 功 能 規 格, 快 速 媒 合 國 內 潛 在 製 造 廠 商 漢 泰 元 鐙 奈 晶 千 附 進 期 駐 龍 及 柏 夫 切 入 其 供 應 鏈 體 系, 藉 此 提 升 國 內 設 備 製 造 廠 商 與 零 組 件 之 鏈 結, 以 利 建 置 國 內 完 整 設 備 供 應 鏈 本 年 度 完 成 10 案 半 導 體 製 程 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 開 發 案, 透 過 技 術 輔 導 計 畫 之 執 行, 搭 配 國 內 終 端 廠 商 及 設 備 外 商 之 耗 材 零 組 件 開 發 需 求, 輔 導 及 培 植 耗 材 零 組 件 基 礎 製 造 技 術, 並 提 供 本 土 化 產 品 予 終 端 使 用 者 進 行 品 質 驗 證 測 試, 降 低 使 用 成 本, 帶 動 國 內 產 業 效 益 本 年 度 推 動 國 內 半 導 體 設 備 自 製 率 提 升 至 17.3%( 前 段 自 製 率 :10.8%; 後 段 自 製 率 :41.2%), 產 值 達 新 台 幣 530 億 元 耗 材 零 組 件 自 製 率 提 升 至 至 50.4%, 產 值 達 新 台 幣 445 億 元 ( 三 ) 經 濟 效 益 ( 產 業 經 濟 發 展 ) ( 權 重 20%) 協 助 國 內 半 導 體 產 業 設 備 推 動 本 土 化, 直 接 增 加 半 導 體 產 業 產 值 新 台 幣 10.6 億 元 直 接 促 成 廠 商 投 資 新 台 幣 1.5 億 元 直 接 降 低 成 本 新 台 幣 4.8 億 元, 並 帶 動 國 內 半 導 體 設 備 產 業 計 26 家 進 行 研 發 擴 產 增 資 土 地 購 置 等 投 資 計 畫, 總 計 投 資 金 額 達 新 台 幣 37.3 億 37

43 ( 四 ) 社 會 影 響 ( 民 生 社 會 發 展 環 境 安 全 永 續 ) ( 權 重 10%) 協 助 半 導 體 設 備 及 零 組 件 廠 商 產 能 提 升 及 廠 房 產 線 投 資 等 方 式, 本 年 度 提 供 88 人 次 就 業 機 會 帶 動 半 導 體 設 備 產 業 發 展, 增 加 產 業 之 就 業 機 會, 培 育 國 內 設 備 產 業 研 發 及 設 計 人 才 ( 五 ) 非 研 究 類 成 就 ( 人 才 培 育 法 規 制 度 國 際 合 作 推 動 輔 導 )( 權 重 0%) 本 案 本 項 無 ( 六 ) 其 它 效 益 ( 科 技 政 策 管 理 及 其 它 ) ( 權 重 10%) 計 畫 執 行 期 間 共 計 完 成 使 用 端 設 備 耗 材 零 組 件 品 質 規 範 共 10 案 透 過 終 端 廠 商 釋 出 耗 材 零 組 件 需 求 時, 逐 步 建 立 國 內 半 導 體 耗 材 零 組 件 廠 商 及 使 用 品 質 規 範 資 料, 協 助 國 內 開 發 廠 商 製 造 參 考 及 進 行 品 質 控 管 本 年 度 完 成 1 份 產 業 調 查 報 告, 提 供 計 畫 執 行 策 略 方 向 參 考, 並 完 成 半 導 體 設 備 本 土 化 資 訊 交 流 平 台 規 劃, 提 供 廠 商 技 術 輔 導 產 品 資 訊 及 供 需 媒 合 38

44 七 後 續 工 作 構 想 之 重 點 ( 含 依 政 策 執 行 之 調 整 作 法 及 資 源 配 置 等 構 想 ) 計 畫 目 標 : 強 化 耗 材 本 土 化 供 應 推 動 聯 盟 開 發 整 機 建 立 零 組 件 驗 證 平 台 103 年 改 變 方 向 及 具 體 作 法 一 建 立 光 電 及 半 導 體 設 備 本 土 供 應 鏈 體 系 : 提 供 在 地 化 供 應 服 務, 媒 合 國 內 廠 商 切 入 國 內 外 半 導 體 製 程 設 備 廠 商 之 供 應 鏈 體 系 二 辦 理 海 外 商 談 媒 合 會 : 與 國 內 設 備 與 零 組 件 材 料 等 協 會 合 作, 共 同 辦 理 海 外 市 場 商 談 媒 合 會, 邀 請 國 內 外 各 大 廠 商 共 同 與 會, 推 動 國 內 廠 商 進 入 國 際 市 場 三 建 立 半 導 體 零 組 件 驗 證 平 台 推 動 建 立 終 端 廠 耗 材 零 組 件 品 質 驗 證 平 台, 提 供 快 速 切 入 終 端 廠 上 線 驗 證 之 管 道 項 目 103 年 目 標 配 合 產 業 結 構 優 化 政 策 ( 產 業 一 條 龍 ) 經 費 配 置 金 額 ( 比 例 ) 產 出 (KPI) ( 含 各 年 度 指 標 方 向 調 整 構 想 ) 1 協 助 推 動 半 導 體 設 備 自 製 率 由 102 年 17% 提 升 至 103 年 19% 以 上 2 協 助 推 動 半 導 體 3DIC 設 備 自 製 率 提 升 至 103 年 20% 以 上 3 協 助 推 動 半 導 體 設 備 之 耗 材 零 組 件 自 製 率 由 102 年 50% 提 升 至 103 年 55% 以 上 81,772 千 元 (90%) 1 協 助 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 應 鏈 體 系 5 案 ( 含 ) 以 上 2 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 廠 商 產 業 資 訊 1 份 ( 含 ) 以 上 3 完 成 設 備 技 術 應 用 研 究 4 案 ( 含 ) 以 上 4 完 成 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 2 場 ( 含 ) 以 上 及 安 排 半 導 體 設 備 與 零 組 件 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 計 畫 審 查 會 1 場 ( 含 ) 以 上 5 完 成 輔 導 半 導 體 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 開 發 案 15 案 ( 含 ) 以 上 6 推 動 國 內 外 設 備 技 術 合 作 5 案 ( 含 ) 以 上 7 辦 理 海 外 技 術 交 流 2 場 ( 含 ) 以 上 8 籌 組 3DIC 設 備 研 發 聯 盟 5 個 ( 含 ) 以 上 9 提 供 零 組 件 檢 測 驗 證 服 務 10 案 ( 含 ) 以 上 10 建 置 半 導 體 檢 測 標 準 程 序 10 項 以 上 39

