Microsoft Word - IPFA2009招生简章0330.doc

Transcription

1 IPFA 2009 IEEE 国 际 半 导 体 失 效 分 析 与 可 靠 性 培 训 邀 请 函 I PFA 2009 年 7 月 号 独 墅 湖 高 教 区 苏 州, 中 国 在 科 技 日 益 更 新 的 当 今 社 会, 产 品 的 失 效 分 析 和 可 靠 性 日 渐 被 关 注, 产 品 出 现 可 靠 性 与 质 量 问 题 后 要 进 行 专 业 的 失 效 分 析 才 能 帮 助 产 品 有 更 好 的 品 质 提 升, 因 此 涌 现 出 对 失 效 分 析 与 可 靠 性 高 水 平 技 术 人 才 的 大 量 需 求 IPFA 是 半 导 体 领 域 失 效 分 析 与 可 靠 性 的 国 际 顶 级 会 议 为 培 养 失 效 分 析 与 可 靠 性 技 术 人 才, 满 足 国 内 外 半 导 体 方 面 专 业 人 员 技 术 提 高 的 愿 望, 建 立 国 际 相 关 行 业 信 息 与 技 术 交 流 平 台, 解 决 相 关 企 业 遇 到 失 效 分 析 与 可 靠 性 问 题 时 的 疑 点 和 盲 区 打 破 理 论 与 实 际 脱 钩 的 窘 境 达 到 失 效 现 象 与 失 效 原 因 直 接 挂 钩 提 高 产 品 可 靠 性 的 效 果, 我 们 特 决 定 在 苏 州 举 办 此 次 面 向 国 际 的 IEEE 国 际 半 导 体 失 效 分 析 与 可 靠 性 培 训 本 次 培 训 特 别 邀 请 15 位 来 自 中 美 欧 洲 新 加 坡 日 本 及 亚 太 其 他 各 国 及 地 区 专 家 作 培 训 讲 座 与 技 术 交 流, 具 体 事 宜 通 知 如 下 : 时 间 :2009 年 7 月 6 日 -10 日 苏 州 独 墅 湖 高 教 区 参 加 对 象 : 失 效 分 析 工 程 师 可 靠 性 工 程 师 研 发 与 工 程 技 术 人 员 质 量 工 程 师 工 艺 工 程 师 制 造 工 程 师 设 计 工 程 师 供 应 商 管 理 工 程 师 研 发 / 工 程 / 采 购 / 质 量 经 理 研 究 员 相 关 专 业 教 授 博 士 生 研 究 生 等 承 办 执 行 单 位 : 华 碧 检 测 (FA LAB) 承 办 执 行 协 助 单 位 : 北 京 怀 远 培 训 证 书 :IEEE IPFA2009 技 术 委 员 会 培 训 证 书 / 中 国 电 子 电 器 可 靠 性 工 程 协 会 培 训 证 书 注 :IPFA2009 介 绍 第 16 届 IEEE 国 际 集 成 电 路 物 理 与 失 效 分 析 会 议 (IPFA2009) 由 IEEE 南 京 分 会 主 办,IEEE Reliability/CPMT/ED 新 加 坡 分 会 协 办 由 IEEE 电 子 器 件 协 会 与 IEEE 可 靠 性 协 会 提 供 技 术 支 持 IPFA2009 是 在 中 国 举 办 的 有 关 集 成 电 路 与 器 件 方 面 规 模 最 大 影 响 最 大 的 国 际 会 议 会 议 将 为 期 五 天, 包 括 两 天 的 技 术 培 训 讲 座 三 天 的 论 文 发 表 与 研 讨 技 术 交 流, 同 时 并 行 三 天 的 设 备 展 览 1

2 培 训 讲 座 议 程 (2009 年 7 月 6-7 日 )( 拟 ) 2009 年 7 月 6 日 -- 两 个 课 程 同 时 进 行 2009 年 7 月 7 日 -- 两 个 课 程 同 时 进 行 早 上 8:30-12:00 下 午 13:30-17:00 课 题 1: 光 发 射 与 光 学 显 微 技 术 在 集 成 电 路 失 效 分 析 中 的 应 用 Jacob C.H.Phang 教 授, 新 加 坡 国 立 大 学 课 题 2: BiCMOS / CMOS 静 电 放 电 ( ESD ) 保 护 工 艺 : 概 况, 测 试 和 设 计 J.J. Liou 教 授, 中 佛 罗 里 达 大 学, 美 国 课 题 3: 失 效 分 析 概 述 及 其 挑 战 Susan Li 博 士, 飞 索 半 导 体, 美 国 课 题 4: 材 料 科 学 在 电 子 封 装 失 效 分 析 中 的 应 用 Tim Fai Lam 博 士, 飞 索 半 导 体, 中 国 课 题 5: PV 组 件 和 系 统 失 效 机 理 的 有 关 问 题 Liang Ji, UL, 美 国 课 题 6: 先 进 非 挥 发 性 存 储 器 技 术 及 其 可 靠 性 Guoqiao Tao 博 士,NXP, 荷 兰 课 题 7: 对 非 晶 硅 薄 膜 太 阳 能 电 池 的 研 究 Sheng Tao 博 士,AMAT, 中 国 课 题 8: 栅 介 质 可 靠 性 : 物 理 击 穿 及 统 计 分 析 Ernest Wu 博 士,IBM, 美 国 研 讨 会 培 训 议 程 (2009 年 7 月 8-10 日 )( 拟 ) 2009 年 7 月 8 号 2009 年 7 月 9 号 2009 年 7 月 10 号 早 晨 8: :15 会 议 1: 开 幕 典 礼 早 晨 8: :15 会 议 5: 光 伏 光 电 技 术 可 靠 性 和 失 效 机 理 早 晨 8: :15 会 议 9: 新 型 栅 堆 叠 / 栅 介 质,FEOL 可 靠 性 及 其 失 效 机 理 茶 歇 10:15 茶 歇 10:15 茶 歇 10:15 上 午 10: :20 会 议 2: 先 进 物 理 分 析 技 术 与 失 效 分 析 技 术 1 上 午 10: :20 会 议 6: 芯 片 级 封 装 级 板 级 系 统 级 的 工 艺 与 技 术 失 效 分 析 案 例 研 究 以 及 失 效 机 理 研 究 2 上 午 10: :20 会 议 10: 新 兴 材 料 特 性 样 品 制 备 与 检 测 分 析 技 术 午 餐 12:20 午 餐 12:20 下 午 1:40---3:10 会 议 3: 芯 片 级 封 装 级 板 级 系 统 级 的 工 艺 与 技 术 失 效 分 析 案 例 研 究 以 及 失 效 机 理 研 究 1 中 午 12:35--- 下 午 3:10 会 议 7: 午 餐 / 论 文 海 报 / 失 效 分 析 照 片 欣 赏 下 午 1:40---3:10 会 议 11: 先 进 的 可 靠 性 评 估 和 方 法 茶 歇 3:10 茶 歇 3:10 茶 歇 3:10 下 午 3:30---5:00 会 议 4: 先 进 互 连 技 术 和 BEOL 可 靠 性 及 其 失 效 机 理 下 午 3:30---5:00 会 议 8: 先 进 物 理 分 析 技 术 与 失 效 分 析 技 术 2 下 午 3:30---5:00 会 议 12: 新 颖 器 件 技 术 与 可 靠 性 及 失 效 机 理 闭 幕 典 礼 2

