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1 經 濟 部 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 專 案 計 畫 期 末 執 行 成 果 報 告 計 畫 名 稱 : 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 契 約 編 號 : 執 行 期 間 : 全 程 : 自 99 年 01 月 25 日 至 102 年 12 月 20 日 止 本 年 度 : 自 102 年 01 月 01 日 至 102 年 12 月 20 日 止 主 辦 單 位 : 受 委 託 單 位 : 經 濟 部 工 業 局 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心

2 第 1 部 分 目 錄 第 1 部 分 計 畫 執 行 成 果 摘 要 Ⅰ 頁 次

3 第 1 部 分 計 畫 執 行 成 果 摘 要 組 別 計 畫 名 稱 受 委 託 單 位 政 府 經 費 ( 元 ) 金 屬 機 電 組 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 41,051,000 計 畫 中 文 摘 要 一 計 畫 目 標 : 1. 協 助 達 成 前 段 晶 圓 製 程 設 備 自 製 率 由 2012 年 9% 提 升 至 2013 年 10% 2. 協 助 達 成 後 段 封 測 製 程 設 備 自 製 率 由 2012 年 36% 提 升 至 2013 年 40% 3. 協 助 達 成 半 導 體 製 程 設 備 之 耗 材 零 組 件 自 給 率 由 2012 年 38% 提 升 至 2013 年 50% 二 計 畫 內 容 : ( 一 ) 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 1. 建 立 半 導 體 設 備 本 土 供 應 鏈 體 系 2. 推 動 半 導 體 設 備 產 業 本 土 化 平 台 3. 輔 導 計 畫 審 查 與 管 理 4. 輔 導 半 導 體 設 備 產 業 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 開 發 ( 二 ) 建 構 產 業 研 發 聯 盟 1. 推 動 研 發 聯 盟 廠 商 開 發 2. 促 成 聯 盟 與 學 研 技 術 合 作 三 計 畫 成 果 達 成 情 形 : 1. 推 動 日 商 WAIDA( 和 井 田 ) 公 司 與 台 廠 友 嘉 半 導 體 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 之 晶 圓 植 球 機 2.a. 推 動 日 商 DISCO( 迪 斯 科 高 ) 公 司 研 磨 設 備 之 鑽 石 磨 輪 研 磨 環 與 台 廠 中 國 砂 輪 京 鼎 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 共 2 案 b. 推 動 日 商 TAKAKI( 高 木 公 司 ) 與 台 廠 進 期 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 曝 光 移 載 平 台 晶 圓 承 載 盤 共 2 案 3. 媒 合 國 內 廠 商 漢 泰 元 鐙 奈 晶 千 附 進 期 柏 夫 等 公 司 分 別 切 入 ASML 及 AMAT 共 2 案 外 商 之 零 組 件 供 應 鏈 4. 完 成 終 端 廠 製 程 設 備 之 耗 材 零 組 件 使 用 規 範 資 料 共 10 筆 5. 完 成 Y102 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 報 告 1 份 及 18 類 半 導 體 設 備 共 77 間 廠 商 名 錄 1 份 6. 完 成 崑 山 科 大 與 馗 鼎 奈 米 公 司 之 產 學 合 作 計 畫 1 案, 並 培 訓 3 位 學 生 投 入 研 究 計 畫 7. 推 動 量 測 中 心 及 儀 科 中 心 技 轉 化 學 溶 液 瑕 疵 檢 測 技 術 及 高 精 度 石 英 光 學 積 分 器 技 術 予 國 內 廠 商 共 3 案 8. 完 成 1 場 3DIC 設 備 技 術 研 討 會 4 場 媒 合 商 談 會 71 家 廠 商 參 與 及 1 場 成 果 發 表 會 9. 完 成 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 共 10 案 次 合 計 廠 商 自 籌 款 9,850 仟 元 10. 預 估 輔 導 案 期 末 可 增 加 半 導 體 設 備 產 業 增 加 產 值 10.6 億 元 促 成 廠 商 投 資 1.5 億 元, 降 低 半 導 體 產 業 廠 商 成 本 4.8 億 元 11. 預 估 期 末 可 增 加 國 內 就 業 人 口 達 88 人 12. 完 成 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 及 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 2 項 SBIR 開 發 計 畫 申 請 13. 完 成 聯 盟 廠 商 與 台 大 光 電 工 程 研 究 進 行 全 光 通 量 測 技 術 研 究 交 大 機 械 系 進 行 光 阻 塗 佈 模 擬 研 究 學 研 技 術 合 作 共 2 案 四 檢 討 與 展 望 : 半 導 體 終 端 產 品 更 新 週 期 快 速, 帶 動 製 程 發 展 腳 步 加 快, 設 備 產 業 面 臨 快 速 對 應 及 服 務 多 工 之 經 營 模 式, 國 內 半 導 體 設 備 業 者 為 因 應 產 業 環 境 變 化, 積 極 調 整 供 應 鏈 結 構, 強 化 終 端 廠 商 服 務 及 整 合 技 術 量 能, 開 發 整 機 設 備, 若 能 持 續 協 助 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 朝 向 製 造 業 服 務 化 之 方 向 發 展, 貼 近 客 戶 滿 足 需 求, 提 升 國 產 設 備 供 應 比 例, 可 為 產 業 創 造 雙 贏 局 面 彙 整 國 內 終 端 廠 商 及 設 備 廠 商 之 開 發 建 議, 未 來 推 動 重 點 如 下 : 1. 建 立 零 組 件 品 質 檢 測 驗 證 平 台 : 建 立 終 端 廠 或 外 商 設 備 所 需 之 模 組 或 零 組 件 使 用 規 格 資 訊, 除 提 供 國 內 廠 商 開 發 參 考, 並 可 建 置 線 外 檢 測 驗 證 實 驗 室, 協 助 國 內 廠 商 產 品 進 行 品 質 驗 證 2. 透 過 政 府 協 助 國 內 廠 商 快 速 切 入 3DIC 製 程 設 備 : 以 終 端 廠 需 求 為 主, 整 合 國 內 設 備 廠 及 零 組 件 廠, 並 投 入 政 府 資 源 輔 導 以 降 低 開 發 風 險, 協 助 國 內 廠 商 快 速 開 發 3DIC 設 備 或 模 組 I

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5 第 2 部 分 目 錄 頁 次 第 2 部 分 計 畫 執 行 報 告 一 緣 起... 1 二 計 畫 目 的 計 畫 架 構 與 主 要 內 容... 2 三 實 際 執 行 方 法... 4 四 計 畫 經 費 與 人 力 執 行 情 形 五 計 畫 已 獲 得 之 主 要 成 果 與 重 大 突 破 ( 含 量 化 成 果 output)21 六 主 要 成 就 及 成 果 之 價 值 與 貢 獻 度 (outcome) 七 後 續 工 作 構 想 之 重 點 八 檢 討 與 展 望 九 附 錄 ( 一 ) 委 員 審 查 意 見 回 復 ( 二 ) 出 國 報 告 目 錄 ( 三 ) 分 包 資 訊 ( 四 ) 產 學 合 作 同 意 書 ( 五 ) 廠 商 基 本 資 料 表 ( 六 ) 產 業 調 查 資 訊 ( 七 ) 廠 商 訪 談 記 錄 0

6 第 2 部 分 執 行 報 告 一 緣 起 國 際 半 導 體 設 備 暨 材 料 協 會 (SEMI) 對 全 球 半 導 體 設 備 市 場 所 作 的 預 測,2011 年 全 球 半 導 體 設 備 市 場 預 估 仍 將 維 持 300 億 美 元 以 上 之 水 準, 顯 示 2011 年 全 球 半 導 體 景 氣 仍 相 當 不 錯, 且 半 導 體 產 業 發 展 將 進 入 下 一 世 代, 不 管 是 在 更 大 尺 寸 晶 圓 生 產 設 備 或 是 現 有 晶 圓 中 更 微 細 線 路 之 高 階 技 術 生 產 設 備, 預 期 都 將 有 新 投 資 掖 注, 預 估 若 下 世 代 製 程 正 式 投 入 產 線, 相 對 現 有 之 設 備 投 資, 其 成 長 率 可 達 到 47% 台 灣 半 導 體 設 備 產 業 發 展 始 於 1980 年 代, 最 初 是 由 半 導 體 後 段 製 程 的 封 裝 設 備 與 模 具 開 始 切 入, 發 展 至 今 已 有 30 幾 年 且 製 程 大 部 份 皆 屬 於 成 熟 技 術 層 次, 因 此 相 較 於 前 段 製 程 與 後 段 測 試 設 備, 台 灣 封 裝 設 備 的 自 給 率 明 顯 較 高 根 據 調 查 資 料 顯 示,2010 年 全 球 半 導 體 設 備 需 求 達 到 392 億 美 元, 其 中 台 灣 市 場 規 模 為 110 億 美 元, 佔 全 球 半 導 體 設 備 需 求 市 場 的 比 率 達 到 28%, 高 居 全 球 第 一 然 台 灣 空 有 龐 大 的 市 場 規 模, 整 體 本 土 設 備 自 給 率 仍 偏 低, 不 僅 無 法 創 造 規 模 經 濟, 更 欠 缺 掌 握 關 鍵 技 術 的 能 力 在 半 導 體 前 段 晶 圓 製 程 設 備 部 分, 晶 圓 製 造 業 者 如 台 積 電 聯 電 等 基 於 製 造 成 本 與 服 務 效 率 之 考 量, 對 於 設 備 耗 材 零 組 件 之 本 土 化 已 逐 漸 凝 聚 共 識, 起 而 推 動 並 訂 立 自 身 本 土 化 目 標, 台 灣 業 者 可 藉 由 其 所 釋 出 委 外 代 工 及 維 修 訂 單, 輔 以 學 研 單 位 深 化 技 術 能 力 而 後 段 封 裝 業 者 對 於 本 土 設 備 已 有 相 當 高 之 接 受 度, 但 在 部 分 關 鍵 製 程 設 備, 因 設 備 要 求 高 度 準 確 性, 仍 無 法 取 代 國 外 設 備 要 使 台 灣 的 半 導 體 產 業 發 展 能 更 蓬 勃, 設 備 產 業 的 同 步 成 長 是 相 當 關 鍵 的 因 素, 台 灣 的 競 爭 對 手, 例 如 南 韓 與 中 國 近 年 體 認 到 發 展 本 土 設 備 的 重 要 性, 積 極 結 合 產 官 學 研 的 力 量 來 增 加 設 備 自 給 率, 台 灣 也 應 體 認 到 此 一 趨 勢, 迅 速 培 養 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 的 研 發 與 技 術 實 1

7 力, 並 垂 直 整 合 半 導 體 產 業 的 上 下 游, 如 此 才 能 充 分 發 揮 原 有 優 勢 並 創 造 產 業 的 另 一 高 峰 二 計 畫 目 的 計 畫 架 構 與 主 要 內 容 ( 一 ) 計 畫 目 的 與 預 期 成 果 1 計 畫 目 的 透 過 本 土 化 設 備 與 零 組 件 供 應, 減 少 對 進 口 設 備 之 依 賴 程 度, 降 低 國 內 半 導 體 產 業 生 產 成 本, 並 協 助 提 昇 其 競 爭 力 與 日 韓 抗 衡 (1) 推 動 達 成 前 段 晶 圓 製 程 設 備 自 給 率 由 2012 年 9% 提 升 至 2013 年 10%( 含 ) 以 上 (2) 推 動 達 成 後 段 封 測 製 程 設 備 自 給 率 由 2012 年 36% 提 升 至 2013 年 40%( 含 ) 以 上 (3) 推 動 達 成 半 導 體 耗 材 零 組 件 自 給 率 由 2012 年 38% 提 升 至 2013 年 50%( 含 ) 以 上 2 預 期 成 果 (1) 協 助 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 整 機 設 備 進 口 替 代 1 案 ( 含 ) 以 上 (2) 促 成 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 耗 材 零 組 件 進 口 替 代 4 案 ( 含 ) 以 上 (3) 協 助 新 增 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 應 鏈 體 系 2 案 ( 含 ) 以 上 (4) 建 立 半 體 設 備 廠 之 零 組 件 使 用 規 範 10 案 ( 含 ) 以 上 (5) 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 產 業 資 訊 及 廠 商 名 錄 各 1 份 (6) 完 成 產 學 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上, 培 訓 在 學 學 生 2 人 ( 含 ) 以 上 (7) 國 內 技 轉 案 2 案 ( 含 ) 以 上 (8) 完 成 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 1 場 ( 含 ) 以 上 辦 理 排 半 導 體 設 備 與 零 組 件 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 並 促 成 30 家 業 者 ( 含 ) 以 上 參 與 辦 理 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上 (10) 完 成 輔 導 半 導 體 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 輔 導 開 2

8 發 案 9 案 ( 含 ) 以 上 (10) 預 計 增 加 產 值 270,000 千 元 ( 含 ) 以 上 直 接 降 低 生 產 成 本 90,000 千 元 ( 含 ) 以 上 及 直 接 促 進 投 資 90,000 千 元 ( 含 ) 以 上 (11) 協 助 增 加 國 內 就 業 人 口 72 人 次 ( 含 ) 以 上 (12) 推 動 已 成 立 之 設 備 研 發 聯 盟 提 出 設 備 開 發 計 畫 申 請 2 案 ( 含 ) 以 上 (13) 促 成 聯 盟 與 學 研 技 術 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上 ( 二 ) 計 畫 架 構 ( 含 樹 狀 圖 ) 1 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 (1) 建 立 半 導 體 設 備 本 土 供 應 鏈 體 系 (2) 推 動 半 導 體 設 備 產 業 本 土 化 平 台 (3) 輔 導 半 導 體 設 備 產 業 模 組 及 次 系 統 技 術 開 發 (4) 輔 導 計 畫 審 查 與 管 理 2 推 動 設 備 產 業 研 發 聯 盟 (1) 推 動 研 發 聯 盟 廠 商 開 發 (2) 促 成 聯 盟 與 學 研 技 術 合 作 3

9 ( 三 ) 計 畫 主 要 內 容 三 實 際 執 行 方 法 ( 一 ) 推 動 半 導 體 製 程 設 備 及 模 組 本 土 化 之 實 施 方 法 說 明 1. 建 立 半 導 體 設 備 本 土 化 供 應 鏈 體 系 (1) 配 合 使 用 端 需 求, 掃 描 篩 選 出 具 潛 力 之 產 品, 解 析 其 模 組 及 零 組 件 1 依 企 業 經 營 理 念 企 業 營 運 目 標 及 顧 客 需 求, 尋 求 使 用 端 協 助 與 合 作 2 如 使 用 端 有 配 合 意 願, 由 執 行 單 位 協 助, 共 同 定 義 其 對 供 應 鏈 體 系 管 理 需 求 3 依 使 用 端 的 管 理 需 求, 進 行 供 應 端 產 品 掃 描, 篩 選 具 潛 力 產 品 深 入 解 析 其 模 組 與 零 組 件 (2) 分 析 國 內 具 潛 力 製 造 商, 建 立 使 用 端 所 需 之 供 應 鏈 體 系 1 依 使 用 端 廠 商 供 應 鏈 體 系 的 管 理 需 求, 深 入 分 析 目 前 供 應 鏈 資 料 庫 中 的 資 訊 2 專 案 拜 訪 使 用 端 業 者, 篩 選 有 合 作 意 願 之 使 用 端 廠 商, 並 就 4

10 其 所 提 供 之 現 階 段 供 應 商, 進 行 管 理 分 析 及 調 查 3 金 屬 中 心 以 多 年 的 供 應 鏈 體 系 輔 導 經 驗, 建 立 平 面 顯 示 器 製 程 設 備 之 零 組 件 供 應 鏈 評 鑑 制 度 4 針 對 使 用 端 之 零 組 件 供 應 商, 金 屬 中 心 由 專 人 專 職 臨 廠 訪 查 供 應 商 的 企 業 管 理 制 度 及 發 展 目 標 ; 以 組 織 / 流 程 / 改 善 等 各 方 面 作 成 個 廠 評 估 診 斷 報 告, 並 彙 總 為 零 組 件 整 體 供 應 鏈 改 善 建 議 書, 作 為 使 用 端 廠 商 的 供 應 鏈 管 理 提 升 依 據 5 列 為 優 先 輔 導 之 提 案, 並 獲 得 使 用 端 廠 商 的 支 持, 即 可 進 行 供 應 鏈 改 善 工 作 計 畫 書 之 撰 寫, 並 配 合 本 計 畫 執 行 進 度 進 行 審 查, 通 過 後 即 可 進 行 輔 導 (3) 協 助 國 內 零 組 件 廠 商 切 入 前 段 製 程 設 備 廠 商 供 應 鏈 體 系 1 拜 訪 AKT ULVAC ASML Lam Research 等 國 際 大 廠, 說 明 本 計 畫 之 輔 導 措 施 及 策 略, 以 及 政 府 相 關 優 惠 措 施 2 推 動 外 商 在 台 發 展 技 術 門 檻 高 之 製 程 設 備 3 推 動 外 商 與 國 內 供 應 商 形 成 研 發 聯 盟 或 設 立 研 發 / 製 造 中 心 4 配 合 終 端 商 耗 材 需 求, 協 助 國 際 設 備 大 廠 ( 如 Lam Research Novellus Canon Nikon TEL 等 國 際 大 廠 ) 來 台 設 立 零 組 件 供 應 據 點 5 由 外 商 輔 以 技 術 支 援, 提 供 品 質 標 準 協 助 輔 導 國 內 設 備 與 零 組 件 製 造 商 進 行 設 備 模 組 及 次 系 統 開 發, 提 升 並 擴 大 設 備 的 供 應 能 力 6 媒 合 本 土 廠 商 使 其 進 入 外 商 的 協 力 供 應 體 系 成 為 供 應 鏈 的 成 員, 降 低 外 商 成 本 同 時 能 提 升 國 內 設 備 製 造 商 技 術 (4) 協 助 國 內 零 組 件 廠 商 切 入 後 段 製 程 設 備 廠 商 供 應 鏈 體 系 1 搭 配 工 業 局 其 他 資 源, 提 供 本 土 設 備 廠 商 協 助, 包 括 : 優 質 本 土 供 應 商 支 援 專 業 維 修 人 才 政 策 資 源 協 助 等 2 配 合 終 端 商 耗 材 需 求, 協 助 國 內 設 備 及 零 組 件 廠 商 進 行 技 術 5

11 開 發 及 品 質 驗 證 3 舉 辦 技 術 媒 合 商 談 會, 增 加 終 端 商 設 備 商 與 零 組 件 廠 商 之 技 術 交 流, 促 成 合 作 機 會 2. 推 動 半 導 體 設 備 產 業 本 土 化 平 台 (1) 建 置 半 導 體 設 備 廠 之 零 組 件 使 用 規 範, 協 助 國 內 廠 商 進 行 功 能 測 試, 進 而 提 升 國 內 零 組 件 之 自 給 率 1 取 得 半 導 體 廠 商 及 設 備 廠 的 支 持, 提 供 耗 材 或 模 組 品 質 規 範, 以 協 助 製 程 設 備 廠 進 行 零 組 件 品 質 測 試 2 配 合 國 際 半 導 體 設 備 及 材 料 協 會, 蒐 集 設 備 技 術 資 訊, 建 立 半 導 體 製 程 設 備 之 零 組 件 品 質 資 料 庫 (2) 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 1 半 導 體 產 業 動 態 監 測 即 時 回 應, 定 期 彙 整 資 料 對 外 公 佈, 以 次 級 資 料 之 蒐 集 與 分 析 為 主, 包 括 : 國 內 外 相 關 產 業 研 究 資 料 庫 與 報 告 期 刊 公 協 學 會 新 聞 資 料 庫 各 公 司 網 站 等 2 定 期 半 導 體 產 業 觀 察 與 現 況 解 析 互 動 關 係 概 況 調 查 及 掌 握 國 內 設 備 及 耗 材 零 組 件 自 給 率 狀 況, 採 資 料 蒐 集 彙 整 與 分 析 方 式 進 行, 其 中 資 料 蒐 集 以 初 級 資 料 為 主 次 級 資 料 為 輔 3 建 立 半 導 體 產 業 初 級 資 料 庫, 以 問 卷 郵 寄 與 電 話 訪 問 做 抽 樣 調 查, 並 親 訪 國 內 重 要 半 導 體 製 造 廠 與 相 關 設 備 零 組 件 製 造 商, 安 排 與 該 產 業 同 業 上 下 游 及 同 公 司 但 不 同 階 層 人 員 做 訪 談, 進 行 資 料 交 叉 檢 定 以 掌 握 資 訊 正 確 性 4 建 立 半 導 體 產 業 次 級 資 料 庫, 以 定 期 檢 索 政 府 統 計 資 料 國 內 外 相 關 期 刊 公 協 學 會 新 聞 資 料 庫 重 要 研 究 機 構 所 出 版 之 報 告 等 方 式 進 行 蒐 集 5 透 過 參 與 國 內 相 關 之 研 討 會 論 壇 座 談 會 與 展 覽, 甚 至 具 指 標 性 之 國 際 半 導 體 設 備 展 覽 等, 以 獲 取 產 業 情 報, 內 容 包 6

12 括 客 戶 關 係 市 場 需 求 產 品 趨 勢 技 術 競 爭 行 銷 策 略 等 6 解 析 產 業 現 況 技 術 需 求 人 才 需 求 分 析 問 題 所 在 及 發 展 瓶 頸, 以 擬 定 或 修 正 適 當 的 輔 導 措 施 (3) 辦 理 半 導 體 製 程 及 設 備 技 術 交 流 會 1 研 討 會 政 策 性 指 示 辦 理 者 不 收 取 自 籌 款, 辦 理 半 天 者 由 計 畫 決 定 是 否 收 取 自 籌 款, 辦 理 1 天 ( 含 1 天 ) 以 上 者 每 日 至 少 收 取 自 籌 款 新 台 幣 500 元 2 依 據 計 畫 屬 性, 舉 辦 半 導 體 相 關 技 術 交 流 座 談 會, 透 過 各 界 專 家 經 驗 交 流, 提 升 設 備 產 業 技 術 深 度 及 廣 度 ; 同 時, 廣 宣 計 畫 成 果, 促 成 產 業 界 上 下 游 合 作 商 機 3 利 用 現 有 網 路 平 台, 提 供 計 畫 輔 導 產 品 本 土 供 應 鏈 現 況 產 業 資 訊 等, 提 供 國 內 廠 商 資 訊 交 流 (4) 整 合 學 研 量 能, 進 行 設 備 應 用 技 術 研 究, 提 升 產 品 加 工 獲 利 1 結 合 相 關 學 界 研 發 能 量, 針 對 製 程 技 術 應 用 進 行 研 究, 以 強 化 設 備 開 發 2 成 立 審 查 委 員 會, 名 單 包 含 : 金 屬 中 心 半 導 體 晶 圓 製 程 廠 商 半 導 體 封 測 製 程 廠 商 之 代 表 3 擬 定 提 案 審 查 辦 法, 如 下 圖 示 7

13 * 收 件 : 推 動 辦 公 室 收 件 * 任 務 : 構 想 書 格 式 經 費 編 列 進 行 資 格 審 查 計 畫 申 請 * 審 查 委 員 會 初 審 初 審 工 業 局 核 報 簽 約 計 畫 執 行 * 完 成 期 末 執 行 成 果 技 術 報 告 ㄧ 份 * 完 成 國 內 ( 外 ) 論 文 投 稿 一 篇 * 尋 求 業 界 BETA TEST 廠 商 驗 證 測 試 結 案 成 果 發 表 8

14 (5) 舉 辦 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 及 成 果 發 表 會 1 依 年 度 產 業 資 訊 技 術 輔 導 及 供 應 鏈 服 務 之 最 終 成 果, 進 行 公 開 之 成 果 發 表, 並 配 合 輔 導 廠 商 進 行 產 品 展 示 2 舉 辦 半 導 體 相 關 技 術 媒 合 交 流 商 談 會, 透 過 終 端 商 設 備 商 及 零 組 件 商 面 對 面 交 流, 促 成 產 業 界 上 下 游 合 作 商 機 (6) 配 合 本 局 其 他 交 辦 事 項 依 局 內 業 務 範 圍, 協 助 進 行 推 動 及 辦 理 3. 輔 導 計 畫 審 查 與 管 理 (1) 為 引 導 國 內 業 者 投 入 半 導 體 製 程 設 備 模 組 及 次 系 統 開 發, 擬 訂 半 導 體 製 程 設 備 模 組 及 次 系 統 技 術 輔 導 申 請 辦 法 ( 流 程 如 下 圖 所 示 ) 法 人 輔 導 單 位 及 廠 商 工 研 院 - 機 械 所 精 機 中 心 金 屬 中 心 計 畫 辦 公 室 計 畫 申 請 資 格 審 查 不 通 過 退 回 技 審 委 員 會 通 過 計 畫 審 查 不 通 過 通 過 推 動 委 員 會 修 正 計 畫 複 審 計 畫 變 更 通 過 簽 約 工 作 報 告 查 訪 成 果 發 表 計 畫 結 案 9

15 (2) 根 據 產 品 需 求 的 不 同, 搭 配 法 人 之 技 術 量 能, 協 助 國 內 模 組 及 零 組 件 廠 商 進 行 技 術 輔 導, 輔 導 方 式 為 由 法 人 擬 定 相 關 輔 導 計 畫 提 交 專 案 辦 公 室 及 國 產 化 推 動 委 員 會 審 查, 視 該 案 實 際 需 求 情 況 決 定 政 府 補 助 金 額, 以 不 超 過 200 萬 元 為 原 則 (3) 於 計 畫 內 設 置 半 導 體 製 程 設 備 模 組 及 次 系 統 技 術 輔 導 審 議 委 員 會, 遴 聘 國 內 專 家 及 學 者 擔 任 委 員 執 行 半 導 體 製 程 設 備 及 零 組 件 開 發 審 核 及 成 果 (4) 採 公 開 方 式 擬 定 計 畫 書 向 本 計 畫 執 行 單 位 提 出 申 請 (5) 計 畫 管 理 與 計 畫 成 果 追 蹤 (6) 工 作 協 調 及 進 度 掌 握 (7) 設 備 模 組 及 次 系 統 技 術 資 料 收 集 分 析 4. 半 導 體 設 備 產 業 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 輔 導 實 施 方 法 說 明 (1) 廠 商 自 籌 款 比 例 至 少 30%, 如 有 特 殊 情 況 者, 可 另 案 簽 核, 自 籌 款 須 全 數 使 用 於 該 工 作 項 目 不 得 移 作 他 用 過 去 連 續 2 年 接 受 本 局 補 助 或 輔 導 之 廠 商, 如 第 3 年 再 度 獲 得 本 局 補 助 或 輔 導 時, 其 自 籌 款 比 例 應 提 高 至 40% 以 上 (2) 技 術 輔 導 半 導 體 製 程 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 開 發 及 品 質 驗 證, 並 配 合 半 導 體 終 端 廠 商 設 備 廠 商 需 求 進 行 模 組 及 系 統 開 發 及 品 質 驗 證 ( 工 作 流 程 如 下 圖 所 示 ) (3) 確 認 輔 導 廠 商 之 產 品 開 發 項 目 是 否 符 合 現 階 段 或 未 來 市 場 規 格, 並 考 量 開 發 項 目 與 終 端 使 用 者 之 間 的 關 鍵 性 與 需 求 性, 各 執 行 單 位 於 評 估 後 提 出 輔 導 需 求 及 構 想 書 (4) 就 技 術 可 行 性 產 品 檢 測 驗 證 方 法 與 市 場 需 求 進 行 分 析, 確 定 需 求 與 可 行 後 擬 定 輔 導 計 畫, 確 認 產 品 開 發 規 格, 並 參 與 產 品 設 計 (5) 針 對 不 同 屬 性 的 輔 導 案 進 行 必 要 的 設 計 與 分 析 工 作 設 計 部 分 10

16 利 用 電 腦 輔 助 工 程 分 析 技 術 整 合 應 用, 確 保 最 佳 化 結 構 與 製 程 方 案 機 構 部 份 以 電 腦 輔 助 設 計 確 認 運 動 軌 跡, 並 計 算 動 力 學 模 式 確 保 結 構 動 力 之 充 足 與 控 制 方 法 之 正 確 性 系 統 整 合 部 分 應 依 循 半 導 體 光 電 設 備 相 關 規 範 進 行 網 路 通 訊 軟 體 撰 寫 (6) 運 用 機 械 設 計, 電 控 設 計 與 各 種 製 程 ( 成 型 加 工 銲 接 處 理 等 ) 與 實 驗 設 計 方 法, 與 合 作 廠 商 人 員 同 步 進 行 開 發 案 必 要 時 進 行 原 型 件 製 作 (7) 關 鍵 模 組 進 行 性 能 規 格 測 試 及 尺 寸 精 度 檢 測 (8) 產 品 性 能 分 析, 製 作 流 程 設 計 試 製 後 與 其 他 零 組 件 組 合 性 能 測, 試 測 試 結 果 回 饋 修 正 及 試 量 生 產 技 術 建 立 (9) 完 成 開 發 及 試 量 產, 對 合 作 廠 商 人 員 進 行 教 育 課 程 與 技 術 移 轉 (10) 彙 整 結 案 報 告 11

17 技 術 應 用 載 具 分 析 廠 商 提 出 輔 導 申 請 建 議 其 他 輔 導 方 式 NO 符 合 計 畫 輔 導 宗 旨 YES 技 術 與 市 場 需 求 分 析 擬 定 輔 導 計 畫 確 認 產 品 開 發 規 格 實 驗 與 電 腦 輔 助 分 析 實 驗 設 備 設 定 材 料 準 備 與 處 理 製 程 設 計 與 參 數 規 劃 NO 實 驗 進 行 YES 性 能 分 析 NO YES 完 成 開 發 工 作 流 程 圖 12

18 ( 二 ) 建 構 產 業 研 發 聯 盟 之 實 施 方 法 說 明 研 發 補 助 計 畫 主 導 性 新 產 品 業 界 科 專 SBIR 產 聯 盟 運 作 學 研 半 導 體 終 端 使 用 者 需 求 盟 主 半 導 體 關 鍵 設 備 製 造 廠 次 系 統 製 造 廠 A1,A2,A3 An 半 導 體 產 銷 服 務 平 台 封 測 製 造 廠 B1,B2,B3 Bn 零 組 件 製 造 廠 C1,C2,C3 Cn 材 料 製 造 廠 D1,D2,D3 Dn 技 術 輔 導 計 畫 設 備 供 應 鏈 解 析 產 業 資 訊 提 供 產 品 行 銷 媒 合 網 路 交 流 平 台 專 利 資 訊 服 務 提 供 展 覽 服 務 產 品 驗 證 服 務 (1) 協 助 研 發 聯 盟 規 劃 並 提 出 計 畫 案 開 發 結 合 聯 盟 廠 商 之 設 備 模 組 或 次 系 統 需 求, 搭 配 法 人 研 發 量 能 進 行 技 術 輔 導 及 提 出 整 合 型 開 發 計 畫, 期 能 協 助 廠 商 達 成 前 段 設 備 模 組 及 後 端 設 備 整 機 之 本 土 化 目 標 本 計 畫 已 形 成 之 聯 盟 如 下 : 13

19 (2) 推 動 新 設 研 發 聯 盟 1 以 終 端 使 用 廠 ( 半 導 體 廠 商 ) 為 盟 主, 與 製 程 設 備 製 造 廠 商 共 同 籌 組 研 發 聯 盟 End User 中 心 廠 設 備 製 造 廠 A 1 廠 商 設 備 製 造 廠 A 2 廠 商 設 備 製 造 廠 A 3 廠 商... 設 備 製 造 廠 A n 廠 商 2 以 關 鍵 設 備 製 造 廠 商 為 盟 主, 與 次 系 統 模 組 零 組 件 或 材 料 等 製 造 業 者 及 終 端 使 用 廠 共 同 籌 組 研 發 聯 盟 次 系 統 製 造 廠 A1, A2, A3 An 關 鍵 設 備 製 造 廠 模 組 製 造 廠 B1, B2,B3 Bn 材 料 製 造 廠 D1, D2, D3 Dn 零 組 件 製 造 廠 C1, C2, C3 Cn (4) 運 作 方 式 A. 形 成 階 段 : 提 供 產 業 資 訊 及 專 利 訊 息 交 流 平 台, 協 助 業 者 群 聚 討 論 產 業 研 發 動 態, 凝 聚 研 發 聯 盟 業 者 1 媒 體 公 告 及 召 開 說 明 會 方 式 讓 業 界 了 解 推 動 措 施 對 象 為 半 導 體 廠 商 及 設 備 零 組 件 模 組 與 次 系 統 開 發 廠 商 等 2 專 案 拜 訪 半 導 體 相 關 業 者, 協 助 設 備 零 組 件 等 業 者, 了 解 半 導 體 廠 商 需 求 3 藉 由 中 心 廠 與 設 備 / 零 組 件 製 造 業 者 訊 息 交 流 互 動, 篩 選 出 具 市 場 潛 力 之 設 備 零 組 件 及 耗 材 B. 籌 組 階 段 : 篩 選 研 發 主 題, 促 成 業 者 形 成 研 發 聯 盟 14

20 1 透 過 社 群 研 討 模 式, 凝 聚 產 業 技 術 發 展 主 軸 2 依 不 同 技 術 發 展 屬 性 形 成 子 社 群, 並 協 助 成 員 推 舉 子 社 群 主 導 公 司 3 協 助 主 導 公 司 與 社 群 成 員 形 成 技 術 研 發 討 論 群 組, 討 論 共 同 研 發 運 作 模 式 研 發 成 果 分 享 經 費 支 出 分 配 研 發 項 目 分 工 等 事 宜, 並 評 估 形 成 研 發 聯 盟 之 風 險 與 解 決 之 道 4 整 合 聯 盟 技 術 量 能, 並 協 助 聯 盟 會 員 通 過 使 用 端 驗 證 流 程 5 媒 合 聯 盟 會 員 產 品, 進 入 使 用 端 廠 商 C. 運 作 階 段 : 整 合 聯 盟 成 員 技 術 量 能, 協 助 聯 盟 成 員 申 請 政 府 科 技 計 畫 補 助 資 源, 舊 有 聯 盟 規 劃 如 下 圖 1 協 助 主 導 公 司 篩 選 適 當 之 研 發 載 具, 並 協 調 聯 盟 成 員 或 是 具 潛 力 之 廠 商, 與 主 導 公 司 進 行 上 中 下 游 同 步 研 發 2 結 合 本 土 化 技 術 輔 導 案, 協 助 聯 盟 成 員 開 發 關 鍵 性 零 組 件 3 協 助 聯 盟 成 員 提 出 整 合 性 計 畫 申 請, 爭 取 主 導 性 新 產 品 計 畫 業 界 科 專 或 SBIR 等 政 府 研 發 經 費 補 助 資 源 15

21 四 計 畫 經 費 與 人 力 執 行 情 形 ( 一 ) 計 畫 經 費 執 行 情 形 千 元 項 目 簽 約 數 結 報 數 繳 庫 數 保 留 數 備 註 政 府 廠 商 委 辦 費 補 助 款 代 管 補 助 款 41, , 自 籌 款 補 助 計 畫 自 7, , 籌 款 ( 二 ) 經 資 門 經 費 表 千 元 項 目 會 計 科 目 一 經 常 支 出 1. 人 事 費 2. 業 務 費 3. 差 旅 費 4. 管 理 費 5. 營 業 稅 6. 公 費 小 計 二 資 本 支 出 三 代 管 補 助 款 小 計 金 額 合 計 占 總 經 費 % 主 管 機 關 預 算 ( 委 託 補 助 ) 6, (6, ) 24, (30, ) 7, ( ) 2, (2, ) 0 (0) ( ) 41, (41, ) 0 (0) 0 (0) 0 (0) 41, (41, ) (80.15) 簽 約 數 / ( 執 行 數 ) 自 籌 款 合 計 金 額 ( 元 ) 占 總 經 費 % 1, (1, ) 7, (7, ) 5,089,664 29, (6, ) (37, ) , (25.493) (1, ) , (1, ) (4, ) ( ) ( ) (0) ( ) 7, , (10, ) (51, ) 0 0 (0) (0) 0 0 (0) (0) 0 0 (0) (0) 7, , (10, ) (51, ) (19.85) (100) (15.35) (72.33) (1.96) 7.60 (7.98) 0.76 (0.95) 1.50 (1.43) 100 (100) 0 (0) 0 (0) 0 (0) 100 (100) 備 註 16

22 ( 三 ) 經 費 與 原 計 畫 規 劃 差 異 說 明 : 本 計 畫 簽 約 數 為 41,051 千 元, 實 際 執 行 數 為 41,051 千 元, 無 差 異 ( 四 ) 撥 款 進 度 已 撥 款 期 數 撥 款 日 期 已 撥 款 項 ( 千 元 ) 差 異 說 明 1 3/11 6,000 無 2 6/24 12,472 無 3 10/2 12,000 無 ( 五 ) 計 畫 人 力 計 畫 名 稱 執 行 總 人 力 情 形 ( 人 月 ) 研 究 員 級 副 研 究 員 級 助 理 研 究 員 級 研 究 員 助 理 級 原 訂 實 際 差 異 ( 六 ) 主 要 人 力 投 入 情 形 ( 副 研 究 員 級 以 上 ) 姓 名 計 畫 職 稱 投 入 主 要 工 作 及 人 月 數 學 經 歷 及 專 長 學 歷 碩 士 吳 春 森 研 究 員 3 鄭 永 茂 研 究 員 8 曾 坤 三 研 究 員 1 殷 啟 勝 研 究 員 4 邱 振 璋 研 究 員 3 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 金 屬 中 心 年 資 31 年 表 面 處 理 銲 接 學 士 金 屬 中 心 年 資 18 年 機 械 工 程 分 析 碩 士 金 屬 中 心 年 資 18 年 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 22 年 精 密 鑄 造 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 運 動 控 制 系 統 整 合 張 成 仲 研 究 員 4 學 歷 碩 士 17

23 蔡 政 哲 副 研 究 員 5 張 浩 庭 副 研 究 員 1 陳 韋 仁 副 研 究 員 10 張 光 寒 副 研 究 員 3 楊 志 勝 副 研 究 員 2 蔡 昕 燁 副 研 究 員 4 曾 季 清 副 研 究 員 3 陳 怡 臻 副 研 究 員 1 劉 懿 修 副 研 究 員 3 謝 余 松 副 研 究 員 0.5 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 金 屬 中 心 年 資 16 年 控 制 程 式 設 計 機 器 視 覺 整 合 碩 士 金 屬 中 心 年 資 7 年 視 覺 定 位 系 統 規 劃 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 6 年 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 6 年 機 械 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 10.9 年 自 動 化 系 統 製 程 整 合 監 控 系 統 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 5.8 年 機 電 系 統 整 合 規 劃 與 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 4 年 機 電 系 統 整 合 規 劃 與 設 計 碩 士 金 屬 中 心 年 資 19 年 機 械 設 計 材 質 分 析 碩 士 金 屬 中 心 年 資 14 年 計 畫 管 理 碩 士 金 屬 中 心 年 資 8 年 光 學 檢 測 程 式 介 面 開 發 楊 思 華 副 研 究 員 1 學 歷 碩 士 18

24 楊 育 彬 副 研 究 員 6 鍾 逸 駿 副 研 究 員 1 秦 懷 山 副 研 究 員 1 孫 嘉 鴻 副 研 究 員 1 張 益 三 副 研 究 員 0.5 許 哲 彰 副 研 究 員 1 翁 敏 航 副 研 究 員 0.5 李 宗 信 副 研 究 員 0.5 陳 佳 麟 副 研 究 員 2 陳 慧 娟 副 研 究 員 8 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 金 屬 中 心 年 資 4.5 年 自 動 控 制 與 系 統 整 合 碩 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 機 械 設 計 加 工 製 作 碩 士 金 屬 中 心 年 資 9.1 年 機 械 設 計 加 工 製 作 碩 士 金 屬 中 心 年 資 9 年 薄 膜 工 程 半 導 體 製 程 碩 士 金 屬 中 心 年 資 9 年 面 板 製 程 雷 射 加 工 半 導 體 製 程 博 士 金 屬 中 心 年 資 7 年 電 子 封 裝 製 程 機 電 整 合 碩 士 金 屬 中 心 年 資 5 年 Shadow moire 量 測 機 電 整 合 博 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 光 電 半 導 體 製 程 設 備 博 士 金 屬 中 心 年 資 3.4 年 薄 膜 成 長 與 特 性 分 析 碩 士 金 屬 中 心 年 資 6 年 材 料 科 技 碩 士 金 屬 中 心 年 資 13 年 產 業 分 析 孫 銘 琨 副 研 究 員 2 學 歷 碩 士 19

25 許 理 媖 副 研 究 員 2 經 歷 專 長 學 歷 經 歷 專 長 金 屬 中 心 年 資 5.2 年 光 電 半 導 體 製 程 設 備 碩 士 金 屬 中 心 年 資 8.6 年 計 畫 管 理 ( 七 ) 人 力 與 原 計 畫 規 劃 差 異 說 明 : 本 計 畫 與 原 規 劃 人 力 無 差 異 20

26 五 計 畫 已 獲 得 之 主 要 成 果 與 重 大 突 破 ( 含 量 化 成 果 output) ( 一 ) 本 計 畫 重 要 之 成 果 說 明 計 畫 工 作 項 目 預 定 成 果 重 要 成 果 達 成 情 形 推 動 半 導 體 製 程 設 備 及 模 組 本 土 化 (1) 協 助 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 整 機 設 備 進 口 替 代 1 案 ( 含 ) 以 上 (2) 促 成 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 耗 材 零 組 件 進 口 替 代 4 案 ( 含 ) 以 上 (3) 協 助 新 增 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 應 鏈 體 系 2 案 ( 含 ) 以 上 (4) 建 立 半 導 體 設 備 廠 之 零 組 件 使 用 規 範 10 案 ( 含 ) 以 上 (5) 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 產 業 資 訊 及 廠 商 名 錄 各 1 份 (6) 完 成 產 學 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上, 培 訓 在 學 學 生 2 人 ( 含 ) 以 上 (7) 國 內 技 轉 案 2 案 ( 含 ) 以 上 (8) 完 成 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 1 場 ( 含 ) 以 上 辦 理 排 半 導 體 設 備 與 零 組 件 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 並 促 成 30 家 業 者 ( 含 ) 以 上 參 與 辦 理 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上 (9) 完 成 輔 導 半 導 體 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 輔 導 開 發 案 9 案 ( 含 ) 以 上 (10) 預 計 增 加 產 值 270,000 千 元 ( 含 ) 以 上 直 接 降 低 生 產 成 本 90,000 千 元 ( 含 ) 以 上 及 直 接 促 進 投 資 90,000 千 元 ( 含 ) 以 上 (11) 協 助 增 加 國 內 就 業 人 口 72 人 次 ( 含 ) 以 上 (1) 推 動 日 商 WAIDA( 和 井 田 ) 公 司 與 台 廠 友 嘉 半 導 體 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 之 晶 圓 植 球 機 (2)a. 推 動 日 商 DISCO( 迪 斯 科 高 ) 公 司 研 磨 設 備 之 鑽 石 磨 輪 研 磨 環 與 台 廠 中 國 砂 輪 京 鼎 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 共 2 案 b. 推 動 日 商 TAKAKI( 高 木 公 司 ) 與 台 廠 進 期 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 曝 光 移 載 平 台 晶 圓 承 載 盤 共 2 案 (3) 媒 合 國 內 廠 商 漢 泰 元 鐙 奈 晶 千 附 進 期 柏 夫 等 公 司 分 別 切 入 ASML 及 AMAT 共 2 案 外 商 之 零 組 件 供 應 鏈 (4) 完 成 終 端 廠 製 程 設 備 之 耗 材 零 組 件 使 用 規 範 資 料 共 10 筆 (5) 完 成 Y102 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 報 告 1 份 及 18 類 半 導 體 設 備 共 77 間 廠 商 名 錄 1 份 (6) 完 成 崑 山 科 大 與 馗 鼎 奈 米 公 司 之 產 學 合 作 計 畫 1 案, 並 培 訓 3 位 學 生 投 入 研 究 計 畫 (7) 推 動 量 測 中 心 及 儀 科 中 心 技 轉 化 學 溶 液 瑕 疵 檢 測 技 術 及 高 精 度 石 英 光 學 積 分 器 技 術 予 國 內 廠 商 共 3 案 (8) 完 成 1 場 3DIC 設 備 技 術 研 討 會 4 場 媒 合 商 談 會 71 家 廠 商 參 與 及 1 場 成 果 發 表 會 (9) 完 成 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 共 10 案 次 合 計 廠 商 自 籌 款 9,850 仟 元 (10) 預 估 輔 導 案 期 末 可 增 加 半 導 體 設 備 產 業 增 加 產 值 10.6 億 元 促 成 廠 商 投 資 1.5 億 元, 降 低 半 導 體 產 業 廠 商 成 本 4.8 億 元 (11) 預 估 期 末 可 增 加 國 內 就 業 人 口 達 88 人 21