45 八 檢 討 與 展 望 半 導 體 終 端 產 品 更 新 週 期 快 速, 帶 動 製 程 發 展 腳 步 加 快, 設 備 產 業 面 臨 快 速 對 應 及 服 務 多 工 之 經 營 模 式, 國 內 半 導 體 設 備 業 者 為 因 應 產 業 環 境 變 化, 積 極 調 整 供 應 鏈 結 構, 強 化 終 端 廠 商 服 務 及 整 合 技 術 量 能, 開 發 整 機 設 備, 若 能 持 續 協 助 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 朝 向 製 造 業 服 務 化 之 方 向 發 展, 貼 近 客 戶 滿 足 需 求, 提 升 國 產 設 備 供 應 比 例, 可 為 產 業 創 造 雙 贏 局 面 彙 整 國 內 終 端 廠 商 及 設 備 廠 商 之 開 發 建 議, 未 來 推 動 重 點 如 下 : 1. 建 立 零 組 件 品 質 檢 測 驗 證 平 台 : 建 立 終 端 廠 或 外 商 設 備 所 需 之 模 組 或 零 組 件 使 用 規 格 資 訊, 除 提 供 國 內 廠 商 開 發 參 考, 並 可 建 置 線 外 檢 測 驗 證 實 驗 室, 協 助 國 內 廠 商 產 品 進 行 品 質 驗 證 2. 透 過 政 府 協 助 國 內 廠 商 快 速 切 入 3DIC 製 程 設 備 : 以 終 端 廠 需 求 為 主, 整 合 國 內 設 備 廠 及 零 組 件 廠, 並 投 入 政 府 資 源 輔 導 以 降 低 開 發 風 險, 協 助 國 內 廠 商 快 速 開 發 3DIC 設 備 或 模 組 計 畫 目 標 : 推 動 半 導 體 設 備 本 土 化, 打 造 產 業 一 條 龍 104 年 規 劃 內 容 1. 推 動 國 際 技 術 合 作, 提 升 設 備 技 術 : 以 三 方 合 作 模 式 協 助 國 內 廠 商 轉 型, 引 進 國 外 技 術 合 作 並 拓 展 國 際 交 流, 升 級 國 內 廠 商 技 術 開 發 高 階 零 組 件 2. 建 立 零 組 件 品 質 檢 測 驗 證 平 台 : 建 立 終 端 廠 或 外 商 設 備 所 需 之 模 組 或 零 組 件 使 用 規 格 資 訊, 除 提 供 國 內 廠 商 開 發 參 考, 並 可 建 置 線 外 檢 測 驗 證 實 驗 室, 協 助 國 內 廠 商 產 品 進 行 品 質 驗 證 3. 透 過 政 府 協 助 國 內 廠 商 快 速 切 入 3DIC 製 程 設 備 : 以 終 端 廠 需 求 為 主, 整 合 國 內 設 備 廠 及 零 組 件 廠, 並 投 入 政 府 資 源 輔 導 以 降 低 開 發 風 險, 協 助 國 內 廠 商 快 速 開 發 3DIC 設 備 或 模 組 40

46 項 目 104 年 目 標 配 合 產 業 結 構 優 化 政 策 ( 產 業 一 條 龍 ) 經 費 配 置 金 額 ( 比 例 ) 產 出 (KPI) ( 含 各 年 度 指 標 方 向 調 整 構 想 ) 1 協 助 推 動 半 導 體 設 備 自 製 率 由 103 年 19% 提 升 至 104 年 21% 以 上 2 協 助 推 動 半 導 體 3DIC 設 備 自 製 率 提 升 至 104 年 30% 以 上 3 協 助 推 動 半 導 體 設 備 之 耗 材 零 組 件 自 製 率 由 103 年 55% 提 升 至 104 年 60% 以 上 85,000 千 元 (90%) 1 協 助 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 應 鏈 體 系 5 案 ( 含 ) 以 上 2 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 廠 商 產 業 資 訊 1 份 ( 含 ) 以 上 3 完 成 設 備 技 術 應 用 研 究 4 案 ( 含 ) 以 上 4 完 成 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 2 場 ( 含 ) 以 上 及 安 排 半 導 體 設 備 與 零 組 件 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 計 畫 審 查 會 1 場 ( 含 ) 以 上 5 完 成 輔 導 半 導 體 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 開 發 案 15 案 ( 含 ) 以 上 6 推 動 國 內 外 設 備 技 術 合 作 5 案 ( 含 ) 以 上 7 辦 理 海 外 技 術 交 流 2 場 ( 含 ) 以 上 8 籌 組 3DIC 設 備 研 發 聯 盟 5 個 ( 含 ) 以 上 9 提 供 零 組 件 檢 測 驗 證 服 務 10 案 ( 含 ) 以 上 10 建 置 半 導 體 檢 測 標 準 程 序 10 項 以 上 41

47 九 附 錄 ( 一 ) 委 員 審 查 意 見 回 復 會 議 名 稱 委 員 意 見 計 畫 回 復 期 中 檢 討 會 議 1. 本 計 畫 查 核 點 要 項 及 經 費 動 支 均 符 合 計 畫 執 行 進 度 2. 推 動 國 內 終 端 使 用 者 國 外 設 備 商 與 國 內 設 備 廠 商 進 行 三 方 合 作 時, 須 一 併 考 量 國 內 設 備 廠 投 入 意 願 及 技 術 量 能 設 備 零 組 件 本 土 化 比 重 提 升 國 內 精 密 機 械 技 術 深 度 等 層 面, 以 結 合 本 計 畫 推 動 目 的 3. 關 於 計 畫 執 行 成 效 應 條 列 式 明 確 陳 述, 並 加 強 質 化 效 益 4. 推 動 設 備 研 發 聯 盟 部 份, 應 與 提 升 設 備 暨 零 組 件 自 製 率 之 計 畫 目 的 連 結 1. 謝 謝 委 員 意 見 2. 謝 謝 委 員 意 見, 計 畫 於 推 動 三 方 合 作 工 作 時 除 促 成 國 內 外 廠 商 進 行 技 術 合 作, 同 時 搭 配 國 內 使 用 端 之 設 備 及 零 組 件 需 求 開 發, 藉 以 達 成 本 計 畫 推 動 目 標 3. 謝 謝 委 員 意 見 4. 謝 謝 委 員 意 見, 聯 盟 執 行 已 協 助 業 界 開 發 出 晶 粒 底 部 填 膠 設 備 枚 葉 式 真 空 濺 鍍 設 備 及 雙 主 軸 晶 圓 切 割 設 備 等 多 項 設 備 並 於 簡 報 中 說 明, 請 委 員 參 考 5. 在 技 術 輔 導 廠 商 部 份, 除 搭 配 本 部 主 導 性 計 畫 科 專 計 畫 等 補 助 資 源 外, 建 議 可 協 助 廠 商 申 請 國 科 會 相 關 補 助 計 畫, 以 提 升 計 畫 成 果 綜 效 6. 有 關 計 畫 目 標 之 前 段 製 程 設 備 後 段 封 測 設 備 與 耗 材 零 組 件 之 自 製 率, 建 議 補 充 說 明 提 升 前 後 之 計 算 基 準 5. 謝 謝 委 員 意 見, 已 遵 照 辦 理, 本 年 度 並 協 助 廠 商 申 請 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 及 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 等 2 案 次 SBIR 計 畫 6. 謝 謝 委 員 意 見, 已 補 充 自 製 率 提 升 前 後 之 說 明 於 產 業 效 益 說 明 中, 請 委 員 參 考 42

