第 20 卷 第 6 期 中 国 有 色 金 属 学 报 200 年 6 月 Vol.20 No.6 The Chinese Journal of Nonferrous Metals June 200 文 章 编 号 :004-0609(200)06-37-06 Ti-6Al-4V 表 面 等 离 子 合 金 层 中 渗 Mo 的 扩 散 系 数 李 哲 2, 秦 林, 马 连 军, 范 爱 兰, 张 万 祯, 唐 宾 (. 太 原 理 工 大 学 表 面 工 程 研 究 所, 太 原 030024; 2. 平 朔 煤 炭 公 司 设 计 院, 朔 州 038506) 摘 要 : 研 究 采 用 双 层 辉 光 离 子 渗 金 属 技 术 在 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 制 备 Mo 基 改 性 层 的 Mo 扩 散 过 程 通 过 观 察 渗 层 截 面 组 织 形 貌, 测 定 各 种 合 金 化 元 素 的 分 布 情 况, 着 重 分 析 不 同 温 度 下 不 同 元 素 的 加 入 对 Mo 扩 散 行 为 的 影 响 结 果 表 明 : 在 800~950 下,Ti-6Al-4V 合 金 离 子 渗 Mo 后 所 得 改 性 层 厚 度 Mo 平 均 扩 散 系 数 及 相 同 浓 度 下 Mo 的 扩 散 系 数 都 随 温 度 升 高 而 升 高 ; 由 于 反 溅 射 和 Ti-6Al-4V 基 体 相 变 等 原 因, 000 时 各 参 数 反 常 ; 加 入 合 金 元 素 W 和 N 使 Mo 的 扩 散 系 数 有 所 降 低,Mo 的 平 均 扩 散 系 数 在 单 纯 渗 Mo 时 为 2.376 88 0 4,W-Mo 共 渗 时 为.47 27 0 4,W-Mo-N 共 渗 时 为 7.026 8 0 5 关 键 词 :Ti-6Al-4V; 钼 ; 双 辉 离 子 渗 金 属 技 术 ; 扩 散 系 数 中 图 分 类 号 :TG56.8 文 献 标 志 码 :A Diffusion coefficient of molybdenum in alloying layer on Ti-6Al-4V by plasma surface alloying technique LI Zhe, QIN Lin, MA Lian-jun, FAN Ai-lan, ZHANG Wan-zhen 2, TANG Bin (. Surface Engineering Institute, Taiyuan University of Technology, Taiyuan 030024, China; 2. Pingshuo Coal Company Design Institute, Shuozhou 038506, China) Abstract: The molybdenum-based alloying layers on the surface of Ti-6Al-4V were prepared by a plasma surface alloying process. The microstructure and element distribution of the modified layers were examined. The diffuse process and the impact of temperature and alloying elements to diffusion coefficients of Mo (D Mo ) were studied. The results show that the depth of the molybdenum alloying layers, the mean diffusion coefficients of Mo ( D ) and the D Mo Mo at the same Mo concentration increase with increasing temperature in the rang of 800 950, while they are abnormal at 000 for the comprehensive influence of sputter and phase transition of the Ti6Al4V sample. Addition of tungsten and