27 推 動 產 業 研 發 聯 盟 (1) 推 動 已 成 立 之 設 備 研 發 聯 盟 提 出 設 備 開 發 計 畫 申 請 2 案 ( 含 ) 以 上 (2) 促 成 聯 盟 與 學 研 技 術 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上 (1) 完 成 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 及 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 2 項 SBIR 開 發 計 畫 申 請 (2) 完 成 聯 盟 廠 商 與 台 大 光 電 工 程 研 究 進 行 全 光 通 量 測 技 術 研 究 交 大 機 械 系 進 行 光 阻 塗 佈 模 擬 研 究 學 研 技 術 合 作 共 2 案 產 學 合 作 單 位 崑 山 科 技 大 學 馗 鼎 奈 米 科 技 1 學 術 成 就 為 強 化 學 界 與 產 業 界 連 結, 並 解 決 供 應 鏈 技 術 缺 口 問 題, 以 終 端 廠 所 需 之 設 備 技 術 促 成 產 學 合 作, 藉 由 學 界 力 量 加 深 研 究 範 疇 本 年 度 共 執 行 1 案 產 學 合 作 研 究 計 畫 如 下 表, 並 檢 附 開 發 廠 商 合 作 意 願 書 ( 如 附 件 四 ) 執 行 計 畫 2 技 術 創 新 IC 封 裝 模 具 表 面 抗 沾 黏 鍍 膜 製 程 研 究 關 鍵 技 術 (1) 辦 理 1 場 半 導 體 設 備 技 術 研 討 會 a. 研 討 會 名 稱 :3DIC 設 備 技 術 發 展 研 討 會 b. 時 間 :102 年 6 月 26 日 c. 地 點 : 竹 科 科 技 生 活 館 2F 愛 因 斯 坦 廳 d. 參 加 人 數 :94 人 採 用 物 理 氣 象 沉 積 (Physical Vapor Deposition, 簡 稱 PVD) 的 濺 鍍 技 術, 發 展 Zr 中 界 層 的 陶 瓷 硬 膜 設 計 是 本 研 究 重 點, 藉 由 Zr 與 基 材 作 為 中 界 層 再 做 第 二 層 陶 瓷 ZrN 的 沈 積, 其 性 質 可 以 達 到 互 補 或 加 強 與 基 材 附 著 作 用, 因 ZrN 的 鍍 層 機 械 性 質 優 異 及 Zr 增 加 鍍 膜 與 底 材 的 附 著 力, 可 有 效 降 低 鍍 膜 之 內 應 力, 以 獲 得 鍍 膜 組 織 較 高 密 度, 提 升 機 械 性 質, 是 本 項 研 究 的 重 要 關 鍵 技 術 e. 研 討 會 內 容 摘 要 : 近 來 3DIC 技 術 在 半 導 體 產 業 上 十 分 受 到 矚 目, 本 研 討 會 邀 集 業 界 先 進 與 會 共 同 討 論, 台 灣 應 該 如 何 因 應 此 趨 勢 及 切 入 才 能 提 升 產 業 競 爭 優 勢 22

28 時 間 議 題 內 容 主 講 人 13:40~14:20 3DIC 關 鍵 技 術 介 紹 淺 談 3DIC TEMPORARY 14:20~15:00 BONDER 相 關 設 備 技 術 Just Good Enough: Low 15:20~16:00 Cost 3DIC PVD 交 通 大 學 電 子 工 程 系 陳 冠 能 教 授 志 聖 工 業 股 份 有 限 公 司 楊 敬 明 經 理 力 鼎 精 密 股 份 有 限 公 司 劉 明 暉 執 行 副 總 經 理 (2) 完 成 1 場 計 畫 成 果 發 表 會 a. 成 果 發 表 會 主 題 : 工 業 局 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 擴 大 成 果 展 b. 時 間 :102 年 9 月 4 日 至 9 月 6 日 c. 地 點 : 台 北 南 港 展 覽 館 4F d. 內 容 摘 要 : SEMICON Taiwan 國 際 半 導 體 展 做 為 與 半 導 體 產 業 交 流 的 最 佳 平 台, 展 覽 主 軸 分 為 3D IC 構 裝 與 基 板 MEMS 微 系 統 綠 色 製 程 以 及 精 密 機 械 等 產 業 議 題, 同 時 匯 集 世 界 頂 尖 半 導 體 科 技 廠 商 參 與, 因 此 今 年 度 半 導 體 計 畫 成 果 展 特 地 參 加 展 覽, 展 出 內 容 主 要 分 為 (1) 實 品 及 影 片 展 示 (2) 新 技 術 / 產 品 發 表 會 二 部 份, 吸 引 如 台 積 電 聯 電 日 月 光 矽 品 銀 泰 科 技 榮 升 益 和 科 技 揚 博 科 技 台 灣 玻 封 瀚 軒 矽 菱 英 商 全 球 科 技 薪 宇 科 技 元 稼 等 業 者 蒞 臨 參 與 23

29 (3) 辦 理 4 場 產 業 媒 合 活 動, 共 安 排 71 家 次 台 灣 設 備 零 組 件 業 者 與 12 間 國 內 外 潛 力 買 主 ( 台 積 電 聯 電 Toshiba 日 本 suzuki 商 社 六 甲 電 子... 等 ) 進 行 商 談 媒 合 辦 理 時 間 會 議 名 稱 潛 力 買 主 媒 合 廠 商 102/09/04 一 對 一 採 購 洽 談 1 Toshiba 1 佑 邦 科 技 2 建 泓 科 技 2 聯 華 電 子 3 漢 鐘 精 機 3 ( 株 )スズキ 4 台 灣 向 大 5 廣 運 機 械 4 ( 株 )ホックス 6 友 嘉 科 技 7 齊 璣 科 技 5 ( 株 ) 大 川 金 型 設 計 事 務 所 8 三 好 科 技 9 均 碩 精 密 6 ( 株 )デンケン 10 中 國 砂 輪 11 華 順 科 技 102/09/05 台 日 交 流 商 談 會 7 8 大 分 精 密 工 業 ( 株 ) 柳 井 電 機 工 業 ( 株 ) 12 帆 宣 系 統 13 元 捷 應 用 材 料 14 揚 朋 科 技 9 タカキ 製 作 所 ( 株 ) 10 エスティケイ テクノロジー ( 株 ) 11 六 甲 電 子 ( 株 ) 15 一 寶 實 達 有 限 公 司 16 沅 進 工 業 有 限 公 司 102/09/05 台 積 電 採 購 說 明 會 12 台 灣 積 體 電 路 中 勤 實 業 股 份 有 限 公 司 元 稼 企 業 有 限 公 司 18 佳 宸 科 技 20 佳 霖 科 技 21 世 恩 科 技 有 限 公 司 22 奇 裕 企 業 24

30 台 銨 科 技 股 份 有 限 公 司 台 灣 日 立 化 成 國 際 股 份 有 限 公 司 台 灣 派 克 漢 尼 汾 股 份 有 限 公 司 亦 立 科 技 有 限 公 司 24 祐 邦 科 技 通 又 順 氣 動 馬 達 製 造 有 限 公 司 復 華 機 械 股 份 有 限 公 司 華 谷 電 機 股 份 有 限 公 司 31 兆 勗 企 業 有 限 公 司 32 雅 森 科 技 股 份 有 限 公 司 33 全 球 傳 動 科 技 股 份 有 限 公 司 34 雄 牧 企 業 有 限 公 司 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 宏 屹 企 業 股 份 有 限 公 司 聯 亞 國 際 科 技 股 份 有 限 公 司 邁 斯 精 密 機 械 鈦 昇 科 技 股 份 有 限 公 司 煒 群 科 技 股 份 有 限 公 司 精 石 精 密 量 校 科 技 國 際 顧 問 有 限 公 司 廣 碩 系 統 股 份 有 限 公 司 43 勵 威 電 子 股 份 有 限 公 司 44 錐 光 金 屬 股 份 有 限 公 司 45 鴻 騏 欣 技 股 份 有 限 公 司 46 力 鼎 精 密 47 京 鼎 精 密 48 台 禹 科 機 49 凌 嘉 科 技 50 由 田 新 技 51 海 鴻 科 技 52 帆 宣 系 統 53 崇 文 科 技 102/11/08 台 灣 半 導 體 設 備 零 組 件 交 流 商 談 會 12 台 灣 積 體 電 路 54 旭 東 機 械 55 凱 樂 士 公 司 56 均 華 精 密 57 富 蘭 登 科 技 58 均 豪 精 密 59 智 勝 科 技 60 志 聖 工 業 61 愛 樹 科 技 62 沛 科 精 密 63 新 鶴 公 司 64 辛 耘 企 業 65 瑞 耘 科 技 66 京 華 石 英 67 漢 鐘 精 機 68 精 耀 科 技 69 聯 毅 科 技 25

31 70 億 力 鑫 71 耀 群 科 技 (4) 促 成 法 人 研 發 技 術 技 轉 國 內 廠 商 3 案 次 如 下 表, 協 助 國 內 廠 商 開 發 自 主 設 備 項 次 技 術 名 稱 預 定 技 轉 內 容 技 轉 單 位 技 轉 廠 商 發 展 溶 液 微 粒 監 控 之 自 動 取 樣 系 統 溶 液 微 粒 之 監 控 系 統 高 精 度 石 英 光 學 積 分 器 研 製 (1) 整 合 自 動 取 樣 系 統 於 線 上 奈 米 粒 徑 監 測 技 術, 提 供 全 域 尺 寸 分 布 監 測 之 需 求 (2) 配 合 監 測 系 統 進 行 樣 品 之 自 動 取 樣, 與 稀 釋 液 之 均 勻 混 和, 準 確 控 制 不 同 混 和 比 (1) 以 噴 霧 器 方 式 將 溶 液 中 粒 子 轉 換 成 氣 膠 粒 子, 再 以 尺 寸 分 類 的 方 式 進 行 粒 子 數 量 計 數 並 以 此 技 術 完 成 模 組 後 線 上 奈 米 粒 徑 分 佈 監 測 系 統 (2) 可 監 測 水 溶 液 中 粒 子 粒 徑 及 其 分 佈, 其 粒 徑 監 測 範 圍 為 20 nm ~ 1000 nm, 符 合 半 導 體 產 業 對 溶 液 中 粒 徑 監 測 的 需 求 (1) 透 過 光 學 鏡 片 加 工 拋 光 夾 具 與 檢 測 輔 具 檢 測 技 術 等 移 轉 予 國 內 廠 商 發 展 光 學 元 件 (2) 移 轉 光 學 元 件 拋 光 參 數 調 控 加 工 夾 具 與 檢 測 治 具 等 技 術 量 測 中 心 量 測 中 心 儀 科 中 心 耀 群 科 技 耀 群 科 技 昇 銳 材 料 科 技 (5) 結 合 使 用 端 需 求 促 成 國 內 外 廠 商 技 術 合 作, 開 發 進 口 替 代 整 機 1 案 及 零 組 件 耗 材 4 案 a. 整 機 設 備 進 口 替 代 1 案 : 推 動 日 商 和 井 田 (WAIDA) 技 術 授 權 台 廠 友 嘉 半 導 體 公 司 代 工 生 產 晶 圓 植 球 機, 供 應 予 矽 品 公 司 b. 促 成 國 內 廠 商 供 應 終 端 廠 耗 材 零 組 件 進 口 替 代 4 案 26

32 i. 鑽 石 磨 輪 : 推 動 日 商 DISCO 公 司 釋 出 鑽 石 磨 輪 規 格, 並 媒 合 中 國 砂 輪 技 術 合 作 生 產 鑽 石 磨 輪, 預 計 供 應 予 日 月 光 公 司 ii. 研 磨 環 : 推 動 日 商 DISCO 釋 出 研 磨 環 規 格, 並 媒 合 京 鼎 公 司 技 術 合 作 生 產 研 磨 環, 預 計 供 應 予 日 月 光 公 司 iii. 雷 射 打 印 設 備 移 載 平 台 : 推 動 日 商 TAKAKI 製 作 所 技 術 授 權 進 期 公 司 代 工 生 產 雷 射 打 印 設 備 移 載 平 台, 預 計 供 應 予 台 積 電 iv. 晶 圓 承 載 盤 : 推 動 日 商 TAKAKI 製 作 所 與 揚 朋 公 司 技 術 合 作, 在 台 生 產 雷 射 打 印 設 備 晶 圓 承 載 盤, 預 計 供 應 予 台 積 電 (6) 協 助 媒 合 2 案 次 國 內 廠 商 切 入 外 商 AMAT( 美 商 應 材 ) 及 ASML( 荷 商 愛 斯 摩 爾 ) 之 供 應 鏈 促 成 漢 泰 科 技 元 鐙 與 奈 晶 科 技 3 家 具 量 能 陽 極 處 理 商 與 AMAT 進 行 零 組 件 陽 極 處 理 供 應 業 務 洽 談 ; 協 助 ASML 尋 找 國 內 千 附 進 期 駐 龍 及 柏 夫 等 零 組 件 製 造 廠 商 與 其 洽 談 生 產 製 造 業 務 ( 如 附 件 七 ) (7) 完 成 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 共 10 案 次 ( 廠 商 基 本 資 料 如 附 件 五 ) 如 下 表, 廠 商 自 籌 款 合 計 9,850 千 元 序 號 計 畫 名 稱 輔 導 單 位 受 輔 導 廠 商 名 稱 1 3D IC 蝕 刻 電 漿 源 模 組 研 發 機 械 所 崇 文 科 技 股 份 有 限 公 司 2 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發 機 械 所 新 鶴 股 份 有 限 公 司 3 晶 圓 陶 瓷 靜 電 承 載 盤 開 發 計 畫 機 械 所 凱 樂 士 股 份 有 限 公 司 4 3D IC 超 薄 晶 片 之 快 速 分 離 取 放 模 組 技 術 機 械 所 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 5 CoW molding system 之 膠 體 隔 離 模 組 開 發 精 機 中 心 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 6 高 精 度 真 空 晶 圓 傳 送 機 械 手 臂 設 備 開 發 金 屬 中 心 聯 毅 科 技 股 份 有 限 公 司 7 IC Design House 專 用 之 高 低 溫 度 測 試 系 統 金 屬 中 心 穎 崴 科 技 股 份 有 限 公 司 8 永 磁 電 機 驅 動 魯 氏 真 空 泵 浦 開 發 金 屬 中 心 漢 鐘 精 機 股 份 有 限 公 司 9 電 漿 式 尾 氣 處 理 系 統 之 反 應 腔 體 開 發 金 屬 中 心 臺 禹 科 機 股 份 有 限 公 司 10 射 頻 功 率 產 生 器 模 組 開 發 金 屬 中 心 富 蘭 登 科 技 股 份 有 限 公 司 27

33 3 經 濟 效 益 (1) 協 助 國 內 半 導 體 產 業 設 備 推 動 本 土 化, 直 接 增 加 半 導 體 產 業 產 值 新 台 幣 10.6 億 元 直 接 促 成 廠 商 投 資 新 台 幣 1.5 億 元 直 接 降 低 成 本 新 台 幣 4.8 億 元, 並 帶 動 國 內 半 導 體 設 備 產 業 計 26 家 進 行 研 發 擴 產 增 資 土 地 購 置 等 投 資 計 畫, 總 計 投 資 金 額 達 新 台 幣 37.3 億 (2) 協 助 聯 盟 廠 商 完 成 設 備 開 發 計 畫 2 案 : a. 協 助 點 量 中 國 製 釉 博 美 晶 旌 暘 等 圖 案 化 基 板 設 備 研 發 聯 盟 相 關 業 者, 提 出 聯 盟 型 SBIR 計 畫 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 (a) 白 光 LED 儼 然 成 為 下 世 代 照 明 的 主 流, 世 界 各 國 除 了 持 續 追 求 逼 近 發 光 效 率 之 理 論 極 限 外, 次 世 代 LED 照 明 已 逐 漸 趨 向 高 值 化 需 求, 為 此 美 國 能 源 局 (DOE) 更 明 訂 2015 年 起 LED 燈 具 空 間 色 偏 < 200K, 色 差 < 2 SDCM(standard deviation of color matching) (b) 目 前 傳 統 螢 光 粉 點 膠 法 因 為 空 間 色 偏 大 (>1000K) 批 量 色 差 大 (>7 SDCM) 螢 光 粉 沉 降 等 問 題, 故 本 計 畫 擬 以 超 低 色 偏 之 大 面 積 螢 光 晶 片 整 合 COB 封 裝 製 程 的 創 新 構 想, 達 成 低 空 間 色 偏 (<100K) 低 成 本 ( 減 少 30%) 低 色 差 (<2 SDCM) 的 新 產 品 開 發, 優 於 美 國 DOE 2015 年 之 需 求, 有 助 於 台 灣 封 裝 廠 與 燈 具 廠 進 入 歐 美 高 階 市 場 b. 協 助 半 導 體 探 針 檢 測 設 備 研 發 聯 盟 業 者 景 美 科 技, 完 成 SBIR 計 畫 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 (a) 目 前 半 導 體 光 電 檢 測 為 單 顆 晶 粒 逐 一 檢 測, 而 未 來 將 朝 大 尺 寸 晶 圓 發 展, 其 逐 步 檢 測 之 系 統 成 本 高 且 速 度 慢, 且 需 再 提 升 光 學 特 性 檢 驗 品 質 因 此 產 業 需 大 面 積 晶 圓 級 的 快 速 自 動 化 檢 測 技 術, 且 須 達 高 解 析 之 光 學 特 性 檢 驗 標 準 及 可 靠 度, 以 提 升 產 能 品 質 及 降 低 生 產 成 本 (b) 本 聯 盟 所 研 發 的 快 速 多 通 道 複 合 檢 測 技 術 主 要 可 應 用 於 半 導 體 產 業 中 之 光 / 電 特 性 檢 測 分 類 製 程, 以 提 升 檢 測 速 度 產 能 品 質, 降 低 生 產 成 本, 使 我 國 半 導 體 產 業 更 具 世 28

34 界 競 爭 力 未 來, 本 技 術 成 熟 後 更 可 提 昇 用 於 IC 晶 圓 影 像 感 測 晶 元 等 產 品 之 檢 測 (c) 相 關 多 通 道 透 明 微 陣 列 電 極 探 針 技 術 可 應 用 於 觸 控 螢 幕 之 透 明 導 電 膜 ; 高 光 譜 解 析 度 影 像 光 譜 技 術 可 應 用 於 顯 示 產 業 之 面 板 檢 測 ; 設 備 視 覺 掃 描 定 位 技 術 可 運 用 於 晶 粒 特 徵 比 對 自 動 瑕 疵 檢 測 (3) 促 成 聯 盟 與 學 界 技 術 合 作 2 案 : a. 台 大 光 電 工 程 研 究 團 隊 參 與 半 導 體 探 針 檢 測 設 備 研 發 聯 盟 完 成 光 電 半 導 體 晶 粒 建 模 集 光 元 件 模 擬 分 析 與 設 計 優 化 (a) 本 案 針 對 未 來 多 通 道 複 合 功 能 檢 測 光 通 量 檢 測 之 需 求, 進 行 全 光 通 量 測 技 術 研 究, 利 用 光 學 設 計 理 論 及 技 術, 設 計 一 新 式 全 光 通 量 量 測 光 學 元 件, 以 降 低 微 型 化 積 分 球 所 引 入 之 量 測 誤 差, 提 升 高 功 率 光 電 半 導 體 晶 粒 量 測 之 準 確 性 與 速 度 完 成 探 針 卡 與 LED 元 件 模 型 整 合 機 構 設 計 元 件 模 型 整 合 機 構 設 計 圖 及 CPC 集 光 元 件 (b) 藉 由 本 案 之 執 行 亦 同 步 培 育 碩 士 班 學 生 一 名, 完 成 光 電 半 導 體 晶 粒 建 模 集 光 元 件 模 擬 分 析 與 設 計 優 化, 完 成 量 測 誤 差 分 析 並 回 饋 改 良 設 計, 使 全 光 通 量 收 集 大 於 70% b. 交 通 大 學 機 械 系 研 究 團 隊 參 與 圖 案 化 基 板 設 備 研 發 聯 盟, 運 用 CFD 模 擬 軟 體, 完 成 塗 佈 行 為 模 擬 (a) 本 研 究 旨 在 利 用 計 算 流 體 力 學 軟 體, 建 立 狹 縫 塗 佈 製 程 的 數 值 模 擬 方 法, 並 探 討 製 程 參 數 對 於 薄 膜 塗 佈 特 性 的 影 響, 輔 助 分 析 狹 縫 塗 佈 時 邊 緣 不 均 勻 區 的 發 生 原 因 和 特 性 (b) 首 先 透 過 實 驗 取 得 非 牛 頓 流 體 塗 料 的 流 變 特 性 和 表 面 張 力 資 料, 並 將 其 建 置 於 模 擬 軟 體 內, 進 行 數 學 模 型 的 擬 合 其 次, 建 立 三 維 狹 縫 塗 佈 製 程 模 型, 並 使 用 軟 體 內 的 Volume-of-Fluid (VOF) 及 Arbitrary Lagrangian-Eulerian (ALE) 方 法 進 行 計 算, 再 將 得 到 的 模 擬 結 果 與 實 驗 數 據 以 及 文 獻 進 行 比 較, 進 行 塗 佈 製 程 成 膜 效 果 分 析, 探 討 系 統 29

35 參 數 對 塗 層 邊 緣 不 均 勻 區 的 發 展 和 膜 寬 方 向 的 膜 厚 均 勻 性 的 影 響, 並 提 出 改 善 建 議 4 社 會 影 響 透 過 技 術 輔 導 半 導 體 產 業 廠 商 提 升 產 能 及 品 質 改 善, 並 使 廠 商 釋 出 就 業 機 會, 增 加 就 業 人 數 75 人 5 非 研 究 類 成 就 本 案 本 項 無 6 其 他 效 益 (1) 完 成 彙 整 終 端 使 用 廠 所 需 之 耗 材 零 組 件 品 質 使 用 規 範 共 10 案, 包 括 :IC 製 程 之 化 學 機 械 研 磨 模 組 晶 圓 雷 射 切 割 設 備 CMP 晶 圓 定 位 研 磨 卡 環 爐 管 用 改 良 式 磁 流 體 軸 承 真 空 引 入 模 組 機 械 手 臂 用 之 減 速 機 模 組 陶 瓷 晶 圓 加 熱 器 6 片 式 晶 圓 加 熱 盤 CMP 製 程 之 研 磨 盤 曝 光 機 精 密 對 位 模 組 等 終 端 需 求 產 品 30

36 說 明 終 端 使 用 者 需 求 規 格 項 目 化 學 機 械 研 磨 模 組 1. 重 複 定 位 精 度 X,Y,Z 軸 : 3. 有 效 行 程 125mm ±0.001 mmr 軸 :± 無 塵 等 級 傳 送 裝 置 壽 6 年 晶 圓 雷 射 切 割 設 備 CMP 晶 圓 定 位 研 磨 卡 環 爐 管 用 改 良 式 磁 流 體 軸 承 真 空 設 備 之 真 空 引 入 模 組 機 械 手 臂 用 之 減 速 機 模 組 1. 最 大 適 用 晶 片 直 徑 :300mm. 2.X 軸 可 切 割 範 圍 :310mm 3.X 軸 最 大 進 刀 速 度 軸 定 位 精 度 :600 mm/s 1. 定 位 卡 環 組 裝 - 工 作 面 PPS( 聚 苯 硫 醚 ) 2. 表 面 粗 糙 度 : Ra 0.3 µm 1. 轉 速 : 130 rpm 2. 使 用 壽 命 : 1500 hr 1. 扭 力 範 圍 : 9~1013 kg/cm 2. 導 電 材 質 : SUS304 OFHC 1. 減 速 比 : 1/30~1/ 輸 入 2000r/min 時 的 額 定 轉 矩 : 4~800 Nm 陶 瓷 晶 圓 加 熱 器 1. 產 品 尺 寸 :8 2. 產 品 材 質 : AlN 或 Al 2 O 3 六 片 式 晶 圓 加 熱 盤 CMP 製 程 之 研 磨 盤 晶 圓 曝 光 機 精 密 對 位 模 組 1. 產 品 尺 寸 : 可 同 時 承 載 6 片 8 吋 晶 圓 2. 產 品 材 質 : Al 本 體 材 質 : Al 磨 墊 材 質 : Al 2 O 3 1. 預 對 位 (fine alignment) 時 間 :1-2 秒 2. 細 對 位 (fine alignment) 時 間 :3-4 秒 4. Y 軸 最 小 步 進 量 :0.0001mm 5.Y 軸 最 小 光 學 尺 分 辨 率 :0.0001mm 6. Z 軸 最 小 移 動 量 : mm 3. 8 吋 Retainer Ring 尺 寸 : 外 徑 :250 mm 內 徑 :200 mm 總 厚 度 :12 mm 4. 表 面 平 行 度 : 0.03 mm 3. 耐 溫 度 防 沾 黏 接 觸 角 耐 溫 範 圍 :0~80 度 4. 真 空 耐 壓 :10-6 Pa 5. 承 載 電 流 : 10~200 A 3. 啟 動 / 停 止 時 的 容 許 最 大 轉 矩 : 9~1840 Nm 4. 瞬 間 容 許 最 大 轉 矩 : 17~3430 Nm 3. 加 熱 溫 度 : 升 溫 速 率 : 480 /40min 5. 環 境 氣 氛 : SiH 4 N 2 O He 3. 加 熱 溫 度 : 升 溫 速 率 : 400 /40min 5. 真 空 度 : 10-9 torr 3. 產 品 尺 寸 :200mm 4. 研 磨 精 度 : 0.25 um 3. 對 位 精 度 : 1µm 4. 對 位 模 式 : 雙 CCD/ 雙 組 標 記 共 兩 套 備 註 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 與 TSMC 相 同 (2) 完 成 Y102 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 報 告 1 份 ( 如 附 件 六 ) 及 國 內 18 類 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 共 77 間 廠 商 名 錄 1 份 31

37 ( 二 ) 本 計 畫 之 量 化 績 效 指 標 屬 性 學 術 成 就 ( 科 技 基 礎 研 究 ) 技 術 創 新 ( 科 技 整 合 創 新 ) 績 效 指 標 原 訂 值 初 級 產 出 量 化 值 效 益 說 明 A 論 文 N/A N/A N/A N/A B 研 究 團 隊 養 成 N/A N/A N/A N/A C 博 碩 士 培 育 N/A N/A N/A N/A D 研 究 報 告 N/A N/A N/A N/A E 辦 理 學 術 活 動 N/A N/A N/A N/A F 形 成 教 材 N/A N/A N/A N/A 其 他 完 成 產 學 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上, 培 訓 在 學 學 生 2 人 ( 含 ) 以 上 完 成 產 學 合 作 1 案, 共 培 育 在 學 學 生 3 人 促 成 產 學 研 合 作, 提 供 在 學 學 生 學 習 企 業 實 地 學 習 管 道 G 專 利 N/A N/A N/A N/A H 技 術 報 告 N/A N/A N/A N/A I 技 術 活 動 J 技 術 移 轉 S 技 術 服 務 預 計 辦 理 製 程 設 備 相 關 領 域 之 交 流 座 談 1 場 ( 含 ) 以 上 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上, 並 促 成 30 家 ( 含 ) 以 上 業 者 參 與 協 助 國 內 法 人 技 術 移 轉 2 案 ( 含 ) 以 上 1. 促 成 國 內 外 設 備 業 者 與 使 用 端 進 行 合 作 開 發 整 機 設 備 進 口 替 代 1 案 ( 含 ) 以 上 2. 促 成 國 內 使 用 端 與 國 內 業 者 開 發 耗 材 零 組 件 進 口 替 代 4 案 ( 含 ) 以 上 3. 協 助 新 增 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 完 成 1 場 3DIC 設 備 技 術 研 討 會 4 場 媒 合 商 談 會 71 家 廠 商 參 與 及 1 場 成 果 發 表 會 推 動 量 測 中 心 及 儀 科 中 心 技 轉 化 學 溶 液 瑕 疵 檢 測 技 術 及 高 精 度 石 英 光 學 積 分 器 技 術 予 國 內 廠 商 共 3 案 1. 促 成 日 商 WAIDA 與 台 廠 友 嘉 半 導 體 公 司 技 術 合 作 在 台 製 造 矽 品 公 司 所 需 之 晶 圓 植 球 機 取 代 進 口 共 1 案 2. 促 成 國 內 業 者 中 國 砂 輪 京 鼎 進 期 及 揚 朋 公 司 結 合 日 商 DISCO TAKAKI 技 術 在 台 製 造 使 用 端 所 需 之 耗 材 零 組 件 共 4 案 3. 媒 合 國 內 廠 商 漢 泰 透 過 研 討 會 商 談 會 及 成 果 發 表 會 之 舉 辦, 促 成 國 內 廠 商 獲 得 終 端 使 用 廠 如 Toshiba 台 積 電 及 聯 電 之 訂 單, 預 估 新 增 訂 單 產 值 約 新 台 幣 2 億 元 促 成 法 人 研 發 技 術 技 轉 廠 商, 應 用 於 設 備 開 發 1. 促 成 外 商 來 台 技 術 合 作, 提 升 國 內 廠 商 技 術 及 產 品 訂 單, 預 計 可 增 加 產 值 新 台 幣 約 2.5 億 元 2. 協 助 技 術 輔 導 國 內 廠 商 開 發 終 端 產 品 提 升 產 能, 預 計 可 增 加 設 備 產 值 10.8 億 元 促 成 廠 商 投 資 1.5 重 大 突 破 提 供 設 備 技 術 研 究 及 培 訓 在 學 學 生 提 早 熟 悉 職 場 協 助 國 內 設 備 及 零 組 件 廠 商 取 得 國 內 外 使 用 端 之 訂 單 N/A N/A 32

38 屬 性 經 濟 效 益 ( 產 業 經 濟 發 展 ) 績 效 指 標 原 訂 值 初 級 產 出 量 化 值 效 益 說 明 應 鏈 體 系 2 案 ( 含 ) 以 上 4. 建 構 半 導 體 關 鍵 性 模 組 製 造 技 術, 特 別 是 在 Wafer Packing 及 3D IC 等 製 程 設 備 領 域, 完 成 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 9 案 次 ( 含 ) 以 上 元 鐙 奈 晶 千 附 進 期 柏 夫 等 公 司 分 別 切 入 ASML 及 AMAT 共 2 案 外 商 之 零 組 件 供 應 鏈 4. 建 構 半 導 體 關 鍵 性 模 組 製 造 技 術, 特 別 是 在 Wafer Packing 及 3D IC 等 製 程 設 備 領 域, 完 成 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 輔 導 10 案 次 億 元, 降 低 半 導 體 產 業 廠 商 成 本 4.8 億 元 其 他 N/A N/A N/A N/A L 促 成 廠 商 或 產 業 團 體 投 1. 增 加 產 值 10.8 億 元 資 2. 促 進 投 資 1.5 億 元 1. 預 估 增 加 產 值 2.7 億 元 ( 含 ) 以 上 2. 預 估 促 進 投 資 9 千 萬 元 ( 含 ) 以 上 協 助 廠 商 發 展 本 土 化 設 備 及 零 組 件, 廠 商 共 投 入 9,850 千 元 進 行 開 發 重 大 突 破 本 年 度 帶 動 漢 民 微 測 中 國 砂 輪 家 登 等 26 家 國 內 業 者 進 行 投 資, 總 投 資 金 額 達 37.3 億 元 M 創 新 產 業 或 模 式 建 立 N/A N/A N/A N/A N 協 助 提 升 我 國 產 業 全 球 地 位 或 產 業 競 爭 力 1. 協 助 聯 盟 廠 商 提 出 2 案 ( 含 ) 以 上 設 備 開 發 申 請 計 畫 2. 執 行 關 鍵 零 組 件 及 耗 材 技 術 輔 導 開 發 9 案 次 ( 含 ) 以 上 1. 完 成 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 及 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 2 項 SBIR 開 發 計 畫 申 請 2. 完 成 半 導 體 關 鍵 零 組 件 及 耗 材 技 術 輔 導 開 發 10 案 次 1. 辦 理 國 內 外 產 官 學 研 交 流, 推 動 異 業 整 合, 加 速 產 業 形 成 2. 推 動 半 導 體 前 段 設 備 自 製 率 達 10.8%, 後 段 製 程 設 備 自 製 率 達 41.2%, 耗 材 零 組 件 自 製 率 達 50.4% 建 立 具 技 術 自 主 能 力 的 半 導 體 設 備 產 業 降 低 國 內 半 導 體 產 業 營 運 成 本, 提 升 國 內 精 密 機 械 產 業 技 術 層 次, 以 造 就 產 業 整 體 發 展 優 勢 33

39 屬 性 重 大 績 效 指 標 原 訂 值 初 級 產 出 量 化 值 效 益 說 明 突 破 O 共 通 / 檢 測 技 術 服 務 N/A N/A N/A N/A T 促 成 與 學 界 或 產 業 團 體 合 作 研 究 促 成 聯 盟 廠 商 與 學 研 技 術 合 作 1 案 ( 含 ) 以 上 完 成 聯 盟 廠 商 與 台 大 光 電 工 程 研 究 進 行 全 光 通 量 測 技 術 研 究 交 大 機 械 系 進 行 光 阻 塗 佈 模 擬 研 究 學 研 技 術 合 作 共 2 案 協 助 廠 商 取 得 學 研 技 術 量 能 開 發 半 導 體 設 備, 提 升 自 主 技 術 U 促 成 智 財 權 資 金 融 通 N/A N/A N/A N/A 其 他 N/A N/A N/A N/A P 創 業 育 成 N/A N/A N/A N/A N/A 社 會 影 響 非 研 究 類 成 就 非 研 究 類 成 就 民 生 社 會 發 展 環 境 安 全 永 續 人 才 培 育 法 規 制 度 Q 資 訊 服 務 N/A N/A N/A N/A R 增 加 就 業 本 計 畫 增 加 之 就 業 人 口 在 設 備 及 模 組 部 分 預 估 可 每 年 增 加 72 人 ( 含 ) 以 上 就 業 機 會 預 估 期 末 可 增 加 國 內 就 業 人 口 達 88 人 此 計 畫 可 帶 動 半 導 體 設 備 產 業 蓬 勃 發 展, 增 加 產 業 之 就 業 機 會, 並 培 育 研 發 及 設 計 人 才 W 提 升 公 共 服 務 N/A N/A N/A N/A X 提 高 人 民 或 業 者 N/A N/A N/A N/A 收 入 其 他 N/A N/A N/A N/A O 共 通 / 檢 測 技 術 服 N/A N/A N/A N/A 務 V 提 高 能 源 利 用 率 N/A N/A N/A N/A Z 調 查 成 果 N/A N/A N/A N/A 其 他 N/A N/A N/A N/A 1. 學 程 教 材 設 計, N/A N/A N/A N/A 知 識 平 台 建 立 2. 培 育 人 才 情 形, 含 N/A N/A N/A N/A 人 數 及 內 容 3. 研 討 會 ( 學 術 活 動 ) N/A N/A N/A N/A 4. 人 才 出 路 ( 就 業 去 N/A N/A N/A N/A 向 ) 5. 證 照 及 競 賽 獲 獎 N/A N/A N/A N/A 6. 其 他 N/A N/A N/A N/A 7. 先 進 國 制 度 蒐 集 及 N/A N/A N/A N/A 研 析 8. 法 規 制 度 訂 定, 模 N/A N/A N/A N/A 式 或 資 料 庫 建 構 等 9. 法 規 草 案 確 定 N/A N/A N/A N/A 10. 主 管 部 會 之 認 可 或 通 過 N/A N/A N/A N/A N/A 34

40 屬 性 績 效 指 標 原 訂 值 初 級 產 出 量 化 值 效 益 說 明 重 大 突 破 11. 法 規 被 採 用 或 參 N/A N/A N/A N/A 考 情 形 12. 其 他 N/A N/A N/A N/A 國 際 合 作 13. 人 員 互 動 N/A N/A N/A N/A 14. 學 術 活 動 互 動 ( 研 N/A N/A N/A N/A 討 會 專 題 討 論 等 ) 15. 計 畫 合 作 研 究 N/A N/A N/A N/A 16. 簽 訂 協 議 N/A N/A N/A N/A 17. 合 作 智 財 申 請 N/A N/A N/A N/A 其 他 效 益 ( 科 技 政 策 管 理 及 其 它 ) 推 動 輔 導 18. 其 他 N/A N/A N/A N/A 19. 輔 導 / 推 廣 目 標 達 N/A N/A N/A N/A 成 率 20. 輔 導 / 推 廣 對 象 滿 N/A N/A N/A N/A 意 度 21. 輔 導 / 推 廣 對 象 相 N/A N/A N/A N/A 對 投 入 22. 其 他 N/A N/A N/A N/A K 規 範 / 標 準 制 訂 N/A N/A N/A N/A Y 資 料 庫 1. 建 立 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 之 零 組 件 使 用 規 範 10 筆 ( 含 ) 以 上 2. 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 產 業 資 訊 及 廠 商 名 錄 各 1 份 1. 完 成 終 端 廠 製 程 設 備 之 耗 材 零 組 件 使 用 規 範 資 料 共 10 筆 2. 完 成 Y102 半 導 體 設 備 及 零 組 件 產 業 資 訊 調 查 報 告 及 廠 商 名 錄 各 1 份 提 供 模 組 及 零 組 件 廠 商 生 產 品 質 資 訊 參 考, 媒 合 具 備 技 術 能 力 廠 商 進 入 設 備 供 應 鏈 體 系 XY 性 別 平 等 促 進 N/A N/A N/A N/A AA 決 策 依 據 N/A N/A N/A N/A 其 他 N/A N/A N/A N/A 成 立 國 內 半 導 體 設 備 模 組 及 耗 材 零 組 件 規 範 資 料 庫 35

41 六 主 要 成 就 及 成 果 之 價 值 與 貢 獻 度 (outcome) ( 一 ) 學 術 成 就 ( 科 技 基 礎 研 究 ) ( 權 重 10%) 計 畫 結 合 法 人 單 位 及 學 術 研 究 單 位 協 助 業 界 廠 商 進 行 技 術 輔 導, 更 建 立 產 學 研 共 同 研 發 機 制, 加 深 研 究 範 疇 本 年 度 執 行 1 案 產 學 合 作 案, 解 決 產 業 技 術 問 題, 俾 能 契 合 業 界 需 求, 並 發 表 研 究 成 果 於 研 討 會 及 期 刊 論 文 共 5 篇, 提 供 國 內 廠 商 參 考 發 表 性 質 刊 物 題 目 期 刊 Applied Mechanics and Materials Vol. 440 (2014) pp Structural state and mechanical characteristics of the ZrN films 研 討 會 研 討 會 研 討 會 研 討 會 International Conference on Mechanical Structures and Smart Materials (ICMSSM2013), November.16-17,2013, Xiamen,China 中 國 材 料 科 學 學 會 2013 年 年 會, 於 中 央 大 學 ( ) 中 國 材 料 科 學 學 會 2013 年 年 會, 於 中 央 大 學 ( ) International Conference on Advanced Materials & SportsEquipment Design (AMSED September 21-23, 2013, Singapore) prepared by sputtering Tribological properties of the ZrN coatings by DC Magnetron Sputtering 多 層 氮 化 鉻 / 氮 化 矽 薄 膜 之 機 械 性 能 分 析 RF 反 磁 控 濺 鍍 奈 米 多 層 薄 膜 沈 積 於 模 具 鋼 之 機 械 性 能 研 究 Structural state and mechanical characteristics of the ZrN films prepared by sputtering ( 二 ) 技 術 創 新 ( 科 技 整 合 創 新 ) ( 權 重 50%) 本 年 度 完 成 1 場 技 術 研 討 會 共 94 人 次 參 與 及 1 場 成 果 發 表 會 參 觀 人 次 達 1 萬 餘 人, 成 功 媒 合 漢 鍾 臺 禹 崇 文 科 技 等 公 司 產 品 予 終 端 使 用 者, 推 動 國 內 設 備 及 零 組 件 自 製 率 提 升 本 年 度 完 成 4 場 媒 合 商 談 會, 成 功 推 動 2 家 國 內 業 者 產 品 進 入 日 商 Toshiba 供 應 鏈 體 系, 其 中 建 O 科 技 已 獲 得 Toshiba 之 蝕 刻 離 子 植 入 製 程 零 組 件 訂 單 ; 祐 O 科 技 獲 得 奈 米 探 針 零 36