48 ( 二 ) 出 國 報 告 目 錄 本 案 本 項 無 ( 三 ) 分 包 資 訊 分 包 項 目 名 稱 輔 導 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 開 發 輔 導 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 開 發 分 包 情 形 已 分 包 : 已 於 第 2 季 完 成 核 備 作 業 併 同 本 次 季 報 辦 理 核 備 作 業 將 於 下 季 完 成 核 備 作 業 無 需 核 備 尚 未 分 包 不 分 包 其 他 已 分 包 : 已 於 第 2 季 完 成 核 備 作 業 併 同 本 次 季 報 辦 理 核 備 作 業 將 於 下 季 完 成 核 備 作 業 無 需 核 備 尚 未 分 包 不 分 包 其 他 分 包 單 位 工 研 院 機 械 所 精 密 機 械 研 發 中 心 計 畫 書 編 列 金 額 ( 千 元 ) 政 府 經 費 分 包 計 畫 簽 約 金 額 ( 千 元 ) 自 籌 款 合 計 ( 含 稅 ) 合 計 ( 未 稅 ) 11,642 8,202 3,440 11,642 11,087 2,753 1, ,753 2,621 合 計 14,395 10,170 4,225 14,395 13,709 備 註 43

49 附 件 四. 產 學 合 作 同 意 書 中 華 民 國 年 2 月 2 1 日 44

50 ( 一 ) 計 附 件 五. 廠 商 基 本 資 料 表 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 3D IC 蝕 刻 電 漿 源 模 組 研 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I01001 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 工 業 技 術 研 究 院 機 械 與 系 統 研 究 所 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 梁 沐 旺 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 崇 文 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 林 維 倫 4. 地 址 新 竹 縣 湖 口 鄉 仁 政 路 5 號 5. 連 絡 人 姓 名 胡 正 中 電 話 #500 傳 真 cc-hu@cello-tech.com 6. 資 本 額 2,450.0 萬 元 7. 員 工 數 38 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 3DIC 蝕 刻 電 漿 源 模 組 研 3. 輔 導 內 容 : 電 漿 多 重 物 理 場 數 值 模 擬 分 析 ( 電 磁 場 流 場 ) 電 漿 源 螺 旋 線 圈 電 極 設 計 與 製 作 偏 壓 電 極 設 計 電 漿 特 4. 輔 導 方 式 : 共 同 合 作 開 發 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 性 量 測 與 改 善 等 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 7.85 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 7.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 7,500.0 千 元 13. 增 加 產 值 17,500.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 15,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 4 人 效 17. 其 他 : 45

51 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I01002 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 工 業 技 術 研 究 院 機 械 與 系 統 研 究 所 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 張 家 豪 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 新 鶴 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 彭 朋 益 4. 地 址 新 竹 市 牛 埔 南 路 376 巷 10 號 5. 連 絡 人 姓 名 蘇 榮 俊 電 話 傳 真 johnsu520@gmail.com 6. 資 本 額 2,600.0 萬 元 7. 員 工 數 22 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發 輔 導 協 助 並 完 成 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發, 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 4. 輔 導 方 式 : 提 供 模 組 設 計 模 擬 分 析 模 組 製 作 及 驗 證 測 試 等, 以 加 速 完 成 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發 並 協 助 建 立 分 析 模 擬 技 術 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 7.15 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 1, 千 元 力 10. 廠 商 (D) 4.50 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 12,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 18,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 20,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 4 人 效 17. 其 他 : 46

52 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 晶 圓 陶 瓷 靜 電 承 載 盤 開 發 計 畫 畫 基 2. 契 約 編 號 102I01003 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 工 業 技 術 研 究 院 機 械 與 系 統 研 究 所 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 丁 嘉 仁 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 凱 樂 士 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 林 博 文 4. 地 址 桃 園 縣 楊 梅 市 高 青 路 22 巷 20 號 5. 連 絡 人 姓 名 林 博 文 電 話 傳 真 Alex.lin@kallex.com.tw 6. 資 本 額 5,952.0 萬 元 7. 員 工 數 30 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 針 對 晶 圓 SiC 承 載 盤 進 行 開 發 開 發 SiC 硬 脆 材 料 加 工 技 術 及 SiC 承 載 盤 製 作 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 4. 輔 導 方 式 : 利 用 所 開 發 之 承 載 盤, 實 際 測 試 ; 待 確 認 模 組 效 果 後, 再 進 行 技 術 移 轉 及 產 品 生 產 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 2, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 7.80 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 1.50 人 月 8. 合 計 (A+B) 3, 千 元 11. 合 計 (C+D) 9.30 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 50,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 50,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 5,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 4 人 效 17. 其 他 : 47

53 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 3D IC 超 薄 晶 片 之 快 速 分 離 取 放 模 組 技 術 畫 基 2. 契 約 編 號 102I01004 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 工 業 技 術 研 究 院 機 械 與 系 統 研 究 所 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 陳 孟 群 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 葉 勝 發 4. 地 址 236 新 北 市 土 城 區 民 生 街 2 之 1 號 5. 連 絡 人 姓 名 石 敦 智 電 話 傳 真 stone@gpmcorp.com.tw 6. 資 本 額 24,572.0 萬 元 7. 員 工 數 400 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 4. 輔 導 方 式 : 3D IC 超 薄 晶 片 之 快 速 分 離 取 放 晶 片 分 離 機 構 wafer stage 協 助 申 請 政 府 經 費 補 助, 與 業 者 合 作 共 同 模 組 技 術 開 發 模 組 視 覺 對 位 模 組 藍 膜 開 發 擴 張 模 組 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 7.30 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 4.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 4,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 40,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 5,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 5 人 效 17. 其 他 : 使 產 能 UPH 提 昇 30% 48

54 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 CoW molding system 之 膠 體 隔 離 模 組 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I02001 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 精 密 機 械 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 顏 榮 俊 電 話 #634 傳 真 廠 商 名 稱 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 葉 勝 發 4. 地 址 236 新 北 市 土 城 區 民 生 街 2 之 1 號 5. 連 絡 人 姓 名 賴 宏 能 電 話 傳 真 hogarth@gpmcorp.com.tw 6. 資 本 額 24,572.0 萬 元 7. 員 工 數 400 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 模 組 設 計 開 發 3. 輔 導 內 容 : 膠 體 隔 離 模 組 開 發 4. 輔 導 方 式 : 協 助 廠 商 進 行 新 產 品 之 開 發 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 3.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 7,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 18,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 4 人 效 17. 其 他 : 49

55 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 高 精 度 真 空 晶 圓 傳 送 機 械 手 臂 設 備 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03001 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 孫 嘉 鴻 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 聯 毅 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 林 仲 章 4. 地 址 新 竹 縣 竹 北 市 博 愛 街 號 5. 連 絡 人 姓 名 陳 英 明 電 話 #211 傳 真 Peter.chen@jebt.com.tw 6. 資 本 額 4,000.0 萬 元 7. 員 工 數 50 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 高 精 度 真 空 晶 圓 傳 送 機 械 手 臂 設 備 開 發 3. 輔 導 內 容 : 開 發 自 行 設 計 製 造 的 高 精 度 真 空 晶 圓 手 臂 4. 輔 導 方 式 : 技 術 協 助 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 5.00 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 1, 千 元 力 10. 廠 商 (D) 6.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 3, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 16,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 24,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 10,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 3 人 效 17. 其 他 : 50