3 课 程 提 纲 ( 拟 ) 培 训 讲 座 课 题 提 纲 课 题 1: 光 发 射 与 光 学 显 微 技 术 在 集 成 电 路 失 效 分 析 中 的 应 用 Jacob C.H. Phang 教 授, 新 加 坡 国 立 大 学 摘 要 : 失 效 定 位 主 要 有 两 种 类 型, 即 被 动 和 主 动 技 术 一 个 常 见 的 被 动 技 术 是 光 发 射 显 微 镜, 它 是 由 光 子 接 收 器 和 显 微 镜 结 合 在 一 起 侦 测 光 子 的 设 备 这 项 技 术 通 常 应 用 于 确 定 失 效 位 置 的 发 射 光 子 另 一 种 常 见 的 主 动 技 术 是 用 扫 描 激 光 束 来 激 发 失 效 位 置 电 子 迁 移 产 生 或 热 量 异 常 在 这 个 讲 座 里, 光 发 射 显 微 镜 和 扫 描 光 学 显 微 镜 技 术 结 合 在 一 起 针 对 正 面 和 背 面 失 效 定 位 的 应 用 并 且 讲 解 不 同 类 型 的 案 例 分 析 课 题 2:BiCMOS / CMOS 工 艺 中 的 ESD 保 护 : 概 况, 测 试 和 设 计 J.J. Liou 教 授, 中 佛 罗 里 达 大 学, 美 国 摘 要 : 静 电 放 电 是 电 荷 从 一 个 对 象 转 移 到 另 一 个 对 象 的 过 程, 这 个 过 程 可 能 会 导 致 非 常 高 的 电 流 在 一 个 很 短 的 时 间 内 通 过 芯 片, 而 且 35 % 以 上 的 芯 片 损 害 可 以 归 结 于 这 样 的 原 因 因 此, 设 计 强 有 力 的 ESD 结 构 去 保 护 微 芯 片 是 半 导 体 行 业 中 的 一 个 优 先 级 非 常 高 的 事 项 事 实 上, 全 球 的 很 多 半 导 体 公 司 在 面 临 日 益 严 格 的 ESD 保 护 要 求 都 有 很 大 的 困 难 这 个 课 程 覆 盖 了 ESD 中 的 大 量 问 题, 包 括 :ESD 概 况 测 试 和 BiCMOS / CMOS 工 艺 中 的 ESD 设 计 h) 离 子 蚀 刻 剥 层 分 析 Deprocessing i) 金 相 切 片 Cross-section j)fib 分 析 k) 失 效 背 景 调 查 l) 电 镜 与 能 谱 SEM/EDS 课 题 4: 材 料 科 学 在 封 装 失 效 分 析 中 的 应 用 Tim Fai Lam 博 士, 飞 索 半 导 体, 中 国 1. 集 成 电 路 里 的 材 料 科 学 基 础 知 识 a) 金 属 相 位 与 相 图 b) 形 变 与 机 械 性 能 c) 失 效 分 析 有 用 的 设 备 d) 集 成 电 路 封 装 结 构 的 常 用 材 料 2. 失 效 分 析 在 集 成 电 路 封 装 里 的 应 用 案 例 a) 封 装 结 构 的 常 见 失 效 现 象 b) 硅 晶 元 的 基 础 知 识 c) 封 装 材 料 特 性 与 失 效 案 例 3. 可 焊 性 与 失 效 分 析 a) 可 焊 性 的 基 础 知 识 研 究 b) 镀 层 结 构 效 应 c) 金 属 间 化 合 物 的 生 长 与 可 焊 性 案 例 4. 引 脚 镀 层 失 效 分 析 a) 非 对 称 性 引 起 的 引 脚 侧 移 失 效 案 例 5. 锡 须 案 例 分 析 6. 枝 晶 案 例 分 析 a) 铅 枝 晶 案 例 分 析 b) 金 枝 晶 案 例 分 析 c) 铜 枝 晶 案 例 分 析 7. 焊 锡 连 接 性 失 效 分 析 8. 有 限 元 FEA 分 析 在 失 效 分 析 中 的 应 用 案 例 9. 翘 曲 / 分 层 / 潮 气 吸 收 等 失 效 案 例 分 析 提 纲 : 1.ESD 概 况 : 电 荷 产 生 破 坏 机 理 ESD 标 准 ESD 保 护 方 案 2.ESD 测 试 测 量 : 测 试 要 求 传 输 线 脉 冲 (TLP) 技 术 3. 硅 控 制 整 流 器 基 础 上 的 ESD 保 护 设 计 4. 二 极 管 基 础 上 的 ESD 保 护 设 计 课 题 3: 失 效 分 析 的 概 述 及 其 挑 战 Susan Li 博 士, 飞 索 半 导 体, 美 国 1. 失 效 分 析 概 述 a) 失 效 分 析 人 员 应 具 备 的 基 本 素 质 b) 失 效 分 析 流 程 中 的 关 键 步 骤 c) 失 效 分 析 的 价 值 d) 失 效 分 析 发 展 方 向 2.IC 元 器 件 失 效 分 析 案 例 讲 解 a) IC 直 流 参 数 性 失 效 中 电 路 分 析 的 难 处 典 型 案 例 b) 从 工 艺 过 程 与 模 拟 试 验 挖 掘 失 效 原 因 的 典 型 案 例 c) 闪 存 IC 功 能 性 失 效 的 失 效 分 析 的 典 型 案 例 PVC 技 术 对 芯 片 物 理 失 效 分 析 的 典 型 案 例 d)esd 静 电 放 电 失 效 与 EOS 过 电 失 效 的 现 象 区 别 3. 