42 組 件 訂 單, 預 計 可 增 加 國 內 產 值 新 台 幣 6 千 5 百 萬 另 媒 合 沛 O(CMP Membrane) 智 O(CMP Membrane) 台 O( 電 漿 尾 氣 處 理 器 ) 富 O 登 (RF Generator) 瑞 O(Shower Head) 聯 O( 晶 圓 傳 送 Robot) 海 O( 奈 米 探 針 ) 等 耗 材 零 組 件 產 品 進 入 台 積 電 進 行 品 質 測 試 ; 媒 合 煒 O 科 技 ( 粉 塵 檢 測 儀 ) 均 O 精 密 (D2W Bonding 機 ) 獲 得 台 積 電 採 購 訂 單 預 估 經 本 計 畫 媒 合 提 升 台 積 電 本 土 採 購 金 額 約 新 台 幣 2 億 元 本 年 度 推 動 國 外 設 備 廠 WAIDA DISCO 及 TAKAKI 與 國 內 廠 商 中 國 砂 輪 京 鼎 進 期 及 揚 朋 等 公 司 技 術 合 作 開 發 使 用 端 台 積 電 日 月 光 及 矽 品 所 需 之 整 機 設 備 及 零 組 件, 預 計 可 增 加 國 內 產 值 約 新 台 幣 2.3 億 元, 增 加 就 業 人 數 55 人 本 年 度 協 助 媒 合 2 案 次 國 內 廠 商 切 入 外 商 AMAT( 美 商 應 材 ) 及 ASML( 荷 商 愛 斯 摩 爾 ) 之 供 應 鏈 由 計 畫 協 助 取 得 外 商 相 關 產 品 功 能 規 格, 快 速 媒 合 國 內 潛 在 製 造 廠 商 漢 泰 元 鐙 奈 晶 千 附 進 期 駐 龍 及 柏 夫 切 入 其 供 應 鏈 體 系, 藉 此 提 升 國 內 設 備 製 造 廠 商 與 零 組 件 之 鏈 結, 以 利 建 置 國 內 完 整 設 備 供 應 鏈 本 年 度 完 成 10 案 半 導 體 製 程 設 備 模 組 及 零 組 件 技 術 開 發 案, 透 過 技 術 輔 導 計 畫 之 執 行, 搭 配 國 內 終 端 廠 商 及 設 備 外 商 之 耗 材 零 組 件 開 發 需 求, 輔 導 及 培 植 耗 材 零 組 件 基 礎 製 造 技 術, 並 提 供 本 土 化 產 品 予 終 端 使 用 者 進 行 品 質 驗 證 測 試, 降 低 使 用 成 本, 帶 動 國 內 產 業 效 益 本 年 度 推 動 國 內 半 導 體 設 備 自 製 率 提 升 至 17.3%( 前 段 自 製 率 :10.8%; 後 段 自 製 率 :41.2%), 產 值 達 新 台 幣 530 億 元 耗 材 零 組 件 自 製 率 提 升 至 至 50.4%, 產 值 達 新 台 幣 445 億 元 ( 三 ) 經 濟 效 益 ( 產 業 經 濟 發 展 ) ( 權 重 20%) 協 助 國 內 半 導 體 產 業 設 備 推 動 本 土 化, 直 接 增 加 半 導 體 產 業 產 值 新 台 幣 10.6 億 元 直 接 促 成 廠 商 投 資 新 台 幣 1.5 億 元 直 接 降 低 成 本 新 台 幣 4.8 億 元, 並 帶 動 國 內 半 導 體 設 備 產 業 計 26 家 進 行 研 發 擴 產 增 資 土 地 購 置 等 投 資 計 畫, 總 計 投 資 金 額 達 新 台 幣 37.3 億 37

43 ( 四 ) 社 會 影 響 ( 民 生 社 會 發 展 環 境 安 全 永 續 ) ( 權 重 10%) 協 助 半 導 體 設 備 及 零 組 件 廠 商 產 能 提 升 及 廠 房 產 線 投 資 等 方 式, 本 年 度 提 供 88 人 次 就 業 機 會 帶 動 半 導 體 設 備 產 業 發 展, 增 加 產 業 之 就 業 機 會, 培 育 國 內 設 備 產 業 研 發 及 設 計 人 才 ( 五 ) 非 研 究 類 成 就 ( 人 才 培 育 法 規 制 度 國 際 合 作 推 動 輔 導 )( 權 重 0%) 本 案 本 項 無 ( 六 ) 其 它 效 益 ( 科 技 政 策 管 理 及 其 它 ) ( 權 重 10%) 計 畫 執 行 期 間 共 計 完 成 使 用 端 設 備 耗 材 零 組 件 品 質 規 範 共 10 案 透 過 終 端 廠 商 釋 出 耗 材 零 組 件 需 求 時, 逐 步 建 立 國 內 半 導 體 耗 材 零 組 件 廠 商 及 使 用 品 質 規 範 資 料, 協 助 國 內 開 發 廠 商 製 造 參 考 及 進 行 品 質 控 管 本 年 度 完 成 1 份 產 業 調 查 報 告, 提 供 計 畫 執 行 策 略 方 向 參 考, 並 完 成 半 導 體 設 備 本 土 化 資 訊 交 流 平 台 規 劃, 提 供 廠 商 技 術 輔 導 產 品 資 訊 及 供 需 媒 合 38

44 七 後 續 工 作 構 想 之 重 點 ( 含 依 政 策 執 行 之 調 整 作 法 及 資 源 配 置 等 構 想 ) 計 畫 目 標 : 強 化 耗 材 本 土 化 供 應 推 動 聯 盟 開 發 整 機 建 立 零 組 件 驗 證 平 台 103 年 改 變 方 向 及 具 體 作 法 一 建 立 光 電 及 半 導 體 設 備 本 土 供 應 鏈 體 系 : 提 供 在 地 化 供 應 服 務, 媒 合 國 內 廠 商 切 入 國 內 外 半 導 體 製 程 設 備 廠 商 之 供 應 鏈 體 系 二 辦 理 海 外 商 談 媒 合 會 : 與 國 內 設 備 與 零 組 件 材 料 等 協 會 合 作, 共 同 辦 理 海 外 市 場 商 談 媒 合 會, 邀 請 國 內 外 各 大 廠 商 共 同 與 會, 推 動 國 內 廠 商 進 入 國 際 市 場 三 建 立 半 導 體 零 組 件 驗 證 平 台 推 動 建 立 終 端 廠 耗 材 零 組 件 品 質 驗 證 平 台, 提 供 快 速 切 入 終 端 廠 上 線 驗 證 之 管 道 項 目 103 年 目 標 配 合 產 業 結 構 優 化 政 策 ( 產 業 一 條 龍 ) 經 費 配 置 金 額 ( 比 例 ) 產 出 (KPI) ( 含 各 年 度 指 標 方 向 調 整 構 想 ) 1 協 助 推 動 半 導 體 設 備 自 製 率 由 102 年 17% 提 升 至 103 年 19% 以 上 2 協 助 推 動 半 導 體 3DIC 設 備 自 製 率 提 升 至 103 年 20% 以 上 3 協 助 推 動 半 導 體 設 備 之 耗 材 零 組 件 自 製 率 由 102 年 50% 提 升 至 103 年 55% 以 上 81,772 千 元 (90%) 1 協 助 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 應 鏈 體 系 5 案 ( 含 ) 以 上 2 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 廠 商 產 業 資 訊 1 份 ( 含 ) 以 上 3 完 成 設 備 技 術 應 用 研 究 4 案 ( 含 ) 以 上 4 完 成 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 2 場 ( 含 ) 以 上 及 安 排 半 導 體 設 備 與 零 組 件 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 計 畫 審 查 會 1 場 ( 含 ) 以 上 5 完 成 輔 導 半 導 體 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 開 發 案 15 案 ( 含 ) 以 上 6 推 動 國 內 外 設 備 技 術 合 作 5 案 ( 含 ) 以 上 7 辦 理 海 外 技 術 交 流 2 場 ( 含 ) 以 上 8 籌 組 3DIC 設 備 研 發 聯 盟 5 個 ( 含 ) 以 上 9 提 供 零 組 件 檢 測 驗 證 服 務 10 案 ( 含 ) 以 上 10 建 置 半 導 體 檢 測 標 準 程 序 10 項 以 上 39

45 八 檢 討 與 展 望 半 導 體 終 端 產 品 更 新 週 期 快 速, 帶 動 製 程 發 展 腳 步 加 快, 設 備 產 業 面 臨 快 速 對 應 及 服 務 多 工 之 經 營 模 式, 國 內 半 導 體 設 備 業 者 為 因 應 產 業 環 境 變 化, 積 極 調 整 供 應 鏈 結 構, 強 化 終 端 廠 商 服 務 及 整 合 技 術 量 能, 開 發 整 機 設 備, 若 能 持 續 協 助 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 朝 向 製 造 業 服 務 化 之 方 向 發 展, 貼 近 客 戶 滿 足 需 求, 提 升 國 產 設 備 供 應 比 例, 可 為 產 業 創 造 雙 贏 局 面 彙 整 國 內 終 端 廠 商 及 設 備 廠 商 之 開 發 建 議, 未 來 推 動 重 點 如 下 : 1. 建 立 零 組 件 品 質 檢 測 驗 證 平 台 : 建 立 終 端 廠 或 外 商 設 備 所 需 之 模 組 或 零 組 件 使 用 規 格 資 訊, 除 提 供 國 內 廠 商 開 發 參 考, 並 可 建 置 線 外 檢 測 驗 證 實 驗 室, 協 助 國 內 廠 商 產 品 進 行 品 質 驗 證 2. 透 過 政 府 協 助 國 內 廠 商 快 速 切 入 3DIC 製 程 設 備 : 以 終 端 廠 需 求 為 主, 整 合 國 內 設 備 廠 及 零 組 件 廠, 並 投 入 政 府 資 源 輔 導 以 降 低 開 發 風 險, 協 助 國 內 廠 商 快 速 開 發 3DIC 設 備 或 模 組 計 畫 目 標 : 推 動 半 導 體 設 備 本 土 化, 打 造 產 業 一 條 龍 104 年 規 劃 內 容 1. 推 動 國 際 技 術 合 作, 提 升 設 備 技 術 : 以 三 方 合 作 模 式 協 助 國 內 廠 商 轉 型, 引 進 國 外 技 術 合 作 並 拓 展 國 際 交 流, 升 級 國 內 廠 商 技 術 開 發 高 階 零 組 件 2. 建 立 零 組 件 品 質 檢 測 驗 證 平 台 : 建 立 終 端 廠 或 外 商 設 備 所 需 之 模 組 或 零 組 件 使 用 規 格 資 訊, 除 提 供 國 內 廠 商 開 發 參 考, 並 可 建 置 線 外 檢 測 驗 證 實 驗 室, 協 助 國 內 廠 商 產 品 進 行 品 質 驗 證 3. 透 過 政 府 協 助 國 內 廠 商 快 速 切 入 3DIC 製 程 設 備 : 以 終 端 廠 需 求 為 主, 整 合 國 內 設 備 廠 及 零 組 件 廠, 並 投 入 政 府 資 源 輔 導 以 降 低 開 發 風 險, 協 助 國 內 廠 商 快 速 開 發 3DIC 設 備 或 模 組 40

46 項 目 104 年 目 標 配 合 產 業 結 構 優 化 政 策 ( 產 業 一 條 龍 ) 經 費 配 置 金 額 ( 比 例 ) 產 出 (KPI) ( 含 各 年 度 指 標 方 向 調 整 構 想 ) 1 協 助 推 動 半 導 體 設 備 自 製 率 由 103 年 19% 提 升 至 104 年 21% 以 上 2 協 助 推 動 半 導 體 3DIC 設 備 自 製 率 提 升 至 104 年 30% 以 上 3 協 助 推 動 半 導 體 設 備 之 耗 材 零 組 件 自 製 率 由 103 年 55% 提 升 至 104 年 60% 以 上 85,000 千 元 (90%) 1 協 助 國 內 廠 商 切 入 外 商 供 應 鏈 體 系 5 案 ( 含 ) 以 上 2 完 成 調 查 半 導 體 設 備 及 零 組 件 之 廠 商 產 業 資 訊 1 份 ( 含 ) 以 上 3 完 成 設 備 技 術 應 用 研 究 4 案 ( 含 ) 以 上 4 完 成 半 導 體 設 備 技 術 交 流 會 2 場 ( 含 ) 以 上 及 安 排 半 導 體 設 備 與 零 組 件 廠 商 媒 合 商 談 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 成 果 發 表 會 1 場 ( 含 ) 以 上 及 計 畫 審 查 會 1 場 ( 含 ) 以 上 5 完 成 輔 導 半 導 體 設 備 關 鍵 模 組 次 系 統 及 零 組 件 技 術 開 發 案 15 案 ( 含 ) 以 上 6 推 動 國 內 外 設 備 技 術 合 作 5 案 ( 含 ) 以 上 7 辦 理 海 外 技 術 交 流 2 場 ( 含 ) 以 上 8 籌 組 3DIC 設 備 研 發 聯 盟 5 個 ( 含 ) 以 上 9 提 供 零 組 件 檢 測 驗 證 服 務 10 案 ( 含 ) 以 上 10 建 置 半 導 體 檢 測 標 準 程 序 10 項 以 上 41

47 九 附 錄 ( 一 ) 委 員 審 查 意 見 回 復 會 議 名 稱 委 員 意 見 計 畫 回 復 期 中 檢 討 會 議 1. 本 計 畫 查 核 點 要 項 及 經 費 動 支 均 符 合 計 畫 執 行 進 度 2. 推 動 國 內 終 端 使 用 者 國 外 設 備 商 與 國 內 設 備 廠 商 進 行 三 方 合 作 時, 須 一 併 考 量 國 內 設 備 廠 投 入 意 願 及 技 術 量 能 設 備 零 組 件 本 土 化 比 重 提 升 國 內 精 密 機 械 技 術 深 度 等 層 面, 以 結 合 本 計 畫 推 動 目 的 3. 關 於 計 畫 執 行 成 效 應 條 列 式 明 確 陳 述, 並 加 強 質 化 效 益 4. 推 動 設 備 研 發 聯 盟 部 份, 應 與 提 升 設 備 暨 零 組 件 自 製 率 之 計 畫 目 的 連 結 1. 謝 謝 委 員 意 見 2. 謝 謝 委 員 意 見, 計 畫 於 推 動 三 方 合 作 工 作 時 除 促 成 國 內 外 廠 商 進 行 技 術 合 作, 同 時 搭 配 國 內 使 用 端 之 設 備 及 零 組 件 需 求 開 發, 藉 以 達 成 本 計 畫 推 動 目 標 3. 謝 謝 委 員 意 見 4. 謝 謝 委 員 意 見, 聯 盟 執 行 已 協 助 業 界 開 發 出 晶 粒 底 部 填 膠 設 備 枚 葉 式 真 空 濺 鍍 設 備 及 雙 主 軸 晶 圓 切 割 設 備 等 多 項 設 備 並 於 簡 報 中 說 明, 請 委 員 參 考 5. 在 技 術 輔 導 廠 商 部 份, 除 搭 配 本 部 主 導 性 計 畫 科 專 計 畫 等 補 助 資 源 外, 建 議 可 協 助 廠 商 申 請 國 科 會 相 關 補 助 計 畫, 以 提 升 計 畫 成 果 綜 效 6. 有 關 計 畫 目 標 之 前 段 製 程 設 備 後 段 封 測 設 備 與 耗 材 零 組 件 之 自 製 率, 建 議 補 充 說 明 提 升 前 後 之 計 算 基 準 5. 謝 謝 委 員 意 見, 已 遵 照 辦 理, 本 年 度 並 協 助 廠 商 申 請 大 面 積 低 色 偏 之 多 晶 模 組 與 設 備 開 發 及 異 向 性 導 電 膜 片 探 針 卡 技 術 與 設 備 開 發 等 2 案 次 SBIR 計 畫 6. 謝 謝 委 員 意 見, 已 補 充 自 製 率 提 升 前 後 之 說 明 於 產 業 效 益 說 明 中, 請 委 員 參 考 42

48 ( 二 ) 出 國 報 告 目 錄 本 案 本 項 無 ( 三 ) 分 包 資 訊 分 包 項 目 名 稱 輔 導 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 開 發 輔 導 半 導 體 設 備 模 組 及 零 組 件 開 發 分 包 情 形 已 分 包 : 已 於 第 2 季 完 成 核 備 作 業 併 同 本 次 季 報 辦 理 核 備 作 業 將 於 下 季 完 成 核 備 作 業 無 需 核 備 尚 未 分 包 不 分 包 其 他 已 分 包 : 已 於 第 2 季 完 成 核 備 作 業 併 同 本 次 季 報 辦 理 核 備 作 業 將 於 下 季 完 成 核 備 作 業 無 需 核 備 尚 未 分 包 不 分 包 其 他 分 包 單 位 工 研 院 機 械 所 精 密 機 械 研 發 中 心 計 畫 書 編 列 金 額 ( 千 元 ) 政 府 經 費 分 包 計 畫 簽 約 金 額 ( 千 元 ) 自 籌 款 合 計 ( 含 稅 ) 合 計 ( 未 稅 ) 11,642 8,202 3,440 11,642 11,087 2,753 1, ,753 2,621 合 計 14,395 10,170 4,225 14,395 13,709 備 註 43

49 附 件 四. 產 學 合 作 同 意 書 中 華 民 國 年 2 月 2 1 日 44

50 ( 一 ) 計 附 件 五. 廠 商 基 本 資 料 表 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 3D IC 蝕 刻 電 漿 源 模 組 研 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I01001 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 工 業 技 術 研 究 院 機 械 與 系 統 研 究 所 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 梁 沐 旺 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 崇 文 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 林 維 倫 4. 地 址 新 竹 縣 湖 口 鄉 仁 政 路 5 號 5. 連 絡 人 姓 名 胡 正 中 電 話 #500 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 2,450.0 萬 元 7. 員 工 數 38 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 3DIC 蝕 刻 電 漿 源 模 組 研 3. 輔 導 內 容 : 電 漿 多 重 物 理 場 數 值 模 擬 分 析 ( 電 磁 場 流 場 ) 電 漿 源 螺 旋 線 圈 電 極 設 計 與 製 作 偏 壓 電 極 設 計 電 漿 特 4. 輔 導 方 式 : 共 同 合 作 開 發 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 性 量 測 與 改 善 等 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 7.85 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 7.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 7,500.0 千 元 13. 增 加 產 值 17,500.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 15,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 4 人 效 17. 其 他 : 45

51 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I01002 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 工 業 技 術 研 究 院 機 械 與 系 統 研 究 所 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 張 家 豪 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 新 鶴 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 彭 朋 益 4. 地 址 新 竹 市 牛 埔 南 路 376 巷 10 號 5. 連 絡 人 姓 名 蘇 榮 俊 電 話 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 2,600.0 萬 元 7. 員 工 數 22 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發 輔 導 協 助 並 完 成 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發, 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 4. 輔 導 方 式 : 提 供 模 組 設 計 模 擬 分 析 模 組 製 作 及 驗 證 測 試 等, 以 加 速 完 成 雙 極 性 靜 電 吸 附 晶 圓 載 座 模 組 開 發 並 協 助 建 立 分 析 模 擬 技 術 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 7.15 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 1, 千 元 力 10. 廠 商 (D) 4.50 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 12,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 18,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 20,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 4 人 效 17. 其 他 : 46

52 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 晶 圓 陶 瓷 靜 電 承 載 盤 開 發 計 畫 畫 基 2. 契 約 編 號 102I01003 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 工 業 技 術 研 究 院 機 械 與 系 統 研 究 所 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 丁 嘉 仁 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 凱 樂 士 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 林 博 文 4. 地 址 桃 園 縣 楊 梅 市 高 青 路 22 巷 20 號 5. 連 絡 人 姓 名 林 博 文 電 話 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 5,952.0 萬 元 7. 員 工 數 30 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 針 對 晶 圓 SiC 承 載 盤 進 行 開 發 開 發 SiC 硬 脆 材 料 加 工 技 術 及 SiC 承 載 盤 製 作 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 4. 輔 導 方 式 : 利 用 所 開 發 之 承 載 盤, 實 際 測 試 ; 待 確 認 模 組 效 果 後, 再 進 行 技 術 移 轉 及 產 品 生 產 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 2, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 7.80 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 1.50 人 月 8. 合 計 (A+B) 3, 千 元 11. 合 計 (C+D) 9.30 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 50,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 50,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 5,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 4 人 效 17. 其 他 : 47

53 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 3D IC 超 薄 晶 片 之 快 速 分 離 取 放 模 組 技 術 畫 基 2. 契 約 編 號 102I01004 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 工 業 技 術 研 究 院 機 械 與 系 統 研 究 所 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 陳 孟 群 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 葉 勝 發 4. 地 址 236 新 北 市 土 城 區 民 生 街 2 之 1 號 5. 連 絡 人 姓 名 石 敦 智 電 話 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 24,572.0 萬 元 7. 員 工 數 400 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 4. 輔 導 方 式 : 3D IC 超 薄 晶 片 之 快 速 分 離 取 放 晶 片 分 離 機 構 wafer stage 協 助 申 請 政 府 經 費 補 助, 與 業 者 合 作 共 同 模 組 技 術 開 發 模 組 視 覺 對 位 模 組 藍 膜 開 發 擴 張 模 組 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 7.30 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 4.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 4,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 40,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 5,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 5 人 效 17. 其 他 : 使 產 能 UPH 提 昇 30% 48

54 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 CoW molding system 之 膠 體 隔 離 模 組 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I02001 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 精 密 機 械 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 顏 榮 俊 電 話 #634 傳 真 廠 商 名 稱 均 華 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 葉 勝 發 4. 地 址 236 新 北 市 土 城 區 民 生 街 2 之 1 號 5. 連 絡 人 姓 名 賴 宏 能 電 話 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 24,572.0 萬 元 7. 員 工 數 400 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 20 日 2. 輔 導 項 目 : 模 組 設 計 開 發 3. 輔 導 內 容 : 膠 體 隔 離 模 組 開 發 4. 輔 導 方 式 : 協 助 廠 商 進 行 新 產 品 之 開 發 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 3.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 7,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 18,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 4 人 效 17. 其 他 : 49

55 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 高 精 度 真 空 晶 圓 傳 送 機 械 手 臂 設 備 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03001 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 孫 嘉 鴻 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 聯 毅 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 林 仲 章 4. 地 址 新 竹 縣 竹 北 市 博 愛 街 號 5. 連 絡 人 姓 名 陳 英 明 電 話 #211 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 4,000.0 萬 元 7. 員 工 數 50 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 高 精 度 真 空 晶 圓 傳 送 機 械 手 臂 設 備 開 發 3. 輔 導 內 容 : 開 發 自 行 設 計 製 造 的 高 精 度 真 空 晶 圓 手 臂 4. 輔 導 方 式 : 技 術 協 助 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 5.00 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 1, 千 元 力 10. 廠 商 (D) 6.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 3, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 16,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 24,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 10,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 3 人 效 17. 其 他 : 50

56 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 IC Design House 專 用 之 高 低 溫 度 測 試 系 統 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03002 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 蔡 政 哲 電 話 #2652 傳 真 廠 商 名 稱 穎 崴 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 王 嘉 煌 4. 地 址 高 雄 市 鼓 山 區 明 華 路 315 號 2F 5. 連 絡 人 姓 名 孫 家 彬 電 話 #221 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 16,390.0 萬 元 7. 員 工 數 140 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : IC Design House 專 用 之 高 低 溫 度 測 試 系 統 自 動 化 技 術 指 導 系 統 整 合 技 術 指 導 移 轉 等 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 4. 輔 導 方 式 : 協 助 申 請 政 府 補 助, 合 作 開 發 及 設 備 技 術 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 1, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 1, 千 元 力 10. 廠 商 (D) 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 50,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 75,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 50,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 2 人 效 17. 其 他 : 51

57 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 永 磁 電 機 驅 動 魯 氏 真 空 泵 浦 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03003 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 鍾 逸 駿 電 話 #312 傳 真 廠 商 名 稱 漢 鐘 精 機 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 廖 哲 男 4. 地 址 桃 園 縣 觀 音 鄉 觀 音 工 業 區 工 業 三 路 5 號 5. 連 絡 人 姓 名 方 宏 聲 電 話 #2005 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 81,400.0 萬 元 7. 員 工 數 272 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 永 磁 電 機 驅 動 魯 氏 真 空 泵 浦 開 發 計 畫 永 磁 式 魯 式 真 空 泵 浦 設 計 測 試 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 4. 輔 導 方 式 : 協 助 申 請 政 府 補 助, 合 作 開 發 及 技 術 移 轉 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 2, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 5.50 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 1, 千 元 力 10. 廠 商 (D) 4.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 3, 千 元 11. 合 計 (C+D) 9.50 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 100,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 300,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 20,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 60 人 效 17. 其 他 :(1) 取 代 進 口 (2) 建 立 國 內 真 空 泵 浦 設 計 能 力 52

58 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 電 漿 式 尾 氣 處 理 系 統 之 反 應 腔 體 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03004 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 吳 乾 榮 電 話 傳 真 廠 商 名 稱 臺 禹 科 機 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 吳 宗 學 4. 地 址 嘉 義 縣 民 雄 鄉 北 斗 村 26 鄰 29 號 5. 連 絡 人 姓 名 吳 康 碩 電 話 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 15,000.0 萬 元 7. 員 工 數 90 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 3. 輔 導 內 容 : 電 漿 式 尾 氣 處 理 系 統 之 反 應 腔 體 開 發 反 應 腔 體 設 計 與 開 發 成 品 試 驗 檢 測 分 析 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 4. 輔 導 方 式 : 產 品 應 用 技 術 開 發 及 技 術 移 轉 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 2, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 5.50 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 5.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 3, 千 元 11. 合 計 (C+D) 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 80,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 120,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 20,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 1 人 效 17. 其 他 : 53

59 ( 一 ) 計 經 濟 部 工 業 局 102 年 度 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 躍 升 計 畫 輔 導 廠 商 專 案 基 本 資 料 表 1. 計 畫 名 稱 射 頻 功 率 產 生 器 模 組 開 發 畫 基 2. 契 約 編 號 102I03005 本 資 3. 受 委 託 單 位 財 團 法 人 金 屬 工 業 研 究 發 展 中 心 料 4. 計 畫 主 持 人 姓 名 翁 敏 航 電 話 #306 傳 真 廠 商 名 稱 富 蘭 登 科 技 股 份 有 限 公 司 2. 統 一 編 號 負 責 人 莊 寬 福 4. 地 址 新 竹 市 水 源 街 73 號 5. 連 絡 人 姓 名 李 美 芳 電 話 #138 傳 真 [email protected] 6. 資 本 額 26,118.6 萬 元 7. 員 工 數 125 人 8. 產 業 別 ( 請 依 主 要 產 品 勾 選 一 項 ) 商 1 食 品 製 造 業 基 2 飲 料 製 造 業 本 3 菸 草 製 造 業 資 料 4 紡 織 業 二 廠 ( ) 三 主 ( ) 要 輔 導 內 容 5 成 衣 及 服 飾 品 製 造 業 6 皮 革 毛 皮 及 其 製 品 製 造 業 7 木 竹 製 品 製 造 業 8 紙 漿 紙 及 紙 製 品 製 造 業 9 印 刷 及 資 料 儲 存 媒 體 複 製 業 10 石 油 及 煤 製 品 製 造 業 11 化 學 材 料 製 造 業 12 化 學 製 品 製 造 業 13 藥 品 製 造 業 14 橡 膠 製 品 製 造 業 15 塑 膠 製 品 製 造 業 16 非 金 屬 礦 物 製 品 製 造 業 17 基 本 金 屬 製 造 業 18 金 屬 製 品 製 造 業 19 電 子 零 組 件 製 造 業 20 電 腦 電 子 產 品 及 光 學 製 品 製 造 業 21 電 力 設 備 製 造 業 填 寫 日 期 : 機 械 設 備 製 造 業 23 汽 車 及 其 零 件 製 造 業 24 其 他 運 輸 工 具 製 造 業 25 家 具 製 造 業 26 其 他 製 造 業 27 產 業 用 機 械 設 備 維 修 及 安 裝 業 28 電 力 及 燃 氣 供 應 業 29 用 水 供 應 業 30 廢 ( 污 ) 水 處 理 業 31 廢 棄 物 清 除 處 理 及 資 源 回 收 業 32 其 他 1. 輔 導 期 間 自 102 年 1 月 1 日 至 102 年 11 月 30 日 2. 輔 導 項 目 : 射 頻 功 率 產 生 器 模 組 開 發 3. 輔 導 內 容 : 1.0 kw MHz 射 頻 功 4. 輔 導 方 式 : 產 品 應 用 技 術 開 發 及 技 術 移 轉 率 產 生 器 開 發 技 術 5. 功 能 別 ( 請 依 主 要 輔 導 功 能 勾 選 一 項 ) (1) 研 發 與 創 新 (2) 產 品 設 計 (3) 製 程 技 術 (4) 經 營 管 理 (5) 環 保 工 安 (6) 節 能 減 碳 (7)E 化 (8) 其 他 輔 投 導 6. 政 府 (A) 2, 千 元 入 9. 受 委 託 單 位 (C) 2.00 人 月 經 人 費 7. 廠 商 (B) 千 元 力 10. 廠 商 (D) 6.00 人 月 8. 合 計 (A+B) 2, 千 元 11. 合 計 (C+D) 8.00 人 月 具 體 12. 降 低 成 本 160,000.0 千 元 13. 增 加 產 值 400,000.0 千 元 14. 促 成 投 資 額 10,000.0 千 元 績 15. 成 立 新 公 司 或 衍 生 公 司 家 數 0 家 16. 增 加 員 工 數 1 人 效 17. 其 他 : 54

60 附 件 六. 產 業 調 查 報 告 一 全 球 半 導 體 產 業 現 況 壹 半 導 體 產 業 發 展 現 況 國 際 半 導 體 設 備 材 料 協 會 (SEMI) 公 佈 7 月 份 北 美 半 導 體 設 備 製 造 商 接 單 出 貨 比 (Book-to-Bill ratio) 初 估 為 表 示 當 月 每 出 貨 100 美 元 的 產 品 就 能 接 獲 價 值 100 美 元 的 新 訂 單 SEMI 數 據 顯 示,7 月 全 球 訂 單 的 3 個 月 移 動 平 均 金 額 初 估 為 12.7 億 美 元, 和 前 月 修 正 值 的 13.3 億 美 元 相 較 減 少 4.6%; 和 去 年 同 期 12.3 億 美 元 相 比, 則 增 加 3.1% 2013 年 9 月 份 北 美 半 導 體 設 備 製 造 商 平 均 訂 單 金 額 為 億 美 元, B/B 值 (Book-to-Bill Ratio, 訂 單 出 貨 比 ) 為 0.97, 代 表 半 導 體 設 備 業 者 當 月 份 出 貨 100 美 元, 接 獲 97 美 元 的 訂 單 北 美 半 導 體 設 備 廠 商 2013 年 9 月 份 全 球 接 獲 訂 單 預 估 金 額 為 億 美 元, 較 8 月 修 正 後 的 10.6 億 美 元 減 少 8.3%, 和 去 年 同 期 的 億 美 元 相 比 則 高 出 6.8 % 而 在 出 貨 表 現 部 分,2013 年 9 月 份 的 出 貨 金 額 為 10.1 億 美 元, 較 8 月 份 最 終 的 10.8 億 美 元 減 少 7.1 %, 較 去 年 同 期 11.6 億 美 元 下 降 13.6% 隨 著 蘋 果 20 奈 米 A7 系 列 應 用 處 理 器 開 始 在 台 積 電 放 量 投 片, 加 上 未 來 可 望 增 加 資 本 支 出, 激 勵 7 檔 包 含 電 子 束 檢 測 設 備 廠 漢 微 科 光 罩 及 晶 圓 傳 送 盒 廠 家 登 鑽 石 碟 及 再 生 晶 圓 廠 中 砂 材 料 及 可 靠 性 檢 測 廠 閎 康 等 半 導 體 設 備 核 心 受 惠 廠 商 業 績 將 全 員 動 起 來 台 積 電 先 進 製 程 擴 產 腳 步 毫 不 遲 疑, 為 趕 上 2014 年 首 季 量 產 進 度,2013 年 第 4 季 對 20 奈 米 製 程 機 台 需 求 更 勝 前 3 季, 相 關 設 備 廠 接 單 更 旺, 甚 至 已 55

61 開 始 出 貨 16 奈 米 高 介 電 常 數 金 屬 閘 極 (HKMG) 製 程 用 機 台 國 內 設 備 廠 商 漢 微 科 辛 耘 等 業 者 受 惠 大 客 戶 需 求, 下 半 年 業 績 樂 觀 以 對 在 晶 圓 代 工 龍 頭 台 積 電 的 領 軍 下, 預 估 台 灣 2013 年 的 半 導 體 設 備 和 材 料 投 資 金 額 再 次 領 先 全 球, 分 別 達 到 億 美 元 和 億 美 元, 再 度 蟬 聯 全 球 最 重 要 的 半 導 體 市 場 台 灣 晶 圓 代 工 大 廠 台 積 電 為 了 滿 足 智 慧 型 手 機 平 板 電 腦 客 戶 需 求, 在 日 本 展 開 大 規 模 的 設 備 採 購 行 動, 進 而 推 升 當 地 半 導 體 設 備 業 者 的 銷 售 額 日 本 半 導 體 製 造 裝 置 協 會 (SEAJ) 預 估, 今 年 度 ( 截 至 2014 年 3 月 底 為 止 ) 日 本 半 導 體 設 備 銷 售 額 有 望 年 增 10.2% 至 1.1 兆 日 圓, 其 中 有 大 多 數 營 收 將 來 自 台 積 電 的 龐 大 訂 單 全 球 半 導 體 和 封 測 大 廠 積 極 研 發 2.5D IC 和 3D IC, 預 估 到 2015 年, 在 智 慧 手 機 應 用 處 理 器 整 合 記 憶 體,3D IC 製 程 可 望 成 熟, 封 測 大 廠 展 現 相 關 領 域 的 開 發 願 景 現 階 段 來 看, 包 括 台 積 電 日 月 光 艾 克 爾 意 法 半 導 體 三 星 電 子 爾 必 達 美 光 格 羅 方 德 IBM 英 特 爾 等 半 導 體 大 廠, 正 積 極 研 發 3D IC 技 術 預 估 2012 年 至 2016 年 全 球 3D IC 市 場 年 複 合 成 長 率 為 19.7%, 成 長 貢 獻 主 要 來 自 行 動 運 算 裝 置 的 記 憶 體 需 求 大 幅 增 加 56

62 二 全 球 半 導 體 設 備 支 出 現 況 及 未 來 趨 勢 圖 1-1 是 國 際 半 導 體 設 備 暨 材 料 協 會 對 全 球 半 導 體 設 備 市 場 所 作 的 預 測,2013 年 全 球 半 導 體 設 備 市 場 為 363 億 美 元, 較 2012 年 微 幅 衰 退 1.7%,SEMI 預 測 2014 年 半 導 體 景 氣 將 呈 現 成 長 趨 勢, 年 增 率 估 計 約 21.2%,SIA 則 預 估 2013 年 全 球 半 導 體 營 收 將 成 長 12% 目 前 全 球 經 濟 前 景 混 沌 未 明, 不 僅 最 近 6 個 月 北 美 與 日 本 的 B/B 值 呈 現 巨 幅 震 盪 的 走 勢, 各 研 究 機 構 對 未 來 經 濟 狀 況 的 看 法 也 莫 衷 一 是,SEMI 對 全 球 經 濟 抱 持 悲 觀 的 想 法, 因 此 預 測 2013 年 全 球 半 導 體 設 備 市 場 將 衰 退 1.7%,SIA 則 對 未 來 前 景 看 好, 預 期 2013 年 全 球 半 導 體 營 收 將 增 加 12% 圖 1-2 所 示 為 1990 至 2014 年 全 球 半 導 體 營 收 金 額 與 設 備 支 出 佔 半 導 體 營 收 百 分 比 趨 勢,SEMI 預 期 2013 年 的 全 球 半 導 體 設 備 支 出 金 額 為 363 億 美 元, 表 示 近 期 的 全 球 經 濟 景 氣 衰 退 使 得 2013 年 全 球 半 導 體 產 業 的 設 備 支 出 水 準 又 減 少 至 400 億 美 元 以 下 ;SEMI 預 測 2013 年 全 球 設 備 支 出 將 佔 半 導 體 營 收 的 12%, 較 2012 年 的 13% 微 幅 下 降, 與 2002 至 2008 年 的 平 均 值 (15%) 相 較, 則 仍 有 不 小 的 差 距 2012A 2013F 2014F 全 球 半 導 體 設 備 營 收 ( 億 美 元 ) 全 球 半 導 體 設 備 營 收 年 增 率 -15.2% -1.7% 21.2% 全 球 半 導 體 營 收 ( 億 美 元 ) 2,916 2,978 3,129 設 備 支 出 佔 半 導 體 營 收 百 分 比 13% 12% 14% 圖 1-1 全 球 半 導 體 設 備 營 收 及 年 成 長 率 57

63 資 料 來 源 : SIA,SEMI/ 金 屬 中 心 MII 整 理 (2013/07) 圖 年 全 球 半 導 體 營 收 與 設 備 支 出 佔 半 導 體 營 收 百 分 比 趨 勢 資 料 來 源 : SIA,SEMI/ 金 屬 中 心 MII 整 理 (2013/07) 三 半 導 體 景 氣 趨 勢 半 導 體 設 備 訂 貨 / 出 貨 比 (B/B 值 ) 是 研 究 全 球 半 導 體 產 業 景 氣 的 重 要 指 標 之 一, 當 B/B 值 小 於 1 時, 表 示 接 單 金 額 低 於 出 貨 金 額, 顯 示 半 導 體 未 來 市 場 景 氣 趨 緩, 廠 商 可 能 會 減 少 設 備 投 資 金 額 根 據 SEMI 最 新 Book-to-Bill 訂 單 出 貨 報 告,2013 年 9 月 份 北 美 半 導 體 設 備 製 造 商 平 均 訂 單 金 額 為 億 美 元,B/B 值 (Book-to-Bill Ratio, 訂 單 出 貨 比 ) 為 0.97, 代 表 半 導 體 設 備 業 者 當 月 份 出 貨 100 美 元, 接 獲 97 美 元 的 訂 單 北 美 半 導 體 設 備 廠 商 2013 年 9 月 份 全 球 接 獲 訂 單 預 估 金 額 為 億 美 元, 較 8 月 修 正 後 的 10.6 億 美 元 減 少 8.3%, 和 去 年 同 期 的 億 美 元 相 比 則 高 出 6.8 % 而 在 出 貨 表 現 部 分,2013 年 9 月 份 的 出 貨 金 額 為 10.1 億 美 元, 較 8 月 份 最 終 的 10.8 億 美 元 減 少 7.1 %, 較 去 年 同 期 11.6 億 美 元 下 降 13.6% 半 導 體 製 造 商 在 目 前 的 景 氣 循 環 期 中 面 臨 58

64 產 品 價 格 下 滑, 並 受 整 體 經 濟 因 素 的 影 響, 短 期 內 將 在 設 備 投 資 上 放 慢 步 伐 圖 1-3 所 示 為 2013 年 1 月 到 2013 年 9 月 的 北 美 半 導 體 設 備 B/B 值,B/B 值 自 2013 年 1 月 回 升 至 1.11 後, 連 續 七 個 月 維 持 在 1.0 以 上 2013 年 8 月 後 呈 現 下 滑 趨 勢,2013 年 最 高 值 落 於 1 月 與 3 月, 屬 於 第 一 季, 顯 示 半 導 體 廠 商 對 於 2013 年 第 二 季 後 的 景 氣 看 法 不 佳, 因 此 BB 值 呈 現 下 滑 的 趨 勢 影 響 所 及,2014 年 第 一 季 的 全 球 半 導 體 與 設 備 景 氣 並 不 樂 觀 圖 1-4 所 示 為 2013 年 1 月 到 2013 年 9 月 的 日 本 半 導 體 設 備 B/B 值, 日 本 B/B 值 由 2013 年 1 月 的 1.18 快 速 減 少 至 2013 年 3 月 的 0.96, 之 後 隨 即 反 彈, 於 2013 年 4 月 的 1.11 上 升 至 2013 年 6 月 的 1.4, 6 月 後 雖 然 略 微 下 降, 但 仍 維 持 在 1 以 上,2013 年 9 月 的 數 值 為 1.25, 顯 示 日 本 國 內 的 半 導 體 廠 商 對 其 未 來 景 氣 趨 勢 持 樂 觀 的 態 度 影 響 所 及,2014 年 第 一 季 的 日 本 半 導 體 與 設 備 景 氣 呈 現 後 市 看 好 的 趨 勢 / / / / / / / / /09 B/B 值 圖 1-3 北 美 半 導 體 設 備 B/B 值 走 勢 資 料 來 源 : SEMI/ 金 屬 中 心 產 業 研 究 組 整 理 ( 2013/11) 59

65 / / / / / / / / /09 B/B 值 圖 1-4 日 本 半 導 體 設 備 B/B 值 走 勢 資 料 來 源 : SEAJ/ 金 屬 中 心 產 業 研 究 組 整 理 ( 2013/11) 四 全 球 主 要 半 導 體 廠 商 隨 著 先 進 半 導 體 製 造 技 術 門 檻 與 成 本 越 來 越 高, 半 導 體 產 業 的 資 本 支 出 逐 漸 集 中 於 幾 家 技 術 主 導 的 大 型 製 造 商 根 據 IC Insights 的 預 測, 英 特 爾 (Intel) 與 三 星 (Samsung) 在 2013 年 總 計 將 花 費 250 億 美 元 於 提 升 其 製 造 產 能, 佔 全 球 半 導 體 資 本 支 出 的 42% IC Insights 預 測,2013 年 全 球 半 導 體 資 本 支 出 總 額 將 達 到 億 美 元, 較 去 年 微 幅 成 長 2% 排 名 全 球 前 五 大 的 每 一 家 半 導 體 資 本 支 出 業 者 在 2013 年 至 少 都 有 30 億 美 元 的 投 資, 這 與 2012 年 和 2011 年 的 情 況 大 致 相 同 相 較 於 2012 年, 在 2013 年 資 本 支 出 排 名 前 十 大 的 半 導 體 業 者 總 計 將 增 加 5% 的 投 資, 而 除 了 前 十 大 以 外 的 其 它 廠 商 預 計 將 刪 減 8% 的 支 出 從 2010~2013 年 的 4 年 間, 三 星 預 計 將 耗 資 469 億 美 元, 其 中 的 60% 將 用 於 記 憶 體 生 產, 而 40% 則 投 入 於 其 邏 輯 與 晶 圓 代 工 服 務 同 60

66 一 時 期 來 看, 英 特 爾 預 計 將 投 資 400 億 美 元 的 資 本 開 支 值 得 一 提 的 是,2012 年 三 星 和 英 特 爾 共 佔 全 球 半 導 體 資 本 支 出 的 40%, 而 這 一 數 字 預 計 還 將 在 2013 年 增 加 到 42%, IC Insights 表 示 從 不 同 地 區 的 資 本 支 出 預 測 來 看, 由 於 英 特 爾 和 三 星 斥 重 資 投 入, 北 美 與 韓 國 在 晶 片 製 造 業 的 重 要 性 正 與 日 俱 增 IC Insights 並 預 期 日 本 將 增 加 7%, 而 歐 洲 約 僅 2%, 明 顯 反 映 出 歐 洲 幾 乎 完 全 採 用 輕 晶 圓 廠 (fab-lite) 策 略 的 趨 勢 IC Insights 預 期 台 灣 製 造 商 在 2013 年 的 資 本 支 出 持 平, 約 佔 19% 晶 圓 代 工 廠 台 積 電 (TSMC) 與 聯 電 (UMC) 將 持 續 加 大 投 資 力 度, 而 二 線 DRAM 製 造 商 南 亞 (Nanya) 力 晶 (Powerchip) 和 茂 德 (ProMOS) 則 維 持 最 低 限 度 的 投 資 圖 全 球 前 十 大 半 導 體 廠 商 排 名 資 料 來 源 :IC Insights 各 公 司 (2013/11) 61