56 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 IC Design House 專 用 之 高 低 溫 度 測 試 系 統 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03002 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 蔡 政 哲 電 話 #2652 傳 真 廠 商 名 稱 穎 崴 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 王 嘉 煌 4. 地 址 高 雄 市 鼓 山 區 明 華 路 315 號 2F 5. 連 絡 人 姓 名 孫 家 彬 電 話 #221 傳 真 Collins_sun@winway.com.tw 6. 資 本 額 16,390.0 萬 元 7. 員 工 數 140 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : IC Design House 專 用 之 高 低 溫 度 測 試 系 統 自 動 化 技 術 指 導 系 統 整 合 技 術 指 導 移 轉 等 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 4. 輔 導 方 式 : 協 助 申 請 政 府 補 助, 合 作 開 發 及 設 備 技 術 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 1, 千 元 力 10. 廠 商 (D) 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 50,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 75,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 50,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 2 人 效 17. 其 他 : 51

57 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 永 磁 電 機 驅 動 魯 氏 真 空 泵 浦 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03003 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 鍾 逸 駿 電 話 #312 傳 真 廠 商 名 稱 漢 鐘 精 機 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 廖 哲 男 4. 地 址 桃 園 縣 觀 音 鄉 觀 音 工 業 區 工 業 三 路 5 號 5. 連 絡 人 姓 名 方 宏 聲 電 話 #2005 傳 真 hsfang@hanbell.com 6. 資 本 額 81,400.0 萬 元 7. 員 工 數 272 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 永 磁 電 機 驅 動 魯 氏 真 空 泵 浦 開 發 計 畫 永 磁 式 魯 式 真 空 泵 浦 設 計 測 試 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 4. 輔 導 方 式 : 協 助 申 請 政 府 補 助, 合 作 開 發 及 技 術 移 轉 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 2, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 5.50 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 1, 千 元 力 10. 廠 商 (D) 4.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 3, 千 元 11. 合 計 (C+D) 9.50 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 100,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 300,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 20,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 60 人 效 17. 其 他 :(1) 取 代 進 口 (2) 建 立 國 內 真 空 泵 浦 設 計 能 力 52

58 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 電 漿 式 尾 氣 處 理 系 統 之 反 應 腔 體 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03004 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 吳 乾 榮 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 臺 禹 科 機 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 吳 宗 學 4. 地 址 嘉 義 縣 民 雄 鄉 北 斗 村 26 鄰 29 號 5. 連 絡 人 姓 名 吳 康 碩 電 話 傳 真 console@mail.ipi-tbc.com.tw 6. 資 本 額 15,000.0 萬 元 7. 員 工 數 90 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 電 漿 式 尾 氣 處 理 系 統 之 反 應 腔 體 開 發 反 應 腔 體 設 計 與 開 發 成 品 試 驗 檢 測 分 析 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 4. 輔 導 方 式 : 產 品 應 用 技 術 開 發 及 技 術 移 轉 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 2, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 5.50 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 5.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 3, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 80,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 120,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 20,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 1 人 效 17. 其 他 : 53

59 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 射 頻 功 率 產 生 器 模 組 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03005 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 翁 敏 航 電 話 #306 傳 真 廠 商 名 稱 富 蘭 登 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 莊 寬 福 4. 地 址 新 竹 市 水 源 街 73 號 5. 連 絡 人 姓 名 李 美 芳 電 話 #138 傳 真 iris.lee@farcorp.com.tw 6. 資 本 額 26,118.6 萬 元 7. 員 工 數 125 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 射 頻 功 率 產 生 器 模 組 開 發 3. 輔 導 內 容 : 1.0 kw MHz 射 頻 功 4. 輔 導 方 式 : 產 品 應 用 技 術 開 發 及 技 術 移 轉 率 產 生 器 開 發 技 術 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 2, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 2.00 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 6.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 8.00 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 160,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 400,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 10,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 1 人 效 17. 其 他 : 54

60 附 件 六. 產 業 調 查 報 告 一 全 球 半 導 體 產 業 現 況 壹 半 導 體 產 業 發 展 現 況 國 際 半 導 體 設 備 材 料 協 會 (SEMI) 公 佈 7 月 份 北 美 半 導 體 設 備 製 造 商 接 單 出 貨 比 (Book-to-Bill ratio) 初 估 為 表 示 當 月 每 出 貨 100 美 元 的 產 品 就 能 接 獲 價 值 100 美 元 的 新 訂 單 SEMI 數 據 顯 示,7 月 全 球 訂 單 的 3 個 月 移 動 平 均 金 額 初 估 為 12.7 億 美 元, 和 前 月 修 正 值 的 13.3 億 美 元 相 較 減 少 4.6%; 和 去 年 同 期 12.3 億 美 元 相 比, 則 增 加 3.1% 2013 年 9 月 份 北 美 半 導 體 設 備 製 造 商 平 均 訂 單 金 額 為 億 美 元, B/B 值 (Book-to-Bill Ratio, 訂 單 出 貨 比 ) 為 0.97, 代 表 半 導 體 設 備 業 者 當 月 份 出 貨 100 美 元, 接 獲 97 美 元 的 訂 單 北 美 半 導 體 設 備 廠 商 2013 年 9 月 份 全 球 接 獲 訂 單 預 估 金 額 為 億 美 元, 較 8 月 修 正 後 的 10.6 億 美 元 減 少 8.3%, 和 去 年 同 期 的 億 美 元 相 比 則 高 出 6.8 % 而 在 出 貨 表 現 部 分,2013 年 9 月 份 的 出 貨 金 額 為 10.1 億 美 元, 較 8 月 份 最 終 的 10.8 億 美 元 減 少 7.1 %, 較 去 年 同 期 11.6 億 美 元 下 降 13.6% 隨 著 蘋 果 20 奈 米 A7 系 列 應 用 處 理 器 開 始 在 台 積 電 放 量 投 片, 加 上 未 來 可 望 增 加 資 本 支 出, 激 勵 7 檔 包 含 電 子 束 檢 測 設 備 廠 漢 微 科 光 罩 及 晶 圓 傳 送 盒 廠 家 登 鑽 石 碟 及 再 生 晶 圓 廠 中 砂 材 料 及 可 靠 性 檢 測 廠 閎 康 等 半 導 體 設 備 核 心 受 惠 廠 商 業 績 將 全 員 動 起 來 台 積 電 先 進 製 程 擴 產 腳 步 毫 不 遲 疑, 為 趕 上 2014 年 首 季 量 產 進 度,2013 年 第 4 季 對 20 奈 米 製 程 機 台 需 求 更 勝 前 3 季, 相 關 設 備 廠 接 單 更 旺, 甚 至 已 55