失 效 分 析 检 测 设 备 与 技 术 手 段 概 论 a) 外 观 光 学 显 微 分 析 b) 电 学 失 效 验 证 c)x-ray 透 视 检 查 d)sam 声 学 扫 描 观 察 e) 开 封 Decap f) 内 部 光 学 检 查 g)emmi 光 电 子 辐 射 显 微 观 察 课 题 5: 光 伏 产 品 的 可 靠 性 与 失 效 机 理 Liang Ji, UL, 美 国 摘 要 : 本 讲 座 中, 将 会 讲 到 有 关 PV 组 件 和 系 统 失 效 机 理 的 问 题, 如 层 压, 焊 接, 电 气 连 接, 接 地, 电 弧 等 课 题 6: 先 进 非 挥 发 性 存 储 器 技 术 及 其 可 靠 性 Guoqiao Tao 博 士,NXP, 荷 兰 摘 要 : 近 年 来, 由 于 数 码 相 机, 数 码 摄 像 机, 移 动 存 储 器 和 移 动 娱 乐 设 备 等 方 面 的 应 用, 闪 存 市 场 ( 主 要 是 由 NAND 闪 存 占 据 ) 已 成 为 一 个 最 大 的 半 导 体 市 场 与 此 同 时, 在 具 有 非 挥 发 性 存 储 器 的 SOC 器 件 领 域, 有 显 著 增 长 : 如 : 闪 存 微 控 制 器, 闪 存 的 FPGA, 智 能 卡, RFID 的 标 签, 等 对 与 先 进 的 非 易 失 性 存 储 器 密 切 相 关 的 技 术 和 可 靠 性 方 面 正 确 的 理 解 非 常 重 要 本 讲 座 的 课 题 是 存 储 器 可 靠 性, 专 为 工 艺 技 术 开 发, 可 靠 性 评 估, 应 用 / 系 统 开 发, 和 故 障 分 析 领 域 的 学 生 和 工 程 师 设 计 本 讲 座 将 主 要 讲 述 在 浮 栅 存 储 器, 及 其 产 品 结 构, 技 术 和 可 靠 性 方 面 的 问 题, 最 后 会 对 非 浮 栅 NVMs 作 简 要 概 述 以 下 是 本 讲 座 的 分 专 题 : a) 多 种 应 用 领 域 的 典 型 要 求 b) 编 译 浮 栅 内 存 的 方 法 c) 浮 栅 存 储 器 件 的 基 本 原 理 d) 擦 除 浮 栅 内 存 的 方 法 e) 浮 栅 单 元 主 要 类 型 : 堆 叠 单 元, 重 叠 单 元, 分 裂 栅 单 元 和 单 多 晶 硅 单 元 f) 评 估 数 据 存 储 能 力 g) 评 估 写 / 擦 除 循 环 的 能 力 h)ltdr: 低 温 数 据 存 储 i) 写 / 擦 除 和 读 的 障 碍 3

4 课 程 提 纲 ( 拟 ) j) 多 级 单 元 和 单 级 单 元 K) 纠 正 代 码 的 应 用 l) 讨 论 问 题 : 什 么 决 定 编 译 的 速 度 及 其 可 靠 性 的 影 响 m) 先 进 技 术 的 特 殊 问 题 : 寄 生 连 接 器 n) 内 置 NVM 的 特 殊 问 题 : 逻 辑 器 件 的 相 互 影 响 o) 制 造 方 面 : 缺 点 的 密 度, 良 率 和 重 复 性 p) 讨 论 问 题 : 新 技 术 / 新 产 品 的 限 制 q)nvm 可 靠 模 型 课 题 7: 对 非 晶 硅 薄 膜 太 阳 能 电 池 的 研 究 Sheng Tao 博 士,AMAT, 中 国 摘 要 : 薄 膜 太 阳 能 电 池 作 为 第 二 代 太 阳 能 电 池 全 球 备 受 关 注 非 晶 硅 (a-si:h) 是 最 先 进 的 薄 膜 技 术 当 太 阳 照 射 时 这 种 电 池 的 导 电 性 能 将 显 著 衰 退 在 这 次 的 讲 座 中, 将 首 先 介 绍 薄 膜 生 长 机 理 和 相 关 工 艺 然 后 是 退 化 机 理, 叫 做 Staebler-Wronski 效 应 最 后, 将 介 绍 非 晶 硅 薄 膜 太 阳 能 电 池 的 标 准 生 产 工 艺, 包 括 电 池 模 组 制 造 和 相 关 的 可 靠 性 问 题 都 会 讲 到 课 题 8: 栅 介 质 可 靠 性 : 物 理 击 穿 和 统 计 分 析 Ernest Wu 博 士, IBM, 美 国 摘 要 : 随 着 在 一 亿 个 晶 体 管, 甚 至 是 一 个 单 芯 片 上 增 加 适 用 电 压 和 高 集 成 度 的 要 求 越 来 越 高, 介 质 的 可 靠 性, 如 栅 氧 化 层 可 靠 性 已 经 进 入 了 一 个 新 时 代 由 于 氧 化 层 厚 度 已 达 到 其 最 小 厚 度 约 1.0 纳 米, 只 有 几 个 原 子 在 这 些 特 殊 条 件 下 要 保 持 同 样 的 可 靠 性 规 范, 需 要 对 栅 氧 化 层 失 效 机 理 的 创 新 评 价 和 投 影 方 法 有 基 本 的 了 解 在 这 节 课 程 中, 我 们 将 对 介 电 击 穿 加 速 电 压 统 计 分 析, 如 电 源 电 压 加 速 模 型 法 做 概 述 特 别 是, 实 验 证 据 和 理 论 模 型 将 结 合 在 一 起 讲 解 以 促 进 整 体 的 了 解 我 们 将 审 核 一 项 新 的, 且 很 有 前 景 的 物 理 基 础 的 渗 流 模 型, 在 最 近 的 报 道 中, 它 能 够 解 释 第 一 击 穿 和 后 击 穿 统 计 行 为 要 充 分 考 虑 产 品 水 平 的 电 路 可 靠 性, 新 的 后 击 穿 模 型, 如 故 障 模 式 逐 步 瓦 解, 必 须 考 虑 和 认 真 实 施 一 套 全 面 的 方 法, 同 时 提 供 更 多 的 可 靠 性 利 润 率 我 们 还 将 审 查 的 最 新 进 展 的 了 解, 统 计 分 布 和 逐 步 击 穿 模 式 的 电 压 加 速 但 是, 对 击 穿 机 理 了 解 和 统 计 分 析 始 终 是 重 要 的, 本 讲 座 也 将 重 点 介 绍 可 靠 性 工 程 师 日 常 工 作 中 多 方 面 的 实 际 限 制 最 后, 本 讲 座 将 举 出 第 一 次 击 穿 和 逐 步 击 穿 预 测 方 法 几 个 例 子 试 图 消 除 一 些 混 淆 可 靠 性 预 测 研 讨 会 特 邀 论 文 提 纲 特 邀 论 文 1: 建 立 可 行 的 TDDB 可 靠 性 方 法 : 从 物 理 击 穿 到 电 路 失 效 Ernest Wu 博 士, IBM, 美 国 摘 要 : 栅 级 电 解 质 可 靠 性 评 估 需 要 透 彻 了 解 复 杂 的 故 障 统 计, 最 好 还 应 该 基 于 一 个 详 细 的 了 解 电 介 质 降 低 的 机 理 在 此 邀 请 报 告 中, 我 们 会 讨 论 到 电 介 质 可 靠 性 评 估 方 法 的 基 本 原 理 并 重 点 讲 到 超 薄 氧 化 层 的 问 题 本 报 告 分 为 两 部 分 首 先, 我 们 将 谈 到 基 本 的 物 理 和 电 介 质 击 穿 的 统 计 第 二, 我 们 会 谈 到 当 发 生 氧 化 物 失 效 时, 并 不 会 立 即 导 致 器 件 / 电 路 失 效 就 击 穿 而 言, 我 们 会 集 中 讨 论 击 穿 的 统 计, 包 括 其 尺 寸 缩 小 与 参 数 变 差 的 关 系 和 氧 化 层 