nitrogen reduces the D Mo in different degrees, and D Mo values for alloying layers with Mo, W-Mo and W-Mo-N are 2.376 88 0 4,.47 27 0 4 and 7.026 8 0 5, respectively. Key words: Ti-6Al-4V; molybdenum; double glow plasma surface alloying; diffusion coefficient 钛 (Ti) 合 金 由 于 具 有 密 度 小 比 强 度 高 耐 蚀 性 好 等 优 点, 在 航 空 航 天 工 业 中 有 着 广 泛 的 应 用 前 景, 但 钛 合 金 硬 度 低, 摩 擦 系 数 大, 耐 磨 性 较 差, 容 易 发 生 严 重 的 粘 着 磨 损 等 缺 点, 极 大 地 影 响 了 钛 合 金 结 构 的 安 全 性 和 可 靠 性, 阻 碍 了 其 进 一 步 应 用 表 面 合 金 化 是 提 高 其 耐 磨 性 能 的 有 效 途 径 目 前, 采 用 的 钛 合 金 表 面 合 金 化 技 术 主 要 有 固 体 渗 金 属 离 子 注 入 [] 电 子 束 表 面 合 金 化 [2] 激 光 表 面 合 金 化 [3 4] [5] 离 子 氮 化 基 金 项 目 : 国 家 高 技 术 研 究 发 展 计 划 资 助 项 目 (2007AA03Z52); 国 家 自 然 科 学 基 金 资 助 项 目 (505006, 5077070); 山 西 省 青 年 科 学 基 金 资 助 项 目 (200602023); 山 西 省 高 等 学 校 优 秀 青 年 学 术 带 头 人 计 划 资 助 项 目 收 稿 日 期 :2009-08-25; 修 订 日 期 :200-0-30 通 信 作 者 : 秦 林, 副 教 授, 博 士 ; 电 话 :035-600540;E-mail:qinlin@tyut.edu.cn
38 中 国 有 色 金 属 学 报 200 年 6 月 [6] 及 离 子 渗 金 属 等 双 辉 离 子 渗 金 属 技 术 是 近 年 发 展 起 来 的 一 项 合 金 化 技 术, 是 在 一 个 真 空 容 器 内 设 置 阳 极 阴 极 ( 工 件 ) 以 及 由 欲 渗 元 素 组 成 的 源 极 ; 阳 极 和 阴 极 之 间 及 阳 极 和 源 极 之 间 分 别 设 置 可 调 直 流 电 源 ; 接 通 电 源 产 生 辉 光 放 电 ( 即 双 辉 ); 气 体 离 子 受 到 电 场 的 作 用 加 速 对 阴 极 和 源 极 表 面 轰 击 使 发 生 溅 射 ; 被 溅 射 出 的 欲 渗 合 金 粒 子 ( 离 子 原 子 电 子 或 粒 子 团 ), 在 电 场 作 用 下 向 工 件 表 面 运 动, 很 快 吸 附 沉 积 到 工 件 表 面, 并 在 高 温 下 扩 散 渗 入 工 件 内 部, 形 成 含 有 欲 渗 金 属 元 素 的 表 面 合 金 扩 散 层 由 于 合 金 元 素 的 选 择 范 围 大 工 艺 简 单 可 控 渗 入 速 度 快 等 优 点, 双 辉 离 子 渗 金 属 技 术 越 来 越 引 起 学 术 界 及 工 业 界 的 重 视 [7 8] 从 文 献 [9] 可 看 出, 在 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 渗 钼 (Mo) 可 以 一 定 程 度 提 高 其 硬 度 和 耐 磨 性, 若 进 行 钼 氮 (Mo-N) 钨 钼 (W-Mo) 共 渗 可 进 一 步 改 善 钛 合 金 的 摩 擦 学 性 能 [0 2] 在 离 子 渗 金 属 过 程 中, 合 金 元 素 的 扩 散 过 程 决 定 改 性 层 最 终 结 构, 影 响 其 性 能, 而 温 度 是 对 扩 散 过 程 影 响 最 大 的 因 素 之 一 [3] 为 了 揭 示 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 渗 Mo 过 程 中 的 扩 散 行 为, 本 文 作 者 着 重 对 比 研 究 不 同 温 度 下 Ti-6Al-4V 合 金 双 辉 渗 Mo 过 程 中 Mo 的 扩 散 行 为, 同 时 研 究 相 同 温 度 条 件 下 加 入 W 和 N 等 其 他 合 金 化 元 素 对 渗 Mo 扩 散 行 为 的 影 响 实 验. 