61 開 始 出 貨 16 奈 米 高 介 電 常 數 金 屬 閘 極 (HKMG) 製 程 用 機 台 國 內 設 備 廠 商 漢 微 科 辛 耘 等 業 者 受 惠 大 客 戶 需 求, 下 半 年 業 績 樂 觀 以 對 在 晶 圓 代 工 龍 頭 台 積 電 的 領 軍 下, 預 估 台 灣 2013 年 的 半 導 體 設 備 和 材 料 投 資 金 額 再 次 領 先 全 球, 分 別 達 到 億 美 元 和 億 美 元, 再 度 蟬 聯 全 球 最 重 要 的 半 導 體 市 場 台 灣 晶 圓 代 工 大 廠 台 積 電 為 了 滿 足 智 慧 型 手 機 平 板 電 腦 客 戶 需 求, 在 日 本 展 開 大 規 模 的 設 備 採 購 行 動, 進 而 推 升 當 地 半 導 體 設 備 業 者 的 銷 售 額 日 本 半 導 體 製 造 裝 置 協 會 (SEAJ) 預 估, 今 年 度 ( 截 至 2014 年 3 月 底 為 止 ) 日 本 半 導 體 設 備 銷 售 額 有 望 年 增 10.2% 至 1.1 兆 日 圓, 其 中 有 大 多 數 營 收 將 來 自 台 積 電 的 龐 大 訂 單 全 球 半 導 體 和 封 測 大 廠 積 極 研 發 2.5D IC 和 3D IC, 預 估 到 2015 年, 在 智 慧 手 機 應 用 處 理 器 整 合 記 憶 體,3D IC 製 程 可 望 成 熟, 封 測 大 廠 展 現 相 關 領 域 的 開 發 願 景 現 階 段 來 看, 包 括 台 積 電 日 月 光 艾 克 爾 意 法 半 導 體 三 星 電 子 爾 必 達 美 光 格 羅 方 德 IBM 英 特 爾 等 半 導 體 大 廠, 正 積 極 研 發 3D IC 技 術 預 估 2012 年 至 2016 年 全 球 3D IC 市 場 年 複 合 成 長 率 為 19.7%, 成 長 貢 獻 主 要 來 自 行 動 運 算 裝 置 的 記 憶 體 需 求 大 幅 增 加 56

62 二 全 球 半 導 體 設 備 支 出 現 況 及 未 來 趨 勢 圖 1-1 是 國 際 半 導 體 設 備 暨 材 料 協 會 對 全 球 半 導 體 設 備 市 場 所 作 的 預 測,2013 年 全 球 半 導 體 設 備 市 場 為 363 億 美 元, 較 2012 年 微 幅 衰 退 1.7%,SEMI 預 測 2014 年 半 導 體 景 氣 將 呈 現 成 長 趨 勢, 年 增 率 估 計 約 21.2%,SIA 則 預 估 2013 年 全 球 半 導 體 營 收 將 成 長 12% 目 前 全 球 經 濟 前 景 混 沌 未 明, 不 僅 最 近 6 個 月 北 美 與 日 本 的 B/B 值 呈 現 巨 幅 震 盪 的 走 勢, 各 研 究 機 構 對 未 來 經 濟 狀 況 的 看 法 也 莫 衷 一 是,SEMI 對 全 球 經 濟 抱 持 悲 觀 的 想 法, 因 此 預 測 2013 年 全 球 半 導 體 設 備 市 場 將 衰 退 1.7%,SIA 則 對 未 來 前 景 看 好, 預 期 2013 年 全 球 半 導 體 營 收 將 增 加 12% 圖 1-2 所 示 為 1990 至 2014 年 全 球 半 導 體 營 收 金 額 與 設 備 支 出 佔 半 導 體 營 收 百 分 比 趨 勢,SEMI 預 期 2013 年 的 全 球 半 導 體 設 備 支 出 金 額 為 363 億 美 元, 表 示 近 期 的 全 球 經 濟 景 氣 衰 退 使 得 2013 年 全 球 半 導 體 產 業 的 設 備 支 出 水 準 又 減 少 至 400 億 美 元 以 下 ;SEMI 預 測 2013 年 全 球 設 備 支 出 將 佔 半 導 體 營 收 的 12%, 較 2012 年 的 13% 微 幅 下 降, 與 2002 至 2008 年 的 平 均 值 (15%) 相 較, 則 仍 有 不 小 的 差 距 2012A 2013F 2014F 全 球 半 導 體 設 備 營 收 ( 億 美 元 ) 全 球 半 導 體 設 備 營 收 年 增 率 -15.2% -1.7% 21.2% 全 球 半 導 體 營 收 ( 億 美 元 ) 2,916 2,978 3,129 設 備 支 出 佔 半 導 體 營 收 百 分 比 13% 12% 14% 圖 1-1 全 球 半 導 體 設 備 營 收 及 年 成 長 率 57

63 資 料 來 源 : SIA,SEMI/ 金 屬 中 心 MII 整 理 (2013/07) 圖 年 全 球 半 導 體 營 收 與 設 備 支 出 佔 半 導 體 營 收 百 分 比 趨 勢 資 料 來 源 : SIA,SEMI/ 金 屬 中 心 MII 整 理 (2013/07) 三 半 導 體 景 氣 趨 勢 半 導 體 設 備 訂 貨 / 出 貨 比 (B/B 值 ) 是 研 究 全 球 半 導 體 產 業 景 氣 的 重 要 指 標 之 一, 當 B/B 值 小 於 1 時, 表 示 接 單 金 額 低 於 出 貨 金 額, 顯 示 半 導 體 未 來 市 場 景 氣 趨 緩, 廠 商 可 能 會 減 少 設 備 投 資 金 額 根 據 SEMI 最 新 Book-to-Bill 訂 單 出 貨 報 告,2013 年 9 月 份 北 美 半 導 體 設 備 製 造 商 平 均 訂 單 金 額 為 億 美 元,B/B 值 (Book-to-Bill Ratio, 訂 單 出 貨 比 ) 為 0.97, 代 表 半 導 體 設 備 業 者 當 月 份 出 貨 100 美 元, 接 獲 97 美 元 的 訂 單 北 美 半 導 體 設 備 廠 商 2013 年 9 月 份 全 球 接 獲 訂 單 預 估 金 額 為 億 美 元, 較 8 月 修 正 後 的 10.6 億 美 元 減 少 8.3%, 和 去 年 同 期 的 億 美 元 相 比 則 高 出 6.8 % 而 在 出 貨 表 現 部 分,2013 年 9 月 份 的 出 貨 金 額 為 10.1 億 美 元, 較 8 月 份 最 終 的 10.8 億 美 元 減 少 7.1 %, 較 去 年 同 期 11.6 億 美 元 下 降 13.6% 半 導 體 製 造 商 在 目 前 的 景 氣 循 環 期 中 面 臨 58