厚 度 在 氧 化 层 击 穿 中 所 担 任 的 角 色 我 们 还 将 讨 论 电 压 的 加 速, 及 相 关 的 物 理 模 型 的 讲 解 特 别 是 氢 释 放 模 式, 目 前 被 广 泛 接 受 的 幂 律 电 压 加 速 模 式 提 供 了 一 种 可 行 的 理 论 基 础 由 于 氧 化 击 穿 之 后, 超 薄 氧 化 器 件 仍 旧 会 在 规 格 之 内 运 转 随 着 氧 化 层 厚 度 的 增 加, 可 靠 性 利 润 逐 渐 缩 减, 近 几 年 来, 对 击 穿 特 性 的 研 究 引 起 人 们 广 泛 兴 趣 我 们 将 用 不 同 的 方 法 进 行 后 击 穿 故 障 统 计, 重 点 是 有 关 统 计 描 述 和 逐 步 击 穿 故 障 的 实 验 包 括 多 个 击 穿 案 例 我 们 将 从 物 理 学 的 角 度 来 讨 论 产 品 的 电 路 故 障 的 评 估 方 法 特 邀 论 文 2: 提 高 65 纳 米 铜 /low-k 制 程 可 靠 性 的 系 统 研 究 Chinchang Liao 博 士, 中 芯 国 际, 中 国 台 湾 特 邀 论 文 3: 先 进 铜 制 程 的 可 靠 性 挑 战 Jeffrey Gambino 博 士, IBM, 美 国 摘 要 : 随 着 器 件 尺 寸 的 缩 小 铜 制 程 的 可 靠 性 将 面 临 越 来 越 多 的 挑 战, 因 为 尺 寸 越 小 low-k 材 料 的 机 械 应 力 越 弱 在 这 篇 报 告 中, 我 们 将 主 要 介 绍 铜 制 程 中 的 电 迁 移 和 TDDB 特 邀 论 文 4: 非 挥 发 性 存 储 器 中 的 先 进 浮 栅 技 术 及 其 可 靠 性 GuoQiao Tao 博 士, 飞 利 浦, 荷 兰 特 邀 论 文 5: 失 效 分 析 概 述 及 其 挑 战 Susan Li 博 士, 飞 索 半 导 体, 美 国 特 邀 论 文 6: 100 纳 米 以 下 器 件 的 内 置 可 靠 性 和 分 析 技 术 的 挑 战 M.K. Radhakrishnan 博 士, 印 度 摘 要 : 随 着 器 件 工 艺 正 在 从 纳 米 级 朝 向 原 子 级 的 发 展, Richard Feynman50 年 前 曾 说 过 的 经 典 之 语 底 下 的 空 间 大 的 很, 需 要 仔 细 的 研 究 和 详 细 的 了 解 与 此 同 时 一 些 器 件 研 发 人 员 和 制 造 商 的 评 论 也 认 为 地 下 的 困 难 大 的 很 为 什 么 会 这 样 的 差 别 呢? 现 在 的 困 难 是 在 建 立 器 件 可 靠 性 的 方 法 上 器 件 发 展 是 通 过 分 析 其 强 度 和 降 低 延 迟 的 过 程, 通 过 对 器 件 物 理 特 性 的 理 解 帮 助 了 上 实 际 器 件 的 进 步 目 前, 器 件 尺 寸 越 小, 新 材 料 和 界 面 特 性 的 挑 战 的 分 析 首 先, 是 失 效 定 位 的 确 定 失 效 定 位 工 具 及 其 限 制 问 题 然 后, 物 理 和 化 学 的 分 析 限 制 该 演 讲 介 绍 了 目 前 失 效 定 位 的 趋 势 和 某 些 物 理 分 析 的 挑 战 特 邀 论 文 7: 扫 描 光 学 显 微 镜 分 辨 率 和 灵 敏 度 的 提 高 在 集 成 电 路 失 效 分 析 中 的 应 用 Jacob C.H.Phang 教 授, 新 加 坡 国 立 大 学 4

5 特 邀 论 文 8: 动 态 激 光 扩 展 测 试 Phillippe Perdu 博 士, CNES, 法 国 摘 要 : 在 产 品 级, 工 艺 的 改 变 受 制 于 摩 尔 定 律 并 且 会 带 来 越 来 越 多 的 挑 战, 是 不 得 不 面 对 的 问 题 怎 样 去 分 析? 怎 样 的 工 具 可 以 满 足 要 求? 怎 样 的 技 术 可 以 完 成? 到 目 前 为 止, 为 了 提 高 空 间 分 辨 率 ( 固 体 浸 没 透 镜 ) 克 服 光 发 射 的 红 外 漂 移 ( 使 用 InGaAs 传 感 器 ) 和 设 置 背 面 电 针 ( 激 光 电 压 电 针, 时 间 分 辨 发 射 ) 已 做 了 很 多 的 改 善 为 了 得 到 高 分 辨 率 和 高 敏 感 度 仍 然 需 要 很 大 的 改 进 然 而, 如 果 我 们 考 虑 到 一 个 最 终 器 件 的 复 杂 性, 相 同 尺 寸 的 芯 片, 晶 体 管 的 数 量 每 18 个 月 翻 一 倍, 而 输 入 / 输 出 pin 脚 仅 略 有 上 升 因 此, 我 们 正 面 临 着 缺 乏 可 观 性 和 可 控 性 的 问 题 动 态 激 光 刺 激 的 奇 特 能 效 是 基 于 注 入 一 小 部 分 的 能 量 ( 光 电 热 量 ) 到 器 件 晶 体 管 的 栅 极 上 的 能 力 它 提 高 了 可 控 性 能 力, 同 时 在 激 光 刺 激 下 注 入 的 能 量 改 变 了 结 构 的 电 学 特 性 在 基 本 结 构 上, 由 此 产 生 的 电 气 参 数 变 化 可 直 接 绘 图 或 用 Shmoo plot 可 以 侦 测 边 缘 效 应 特 邀 论 文 9: 光 伏 光 电 技 术 可 靠 性 和 失 效 机 理 Liang Ji, UL, 美 国 特 邀 论 文 10: 芯 片 级 封 装 级 板 级 系 统 级 的 工 艺 与 技 术 失 效 分 析 案 例 研 究 以 及 失 效 机 理 研 究 John H. Lau 教 授, 香 港 科 技 大 学, 香 港 摘 要 :SIP 是 由 薄 薄 Die 在 3D 里 堆 积 而 成 的 在 先 进 的 SIP 里, 这 些 die 是 由 microbump 和 TSV 连 接 在 一 起 在 这 篇 论 文 里, 将 介 绍 在 不 同 温 度 条 件 microbump 和 TSV 的 失 效 分 析 的 有 限 元 方 法 的 应 用 特 邀 论 文 11: 碳 纳 米 纤 维 制 程 中 的 电 热 传 导 Cary Yang 教 授, 美 国 Santa Clara 大 学 摘 要 : 基 于 大 量 的 实 验 数 据, 开 发 了 一 个 新 模 型, 通 过 整 体 碳 纳 米 显 微 互 连 测 量 结 构 和 击 