67 以 下 為 全 球 主 要 半 導 體 製 造 商 的 近 期 動 態 分 析 : 1 英 特 爾 英 特 爾 公 司 宣 布 2013 年 第 三 季 季 度 營 收 達 135 億 美 元, 營 業 利 益 (operating income) 為 38 億 美 元, 淨 利 益 (net income) 為 30 億 美 元, 每 股 獲 利 (EPS) 為 0.58 美 元 英 特 爾 因 營 運 產 生 的 現 金 收 入 約 51 億 美 元, 發 放 11 億 美 元 的 股 利, 並 以 12 億 美 元 購 回 庫 藏 股 英 特 爾 公 司 總 裁 暨 執 行 長 歐 德 寧 (Paul Otellini) 表 示 : 我 們 第 三 季 的 營 收 反 映 了 持 續 嚴 峻 的 經 濟 環 境, 運 算 的 世 界 正 處 於 突 破 性 的 創 新 與 創 造 的 階 段 展 望 第 四 季, 我 們 很 高 興 看 到 Ultrabook 與 手 機 不 斷 獲 得 進 展, 也 為 將 看 到 更 多 內 含 英 特 爾 技 術 的 平 板 電 腦 進 入 市 場 而 感 到 興 奮 2 東 芝 東 芝 2013 年 的 資 本 支 出 金 額 約 21 億 美 元,2013 年 度 聚 焦 於 筆 記 型 電 腦 使 用 SSD 數 位 消 費 者 使 用 的 系 統 晶 片 CMOS 圖 像 感 應 器 等 研 發 的 重 點 領 域 包 括 最 先 端 製 程 次 世 代 記 憶 體 與 微 小 化 的 研 發 等 另 外 東 芝 對 HDD 與 SSD 的 未 來 性 也 作 出 預 測, 認 為 HDD 與 SSD 兩 者 基 本 上 在 未 來 將 一 起 共 存 在 某 些 小 容 量 的 領 域 中, 雖 然 NAND 將 取 代 HDD, 但 是 這 兩 項 產 品 將 分 別 繼 續 擴 大 容 量, 每 一 單 位 記 憶 容 量 的 價 格 也 將 繼 續 下 降 今 後, 預 估 將 會 依 據 產 品 特 性 使 用 於 不 同 用 途, 並 一 起 共 存 SSD 方 面, 首 先 將 以 筆 記 型 電 腦 為 主, 推 動 取 代 HDD 62

68 的 置 換 業 務 3 台 積 電 隨 著 蘋 果 20 奈 米 A7 系 列 應 用 處 理 器 開 始 在 台 積 電 放 量 投 片, 加 上 未 來 可 望 增 加 資 本 支 出, 激 勵 7 檔 包 含 電 子 束 檢 測 設 備 廠 漢 微 科 光 罩 及 晶 圓 傳 送 盒 廠 家 登 鑽 石 碟 及 再 生 晶 圓 廠 中 砂 材 料 及 可 靠 性 檢 測 廠 閎 康 等 半 導 體 設 備 核 心 受 惠 廠 商 業 績 將 全 員 動 起 來 台 積 電 先 進 製 程 擴 產 腳 步 毫 不 遲 疑, 為 趕 上 2014 年 首 季 量 產 進 度,2013 年 第 4 季 對 20 奈 米 製 程 機 台 需 求 更 勝 前 3 季, 相 關 設 備 廠 接 單 更 旺, 甚 至 已 開 始 出 貨 16 奈 米 高 介 電 常 數 金 屬 閘 極 (HKMG) 製 程 用 機 台 國 內 設 備 廠 商 漢 微 科 辛 耘 等 業 者 受 惠 大 客 戶 需 求, 下 半 年 業 績 樂 觀 以 對 在 晶 圓 代 工 龍 頭 台 積 電 的 領 軍 下, 預 估 台 灣 2013 年 的 半 導 體 設 備 和 材 料 投 資 金 額 再 次 領 先 全 球, 分 別 達 到 億 美 元 和 億 美 元, 再 度 蟬 聯 全 球 最 重 要 的 半 導 體 市 場 台 灣 晶 圓 代 工 大 廠 台 積 電 為 了 滿 足 智 慧 型 手 機 平 板 電 腦 客 戶 需 求, 在 日 本 展 開 大 規 模 的 設 備 採 購 行 動, 進 而 推 升 當 地 半 導 體 設 備 業 者 的 銷 售 額 日 本 半 導 體 製 造 裝 置 協 會 (SEAJ) 預 估, 今 年 度 ( 截 至 2014 年 3 月 底 為 止 ) 日 本 半 導 體 設 備 銷 售 額 有 望 年 增 10.2% 至 1.1 兆 日 圓, 其 中 有 大 多 數 營 收 將 來 自 台 積 電 的 龐 大 訂 單 台 積 電 2013 年 的 總 資 本 支 出 (CapEx) 規 模 約 97 億 美 元, 主 要 強 化 28 奈 米 以 下 的 先 進 製 程 產 能, 不 僅 歐 美 日 主 力 設 備 供 應 商 將 獲 大 單, 63

69 國 內 半 導 體 設 備 供 應 鏈 亦 雨 露 均 沾, 尤 其 台 積 電 期 望 能 提 前 20 與 16 奈 米 的 量 產 時 程, 漢 微 科 閎 康 等 位 居 高 端 檢 測 與 分 析 供 應 鏈 的 廠 商, 受 惠 幅 度 更 被 市 場 所 看 好 台 積 電 7 月 營 收 受 到 蘋 果 和 三 星 等 高 階 手 機 銷 售 顯 露 疲 弱, 相 關 供 應 鏈 調 整 庫 存, 中 止 連 續 五 個 月 業 績 攀 升, 降 至 新 台 幣 521 億 元 不 過, 隨 著 中 低 階 產 品 9 月 密 集 上 市, 尤 其 是 中 國 大 陸 品 牌 手 機 銷 售 急 速 衝 高, 相 關 晶 片 幾 乎 都 是 台 積 電 客 戶, 加 上 蘋 果 和 三 星 也 切 入 中 價 手 機 市 場, 讓 台 積 電 8 月 營 收 重 返 成 長 動 能, 有 機 會 衝 至 新 台 幣 550 億 元, 續 創 新 高 台 積 電 先 進 製 程 擴 產 腳 步 毫 不 遲 疑, 為 趕 上 2014 年 首 季 量 產 進 度,2013 年 第 4 季 對 20 奈 米 製 程 機 台 需 求 更 勝 前 3 季, 相 關 設 備 廠 接 單 更 旺, 甚 至 已 開 始 出 貨 16 奈 米 高 介 電 常 數 金 屬 閘 極 (HKMG) 製 程 用 機 台 國 內 設 備 廠 商 漢 微 科 辛 耘 等 業 者 受 惠 大 客 戶 需 求, 下 半 年 業 績 樂 觀 以 對 4 爾 必 達 美 國 DRAM 製 造 商 美 光 (Micron) 欲 收 購 日 本 同 業 爾 必 達 (Elpida) 的 計 畫 已 向 前 邁 進 一 大 步, 東 京 地 方 法 院 已 裁 定 美 光 可 擔 任 爾 必 達 買 主, 同 時 駁 回 由 一 群 爾 必 達 公 司 債 持 有 人 提 出 的 替 代 計 畫 根 據 爾 必 達 聲 明 稿, 東 京 地 方 法 院 周 三 裁 定, 爾 必 達 債 權 人 必 須 在 2013 年 2 月 26 日 前 就 一 項 涵 蓋 美 光 收 購 提 案 的 組 織 重 組 計 畫 進 行 表 決 美 光 於 2012 年 7 月 向 爾 必 達 提 出 以 2,000 億 日 圓 (25 億 美 元 ) 64

70 收 購 方 案, 然 而 一 批 爾 必 達 公 司 債 持 有 人, 在 Linden 顧 問 Owl Creek 資 產 管 理 以 及 Taconic 資 本 顧 問 這 3 家 對 沖 基 金 帶 頭 下 表 示 反 對, 稱 此 舉 嚴 重 不 利 爾 必 達, 因 爾 必 達 的 價 值 遭 嚴 重 低 估 這 些 債 權 人 主 張 爾 必 達 價 值 3,000 億 日 圓 (37.8 億 美 元 ), 並 且 另 提 一 案 互 別 苗 頭 爾 必 達 是 日 本 僅 存 的 DRAM 製 造 商, 已 於 今 年 初 因 產 品 銷 售 走 滑 以 及 不 敵 海 外 競 爭, 而 聲 請 破 產 保 護 美 光 則 因 個 人 電 腦 產 業 益 趨 低 迷 而 虧 損 連 連, 盼 藉 由 收 購 爾 必 達 來 擴 大 規 模 經 濟, 美 光 有 意 以 大 約 7.5 億 美 元 現 金 以 及 迄 2019 年 底 每 年 分 期 支 付 爾 必 達 債 權 人 共 17.5 億 美 元 的 方 式 收 購 若 美 光 成 功 收 購 爾 必 達, 則 美 光 在 全 球 DRAM 市 場 的 版 圖 將 擴 大 1 倍 至 約 24%, 成 為 全 球 第 2 大 DRAM 製 造 商, 僅 居 三 星 電 子 之 後 Jefferies 分 析 師 巴 吉 卡 表 示, 美 光 獲 准 為 爾 必 達 買 主 被 視 為 是 正 向 發 展, 市 場 持 續 期 待 美 光 於 明 年 上 半 完 成 收 購 爾 必 達 事 宜 美 光 收 購 爾 必 達 一 案, 除 須 獲 得 債 權 人 同 意, 尚 待 其 他 國 家 法 院 和 監 管 機 關 放 行 美 光 執 行 長 杜 肯 (Mark Durcan) 表 示, 東 京 地 院 的 裁 決 讓 爾 必 達 在 組 織 重 組 過 程 跨 出 重 要 一 步 5 英 飛 凌 2013 年 的 資 本 支 出 金 額 預 計 約 5 億 美 元, 研 發 將 繼 續 聚 焦 於 能 源 效 率 通 信 安 全 三 大 領 域 的 業 務 在 能 源 效 率 方 面, 對 於 日 趨 重 要 的 能 源 與 環 保 問 題, 提 供 可 滿 足 發 電 送 電 與 電 力 消 費 65

71 上 所 有 需 求 的 最 佳 解 決 方 案, 並 貢 獻 革 命 性 應 用, 幫 助 改 善 產 業 家 庭 汽 車 領 域 的 能 源 使 用 效 率 通 信 方 面, 因 應 金 磚 四 國 手 機 日 漸 普 及 以 及 先 進 國 家 下 一 世 代 系 統 的 發 展, 繼 續 提 供 服 務, 隨 著 網 路 統 合 高 速 通 信 的 擴 大 等, 針 對 通 信 業 界 動 向, 以 廣 泛 的 產 品 陣 容 進 行 應 對 在 安 全 領 域 方 面, 包 括 移 動 式 電 視 或 是 NFC(Near Field Communications) 所 需 使 用 的 高 端 SIM 卡 等 產 品, 以 及 機 器 的 Origine 認 證 應 用 在 內, 將 針 對 今 後 可 能 持 續 成 長 的 領 域 提 供 高 度 安 全 機 能 66

72 貳 半 導 體 設 備 產 業 發 展 現 況 一 全 球 主 要 半 導 體 設 備 市 場 在 全 球 區 域 市 場 方 面, 分 析 2009 至 2014 年 全 球 半 導 體 設 備 區 域 市 場 營 收 百 分 比 ( 如 圖 2-1), 根 據 國 際 半 導 體 設 備 暨 材 料 協 會 (SEMI) 的 統 計 數 據,2012 年 台 灣 位 居 全 球 第 一, 市 場 規 模 約 96 億 美 元, 占 全 球 市 場 的 25.1%, 年 成 長 率 為 12.7%, 成 長 主 因 在 於 台 積 電 創 紀 錄 的 資 本 支 出 金 額 與 全 球 封 裝 大 廠 的 委 外 訂 單 增 加, 台 積 電 2012 與 2013 年 大 幅 增 加 資 本 支 出 於 14 廠 與 15 廠, 主 要 是 擴 充 28 奈 米 的 產 線 ; 日 月 光 與 矽 品 則 是 加 速 先 進 封 裝 製 程 的 投 資 以 滿 足 行 動 裝 置 的 需 求 南 韓 設 備 市 場 為 全 球 第 二 大, 市 場 規 模 約 95.9 億 美 元, 占 全 球 設 備 市 場 的 25.0%, 三 星 2012 年 的 資 本 支 出 金 額 雖 然 未 達 到 預 估 值, 但 由 於 2012 年 三 星 的 主 要 投 資 標 的 皆 位 於 南 韓 本 地, 使 得 南 韓 2012 年 的 設 備 市 場 規 模 年 成 長 率 達 到 11%, 全 球 市 占 率 也 由 2011 年 的 19.9% 大 幅 提 升 至 2012 年 的 25.0% 北 美 設 備 市 場 在 2012 年 位 居 第 三, 整 體 規 模 為 79.5 億 美 元, 占 全 球 市 場 比 例 為 20.8%, 較 2011 年 衰 退 14.1%, 雖 然 整 體 市 場 規 模 不 如 2011 年, 但 英 特 爾 格 羅 方 德 美 光 與 三 星 等 廠 商 的 資 本 支 出, 使 得 北 美 設 備 市 場 在 全 球 仍 居 重 要 位 置 日 本 設 備 市 場 規 模 位 居 全 球 第 四, 金 額 為 37.2 億 美 元, 占 全 球 市 場 的 9.7%,2012 年 衰 退 幅 度 為 36% 根 據 SEMI 的 市 場 調 查 資 料,2012 年 台 灣 日 本 南 韓 及 北 美 半 導 體 設 備 市 場 規 模 總 計 達 到 億 美 元, 占 全 球 設 備 市 場 67

73 (382.2 億 美 元 ) 的 80.7%, 比 例 較 2011 年 的 73.4% 增 加 半 導 體 業 面 臨 庫 存 修 正,2013 年 第 三 季 將 旺 季 不 旺, 第 四 季 營 運 恐 皆 下 滑, 設 備 廠 商 漢 微 科 弘 塑 辛 耘 因 出 售 的 設 備 為 客 戶 規 劃 先 進 製 程 的 必 要 投 資, 不 受 庫 存 修 正 問 題 的 影 響, 今 年 營 運 仍 逐 季 成 長 可 期 設 備 業 者 指 出, 儘 管 下 半 年 產 業 面 臨 庫 存 修 正, 但 仍 較 去 年 成 長, 且 大 廠 規 劃 資 本 支 出 都 屬 先 進 製 程, 基 於 營 運 競 爭 考 量, 先 進 製 程 為 必 要 的 投 資, 也 許 主 要 機 台 設 備 會 受 市 況 影 響, 稍 緩 安 裝 機 台 設 備, 國 內 設 備 廠 商 銷 售 與 代 理 設 備 機 台 較 偏 向 次 要 機 台 設 備, 受 到 延 緩 交 機 的 影 響 小 圖 年 全 球 半 導 體 設 備 區 域 市 場 營 收 百 分 比 資 料 來 源 :SEMI/ 金 屬 中 心 MII 整 理 (2013/11) 二 受 經 濟 景 氣 影 響, 亞 洲 半 導 體 設 備 市 場 版 圖 縮 小 亞 洲 半 導 體 設 備 市 場 規 模 有 日 益 擴 大 的 趨 勢,2005 年 日 本 台 灣 與 南 韓 佔 全 球 市 場 的 61%,2006 年 為 60.3%,2007 年 因 為 台 灣 市 場 規 模 迅 速 膨 脹, 因 此 比 例 成 長 為 63.7%,2008 年 佔 比 為 58% 除 了 上 述 三 大 市 場 外, 中 國 大 陸 與 印 度 市 場 的 崛 起 更 是 不 容 忽 視, 根 據 美 國 半 導 體 材 料 暨 設 備 協 會 (SEMI) 的 市 場 調 查,2006 年 中 國 大 陸 設 備 市 場 規 68

74 模 達 到 23 億 美 元, 成 長 率 74% 高 居 全 球 第 一,2007 年 成 長 率 為 28.8%, 也 高 居 全 球 第 二 位, 僅 次 於 台 灣 若 加 上 中 國 市 場,2007 年 亞 洲 半 導 體 設 備 規 模 高 達 全 球 市 場 的 71% 隨 著 亞 洲 區 域 人 口 及 經 濟 的 高 度 成 長, 此 區 域 也 逐 漸 成 為 許 多 產 業 的 消 費 中 心, 歐 美 企 業 的 外 包 業 務 大 部 分 皆 集 中 於 亞 洲, 更 是 亞 洲 產 業 能 大 幅 成 長 的 主 要 動 力, 亞 洲 半 導 體 設 備 市 場 也 跟 著 受 惠, 尤 其 在 中 國 大 陸 與 印 度 半 導 體 產 業 高 速 成 長 的 帶 動 下, 亞 洲 設 備 市 場 佔 全 球 的 比 重 日 益 增 加, 高 峰 為 2007 年 的 71% 2008 年 後, 因 為 受 到 金 融 風 暴 的 影 響, 全 球 半 導 體 設 備 市 場 的 版 圖 產 生 變 化, 亞 洲 區 域 的 影 響 力 不 若 從 前,2008 年 佔 全 球 比 重 為 64%,2009 年 維 持 64% 2010 年 亞 洲 地 區 逐 漸 擺 脫 景 氣 蕭 條 的 困 境, 半 導 體 產 業 景 氣 逐 漸 好 轉, 因 此 半 導 體 設 備 市 場 佔 全 球 比 重 提 升 至 71% 2011 年 受 到 全 球 經 濟 景 氣 反 轉 向 下 的 影 響, 亞 洲 地 區 半 導 體 設 備 市 場 佔 全 球 比 重 又 急 遽 下 滑 至 61% 左 右 2013 年 亞 洲 地 區 半 導 體 設 備 市 場 佔 全 球 比 重 略 微 回 升 至 65% 左 右 三 全 球 主 要 半 導 體 設 備 製 造 廠 商 動 向 圖 2-2 所 示 為 全 球 主 要 半 導 體 設 備 製 造 商 的 營 收, 研 調 機 構 Gartner 宣 布 最 新 研 調 資 料, 指 出 2012 年 全 球 半 導 體 資 本 設 備 支 出 總 額 為 378 億 美 元, 較 2011 年 減 少 16.1% 其 中, 晶 圓 級 製 造 領 域 受 到 微 69

75 影 (lithography) 與 沈 積 (deposition) 設 備 需 求 疲 弱 的 影 響, 在 2012 年 表 現 低 於 整 體 市 場 Gartner 分 析,2012 年 值 得 注 意 的 現 象, 是 前 十 大 廠 商 的 銷 售 額 全 球 佔 比 進 一 步 攀 升, 已 將 近 70%, 而 2008 年 只 有 61% 這 些 大 型 廠 商 的 成 長 代 表 小 型 廠 商 日 益 萎 縮, 亦 突 顯 設 備 市 場 日 益 仰 賴 少 數 幾 家 供 應 廠 商 關 於 2012 年 半 導 體 資 本 設 備 支 出 的 下 滑,Gartner 表 示,DRAM 產 業 先 前 長 期 供 過 於 求 以 及 市 場 需 求 轉 進 NAND FLASH 之 後 又 造 成 供 過 於 求 的 狀 況 加 劇, 導 致 對 產 能 的 需 求 下 降, 記 憶 體 製 造 廠 相 關 的 採 購 因 此 大 幅 減 少, 而 邏 輯 相 關 支 出 的 成 長 也 難 以 彌 補 記 憶 體 所 造 成 的 缺 口 整 體 而 言, 受 到 2012 年 下 半 年 整 體 半 導 體 裝 置 需 求 減 緩 和 庫 存 暴 增 的 影 響, 製 造 設 備 的 銷 售 量 從 第 二 季 至 年 底 為 止 呈 現 逐 季 下 滑 由 於 沈 積 及 製 程 式 控 制 制 方 面 的 相 對 優 勢, 應 用 材 料 公 司 (Applied Materials) 重 新 登 上 第 一 名 寶 座 而 艾 司 摩 爾 (ASML) 則 因 微 影 市 場 疲 弱 與 極 紫 外 光 (EUV) 銷 售 不 佳 的 影 響, 造 成 營 收 下 滑 東 京 威 力 科 創 (Tokyo Electron Ltd.,TEL) 和 應 材 相 仿, 同 樣 受 惠 於 該 公 司 在 非 微 影 市 場 的 相 對 優 勢 至 於 Lam Research 在 購 併 諾 發 系 統 (Novellus Systems) 之 後 則 晉 升 至 第 四 名 後 端 設 備 領 域, 尤 其 是 晶 圓 級 封 裝 (WLP) 相 關 領 域, 表 現 優 於 整 體 市 場 這 些 領 域 有 的 受 益 於 邏 輯 製 程 投 資 方 面 的 相 對 優 勢, 如 先 進 RF 或 系 統 單 晶 片 (SoC) 測 試 設 備, 有 的 則 是 受 益 於 凸 塊 (bump) 覆 晶 70

76 (flip-chip) 及 其 他 WLP 製 程 的 逐 漸 熱 門, 例 如 : 凸 塊 鍵 合 (stud bump bonding) 和 矽 穿 孔 (TSV) 的 晶 圓 鍵 合 器 Gartner 分 析, 整 體 而 言, 製 程 式 控 制 制 領 域 的 表 現 超 越 整 體 晶 圓 廠 設 備 市 場, 主 因 廠 商 紛 紛 擴 大 奈 米 廠 的 產 能, 以 及 需 要 更 多 的 檢 測 與 缺 陷 再 檢 測 工 具 以 監 控 日 趨 複 雜 的 製 程 在 製 程 式 控 制 制 領 域 當 中, 又 以 電 子 束 晶 圓 檢 測 的 表 現 最 佳, 在 2012 年 當 中 銷 售 量 上 升 了 36% 以 下 介 紹 2013 年 全 球 主 要 半 導 體 設 備 廠 商 的 發 展 動 態 : 1. 應 用 材 料 (Applied Materials) 半 導 體 設 備 業 龍 頭 廠 商 應 用 材 料 (Applied Materials, Inc.) 公 佈 2013 會 計 年 度 第 3 季 (5-7 月 ) 財 報 : 營 收 年 減 15.4%( 季 增 0.5%) 至 19.8 億 美 元 ; 本 業 每 股 盈 餘 達 0.18 美 元 遜 於 一 年 前 的 0.24 美 元 ; 積 壓 訂 單 持 平 於 22.9 億 美 元 應 材 預 估 本 季 (8-10 月 ) 營 收 將 與 上 季 相 當 ; 本 業 每 股 盈 餘 約 美 元 ( 中 間 值 為 0.18 美 元 ) 應 材 表 示, 晶 圓 代 工 廠 商 近 期 可 能 會 放 慢 投 資 步 調, 因 為 現 階 段 他 們 將 以 拉 升 已 安 裝 設 備 產 量 為 主 應 材 晶 圓 代 工 客 戶 包 括 台 積 電 與 三 星 電 子 全 球 最 大 半 導 體 設 備 廠 商 應 用 材 料 (Applied Materials) 於 2013 年 9 月 宣 布 合 併 第 三 大 的 東 京 威 力 科 創 (Tokyo Electron) 雙 方 產 品 線 主 要 是 蝕 刻 機 台 具 重 疊 性, 其 他 產 品 和 市 場 呈 現 互 補 性, 隨 著 半 導 體 客 戶 集 中 化 且 個 別 客 戶 規 模 擴 大, 以 及 450mm(18 吋 晶 圓 ) 世 代 的 龐 大 投 資, 71

77 設 備 廠 以 合 併 因 應 是 意 料 中 事 透 過 這 次 應 用 材 料 併 東 京 威 力 科 創, 應 材 穩 坐 全 球 半 導 體 設 備 廠 龍 頭 根 據 2012 年 全 球 前 十 大 半 導 體 設 備 廠 商 排 名, 應 材 以 全 球 市 佔 率 14.4% 小 贏 ASML 坐 上 龍 頭, 東 京 威 力 科 創 以 市 佔 率 11.1% 排 名 全 球 第 三, 合 併 後 全 球 排 名 順 序 為 應 材 ASML Lam Research 與 KLA-Tencor 2. 艾 斯 摩 爾 (ASML) ASML 成 立 於 1984 年, 以 代 號 ASML 在 荷 蘭 阿 姆 斯 特 丹 Euronext 和 美 國 紐 約 NASDAQ 證 券 交 易 所 掛 牌 公 開 交 易 截 至 2012 年 10 月 止,ASML 在 全 球 15 個 國 家 擁 有 超 過 60 個 辦 事 處,7,000 名 以 上 的 員 工, 光 是 亞 洲 地 區 的 員 工 就 超 過 1,400 人 根 據 Electronic Journal 於 2010 年 的 調 查, 全 球 所 有 排 名 前 十 大 的 半 導 體 產 業 資 本 支 出 大 廠 都 是 ASML 的 客 戶,ASML 在 全 球 微 影 系 統 設 備 的 市 佔 率 是 三 分 之 二, 而 微 影 系 統 設 備 正 是 IC 晶 片 製 造 的 基 礎 ASML 每 年 提 撥 的 研 發 預 算 超 過 5 億 歐 元, 比 競 爭 廠 商 多 出 數 倍 ASML 設 計 製 造 與 整 合 晶 片 微 影 系 統, 擁 有 自 屬 的 服 務 組 織 讓 所 有 系 統 維 持 奈 米 級 的 精 度 ;26 年 來, ASML 採 用 獨 特 的 價 值 委 外 商 業 模 式, 在 夥 伴 網 路 中 有 超 過 600 家 的 供 應 商 迅 速 為 其 提 供 技 術 支 援 和 靈 活 應 變 市 場 需 求 的 能 力, 協 助 ASML 成 功 掌 握 全 球 競 爭 優 勢 根 據 DIGITIMES 於 2012 年 10 月 的 報 導,ASML 將 斥 資 19.5 億 歐 元 (25 億 美 元 ), 收 購 美 國 的 Cymer 公 司, 以 加 快 開 發 可 降 低 製 造 晶 片 成 本 的 技 術 ASML 收 購 Cymer 將 加 速 極 72

78 紫 外 線 (EUV) 半 導 體 光 刻 技 術 的 開 發, 以 生 產 更 強 大 且 功 能 更 多 的 晶 片, 供 未 來 智 慧 手 機 和 平 板 電 腦 使 用 ASML 的 EUV 研 發 計 畫 在 光 源 問 題 上 一 直 遭 遇 挑 戰, 導 致 生 產 延 宕 在 EUV 技 術 上 有 所 延 誤, 基 本 上 是 因 為 EUV 光 源, 而 Cymer 研 究 這 種 光 源 ASML 與 Cymer 密 切 合 作 已 逾 1 年, 收 購 是 自 然 的 發 展 這 樁 併 購 案 混 合 現 金 和 股 票 交 易, 預 定 2013 年 完 成 2013 年 第 二 季 財 報 符 合 市 場 預 期, 艾 司 摩 爾 表 示, 行 動 裝 置 需 求 強 勁, 帶 動 晶 圓 代 工 廠 及 記 憶 體 廠 擴 大 投 資, 其 中 晶 圓 代 工 廠 已 著 手 準 備 20 奈 米 以 下 先 進 製 程 產 能,DRAM 廠 則 擴 大 Mobile DRAM 的 擴 產, 因 此, 下 半 年 市 場 景 氣 將 優 於 上 半 年 艾 司 摩 爾 第 二 季 因 合 併 了 微 影 光 學 廠 Cymer, 單 季 營 收 達 11.8 億 歐 元, 並 銷 售 了 38 台 微 影 設 備, 其 中 來 自 於 晶 圓 代 工 廠 的 訂 單 占 了 43% 強, 又 以 台 積 電 的 訂 單 最 多 而 艾 司 摩 爾 已 接 但 未 出 貨 (backlog) 的 微 影 設 備 訂 單 已 達 42 台, 將 在 年 底 前 陸 續 交 貨 給 客 戶 3. 東 京 威 力 科 創 (TEL) 半 導 體 設 備 廠 商 Tokyo Electron 於 2012 年 7 月 宣 布 將 與 IBM 共 同 進 行 一 項 長 達 數 年 的 新 研 發 企 畫, 將 攜 手 研 發 次 世 代 半 導 體 的 量 產 技 術 (3D 封 裝 技 術 ) TEL 將 活 用 IBM 位 於 紐 約 州 的 據 點, 進 行 一 項 為 期 至 2014 年 的 共 同 企 劃, 雙 方 並 將 活 用 TEL 的 先 端 製 造 設 備, 研 發 可 將 複 雜 的 封 裝 作 業 進 行 效 率 化 生 產 的 方 法, 目 標 為 早 期 確 立 可 將 MPU 等 73

79 半 導 體 進 行 縱 向 堆 疊 的 3D 封 裝 技 術 TEL 主 要 從 事 使 用 於 次 世 代 半 導 體 的 直 通 矽 晶 穿 孔 (TSV) 設 備 的 生 產, 目 前 半 導 體 業 界 正 加 快 可 實 現 省 能 源 縮 小 封 裝 面 積 的 3D 半 導 體 技 術 的 研 發 腳 步, 而 TEL 和 IBM 從 2009 年 就 開 始 進 行 基 礎 技 術 的 研 發, 故 此 次 計 畫 藉 由 延 長 研 發 時 間, 早 期 確 立 3D 封 裝 的 量 產 技 術 TEL 同 時 也 宣 布, 將 以 2.06 億 美 元 收 購 美 國 晶 圓 加 工 設 備 製 造 業 者 Nexx Systems 智 慧 型 手 機 與 平 板 電 腦 帶 動 行 動 終 端 風 潮, 小 型 輕 量 化 成 為 市 場 主 流, 零 組 件 業 者 對 於 先 進 製 程 的 需 求 也 將 增 加, 這 也 是 TEL 將 Nexx Systems 納 入 旗 下 的 理 由 TEL 與 Nexx Systems 先 前 已 針 對 矽 穿 孔 (TSV) 技 術 共 同 進 行 研 發 Nexx Systems 在 電 化 學 沉 積 (ECD) 領 域 擁 有 非 常 突 出 的 優 勢, 雙 方 的 合 作 將 使 TEL 的 晶 圓 級 封 裝 技 術 更 上 一 層 樓 4. 大 日 本 Screen 日 本 半 導 體 液 晶 生 產 及 清 洗 設 備 廠 商 大 日 本 Screen 宣 布, 因 半 導 體 需 求 疲 軟 半 導 體 廠 商 持 續 對 設 備 投 資 抱 持 慎 重 態 度, 導 致 該 公 司 半 導 體 設 備 事 業 的 營 收 及 獲 利 恐 遜 於 原 先 預 期, 故 今 年 度 (2011 年 4 月 年 3 月 ) 合 併 營 收 目 標 自 8 月 9 日 公 佈 的 2,740 億 日 圓 下 修 9.1% 至 2,490 億 日 圓 ( 將 年 減 2.3%), 合 併 營 益 自 240 億 日 圓 下 修 41.7% 至 140 億 日 圓 ( 將 年 減 47.8%), 合 併 純 益 目 標 也 自 原 先 預 估 的 210 億 日 圓 下 修 52.4% 至 100 億 日 圓 ( 年 減 61.1%) 5.Nikon 74

80 日 本 大 廠 Nikon 得 到 英 特 爾 (Intel) 加 持, 將 由 英 特 爾 出 資 數 百 億 日 圓, 共 同 研 發 次 世 代 半 導 體 製 造 設 備 主 要 合 作 目 的 是 聯 手 研 發 曝 光 裝 置, 至 2018 年 止, 完 成 製 造 半 導 體 晶 圓 成 本 減 半 的 技 術 Nikon 在 曝 光 設 備 領 域 擁 有 全 球 二 哥 的 實 力, 如 今 得 到 英 特 爾 金 援, 無 疑 是 如 虎 添 翼 ; 目 前 半 導 體 曝 光 設 備 龍 頭 大 廠 是 荷 蘭 ASML, 該 企 業 同 樣 得 到 英 特 爾 出 資 41 億 美 元, 可 見 半 導 體 廠 和 設 備 廠 正 積 極 攜 手 合 作 Nikon 和 英 特 爾 正 在 研 發 可 將 直 徑 300mm 晶 圓 擴 大 成 450mm 的 曝 光 設 備, 此 舉 有 望 讓 半 導 體 晶 片 數 量 倍 增, 且 製 造 成 本 減 半 6. 三 星 電 子 三 星 電 子 (Samsung Electronics) 合 併 旗 下 3 家 設 備 子 公 司, 預 計 該 公 司 未 來 年 營 收 額 將 達 到 1 兆 韓 元 ( 約 9 億 美 元 ) 以 上 三 星 電 子 子 公 司 Semes 日 前 召 開 理 事 會 議, 宣 佈 已 經 決 定 要 與 同 為 三 星 子 公 司 的 Secron GES 進 行 整 併 Semes 主 要 生 產 半 導 體 及 顯 示 器 製 程 中 需 要 的 設 備, 產 品 包 括 清 洗 蝕 刻 蒸 鍍 等 領 域, 是 南 韓 國 內 最 大 的 設 備 製 造 商, 由 三 星 電 子 持 有 89.01% 的 股 份 Secron 是 專 門 製 造 半 導 體 後 段 製 程 設 備 的 公 司, 由 三 星 電 子 持 有 92.15% 的 股 份 半 導 體 設 備 改 造 公 司 GES 則 是 三 星 電 子 100% 持 股 子 公 司 2011 年 Semes 的 營 收 規 模 為 7,032 億 韓 元 Secron 為 2,096 億 韓 元 GES 為 394 億 韓 元,3 家 公 司 的 總 營 收 達 到 9,522 億 韓 元, 逼 近 1 兆 韓 元,3 家 公 司 的 員 工 人 數 分 別 為 Semes 的 956 人 Secron 的 569 人 GES 的 136 人, 合 併 之 後 總 共 75

81 有 1,661 人, 為 南 韓 國 內 設 備 業 界 中 規 模 最 大 的 企 業 單 位 : 百 萬 美 元 排 名 公 司 名 稱 2012 營 收 2011 營 收 年 成 長 率 (%) 1 Applied Materials 5,513 5, % 2 ASML 4,887 6, % 3 Tokyo Electron Ltd. 4,219 5, % 4 Lam Research 2,835 2, % 5 KLA-Tencor 2,464 2, % 6 Dainippon Screen 1,484 1, % 7 Advantest 1,423 1, % 8 Hitachi High- Technologies Corporation 1, % 9 Nikon 1,007 1, % 10 ASM International 965 1, % Total 37,833 45, % 圖 2-2 全 球 主 要 半 導 體 設 備 製 造 商 營 收 及 成 長 率 資 料 來 源 :VLSI Research(2013/08)/ 金 屬 中 心 MII 整 理 76

82 参 台 灣 半 導 體 設 備 產 業 現 況 一 台 灣 半 導 體 產 業 概 況 根 據 WSTS 統 計,2013Q2 全 球 半 導 體 市 場 銷 售 值 達 746 億 美 元, 較 上 季 (2013Q1) 成 長 6.0%, 較 去 年 同 期 (2012Q2) 成 長 2.1%; 銷 售 量 達 1,774 億 顆, 較 上 季 (2013Q1) 成 長 9.0%, 較 去 年 同 期 (2012Q2) 成 長 3.2%;ASP 為 美 元, 較 上 季 (2013Q1) 衰 退 2.8%, 較 去 年 同 期 (2012Q2) 衰 退 1.1% 2013Q2 美 國 半 導 體 市 場 銷 售 值 達 143 億 美 元, 較 上 季 (2013Q1) 成 長 8.6%, 較 去 年 同 期 (2012Q2) 成 長 10.6%; 日 本 半 導 體 市 場 銷 售 值 達 82 億 美 元, 較 上 季 (2013Q1) 衰 退 3.0%, 較 去 年 同 期 (2012Q2) 衰 退 20.8%; 歐 洲 半 導 體 市 場 銷 售 值 達 85 億 美 元, 較 上 季 (2013Q1) 衰 退 0.2%, 較 去 年 同 期 (2012Q2) 成 長 0.8%; 亞 洲 區 半 導 體 市 場 銷 售 值 達 437 億 美 元, 較 上 季 (2013Q1) 成 長 8.3%, 較 去 年 同 期 (2012Q2) 成 長 5.4% 2013 年 第 二 季 台 灣 整 體 IC 產 業 產 值 ( 含 IC 設 計 IC 製 造 IC 封 裝 IC 測 試 ) 達 新 台 幣 4,800 億 元 (USD$16.2B), 較 上 季 (13Q1) 成 長 16.8%, 較 去 年 同 期 (12Q2) 成 長 14.5% 其 中 IC 設 計 業 產 值 為 新 台 幣 1,216 億 元 (USD$4.1B), 較 上 季 (13Q1) 成 長 20.2%, 較 去 年 同 期 (12Q2) 成 長 20.4%;IC 製 造 業 為 新 台 幣 2,538 億 元 (USD$8.6B), 較 上 季 (13Q1) 成 長 16.7%, 較 去 年 同 期 (12Q2) 成 長 16.4%;IC 封 裝 業 為 新 台 幣 724 億 元 (USD$2.4B), 較 上 季 (13Q1) 成 長 14.0%, 較 去 年 同 期 (12Q2) 成 長 77

83 4.5%;IC 測 試 業 為 新 台 幣 322 億 元 (USD$1.1B), 較 上 季 (13Q1) 成 長 12.2%, 較 去 年 同 期 (12Q2) 成 長 4.2% 新 台 幣 對 美 元 匯 率 以 29.6 計 算 預 估 2013 年 台 灣 IC 產 業 產 值 可 達 新 台 幣 18,703 億 元 (USD$63.3B), 較 2012 年 成 長 14.4% 其 中 設 計 業 產 值 為 新 台 幣 4,830 億 元 (USD$16.3B), 較 2012 年 成 長 17.4%; 製 造 業 為 新 台 幣 9,694 億 元 (USD$32.8B), 較 2012 年 成 長 16.9%; 封 裝 業 為 新 台 幣 2,891 億 元 (USD$9.8B), 較 2012 年 成 長 6.3%; 測 試 業 為 新 台 幣 1,288 億 元 (USD$4.4B), 較 2012 年 成 長 6.0% 新 台 幣 對 美 元 匯 率 以 29.6 計 算 單 位 : 億 新 台 幣 億 新 台 幣 13Q1 季 成 長 年 成 長 13Q2 季 成 長 年 成 長 13Q3 季 成 長 年 成 長 13Q4 季 成 長 年 成 長 2013 年 年 成 長 IC 產 業 產 值 4, % 14.1% 4, % 14.5% 5, % 15.3% 4, % 13.9% 18, % IC 設 計 業 1, % 13.1% 1, % 20.4% 1, % 17.9% 1, % 17.6% 4, % IC 製 造 業 2, % 20.2% 2, % 16.4% 2, % 17.8% 2, % 13.6% 9, % 晶 圓 代 工 1, % 23.2% 1, % 17.9% 2, % 15.2% 1, % 10.6% 7, % 記 憶 體 製 造 % 10.5% % 11.4% % 27.8% % 25.6% 2, % IC 封 裝 業 % 2.4% % 4.5% % 7.1% % 10.7% 2, % IC 測 試 業 % 3.6% % 4.2% % 6.3% % 9.6% 1, % IC 產 品 產 值 1, % 12.2% 1, % 17.4% 1, % 20.8% 1, % 19.8% 6, % 全 球 半 導 體 成 長 率 % 圖 年 我 國 半 導 體 產 業 產 值 與 成 長 率 表 現 資 料 來 源 :TSIA IEK(2013/11) 單 位 : 億 新 台 幣 2010 年 2010 年 成 長 2011 年 2011 年 成 長 2012 年 2012 年 成 長 2013 年 (e) 2013 年 成 長 億 新 台 幣 率 率 率 率 IC 產 業 產 值 17, % 15, % 16, % 18, % IC 設 計 業 4, % 3, % 4, % 4, % IC 製 造 業 8, % 7, % 8, % 9, % 晶 圓 代 工 5, % 5, % 6, % 7, % 記 憶 體 製 造 3, % 2, % 1, % 2, % IC 封 裝 業 2, % 2, % 2, % 2, % IC 測 試 業 1, % 1, % 1, % 1, % 78

84 2010 年 2010 年 成 長 2011 年 2011 年 成 長 2012 年 2012 年 成 長 2013 年 (e) 2013 年 成 長 億 新 台 幣 率 率 率 率 IC 產 品 產 值 7, % 5, % 5, % 6, % 全 球 半 導 體 成 長 率 % - 0.4% % - 2.1% 圖 ~2013 年 我 國 半 導 體 產 業 產 值 與 成 長 率 資 料 來 源 :TSIA IEK(2013/11) 二 台 灣 半 導 體 設 備 產 業 統 計 數 據 3D IC 技 術 目 前 在 IC 設 計 晶 圓 製 造 與 封 測 等 各 領 域 均 有 顯 著 進 展, 預 計 量 產 時 程 為 2014~2015 年, 各 項 應 用 將 逐 步 興 起 在 TSV 深 孔 加 工 微 影 部 分, 目 前 國 內 廠 商 宏 濂 已 著 手 發 展 對 準 儀 (Aligner) 與 步 進 機 (Stepper) 億 力 鑫 投 入 研 發 塗 布 機 (Coater) 外 商 Ultratec 推 動 在 台 組 裝 微 影 設 備 ; 在 研 磨 製 程 部 分, 晶 圓 貼 合 為 關 鍵 設 備, 國 內 廠 商 志 聖 在 烘 烤 迴 焊 與 自 動 壓 膜 機 已 有 研 發 成 果 建 議 可 透 過 政 府 資 源, 協 助 業 者 投 入 製 程 及 設 備 精 進 研 發, 並 透 過 終 端 製 造 商 國 內 外 設 備 廠 商 及 學 研 單 位 的 多 方 合 作, 進 行 機 台 之 研 發 在 半 導 體 前 段 設 備 部 份, 台 灣 廠 商 整 機 製 造 能 力 與 國 外 大 廠 相 較, 仍 有 努 力 的 空 間, 因 此 目 前 當 務 之 急 為 提 高 前 段 設 備 的 零 組 件 耗 材 國 產 化 比 率, 晶 圓 製 造 業 者 基 於 成 本 與 服 務 效 率 的 考 量, 對 於 設 備 零 組 件 的 在 地 化 供 應 已 有 高 度 共 識, 例 如 台 積 電 目 前 正 全 力 推 動 供 應 商 在 地 化 運 籌, 目 標 是 供 應 商 的 50% 產 品 能 夠 由 本 地 供 應 台 灣 半 導 體 前 段 設 備 業 者 可 藉 由 晶 圓 製 造 業 者 釋 出 委 外 代 工 商 機 之 際, 深 化 本 身 技 術 實 力, 再 逐 步 往 整 機 製 造 的 方 向 前 進 在 半 導 體 後 段 設 備 部 份, 台 灣 半 導 體 封 測 大 廠, 例 如 日 月 光 矽 79