64 產 品 價 格 下 滑, 並 受 整 體 經 濟 因 素 的 影 響, 短 期 內 將 在 設 備 投 資 上 放 慢 步 伐 圖 1-3 所 示 為 2013 年 1 月 到 2013 年 9 月 的 北 美 半 導 體 設 備 B/B 值,B/B 值 自 2013 年 1 月 回 升 至 1.11 後, 連 續 七 個 月 維 持 在 1.0 以 上 2013 年 8 月 後 呈 現 下 滑 趨 勢,2013 年 最 高 值 落 於 1 月 與 3 月, 屬 於 第 一 季, 顯 示 半 導 體 廠 商 對 於 2013 年 第 二 季 後 的 景 氣 看 法 不 佳, 因 此 BB 值 呈 現 下 滑 的 趨 勢 影 響 所 及,2014 年 第 一 季 的 全 球 半 導 體 與 設 備 景 氣 並 不 樂 觀 圖 1-4 所 示 為 2013 年 1 月 到 2013 年 9 月 的 日 本 半 導 體 設 備 B/B 值, 日 本 B/B 值 由 2013 年 1 月 的 1.18 快 速 減 少 至 2013 年 3 月 的 0.96, 之 後 隨 即 反 彈, 於 2013 年 4 月 的 1.11 上 升 至 2013 年 6 月 的 1.4, 6 月 後 雖 然 略 微 下 降, 但 仍 維 持 在 1 以 上,2013 年 9 月 的 數 值 為 1.25, 顯 示 日 本 國 內 的 半 導 體 廠 商 對 其 未 來 景 氣 趨 勢 持 樂 觀 的 態 度 影 響 所 及,2014 年 第 一 季 的 日 本 半 導 體 與 設 備 景 氣 呈 現 後 市 看 好 的 趨 勢 / / / / / / / / /09 B/B 值 圖 1-3 北 美 半 導 體 設 備 B/B 值 走 勢 資 料 來 源 : SEMI/ 金 屬 中 心 產 業 研 究 組 整 理 ( 2013/11) 59

65 / / / / / / / / /09 B/B 值 圖 1-4 日 本 半 導 體 設 備 B/B 值 走 勢 資 料 來 源 : SEAJ/ 金 屬 中 心 產 業 研 究 組 整 理 ( 2013/11) 四 全 球 主 要 半 導 體 廠 商 隨 著 先 進 半 導 體 製 造 技 術 門 檻 與 成 本 越 來 越 高, 半 導 體 產 業 的 資 本 支 出 逐 漸 集 中 於 幾 家 技 術 主 導 的 大 型 製 造 商 根 據 IC Insights 的 預 測, 英 特 爾 (Intel) 與 三 星 (Samsung) 在 2013 年 總 計 將 花 費 250 億 美 元 於 提 升 其 製 造 產 能, 佔 全 球 半 導 體 資 本 支 出 的 42% IC Insights 預 測,2013 年 全 球 半 導 體 資 本 支 出 總 額 將 達 到 億 美 元, 較 去 年 微 幅 成 長 2% 排 名 全 球 前 五 大 的 每 一 家 半 導 體 資 本 支 出 業 者 在 2013 年 至 少 都 有 30 億 美 元 的 投 資, 這 與 2012 年 和 2011 年 的 情 況 大 致 相 同 相 較 於 2012 年, 在 2013 年 資 本 支 出 排 名 前 十 大 的 半 導 體 業 者 總 計 將 增 加 5% 的 投 資, 而 除 了 前 十 大 以 外 的 其 它 廠 商 預 計 將 刪 減 8% 的 支 出 從 2010~2013 年 的 4 年 間, 三 星 預 計 將 耗 資 469 億 美 元, 其 中 的 60% 將 用 於 記 憶 體 生 產, 而 40% 則 投 入 於 其 邏 輯 與 晶 圓 代 工 服 務 同 60

66 一 時 期 來 看, 英 特 爾 預 計 將 投 資 400 億 美 元 的 資 本 開 支 值 得 一 提 的 是,2012 年 三 星 和 英 特 爾 共 佔 全 球 半 導 體 資 本 支 出 的 40%, 而 這 一 數 字 預 計 還 將 在 2013 年 增 加 到 42%, IC Insights 表 示 從 不 同 地 區 的 資 本 支 出 預 測 來 看, 由 於 英 特 爾 和 三 星 斥 重 資 投 入, 北 美 與 韓 國 在 晶 片 製 造 業 的 重 要 性 正 與 日 俱 增 IC Insights 並 預 期 日 本 將 增 加 7%, 而 歐 洲 約 僅 2%, 明 顯 反 映 出 歐 洲 幾 乎 完 全 採 用 輕 晶 圓 廠 (fab-lite) 策 略 的 趨 勢 IC Insights 預 期 台 灣 製 造 商 在 2013 年 的 資 本 支 出 持 平, 約 佔 19% 晶 圓 代 工 廠 台 積 電 (TSMC) 與 聯 電 (UMC) 將 持 續 加 大 投 資 力 度, 而 二 線 DRAM 製 造 商 南 亞 (Nanya) 力 晶 (Powerchip) 和 茂 德 (ProMOS) 則 維 持 最 低 限 度 的 投 資 圖 全 球 前 十 大 半 導 體 廠 商 排 名 資 料 來 源 :IC Insights 各 公 司 (2013/11) 61

67 以 下 為 全 球 主 要 半 導 體 製 造 商 的 近 期 動 態 分 析 : 1 英 特 爾 英 特 爾 公 司 宣 布 2013 年 第 三 季 季 度 營 收 達 135 億 美 元, 營 業 利 益 (operating income) 為 38 億 美 元, 淨 利 益 (net income) 為 30 億 美 元, 每 股 獲 利 (EPS) 為 0.58 美 元 英 特 爾 因 營 運 產 生 的 現 金 收 入 約 51 億 美 元, 發 放 11 億 美 元 的 股 利, 並 以 12 億 美 元 購 回 庫 藏 股 英 特 爾 公 司 總 裁 暨 執 行 長 歐 德 寧 (Paul Otellini) 表 示 : 我 們 第 三 季 的 營 收 反 映 了 持 續 嚴 峻 的 經 濟 環 境, 運 算 的 世 界 正 處 於 突 破 性 的 創 新 與 創 造 的 階 段 展 望 第 四 季, 我 們 很 高 興 看 到 Ultrabook 與 手 機 不 斷 獲 得 進 展, 也 為 將 看 到 更 多 內 含 英 特 爾 技 術 的 平 板 電 腦 進 入 市 場 而 感 到 興 奮 2 東 芝 東 芝 2013 年 的 資 本 支 出 金 額 約 21 億 美 元,2013 年 度 聚 焦 於 筆 記 型 電 腦 使 用 SSD 數 位 消 費 者 使 用 的 系 統 晶 片 CMOS 圖 像 感 應 器 等 研 發 的 重 點 領 域 包 括 最 先 端 製 程 次 世 代 記 憶 體 與 微 小 化 的 研 發 等 另 外 東 芝 對 HDD 與 SSD 的 未 來 性 也 作 出 預 測, 認 為 HDD 與 SSD 兩 者 基 本 上 在 未 來 將 一 起 共 存 在 某 些 小 容 量 的 領 域 中, 雖 然 NAND 將 取 代 HDD, 但 是 這 兩 項 產 品 將 分 別 繼 續 擴 大 容 量, 每 一 單 位 記 憶 容 量 的 價 格 也 將 繼 續 下 降 今 後, 預 估 將 會 依 據 產 品 特 性 使 用 於 不 同 用 途, 並 一 起 共 存 SSD 方 面, 首 先 將 以 筆 記 型 電 腦 為 主, 推 動 取 代 HDD 62