穿 位 置 的 热 传 导 得 到 的 这 种 电 热 传 导 模 型 阐 述 了 与 其 它 材 料 接 触 位 置 的 电 流 变 化 由 此 产 生 的 热 散 射 和 电 流 容 量 与 测 试 数 据 完 全 一 致 特 邀 论 文 12: 先 进 的 可 靠 性 评 估 和 方 法 Albert Chin 教 授, 国 立 交 通 大 学, 台 湾 特 邀 论 文 13: 先 进 的 可 靠 性 评 估 和 方 法 Tony Oates 博 士, TSMC, 中 国 台 湾 摘 要 : 针 对 SONOS CTF 的 浅 陷 阱 源 在 苛 刻 的 温 度 条 件 下 获 得 良 好 存 储 能 力 是 个 根 本 的 挑 战 尽 管 通 过 BE- SONOS 可 以 增 加 高 温 存 储 能 力, 这 样 会 降 低 擦 除 速 度 为 了 解 决 这 些 问 题, 我 们 创 造 了 一 个 新 的 用 深 俘 获 高 电 介 质 代 替 Si3N4 的 CTEF 在 150 度 100s 和 17v 编 程 / 擦 除 的 条 件 下,CTEF 器 件 可 以 得 到 一 个 5.6V 的 初 始 存 储 窗 和 一 个 3.8V 10 年 4 个 位 元 / 单 元 MLC 的 存 储 能 力 5

6 已 定 讲 师 背 景 简 介 Jacob C.H.Phang 教 授, 新 加 坡 国 立 大 学 Jacob C.H. Phang 教 授 分 别 于 1975 和 1979 年 获 得 剑 桥 大 学 的 学 士 和 博 士 学 位 1979 年 开 始 在 新 加 坡 国 立 大 学 任 教, 现 为 集 成 电 路 失 效 分 析 和 可 靠 性 中 心 (CICFAR) 教 授 研 究 领 域 为 集 成 电 路 失 效 分 析 和 可 靠 性. 他 还 是 新 加 坡 国 立 大 学 附 属 SEMICAPS 公 司 (1988 年 与 他 人 共 同 创 建 ) 的 执 行 主 席, 以 便 在 世 界 范 围 推 广 CICFAR 开 发 的 先 进 技 术 J.J. Liou 教 授, 中 佛 罗 里 达 大 学, 美 国 刘 俊 杰 教 授 分 别 于 1982,1983,1987 获 得 位 于 美 国 佛 罗 里 达 大 学 的 学 士, 硕 士 及 博 士 学 位 1987 年 任 教 于 美 国 中 佛 罗 里 达 大 学 电 气 与 计 算 机 工 程 系, 现 为 该 系 教 授 现 在 的 研 究 领 域 为 纳 米 电 子 电 脑 辅 助 设 计, 射 频 器 件 建 模 与 仿 真, 以 及 半 导 体 制 造 业 及 其 可 靠 性 刘 教 授 已 获 三 项 专 利, 出 版 6 本 教 科 书 ; 发 表 210 余 篇 期 刊 论 文 他 还 曾 与 美 国, 日 本, 台 湾 和 新 加 坡 等 国 家 或 地 区 的 研 究 实 验 室 和 公 司 举 办 了 咨 询 会 刘 教 授 曾 担 任 多 种 杂 志 和 出 版 物 的 技 术 评 审 ; 几 大 国 际 会 议 的 技 术 程 序 委 员 会 主 席 或 成 员 ; 微 电 子 可 靠 性 杂 志 区 域 编 辑 他 的 其 他 荣 誉 还 包 括 : 中 佛 罗 里 达 大 学 理 事 主 席 ; 华 中 科 技 大 学 顾 问 教 授 ;IEEE EDS 和 国 家 科 学 委 员 会 杰 出 讲 师 IEEE EDS 区 域 副 主 席 ;IEEE EDS 教 育 委 员 会 成 员 等 Guoqiao Tao 博 士,NXP, 荷 兰 陶 国 桥 博 士 1963 年 出 生 于 江 苏 省, 1982 年 毕 业 于 南 京 大 学 获 半 导 体 物 理 学 士 学 位 分 别 于 1990 年 和 1994 年, 获 得 荷 兰 代 尔 夫 特 技 术 大 学 的 电 气 工 程 硕 士 和 博 士 学 位 他 曾 从 事 于 半 导 体 物 理 领 域 中 以 下 不 同 的 课 题 研 究 : 分 立 器 件, 双 极 集 成 电 路, 声 表 面 波 器 件, 太 阳 能 电 池, 以 及 嵌 入 式 非 易 失 性 存 储 器 他 是 NXP 的 半 导 体 研 究 人 员 并 是 非 挥 发 性 存 储 器 技 术 及 其 可 靠 性 领 域 的 资 深 领 航 人 陶 博 士 发 明 了 2T-FNFN-NOR 器 件, 并 发 表 了 很 多 有 关 非 挥 发 性 存 储 器 设 备 及 其 可 靠 性 的 论 文 John H. Lau 教 授, 香 港 科 技 大 学, 香 港 Lau 教 授 自 2009 年 1 月 起, 就 是 香 港 科 技 大 学 的 访 问 教 授 在 此 之 前, 他 曾 担 任 2 年 微 电 子 研 究 所 ( 新 加 坡, IME)MMC 实 验 室 主 任 作 为 资 深 科 学 家 就 职 于 美 国 惠 普 和 安 捷 伦 公 司 逾 20 年 拥 有 30 多 年 的 研 发 和 制 造 经 验, 曾 撰 写 或 参 与 撰 写 300 多 篇 同 行 审 查 的 技 术 出 版 物,100 多 章 节 论 文 并 应 邀 发 表 250 多 篇 会 议 演 讲 论 文 Lau 教 授 还 曾 撰 写 和 参 与 撰 写 16 本 关 于 先 进 的 封 装, 焊 点 可 靠 性 和 无 铅 焊 接 和 制 造 的 教 科 书 他 获 得 了 美 国 Illinois 大 学 的 理 论 与 应 用 力 学 博 士 学 位 ; 北 美 结 构 工 程, 工 程 物 理 和 管 理 科 学 三 个 硕 士 学 位 Lau 教 授 是 ASME 会 员, IEEE/CPMT 杰 出 讲 师,1994 年 以 来 就 是 IEEE 会 员 Tim Fai Lam 博 士, 飞 索 半 导 体, 中 国 林 天 辉 博 士 1939 年 出 生 于 香 港 在 北 京 科 技 大 学 主 修 金 属 物 理 和 材 料 科 学, 并 获 得 工 程 学 士 和 博 士 学 位 1964 年 到 1989 年, 就 职 于 上 海 钢 铁 研 究 所 从 事 金 属 和 合 金 的 研 究 1990 年 起, 就 职 于 AMD 新 加 坡 高 级 技 术 专 家 组 成 员 凭 借 在 物 理 和 材 料 科 学 领 域 中 的 丰 富 经 验 和 广 博 学 识, 他 解 