85 品 等, 對 本 土 設 備 接 受 度 極 高, 但 較 為 關 鍵 性 製 程, 例 如 銲 線, 因 設 備 機 台 高 度 要 求 準 確 性, 除 非 本 土 廠 商 品 質 可 以 達 到 原 使 用 機 台 的 水 準, 否 則 仍 無 法 與 國 外 廠 商 競 爭 另 外 本 土 廠 商 在 設 備 機 台 的 關 鍵 性 零 組 件 掌 握 度 仍 有 進 步 空 間, 例 如 台 灣 在 雷 射 刻 印 機 的 自 製 率 已 達 到 八 成 以 上, 但 主 要 零 組 件 雷 射 頭 仍 由 國 外 進 口, 顯 見 即 使 國 內 較 為 成 熟 的 技 術, 關 鍵 性 組 件 仍 然 掌 握 在 國 外 廠 商 手 中, 因 此, 如 何 提 升 關 鍵 機 台 及 零 組 件 的 技 術 能 力 是 未 來 台 灣 封 測 設 備 廠 商 努 力 的 目 標 要 使 台 灣 的 半 導 體 產 業 發 展 能 更 蓬 勃, 設 備 產 業 的 同 步 成 長 是 相 當 關 鍵 的 因 素, 台 灣 的 競 爭 對 手, 例 如 南 韓 近 年 體 認 到 發 展 本 土 設 備 的 重 要 性, 積 極 結 合 產 官 學 研 的 力 量 來 增 加 設 備 自 製 率, 台 灣 也 應 體 認 到 此 一 趨 勢, 迅 速 培 養 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 的 研 發 與 技 術 實 力, 並 垂 直 整 合 半 導 體 產 業 的 上 下 游, 如 此 才 能 充 分 發 揮 原 有 優 勢 並 創 造 產 業 的 另 一 高 峰 政 府 及 相 關 學 術 研 究 單 位 也 應 協 助 整 合 產 業 上 下 游 的 研 發 資 源 以 開 發 高 階 機 種, 另 外 也 可 以 稅 負 或 其 他 優 惠 來 鼓 勵 台 灣 半 導 體 業 者 採 用 本 土 設 備, 以 達 到 雨 露 均 霑 的 效 果 政 府 目 前 積 極 推 動 國 內 半 導 體 設 備 與 零 組 件 產 業 發 展, 台 灣 相 關 廠 商 在 政 府 的 主 導 與 全 力 支 援 下, 目 前 在 整 體 設 備 自 製 率 部 份 ( 如 圖 3-3), 也 由 2006 年 的 6% 上 升 至 2012 年 的 15.1%, 預 估 2013 年 可 達 到 17.3%; 至 於 耗 材 零 組 件 的 自 製 率 ( 如 圖 3-4), 也 由 2006 年 的 18.3% 增 加 至 2012 年 的 40.0% 左 右, 估 計 2013 年 可 達 到 50.4% 在 國 內 相 關 廠 80

86 商 之 規 模 無 法 與 其 他 國 外 大 廠 相 比 的 現 實 情 況 下, 要 扶 植 本 土 廠 商 成 為 具 有 國 際 競 爭 力 的 業 者, 集 中 產 學 研 資 源 開 發 關 鍵 設 備 及 零 組 件 是 最 有 效 措 施, 未 來 國 內 半 導 體 設 備 與 耗 材 零 組 件 的 自 製 率 才 能 逐 年 提 升, 提 升 終 端 產 品 競 爭 力, 並 可 協 助 快 速 跨 入 下 一 世 代 之 產 業 領 域 設 備 市 場 需 求 前 段 產 值 後 段 產 值 自 製 率 4,000 新 3,000 台 幣 2,000 億 元 1, , , ,871 2,881 3, (F) 國 內 自 製 率 % ( ) 圖 3-3 國 內 半 導 體 設 備 自 製 率 變 化 趨 勢 資 料 來 源 : 金 屬 中 心 MII(2013/11) 耗 材 零 組 件 市 場 需 求 產 值 自 製 率 新 台 幣 億 元 1, 國 內 自 製 率 % ( ) (F) 0 圖 3-4 國 內 半 導 體 設 備 耗 材 零 組 件 自 製 率 變 化 趨 勢 資 料 來 源 : 金 屬 中 心 MII(2013/11) 81

87 四 台 灣 半 導 體 設 備 重 要 廠 商 動 向 近 年 來 台 灣 半 導 體 設 備 廠 商 表 現 較 佳 的 有 漢 民 帆 宣 沛 鑫 等 廠 商 漢 民 科 技 公 司 為 台 灣 最 大 設 備 代 理 商, 轉 投 資 的 漢 辰 科 技 設 計 製 造, 其 研 發 中 心 設 在 美 國 加 州, 以 方 便 擷 取 美 國 在 半 導 體 製 程 設 備 豐 富 的 人 力 與 物 力 資 源, 自 推 出 自 有 品 牌 的 90 奈 米 製 程 以 下 離 子 植 入 機 istar, 經 過 晶 圓 廠 審 慎 測 試 評 估 後, 已 正 式 移 入 其 生 產 線 使 用 另 一 項 電 子 束 檢 測 設 備 escan 已 行 銷 至 全 球 目 前 漢 民 位 於 南 科 組 裝 廠 本 地 零 組 件 供 應 項 目 達 到 70%, 年 產 能 可 達 30 台 帆 宣 公 司 主 要 為 系 統 代 理 廠 商 及 半 導 體 廠 務 設 施 承 攬 商, 並 自 行 生 產 零 組 件, 近 年 來 跨 足 生 產 平 面 顯 示 器 及 太 陽 能 電 池 設 備, 代 工 生 產 包 括 美 商 業 凱 科 技 8.5 代 電 子 束 陣 列 測 試 等 尖 端 設 備, 並 且 積 極 拓 展 其 他 半 導 體 設 備 次 系 統 代 工,2009 年 營 業 額 達 新 台 幣 41.7 億 元, 客 製 化 設 備 營 收 比 例 提 升 至 20% 以 上 晶 鼎 能 源 科 技 公 司 除 承 接 美 商 Applied Materials Mattson 等 前 段 設 備 次 系 統 代 工 外, 更 藉 由 工 業 局 研 發 計 畫 發 展 TFT LCD 面 板 雷 射 切 割 設 備 超 薄 玻 璃 面 板 切 割 技 術 及 8.5 代 缺 陷 檢 查 設 備, 積 極 切 入 LCD 設 備 領 域 以 及 LED 照 明 應 用 領 域 在 前 段 零 組 件 製 造 方 面, 瑞 耘 科 技 公 司 在 ETCH CVD PVD 及 CMP 製 程 中 消 耗 性 零 組 件 產 品 占 總 營 收 75%; 並 自 行 生 產 單 晶 片 光 阻 塗 布 清 洗 去 光 阻 電 鍍 等 系 統 啟 成 科 技 2 年 前 投 資 國 內 最 大 之 陶 瓷 冷 均 壓 成 型 設 備, 已 逐 漸 展 現 製 82

88 造 成 本 優 勢, 目 前 外 銷 業 務 比 例 已 超 過 70% 其 它 如 公 準 千 附 翔 名 家 登 等 在 關 鍵 零 組 件 開 發 與 製 造 亦 積 極 投 入 另 外, 國 外 主 要 設 備 業 者 如 Applied Materials ASML Tokyo Electron 及 Lam Research 等, 在 台 設 立 研 發 訓 練 及 製 造 據 點, 並 與 國 內 廠 商 合 作 進 行 次 系 統 與 零 組 件 開 發 多 家 全 球 知 名 關 鍵 零 組 件 廠 如 Greene Tweed Kashiyama Nihon Ceratec 等, 也 在 台 設 立 製 造 工 廠, 就 近 供 應 零 組 件 至 於 國 內 半 導 體 封 測 設 備 業 者, 例 如 發 展 濕 製 程 清 洗 設 備 的 廠 商 弘 塑 科 技 與 辛 耘 企 業, 薄 膜 設 備 的 廠 商 力 鼎 精 密, 發 展 光 罩 對 準 曝 光 設 備 的 科 毅 科 技 等, 除 在 8 吋 先 進 封 裝 製 程 市 場 擁 有 一 席 之 地 外, 也 積 極 開 發 12 吋 設 備 在 傳 統 封 裝 設 備 方 面, 如 黏 晶 晶 粒 取 放 設 備 的 廠 商 均 豪 精 密 公 司 ; 生 產 植 球 設 備 的 廠 商 萬 潤 科 技 ; 生 產 檢 測 設 備 的 致 茂 電 子 詳 維 科 技 基 丞 科 技 台 灣 暹 進 及 乘 遠 科 技 等 ; 雷 射 雕 刻 設 備 業 者 則 有 鈦 昇 科 技 及 盛 技 精 密 等 此 外, 近 年 廠 商 開 發 出 新 設 備 包 含 : 博 磊 科 技 研 發 之 12 吋 晶 圓 切 割 設 備 ; 均 豪 精 密 研 發 自 動 封 膠 設 備, 並 透 過 產 學 技 術 合 作, 已 經 成 功 開 發 出 12 吋 晶 片 堆 疊 黏 晶 機 ; 力 鼎 精 密 及 弘 塑 科 技 研 發 之 12 吋 晶 圓 凸 塊 底 部 金 屬 濺 鍍 設 備 與 蝕 刻 設 備 而 國 內 設 備 業 與 晶 圓 廠 合 作 日 益 密 切, 積 極 籌 組 研 發 聯 盟 以 開 發 83

89 先 進 3D 封 裝 設 備 雖 然 目 前 國 內 主 製 程 設 備 之 市 場 占 有 率 不 高, 不 過 技 術 上 已 逐 漸 縮 小 與 國 外 大 廠 的 技 術 差 距 五 台 灣 主 要 半 導 體 設 備 製 造 廠 商 營 收 圖 3-5 所 示 為 台 灣 主 要 半 導 體 製 造 商 的 營 收 及 年 成 長 率 變 化, 台 積 電 2013 年 將 持 續 擴 增 28 與 20 奈 米 產 能, 市 場 預 期 資 本 支 出 也 將 再 往 上 衝 高, 為 了 降 低 設 備 的 投 資 成 本, 台 積 電 近 年 來 開 始 積 極 扶 植 本 土 設 備 廠 商, 包 括 無 塵 室 自 動 化 等 相 關 設 備 廠 漢 唐 盟 立 家 登 也 被 欽 點, 其 訂 單 為 營 運 表 現 注 入 一 股 活 水 台 積 電 2013 年 的 總 資 本 支 出 (CapEx) 規 模 約 97 億 美 元, 主 要 強 化 28 奈 米 以 下 的 先 進 製 程 產 能, 不 僅 歐 美 日 主 力 設 備 供 應 商 將 獲 大 單, 國 內 半 導 體 設 備 供 應 鏈 亦 雨 露 均 沾, 尤 其 台 積 電 期 望 能 提 前 20 與 16 奈 米 的 量 產 時 程, 漢 微 科 閎 康 等 位 居 高 端 檢 測 與 分 析 供 應 鏈 的 廠 商, 受 惠 幅 度 更 被 市 場 所 看 好 封 測 晶 圓 代 工 大 廠 台 積 電 持 續 進 行 強 勁 資 本 支 出, 設 備 廠 漢 微 科 弘 塑 辛 耘 業 績 隨 之 成 長, 漢 微 科 更 在 美 國 整 合 元 件 (IDM) 大 廠 挹 注 之 下, 單 季 寫 下 歷 史 新 高 紀 錄 ; 展 望 後 市, 由 於 半 導 體 先 進 製 程 趨 勢 明 確, 加 上 台 積 電 資 本 支 出 仍 不 手 軟, 各 家 設 備 廠 對 2013 年 業 績 也 樂 觀 以 對 單 位 : 新 台 幣 千 元 84

90 廠 商 類 別 公 司 名 稱 2013 年 1-9 月 累 計 營 收 去 年 同 期 比 較 增 減 (%) 力 晶 26,920, 記 憶 體 南 科 34,537, 華 亞 科 38,323, 華 邦 電 24,830, 晶 圓 代 工 台 積 電 451,218, 聯 電 93,092, 封 測 日 月 光 155,698, 矽 品 50,512, 圖 3-5 台 灣 半 導 體 製 造 商 營 收 變 化 資 料 來 源 : 各 公 司 / 金 屬 中 心 產 業 研 究 組 整 理 (2013/11) 圖 3-6 所 示 為 台 灣 主 要 半 導 體 設 備 製 造 商 的 營 收 及 年 成 長 率 變 化,2013 年 1-9 月 營 收 表 現 較 佳 的 廠 商 為 家 登 弘 塑 帆 宣 與 漢 微 科, 家 登 弘 塑 與 漢 微 科 主 要 是 受 惠 於 台 積 電 的 28 奈 米 接 單 強 強 滾, 帆 宣 則 是 投 入 在 建 工 程 相 較 增 加 致 使 完 工 比 例 法 認 列 之 工 程 收 入 增 加 所 致 單 位 : 新 台 幣 千 元 85

91 廠 商 類 別 公 司 名 稱 2013 年 1-9 月 累 計 營 收 去 年 同 期 比 較 增 減 (%) 京 鼎 1,726, 帆 宣 9,863, 前 段 漢 微 科 3,904, 家 登 精 密 1,195, 弘 塑 1,742, 萬 潤 890, 德 律 3,189, 致 茂 7,738, 後 段 中 國 砂 輪 3,055, 旭 東 832, 志 聖 2,594, 翔 名 943, 圖 3-6 台 灣 半 導 體 設 備 製 造 商 營 收 變 化 資 料 來 源 : 各 公 司 / 金 屬 中 心 產 業 研 究 組 整 理 (2013/11) 五 台 灣 重 要 設 備 廠 商 動 態 以 下 為 台 灣 重 要 半 導 體 設 備 製 造 商 的 近 期 動 態 分 析 : 1 雷 科 雷 科 原 本 為 被 動 元 件 包 材 廠 商, 近 幾 年 成 功 切 入 設 備 機 器 領 域, 產 品 包 括 雷 射 修 阻 機 和 雷 射 切 割 機, 除 了 台 灣 本 土 廠 商 外, 也 攻 入 日 系 韓 系 被 動 元 件 廠 雷 科 表 示, 今 年 進 一 步 以 核 心 的 雷 射 技 術 開 發 出 AOI 檢 測 機 台, 應 用 於 被 動 元 件 產 品 的 印 刷 製 程 與 成 品 外 觀 檢 測, 過 去 在 一 般 尺 寸 的 被 動 元 件 應 用 上 已 順 利 出 貨, 公 司 今 年 進 一 步 開 發 出 微 型 的 檢 測 機 台, 產 品 並 已 陸 續 送 客 戶 驗 證, 最 快 第 3 季 可 以 出 貨, 預 料 是 本 季 的 成 長 動 能 雷 科 預 計 投 資 新 台 幣 3,000 萬 元 於 檢 測 設 備 產 線 的 擴 充 86

92 2 川 寶 PCB 與 半 導 體 曝 光 設 備 廠 商 川 寶 致 力 於 研 發 CCD 對 位 半 自 動 與 全 自 動 曝 光 機, 在 台 灣 中 國 泰 國 與 新 加 坡 等 地 擁 有 超 過 300 家 客 戶, 累 計 銷 售 機 台 數 量 超 過 2,300 台 為 因 應 客 戶 對 曝 光 設 備 的 需 求, 川 寶 預 計 投 資 新 台 幣 2,500 萬 元 於 曝 光 設 備 產 線 的 擴 充 3 易 發 易 發 的 核 心 技 術 在 於 視 覺 對 位 貼 合 與 熱 壓 等 應 用 設 備 的 開 發 設 計 與 製 造, 目 前 所 研 發 的 設 備 涵 蓋 多 個 領 域, 包 括 LED 生 技 醫 療 與 綠 能 產 業 設 備, 避 免 市 場 過 於 集 中 而 受 該 市 場 產 業 景 氣 影 響 易 發 預 計 投 資 新 台 幣 2,000 萬 元 於 LED 與 綠 能 設 備 產 線 的 擴 充 4 漢 微 科 台 積 電 英 特 爾 與 三 星 持 續 推 進 14/16 奈 米, 以 及 3D 的 NAND 等 製 程 技 術, 對 於 更 精 密 的 檢 測 設 備 需 求 增 加, 將 成 為 2014 年 漢 微 科 的 營 收 助 力 預 估 3 家 半 導 體 大 廠 對 漢 微 科 的 營 收 貢 獻 比 重, 將 自 2013 年 的 45~50% 提 升 到 60~65% 同 時, 當 製 程 推 進 到 14/16 奈 米, 半 導 體 廠 對 於 更 快 速 更 精 密 的 電 子 束 檢 測 設 備 需 求 增 長, 有 助 漢 微 科 2013 年 推 出 的 新 機 台 escan500 的 銷 售 增 溫 預 期 escan500 的 平 均 銷 售 價 格 (ASP) 較 前 代 機 台 escan320 高 出 20~30%, 從 2013 年 11 與 12 月 開 始 就 可 以 挹 注 漢 微 科 營 收 5 久 元 87

93 IC 測 試 與 LED 挑 檢 廠 久 元 受 惠 於 LED 一 般 照 明 趨 勢 穩 健 向 上, 第 三 季 LED 挑 檢 代 工 出 貨 量 增, 加 上 驅 動 IC 觸 控 IC 的 測 試 量 持 穩, 預 估 Q3 營 收 將 季 增 約 5%; 同 時, 久 元 自 製 的 影 像 感 測 器 測 試 設 備 等 產 品, 動 能 則 可 望 在 Q3 季 底 至 Q4 接 棒 演 出, 動 能 估 將 延 續 至 年 底 不 墜 久 元 預 計 投 資 新 台 幣 2,800 萬 元 於 IC 測 試 設 備 產 線 的 擴 充 6 台 灣 村 田 機 械 台 灣 村 田 機 械 投 資 新 台 幣 1 億 元, 申 請 在 南 部 科 學 工 業 園 區 台 南 園 區 投 資 設 立, 擬 研 發 設 計 生 產 及 銷 售 下 列 產 品 : 自 動 化 物 料 搬 運 系 統 台 灣 村 田 機 械 產 品 為 自 動 化 物 料 搬 運 系 統, 主 要 運 用 於 晶 圓 廠 之 自 動 化 物 料 搬 運, 有 效 的 管 理 晶 圓 搬 運 的 時 間, 及 提 升 晶 圓 良 率 潔 淨 度 及 精 確 性 台 灣 晶 圓 代 工 及 先 進 製 程 市 佔 率 為 全 球 第 一, 其 中 南 科 的 台 積 電 14 廠 更 是 全 球 最 大 的 12 吋 晶 圓 廠, 與 聯 電 12 廠 (12 吋 晶 圓 廠 ) 佔 國 內 半 導 體 代 工 年 產 值 1/3 以 上, 因 此 台 灣 村 田 機 械 引 進 除 供 應 台 積 電 聯 電 等 半 導 體 大 廠 訂 單 需 求, 更 可 增 加 國 內 晶 圓 廠 的 競 爭 力 7 邁 鑫 本 案 投 資 資 金 為 新 台 幣 2 億 元, 主 要 研 發 製 造 CNC 立 臥 式 綜 合 加 工 機 中 心 鑽 孔 機 五 軸 加 工 機 及 龍 門 加 工 機, 邁 鑫 機 械 產 品 對 於 精 密 模 具 加 工 汽 機 車 航 太 高 科 技 3C 及 電 子 等 產 業 相 關 零 組 件 加 工 皆 不 可 或 缺, 進 駐 二 林 園 區 設 廠 後, 主 要 以 發 展 3C 產 品 及 電 子 產 業 88

94 關 鍵 零 組 件 所 用 工 具 機 加 工 設 備 為 主, 將 有 利 於 相 關 產 業 降 低 購 置 機 台 成 本, 強 化 產 業 競 爭 力 8 牧 德 因 應 目 前 各 PCB 軟 硬 板 及 IC 載 板 廠 商 採 購 新 型 檢 測 設 備 的 需 求, 牧 德 除 了 擴 廠 設 備 的 汰 舊 換 新 以 及 自 動 化 設 備 補 助 人 力 不 足 之 外 ; 更 重 要 的 驅 動 因 素 在 於 因 應 新 製 程 之 所 需, 如 目 前 新 的 CSP 載 板 產 品, 其 線 寬 及 線 距 大 幅 縮 小, 牧 德 為 因 應 新 產 品 的 製 程 所 需, 必 須 增 購 新 設 備 因 應 2013 年 5 月 底, 在 竹 科 標 購 下 一 座 法 拍 廠 房, 位 置 位 於 科 技 生 活 館 的 正 對 面, 結 構 相 當 完 整, 總 計 共 有 地 下 一 層 地 上 6 層 樓 的 空 間, 整 體 空 間 超 過 3,000 坪, 為 現 有 廠 房 的 3 倍 之 多 擴 產 完 成 後, 牧 德 年 營 收 可 達 到 新 台 幣 20 億 元 的 規 模 ( 相 當 月 營 收 可 容 納 至 1.6 億 元 左 右 ), 約 為 目 前 的 1.3 倍 9 家 登 家 登 2013 年 1~9 月 營 收, 受 益 於 併 入 中 國 汽 車 通 路 子 公 司 的 貢 獻, 年 增 38.7% 累 計 12 億 元 家 登 強 調, 面 對 上 半 年 較 為 低 迷 的 營 收 表 現, 公 司 營 運 已 逐 漸 走 出 谷 底, 並 透 過 嚴 格 管 控 內 部 營 運 成 本 積 極 調 整 組 織 架 構 並 提 升 內 部 運 作 效 率, 以 及 淘 汰 部 分 低 貢 獻 度 的 產 品 項 目 與 花 費 投 入 具 高 獲 利 效 應 的 產 品 與 認 證 未 來, 營 運 將 逐 步 回 歸 正 軌 89

95 六 國 內 半 導 體 設 備 自 製 率 偏 低 根 據 統 計,2013 年 台 灣 半 導 體 產 業 產 值 約 新 台 幣 1.8 兆 元, 佔 全 球 市 場 的 19% 在 次 產 業 部 分, 台 灣 半 導 體 製 造 與 封 測 產 業 市 佔 率 皆 高 居 全 球 第 一, 半 導 體 設 計 則 是 全 球 第 二 圖 3-7 是 SEMI 於 2013 年 7 月 所 作 的 最 新 統 計 數 據,2013 年 全 球 半 導 體 設 備 需 求 達 到 363 億 美 元, 其 中 台 灣 市 場 規 模 為 105 億 美 元, 台 灣 佔 全 球 半 導 體 設 備 需 求 市 場 的 比 率 達 到 29%, 高 居 全 球 第 一 2013 年 國 內 半 導 體 設 備 需 求 規 模 為 新 台 幣 3,070 億 元, 產 值 為 新 台 幣 530 億 元, 因 此 自 製 率 約 為 17.3% 雖 然 台 灣 整 體 半 導 體 產 業 的 經 營 績 效 優 異, 但 在 晶 圓 製 造 所 需 關 鍵 設 備 的 自 製 率 卻 遠 不 及 歐 美 日 韓 等 國 家, 本 土 設 備 業 者 大 部 分 只 能 在 後 段 封 測 設 備 (2012 年 僅 佔 整 體 設 備 市 場 16.5%) 上 尋 求 發 展, 至 於 前 段 關 鍵 製 程 設 備 市 場, 能 夠 有 所 發 揮 的 業 者 屈 指 可 數, 僅 有 漢 民 微 測 京 鼎 等 少 數 幾 家 廠 商 日 本 10% 其 他 6% 台 灣 29% 歐 洲 7% 中 國 大 陸 8% 北 美 22% 南 韓 18% 2013 年 需 求 市 場 :362.9 億 美 元 圖 年 全 球 半 導 體 設 備 區 域 市 場 營 收 百 分 比 資 料 來 源 :SEMI/ 金 屬 中 心 MII 整 理 (2013/07) 90

96 七 國 內 半 導 體 設 備 產 業 之 全 球 競 爭 力 表 3-1 是 國 內 半 導 體 設 備 產 業 的 全 球 競 爭 力 分 析,2013 年 國 內 半 導 體 設 備 市 場 規 模 達 到 新 台 幣 3,070 億 元, 佔 全 球 市 場 的 29%, 但 國 內 產 值 佔 全 球 的 比 重 僅 為 4.9%, 顯 示 國 內 半 導 體 廠 商 大 部 分 皆 採 用 國 外 設 備 廠 商 的 產 品, 亦 即 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 的 競 爭 力 不 如 國 外 業 者 由 表 3-1 的 威 脅 部 分, 可 觀 察 出 目 前 南 韓 與 新 加 坡 等 政 府 與 廠 商 皆 積 極 發 展 半 導 體 設 備 產 業, 若 台 灣 再 不 迎 頭 趕 上, 極 有 可 能 無 法 保 住 現 有 之 地 位 表 3-1 國 內 半 導 體 設 備 產 業 的 全 球 競 爭 力 分 析 優 勢 劣 勢 年 國 內 IC 設 備 市 場 達 新 台 幣 3,070 億 元, 約 占 全 球 市 場 的 29%, 12 吋 晶 圓 廠 達 18 座, 為 全 球 最 密 集 地 區 1. 外 商 長 期 耕 耘 IP 保 護 形 成 進 入 障 礙, 僅 能 透 過 原 廠 認 證 或 引 進 在 台 製 造 2. 部 分 關 鍵 模 組 如 雷 射 及 光 學 鏡 組, 受 2. 晶 圓 代 工 製 程 技 術 已 取 得 全 球 領 先 地 位, 對 設 備 研 發 具 有 影 響 力 限 於 戰 略 管 制 及 產 業 基 礎 不 易 發 展 3. 受 限 於 廠 商 規 模 與 使 用 者 風 險 考 3. 政 府 推 動 LCD 設 備 及 零 組 件 發 展 已 累 積 技 術 能 力 量, 不 易 發 展 整 機 以 帶 動 整 體 產 業 鏈 機 會 威 脅 1. IC 耗 材 零 組 件 國 內 供 應 已 達 50%, User 持 續 推 動 國 產 化 以 降 低 製 造 成 本 2. 由 IC/LCD 零 組 件 製 造 能 力, 發 展 真 空 / 自 動 化 等 共 通 性 模 組 技 術 3. 引 用 LCD 清 洗 / 檢 測 等 設 備 及 模 組 技 1. 韓 國 IC 設 備 自 製 率 達 46.7%, 部 分 產 品 已 進 入 台 灣 市 場 2. 新 加 坡 運 用 低 稅 賦 及 國 際 化 積 極 吸 引 外 商 投 資 3. 外 商 設 備 廠 佈 局 亞 洲 其 他 地 區, 扶 植 當 地 廠 商 加 入 競 爭 術 基 礎, 發 展 IC 設 備 資 料 來 源 : 金 屬 中 心 MII 整 理 (2013/11) 91

97 八 解 決 台 灣 半 導 體 設 備 產 業 困 境 的 方 法 在 半 導 體 前 段 設 備 部 份, 台 灣 廠 商 整 機 製 造 能 力 與 國 外 大 廠 相 較, 仍 有 努 力 的 空 間, 因 此 目 前 當 務 之 急 為 提 高 前 段 設 備 的 零 組 件 耗 材 國 產 化 比 率, 晶 圓 製 造 業 者 基 於 成 本 與 服 務 效 率 的 考 量, 對 於 設 備 零 組 件 的 在 地 化 供 應 已 有 高 度 共 識, 例 如 台 積 電 目 前 就 全 力 推 動 供 應 商 在 地 化 運 籌, 目 標 是 供 應 商 的 50% 產 品 能 夠 由 本 地 供 應 台 灣 半 導 體 前 段 設 備 業 者 可 藉 由 晶 圓 製 造 業 者 釋 出 委 外 代 工 商 機 之 際, 深 化 本 身 技 術 實 力, 再 逐 步 往 整 機 製 造 的 方 向 前 進 在 半 導 體 後 段 設 備 部 份, 台 灣 半 導 體 封 測 大 廠, 例 如 日 月 光 矽 品 等, 對 本 土 設 備 的 接 受 度 極 高, 但 較 為 關 鍵 性 製 程, 例 如 銲 線, 因 要 求 設 備 機 台 高 度 準 確 性, 除 非 本 土 廠 商 品 質 可 以 達 到 原 來 使 用 機 台 的 水 準, 否 則 還 是 無 法 與 國 外 廠 商 競 爭 另 外 本 土 廠 商 在 設 備 機 台 的 關 鍵 性 零 組 件 掌 握 度 還 是 有 進 步 的 空 間, 例 如 台 灣 設 備 商 雖 然 在 雷 射 刻 印 機 的 自 製 率 已 達 到 八 成 以 上, 但 主 要 零 組 件 雷 射 頭 還 是 要 由 國 外 進 口, 顯 見 即 使 是 國 內 較 為 成 熟 的 技 術, 關 鍵 性 組 件 仍 然 掌 握 在 國 外 廠 商 手 中, 因 此 如 何 提 升 關 鍵 機 台 及 零 組 件 的 技 術 能 力 是 未 來 台 灣 封 測 設 備 廠 商 努 力 的 目 標 92

98 九 結 論 要 使 台 灣 的 半 導 體 產 業 發 展 能 更 蓬 勃, 設 備 產 業 的 同 步 成 長 是 相 當 關 鍵 的 因 素, 台 灣 的 競 爭 對 手, 例 如 南 韓 近 年 體 認 到 發 展 本 土 設 備 的 重 要 性, 積 極 結 合 產 官 學 研 的 力 量 來 增 加 設 備 自 給 率, 台 灣 也 應 體 認 到 此 一 趨 勢, 迅 速 培 養 國 內 半 導 體 設 備 廠 商 的 研 發 與 技 術 實 力, 並 垂 直 整 合 半 導 體 產 業 的 上 下 游, 如 此 才 能 充 分 發 揮 原 有 優 勢 並 創 造 產 業 的 另 一 高 峰 政 府 及 相 關 學 術 研 究 單 位 也 應 協 助 整 合 產 業 上 下 游 的 研 發 資 源 以 開 發 高 階 機 種, 另 外 也 可 以 稅 負 或 其 他 優 惠 來 鼓 勵 台 灣 半 導 體 業 者 採 用 本 土 設 備, 以 達 到 雨 露 均 霑 的 效 果 93

99 附 件 七. 廠 商 訪 談 記 錄 公 司 名 稱 : 旌 暘 股 份 有 限 公 司 建 檔 日 期 :102 年 02 月 06 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 資 本 額 ( 元 ) 207,936 千 元 (100 年 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 58 人 旌 暘 集 團 始 創 於 1968 年, 從 1969 年 至 今 集 團 專 業 設 計 製 造 壓 延 機 系 列 及 相 關 輔 機 設 備, 現 已 成 為 知 名 的 壓 延 機 ( 膠 布 機 ) 系 列 整 廠 設 備 製 造 商, 並 提 供 包 含 市 場 調 研 預 算 設 計 製 造 安 裝 培 訓 升 級 的 交 鑰 匙 工 程 全 面 服 務 和 OEM 代 料 加 工, 並 成 功 進 軍 光 電 及 電 子 設 備 製 造 旌 暘 公 司 投 入 研 發 轉 型 成 功, 由 傳 統 塑 料 機 械 廠 轉 型 為 符 合 光 電 及 電 子 產 業 之 設 備 製 造 工 廠 生 產 製 造 各 種 功 能 機 台, 包 含 各 種 塗 佈 結 構 設 計 及 微 細 壓 印 製 程, 並 可 以 客 製 化 產 品 設 備, 所 有 設 備 並 符 合 潔 淨 / 無 塵 等 高 規 格 設 計 1. 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 2. UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 3. 客 製 化 塗 佈 頭 設 計 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 自 有 自 有 聯 絡 人 / 職 稱 張 政 聯 / 處 長 電 話 : 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 張 政 聯 / 處 長 林 培 寬 / 經 理 一. 訪 談 內 容 : 1. 旌 暘 公 司 對 捲 對 板 壓 印 技 術 技 術 內 容 討 論 2. 關 鍵 零 組 件 開 發 討 論 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 1. 關 鍵 模 組 開 發 規 劃 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 94

100 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 輔 祥 實 業 股 份 有 限 公 司 4,817,476,330 元 建 檔 日 期 :102 年 02 月 06 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 員 工 人 數 公 司 簡 介 9000 人 輔 祥 實 業 於 1989 年 成 立, 從 創 立 之 初 即 秉 持 不 斷 創 新 的 精 神 及 堅 實 的 專 業 技 術, 全 力 投 入 光 電 顯 示 產 業 的 研 發 與 技 術 發 展, 配 合 整 體 產 業 的 快 速 發 展, 輔 祥 積 極 整 合 資 源, 延 伸 核 心 技 術, 不 斷 投 入 背 光 模 組 的 研 發, 成 為 國 內 背 光 模 組 的 領 導 廠 商 輔 祥 實 業 隸 屬 於 明 基 友 達 集 團, 在 整 個 集 團 供 應 鏈 中 扮 演 關 鍵 模 組 專 業 供 應 者 之 角 色, 以 全 球 佈 局 的 策 略, 生 產 包 含 液 晶 電 視 個 人 顯 視 器 筆 記 型 電 腦 車 用 顯 視 器 等 之 專 業 背 光 模 組 產 品 為 了 提 升 效 率 與 強 化 競 爭 優 勢, 輔 祥 整 合 上 游 導 光 板 及 鐵 件 之 供 給 鏈, 並 結 合 明 基 友 達 集 團 建 立 面 板 模 組 段 組 裝 製 程, 成 為 全 世 界 前 三 大 光 學 級 壓 克 力 板 (PMMA) 與 背 光 模 組 之 設 計 研 發 及 製 造 公 司 輔 祥 多 年 來 辛 勤 努 力 不 懈, 累 積 多 項 機 電 技 術 及 整 合 能 力 由 最 初 電 子 飛 標 靶 跑 步 機 等 健 身 運 產 品 介 紹 產 品 動 設 備 之 設 計 與 製 造, 延 伸 核 心 技 術 跨 入 導 光 板 背 光 模 組 等 高 科 技 光 電 產 業 在 不 同 產 業 領 域 皆 有 傑 出 表 現, 廣 受 市 場 好 評 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 PMMA 板 ( 光 學 級 ) 自 有 背 光 源 模 組 自 有 聯 絡 人 / 職 稱 林 時 正 / 處 長 電 話 : 傳 真 / 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 林 時 正 / 處 長 一. 訪 談 內 容 : 1. 捲 對 板 圖 案 化 技 術 的 討 論 2. 超 薄 導 光 板 圖 案 成 型 技 術 討 論 3. 政 府 輔 導 案 申 請 介 紹 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 2. 超 薄 導 光 板 技 術 開 發 資 料 整 理 3. 關 鍵 技 術 和 專 利 整 理 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 95

101 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 中 國 砂 輪 企 業 股 份 有 限 公 司 壹 拾 肆 億 壹 仟 萬 元 整 建 檔 日 期 :102 年 02 月 07 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 1,535 人 中 國 砂 輪 KINIKCOMPANY 座 落 於 台 灣 著 名 的 陶 瓷 之 鄉 鶯 歌 鎮, 是 一 家 具 有 半 百 悠 久 歷 史 的 砂 輪 專 業 製 造 廠, 舉 凡 生 產 規 模 生 產 技 術 產 品 的 深 度 廣 度 或 是 服 務 客 戶 家 數 等 均 為 同 業 之 冠 本 公 司 掌 握 高 服 務 品 質 及 行 銷 通 路 架 構 完 備 之 競 爭 優 勢, 在 業 界 處 於 領 導 地 位 從 低 階 基 礎 至 高 階 精 密 研 磨 切 削 加 工 使 用 的 砂 輪 或 刀 具 等, 均 可 全 面 供 應, 滿 足 客 戶 的 需 求 由 目 前 提 供 國 內 產 業 使 用 之 產 品 規 格 超 過 十 萬 種, 服 務 的 客 戶 超 過 八 千 家 涵 蓋 各 行 各 業 可 見 一 斑 近 年 來, 有 感 於 傳 統 產 業 轉 型 之 需 要, 本 公 司 本 著 長 久 以 來 所 累 積 研 磨 及 切 削 的 製 造 利 基, 不 斷 投 入 設 備 及 人 力, 從 事 衍 生 性 鑽 石 製 品 的 研 發 創 新 及 進 行 企 業 改 造, 並 跨 足 高 科 技 晶 圓 再 生 產 業 基 於 對 技 術 創 新 擴 大 應 用 的 執 著 及 產 品 品 質 的 重 視, 並 透 過 政 府 相 關 研 發 專 案 在 技 術 及 資 金 上 的 協 助, 使 得 中 國 砂 輪 得 以 跳 脫 傳 統 產 業 的 宿 命, 躍 升 為 高 科 技 產 業 的 一 員 我 們 以 高 科 技 產 業 所 使 用 的 工 具 為 標 靶, 使 用 人 造 鑽 石 ( 包 括 聚 晶 鑽 石 鑽 石 薄 膜 鑽 石 厚 膜 ), 開 發 出 的 製 品, 不 但 幫 客 戶 提 高 工 件 的 使 用 壽 命 與 提 昇 加 工 品 質, 更 減 低 了 地 球 資 源 的 耗 用, 因 此 我 們 很 大 聲 地 將 之 命 名 為 綠 色 鑽 石 1. 各 種 研 磨 品 ( 即 砂 輪 磨 石 砂 布 砂 紙 磨 料 ) 之 製 造 加 工 經 銷 2. 各 種 切 削 刀 具 ( 聚 晶 鑽 石 碳 化 鎢 鋸 片 成 型 刀 ) 之 製 造 加 工 經 銷 3. 代 理 研 磨 加 工 ( 三 次 元 研 磨 加 工 超 精 密 平 面 圓 柱 內 孔 異 型 研 磨 加 工 ; 聚 晶 鑽 石 碳 化 鎢 刀 具 ) 4. 前 各 項 產 品 之 原 物 料 機 械 買 賣 及 代 理 經 銷 業 務 5.CA02090 金 屬 線 製 品 製 造 業 6.CA02990 其 他 金 屬 製 品 製 造 業 - 金 屬 台 金 7.CA03010 熱 處 理 業 8.CA04010 表 面 處 理 業 9.CQ01010 模 具 製 造 業 10.CB01010 機 械 設 備 製 造 業 11.CC01080 電 子 零 組 件 製 造 業 12.C 陶 瓷 及 陶 瓷 製 品 製 造 業 13.C 玻 璃 及 玻 璃 製 品 製 造 業 14.CE01030 光 學 儀 器 製 造 業 15. 除 許 可 業 務 外, 得 經 營 法 令 非 禁 止 或 限 制 之 業 務 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 研 磨 品 切 削 工 具 何 嘉 哲 / 經 理 自 有 自 有 電 話 : ext 6801 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 何 嘉 哲 / 經 理 一. 訪 談 內 容 : 1. 卷 對 板 圖 案 化 技 術 的 討 論 2. LED 基 板 趨 勢 討 論 3. 政 府 輔 導 案 申 請 介 紹 4. 國 內 業 者 的 技 術 能 量 二. 建 議 及 後 續 處 理 事 項 : 1. 討 論 藍 寶 石 基 板 驗 證 可 行 性 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 聯 絡 安 排 測 試 事 項 96

102 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 中 國 砂 輪 企 業 股 份 有 限 公 司 壹 拾 肆 億 壹 仟 萬 元 整 建 檔 日 期 :102 年 03 月 07 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 1,535 人 中 國 砂 輪 KINIKCOMPANY 座 落 於 台 灣 著 名 的 陶 瓷 之 鄉 鶯 歌 鎮, 是 一 家 具 有 半 百 悠 久 歷 史 的 砂 輪 專 業 製 造 廠, 舉 凡 生 產 規 模 生 產 技 術 產 品 的 深 度 廣 度 或 是 服 務 客 戶 家 數 等 均 為 同 業 之 冠 本 公 司 掌 握 高 服 務 品 質 及 行 銷 通 路 架 構 完 備 之 競 爭 優 勢, 在 業 界 處 於 領 導 地 位 從 低 階 基 礎 至 高 階 精 密 研 磨 切 削 加 工 使 用 的 砂 輪 或 刀 具 等, 均 可 全 面 供 應, 滿 足 客 戶 的 需 求 由 目 前 提 供 國 內 產 業 使 用 之 產 品 規 格 超 過 十 萬 種, 服 務 的 客 戶 超 過 八 千 家 涵 蓋 各 行 各 業 可 見 一 斑 近 年 來, 有 感 於 傳 統 產 業 轉 型 之 需 要, 本 公 司 本 著 長 久 以 來 所 累 積 研 磨 及 切 削 的 製 造 利 基, 不 斷 投 入 設 備 及 人 力, 從 事 衍 生 性 鑽 石 製 品 的 研 發 創 新 及 進 行 企 業 改 造, 並 跨 足 高 科 技 晶 圓 再 生 產 業 基 於 對 技 術 創 新 擴 大 應 用 的 執 著 及 產 品 品 質 的 重 視, 並 透 過 政 府 相 關 研 發 專 案 在 技 術 及 資 金 上 的 協 助, 使 得 中 國 砂 輪 得 以 跳 脫 傳 統 產 業 的 宿 命, 躍 升 為 高 科 技 產 業 的 一 員 我 們 以 高 科 技 產 業 所 使 用 的 工 具 為 標 靶, 使 用 人 造 鑽 石 ( 包 括 聚 晶 鑽 石 鑽 石 薄 膜 鑽 石 厚 膜 ), 開 發 出 的 製 品, 不 但 幫 客 戶 提 高 工 件 的 使 用 壽 命 與 提 昇 加 工 品 質, 更 減 低 了 地 球 資 源 的 耗 用, 因 此 我 們 很 大 聲 地 將 之 命 名 為 綠 色 鑽 石 1. 各 種 研 磨 品 ( 即 砂 輪 磨 石 砂 布 砂 紙 磨 料 ) 之 製 造 加 工 經 銷 2. 各 種 切 削 刀 具 ( 聚 晶 鑽 石 碳 化 鎢 鋸 片 成 型 刀 ) 之 製 造 加 工 經 銷 3. 代 理 研 磨 加 工 ( 三 次 元 研 磨 加 工 超 精 密 平 面 圓 柱 內 孔 異 型 研 磨 加 工 ; 聚 晶 鑽 石 碳 化 鎢 刀 具 ) 4. 前 各 項 產 品 之 原 物 料 機 械 買 賣 及 代 理 經 銷 業 務 5.CA02090 金 屬 線 製 品 製 造 業 6.CA02990 其 他 金 屬 製 品 製 造 業 - 金 屬 台 金 7.CA03010 熱 處 理 業 8.CA04010 表 面 處 理 業 9.CQ01010 模 具 製 造 業 10.CB01010 機 械 設 備 製 造 業 11.CC01080 電 子 零 組 件 製 造 業 12.C 陶 瓷 及 陶 瓷 製 品 製 造 業 13.C 玻 璃 及 玻 璃 製 品 製 造 業 14.CE01030 光 學 儀 器 製 造 業 15. 除 許 可 業 務 外, 得 經 營 法 令 非 禁 止 或 限 制 之 業 務 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 研 磨 品 切 削 工 具 何 嘉 哲 / 經 理 自 有 自 有 電 話 : ext 6801 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 何 嘉 哲 / 經 理 一. 訪 談 內 容 : 1. 藍 寶 石 基 板 蝕 刻 技 術 討 論 2. 藍 寶 石 基 板 圖 案 化 驗 收 的 標 準 3. 國 內 相 關 業 者 的 技 術 能 量 二. 建 議 及 後 續 處 理 事 項 : 1. 取 回 藍 寶 石 基 板 2 盒 2. 進 行 壓 印 實 驗 三. 辦 理 情 形 : 1. 安 排 進 行 壓 印 實 驗 後 續 97