68 的 置 換 業 務 3 台 積 電 隨 著 蘋 果 20 奈 米 A7 系 列 應 用 處 理 器 開 始 在 台 積 電 放 量 投 片, 加 上 未 來 可 望 增 加 資 本 支 出, 激 勵 7 檔 包 含 電 子 束 檢 測 設 備 廠 漢 微 科 光 罩 及 晶 圓 傳 送 盒 廠 家 登 鑽 石 碟 及 再 生 晶 圓 廠 中 砂 材 料 及 可 靠 性 檢 測 廠 閎 康 等 半 導 體 設 備 核 心 受 惠 廠 商 業 績 將 全 員 動 起 來 台 積 電 先 進 製 程 擴 產 腳 步 毫 不 遲 疑, 為 趕 上 2014 年 首 季 量 產 進 度,2013 年 第 4 季 對 20 奈 米 製 程 機 台 需 求 更 勝 前 3 季, 相 關 設 備 廠 接 單 更 旺, 甚 至 已 開 始 出 貨 16 奈 米 高 介 電 常 數 金 屬 閘 極 (HKMG) 製 程 用 機 台 國 內 設 備 廠 商 漢 微 科 辛 耘 等 業 者 受 惠 大 客 戶 需 求, 下 半 年 業 績 樂 觀 以 對 在 晶 圓 代 工 龍 頭 台 積 電 的 領 軍 下, 預 估 台 灣 2013 年 的 半 導 體 設 備 和 材 料 投 資 金 額 再 次 領 先 全 球, 分 別 達 到 億 美 元 和 億 美 元, 再 度 蟬 聯 全 球 最 重 要 的 半 導 體 市 場 台 灣 晶 圓 代 工 大 廠 台 積 電 為 了 滿 足 智 慧 型 手 機 平 板 電 腦 客 戶 需 求, 在 日 本 展 開 大 規 模 的 設 備 採 購 行 動, 進 而 推 升 當 地 半 導 體 設 備 業 者 的 銷 售 額 日 本 半 導 體 製 造 裝 置 協 會 (SEAJ) 預 估, 今 年 度 ( 截 至 2014 年 3 月 底 為 止 ) 日 本 半 導 體 設 備 銷 售 額 有 望 年 增 10.2% 至 1.1 兆 日 圓, 其 中 有 大 多 數 營 收 將 來 自 台 積 電 的 龐 大 訂 單 台 積 電 2013 年 的 總 資 本 支 出 (CapEx) 規 模 約 97 億 美 元, 主 要 強 化 28 奈 米 以 下 的 先 進 製 程 產 能, 不 僅 歐 美 日 主 力 設 備 供 應 商 將 獲 大 單, 63

69 國 內 半 導 體 設 備 供 應 鏈 亦 雨 露 均 沾, 尤 其 台 積 電 期 望 能 提 前 20 與 16 奈 米 的 量 產 時 程, 漢 微 科 閎 康 等 位 居 高 端 檢 測 與 分 析 供 應 鏈 的 廠 商, 受 惠 幅 度 更 被 市 場 所 看 好 台 積 電 7 月 營 收 受 到 蘋 果 和 三 星 等 高 階 手 機 銷 售 顯 露 疲 弱, 相 關 供 應 鏈 調 整 庫 存, 中 止 連 續 五 個 月 業 績 攀 升, 降 至 新 台 幣 521 億 元 不 過, 隨 著 中 低 階 產 品 9 月 密 集 上 市, 尤 其 是 中 國 大 陸 品 牌 手 機 銷 售 急 速 衝 高, 相 關 晶 片 幾 乎 都 是 台 積 電 客 戶, 加 上 蘋 果 和 三 星 也 切 入 中 價 手 機 市 場, 讓 台 積 電 8 月 營 收 重 返 成 長 動 能, 有 機 會 衝 至 新 台 幣 550 億 元, 續 創 新 高 台 積 電 先 進 製 程 擴 產 腳 步 毫 不 遲 疑, 為 趕 上 2014 年 首 季 量 產 進 度,2013 年 第 4 季 對 20 奈 米 製 程 機 台 需 求 更 勝 前 3 季, 相 關 設 備 廠 接 單 更 旺, 甚 至 已 開 始 出 貨 16 奈 米 高 介 電 常 數 金 屬 閘 極 (HKMG) 製 程 用 機 台 國 內 設 備 廠 商 漢 微 科 辛 耘 等 業 者 受 惠 大 客 戶 需 求, 下 半 年 業 績 樂 觀 以 對 4 爾 必 達 美 國 DRAM 製 造 商 美 光 (Micron) 欲 收 購 日 本 同 業 爾 必 達 (Elpida) 的 計 畫 已 向 前 邁 進 一 大 步, 東 京 地 方 法 院 已 裁 定 美 光 可 擔 任 爾 必 達 買 主, 同 時 駁 回 由 一 群 爾 必 達 公 司 債 持 有 人 提 出 的 替 代 計 畫 根 據 爾 必 達 聲 明 稿, 東 京 地 方 法 院 周 三 裁 定, 爾 必 達 債 權 人 必 須 在 2013 年 2 月 26 日 前 就 一 項 涵 蓋 美 光 收 購 提 案 的 組 織 重 組 計 畫 進 行 表 決 美 光 於 2012 年 7 月 向 爾 必 達 提 出 以 2,000 億 日 圓 (25 億 美 元 ) 64

70 收 購 方 案, 然 而 一 批 爾 必 達 公 司 債 持 有 人, 在 Linden 顧 問 Owl Creek 資 產 管 理 以 及 Taconic 資 本 顧 問 這 3 家 對 沖 基 金 帶 頭 下 表 示 反 對, 稱 此 舉 嚴 重 不 利 爾 必 達, 因 爾 必 達 的 價 值 遭 嚴 重 低 估 這 些 債 權 人 主 張 爾 必 達 價 值 3,000 億 日 圓 (37.8 億 美 元 ), 並 且 另 提 一 案 互 別 苗 頭 爾 必 達 是 日 本 僅 存 的 DRAM 製 造 商, 已 於 今 年 初 因 產 品 銷 售 走 滑 以 及 不 敵 海 外 競 爭, 而 聲 請 破 產 保 護 美 光 則 因 個 人 電 腦 產 業 益 趨 低 迷 而 虧 損 連 連, 盼 藉 由 收 購 爾 必 達 來 擴 大 規 模 經 濟, 美 光 有 意 以 大 約 7.5 億 美 元 現 金 以 及 迄 2019 年 底 每 年 分 期 支 付 爾 必 達 債 權 人 共 17.5 億 美 元 的 方 式 收 購 若 美 光 成 功 收 購 爾 必 達, 則 美 光 在 全 球 DRAM 市 場 的 版 圖 將 擴 大 1 倍 至 約 24%, 成 為 全 球 第 2 大 DRAM 製 造 商, 僅 居 三 星 電 子 之 後 Jefferies 分 析 師 巴 吉 卡 表 示, 美 光 獲 准 為 爾 必 達 買 主 被 視 為 是 正 向 發 展, 市 場 持 續 期 待 美 光 於 明 年 上 半 完 成 收 購 爾 必 達 事 宜 美 光 收 購 爾 必 達 一 案, 除 須 獲 得 債 權 人 同 意, 尚 待 其 他 國 家 法 院 和 監 管 機 關 放 行 美 光 執 行 長 杜 肯 (Mark Durcan) 表 示, 東 京 地 院 的 裁 決 讓 爾 必 達 在 組 織 重 組 過 程 跨 出 重 要 一 步 5 英 飛 凌 2013 年 的 資 本 支 出 金 額 預 計 約 5 億 美 元, 研 發 將 繼 續 聚 焦 於 能 源 效 率 通 信 安 全 三 大 領 域 的 業 務 在 能 源 效 率 方 面, 對 於 日 趨 重 要 的 能 源 與 環 保 問 題, 提 供 可 滿 足 發 電 送 電 與 電 力 消 費 65