设 备 实 验 采 用 自 制 的 LS 450 型 双 层 辉 光 离 子 渗 金 属 炉 采 用 Buehter 自 动 图 像 分 析 仪 观 察 截 面 组 织 形 貌, 采 用 GDA 750 辉 光 放 电 光 谱 分 析 仪 测 定 改 性 层 的 元 素 分 布.2 材 料 实 验 采 用 的 基 体 材 料 是 退 火 态 的 Ti-6Al-4V 合 金, 其 成 分 ( 质 量 分 数 ) 见 表 图 所 示 为 其 组 织 形 貌, 可 见 其 为 板 条 状 (α+β) 组 织 将 其 制 成 d 30 mm 7 mm 的 薄 片 试 样, 经 清 洗 水 砂 纸 磨 光 ( 从 360# 到 500#) 抛 光 丙 酮 清 洗 处 理 热 风 吹 干 后 进 行 双 层 辉 光 等 离 表 Ti-6Al-4V 钛 合 金 成 分 Table Composition of Ti-6Al-4V alloy (mass fraction,%) Al V O Fe Si N H C Ti 6.7 4.2 0.4 0.0 0.07 0.05 0.003 0.03 Bal. 图 Ti-6Al-4V 合 金 的 截 面 的 显 微 组 织 Fig. Microstructure of cross-section of Ti-6Al-4V alloy 子 渗 钼 渗 钼 选 用 纯 钼 靶 作 为 源 极, 而 W-Mo 及 W-Mo-N 共 渗 选 用 源 极 为 经 轧 制 的 粉 末 冶 金 板 (n(w) n(mo)= ( 5 5.3 工 艺 参 数 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 双 层 辉 光 等 离 子 渗 Mo 选 用 典 型 工 艺 参 数 : 工 作 气 压 40 Pa 左 右, 源 极 与 阴 极 距 离 5 mm, 保 温 时 间 3 h 为 了 研 究 温 度 对 扩 散 系 数 的 影 响, 选 取 温 度 范 围 为 800~ 000 比 较 Ti-6Al-4V 合 金 表 面 单 纯 渗 Mo W-Mo 及 W-Mo-N 共 渗 3 种 工 艺 时, 温 度 选 取 850, 其 他 参 数 不 变 W-Mo 及 W-Mo-N 共 渗 选 用 源 极 为 经 轧 制 的 粉 末 冶 金 板 (n(w) n(mo)= 5) W-Mo-N 5 共 渗 工 艺 是 在 开 始 保 温 时 通 入 氮 气, 保 证 氩 气 与 氮 气 流 量 比 为 2 2 结 果 与 分 析 2. 改 性 层 的 截 面 显 微 组 织 形 貌 图 2 所 示 为 不 同 温 度 渗 Mo 改 性 层 截 面 的 显 微 组 织 由 图 2 可 看 出, 渗 Mo 改 性 层 在 800~950 时, 厚 度 随 温 度 升 高 而 增 加,950 时 最 厚, 为 2.6 μm, 000 时 厚 度 反 而 降 低, 为 0.2 μm 图 3 所 示 为 不 同 改 性 层 截 面 的 显 微 组 织 由 图 3 可 看 出,850 下 3 种 工 艺 均 能 得 到 均 匀 致 密 的 改 性 层, 厚 度 在 6~0 μm 2.2 改 性 层 的 成 分 分 析 图 4 所 示 为 不 同 工 艺 处 理 后 的 渗 层 中 成 分 分 布 从 图 4(a) 可 以 看 出, 与 金 相 照 片 结 果 一 致, 在 800~950, 随 着 温 度 的 升 高, 渗 Mo 沉 积 层 和 扩 散 层 厚 度 都
第 20 卷 第 6 期 李 哲, 等 :Ti-6Al-4V 表 面 等 离 子 合 金 层 中 渗 Mo 的 扩 散 系 数 39 增 加 ; 在 000 时, 沉 积 层 和 扩 散 层 反 而 变 薄, 这 与 相 对 较 高 的 电 压 导 致 试 样 表 面 的 反 溅 射 有 关 850 时 3 种 改 性 层 的 成 分 分 布 分 别 如 图 4(b) (c) (d) 所 示 从 图 4(b) 可 看 出,Ti-6Al-4V 经 过 离 子 渗 Mo 表 层 形 成 了 μm 左 右 的 富 Mo 沉 积 层, 之 后 Mo 浓 度 呈 梯 度 降 低, 改 性 层 由 纯 Mo 沉 积 层 和 扩 散 层 图 2 不 同 温 度 渗 Mo 改 性 层 的 截 面 显 微 组 织 Fig.2 Microstructures of cross-sections of modified layers with Mo: (a) 800 ; (b) 850 ; (c) 900 ; (d) 950 ; (e) 000 图 3 不 同 改 性 层 截 面 的 显 微 组 织 Fig.3 Microstructures of cross-sections of different modified layers: (a) Mo alloying; (b) W-Mo alloying; (c) W-Mo-N alloying