103 公 司 名 稱 : 旌 暘 股 份 有 限 公 司 建 檔 日 期 :102 年 03 月 07 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 資 本 額 ( 元 ) 207,936 千 元 (100 年 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 58 人 旌 暘 集 團 始 創 於 1968 年, 從 1969 年 至 今 集 團 專 業 設 計 製 造 壓 延 機 系 列 及 相 關 輔 機 設 備, 現 已 成 為 知 名 的 壓 延 機 ( 膠 布 機 ) 系 列 整 廠 設 備 製 造 商, 並 提 供 包 含 市 場 調 研 預 算 設 計 製 造 安 裝 培 訓 升 級 的 交 鑰 匙 工 程 全 面 服 務 和 OEM 代 料 加 工, 並 成 功 進 軍 光 電 及 電 子 設 備 製 造 旌 暘 公 司 投 入 研 發 轉 型 成 功, 由 傳 統 塑 料 機 械 廠 轉 型 為 符 合 光 電 及 電 子 產 業 之 設 備 製 造 工 廠 生 產 製 造 各 種 功 能 機 台, 包 含 各 種 塗 佈 結 構 設 計 及 微 細 壓 印 製 程, 並 可 以 客 製 化 產 品 設 備, 所 有 設 備 並 符 合 潔 淨 / 無 塵 等 高 規 格 設 計 4. 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 5. UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 6. 客 製 化 塗 佈 頭 設 計 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 自 有 自 有 聯 絡 人 / 職 稱 張 政 聯 / 處 長 電 話 : 傳 真 / 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 張 政 聯 / 處 長 林 培 寬 / 經 理 一. 訪 談 內 容 : 3. 關 鍵 模 組 設 計 討 論 4. 政 府 輔 導 案 再 次 申 請 討 論 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 4. 關 鍵 模 組 開 發 創 新 性 及 專 利 規 劃 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 98

104 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 中 國 砂 輪 企 業 股 份 有 限 公 司 壹 拾 肆 億 壹 仟 萬 元 整 建 檔 日 期 :102 年 05 月 23 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 1,535 人 中 國 砂 輪 KINIKCOMPANY 座 落 於 台 灣 著 名 的 陶 瓷 之 鄉 鶯 歌 鎮, 是 一 家 具 有 半 百 悠 久 歷 史 的 砂 輪 專 業 製 造 廠, 舉 凡 生 產 規 模 生 產 技 術 產 品 的 深 度 廣 度 或 是 服 務 客 戶 家 數 等 均 為 同 業 之 冠 本 公 司 掌 握 高 服 務 品 質 及 行 銷 通 路 架 構 完 備 之 競 爭 優 勢, 在 業 界 處 於 領 導 地 位 從 低 階 基 礎 至 高 階 精 密 研 磨 切 削 加 工 使 用 的 砂 輪 或 刀 具 等, 均 可 全 面 供 應, 滿 足 客 戶 的 需 求 由 目 前 提 供 國 內 產 業 使 用 之 產 品 規 格 超 過 十 萬 種, 服 務 的 客 戶 超 過 八 千 家 涵 蓋 各 行 各 業 可 見 一 斑 近 年 來, 有 感 於 傳 統 產 業 轉 型 之 需 要, 本 公 司 本 著 長 久 以 來 所 累 積 研 磨 及 切 削 的 製 造 利 基, 不 斷 投 入 設 備 及 人 力, 從 事 衍 生 性 鑽 石 製 品 的 研 發 創 新 及 進 行 企 業 改 造, 並 跨 足 高 科 技 晶 圓 再 生 產 業 基 於 對 技 術 創 新 擴 大 應 用 的 執 著 及 產 品 品 質 的 重 視, 並 透 過 政 府 相 關 研 發 專 案 在 技 術 及 資 金 上 的 協 助, 使 得 中 國 砂 輪 得 以 跳 脫 傳 統 產 業 的 宿 命, 躍 升 為 高 科 技 產 業 的 一 員 我 們 以 高 科 技 產 業 所 使 用 的 工 具 為 標 靶, 使 用 人 造 鑽 石 ( 包 括 聚 晶 鑽 石 鑽 石 薄 膜 鑽 石 厚 膜 ), 開 發 出 的 製 品, 不 但 幫 客 戶 提 高 工 件 的 使 用 壽 命 與 提 昇 加 工 品 質, 更 減 低 了 地 球 資 源 的 耗 用, 因 此 我 們 很 大 聲 地 將 之 命 名 為 綠 色 鑽 石 1. 各 種 研 磨 品 ( 即 砂 輪 磨 石 砂 布 砂 紙 磨 料 ) 之 製 造 加 工 經 銷 2. 各 種 切 削 刀 具 ( 聚 晶 鑽 石 碳 化 鎢 鋸 片 成 型 刀 ) 之 製 造 加 工 經 銷 3. 代 理 研 磨 加 工 ( 三 次 元 研 磨 加 工 超 精 密 平 面 圓 柱 內 孔 異 型 研 磨 加 工 ; 聚 晶 鑽 石 碳 化 鎢 刀 具 ) 4. 前 各 項 產 品 之 原 物 料 機 械 買 賣 及 代 理 經 銷 業 務 5.CA02090 金 屬 線 製 品 製 造 業 6.CA02990 其 他 金 屬 製 品 製 造 業 - 金 屬 台 金 7.CA03010 熱 處 理 業 8.CA04010 表 面 處 理 業 9.CQ01010 模 具 製 造 業 10.CB01010 機 械 設 備 製 造 業 11.CC01080 電 子 零 組 件 製 造 業 12.C 陶 瓷 及 陶 瓷 製 品 製 造 業 13.C 玻 璃 及 玻 璃 製 品 製 造 業 14.CE01030 光 學 儀 器 製 造 業 15. 除 許 可 業 務 外, 得 經 營 法 令 非 禁 止 或 限 制 之 業 務 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 研 磨 品 切 削 工 具 自 有 自 有 聯 絡 人 / 職 稱 何 嘉 哲 / 經 理 電 話 : ext 6801 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 何 嘉 哲 / 經 理 一. 訪 談 內 容 : 1. 送 樣 壓 印 樣 品 2.PSS 產 線 規 劃 討 論 3. 國 內 PSS 廠 商 技 術 能 力 討 論 二. 建 議 及 後 續 處 理 事 項 : 1. 與 中 砂 公 司 認 可 設 備 公 司 接 洽, 看 是 否 有 意 願 加 入 聯 盟 和 申 請 政 府 輔 導 案 三. 辦 理 情 形 : 1. 安 排 拜 訪 設 備 廠 商 99

105 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 非 翌 股 份 有 限 公 司 16,000,000 元 建 檔 日 期 :102 年 05 月 28 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 人 非 翌 股 份 有 限 公 司 位 於 台 灣 桃 園 縣 龜 山 鄉 南 上 路 400 巷 18 號 ( 南 崁 ), 公 司 發 展 核 心 主 要 以 層 壓 技 術 為 基 礎, 致 力 開 發 應 用 於 貼 合 與 轉 印 相 關 製 程, 舉 凡 觸 控 面 板 平 面 顯 示 器 與 各 式 材 質 之 表 面 處 理 等 相 關 產 業, 均 以 提 升 客 戶 生 產 價 值 為 優 先 考 量, 創 造 雙 贏, 提 升 競 爭 力 本 公 司 除 提 供 最 新 研 發 之 設 備 外, 並 提 供 客 戶 從 產 品 諮 詢 產 線 製 程 規 畫 整 廠 輸 出 與 後 續 工 法 研 發 等 完 整 的 一 條 龍 配 套 服 務 1. 電 容 式 觸 控 面 板 全 貼 合 設 備 ( 含 CELL/LCM 面 板 全 貼 合 製 程 ) 2. 2D 平 面 立 體 浮 雕 轉 印 設 備 3. 3D 曲 面 奈 米 壓 印 / 薄 膜 轉 印 設 備 ( 含 NIL 奈 米 壓 印 /OMD 之 OMR 與 OMF 表 面 裝 飾 技 術 ) 4. 醫 療 保 健 用 品 生 產 設 備 開 發 與 製 造 5. 其 他 客 製 化 專 用 設 備 設 計 開 發 製 造 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 觸 控 面 板 貼 合 設 備 自 有 3D 曲 面 奈 米 壓 印 設 備 自 有 電 話 : 謝 瑞 發 / 總 經 理 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 溫 仙 進 廠 長 一. 訪 談 內 容 : 5. 奈 米 壓 印 技 術 討 論 6. 藍 寶 石 基 板 壓 印 技 術 介 紹 7. 政 府 輔 導 案 申 請 討 論 介 紹 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 5. 溫 廠 長 將 與 總 經 理 討 論 後 再 做 決 定 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 100

106 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 和 椿 科 技 股 份 有 限 公 司 827,896,930 元 建 檔 日 期 :102 年 06 月 07 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 160 人 1980 年, 和 椿 在 台 灣 跨 出 了 第 一 步 三 十 年 來, 和 椿 秉 持 著 共 享 高 科 技 產 業 技 術 經 驗, 成 就 高 附 加 價 值 的 服 務, 以 及 創 造 客 戶 利 潤 的 工 作 精 神, 引 進 先 進 且 高 品 質 的 關 鍵 組 件, 導 入 新 的 技 術 觀 念, 不 斷 為 追 求 高 品 質 的 工 業 設 計 而 努 力 提 供 一 貫 且 完 整 的 解 決 方 案 從 自 潤 軸 承 線 性 傳 動 零 元 件 驅 動 馬 達 自 動 控 制 產 業 機 器 人 SMT 後 置 程 設 備 及 LED 半 導 體 制 程 設 備, 以 至 於 結 合 應 用 於 建 築 工 程 的 自 然 排 煙 裝 置 隔 震 制 震 裝 置 和 椿 提 供 的 不 僅 是 產 品, 更 是 一 個 概 念 一 個 可 以 提 升 設 計 效 率 進 而 轉 化 成 開 發 者 與 使 用 者 都 能 分 享 其 利 益 的 概 念 自 2001 年 以 來 陸 續 榮 獲 第 十 屆 國 家 磐 石 獎 第 四 屆 小 巨 人 獎, 第 八 屆 創 新 研 究 獎 及 2008 年 國 家 品 質 獎 Aurotek 不 僅 僅 是 公 司 名 稱, 更 是 我 們 引 以 為 傲 的 品 牌 多 項 擁 有 台 灣 精 品 標 誌 的 產 品, 四 次 台 灣 精 品 獎 (1 金 3 銀 ) 的 鼓 勵, 這 些 獎 項 都 肯 定 了 和 椿 的 經 營 績 效 以 及 研 發 能 力, 更 激 勵 了 所 有 和 椿 成 員 向 前 邁 進 自 動 化 組 件 業 務 : 自 製 代 理 之 自 動 化 傳 動 / 驅 動 機 械 零 組 件 電 子 零 組 件 / 電 子 資 訊 控 制 零 組 件 自 動 化 控 制 系 統 產 品 之 銷 售 服 務 業 務 自 動 化 設 備 業 務 : SMT 光 通 信 半 導 體 等 製 程 設 備 系 統 產 品 業 務 之 開 發 與 製 造 銷 售 服 務 業 務 光 電 業 務 : 光 子 晶 體 技 術 / 製 程 設 備 之 開 發 設 計 與 製 造 銷 售 服 務 業 務 節 能 安 全 業 務 : ECO 環 境 保 護 / 節 能 建 材 與 隔 震 制 震 安 全 裝 置 之 代 理 製 造 與 銷 售 服 務 業 務 其 他 產 品 業 務 : 遠 距 教 學 系 統 與 課 程 內 容 管 理 平 台 之 開 發 與 銷 售 服 務 業 務 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 PSS 製 程 設 備 AOI 檢 測 設 備 周 文 山 / 副 理 自 有 自 有 電 話 : ext 286 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 周 文 山 / 副 理 黃 晞 / 專 員 李 昇 儒 / 工 程 師 鮑 朱 鵬 / 工 程 師 一. 訪 談 內 容 : 1. 圖 案 化 技 術 討 論 : PSS 整 線 (spin coat, imprint, dry etch, AOI) 良 率 7~8 成, 單 站 良 率 需 達 9 成 以 上 PDMS 軟 模 壽 命 至 少 30 次, defect 不 會 因 壓 印 次 數 增 加 而 增 加, 反 而 是 呈 現 random 分 佈 ) 2" nanoimprint 不 俱 成 本 優 勢, 4" 以 上 可 以 有 30% 以 上 的 cost down(compared with Lithography) 2. 該 公 司 目 前 以 1 微 米 的 週 期 的 製 作 能 力, 但 若 結 構 週 期 再 往 下 走 可 能 還 需 要 在 詳 細 規 劃 3. 該 公 司 設 備 可 以 進 行 2 2 片 同 時 進 行 壓 印,4 目 前 只 能 進 行 一 片 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 1. 確 認 中 砂 的 投 資 意 願 和 其 它 終 端 使 用 者 的 意 願 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 101

107 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 和 椿 科 技 股 份 有 限 公 司 827,896,930 元 建 檔 日 期 :102 年 06 月 18 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 160 人 1980 年, 和 椿 在 台 灣 跨 出 了 第 一 步 三 十 年 來, 和 椿 秉 持 著 共 享 高 科 技 產 業 技 術 經 驗, 成 就 高 附 加 價 值 的 服 務, 以 及 創 造 客 戶 利 潤 的 工 作 精 神, 引 進 先 進 且 高 品 質 的 關 鍵 組 件, 導 入 新 的 技 術 觀 念, 不 斷 為 追 求 高 品 質 的 工 業 設 計 而 努 力 提 供 一 貫 且 完 整 的 解 決 方 案 從 自 潤 軸 承 線 性 傳 動 零 元 件 驅 動 馬 達 自 動 控 制 產 業 機 器 人 SMT 後 置 程 設 備 及 LED 半 導 體 制 程 設 備, 以 至 於 結 合 應 用 於 建 築 工 程 的 自 然 排 煙 裝 置 隔 震 制 震 裝 置 和 椿 提 供 的 不 僅 是 產 品, 更 是 一 個 概 念 一 個 可 以 提 升 設 計 效 率 進 而 轉 化 成 開 發 者 與 使 用 者 都 能 分 享 其 利 益 的 概 念 自 2001 年 以 來 陸 續 榮 獲 第 十 屆 國 家 磐 石 獎 第 四 屆 小 巨 人 獎, 第 八 屆 創 新 研 究 獎 及 2008 年 國 家 品 質 獎 Aurotek 不 僅 僅 是 公 司 名 稱, 更 是 我 們 引 以 為 傲 的 品 牌 多 項 擁 有 台 灣 精 品 標 誌 的 產 品, 四 次 台 灣 精 品 獎 (1 金 3 銀 ) 的 鼓 勵, 這 些 獎 項 都 肯 定 了 和 椿 的 經 營 績 效 以 及 研 發 能 力, 更 激 勵 了 所 有 和 椿 成 員 向 前 邁 進 自 動 化 組 件 業 務 : 自 製 代 理 之 自 動 化 傳 動 / 驅 動 機 械 零 組 件 電 子 零 組 件 / 電 子 資 訊 控 制 零 組 件 自 動 化 控 制 系 統 產 品 之 銷 售 服 務 業 務 自 動 化 設 備 業 務 : SMT 光 通 信 半 導 體 等 製 程 設 備 系 統 產 品 業 務 之 開 發 與 製 造 銷 售 服 務 業 務 光 電 業 務 : 光 子 晶 體 技 術 / 製 程 設 備 之 開 發 設 計 與 製 造 銷 售 服 務 業 務 節 能 安 全 業 務 : ECO 環 境 保 護 / 節 能 建 材 與 隔 震 制 震 安 全 裝 置 之 代 理 製 造 與 銷 售 服 務 業 務 其 他 產 品 業 務 : 遠 距 教 學 系 統 與 課 程 內 容 管 理 平 台 之 開 發 與 銷 售 服 務 業 務 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 PSS 製 程 設 備 AOI 檢 測 設 備 周 文 山 / 副 理 自 有 自 有 電 話 : ext 286 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 周 文 山 / 副 理 一. 訪 談 內 容 : 討 論 藍 寶 石 基 板 量 產 技 術 設 備 規 劃, 該 公 司 目 前 NPSS 產 現 正 與 南 部 磊 晶 廠 合 作 驗 證, 有 望 通 過 磊 晶 廠 的 驗 證, 對 於 政 府 輔 導 案 有 參 與 意 願, 但 須 待 公 司 高 層 決 定 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 後 續 待 其 他 廠 商 有 參 與 意 願, 或 計 畫 架 構 完 整 時 再 拜 訪 李 昇 儒 / 工 程 師 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 102

108 建 檔 日 期 :102 年 06 月 18 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 公 司 名 稱 : 旌 暘 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 207,936 千 元 (100 年 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 58 人 旌 暘 集 團 始 創 於 1968 年, 從 1969 年 至 今 集 團 專 業 設 計 製 造 壓 延 機 系 列 及 相 關 輔 機 設 備, 現 已 成 為 知 名 的 壓 延 機 ( 膠 布 機 ) 系 列 整 廠 設 備 製 造 商, 並 提 供 包 含 市 場 調 研 預 算 設 計 製 造 安 裝 培 訓 升 級 的 交 鑰 匙 工 程 全 面 服 務 和 OEM 代 料 加 工, 並 成 功 進 軍 光 電 及 電 子 設 備 製 造 旌 暘 公 司 投 入 研 發 轉 型 成 功, 由 傳 統 塑 料 機 械 廠 轉 型 為 符 合 光 電 及 電 子 產 業 之 設 備 製 造 工 廠 生 產 製 造 各 種 功 能 機 台, 包 含 各 種 塗 佈 結 構 設 計 及 微 細 壓 印 製 程, 並 可 以 客 製 化 產 品 設 備, 所 有 設 備 並 符 合 潔 淨 / 無 塵 等 高 規 格 設 計 1. 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 2. UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 3. 客 製 化 塗 佈 頭 設 計 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 張 政 聯 / 處 長 自 有 自 有 電 話 : 傳 真 / 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 林 培 寬 / 經 理 一. 訪 談 內 容 : 討 論 壓 印 關 鍵 模 組 開 發 技 術 趨 勢 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 關 鍵 模 組 開 發 規 劃 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 103

109 公 司 名 稱 : 華 錦 光 電 股 份 有 限 公 司 訪 廠 日 期 :102 年 6 月 18 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 資 本 額 ( 元 ) 50,870,820 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 受 訪 人 / 職 稱 人 華 錦 光 電 (AHEAD) 成 立 於 1995 年, 是 專 業 的 全 像 技 術 (Hologram Technology) 方 案 服 務 與 製 造 商 隸 屬 於 高 雄 華 立 集 團 (WAHLEE Group) 公 司 組 成 由 華 立 集 團 及 慶 齡 工 業 中 心 和 台 灣 大 學 應 力 所 三 方 進 行 產 學 技 術 合 作, 並 結 合 多 位 國 內 外 知 名 大 學 博 碩 士 菁 英, 以 " 光 學 " 為 基 礎 技 術, 衍 生 全 像 與 光 學 干 涉 之 實 用 技 術, 進 行 光 學 機 構 電 子 與 應 用 軟 體 之 系 統 整 合 華 立 集 團 為 目 前 華 人 地 區 最 大 的 電 子 材 設 備 供 應 商, 集 團 營 運 金 額 在 2012 年 已 超 越 新 台 幣 千 億 元 華 錦 光 電 (AHEAD) 位 於 台 灣 台 北, 除 了 沿 承 集 團 中 的 分 工 定 位, 精 研 奈 米 微 結 構 在 光 學 領 域 的 薄 膜 與 玻 璃 應 用 外, 更 將 此 利 用 光 柵 變 換 光 影 的 原 理, 由 純 電 子 科 技 走 向 民 生 產 品 的 創 新 傳 統 的 印 刷 產 業, 有 了 因 此 技 術 導 入 的 防 偽 產 品 面 市 燈 光 號 誌 產 業 有 了 新 的 結 構 聚 光 增 光 而 更 具 效 能 新 一 代 的 3C 產 品 因 此 技 術 的 應 用 變 得 更 吸 睛 公 司 經 營 理 念 為 透 過 " Technology " " Innovation " 與 " System Integration ", 以 提 供 " Value " 而 戮 力 貢 獻 於 光 電 與 全 像 產 業 華 錦 公 司 擁 有, 以 開 發 全 像 和 光 學 測 試 與 應 用 產 品 行 銷 海 內 外 其 中 自 行 研 發 產 製 的 AVID 雷 射 干 涉 儀 與 SPARKLE 高 性 能 點 陣 式 全 像 製 版 機, 更 獲 得 國 內 外 多 項 技 術 貢 獻 與 產 品 創 新 獎 項 全 像 技 術 做 得 細 做 到 奈 米 結 構 就 可 以 讓 晶 圓 與 LED 等 產 業 更 優 化, 我 們 努 力 著 ; 但 我 們 也 思 考 將 此 全 像 技 術 由 隱 性 手 法 朝 顯 性 特 徵 來 加 以 闡 述 發 揚, 光 影 的 美! 就 由 我 們 努 力 來 捕 捉 與 刻 劃, 為 每 一 個 設 計 師 與 每 一 個 產 業 STAND BY, 世 界 會 更 美! 我 們 相 信, 因 為 你 我 都 會 參 與! 有 空 來 華 錦 喝 杯 咖 啡! 共 研 美 麗 新 計 畫! 奈 米 微 結 構,UV 奈 米 壓 印 技 術, 全 像 光 柵 處 理, 專 利 全 像 特 效 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 全 像 防 偽 系 列 標 籤 光 電 元 件 設 計 與 製 品 奈 米 壓 印 材 料 與 機 械 蔡 瀚 陞 副 理 自 有 自 有 自 有 電 話 : 傳 真 / / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 蔡 瀚 陞 / 副 理 一. 訪 談 內 容 : 1. 討 論 奈 米 壓 印 材 料 市 場 : 目 前 國 內 市 場 多 以 國 外 進 口 為 主, 國 內 開 發 不 多 但 國 外 產 品 單 價 較 高 市 場 推 動 較 不 易 2. 奈 米 壓 印 材 料 應 用 在 高 溫 場 合 的 合 適 性 3. 奈 米 材 料 和 基 版 的 密 著 性 問 題, 可 使 用 primer 來 改 善 但 希 望 能 夠 直 接 從 壓 印 材 料 上 改 質 得 到 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 繼 續 評 估 國 內 壓 印 材 料 的 市 場, 作 為 後 續 廠 商 開 發 的 參 考 三. 辦 理 情 形 : 持 續 追 蹤 處 理 104

110 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 中 國 砂 輪 企 業 股 份 有 限 公 司 壹 拾 肆 億 壹 仟 萬 元 整 建 檔 日 期 :102 年 06 月 28 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 1,535 人 中 國 砂 輪 KINIKCOMPANY 座 落 於 台 灣 著 名 的 陶 瓷 之 鄉 鶯 歌 鎮, 是 一 家 具 有 半 百 悠 久 歷 史 的 砂 輪 專 業 製 造 廠, 舉 凡 生 產 規 模 生 產 技 術 產 品 的 深 度 廣 度 或 是 服 務 客 戶 家 數 等 均 為 同 業 之 冠 本 公 司 掌 握 高 服 務 品 質 及 行 銷 通 路 架 構 完 備 之 競 爭 優 勢, 在 業 界 處 於 領 導 地 位 從 低 階 基 礎 至 高 階 精 密 研 磨 切 削 加 工 使 用 的 砂 輪 或 刀 具 等, 均 可 全 面 供 應, 滿 足 客 戶 的 需 求 由 目 前 提 供 國 內 產 業 使 用 之 產 品 規 格 超 過 十 萬 種, 服 務 的 客 戶 超 過 八 千 家 涵 蓋 各 行 各 業 可 見 一 斑 近 年 來, 有 感 於 傳 統 產 業 轉 型 之 需 要, 本 公 司 本 著 長 久 以 來 所 累 積 研 磨 及 切 削 的 製 造 利 基, 不 斷 投 入 設 備 及 人 力, 從 事 衍 生 性 鑽 石 製 品 的 研 發 創 新 及 進 行 企 業 改 造, 並 跨 足 高 科 技 晶 圓 再 生 產 業 基 於 對 技 術 創 新 擴 大 應 用 的 執 著 及 產 品 品 質 的 重 視, 並 透 過 政 府 相 關 研 發 專 案 在 技 術 及 資 金 上 的 協 助, 使 得 中 國 砂 輪 得 以 跳 脫 傳 統 產 業 的 宿 命, 躍 升 為 高 科 技 產 業 的 一 員 我 們 以 高 科 技 產 業 所 使 用 的 工 具 為 標 靶, 使 用 人 造 鑽 石 ( 包 括 聚 晶 鑽 石 鑽 石 薄 膜 鑽 石 厚 膜 ), 開 發 出 的 製 品, 不 但 幫 客 戶 提 高 工 件 的 使 用 壽 命 與 提 昇 加 工 品 質, 更 減 低 了 地 球 資 源 的 耗 用, 因 此 我 們 很 大 聲 地 將 之 命 名 為 綠 色 鑽 石 1. 各 種 研 磨 品 ( 即 砂 輪 磨 石 砂 布 砂 紙 磨 料 ) 之 製 造 加 工 經 銷 2. 各 種 切 削 刀 具 ( 聚 晶 鑽 石 碳 化 鎢 鋸 片 成 型 刀 ) 之 製 造 加 工 經 銷 3. 代 理 研 磨 加 工 ( 三 次 元 研 磨 加 工 超 精 密 平 面 圓 柱 內 孔 異 型 研 磨 加 工 ; 聚 晶 鑽 石 碳 化 鎢 刀 具 ) 4. 前 各 項 產 品 之 原 物 料 機 械 買 賣 及 代 理 經 銷 業 務 5.CA02090 金 屬 線 製 品 製 造 業 6.CA02990 其 他 金 屬 製 品 製 造 業 - 金 屬 台 金 7.CA03010 熱 處 理 業 8.CA04010 表 面 處 理 業 9.CQ01010 模 具 製 造 業 10.CB01010 機 械 設 備 製 造 業 11.CC01080 電 子 零 組 件 製 造 業 12.C 陶 瓷 及 陶 瓷 製 品 製 造 業 13.C 玻 璃 及 玻 璃 製 品 製 造 業 14.CE01030 光 學 儀 器 製 造 業 15. 除 許 可 業 務 外, 得 經 營 法 令 非 禁 止 或 限 制 之 業 務 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 研 磨 品 切 削 工 具 何 嘉 哲 / 經 理 自 有 自 有 電 話 : ext 6801 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 何 嘉 哲 / 經 理 一. 訪 談 內 容 : 討 論 UV 壓 印 設 備 導 入 規 畫, 該 公 司 表 示 有 三 項 原 則 是 該 公 司 導 入 的 設 備 的 考 慮 因 素 1. 技 術 純 熟 2. 成 本 3. 產 業 前 景, 目 前 對 於 壓 印 設 備 仍 尚 未 有 定 論, 後 續 再 持 續 評 估 中 二. 建 議 及 後 續 處 理 事 項 : 1. 整 理 相 關 市 場 資 訊 三. 辦 理 情 形 : 1. 安 排 拜 訪 設 備 廠 商 105

111 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 和 椿 科 技 股 份 有 限 公 司 827,896,930 元 建 檔 日 期 :102 年 07 月 09 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 160 人 1980 年, 和 椿 在 台 灣 跨 出 了 第 一 步 三 十 年 來, 和 椿 秉 持 著 共 享 高 科 技 產 業 技 術 經 驗, 成 就 高 附 加 價 值 的 服 務, 以 及 創 造 客 戶 利 潤 的 工 作 精 神, 引 進 先 進 且 高 品 質 的 關 鍵 組 件, 導 入 新 的 技 術 觀 念, 不 斷 為 追 求 高 品 質 的 工 業 設 計 而 努 力 提 供 一 貫 且 完 整 的 解 決 方 案 從 自 潤 軸 承 線 性 傳 動 零 元 件 驅 動 馬 達 自 動 控 制 產 業 機 器 人 SMT 後 置 程 設 備 及 LED 半 導 體 制 程 設 備, 以 至 於 結 合 應 用 於 建 築 工 程 的 自 然 排 煙 裝 置 隔 震 制 震 裝 置 和 椿 提 供 的 不 僅 是 產 品, 更 是 一 個 概 念 一 個 可 以 提 升 設 計 效 率 進 而 轉 化 成 開 發 者 與 使 用 者 都 能 分 享 其 利 益 的 概 念 自 2001 年 以 來 陸 續 榮 獲 第 十 屆 國 家 磐 石 獎 第 四 屆 小 巨 人 獎, 第 八 屆 創 新 研 究 獎 及 2008 年 國 家 品 質 獎 Aurotek 不 僅 僅 是 公 司 名 稱, 更 是 我 們 引 以 為 傲 的 品 牌 多 項 擁 有 台 灣 精 品 標 誌 的 產 品, 四 次 台 灣 精 品 獎 (1 金 3 銀 ) 的 鼓 勵, 這 些 獎 項 都 肯 定 了 和 椿 的 經 營 績 效 以 及 研 發 能 力, 更 激 勵 了 所 有 和 椿 成 員 向 前 邁 進 自 動 化 組 件 業 務 : 自 製 代 理 之 自 動 化 傳 動 / 驅 動 機 械 零 組 件 電 子 零 組 件 / 電 子 資 訊 控 制 零 組 件 自 動 化 控 制 系 統 產 品 之 銷 售 服 務 業 務 自 動 化 設 備 業 務 : SMT 光 通 信 半 導 體 等 製 程 設 備 系 統 產 品 業 務 之 開 發 與 製 造 銷 售 服 務 業 務 光 電 業 務 : 光 子 晶 體 技 術 / 製 程 設 備 之 開 發 設 計 與 製 造 銷 售 服 務 業 務 節 能 安 全 業 務 : ECO 環 境 保 護 / 節 能 建 材 與 隔 震 制 震 安 全 裝 置 之 代 理 製 造 銷 售 服 務 業 務 其 他 產 品 業 務 : 遠 距 教 學 系 統 與 課 程 內 容 管 理 平 台 之 開 發 與 銷 售 服 務 業 務 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 PSS 製 程 設 備 AOI 檢 測 設 備 周 文 山 / 副 理 自 有 自 有 電 話 : ext 286 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 周 文 山 / 副 理 李 昇 儒 / 工 程 師 一. 訪 談 內 容 : 討 論 藍 寶 石 基 板 量 產 技 術 設 備 規 劃, 該 公 司 對 於 奈 米 壓 印 的 各 種 應 用 領 域, 有 高 度 的 興 趣 過 去 也 曾 參 與 政 府 的 輔 導 案 目 前 正 準 備 政 府 輔 導 案 相 關 簡 報 向 該 公 司 董 事 長 報 告, 之 後 再 決 定 公 司 是 否 參 與 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 準 備 計 畫 簡 報 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 106

112 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 和 椿 科 技 股 份 有 限 公 司 827,896,930 元 建 檔 日 期 :102 年 07 月 24 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 160 人 1980 年, 和 椿 在 台 灣 跨 出 了 第 一 步 三 十 年 來, 和 椿 秉 持 著 共 享 高 科 技 產 業 技 術 經 驗, 成 就 高 附 加 價 值 的 服 務, 以 及 創 造 客 戶 利 潤 的 工 作 精 神, 引 進 先 進 且 高 品 質 的 關 鍵 組 件, 導 入 新 的 技 術 觀 念, 不 斷 為 追 求 高 品 質 的 工 業 設 計 而 努 力 提 供 一 貫 且 完 整 的 解 決 方 案 從 自 潤 軸 承 線 性 傳 動 零 元 件 驅 動 馬 達 自 動 控 制 產 業 機 器 人 SMT 後 置 程 設 備 及 LED 半 導 體 制 程 設 備, 以 至 於 結 合 應 用 於 建 築 工 程 的 自 然 排 煙 裝 置 隔 震 制 震 裝 置 和 椿 提 供 的 不 僅 是 產 品, 更 是 一 個 概 念 一 個 可 以 提 升 設 計 效 率 進 而 轉 化 成 開 發 者 與 使 用 者 都 能 分 享 其 利 益 的 概 念 自 2001 年 以 來 陸 續 榮 獲 第 十 屆 國 家 磐 石 獎 第 四 屆 小 巨 人 獎, 第 八 屆 創 新 研 究 獎 及 2008 年 國 家 品 質 獎 Aurotek 不 僅 僅 是 公 司 名 稱, 更 是 我 們 引 以 為 傲 的 品 牌 多 項 擁 有 台 灣 精 品 標 誌 的 產 品, 四 次 台 灣 精 品 獎 (1 金 3 銀 ) 的 鼓 勵, 這 些 獎 項 都 肯 定 了 和 椿 的 經 營 績 效 以 及 研 發 能 力, 更 激 勵 了 所 有 和 椿 成 員 向 前 邁 進 自 動 化 組 件 業 務 : 自 製 代 理 之 自 動 化 傳 動 / 驅 動 機 械 零 組 件 電 子 零 組 件 / 電 子 資 訊 控 制 零 組 件 自 動 化 控 制 系 統 產 品 之 銷 售 服 務 業 務 自 動 化 設 備 業 務 : SMT 光 通 信 半 導 體 等 製 程 設 備 系 統 產 品 業 務 之 開 發 與 製 造 銷 售 服 務 業 務 光 電 業 務 : 光 子 晶 體 技 術 / 製 程 設 備 之 開 發 設 計 與 製 造 銷 售 服 務 業 務 節 能 安 全 業 務 : ECO 環 境 保 護 / 節 能 建 材 與 隔 震 制 震 安 全 裝 置 之 代 理 製 造 銷 售 服 務 業 務 其 他 產 品 業 務 : 遠 距 教 學 系 統 與 課 程 內 容 管 理 平 台 之 開 發 與 銷 售 服 務 業 務 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 PSS 製 程 設 備 AOI 檢 測 設 備 周 文 山 / 副 理 自 有 自 有 電 話 : ext 286 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 周 文 山 / 副 理 李 昇 儒 / 工 程 師 一. 訪 談 內 容 : 電 訪 和 椿 公 司 討 論 藍 寶 石 基 板 量 產 技 術 設 備 規 劃, 該 公 司 希 望 工 研 院 能 爭 取 材 料 廠 商 或 是 工 研 院 投 入 光 阻 材 料 的 開 發, 壓 印 光 阻 材 料 為 關 鍵 技 術 之 一, 希 望 國 內 投 入 開 掌 握 關 鍵 技 術 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 目 前 正 在 規 劃 聯 盟 計 畫 架 構, 和 確 認 願 意 投 入 廠 商, 材 料 ( 永 光, 長 興 ),ITO( 安 可 ) 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 107

113 建 檔 日 期 :102 年 08 月 08 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 公 司 名 稱 : 旌 暘 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 207,936 千 元 (100 年 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 58 人 旌 暘 集 團 始 創 於 1968 年, 從 1969 年 至 今 集 團 專 業 設 計 製 造 壓 延 機 系 列 及 相 關 輔 機 設 備, 現 已 成 為 知 名 的 壓 延 機 ( 膠 布 機 ) 系 列 整 廠 設 備 製 造 商, 並 提 供 包 含 市 場 調 研 預 算 設 計 製 造 安 裝 培 訓 升 級 的 交 鑰 匙 工 程 全 面 服 務 和 OEM 代 料 加 工, 並 成 功 進 軍 光 電 及 電 子 設 備 製 造 旌 暘 公 司 投 入 研 發 轉 型 成 功, 由 傳 統 塑 料 機 械 廠 轉 型 為 符 合 光 電 及 電 子 產 業 之 設 備 製 造 工 廠 生 產 製 造 各 種 功 能 機 台, 包 含 各 種 塗 佈 結 構 設 計 及 微 細 壓 印 製 程, 並 可 以 客 製 化 產 品 設 備, 所 有 設 備 並 符 合 潔 淨 / 無 塵 等 高 規 格 設 計 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 客 製 化 塗 佈 頭 設 計 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 張 政 聯 / 處 長 自 有 自 有 電 話 : 傳 真 / 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 張 政 聯 / 處 長 林 培 寬 / 經 理 一. 訪 談 內 容 : 討 論 圖 案 化 基 板 基 板 量 產 技 術 設 備 提 案, 該 公 司 表 示 將 在 與 董 事 長 進 行 會 報, 確 認 提 案 的 程 序 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 持 續 追 蹤 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 108

114 建 檔 日 期 :102 年 08 月 22 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 公 司 名 稱 : 旌 暘 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 207,936 千 元 (100 年 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 58 人 旌 暘 集 團 始 創 於 1968 年, 從 1969 年 至 今 集 團 專 業 設 計 製 造 壓 延 機 系 列 及 相 關 輔 機 設 備, 現 已 成 為 知 名 的 壓 延 機 ( 膠 布 機 ) 系 列 整 廠 設 備 製 造 商, 並 提 供 包 含 市 場 調 研 預 算 設 計 製 造 安 裝 培 訓 升 級 的 交 鑰 匙 工 程 全 面 服 務 和 OEM 代 料 加 工, 並 成 功 進 軍 光 電 及 電 子 設 備 製 造 旌 暘 公 司 投 入 研 發 轉 型 成 功, 由 傳 統 塑 料 機 械 廠 轉 型 為 符 合 光 電 及 電 子 產 業 之 設 備 製 造 工 廠 生 產 製 造 各 種 功 能 機 台, 包 含 各 種 塗 佈 結 構 設 計 及 微 細 壓 印 製 程, 並 可 以 客 製 化 產 品 設 備, 所 有 設 備 並 符 合 潔 淨 / 無 塵 等 高 規 格 設 計 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 客 製 化 塗 佈 頭 設 計 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 微 奈 米 結 構 成 型 設 備 UV 光 學 膜 塗 佈 設 備 張 政 聯 / 處 長 自 有 自 有 電 話 : 傳 真 / 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 張 政 聯 / 處 長 一. 訪 談 內 容 : 旌 暘 公 司 張 處 長 來 訪 討 論 圖 案 化 基 板 塗 佈 技 術, 進 行 塗 佈 技 術 規 劃, 確 認 塗 佈 頭 擺 置 的 位 置 及 方 向 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 繼 續 確 認 追 蹤 設 備 架 構 可 行 性 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 109

115 建 檔 日 期 :102 年 09 月 05 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 公 司 名 稱 : 友 達 光 電 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 100,000,000,000 元 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 4,500 人 達 碁 科 技 ( 友 達 光 電 之 前 身 ) 成 立 於 1996 年 8 月, 2001 年 與 聯 友 光 電 合 併 後 更 名 為 友 達 光 電, 2006 年 再 度 與 廣 輝 電 子 合 併 友 達 光 電 為 全 球 領 先 的 液 晶 面 板 設 計 研 發 及 製 造 公 司 是 全 球 少 數 供 應 大 中 小 完 整 尺 寸 產 品 線 之 廠 商 友 達 光 電 亦 是 全 球 第 一 家 於 美 國 紐 約 證 交 所 (NYSE) 股 票 公 開 上 市 之 TFT-LCD 製 造 公 司 而 友 達 光 電 自 2008 年 底 起 進 軍 綠 能 產 業, 2010 年 10 月 正 式 將 業 務 分 為 顯 示 器 及 太 陽 能 兩 大 事 業 友 達 光 電 產 品 涵 蓋 1.2 ~ 71 的 TFT-LCD 面 板, 廣 泛 應 用 於 行 動 電 話 數 位 攝 錄 機 車 用 顯 示 器 筆 記 型 電 腦 桌 上 型 顯 示 器 液 晶 電 視 公 共 顯 示 器 等 產 品, 是 全 球 產 品 線 最 完 整 的 平 面 顯 示 器 廠 商 友 達 長 期 致 力 於 實 踐 企 業 社 會 責 任, 使 其 榮 獲 2009 年 道 瓊 永 續 性 指 數 亞 太 區 成 分 股 之 一, 為 全 球 唯 一 入 選 的 專 業 TFT-LCD 製 造 商 目 前 全 球 員 工 超 過 45,000 人, 分 布 於 台 灣 美 國 日 本 韓 國 新 加 坡 荷 蘭 捷 克 中 國 大 陸 等 營 運 據 點 研 究. 開 發. 生 產. 製 造. 銷 售 下 列 產 品 : 一. 電 漿 顯 示 器 及 其 系 統 二. 液 晶 顯 示 器 及 其 系 統 三. 有 機 發 光 顯 示 器 及 其 系 統 四. 非 晶 矽 光 電 感 應 器 零 組 件 五. 薄 膜 式 二 極 體 光 電 感 應 器 零 組 件 六. 薄 膜 式 電 晶 體 光 電 感 應 器 零 組 件 七. 接 觸 式 影 像 感 應 器 八. 彩 色 主 動 矩 陣 式 平 板 顯 像 器 九. 場 發 射 顯 示 器 十. 單 晶 矽 液 晶 顯 示 器 十 一. 非 晶 矽 薄 膜 電 晶 體 製 程 之 代 工 及 平 板 顯 示 器 模 組 十 二. 平 板 顯 示 器 產 品 之 接 受 委 託 設 計 及 接 受 原 廠 委 託 製 造 業 務 十 三. 太 陽 能 電 池 模 組 相 關 系 統 及 服 務 十 四. 新 淨 潔 能 源 相 關 系 統 及 服 務 ( 限 區 外 經 營 ) 十 五. 兼 營 與 友 達 業 務 有 關 之 貿 易 業 務 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 電 漿 顯 示 器 及 其 系 統 液 晶 顯 示 器 及 其 系 統 有 機 發 光 顯 示 器 及 其 系 統 蔡 志 鴻 / 副 理 自 有 自 有 自 有 電 話 : 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 蔡 志 鴻 / 副 理 一. 訪 談 內 容 : 討 論 奈 米 壓 印 技 術 在 OLED 的 應 用,AUO 表 示 有 此 需 求, 但 需 要 較 大 玻 璃 基 板 尺 寸, 如 G2 大 小, 因 此 以 R2S 的 方 式 或 可 行, 此 外, 如 材 料 耐 化 或 耐 溫 性 也 將 會 是 重 要 關 鍵, 且 其 塗 佈 後 的 平 整 度 需 要 如 原 始 玻 璃 的 水 準 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 該 公 司 要 求 之 大 面 積 圖 案 化 基 版 目 前 製 作 上 會 有 蠻 大 挑 戰, 可 能 需 要 進 一 步 與 模 具 廠 討 論 另 與 國 內 材 料 廠 商 永 光 化 學 約 定 拜 訪 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 110