决 了 IC 封 装 技 术 的 许 多 关 键 问 题 1994 年 以 来, 他 主 要 研 究 有 限 元 分 析 (FEA), 是 一 个 广 泛 应 用 于 IC 设 计 和 制 造 领 域 的 工 具 他 建 立 了 700 多 个 有 限 元 分 析 模 型, 发 表 了 有 关 有 限 元 分 析 的 100 多 篇 正 式 报 告, 其 中 大 部 分 被 刊 登 在 在 国 际 会 议 和 出 版 物 上 他 还 曾 为 美 国, 新 加 坡, 泰 国, 菲 律 宾 和 中 国 等 地 区 的 AMD, 飞 索, 以 及 各 大 学 和 教 育 机 构 举 办 讲 座 或 开 设 讲 习 班 2002 年 底 自 新 加 坡 AMD 退 休 后, 在 中 国 苏 州 的 飞 索 担 任 技 术 顾 问 至 今 Susan Li 博 士, 飞 索 半 导 体, 美 国 Susan Li 是 美 国 宾 夕 法 尼 亚 州 匹 兹 堡 市 的 卡 内 基 梅 隆 大 学 的 材 料 科 学 与 冶 金 硕 士 和 清 华 大 学 机 电 工 程 学 士 目 前 是 总 部 位 于 加 利 福 尼 亚 州 森 尼 韦 尔 的 飞 索 半 导 体 公 司 的 全 球 失 效 分 析 实 验 室 经 理 和 资 深 技 术 人 员 她 的 主 要 职 责 就 是 监 督 飞 索 六 个 地 区 的 失 效 分 析 实 验 室 失 效 分 析 技 术 的 运 用 和 发 展 17 年 来 在 AMD 或 飞 索, 她 从 事 于 不 同 的 产 品 研 究 : 包 括 网 络, 无 线, 微 处 理 器 的 器 件, 目 前 在 研 究 闪 存 器 件 她 的 工 作 重 点 就 是 协 助 设 计 团 队, 生 产 线 和 制 造 组 以 分 析 顾 客 反 馈 和 调 试 新 产 品 及 对 现 有 产 品 进 行 失 效 分 析 以 提 高 产 品 质 量 她 已 在 国 际 会 议 上 发 表 了 19 篇 论 文, 目 前 在 美 国 获 20 项 专 利 Phillippe Perdu 博 士, CNES, 法 国 Dr Phillippe Perdu 在 CNES 是 微 电 子 方 面 的 高 级 专 家 1988 年 以 来, 就 领 导 着 CNES 超 大 规 模 集 成 电 路 失 效 分 析 实 验 室 在 此 之 前, 他 曾 针 对 电 话, 汽 车 零 部 件 和 军 事 系 统 制 造 商 开 发 出 电 子 系 统 1988 年, 获 得 国 家 艺 术 和 商 学 院 (NAAT) 电 子 专 业 硕 士 学 位 ;1994 年 获 得 保 罗 萨 巴 蒂 大 学 电 子 专 业 博 士 学 位 ; 除 此 之 外, 他 还 在 积 极 地 研 究 大 规 模 集 成 电 路 (VLSI) 工 具 和 方 法 的 研 发 并 已 撰 写 或 参 与 撰 写 130 多 篇 论 文, 获 得 13 项 专 利 他 是 法 国 失 效 分 析 协 会 的 主 席 ; 电 子 器 件 失 效 分 析 协 会 和 欧 洲 失 效 分 析 网 络 的 董 事 会 成 员 6

7 Ernest Wu 博 士, IBM, 美 国 Ernest Wu 博 士 在 IBM 担 任 技 术 可 靠 性 部 门 半 导 体 研 发 中 心 的 高 级 技 术 人 员 分 别 于 1986 和 1989 年 获 得 堪 萨 斯 大 学 的 硕 士 和 博 士 学 位,1994 年 就 职 于 IBM 微 电 子 部, 负 责 介 电 质 可 靠 性 方 法 的 技 术 认 证 和 发 展 他 的 研 究 领 域 包 括 介 电 质 可 靠 性, 物 理 器 件 可 靠 性 和 凝 聚 物 质 物 理 学 他 在 IRPS2005 和 2007 分 别 担 任 设 备 介 质 委 员 会 主 席 和 联 合 主 席 2004 年, 由 于 对 CMOS 技 术 的 超 薄 栅 可 靠 性 的 突 出 贡 献 荣 获 IBM 先 进 技 术 成 就 奖 Jordi Suñé 博 士 ( 联 合 作 者 ) 1986 年 毕 业 于 巴 塞 罗 那 自 治 大 学 物 理 学 专 业 并 于 三 年 后 获 得 该 校 的 电 子 学 博 士 学 位 他 曾 撰 写 和 合 作 撰 写 150 多 篇 论 文, 其 中 有 11 篇 国 际 电 子 器 件 会 议 论 文 2004 年, 由 于 他 的 突 出 研 究 成 果, 获 得 Generalitat Catalunya 奖 ;2008 年, 获 得 IBM 学 院 奖 他 的 主 要 研 究 领 域 是 栅 氧 化 层 可 靠 性 和 建 模 与 仿 真 电 子 输 运 的 电 子 器 件 Jeffrey Gambino 博 士, IBM, 美 国 Jeffrey Gambino 博 士 就 职 于 美 国 IBM 微 电 子 部 1979 年 毕 业 于 美 国 纽 约 州 伊 萨 卡 康 乃 尔 大 学 并 获 材 料 科 学 学 士 学 位 ;1984 年 获 得 剑 桥 大 学 麻 省 理 工 学 院 材 料 科 学 博 士 学 位 1984 年 他 进 入 IBM 从 事 于 双 极 和 CMOS 器 件 的 硅 化 物 工 艺 研 究 1992 年, 他 就 职 于 纽 约 Hopewell Junction 先 进 半 导 体 研 究 中 DRAM 发 展 联 盟 1999 年, 他 就 职 于 Essex Junction, VT IBM 制 造 部, 从 事 CMOS 逻 辑 技 术 的 铜 互 连 工 艺 研 究 他 先 后 发 表 技 术 论 文 100 多 篇, 获 专 利 100 余 项 M.K. Radhakrishnan 博 士, 印 度 M.K. Radhakrishnan 博 士 30 多 年 来 作 为 科 学 家, 院 士 和 技 术 顾 问, 在 新 加 坡 微 电 子 研 究 所 半 导 体 产 业 的 领 航 公 司 意 法 半 导 体 和 飞 利 浦 担 任 高 层 领 导 目 前, 他 在 自 己 创 立 的 技 术 咨 询 公 司 NanoRel 担 任 首 席 技 术 顾 问, 该 公 司 服 务 领 域 是 向 半 导 体 制 造 商 晶 圆 厂 封 装 组 装 和 测 试 商 提 供 技 术 咨 询 和 培 训 目 前, 他 的 研 究 方 