40 中 国 有 色 金 属 学 报 200 年 6 月 图 4 不 同 工 艺 处 理 后 渗 层 中 成 分 分 布 Fig.4 Composition distribution of modified layers after different treatments: (a) Mo alloying at 800 000 ; (b) Mo alloying at 850 ; (c) W-Mo alloying at 850 ; (d) W-Mo-N alloying at 850 组 成 从 图 4(c) 可 看 出, 经 W-Mo 共 渗 后, 改 性 层 由 (W+Mo) 沉 积 层 和 扩 散 层 组 成, 沉 积 层 约 0.5 μm 从 图 4(d) 可 看 出, 经 W-Mo-N 共 渗 后, 改 性 层 由 (W+Mo+N) 扩 散 层 组 成, 且 3 种 元 素 含 量 随 距 表 面 距 离 的 变 化 趋 势 一 致, 在 距 表 面 3. μm 内,3 种 元 素 的 含 量 几 乎 没 有 变 化, 说 明 3 种 元 素 在 表 层 是 以 化 合 物 形 式 存 在 ; 之 后 为 3 种 元 素 扩 散 层, 元 素 含 量 呈 梯 度 降 低, 这 种 分 布 有 利 于 在 合 金 层 与 基 体 的 界 面 处 形 成 良 好 的 成 分 与 硬 度 过 渡, 从 而 提 高 合 金 层 与 基 体 间 的 结 合 力 在 相 同 温 度 下,W-Mo 共 渗 改 性 层 中 沉 积 层 比 单 纯 渗 Mo 更 厚, 这 是 由 于 加 入 W 元 素 后 两 种 元 素 溅 射 率 相 互 影 响 的 结 果 3 种 改 性 层 中 W-Mo-N 共 渗 的 扩 散 层 最 薄, 由 于 加 入 N 元 素 表 面 形 成 的 化 合 物 层 阻 碍 了 Mo 元 素 的 向 内 扩 散 2.3 扩 散 系 数 的 计 算 为 了 比 较 几 种 工 艺, 仅 对 合 金 层 中 Mo 扩 散 层 部 分 的 扩 散 系 数 进 行 计 算, 即 对 Mo 成 分 分 布 曲 线 中 的 单 调 降 低 部 分 的 扩 散 系 数 进 行 计 算 计 算 过 程 为 对 扩 散 层 Mo 成 分 的 分 布 曲 线 分 段 平 滑 使 其 单 调, 浓 度 归 一 化, 然 后 对 归 一 化 的 浓 度 曲 线 交 换 坐 标 进 行 微 分 和 dx dx 定 积 分 计 算 求 出 和 dy xd y, 根 据 D = t xdy 求 2 dy 得 扩 散 系 数 图 5(a) 显 示 Ti-6Al-4V 在 800~950 范 围 内 单 纯 渗 Mo 后,Mo 平 均 扩 散 系 数 随 温 度 升 高 而 升 高, 000 时 出 现 反 常, 这 与 试 样 表 面 反 溅 射 造 成 渗 层 中 Mo 浓 度 的 降 低 有 关 根 据 扩 散 理 论, 很 容 易 理 解 温 度 的 升 高 可 以 加 速 Mo 的 扩 散 但 图 5(b) 显 示 在 相 同 Mo 浓 度 下,Mo 的 扩 散 系 数 在 000 时 也 出 现 反 常, 这 说 明 000 时 沉 积 层 和 扩 散 层 厚 度 及 平 均 扩 散 系 数 相 对 950 时 没 有 升 高 反 而 降 低, 不 仅 与 表 面 反 溅 射 有 关, 还 可 能 因 为 Ti-6Al-4V 在 980~ 00 时 发 生 (α+β) β 相 变 对 Mo 原 子 的 扩 散 有 不 利 影 响 图 6 所 示 为 以 扩 散 深 度 和 Mo 质 量 分 数 即 浓 度 为