116 建 檔 日 期 :102 年 09 月 05 日 訪 廠 人 員 : 鄭 貴 元 公 司 名 稱 : 台 灣 永 光 化 學 工 業 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 8,000,000,000 元 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 1055 人 廿 世 紀 七 年 代 永 光 化 學 成 立 之 初, 著 眼 當 時 台 灣 經 濟 興 起 之 契 機, 配 合 政 府 經 濟 政 策, 積 極 培 育 科 技 與 經 營 人 才, 因 應 不 同 時 期 產 業 發 展 之 需, 力 求 突 破 勇 於 挑 戰 高 科 技, 從 事 有 益 於 改 善 生 活 品 質 的 化 學 品 製 造, 加 強 國 家 經 濟 力 量 增 進 國 民 幸 福, 並 透 過 國 際 合 作 及 國 際 市 場 開 發, 促 進 人 類 互 助 互 信 增 進 人 類 福 祉, 進 而 提 升 員 工 生 命 境 界, 享 有 尊 嚴 人 生 永 光 化 學 始 終 堅 持 正 派 經 營, 誠 信 與 客 戶 交 易, 秉 持 愛 心 管 理, 信 任 尊 重 關 懷 與 鼓 勵 每 位 員 工 正 派 經 營, 愛 心 管 理 的 企 業 文 化, 是 本 公 司 永 續 發 展 的 核 心 以 誠 信 守 法 經 營 企 業, 建 立 良 好 企 業 形 象 ; 以 優 良 品 質 公 平 售 價 合 理 利 潤 供 應 產 品, 贏 得 客 戶 的 信 任 與 愛 護 ; 以 公 正 公 開 方 式 對 待 員 工, 提 供 良 好 工 作 環 境, 使 能 安 心 努 力 工 作 ; 誠 實 公 開 財 務 狀 況, 使 股 東 獲 得 應 有 權 益, 得 到 長 期 的 支 持 與 信 任 ; 爭 取 國 際 合 作, 加 速 技 術 升 級, 建 立 卓 著 信 譽 珍 惜 每 位 員 工, 提 供 企 業 舞 台, 使 盡 其 所 能 充 分 發 揮 幫 助 生 命 成 長 ; 發 揮 愛 心, 彼 此 信 任, 互 相 尊 重 鼓 勵 溝 通 真 心 關 懷, 彰 顯 人 生 價 值 ; 嚴 守 紀 律 維 護 團 隊 運 作, 以 好 品 格 生 產 高 品 質 產 品, 成 就 備 受 推 崇 的 企 業, 帶 動 企 業 持 續 成 長 永 光 化 學 始 終 堅 持 正 派 經 營, 誠 信 與 客 戶 交 易, 秉 持 愛 心 管 理, 信 任 與 尊 重 每 位 員 工 本 公 司 秉 持 正 派 經 營, 愛 心 管 理 的 企 業 文 化, 作 為 永 續 發 展 的 核 心 永 光 化 學 專 注 於 色 料 化 學 品 特 用 化 學 品 醫 藥 化 學 品 電 子 化 學 品 及 奈 米 材 料 等 產 品 之 生 產 及 服 務, 所 應 用 之 產 業 為 紡 織 產 業 皮 革 產 業 數 位 列 印 產 業 造 紙 產 業 塗 料 產 業 塑 膠 產 業 IC 產 業 平 面 顯 示 器 觸 控 面 板 手 機 面 板 LED 產 業 太 陽 能 產 業 健 康 醫 療 產 業 等, 涵 蓋 範 圍 非 常 廣 泛 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 特 用 化 學 品 電 子 化 學 品 奈 米 材 料 自 有 自 有 自 有 聯 絡 人 / 職 稱 李 晏 成 / 主 任 電 話 : 傳 真 / 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 蔡 志 鴻 / 副 理 一. 訪 談 內 容 : 拜 訪 永 光 化 學 討 論 奈 米 壓 印 材 料 的 開 發, 永 光 表 示 該 公 司 在 材 料 開 發 上 有 相 關 的 經 驗, 但 目 前 較 大 問 題 是 材 料 的 耐 溫 性, 高 耐 溫 材 料 (300 C) 不 易 開 發, 所 以 可 能 要 考 慮 相 關 的 製 程 整 合 問 題, 後 續 再 持 續 溝 通 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 再 與 後 端 廠 商 確 認 所 需 規 格 三. 辦 理 情 形 : 1. 後 續 持 續 追 蹤 111

117 訪 廠 日 期 :102 年 1 月 16 日 訪 廠 人 員 : 鄭 陳 欽 陳 于 堂 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 德 技 科 技 股 份 有 限 公 司 5 仟 萬 26 人 德 技 成 立 於 1985 年, 為 AVTECH DRANETZ GAMMA HUNTRON NAPSON TREK NANOMETRICS SCI... 等 公 司 簡 介 國 際 知 名 精 密 量 測 / 檢 測 儀 器 製 造 廠 的 在 台 總 代 理, 供 應 各 式 精 密 電 子 測 試 儀 器, 太 陽 能 光 電 半 導 體 測 試 及 檢 測 設 備 總 公 司 位 於 內 湖 科 技 園 區, 另 於 竹 北 市 及 台 南 永 康 市 設 有 辦 事 處 服 務 中 南 區 客 戶 在 台 灣 大 陸 及 日 本 有 集 團 相 係 公 司 : 德 測 廣 鷹 德 享 德 駏 德 儀 等 公 司 產 品 介 紹 德 技 科 技 目 前 主 要 的 產 品 有 : 精 密 電 子 測 試 儀 器 靜 電 / 光 電 / 半 導 體 測 試 及 量 測 系 統 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 精 密 量 測 代 理 德 技 負 責 代 理 銷 售 德 測 負 責 LED 點 測 設 備 製 造 半 導 體 測 試 系 統 以 台 灣 為 主 要 市 場 LED 點 測 設 備 主 要 市 場 在 中 國 大 陸 聯 絡 人 / 職 稱 白 鼎 弘 / 業 務 工 程 師 電 話 : 轉 21 傳 真 / [email protected] 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 白 鼎 弘 ( 工 程 師 ) 一. 訪 談 內 容 : 1. 與 德 技 公 司 白 鼎 弘 工 程 師 討 論 快 速 多 通 道 複 合 功 能 檢 測 設 備 技 術 合 作 2. 德 技 認 為, 多 通 道 檢 測 必 須 能 夠 進 行 COT(Chip on Tape) 檢 測, 否 則 對 user 而 言 就 必 須 另 外 購 買 一 台 COT 檢 測 設 備, 結 果 測 試 成 本 不 降 反 升 3. 德 技 建 議 本 案 應 針 對 未 來 開 發 完 成 後 之 設 備 Cost 加 強 分 析, 務 求 有 Cost down 的 空 間 4. 德 技 並 建 議 在 光 譜 儀 之 開 發 方 面 可 以 考 慮 邀 請 維 明 企 業 參 加 討 論 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 另 行 安 排 拜 訪 維 明 企 業, 尋 求 合 作 可 行 性 三. 辦 理 情 形 : 112

118 訪 廠 日 期 :102 年 02 月 25 日 訪 廠 人 員 : 周 敏 傑 陳 于 堂 公 司 名 稱 : 億 光 電 子 工 業 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 41 億 9 仟 萬 ( 實 收 ) 員 工 人 數 2000 人 ( 台 灣 ) 億 光 電 子 工 業 股 份 有 限 公 司 (Everlight Electronics., Ltd.) 於 1983 年 創 立, 總 公 司 位 於 新 北 市 樹 林 區 中 華 公 司 簡 介 路 6-8 號, 製 造 工 廠 設 立 於 台 灣 ( 土 城 苑 裡 ) 和 中 國 ( 蘇 州 廣 州 ) 為 LED 產 業 的 領 導 廠 商 及 一 家 擁 有 超 過 6,400 位 員 工 的 全 球 化 公 司 在 全 世 界 皆 設 立 有 據 點, 包 括 : 大 陸 香 港 日 本 韓 國 新 加 坡 馬 來 西 亞 印 度 德 國 瑞 典 美 國 及 加 拿 大 億 光 電 子 主 要 產 品 為 戶 外 全 彩 看 板 LED 汽 車 應 用 之 高 可 靠 度 LED 高 功 率 LED 模 組 Ambient Light 產 品 介 紹 Sensor 超 高 輝 度 白 光 SMD LED 超 薄 型 全 彩 SMD LED 高 亮 度 薄 小 表 面 黏 著 型 顯 示 器 等 發 光 二 極 體 相 關 產 品 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 LED 模 組 與 燈 具 Osram 白 光 LED 專 利 授 權 為 目 前 台 灣 最 大 之 LED 封 裝 廠 亞 洲 ( 台 灣 以 外 )40%, 台 灣 30%, 歐 洲 25%, 美 國 5% 聯 絡 人 / 職 稱 曾 永 隆 / 副 課 長 電 話 : 分 機 5381 傳 真 / [email protected] 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 二. 訪 談 內 容 : 1. 說 明 機 械 所 在 LED 廣 低 溫 固 晶 及 多 通 道 檢 測 方 面 的 開 發 現 況 與 構 想, 瞭 解 億 光 電 子 在 LED 封 裝 與 檢 測 方 面 的 技 術 需 求 受 訪 人 / 職 稱 : 林 治 民 ( 協 理 ), 康 桀 侑 ( 主 任 ), 許 嘉 芸 ( 課 2. 該 公 司 希 望 工 研 院 提 供 低 溫 固 晶 已 公 告 之 專 利 一 篇, 以 進 行 評 估 是 否 向 工 研 院 技 術 移 轉 對 於 多 通 道 檢 測 技 術 方 面, 由 於 該 公 司 著 重 於 LED 後 段 封 裝, 晶 粒 檢 測 方 面 皆 由 上 游 晶 元 電 子 泰 谷 光 電 負 責, 因 此 對 於 多 通 道 檢 測 需 求 不 大 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 後 續 將 另 行 安 排 拜 訪 晶 元 電 子 泰 谷 光 電 洽 詢 多 通 道 檢 測 技 術 需 求 長 ), 曾 永 隆 ( 副 課 長 ) 三. 辦 理 情 形 : 113

119 訪 廠 日 期 :102 年 03 月 12 日 訪 廠 人 員 : 鄭 陳 欽 陳 于 堂 公 司 名 稱 : 長 裕 欣 業 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 2 億 5 仟 萬 ( 未 上 市 ) 員 工 人 數 75 人 長 裕 欣 業 為 國 內 第 一 台 LampLED 自 動 測 試 分 類 機 之 研 發 者, 公 司 地 址 位 於 新 北 市 中 和 區 連 城 路 258 號 9 樓 該 公 司 一 直 專 注 於 LED 封 裝 測 試 技 術 的 研 發, 為 因 應 多 樣 的 LED 封 裝 方 式, 先 後 以 自 有 公 司 簡 介 品 牌 CYT 發 表 了 多 款 LED 自 動 測 試 分 類 機, 涵 蓋 如 Lamp SMD Dot Matrix Seven-segments Piranha 等 不 同 LED 封 裝 型 式, 以 滿 足 客 戶 於 生 產 線 上 之 自 動 化 測 試 需 求 此 外 在 檢 測 儀 器 部 分, 亦 陸 續 開 發 了 各 式 光 電 測 試 儀 器, 諸 如 標 準 電 流 / 電 壓 源 標 準 電 流 / 電 壓 計 濾 鏡 式 色 彩 分 析 儀 光 譜 分 析 儀 等 設 備, 可 檢 測 之 光 譜 波 長 範 圍 涵 蓋 可 見 光 與 UV/IR 等 不 可 見 光, 長 裕 欣 業 目 前 主 要 產 品 為 LED 封 裝 及 測 試 自 動 化 設 備 光 電 檢 測 儀 器 及 光 譜 相 關 分 析 儀 器 應 用, 亦 有 產 品 介 紹 作 微 型 光 譜 儀 及 電 測 機 台 LED 光 電 封 裝 及 測 試 設 備 類, 包 括 自 動 切 腳 機 自 動 測 試 分 類 機 LED 自 動 測 試 分 類 機 SMD 自 動 包 裝 機 自 動 點 膠 機 等 產 品 等 LED 光 電 測 試 儀 器 類,AC LED 測 試 儀 高 功 率 光 電 測 試 儀 電 性 測 試 儀 分 光 式 光 電 測 試 儀 混 料 檢 知 儀 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 LED 磊 晶 粒 光 產 品 電 自 動 測 試 系 自 行 研 發 主 要 市 場 在 中 國 大 陸 統 聯 絡 人 / 職 稱 楊 可 琍 / 課 長 電 話 : 分 機 234 傳 真 / [email protected] 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 楊 可 琍 ( 課 長 ), 張 根 榮 ( 專 員 ) 三. 訪 談 內 容 : 1. 機 械 所 執 行 經 濟 部 科 專 計 畫 及 工 業 局 推 動 半 導 體 製 程 設 備 躍 升 計 畫 高 密 度 IC 探 針 卡 研 發 聯 盟, 擬 結 合 多 點 式 透 明 導 電 探 針 卡 技 術, 推 動 開 發 多 通 道 光 電 半 導 體 測 試 設 備 2. 說 明 機 械 所 在 LED 多 通 道 檢 測 方 面 的 開 發 構 想, 瞭 解 長 裕 欣 業 在 LED 檢 測 方 面 需 求 3. 對 於 多 通 道 檢 測 技 術, 長 裕 欣 業 亦 期 望 LED 檢 測 能 藉 此 有 一 突 破 性 大 躍 進 技 術, 但 必 須 考 慮 4 個 通 道 的 精 度 差 異 及 校 正, 也 必 須 能 做 COT 的 檢 測 此 外 也 必 須 考 慮 性 價 比 部 分 另 外, 也 須 注 意 量 測 是 否 符 合 標 準 規 範 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 持 續 評 估 性 多 通 道 檢 測 設 備 價 比, 以 強 化 投 資 誘 因 三. 辦 理 情 形 : 114

120 訪 廠 日 期 :102 年 3 月 26 日 訪 廠 人 員 : 周 敏 傑 黃 萌 祺 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 華 新 麗 華 光 電 事 業 群 5 仟 萬 26 人 華 新 麗 華 於 2005 年 跨 入 發 光 二 極 體 模 組 研 發, 產 品 開 發 鎖 定 大 功 率 光 源 致 力 於 LED 模 組 次 世 代 技 術 研 發, 以 提 升 產 品 亮 度 及 效 率 設 計, 積 極 開 發 應 用 市 場 產 品 目 前 產 品 線 包 括 LTCC(Low-Temperature Co-firing Ceramics)( 陶 瓷 基 板 ) 系 列 光 源 Chip array( 金 屬 基 板 ) 產 品 介 紹 系 列 光 源 及 專 利 OPS (Optical Substrate)( 矽 基 板 ) 系 列 光 源 產 品 等 主 要 應 用 於 室 外 及 室 內 照 明 產 品 光 源 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 LTCC OPS Chip array 自 行 研 發 與 工 研 院 合 作 開 發 中, 預 計 年 中 Spin off 聯 絡 人 / 職 稱 陳 恒 權 / 經 理 電 話 : 轉 6381 傳 真 / [email protected] 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 吳 俊 德 處 長 一. 訪 談 內 容 : 1. 華 新 對 於 多 通 道 檢 測 技 術 低 溫 固 晶 UV-LED 封 裝 技 術 皆 表 示 有 興 趣 2. 由 於 本 次 訪 談 並 無 磊 晶 部 門 人 員 參 與, 因 此 對 於 多 通 道 檢 測 技 術 之 規 格 需 求 無 法 深 入 討 論 3. 陳 恒 權 經 理 應 允 將 把 相 關 資 訊 轉 知 相 關 部 門 主 管, 另 行 安 排 時 間 討 論 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 持 續 與 陳 恒 權 經 理 保 持 連 繫, 另 行 安 排 拜 與 磊 晶 部 門 人 員 詳 談 多 通 道 檢 測 技 術 之 規 格 需 求 陳 恒 權 經 理 陳 學 龍 研 發 部 三. 辦 理 情 形 : 副 理 115

121 訪 廠 日 期 :102 年 4 月 12 日 訪 廠 人 員 : 周 敏 傑 黃 萌 祺 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 台 積 固 態 照 明 股 份 有 限 公 司 60 億 388 人 台 積 固 態 照 明 公 司 於 2011 年 8 月 成 立, 為 台 積 公 司 百 分 之 百 持 有 之 子 公 司 從 事 研 究 開 發 設 計 公 司 簡 介 製 造 與 銷 售 固 態 照 明 裝 置 及 其 相 關 應 用 產 品 與 系 統, 以 生 產 LED 光 源 產 品 為 目 標,2012 年 第 3 季 開 始 進 入 量 產 台 積 固 態 照 明 公 司 為 專 業 整 合 晶 粒 封 裝 至 光 源 模 組 的 創 新 LED 照 明 方 案 提 供 者 產 品 介 紹 台 積 固 態 照 明 提 供 可 靠 且 高 效 能 的 照 明 解 決 方 案, 在 台 灣 獨 樹 一 格 以 矽 基 板 LED 為 主 挾 矽 晶 圓 技 術 優 勢 推 出 無 封 裝 LED 晶 粒 產 品 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 分 別 用 於 中 高 功 率 與 中 低 功 率 LED; 產 品 矽 基 氮 化 鎵 LED 藍 寶 石 基 板 LED 自 行 開 發 中 高 功 率 方 案 採 取 不 打 線 COB (Chip On Board) 封 裝 技 術, 中 低 功 率 則 採 用 覆 營 收 比 重 各 50%, 晶 (Flip Chip) 封 裝 技 術 聯 絡 人 / 職 稱 林 志 佳 / 專 案 經 理 電 話 : 轉 傳 真 / [email protected] 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 夏 興 國 ( 部 經 理 ) 林 志 佳 ( 專 案 經 理 ) 一. 訪 談 內 容 : 1. 由 工 研 院 介 紹 低 溫 固 晶 UV-LED 封 裝 技 術 及 多 通 道 檢 測 技 術 2. 對 於 這 些 技 術, 台 積 固 態 有 興 趣 和 工 研 院 合 作 但 台 積 認 為, 目 前 這 些 技 術 尚 未 有 產 業 界 開 始 量 產, 因 此 尚 屬 於 未 成 熟 技 術, 台 積 建 議 合 作 的 方 式 考 慮 利 用 業 界 科 專 計 畫 來 進 行 3. 夏 興 國 經 理 應 允 將 進 一 步 與 相 關 部 門 主 管 討 論 檢 討 後, 另 行 安 排 時 間 討 論 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 持 續 追 蹤 台 積 內 部 討 論 結 果 三. 辦 理 情 形 : 116

122 訪 廠 日 期 :102 年 4 月 18 日 訪 廠 人 員 : 周 敏 傑 陳 于 堂 古 鎮 南 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 勵 威 電 子 股 份 有 限 公 司 2 億 5 仟 萬 220 人 勵 威 電 子 股 分 有 限 公 司 成 立 於 2002 年 11 月, 總 公 司 座 落 於 新 竹 香 山 工 業 區, 現 在 擁 有 新 竹 香 山 及 大 陸 無 錫 兩 處 生 産 基 地, 同 時 在 高 雄 設 有 維 修 中 心 勵 威 致 力 於 提 供 半 導 體 及 LCD 面 板 產 業 之 測 試 方 案, 公 司 簡 介 包 括 探 針 卡 及 Logic&DRAM IC 測 試 插 座, 此 外 勵 威 亦 已 跨 足 光 電 產 業 及 被 動 元 件 測 試 產 業 等 除 了 客 製 化 的 測 試 介 面 設 計 與 生 產 外,PL 之 服 務 內 容 亦 含 蓋 機 台 代 理 銷 售, 機 台 搬 遷 機 台 零 件 更 換 維 修 及 相 關 after service 等 產 品 介 紹 主 要 產 品 為 (1) 探 針 卡 及 (2)Logic&DRAM IC 測 試 插 座 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 探 針 卡 引 進 / 自 行 研 發 國 內 首 家 可 以 製 作 中 高 階 垂 CIS 用 探 針 卡 的 廠 商 為 國 內 除 TSMC 及 旺 矽 以 外 最 大 探 針 卡 廠 IC 測 試 插 座 自 行 研 發 與 日 本 山 一 電 機 合 作 聯 絡 人 / 職 稱 古 仁 丁 / 開 發 副 處 長 電 話 : #153 傳 真 / [email protected] 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 98 1,652 19, ,745 34, ,941 58,213 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 古 仁 丁 / 研 發 副 處 長 ; 陳 星 龍 / 技 術 開 一. 訪 談 內 容 : 1. 進 行 快 速 多 通 道 檢 測 設 備 專 用 探 針 卡 架 構 規 劃 與 討 論 2. 初 步 決 定 採 用 N 型 探 針 進 行 設 計, 電 路 板 採 公 板, 一 次 測 4 顆 晶 粒 (2x2 排 列 ), 微 型 積 分 球 外 徑 10mm, 待 測 晶 粒 尺 寸 1mm*1mm 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 1. 待 工 研 院 決 定 微 型 積 分 球 材 質 對 位 方 式 後, 開 始 進 行 細 部 設 計 發 副 主 任 三. 辦 理 情 形 : 117

123 訪 廠 日 期 :102 年 5 月 13 日 訪 廠 人 員 : 周 敏 傑 陳 于 堂 古 鎮 南 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 勵 威 電 子 股 份 有 限 公 司 2 億 5 仟 萬 220 人 勵 威 電 子 股 分 有 限 公 司 成 立 於 2002 年 11 月, 總 公 司 座 落 於 新 竹 香 山 工 業 區, 現 在 擁 有 新 竹 香 山 及 大 陸 無 錫 兩 處 生 産 基 地, 同 時 在 高 雄 設 有 維 修 中 心 勵 威 致 力 於 提 供 半 導 體 及 LCD 面 板 產 業 之 測 試 方 案, 公 司 簡 介 包 括 探 針 卡 及 Logic&DRAM IC 測 試 插 座, 此 外 勵 威 亦 已 跨 足 光 電 產 業 及 被 動 元 件 測 試 產 業 等 除 了 客 製 化 的 測 試 介 面 設 計 與 生 產 外,PL 之 服 務 內 容 亦 含 蓋 機 台 代 理 銷 售, 機 台 搬 遷 機 台 零 件 更 換 維 修 及 相 關 after service 等 產 品 介 紹 主 要 產 品 為 (1) 探 針 卡 及 (2)Logic&DRAM IC 測 試 插 座 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 探 針 卡 引 進 / 自 行 研 發 國 內 首 家 可 以 製 作 中 高 階 垂 CIS 用 探 針 卡 的 廠 商 為 國 內 除 TSMC 及 旺 矽 以 外 最 大 探 針 卡 廠 IC 測 試 插 座 自 行 研 發 與 日 本 山 一 電 機 合 作 聯 絡 人 / 職 稱 古 仁 丁 / 開 發 副 處 長 電 話 : #153 傳 真 / [email protected] 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 98 1,652 19, ,745 34, ,941 58,213 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 古 仁 丁 / 研 發 副 處 長 ; 一. 訪 談 內 容 : 1. 討 論 開 發 探 針 卡 測 試 設 備 取 代 進 口 產 品 (PRVX) 之 技 術 創 新 性 2. 針 對 快 速 多 通 道 檢 測 設 備 專 用 探 針 卡 規 格 製 作 以 及 與 測 試 機 台 整 合 細 節 再 進 行 討 論 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 1. 請 勵 威 電 子 考 慮 探 針 卡 測 試 設 備 與 快 速 多 通 道 檢 測 設 備 併 案 出 業 界 科 專 申 請 陳 棓 煌 / 專 案 經 理 三. 辦 理 情 形 : 118

124 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 創 視 紀 科 技 股 份 有 限 公 司 1.6 億 訪 廠 日 期 :102 年 5 月 23 日 訪 廠 人 員 : 周 敏 傑 鄭 陳 欽 陳 于 堂 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 聯 絡 人 / 職 稱 106 人 創 視 紀 科 技 成 立 於 1996 年, 從 早 期 AOI 設 備 專 業 代 工 研 發 設 計 整 合, 到 近 幾 年 推 出 自 有 品 牌 的 L ED 全 自 動 點 膠 機 亮 度 測 量 等 制 程 設 備, 在 2009 年 臺 灣 的 LED 全 自 動 封 裝 點 膠 機 市 場 上 一 舉 拿 下 銷 售 量 冠 軍 的 殊 榮 總 公 司 位 於 五 股 工 業 區, 主 要 客 戶 遍 佈 台 灣 及 大 陸, 包 括 : 隆 達 榮 創 能 源 科 技 台 達 電 子 威 力 盟 光 寶 科 技 億 光 伯 鴻 工 業 宏 齊 科 技 真 明 麗 企 業 亞 德 光 機 琉 明 斯 科 技 海 立 爾 科 技 峻 泓 光 電 啟 耀 光 電 華 星 光 通 奇 力 光 電 誠 創 科 技 聯 嘉 福 懋 科 技 富 晶 通 弘 凱 光 電 等 等 視 覺 檢 測 設 備 : 目 前 產 品 線 橫 跨 LCD/DVD/TFT/PCB 被 動 元 件 PCB 到 當 今 最 熱 門 的 L ED 光 電 產 業, 約 佔 國 內 的 AOI 自 動 化 視 覺 檢 測 設 備 市 場 60% 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 佔 國 內 AOI 自 動 視 覺 檢 測 設 備 自 行 開 發 化 視 覺 檢 測 設 備 市 點 膠 機 場 60% 黃 千 岳 / 技 術 長 電 話 : 轉 613 傳 真 / [email protected],com.tw 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 陳 彥 成 ( 副 總 ) 黃 千 岳 ( 技 術 長 ) 江 信 宏 ( 研 發 經 理 ) 一. 訪 談 內 容 : 1. 該 公 司 以 生 產 AOI 檢 測 設 備 起 家, 最 近 幾 年 擴 展 至 生 光 電 半 導 體 封 裝 設 備 領 域 ( 如 自 動 點 膠 機 ) 2. 該 公 司 對 於 本 所 介 紹 之 多 通 道 複 合 功 能 檢 測 設 備 技 術 表 示 有 興 趣 經 現 場 瞭 解 評 估, 多 通 道 複 合 功 能 檢 測 技 術 確 實 可 以 應 用 於 該 公 司 的 檢 測 設 備 3. 雙 方 同 意 另 訂 時 間 進 一 步 洽 談 合 作 研 提 政 府 補 助 計 畫 事 宜 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 另 行 7 月 初 安 排 拜 訪 創 視 紀 到 訪 工 研 院, 訪 視 目 前 科 專 多 通 道 複 合 功 能 檢 測 雛 型 發 展 現 況, 以 進 一 步 評 估 應 用 於 該 公 司 的 檢 測 設 備 的 實 用 性 同 時 洽 談 合 作 研 提 政 府 補 助 計 畫 事 宜 三. 辦 理 情 形 : 119

125 訪 廠 日 期 :102 年 7 月 24 日 訪 廠 人 員 : 周 敏 傑 陳 于 堂 古 鎮 南 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 勵 威 電 子 股 份 有 限 公 司 2 億 5 仟 萬 220 人 勵 威 電 子 股 分 有 限 公 司 成 立 於 2002 年 11 月, 總 公 司 座 落 於 新 竹 香 山 工 業 區, 現 在 擁 有 新 竹 香 山 及 大 陸 無 錫 兩 處 生 産 基 地, 同 時 在 高 雄 設 有 維 修 中 心 勵 威 致 力 於 提 供 半 導 體 及 LCD 面 板 產 業 之 測 試 方 案, 公 司 簡 介 包 括 探 針 卡 及 Logic&DRAM IC 測 試 插 座, 此 外 勵 威 亦 已 跨 足 光 電 產 業 及 被 動 元 件 測 試 產 業 等 除 了 客 製 化 的 測 試 介 面 設 計 與 生 產 外,PL 之 服 務 內 容 亦 含 蓋 機 台 代 理 銷 售, 機 台 搬 遷 機 台 零 件 更 換 維 修 及 相 關 after service 等 產 品 介 紹 主 要 產 品 為 (1) 探 針 卡 及 (2)Logic&DRAM IC 測 試 插 座 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 探 針 卡 引 進 / 自 行 研 發 國 內 首 家 可 以 製 作 中 高 階 垂 CIS 用 探 針 卡 的 廠 商 為 國 內 除 TSMC 及 旺 矽 以 外 最 大 探 針 卡 廠 IC 測 試 插 座 自 行 研 發 與 日 本 山 一 電 機 合 作 聯 絡 人 / 職 稱 古 仁 丁 / 開 發 副 處 長 電 話 : #153 傳 真 / [email protected] 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 98 1,652 19, ,745 34, ,941 58,213 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 古 仁 丁 / 研 發 副 處 長 ; 陳 星 龍 / 技 術 開 發 副 主 任 一. 訪 談 內 容 : 1. 討 論 進 行 研 提 大 型 政 府 補 助 計 畫 相 關 事 宜 針 對 此 案 計 畫 架 構, 勵 威 電 子 古 處 長 將 與 公 司 內 部 設 備 開 發 研 究 人 員 及 高 層 進 行 溝 通 預 計 8 月 中 旬 定 案 2. 針 對 快 速 多 通 道 檢 測 平 台 專 用 探 針 卡, 已 完 成 的 探 針 卡 雛 型 進 行 檢 討 其 中 探 針 高 低 落 差 約 20 μm, 討 論 後 續 探 針 卡 修 改 方 向 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 1. 預 計 9 月 完 成 整 機 測 試, 參 加 光 電 展 三. 辦 理 情 形 : 120

126 訪 廠 日 期 :102 年 8 月 01 日 訪 廠 人 員 : 周 敏 傑 黃 萌 祺 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 璨 圓 光 電 股 份 有 限 公 司 60 億 1100 人 璨 圓 光 電 股 份 有 限 公 司 創 立 於 1999 年 11 月 4 日, 公 司 座 落 於 台 灣 省 桃 園 縣 龍 潭 鄉 龍 潭 科 技 工 業 園 璨 圓 光 電 致 力 於 化 合 物 半 導 體 氮 化 鎵 (InGaN) 光 電 相 關 材 料 的 磊 晶 及 晶 粒 製 造, 為 一 氮 化 鎵 相 關 光 電 及 電 子 產 品 的 專 業 製 造 商 以 先 進 的 有 機 金 屬 氣 相 磊 晶 技 術 (Metal Organic Chemical Vapor Deposition,MOCVD) 為 基 礎, 研 發 產 品 介 紹 製 造 及 銷 售 超 高 亮 度 氮 化 鎵 (GaN) 藍 光 綠 光 及 紫 外 光 磊 晶 片 晶 粒 及 相 關 應 用 零 組 件 產 品 波 長 範 圍 可 達 385nm - 560nm; 在 亮 度 電 性 及 可 靠 度 上 也 贏 得 國 際 廠 商 的 認 證 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 InGaN LED 磊 晶 工 研 院 自 行 研 國 內 第 三 大 發 光 二 片 及 晶 粒 發 極 體 晶 圓 廠, 佔 10% 聯 絡 人 / 職 稱 李 順 天 / 經 理 電 話 : 轉 6028 傳 真 / [email protected] 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 鄭 惟 綱 / 研 發 處 長 李 仁 智 / 專 案 經 理 李 順 天 / 經 理 一. 訪 談 內 容 : 1. 瞭 解 燦 圓 光 電 在 光 電 半 導 體 晶 圓 製 程 及 檢 測 方 面 的 技 術 需 求 目 前 燦 圓 對 於 覆 晶 封 裝 所 需 之 低 溫 固 晶 技 術 及 高 演 色 性 螢 光 粉 塗 佈 技 術 需 求 較 明 確, 多 晶 粒 檢 測 設 備 方 面 則 是 樂 觀 其 成 2. 由 於 本 次 訪 談 並 無 磊 晶 部 門 人 員 參 與, 因 此 對 於 多 通 道 檢 測 技 術 之 規 格 需 求 無 法 深 入 討 論 將 另 行 安 排 時 間 討 論 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 另 行 安 排 拜 訪, 與 磊 晶 部 門 人 員 詳 談 多 通 道 檢 測 技 術 之 規 格 需 求 三. 辦 理 情 形 : 121

127 訪 廠 日 期 :102 年 8 月 16 日 訪 廠 人 員 : 鄭 陳 欽 黃 萌 祺 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 創 視 紀 科 技 股 份 有 限 公 司 1.6 億 106 人 創 視 紀 科 技 成 立 於 1996 年, 從 早 期 AOI 設 備 專 業 代 工 研 發 設 計 整 合, 到 近 幾 年 推 出 自 有 品 牌 的 L ED 全 自 動 點 膠 機 亮 度 測 量 等 制 程 設 備, 在 2009 年 臺 灣 的 LED 全 自 動 封 裝 點 膠 機 市 場 上 一 舉 拿 公 司 簡 介 下 銷 售 量 冠 軍 的 殊 榮 總 公 司 位 於 五 股 工 業 區, 主 要 客 戶 遍 佈 台 灣 及 大 陸, 包 括 : 隆 達 榮 創 能 源 科 技 台 達 電 子 威 力 盟 光 寶 科 技 億 光 伯 鴻 工 業 宏 齊 科 技 真 明 麗 企 業 亞 德 光 機 琉 明 斯 科 技 海 立 爾 科 技 峻 泓 光 電 啟 耀 光 電 華 星 光 通 奇 力 光 電 誠 創 科 技 聯 嘉 福 懋 科 技 富 晶 通 弘 凱 光 電 等 等 產 品 介 紹 視 覺 檢 測 設 備 : 目 前 產 品 線 橫 跨 LCD/DVD/TFT/PCB 被 動 元 件 PCB 到 當 今 最 熱 門 的 L ED 光 電 產 業, 約 佔 國 內 的 AOI 自 動 化 視 覺 檢 測 設 備 市 場 60% 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 視 覺 檢 測 設 備 點 膠 機 自 行 開 發 佔 國 內 AOI 自 動 化 視 覺 檢 測 設 備 市 場 60% 聯 絡 人 / 職 稱 黃 千 岳 / 技 術 長 電 話 : 轉 613 傳 真 / [email protected],com.tw 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 陳 彥 成 ( 副 總 ) 一. 訪 談 內 容 : 1. 討 論 多 通 道 複 合 功 能 檢 測 合 作 研 提 政 府 補 助 計 畫 該 公 司 目 前 已 針 對 欲 開 發 之 目 標 設 備 進 行 市 場 調 查, 評 估 並 比 較 Chip-on-board 及 Chip-on-leadframe 檢 測 之 市 場 需 求 中 2. 預 定 9 月 初 配 合 科 專 完 成 多 通 道 複 合 功 能 檢 測 設 備 平 台 雛 型, 將 可 確 認 目 標 產 品 需 求 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 光 電 展 後,9 月 初 另 行 安 排 拜 訪 創 視 紀, 洽 談 合 作 研 提 政 府 補 助 計 畫 後 續 事 宜 黃 千 岳 ( 技 術 長 ) 江 信 宏 ( 研 發 經 三. 辦 理 情 形 : 理 ) 122

128 訪 廠 日 期 :102 年 8 月 28 日 訪 廠 人 員 : 周 敏 傑 黃 萌 祺 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 晶 元 光 電 股 份 有 限 公 司 84 億 7520 萬 元 3900 人 晶 元 光 電 股 份 有 限 公 司 於 中 華 民 國 85 年 9 月 成 立 於 新 竹 科 學 工 業 園 區, 專 業 生 產 超 高 亮 度 發 光 二 極 體 公 司 簡 介 ( LED ) 磊 晶 片 及 晶 粒 本 公 司 以 自 有 的 有 機 金 屬 氣 相 磊 晶 ( MOVPE ) 技 術, 全 力 發 展 超 高 亮 度 發 光 二 極 體 系 列 產 品 產 品 介 紹 超 高 亮 度 發 光 二 極 體 (LED) 磊 晶 片 及 晶 粒 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 高 亮 度 發 光 二 極 體 晶 產 品 InGaN LED 磊 晶 工 研 院 自 行 研 國 內 第 一 大 發 光 二 粒 96.53% 高 亮 度 發 片 及 晶 粒 發 極 體 晶 圓 廠, 佔 42% 光 二 極 體 晶 片 3.25% 其 他 0.22% 聯 絡 人 / 職 稱 葉 瑞 鴻 / 研 發 處 長 電 話 : 轉 3846 傳 真 / [email protected] 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 葉 瑞 鴻 / 研 發 處 長 一. 訪 談 內 容 : 1. 瞭 解 發 光 二 極 體 市 場 現 況 : 目 前 全 球 LED 景 氣 仍 處 於 低 迷 狀 態 2. 瞭 解 晶 元 電 子 在 光 電 半 導 體 晶 圓 製 程 及 檢 測 方 面 的 技 術 需 求 : 目 前 晶 元 電 子 對 於 覆 晶 封 裝 所 需 之 低 溫 固 晶 技 術 及 固 晶 設 備 需 求 明 確, 願 意 與 工 研 院 合 作 開 發 相 關 產 品 對 於 多 晶 粒 檢 測 設 備 方 面, 若 有 設 備 廠 提 供 相 關 設 備, 晶 圓 電 樂 觀 其 成 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 另 行 安 排 拜 訪, 與 磊 晶 部 門 人 員 詳 談 多 通 道 檢 測 技 術 之 規 格 需 求 三. 辦 理 情 形 : 123

129 訪 廠 日 期 :102 年 10 月 8 日 訪 廠 人 員 : 鄭 陳 嶔 陳 于 堂 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 五 鈴 光 學 股 份 有 限 公 司 3000 萬 元 20 人 五 鈴 光 學 為 專 業 光 學 元 件 及 測 量 儀 器 供 應 商, 於 2003 年 7 月 與 日 本 擁 有 百 年 歷 史 之 五 鈴 精 工 硝 子 株 式 公 司 簡 介 會 社 Isuzu Glass Co.Ltd 在 台 合 資 成 立, 公 司 座 落 於 新 竹 縣 竹 北 市 台 元 街 26 號 6 樓 之 11, 目 前 在 日 本 香 港 美 國 德 國 等 地 均 有 據 點 光 學 元 件 : 非 球 面 / 陣 列 透 鏡 吸 收 式 濾 光 片 360 度 全 景 鏡 頭 光 學 / 光 電 儀 器 設 備 : 積 分 球 均 勻 光 源 顯 微 鏡 分 光 輻 射 照 度 計 配 光 曲 線 儀 CCD 影 像 式 輝 度 產 品 介 紹 儀 高 光 譜 影 像 模 組 色 彩 感 測 器 光 源 箱 X-Ray 影 像 感 測 模 組 照 度 計 輝 度 計 分 光 式 色 彩 輝 度 計 高 靈 敏 CCD 分 光 光 譜 儀 Cooled CCD 雷 射 二 極 體 電 源 驅 動 器 光 電 倍 增 管 PMT 微 通 道 板 MCP 影 像 增 強 管 IIT 電 子 倍 增 器 穿 透 率 測 量 儀 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 光 學 元 件 光 學 / 光 電 儀 器 設 備 日 本 自 行 研 發 聯 絡 人 / 職 稱 郝 祖 德 / 總 經 理 電 話 : 傳 真 / [email protected] 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 投 入 產 出 情 況 訪 談 紀 錄 日 期 : 受 訪 人 / 職 稱 : 郝 祖 德 / 總 經 理 一. 訪 談 內 容 : 1. 討 論 多 通 道 檢 測 技 術 之 應 用 五 鈴 光 學 認 為 多 通 道 檢 測 技 術 極 具 前 瞻 性, 不 但 可 以 應 用 於 LED 產 業, 未 來 在 OLED 的 檢 測 上 也 具 有 其 發 展 潛 力 2. 五 鈴 光 學 也 表 示 對 於 以 固 態 光 源 OLED 光 電 特 性 檢 測 技 術 申 請 工 業 局 輔 導 計 畫 有 興 趣 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 將 與 主 導 廠 商 創 視 紀 討 論, 推 薦 參 與 科 專 研 發 三. 辦 理 情 形 : 124

130 公 司 名 稱 : 漢 民 科 技 股 份 有 限 公 司 訪 廠 日 期 :102 年 1 月 2 日 訪 廠 人 員 : 簡 鈺 人 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 產 品 15 億 元 1,000 人 1977 年 成 立 於 台 灣, 為 國 際 化 的 本 土 半 導 體 設 備 商, 且 為 全 世 界 最 大 的 設 備 代 理 商 之 一, 營 業 據 點 分 布 台 灣 新 加 坡 馬 來 西 亞 與 中 國 大 陸, 營 業 範 圍 包 括 半 導 體 製 造 與 平 面 顯 示 器 製 程 設 備 技 術 服 務 及 零 件 銷 售 等 業 務, 尤 其 在 半 導 體 製 造 設 備 部 分, 漢 民 所 提 供 的 設 備 涵 括 了 前 後 段 製 程 設 備 的 完 整 服 務 ; 服 務 項 目 有 機 台 設 備 的 銷 售 安 裝 軟 硬 體 支 援 及 性 能 提 昇 製 程 開 發 與 良 率 提 昇 移 機 保 養 服 務 零 件 支 援 及 教 育 訓 練 等 產 品 包 含 半 導 體 製 造 與 光 電 製 程 設 備 技 術 服 務 及 零 件 銷 售 等 業 務,, 尤 其 在 半 導 體 製 造 設 備 部 分, 漢 民 所 提 供 的 設 備 涵 括 了 前 後 段 製 程 設 備 的 完 整 服 務 ; 服 務 項 目 有 機 台 設 備 的 銷 售 安 裝 軟 硬 體 支 援 及 性 能 提 昇 製 程 開 發 與 良 率 提 昇 移 機 保 養 服 務 零 件 支 援 及 教 育 訓 練 等 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 受 訪 人 / 職 稱 林 士 青 / 總 經 理 電 話 : 轉 888 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : 了 解 漢 民 科 技 3D IC 的 規 劃 英 商 TeraView 與 漢 民 科 技, 攜 手 進 軍 亞 洲 先 進 封 裝 (Advanced Packaging) 及 矽 穿 孔 (Through-Silicon Via; TSV) 非 破 壞 性 高 解 析 成 品 缺 陷 檢 測 分 析 市 場 雙 方 已 簽 署 先 進 半 導 體 封 裝 檢 驗 設 備 之 銷 售 服 務 合 約, 服 務 範 圍 包 括 台 灣 大 陸 新 加 坡 與 馬 來 西 亞 TeraView 是 全 世 界 第 1 家 致 力 於 兆 赫 光 應 用 於 顯 像 與 光 譜 技 術 的 公 司 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 持 續 觀 察 漢 民 科 技 推 動 3D IC 檢 測 設 備 的 進 展 三. 辦 理 情 形 : 125