向 主 要 是 : 亚 微 米 / 纳 米 设 备 可 靠 性,ESD, 先 进 器 件 分 析 和 课 程 开 发 他 已 发 表 60 余 个 研 究 出 版 物, 其 中 很 多 是 著 名 期 刊 上 的 特 邀 论 文 Sheng Tao 博 士,AMAT, 中 国 陶 盛 博 士 毕 业 于 加 拿 大 的 滑 铁 卢 大 学 吧 并 获 得 电 子 和 计 算 机 工 程 学 位 他 的 主 要 研 究 领 域 是 氢 化 非 晶 硅 薄 膜 技 术 在 太 阳 能 电 池 TFT-LCD OLED 和 X- 射 线 图 象 列 阵 的 应 用 他 有 着 10 余 年 的 薄 膜 太 阳 能 电 池 工 作 和 研 究 经 验, 主 要 集 中 于 非 晶 硅 薄 膜 材 料 工 艺 和 器 件 物 理 和 模 型 目 前, 他 担 任 应 用 材 料 投 资 ( 中 国 ) 有 限 公 司 太 阳 能 组 的 技 术 专 家 季 良 俊,UL, 美 国 季 良 俊 现 任 美 国 UL 公 司 研 究 工 程 师 他 在 可 再 生 能 源 领 域 中 有 20 多 年 的 经 验 : 主 要 侧 重 于 标 准 的 开 发, 测 试 和 认 证, 以 及 故 障 分 析 目 前, 他 拥 有 以 下 技 术 会 员 资 格 :ANSI USTAG 会 员 ;IEC TC 82 WG2 会 员 ;IEC TC 82 WG7 会 员 和 项 目 主 管 ;ASTM E44 副 主 席 ;IECEE CTLETF 9 主 持 人 ;IECEE 技 术 评 估 人 ;IEEE SCC 21 会 员 ;PV GAP Advisory Board 会 员 ;SAC TC 342 会 员 等. 他 以 往 的 工 作 经 历 还 包 括 : 亚 利 桑 那 州 立 大 学 实 验 室 经 理 和 高 级 工 程 师, 光 电 测 试 实 验 室 ; 扬 州 大 学 讲 师 等 Carry Yang 教 授, 圣 塔 克 拉 拉 大 学, 美 国 Prof Yang 分 别 于 1970 年,1971 和 1975 年 获 得 宾 夕 法 尼 亚 大 学 机 电 工 程 学 士, 硕 士 和 博 士 学 位 ; 他 在 美 国 宇 航 局 艾 姆 斯 研 究 中 心 和 斯 坦 福 大 学 继 续 表 面 与 界 面 科 学 的 研 究 ; 之 后, 开 创 表 面 分 析 研 究 1983 年 其 他 任 教 于 圣 塔 克 拉 拉 大 学, 目 前 是 电 气 工 程 学 院 的 院 长 及 纳 米 结 构 中 心 主 任, 他 目 前 的 研 究 领 域 是 在 电 子 和 生 物 方 面 的 纳 米 界 面 与 互 连 他 曾 历 任 IEEE 电 子 器 件 协 会 (IEEE EDS) 主 席 2001 年, 在 People to People Ambassadors 项 目 中, 领 导 电 子 器 件 代 表 团 访 问 中 国 2004 年, 因 为 对 微 纳 米 领 域 继 续 教 育 工 作 的 重 大 贡 献 获 得 IEEE 教 育 活 动 局 优 秀 成 果 奖 Albert Chin 教 授, 国 立 交 通 大 学, 台 湾 Albert Chin 教 授 于 1989 年 获 得 美 国 密 歇 根 大 学 电 气 工 程 博 士 学 位 年 在 AT&T-Bell 实 验 室 ; 年, 在 通 用 电 气 电 子 实 验 室 从 事 研 究 工 作 ; 年, 就 职 于 德 州 仪 器 SPDC 2002 起, 他 是 新 加 坡 国 立 大 学 SNDL 的 访 问 教 授,2002 年 至 今, 台 湾 国 立 交 通 大 学 教 授 他 是 高 介 电 常 数 栅 极 绝 缘 层 和 金 属 栅 极 研 究 开 拓 者 ; 他 开 发 的 Al2O3 和 La2O3 已 经 与 HfSiON 一 起 使 用 来 降 低 32 纳 米 P/N MOS 管 的 开 启 电 压 ; 高 迁 移 率 的 GOI CMOS, 低 交 流 电 源 3D 集 成 电 路 和 高 增 益 共 振 腔 光 探 测 器 ; 他 是 高 阻 层 SONOS 存 储 器 和 CTEF 方 面 的 领 导 者 ; 他 开 创 了 纳 米 结 晶 高 MIM 电 容 器 的 研 究 研 究 进 行 模 拟 /RF 和 DRAM 的 应 用 ; 通 过 使 用 H + 参 杂 创 造 深 陷 阱 把 基 底 变 成 半 绝 缘, 做 出 了 突 出 的 贡 献 : 他 还 发 明 了 不 对 称 同 时 具 有 高 RF 功 率 性 能 LDD MOS 他 参 与 撰 写 的 9 篇 论 文 被 列 为 基 本 科 学 指 标 中 被 广 泛 引 用 的 文 章 他 的 high-, GOI, flash memory, MIM 和 RF devices 被 引 用 和 列 在 国 际 半 导 体 技 术 蓝 图 ( 参 考 系 ) Albert Chin 教 授 在 IEDM 和 美 国 和 欧 洲, 亚 洲 的 其 他 国 际 会 议 中 应 邀 发 表 演 讲, 在 第 62 届 Device Research Conference 中, 担 任 rump section panelist 成 员 7

8 IPFA2009 第 16 届 IEEE 国 际 集 成 电 路 物 理 与 失 效 分 析 培 训 注 册 登 记 表 培 训 讲 座 费 两 天 的 讲 座 ( 四 个 课 题 ) 费 用 包 含 两 顿 午 餐, 茶 歇 和 一 套 教 材 研 讨 会 培 训 费 包 含 8-10 号 三 天 的 午 餐 和 茶 歇, 一 张 晚 宴 餐 券, 一 套 会 议 论 文 集 和 配 套 CD 5/15/ 2009 之 前 5/15/ 2009 或 之 后 6/26/2009 或 之 后 5/15/ 2009 之 前 5/15/ 2009 或 之 后 6/26/2009 或 之 后 非 会 员 CNY 2, CNY 2, CNY 2, CNY2, CNY 3, CNY 3, 在 校 学 生 CNY 1, CNY 1, CNY 1, CNY 2, CNY 2, CNY 2, IEEE 会 员 CNY 2, CNY 2, CNY 2, CNY 2, CNY 2, CNY 3, 终 生 会 员 CNY 1, CNY 1, CNY 1, CNY 2, CNY 