第 20 卷 第 6 期 李 哲, 等 :Ti-6Al-4V 表 面 等 离 子 合 金 层 中 渗 Mo 的 扩 散 系 数 4 图 5 不 同 温 度 渗 Mo 改 性 层 中 Mo 原 子 扩 散 系 数 Fig.5 Diffusion coefficients of Mo in modified layers after different treatments 横 坐 标,850 时 Mo 原 子 在 3 种 工 艺 中 的 扩 散 系 数 的 变 化 表 2 所 列 为 Mo 在 3 种 工 艺 中 的 平 均 扩 散 系 数,Mo 在 单 纯 渗 Mo 时 的 平 均 扩 散 系 数 最 大, 为 2.37688 0 4 µm 2 /s;w-mo 共 渗 中 的 平 均 扩 散 系 数 有 所 降 低, 但 仍 约 为 0 4 µm 2 /s 数 量 级 ; 而 W-Mo-N 共 渗 过 程 中 的 平 均 扩 散 系 数 降 到 了 约 0 5 µm 2 /s 数 量 级 W 和 Mo 在 Ti-6Al-4V 中 的 扩 散 为 置 换 扩 散,N [4] [5] 为 间 隙 扩 散 张 艳 梅 等 和 李 忠 厚 等 提 出 置 换 扩 散 的 空 位 扩 散 机 制 :` 渗 入 元 素 的 原 子 与 空 位 之 间 的 结 合 能 越 大, 空 位 周 围 该 元 素 的 原 子 数 越 多, 则 该 元 素 的 原 子 对 空 位 的 占 有 几 率 越 大, 扩 散 速 率 也 越 快 从 图 6 中 可 看 出, 当 源 极 成 分 为 纯 Mo 时,Mo 原 子 对 空 位 的 占 有 率 最 高,Mo 原 子 通 过 空 位 扩 散 的 几 率 最 大, 扩 散 速 率 最 快 ; 当 源 极 成 分 由 纯 Mo 变 为 W-Mo 靶 时, W 原 子 和 Mo 原 子 都 要 通 过 空 位 进 行 扩 散, 必 然 降 低 它 们 对 空 位 的 占 有 率, 降 低 其 扩 散 速 率 三 元 共 渗 时, 加 入 的 N 元 素 由 于 扩 散 机 制 不 同, 在 空 位 周 围 W 和 Mo 原 子 数 不 变 条 件 下, 几 乎 不 会 影 响 W 和 Mo 原 子 对 空 位 的 占 有 率, 从 图 6(b) 也 可 看 出, 相 同 Mo 浓 度 下,Mo 原 子 在 W-Mo 和 W-Mo-N 共 渗 中 的 扩 散 系 数 相 差 不 大 图 6(a) 显 示 在 整 个 扩 散 过 程 中,Mo 在 W-Mo-N 共 渗 中 的 扩 散 系 数 最 小, 是 因 为 最 表 层 形 成 的 化 合 物 层 相 当 于 阻 挡 墙, 对 Mo 元 素 的 扩 散 具 有 一 定 的 阻 挡 作 用 表 2 850 时 Mo 的 平 均 扩 散 系 数 Table 2 Mean diffusion coefficients of Mo at 850 Process D Mo /(0 4 µm 2 s ) Mo alloying 2.376 88 W-Mo alloying.47 27 W-Mo-N alloying 0.702 68 3 结 论 图 6 850 时 改 性 层 中 Mo 原 子 扩 散 系 数 Fig.6 Diffusion coefficients of Mo in modified layers after different treatments at 850 ) 800~950 渗 Mo 时, 改 性 层 厚 度 平 均 扩 散 系 数 及 相 同 Mo 浓 度 下 的 Mo 扩 散 系 数 都 随 温 度 的 升 高 而 升 高, 而 000 时 出 现 反 常, 由 于 受 试 样 表 面 反 溅 射 和 Ti-6Al-4V 基 体 相 变 等 综 合 因 素 的 影 响 所 致 2) 钛 合 金 Ti-6Al-4V 在 850 下 经 过 离 子 渗 Mo W-Mo 共 渗 或 者 W-Mo-N 共 渗 都 能 形 成 一 层 较 厚 均 匀 的 改 性 层 渗 Mo 沉 积 层 约 μm,w-mo 共 渗 沉 积 层 稍 厚, 约.2 μm;w-mo-n 共 渗 表 层 则 形 成 将 近 2 μm 厚 的 化 合 物 层, 并 且 各 个 扩 散 层 合 金 成 分 均 呈 梯 度 分 布