71 上 所 有 需 求 的 最 佳 解 決 方 案, 並 貢 獻 革 命 性 應 用, 幫 助 改 善 產 業 家 庭 汽 車 領 域 的 能 源 使 用 效 率 通 信 方 面, 因 應 金 磚 四 國 手 機 日 漸 普 及 以 及 先 進 國 家 下 一 世 代 系 統 的 發 展, 繼 續 提 供 服 務, 隨 著 網 路 統 合 高 速 通 信 的 擴 大 等, 針 對 通 信 業 界 動 向, 以 廣 泛 的 產 品 陣 容 進 行 應 對 在 安 全 領 域 方 面, 包 括 移 動 式 電 視 或 是 NFC(Near Field Communications) 所 需 使 用 的 高 端 SIM 卡 等 產 品, 以 及 機 器 的 Origine 認 證 應 用 在 內, 將 針 對 今 後 可 能 持 續 成 長 的 領 域 提 供 高 度 安 全 機 能 66

72 貳 半 導 體 設 備 產 業 發 展 現 況 一 全 球 主 要 半 導 體 設 備 市 場 在 全 球 區 域 市 場 方 面, 分 析 2009 至 2014 年 全 球 半 導 體 設 備 區 域 市 場 營 收 百 分 比 ( 如 圖 2-1), 根 據 國 際 半 導 體 設 備 暨 材 料 協 會 (SEMI) 的 統 計 數 據,2012 年 台 灣 位 居 全 球 第 一, 市 場 規 模 約 96 億 美 元, 占 全 球 市 場 的 25.1%, 年 成 長 率 為 12.7%, 成 長 主 因 在 於 台 積 電 創 紀 錄 的 資 本 支 出 金 額 與 全 球 封 裝 大 廠 的 委 外 訂 單 增 加, 台 積 電 2012 與 2013 年 大 幅 增 加 資 本 支 出 於 14 廠 與 15 廠, 主 要 是 擴 充 28 奈 米 的 產 線 ; 日 月 光 與 矽 品 則 是 加 速 先 進 封 裝 製 程 的 投 資 以 滿 足 行 動 裝 置 的 需 求 南 韓 設 備 市 場 為 全 球 第 二 大, 市 場 規 模 約 95.9 億 美 元, 占 全 球 設 備 市 場 的 25.0%, 三 星 2012 年 的 資 本 支 出 金 額 雖 然 未 達 到 預 估 值, 但 由 於 2012 年 三 星 的 主 要 投 資 標 的 皆 位 於 南 韓 本 地, 使 得 南 韓 2012 年 的 設 備 市 場 規 模 年 成 長 率 達 到 11%, 全 球 市 占 率 也 由 2011 年 的 19.9% 大 幅 提 升 至 2012 年 的 25.0% 北 美 設 備 市 場 在 2012 年 位 居 第 三, 整 體 規 模 為 79.5 億 美 元, 占 全 球 市 場 比 例 為 20.8%, 較 2011 年 衰 退 14.1%, 雖 然 整 體 市 場 規 模 不 如 2011 年, 但 英 特 爾 格 羅 方 德 美 光 與 三 星 等 廠 商 的 資 本 支 出, 使 得 北 美 設 備 市 場 在 全 球 仍 居 重 要 位 置 日 本 設 備 市 場 規 模 位 居 全 球 第 四, 金 額 為 37.2 億 美 元, 占 全 球 市 場 的 9.7%,2012 年 衰 退 幅 度 為 36% 根 據 SEMI 的 市 場 調 查 資 料,2012 年 台 灣 日 本 南 韓 及 北 美 半 導 體 設 備 市 場 規 模 總 計 達 到 億 美 元, 占 全 球 設 備 市 場 67

73 (382.2 億 美 元 ) 的 80.7%, 比 例 較 2011 年 的 73.4% 增 加 半 導 體 業 面 臨 庫 存 修 正,2013 年 第 三 季 將 旺 季 不 旺, 第 四 季 營 運 恐 皆 下 滑, 設 備 廠 商 漢 微 科 弘 塑 辛 耘 因 出 售 的 設 備 為 客 戶 規 劃 先 進 製 程 的 必 要 投 資, 不 受 庫 存 修 正 問 題 的 影 響, 今 年 營 運 仍 逐 季 成 長 可 期 設 備 業 者 指 出, 儘 管 下 半 年 產 業 面 臨 庫 存 修 正, 但 仍 較 去 年 成 長, 且 大 廠 規 劃 資 本 支 出 都 屬 先 進 製 程, 基 於 營 運 競 爭 考 量, 先 進 製 程 為 必 要 的 投 資, 也 許 主 要 機 台 設 備 會 受 市 況 影 響, 稍 緩 安 裝 機 台 設 備, 國 內 設 備 廠 商 銷 售 與 代 理 設 備 機 台 較 偏 向 次 要 機 台 設 備, 受 到 延 緩 交 機 的 影 響 小 圖 年 全 球 半 導 體 設 備 區 域 市 場 營 收 百 分 比 資 料 來 源 :SEMI/ 金 屬 中 心 MII 整 理 (2013/11) 二 受 經 濟 景 氣 影 響, 亞 洲 半 導 體 設 備 市 場 版 圖 縮 小 亞 洲 半 導 體 設 備 市 場 規 模 有 日 益 擴 大 的 趨 勢,2005 年 日 本 台 灣 與 南 韓 佔 全 球 市 場 的 61%,2006 年 為 60.3%,2007 年 因 為 台 灣 市 場 規 模 迅 速 膨 脹, 因 此 比 例 成 長 為 63.7%,2008 年 佔 比 為 58% 除 了 上 述 三 大 市 場 外, 中 國 大 陸 與 印 度 市 場 的 崛 起 更 是 不 容 忽 視, 根 據 美 國 半 導 體 材 料 暨 設 備 協 會 (SEMI) 的 市 場 調 查,2006 年 中 國 大 陸 設 備 市 場 規 68