131 訪 廠 日 期 :102 年 9 月 3 日 訪 廠 人 員 : 邵 宇 奇 公 司 名 稱 : 矽 品 精 密 工 業 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 產 品 介 紹 億 元 18,000 人 成 立 於 民 國 73 年 5 月, 主 要 提 供 各 項 積 體 電 路 封 裝 及 測 試 之 服 務 該 公 司 一 向 致 力 於 滿 足 顧 客 對 積 體 電 路 封 裝 及 測 試 之 需 求, 提 供 一 元 化 解 決 方 案, 從 封 裝 體 設 計 諮 詢 模 擬 晶 圓 凸 塊 晶 圓 針 測 封 裝 測 試 預 燒 到 直 接 配 送 等 服 務, 並 不 斷 藉 由 品 質 改 善 及 技 術 創 新, 使 公 司 成 為 創 造 高 附 加 價 值 之 專 業 供 應 者, 同 時 確 保 公 司 之 永 續 經 營, 創 造 股 東 最 大 利 潤, 發 展 至 今 已 成 為 全 世 界 第 三 大 封 裝 測 試 廠 公 司 總 部 大 豐 廠 及 中 山 廠 座 落 於 台 中 縣 潭 子, 彰 化 廠 位 於 彰 化 縣 和 美 亦 擁 有 位 於 新 竹 科 學 工 業 園 區 內 專 事 測 試 服 務 之 新 竹 分 公 司 及 位 於 大 陸 蘇 州 之 轉 投 資 子 公 司 矽 品 科 技 ( 蘇 州 ) 有 限 公 司 產 品 包 含 先 進 的 導 線 架 類 及 基 板 類 封 裝 體 產 品 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 受 訪 人 / 職 稱 馬 光 華 / 副 總 經 理 電 話 : #7999 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 一. 訪 談 內 容 : 訪 談 紀 錄 陪 同 友 嘉 半 導 體 和 井 田 友 嘉 精 機 日 商 WAIDA 公 司 赴 台 中 矽 品 洽 談 3D IC 植 球 機 由 WAIDA 公 司 代 表 說 明 該 公 司 植 球 機 之 技 術 能 力, 矽 品 技 術 人 員 提 出 實 際 需 求, 日 商 WAIDA 公 司 代 表 返 日 後 將 進 行 技 術 可 行 性 評 估, 並 將 結 果 回 覆 矽 品 窗 口, 以 決 定 繼 續 溝 通 與 否 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 三. 辦 理 情 形 : 持 續 連 繫 友 嘉 半 導 體 追 蹤 本 案 進 度 126

132 訪 廠 日 期 :102 年 5 月 30 日 訪 廠 人 員 : 陳 志 聖 AMAT 詹 君 儀 經 理 公 司 名 稱 : 元 鐙 金 屬 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 6.6 億 元 員 工 人 數 6000 人 ( 全 球 ) 元 鐙 成 立 於 1984 年, 是 一 經 營 模 具 設 計 電 子 沖 壓 零 件 散 熱 模 組 轉 軸 公 司 簡 介 塑 膠 射 出, 及 鎂 鋁 合 金 等 技 術 之 專 業 機 構 零 件 製 造 商 營 運 總 部 位 於 台 灣 桃 園, 在 大 陸 泰 國 等 地 均 設 有 子 公 司, 年 營 收 45~50 億 元, 服 務 地 區 遍 及 整 個 亞 洲 及 歐 美 地 區, 可 就 近 提 供 客 戶 即 時 的 技 術 服 務 與 諮 詢 產 品 介 紹 目 前 業 務 在 於 電 腦 周 邊 產 品, 核 心 技 術 在 於 模 具 開 發 壓 鑄 精 密 加 工 表 面 處 理 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 受 訪 人 / 職 稱 轉 軸 類 產 品 自 行 研 發 穩 定 成 長 良 好 鎂 鋁 合 金 類 產 品 自 行 研 發 穩 定 成 長 良 好 IT 類 產 品 自 行 研 發 穩 定 成 長 良 好 電 話 : #225 王 文 斌 / 經 理 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 況 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : AMAT( 美 商 應 材 ) 在 半 導 體 與 FPD 之 CVD 與 PVD 相 關 模 組 與 零 組 件 需 要 作 陽 極 處 理, 如 susceptor diffuse.. 等, 需 要 該 模 組 在 翻 修, 才 能 提 高 使 用 率 與 降 低 End-user 成 本 以 下 為 AMAT 的 相 關 要 求 1. 由 於 FPD 與 半 導 體 是 屬 於 高 科 技 產 業, 任 何 設 備 模 組 與 零 組 件, 都 需 長 期 與 高 規 格 廠 內 驗 證, 因 此 希 望 元 鐙 在 做 陽 極 處 理 製 程 都 能 在 自 己 廠 內, 而 不 是 部 分 委 外 處 裡 2. 目 前 需 陽 極 處 理 模 組 最 大 長 x 寬 約 2200 x 2500 mm, 因 此 希 望 有 大 尺 寸 陽 極 處 理 相 關 製 程 能 夠 處 理, 且 在 每 一 到 製 程 上 都 能 有 品 保 人 員 確 保 相 關 品 質 因 素, 防 止 終 端 商 提 出 問 題 時, 能 夠 提 出 相 關 製 程 報 告, 優 先 釐 清 問 題 3. 關 於 智 財 問 題, 未 來 如 有 合 作, 希 望 能 確 保 雙 方 權 利 義 務,AMAT 也 將 提 供 相 關 經 驗 與 元 鐙 做 討 論 共 同 成 長 127

133 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 綜 和 以 上 結 果, 元 鐙 金 屬 將 針 對 此 需 求, 與 未 來 業 務 量 做 通 盤 考 量, 並 請 公 司 高 層 做 相 關 評 估 與 決 策 三. 辦 理 情 形 : 後 續 追 蹤, 元 鐙 暫 不 考 慮 拓 展 此 領 域 業 務 128

134 訪 廠 日 期 :102 年 06 月 20 日 訪 廠 人 員 : 陳 志 聖 秦 懷 山 AMAT 詹 君 儀 經 理 公 司 名 稱 : 漢 泰 科 技 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 3 億 元 181 人 漢 泰 科 技 表 面 改 質 領 域 累 積 數 十 年 的 技 術 經 驗, 且 是 國 內 技 術 與 設 備 規 模 最 大 之 熔 射 專 業 廠 商 為 讓 公 司 多 角 化 經 營, 於 1999 年 與 日 本 TOCALO 簽 訂 半 導 體 及 光 電 之 技 術 與 公 司 簡 介 業 務 提 攜 合 約, 並 於 2006 年 完 成 光 電 8 代 清 洗 廠 及 陽 極 處 理 廠 漢 泰 科 技 子 公 司 和 泰 國 際 電 取 得 日 本 設 備 大 廠 東 京 電 子 株 式 會 社 的 認 證, 獲 得 東 京 電 子 株 式 會 社 同 意 並 授 權 於 漢 泰 國 際 電 子 股 份 有 限 公 司, 並 承 接 光 電 部 品 熔 射 業 務 及 半 導 體 產 業 關 鍵 零 組 件 的 新 品 開 發 業 務, 成 為 國 內 首 家 取 得 東 京 電 子 株 式 會 社 業 務 提 攜 的 公 司 產 品 介 紹 產 品 受 訪 人 / 職 稱 光 電 半 導 體 廠 真 空 設 備 零 組 件 的 再 生 洗 淨 與 特 殊 陶 瓷 塗 層 製 作, 以 及 設 備 零 組 件 之 陽 極 處 理 與 零 組 件 加 工 製 作 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 材 料 的 溶 射 與 焊 接 技 術 日 本 TOCALO 穩 定 成 長 良 好 特 殊 用 途 的 陽 極 氧 化 皮 膜 開 發 自 行 研 發 穩 定 成 長 良 好 各 種 材 料 的 化 學 除 膜 技 術 自 行 研 發 穩 定 成 長 良 好 精 密 洗 淨 技 術 自 行 研 發 穩 定 成 長 良 好 王 俊 傑 / 經 理 電 話 : #225 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : AMAT( 美 商 應 材 ) 在 半 導 體 與 FPD 之 CVD 與 PVD 相 關 模 組 與 零 組 件 需 要 作 陽 極 處 理, 如 susceptor diffuse.. 等, 需 要 該 模 組 在 翻 修, 才 能 提 高 使 用 率 與 降 低 End-user 成 本 以 下 為 AMAT 的 相 關 要 求 1. 由 於 FPD 與 半 導 體 是 屬 於 高 科 技 產 業, 任 何 設 備 模 組 與 零 組 件, 都 需 長 期 與 高 規 格 廠 內 驗 證, 因 此 希 望 元 鐙 在 做 陽 極 處 理 製 程 都 能 在 自 己 廠 內, 而 不 是 部 分 委 外 處 裡 2. 目 前 需 陽 極 處 理 模 組 最 大 長 x 寬 約 2200 x 2500 mm, 因 此 希 望 有 大 尺 寸 陽 極 處 理 相 關 製 程 能 夠 處 理, 且 在 每 一 到 製 程 上 都 能 有 品 保 人 員 確 保 相 關 品 質 因 素, 防 止 終 端 商 提 出 問 題 時, 能 夠 提 出 相 關 製 程 報 告, 129

135 優 先 釐 清 問 題 漢 泰 表 面 改 質 領 域 累 積 數 十 年 的 技 術 經 驗, 並 且 快 速 發 展 可 針 對 特 殊 客 戶 需 求 製 作 陽 極 處 理 槽, 且 大 部 分 流 程 皆 已 經 in-hourse, 能 即 時 掌 握 產 品 品 質, 且 服 務 半 導 體 FPD 領 域 製 程 設 備 已 有 相 當 經 驗 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 綜 和 以 結 果 漢 泰 科 技 初 步 有 符 合 AMAT 條 件 設 定, 建 議 AMAT 如 獲 得 高 層 同 意, 可 進 一 步 釋 出 待 處 理 樣 品 給 予 漢 泰 嘗 試 三. 辦 理 情 形 : 目 前 AMAT 已 提 供 樣 品 交 由 漢 泰 科 技 進 行 評 估, 但 漢 泰 與 原 先 提 供 給 AMAT 評 估 有 落 差, 導 致 陽 極 處 理 槽 無 法 置 入 樣 品 130

136 訪 廠 日 期 :102 年 9 月 3 日 訪 廠 人 員 : 陳 志 聖 鍾 逸 駿,AMAT 詹 君 儀 經 理 公 司 名 稱 : 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 公 司 簡 介 奈 晶 科 技 股 份 有 限 公 司 2000 萬 元 30 人 奈 晶 科 技 股 份 有 限 公 司 成 立 於 1965, 專 為 生 產 各 類 傳 統 染 色 陽 極 1979 年 研 發 硬 陽 技 術 並 將 以 推 展 應 用 至 各 類 精 密 機 械 及 光 學 週 邊 產 品, 專 精 於 陽 極 處 理, 更 以 精 密 的 檢 測 儀 器, 讓 品 質 更 加 穩 定 有 保 障, 希 望 為 現 代 半 導 體 及 光 電 業 者 帶 來 更 完 整 的 需 求 及 服 務 產 品 介 紹 產 品 金 屬 表 面 處 理 及 熱 處 理 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 硬 楊 極 處 理 自 行 研 發 穩 定 良 好 受 訪 人 / 職 稱 陳 憲 正 / 總 經 理 電 話 : 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 況 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : AMAT( 美 商 應 材 ) 在 半 導 體 與 FPD 之 CVD 與 PVD 相 關 模 組 與 零 組 件 需 要 作 陽 極 處 理, 如 susceptor diffuse.. 等, 需 要 該 模 組 在 翻 修, 才 能 提 高 使 用 率 與 降 低 End-user 成 本 以 下 為 AMAT 的 相 關 要 求 : 1. 由 於 FPD 與 半 導 體 是 屬 於 高 科 技 產 業, 任 何 設 備 模 組 與 零 組 件, 都 需 長 期 與 高 規 格 廠 內 驗 證, 因 此 希 望 奈 晶 在 做 陽 極 處 理 製 程 均 屬 於 in-house, 而 不 是 部 分 委 外 處 理 2. 目 前 需 陽 極 處 理 模 組 最 大 長 x 寬 約 2200 x 2500 mm, 因 此 希 望 有 大 尺 寸 陽 極 處 理 相 關 製 程 能 夠 處 理, 且 在 陽 極 膜 厚 需 15-25µm 3. 關 於 智 財 問 題, 未 來 如 有 合 作, 希 望 能 確 保 雙 方 權 利 義 務,AMAT 也 將 提 供 相 關 經 驗 與 奈 晶 做 討 論, 如 有 新 的 製 程 處 理, 希 望 也 能 有 共 享 專 利 奈 晶 科 技 最 新 之 陽 極 處 理 有 專 業 且 最 新 獨 一 無 二 的 技 術, 更 以 精 密 的 檢 測 儀 器, 讓 品 質 更 加 穩 定 有 保 障, 且 已 有 半 導 體 及 光 電 產 業 實 績, 目 前 更 開 發 出 針 對 10G 規 格 產 品 應 對 之 陽 極 處 理, 且 能 有 效 增 加 該 模 組 與 零 組 件 使 131

137 用 壽 命 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 奈 晶 科 技 陽 極 處 理 製 程 部 分 條 件 能 達 成 AMAT 需 求, 且 在 半 導 體 與 FPD 製 程 設 備 之 表 面 處 理 領 域 已 有 部 分 實 績 建 議 AMAT 如 獲 得 高 層 同 意 可 優 先 提 供 樣 品 給 予 奈 晶 科 科 技 做 測 試 三. 辦 理 情 形 : 目 前 AMAT 已 提 供 樣 品 交 由 奈 晶 科 技 進 行 評 估 132

138 訪 廠 日 期 :102 年 4 月 16 日 訪 廠 人 員 : 陳 志 聖 陳 韋 仁 公 司 名 稱 : 台 灣 艾 司 摩 爾 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 18.8 億 元 員 工 人 數 8,000 人 ( 全 球 ) 艾 司 摩 爾 ASML 是 全 球 晶 片 微 影 系 統 的 領 導 廠 商 眾 多 高 科 技 廠 商 使 用 我 們 的 系 統 來 製 造 晶 片 全 球 十 大 半 導 體 需 求 商 皆 為 我 們 ASML 的 客 戶! 為 了 保 持 我 們 強 勁 的 競 爭 力,ASML 每 年 在 研 發 上 花 費 超 過 7 億 美 金 台 灣 在 半 導 體 產 業 有 舉 足 輕 重 的 地 位, 我 們 也 於 2007 年 在 台 灣 成 立 了 ASML 全 球 卓 公 司 簡 介 越 創 新 中 心 (ACE - ASML Center of Excellence) ACE 是 艾 司 摩 爾 全 球 製 造 中 心 之 一, 負 責 8 吋 晶 片 製 造 微 影 設 備 與 12 吋 量 測 系 統 的 製 造 與 整 合, 也 專 注 於 半 導 體 應 用 及 技 術 開 發 客 戶 支 援 教 育 訓 練 與 運 籌 管 理 等 服 務 此 外,ACE 也 強 化 在 設 備 模 組 零 組 件 以 及 服 務 的 當 地 採 購 (local sourcing), 在 台 灣 也 和 眾 多 一 線 半 導 體 廠 商 合 作,( 例 : 台 積 電 與 聯 電 等 ) 一 起 共 事 產 品 介 紹 產 品 金 屬 表 面 處 理 及 熱 處 理 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 半 導 體 曝 光 設 備 自 行 研 發 穩 定 良 好 受 訪 人 / 職 稱 鄭 天 叢 / 亞 洲 採 購 總 監 電 話 : #8860 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 況 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : 1.ASML 對 於 政 府 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 推 動, 表 示 相 當 贊 同, 對 於 金 工 中 心 所 提 供 供 應 鏈 平 台 服 務, 將 有 助 於 ASML 瞭 解 具 量 能 供 應 鏈 廠 商 2. 曝 光 機 設 備 除 了 光 源 與 Lens 結 構 為 ASML 核 心 技 術, 其 他 像 是 精 密 加 工 表 面 處 理 特 殊 金 屬 材 料 加 工 機 電 整 合.. 等, 都 是 目 前 ASML 想 要 瞭 解 台 灣 有 那 些 廠 商 與 廠 商 的 量 能 點 的 程 度, 金 工 中 心 如 能 提 供 相 關 資 訊, 將 有 助 於 ASML 在 台 灣 供 應 鏈 需 求 133

139 3. 關 於 ASML 開 發 其 半 導 體 用 之 18 EUV 曝 光 機 台, 預 計 到 2018 年 將 會 有 量 產 機 台 出 售 至 英 特 爾, 目 前 都 是 實 驗 線 機 台 設 備 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 綜 和 以 上 結 果, 建 議 ASML 能 提 供 曝 光 設 備 之 次 系 統, 與 未 來 業 務 量 做 通 盤 考 量, 並 請 公 司 高 層 做 相 關 評 估 與 決 策 三. 辦 理 情 形 : 目 前 已 針 對 ASML 開 出 需 求 條 件, 提 供 具 量 能 供 應 鏈 廠 商 給 予 評 估, 另 外 亦 提 供 其 他 合 作 方 案, 如 透 過 專 案 計 畫 輔 導 廠 商 134

140 訪 廠 日 期 :102 年 5 月 09 日 訪 廠 人 員 : 陳 志 聖 陳 韋 仁,ASML: 鄭 天 叢 公 司 名 稱 : 進 期 科 技 駐 龍 精 密 晟 田 科 技 股 份 有 限 公 司 1. 進 期 : 2,500 萬 元 資 本 額 ( 元 ) 2. 駐 龍 :1.5 億 元 3. 晟 田 :4.4 億 元 1. 進 期 :50 人 員 工 人 數 2. 駐 龍 : 晟 田 :300 人 1. 進 期 : 進 期 創 立 於 西 元 1996 年 成 立 以 提 供 傳 統 產 業 零 件 加 工 為 導 向,1999 年 開 始 投 資 CNC 綜 合 加 工 機 生 產 設 備, 產 品 導 向 電 子 科 技 產 業, 提 供 軟 式 印 刷 電 路 (PCB) 設 備, 被 動 元 件 (MCLL) 設 備 之 機 械 零 組 件 加 工 生 產 設 備, 且 加 工 行 程 增 至 3000MM, 以 符 合 光 電 產 業 在 世 代 的 增 長 2. 駐 龍 : 駐 龍 精 密 機 械 股 份 有 限 公 司 是 為 全 球 高 科 技 產 業 如 航 空, 航 太, 電 子, 汽 車, 以 及 其 他 工 業 提 供 精 密 機 械 加 工, 板 金 成 形, 表 面 處 理, 零 組 件 製 造, 工 具 及 模 具 公 司 簡 介 設 計, 次 組 合 件 裝 配 等 的 一 個 完 整 高 品 質 服 務 的 公 司 3. 晟 田 : 晟 田 科 技 公 司 成 立 1987 年 至 今, 迄 今 發 展 20 餘 年 的 晟 田, 一 步 一 腳 印 建 立 企 業 版 圖, 營 運 規 模 逐 步 茁 壯 成 長, 其 所 奠 基 的 實 力, 更 受 到 國 內 外 合 作 夥 伴 的 重 視, 成 為 全 球 航 太 等 產 業 供 應 鏈 不 可 或 缺 的 一 員 據 悉, 包 括 經 濟 部 長 尹 啟 銘 等 政 府 部 門 首 長 及 MHI( 三 菱 食 品 包 裝 機 器 ) 社 長 住 友 精 密 社 長 MA ZAK( 美 捷 科 ) 社 長 NIKE( 日 研 ) 社 長 山 善 社 長 等 知 名 日 商 及 漢 翔 董 事 長 等 客 戶 高 層 主 管 亦 將 專 程 到 賀, 共 同 見 證 晟 田 新 的 里 程 碑 1. 進 期 : (1) 精 密 零 組 件 製 造 (2). 真 空 腔 體 製 造 (3). 真 空 零 組 件 製 造. 產 品 介 紹 2. 駐 龍 : 航 空, 航 太, 電 子, 汽 車 等 工 業 提 供 高 精 密 機 械 加 工 3. 晟 田 : (1) 日 本 三 菱 食 品 設 備 OEM 零 件 廠 (2) 航 太 零 件 - 渦 輪 引 擎 (3) 半 導 體 面 板 設 備 之 主 要 零 件 製 作 (4) 日 本 住 友 精 密 - 航 太 起 落 架 零 件 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 受 訪 人 / 職 稱 進 期 : 黃 啟 明 / 副 總 經 理 駐 龍 : 周 志 明 / 協 理 晟 田 : 董 永 昌 / 董 事 長 電 話 : 傳 真 / /[email protected] 電 話 : 傳 真 / [email protected] 電 話 : 傳 真 / / [email protected] 投 入 產 出 情 況 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 135

141 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : 1. 近 期 科 技 目 前 廠 內 有 4/5 軸 加 工 設 備, 且 焊 接 技 術 亦 承 接 日 本 ULVAC 公 司, 加 工 完 後 之 零 組 件 有 完 善 品 檢 設 備 及 內 部 控 制 系 統 ERP 制 度, 使 得 交 貨 日 期 準 確 度 高 目 前 是 許 多 面 板 廠, 與 國 內 大 型 設 備 之 下 包 廠 商 對 於 政 府 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 推 動, 表 示 相 當 贊 同, 對 於 金 工 中 心 所 提 供 供 應 鏈 平 台 服 務, 將 有 助 於 ASML 瞭 解 具 量 能 供 應 鏈 廠 商 2. 駐 龍 精 密 從 事 高 精 密 機 械 加 工 業 務, 主 要 製 造 能 力 包 括 3/4/5 軸 數 據 加 工 中 心 機 精 密 航 太 鈑 金 液 壓 成 型 機 相 關 熱 處 理 設 備 及 3 次 元 自 動 量 床 等 公 司 已 取 得 AS-9100B ISO-9001 漢 翔 及 日 本 美 國 等 公 司 多 項 品 質 認 證, 特 別 在 鈑 金 精 密 加 工 有 相 當 經 驗 3. 晟 田 科 技 精 密 加 工 專 精 於 航 空 航 太 相 關 模 組 零 組 件, 並 與 日 商 大 廠 住 友 精 密 策 略 性 合 作, 關 於 ASML 提 出 之 鈑 金 加 工 規 格, 如 ASML 能 提 出 樣 品, 晟 田 可 先 行 進 行 評 估 4. 綜 合 以 上 廠 商 對 於 政 府 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 推 動, 表 示 相 當 贊 同, 對 於 金 工 中 心 所 提 供 供 應 鏈 平 台 服 務, 將 有 助 於 廠 商 彼 此 瞭 解 所 需 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 綜 和 以 上 結 果, 建 議 ASML 能 提 供 預 製 作 之 模 組 / 零 組 件.. 等 提 供 廠 商 製 作, 未 來 通 過 驗 證, 將 可 成 為 優 先 考 量 供 應 鏈 廠 商 三. 辦 理 情 形 : 目 前 進 期 駐 龍 晟 田 分 別 已 送 樣 品 給 予 ASML 做 確 認 136

142 訪 廠 日 期 :102 年 7 月 2 日 訪 廠 人 員 : 陳 志 聖 陳 韋 仁 ASML 鄭 天 叢 公 司 名 稱 : 鈦 昇 科 技 馗 鼎 奈 米 材 料 股 份 有 限 公 司 鈦 昇 :4.4 億 元 資 本 額 ( 元 ) 馗 鼎 :4,115 萬 元 員 工 人 數 鈦 昇 :260 人 馗 鼎 : 鈦 昇 科 技 是 專 業 於 半 導 體 精 密 主 機 板 高 階 基 板 材 料 LED 被 動 元 件 等 高 階 自 動 化 設 備 與 電 子 材 料 設 計 與 製 造 之 科 技 公 司 網 羅 各 業 界 菁 英, 歷 經 近 二 十 年 來 科 技 業 的 最 嚴 格 考 驗, 各 產 品 事 業 處, 均 已 具 備 世 界 級 競 爭 水 準 尤 其 是 在 雷 射 打 印 機 切 割 鑽 孔 及 軟 性 電 子 材 料 製 程 (Roll to Roll) 方 面, 已 成 為 國 內 少 數 具 獨 特 能 力 之 技 術 服 務 團 隊 公 司 簡 介 2. 馗 鼎 奈 米 科 技 之 技 術 團 隊 在 電 漿 領 域 的 研 發 已 有 十 餘 年 的 歷 史, 在 國 內 對 於 電 漿 技 術 的 開 發 可 說 位 於 領 導 的 地 位, 目 前 已 是 國 內 最 大 常 壓 電 漿 設 備 生 產 製 造 商, 其 產 品 穩 定 性 及 可 靠 度 深 獲 國 內 面 板 大 廠 肯 定, 已 獲 國 內 面 板 大 廠 大 量 使 用, 可 有 效 提 升 面 板 生 產 之 良 率 及 信 賴 度, 具 有 全 世 界 首 屈 一 指 的 電 漿 與 鍍 膜 專 業 技 術, 專 長 於 IC 光 電 與 通 訊 製 程 技 術 與 設 備 的 研 發 產 品 介 紹 1. 鈦 昇 : 雷 射 應 用 設 備 乾 式 Cleaning 製 程 設 備 Plasma 電 漿 設 備 2. 馗 鼎 : 電 漿 設 備 電 漿 鍍 膜 電 源 供 應 器 類 鑽 碳 鍍 膜 系 統 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 受 訪 人 / 職 稱 1. 鈦 昇 : 趙 偉 克 / 副 總 2. 馗 鼎 : 陳 俊 欽 協 理 電 話 : #1200 傳 真 / /[email protected] 電 話 : #1200 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 況 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : 1. 曝 光 機 設 備 除 了 光 源 與 Lens 結 構 為 ASML 核 心 技 術, 機 台 運 作 需 靠 高 精 密 對 位 模 組, 此 部 分 須 利 用 先 進 雷 射 對 位 可 補 足 這 點 目 前 鈦 昇 將 雷 射 應 用 在 晶 圓 與 玻 璃 切 割, 其 開 發 之 設 備 機 台 亦 須 利 用 精 密 雷 射 對 位, 因 此 這 部 分 鈦 昇 有 此 纇 設 備 機 台 經 驗 137

143 2. 另 外 曝 光 設 備 常 應 用 到 千 瓦 以 上 電 源, 馗 鼎 雖 然 自 主 開 發 高 功 率 電 源 供 應 器 多 年, 對 於 千 瓦 以 上 仍 無 太 大 把 握 如 由 設 備 部 分 模 組 或 零 組 件 須 用 到 500W 以 下, 馗 鼎 比 較 有 把 握 能 夠 開 發 完 成 3. 綜 合 以 上 廠 商 對 於 政 府 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 推 動, 表 示 相 當 贊 同, 對 於 金 工 中 心 所 提 供 供 應 鏈 平 台 服 務, 將 有 助 於 廠 商 彼 此 瞭 解 所 需 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 綜 和 以 上 結 果, 建 議 ASML 能 進 一 步 提 供 相 關 樣 品 規 格 給 予 鈦 昇 馗 鼎 做 參 考 三. 辦 理 情 形 : 目 前 ASML 開 出 需 求 條 件, 鈦 昇 馗 鼎 短 時 間 無 法 完 成, 需 未 來 業 務 量 做 通 盤 考 量, 並 請 公 司 高 層 做 相 關 評 估 與 決 策 138

144 訪 廠 日 期 :102 年 8 月 29 日 訪 廠 人 員 : 陳 志 聖 陳 韋 仁 ASML 鄭 天 叢 公 司 名 稱 : 均 華 奇 鼎 股 份 有 限 公 司 均 豪 :17.8 億 元 資 本 額 ( 元 ) 奇 鼎 :3,000 萬 元 均 豪 :511 人 員 工 人 數 奇 鼎 : 45 人 1. 均 豪 精 密 工 業 成 立 於 1978 年, 秉 持 顧 客 至 上 永 續 經 營 追 求 卓 越 作 育 英 才 的 企 業 使 命 不 斷 的 開 發 研 究, 穩 健 經 營 以 提 供 客 戶 滿 意 之 Q D T C S 全 方 位 解 決 方 案 自 許, 協 助 客 戶 創 造 更 大 的 企 業 價 值 均 豪 精 密 初 期 主 要 業 務 範 疇 以 半 導 體 設 備 之 模 具 零 組 件 製 造 為 主 自 1985 年 逐 步 穩 健 的 跨 入 精 密 設 備 及 製 程 設 備 零 組 件 領 域 產 品 線 擴 及 IC 封 裝 設 備 LCD 製 程 自 動 化 及 檢 測 設 備 工 業 用 機 器 人 精 密 零 組 件 新 品 開 發 及 清 洗 再 生 等, 客 戶 遍 及 台 灣 中 國 東 南 亞 日 韓 各 國 公 司 簡 介 2. 奇 鼎 科 技 為 專 業 從 事 微 汙 染 控 制 節 能 相 關 工 程 及 設 備 的 廠 商 我 們 主 要 的 服 務 內 容 為 針 對 製 程 相 關 連 的 項 目, 如 潔 淨 溫 控 靜 電 空 氣 中 有 害 物 (AMC) 及 製 程 週 邊 工 程 及 設 備 自 2006 年 創 立 設 計 研 發 部 門 後, 便 致 力 於 潔 淨 室 相 關 節 能 設 備 的 開 發, 本 公 司 以 高 科 技 廠 房 製 程 良 率 提 昇 為 主 軸, 以 生 產 製 程 環 境 控 制 為 主 要 考 慮 面 向, 自 產 品 缺 陷 的 問 題 找 尋 分 析 開 始, 至 提 供 客 戶 端 解 決 方 案 為 止, 希 望 可 提 供 高 科 技 廠 房 製 程 單 位 一 完 整 產 品 線 1. 均 豪 : 半 導 體 封 裝 設 備 精 密 模 具 及 機 械 零 組 件 設 計 製 造 雷 射 應 用 科 技 產 品 介 紹 2. 奇 鼎 : 責 高 科 技 廠 內 潔 淨 室 設 計 規 劃 施 工 有 機 氣 體 線 上 分 析 系 統 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 受 訪 人 / 職 稱 1. 均 豪 : 王 克 堯 / 技 術 處 長 2. 奇 鼎 : 郭 祐 甫 / 協 理 副 總 電 話 : 傳 真 / /[email protected] 電 話 : 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 況 139

145 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : 1. 均 豪 核 心 技 術 以 其 多 年 IC 封 裝 模 具 研 製 之 豐 富 經 驗 為 基 礎,, 其 廠 內 有 4/5 軸 加 工 設 備, 檢 測 設 備, 主 要 是 公 司 開 發 產 品 跨 足 陸 續 跨 足 LCD LED PV/Solar 及 綠 能 產 業, 該 設 備 精 密 加 工 皆 由 廠 內 完 成, 並 針 對 客 戶 製 程 改 良 及 新 設 備 開 發, 提 供 整 廠 整 線 自 動 化 連 線 規 劃 及 Total Solution 等 客 製 化 設 備, 時 至 今 日 已 成 為 台 灣 最 具 規 模 之 精 密 設 備 製 造 商 及 供 應 商 2. 曝 光 設 備 常 需 要 用 到 有 機 / 無 機 循 環 再 回 收 系 統, 奇 鼎 科 技 核 心 技 術 在 於 製 程 微 環 境 控 制 微 汙 檢 測 節 能 評 估 改 善 等 對 於 此 類 相 關 設 計 與 評 估 目 前 正 在 取 得 國 內 半 導 體 廠 認 證 ASML 提 出 之 系 統 為 奇 鼎 已 有 類 似 產 品 可 作 為 驗 證 與 評 估 3. 綜 合 以 上 廠 商 對 於 政 府 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 推 動, 表 示 相 當 贊 同, 對 於 金 工 中 心 所 提 供 供 應 鏈 平 台 服 務, 將 有 助 於 廠 商 彼 此 瞭 解 所 需 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 綜 和 以 上 結 果, 建 議 ASML 能 進 一 步 提 供 相 關 樣 品 規 格 給 予 均 豪 奇 鼎 科 技 做 參 考 三. 辦 理 情 形 : 1.ASML 暫 不 考 慮 與 均 豪 合 作 2. 奇 鼎 科 技 已 將 相 關 樣 品 送 至 ASML 做 評 估 140

146 訪 廠 日 期 :102 年 10 月 5 日 訪 廠 人 員 : 陳 志 聖 陳 韋 仁 ASML 鄭 天 叢 公 司 名 稱 : 千 附 實 業 大 銀 微 系 統 鼎 翰 光 電 股 份 有 限 公 司 千 附 實 業 :11.8 億 元 資 本 額 ( 元 ) 大 銀 微 系 統 :7.3 億 元 鼎 翰 光 電 :2000 萬 元 員 工 人 數 千 附 實 業 :260 人 大 銀 微 系 統 :389 人 鼎 翰 光 電 :23 人 1. 千 附 實 業 股 份 有 限 公 司 於 1982 年 4 月 創 立 迄 今, 對 於 高 複 雜 度 之 廠 務 作 業 系 統 和 生 產 製 造 環 境, 千 附 實 業 擁 有 高 度 專 業 之 工 程 施 工 技 術 與 工 程 統 籌 管 理 能 力, 目 前 公 司 組 織 有 以 工 程 事 業 群 機 械 事 業 群 為 主, 其 團 隊 技 術 足 以 因 應 高 科 技 產 業 建 廠 與 擴 廠 之 需 要 特 別 在 精 密 加 工 的 領 域 耕 耘 多 年 有 成, 現 在 不 僅 是 國 內 重 要 的 航 太 精 密 加 工 供 應 商, 也 是 許 多 知 名 光 電 和 半 導 體 公 司 的 設 備 零 組 件 供 應 商 公 司 簡 介 2. 大 銀 微 系 統 創 立 於 1997 年 為 線 性 傳 動 與 控 制 元 件 之 專 業 研 發 製 造 商, 是 國 內 唯 一 具 有 線 性 馬 達 量 產 能 力 者 技 術 水 準 與 德 日 美 等 先 進 國 家 並 駕 齊 驅! 客 戶 群 涵 蓋 了 半 導 體 設 備 醫 療 設 備 精 密 量 測 自 動 化 等 產 業, 包 括 世 界 排 名 前 三 大 之 半 導 體 設 備 製 造 廠 行 銷 網 遍 佈 全 球, 在 美 國 德 國 日 本 瑞 士 捷 克 以 色 列 等 國 皆 設 有 分 公 司 或 研 發 中 心 3. 鼎 翰 光 電 創 立 於 2008 年, 是 冷 陰 極 螢 光 燈 管 (CCFL) 專 業 製 造 廠, 並 生 產 曝 光 燈 印 刷 燈 工 業 用 紫 外 燈, 主 要 從 燈 種 開 發 生 產 加 工 售 後 技 術 服 務 一 手 包 辦, 矢 志 成 為 全 球 專 業 領 導 廠 商 1. 千 附 : 製 鞋 設 備 航 太 金 屬 結 構 和 引 擎 零 組 件 光 電 和 半 導 體 設 備 精 密 零 組 產 品 介 紹 2. 大 銀 微 系 統 : 線 性 製 動 器 工 業 機 器 人 3. 鼎 翰 光 電 : 高 壓 毛 細 燈 毛 細 燈 UV 燈 長 弧 燈 短 弧 燈 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 電 話 : #2868 受 訪 人 / 職 稱 千 附 實 業 : 賴 明 村 / 副 總 大 銀 微 系 統 : 絲 國 一 / 資 深 副 總 鼎 翰 光 電 : 陳 彥 政 / 副 總 傳 真 / /[email protected] 電 話 : #9100 傳 真 / /[email protected] 電 話 : 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 況 141

147 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : 1. 千 附 實 業 主 要 以 工 程 事 業 群 機 械 事 業 群 為 主 主 要 從 事 生 產 國 際 航 太 金 屬 結 構 和 引 擎 零 組 件 光 電 和 半 導 體 設 備 精 密 零 組 件, 從 3~5 軸 具 備 完 整 的 航 太 級 精 密 車 銑 加 工 技 術 和 能 量 優 異 的 製 程 能 力 嚴 謹 的 品 保 系 統 國 際 航 太 和 半 導 體 設 備 大 廠 的 品 質 認 證, 高 素 質 的 精 密 製 造 人 才 和 堅 強 的 供 應 體 系 從 製 程 規 劃 程 式 撰 寫 工 治 具 設 計 精 密 加 工 組 裝 到 品 質 保 證, 嚴 謹 的 管 理 系 統 確 保 達 成 客 戶 所 需 要 的 品 質 和 服 務, 全 方 位 提 供 客 戶 滿 意 的 解 決 方 案, 且 是 許 多 國 外 半 導 體 大 廠 供 應 鏈 之 一, 如 ASML 能 提 供 相 關 加 工 樣 品 規 格, 將 能 提 供 千 附 的 全 方 位 服 務 2. 大 銀 微 系 統 專 業 於 傳 動 控 制 與 系 統 科 技 之 研 發 與 製 造, 具 備 3~5 軸 具 航 太 級 精 密 車 銑 加 工 設 備 與 技 術, 具 有 優 秀 工 作 團 隊, 可 依 客 戶 要 求, 並 在 短 時 間 成 立 研 發 團 隊 為 客 戶 做 服 務, 並 依 加 工 材 料, 可 在 適 當 環 境 ( 如 無 塵 室 恆 溫 室 ) 做 品 質 測 試, 如 ASML 能 提 供 相 關 加 工 樣 品 需 求 規 格, 公 司 將 能 夠 進 一 步 做 評 估 動 作 3. 鼎 翰 光 電 為 馗 鼎 奈 米 轉 投 資 公 司, 結 合 電 漿 開 發 團 隊 與 冷 陰 極 管 量 產 團 隊 核 心 成 員, 投 入 紫 外 線 特 種 光 源 之 研 發 與 量 產 我 們 有 深 厚 的 電 漿 開 發 與 燈 管 量 產 實 務 成 功 經 驗, 目 前 在 PCB 產 業 曝 光 燈 管 有 實 績, 另 外 曝 光 設 備 常 用 水 銀 燈 及 金 鹵 燈 亦 有 低 功 率 產 品 開 發, 相 較 於 ASML 需 要 大 功 率 及 球 型 燈 種 類, 目 前 是 未 來 目 標, 尚 規 劃 開 發 當 中 4. 綜 合 以 上 廠 商 對 於 政 府 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 推 動, 表 示 相 當 贊 同, 對 於 金 工 中 心 所 提 供 供 應 鏈 平 台 服 務, 將 有 助 於 廠 商 彼 此 瞭 解 所 需 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 綜 和 以 上 結 果, 建 議 ASML 能 進 一 步 提 供 相 關 樣 品 規 格 給 千 附 與 大 銀 微 系 統 做 評 估, 鼎 翰 光 電 可 暫 時 不 考 慮 提 供 三. 辦 理 情 形 : 目 前 ASML 開 出 需 求 條 件, 短 時 間 無 法 完 成, 需 未 來 業 務 量 做 通 盤 考 量, 並 請 公 司 高 層 做 相 關 評 估 與 決 策 142

148 訪 廠 日 期 :102 年 4 月 26 日 訪 廠 人 員 : 吳 春 森 處 長 陳 韋 仁 陳 志 聖 公 司 名 稱 : 台 灣 應 用 材 料 股 份 有 限 公 司 資 本 額 ( 元 ) 員 工 人 數 8.68 億 元 1,000 人 台 灣 應 用 材 料 公 司 是 美 商 應 用 材 料 公 司 在 台 子 公 司 應 用 材 料 公 司 ( Applied Materials, Inc.) 成 立 於 1967 年, 是 全 球 最 大 的 奈 米 製 造 技 術 領 導 廠 總 部 設 於 美 國 加 州 矽 谷 聖 塔 克 拉 拉 ( Santa Clara), 德 州 奧 斯 汀 設 有 製 造 中 心 與 技 術 訓 練 中 心 應 用 材 料 公 司 名 列 全 球 前 五 百 大 公 司 之 一 公 司 簡 介 應 用 材 料 公 司 在 美 國 歐 洲 以 色 列 台 灣 新 加 坡 以 及 中 國 大 陸 等 各 地 都 設 有 技 術 研 發 與 製 造 中 心, 構 成 一 個 範 圍 廣 達 全 球 三 大 洲 的 研 究 發 展 及 製 造 組 織 此 外, 在 美 國 歐 洲 以 色 列 日 本 韓 國 台 灣 新 加 坡 馬 來 西 亞 印 度 以 及 中 國 等 19 國 家, 設 有 90 多 個 銷 售 與 服 務 據 點, 其 設 置 地 點 均 與 主 要 客 戶 相 比 鄰, 以 支 援 全 球 電 子 產 業 的 發 展 半 導 體 製 程 設 備 如 化 學 氣 相 沉 積 物 理 氣 相 沉 積 磊 晶 及 多 晶 矽 沉 積 快 速 高 溫 處 理 離 子 植 入 電 漿 蝕 刻 電 鍍 化 學 機 械 研 磨 濕 式 清 洗 量 測 產 品 介 紹 檢 驗 以 及 光 罩 製 造 設 備 平 面 顯 示 器 生 產 設 備 製 造 執 行 系 統 軟 體 近 年, 更 跨 足 太 陽 光 電 產 業, 提 供 製 造 太 陽 能 電 池 軟 件 電 子 與 節 能 玻 璃 等 的 生 產 設 備 產 品 名 稱 技 術 來 源 目 前 狀 況 銷 售 情 形 備 註 產 品 受 訪 人 / 職 稱 黃 正 滄 / 供 應 鏈 管 理 處 長 詹 君 儀 / 物 料 企 劃 經 理 電 話 : #2219 傳 真 / /[email protected] 投 入 產 出 情 年 份 研 發 人 數 研 發 經 費 研 發 案 件 數 投 資 金 額 商 品 化 數 目 產 品 營 業 額 況 訪 談 紀 錄 一. 訪 談 內 容 : 1. 日 前 漢 翔 科 技 陽 極 處 理 業 務 接 到 航 空 業 者 長 期 大 單, 與 AMAT 合 作 之 約 期 也 將 於 今 年 到 期, 漢 翔 預 結 束 與 AMAT 合 作,AMAT 正 在 轉 尋 國 內 具 量 能 供 應 鏈 廠 商 2.AMAT 針 對 其 CVD 與 PVD 設 備 之 關 鍵 模 組 與 零 組 件, 尋 求 國 內 其 他 143

149 陽 極 處 理 供 應 鏈 廠 商 AMAT 特 別 重 視 相 關 I.P 智 財 權 利 與 義 務, 希 望 金 工 中 心 能 夠 協 尋 提 供 較 具 信 任 廠 商 能 給 予 協 助, 已 先 提 供 榮 眾 漢 泰 美 上 鎂 資 訊 給 予 參 考, 後 續 將 偕 同 拜 訪 廠 商 3.AMAT 對 於 政 府 推 動 半 導 體 製 程 設 備 暨 零 組 件 本 土 化 推 動, 表 示 相 當 贊 同, 對 於 金 工 中 心 所 提 供 應 鏈 平 台 服 務, 將 有 助 於 應 材 瞭 解 具 量 能 供 應 鏈 廠 商 二. 建 議 及 續 處 事 項 : 1. 建 議 中 心 先 篩 選 具 潛 力 供 應 鏈 廠 商 給 予 AMAT 參 考 2. 請 AMAT 在 提 供 相 關 需 求 規 格, 將 更 快 速 媒 合 具 量 能 供 應 鏈 廠 商 三. 辦 理 情 形 : 後 續 協 同 拜 訪 供 應 鏈 廠 商 彼 此 溝 通 瞭 解 需 求 144