42 中 国 有 色 金 属 学 报 200 年 6 月 3) 850 时, 单 纯 渗 Mo 过 程 中 Mo 的 扩 散 系 数 最 大, 平 均 扩 散 系 数 为 2.376 88 0 4 μm 2 /s ; W-Mo-N 共 渗 时 最 小, 平 均 扩 散 系 数 为 7.026 8 0 5 μm 2 /s 在 相 同 Mo 浓 度 下,W 的 加 入 明 显 降 低 Mo 扩 散 系 数,N 的 加 入 则 对 其 影 响 不 大 REFERENCES [] BROWN I G, ANDERS A, DICKINSON M R, MACGILL R A, MONTEIRO O R. Recent advances in surface processing with metal plasma and ion beams[j]. Surface and Coatings Technology, 999, 2: 27 277. [2] PETROV P. Electron beam surface remelting and alloying of aluminium alloys[j]. Vacuum, 997, 48(): 49 50. [3] 卢 云, 何 宜 柱. 铁 基 材 料 激 光 表 面 合 金 化 研 究 进 展 [J]. 安 徽 工 业 大 学 学 报, 2002, 9(3): 8 85. LU Yun, HE Yi-zhu. Research development of laser surface alloying on ferrous substrate[j]. Journal of Anhui University of Technology, 2002, 9(3): 8 85. [4] 王 华 明, 于 利 根, 刘 秀 波. TiAl 合 金 激 光 表 面 合 金 化 涂 层 的 组 织 与 耐 磨 性 [J]. 中 国 有 色 金 属 学 报, 2000, 0(6): 785 789. WANG Hua-ming, YU Li-gen, LIU Xiu-bo. Microstructures and wear resistance of laser surface alloyed composite coatings on TiAl alloy[j]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2000, 0(6): 785 789. [5] 李 秀 燕, 唐 宾, 潘 俊 德, 刘 道 新, 徐 重. 无 氢 离 子 渗 氮 摩 擦 学 性 能 的 研 究 [J]. 稀 有 金 属 材 料 与 工 程, 2003, 32(7): 506 509. LI Xiu-yan, TANG Bin, PAN Jun-de, LIU Dao-xin, XU Zhong. Ion-nitrided without hydrogen and its wearing performance[j]. Rare Metal Materials And Engineering, 2003, 32(7): 506 509. [6] LIU Xiao-ping, XU Zhong, WU Wei, LIANG Wen-ping. Plasma surface alloying with molybdenum and carburization of TiAl based alloys[j]. Trans Nonferrous Met Soc China, 2005, 5(3): 420 424. [7] 徐 重. 等 离 子 表 面 冶 金 技 术 的 现 状 与 发 展 [J]. 中 国 工 程 科 学, 2002, 4(2): 37 4. XU Zhong. Development of plasma surface metallurgy technology[j]. Engineering Science, 2002, 4(2): 37 4. [8] 吴 红 艳, 张 平 则, 李 建 亮, 马 士 剑, 徐 重. Ti2AlNb 基 合 金 表 面 渗 铬 层 结 构 及 其 摩 擦 学 性 能 [J]. 中 国 有 色 金 属 学 报, 2007, 7(0): 656 660. WU Hong-yan, ZHANG Ping-ze, LI Jian-liang, MA Shi-jian, XU Zhong. Microstructure and tribological properties of surface plasma chromising layer of Ti2AlNb-based alloy[j]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2007, 7(0): 656 660. [9] 徐 重, 张 艳 梅, 张 平 则, 贺 志 勇, 高 原. 双 层 辉 光 等 离 子 表 面 冶 金 技 术 [J]. 热 处 理, 2009, 24():. XU Zhong, ZHANG Yan-mei, ZHANG Ping-ze, HE Zhi-yong, GAO Yuan. Double glow plasma surface metallurgy technology[j]. Transactions of Materials and Heat Treatment, 2009, 24():. [0] 秦 林, 唐 宾, 赵 晋 香, 徐 重. 钛 合 金 Ti6Al4V 表 面 渗 钼 层 的 摩 擦 磨 损 性 能 [J]. 中 国 有 色 金 属 学 报, 2003, 3(3): 570 573. QIN Lin, TANG Bin, ZHAO Jin-xiang, XU Zhong. Friction and wear behavior of Ti-Mo diffusion layer on Ti6Al4V alloy substrate in sliding against GCr5[J]. The Chinese Journal of Nonferrous Metals, 2003, 3(3): 570 573. [] TANG Bin, WU Pei-qiang, LI Xiu-yan, FAN Ai-lan, XU Zhong, CELIS J P. Tribological behavior of plasma Mo-N surface modified Ti6Al4V alloy[j]. Surface and Coatings Technology, 2004, 79: 333 339. [2] 秦 林, 唐 宾, 刘 道 新, 徐 重. 钛 合 金 Ti6Al4V 表 面 Mo-N 改 性 层 的 摩 擦 性 能 研 究 [J]. 稀 有 金 属 材 料 与 工 程, 2005, 34(9): 465 468. QIN Lin, TANG Bin, LIU Dao-xin, XU Zhong. Friction and wear behavior of Mo-N diffusion layer on Ti6Al4V alloy surface[j]. Rare Metal Materials And Engineering, 2005, 34(9): 465 468. [3] 黄 俊, 周 舸, 张 平 则. Ti-6Al-4V 钛 合 金 的 等 离 子 W-Mo 共 渗 [J]. 热 处 理, 2007, 22(5): 40 42. HUANG Jun, ZHOU Ke, ZHANG Ping-ze. Plasma tungsten-molybdenizing of Ti-6Al-4V titanium alloy[j]. Heat Treatment, 2007, 22(5): 40 42. [4] 张 艳 梅, 徐 重, 李 忠 厚, 张 平 则, 张 高 会. 工 业 纯 铁 表 面 离 子 W Mo Co 多 元 共 渗 扩 散 行 为 [J]. 材 料 热 处 理 学 报, 2006, 27(): 2 5. ZHANG Yan-mei, XU Zhong, LI Zhong-hou, ZHANG Ping-ze, ZHANG Gao-hui. Diffusion behaviors of W, Mo, Co in pure iron[j]. Transactions of Materials and Heat Treatment, 2006, 27(): 2 5. [5] 李 忠 厚, 刘 小 平, 徐 重. 在 双 层 辉 光 离 子 渗 金 属 中 空 位 浓 度 梯 度 对 扩 散 的 影 响 [J]. 应 用 科 学 学 报, 2000, 8(2): 83 85. LI Zhong-hou, LIU Xiao-ping, XU Zhong. Effect of concentration gradient of vacancies on diffusion in double glow plasma surface alloying[j]. Journal of Applied Sciences, 2000, 8(2): 83 85. ( 编 辑 李 艳 红 )