2, CNY 2, 请 以 以 下 几 种 方 式 付 款 : 转 账 电 汇 银 行 汇 票 上 海 华 碧 检 测 技 术 有 限 公 司 为 收 款 人 一 旦 收 到 注 册 费 我 们 会 即 刻 发 送 确 认 通 知 同 一 个 单 位 5 个 及 以 上 的 人 同 时 注 册, 可 以 享 受 10% 的 优 惠 请 填 写 本 页 下 方 注 册 表 并 写 明 付 款 方 式, 您 可 以 将 填 好 的 表 格 发 送 到 IPFA 2009 组 委 会 秘 书 处 邮 箱 :ipfa@falab.cn; 或 传 真 至 ; 或 寄 信 到 苏 州 工 业 园 区 通 园 路 25 号 A 栋, 邮 编 : 如 果 您 是 以 银 行 汇 票 付 款, 请 您 将 银 行 汇 票 连 同 注 册 表 邮 寄 到 以 上 地 址 ( 以 寄 信, 发 送 邮 件 或 传 真 日 期 为 准 ) 如 果 您 需 要 咨 询, 请 联 系 IPFA 2009 组 委 会 秘 书 处, 联 系 电 话 : ext199/803 欢 迎 登 陆 网 站 : 查 询 其 他 相 关 信 息 汇 款 账 号 信 息 账 号 : 户 名 : 上 海 华 碧 检 测 技 术 有 限 公 司 开 户 行 : 中 国 建 设 银 行 上 海 国 定 路 支 行 银 行 地 址 : 上 海 市 杨 浦 区 国 定 路 369 号 培 训 讲 座 注 册 (2009 年 7 月 6-7 日 )( 拟 ) T1+T3 T1+T4 T2+T4 T2+T3 T5+T7 T6+T8 T5+T8 T6+T7 早 上 8:30 开 始 下 午 13:30 开 始 2009 年 7 月 6 日 -- 两 个 课 程 同 时 进 行 2009 年 7 月 7 日 -- 两 个 课 程 同 时 进 行 课 题 1: 光 发 射 与 光 学 显 微 技 术 在 集 成 电 路 失 效 分 析 中 的 应 用 Jacob C.H.Phang 教 授, 新 加 坡 国 立 大 学 课 题 2: 集 成 电 路 的 静 电 放 电 及 其 保 护 电 路 设 计 J.J. Liou 教 授, 中 佛 罗 里 达 大 学, 美 国 课 题 3: 失 效 分 析 概 述 及 其 挑 战 Susan Li 博 士, 飞 索 半 导 体, 美 国 课 题 4: 材 料 科 学 在 电 子 封 装 失 效 分 析 中 的 应 用 Tim Fai Lam 博 士, 飞 索 半 导 体, 中 国 研 讨 会 注 册 (2009 年 7 月 8 10 日 ) ( 拟 ) 早 8:30-10:15 会 议 1: 开 幕 典 礼 特 邀 发 言 人 演 讲 课 题 5: 光 伏 PV 组 件 和 系 统 失 效 机 理 的 有 关 问 题 Liang Ji, UL, 美 国 课 题 6: 先 进 非 挥 发 性 存 储 器 技 术 及 其 可 靠 性 Guoqiao Tao 博 士, NXP, 荷 兰 课 题 7: 对 非 晶 硅 薄 膜 太 阳 能 电 池 的 研 究 Sheng Tao 博 士,AMAT, 中 国 课 题 8: 栅 介 质 可 靠 性 : 物 理 击 穿 及 统 计 分 析 Ernest Wu 博 士, IBM, 美 国 2009 年 7 月 8 号 2009 年 7 月 9 号 2009 年 7 月 10 号 早 8:30-10:15 会 议 5: 光 伏 光 电 技 术 可 靠 性 和 失 效 机 理 上 午 10:35 12:20 会 议 2: 先 进 物 理 分 析 技 术 与 失 效 分 析 技 术 1 早 8:30-10:15 会 议 9: 新 型 栅 堆 叠 / 栅 介 质,FEOL 可 靠 性 及 其 失 效 机 理 茶 歇 : 上 午 10:15 茶 歇 : 上 午 10:15 茶 歇 : 上 午 10:15 上 午 10:35 12:20 会 议 6: 芯 片 级 封 装 级 板 级 系 统 级 的 工 艺 与 技 术 失 效 分 析 案 例 研 究 以 及 失 效 机 理 研 究 2 上 午 10:35 12:20 会 议 10: 新 兴 材 料 特 性 样 品 制 备 与 检 测 分 析 技 术 午 餐 12:20 午 餐 12:20 下 午 1:40-3:10 会 议 3: 芯 片 级 封 装 级 板 级 系 统 级 的 工 艺 与 技 术 失 效 分 析 案 例 研 究 以 及 失 效 机 理 研 究 1 茶 歇 下 午 3:10pm 下 午 3:50 5:00 会 议 4: 先 进 互 连 技 术 和 BEOL 可 靠 性 及 其 失 效 机 理 中 午 12:35 下 午 3:10 会 议 7: 午 餐 / 论 文 海 报 / 失 效 分 析 照 片 欣 赏 下 午 3:50 5:00 会 议 8: 先 进 物 理 分 析 技 术 与 失 效 分 析 技 术 2 下 午 1:40-3:10 会 议 11: 先 进 的 可 靠 性 评 估 和 方 法 茶 歇 下 午 3:10pm 下 午 3:50 5:00 会 议 12: 新 颖 器 件 技 术 与 可 靠 性 及 失 效 机 理 闭 幕 典 礼 8

9 IPFA2009 注 册 回 执 表 报 名 单 位 名 称 ( 开 发 票 ): 序 号 姓 名 性 别 职 务 电 话 传 真 手 机 汇 款 方 式 银 行 转 帐 电 汇 网 上 支 付 其 他 汇 款 时 间 :2009 年 月 日 请 注 册 培 训 讲 座 课 程 选 择 培 训 费 元 / 人, 共 人 6 日 培 训 T1+T3 T2+T4 T1+T4 T2+T3 7 日 培 训 T5+T7 T6+T8 T5+T8 T6+T7 研 讨 会 是 否 参 加 : 是 否 研 讨 会 费 用 元 / 人, 共 人 总 计 费 用 : 是 否 住 宿 是 否 ( 食 宿 标 准 见 下 页 ) 元 9

10 IPFA2009 第 16 届 IEEE 国 际 集 成 电 路 物 理 与 失 效 分 析 会 议 I PFA 年 7 月 号 苏 州 独 墅 湖 高 教 区 酒 酒 店 预 定 登 记 表 请 尽 快 回 复 : IPFA2009 组 委 会 秘 书 处 联 系 人 : 沈 小 姐 / 宋 小 姐 电 话 : ext 803/199 传 真 : 联 系 人 : 姓 名 : 公 司 : 职 务 : 电 话 : 传 真 : 电 子 邮 箱 : ipfa@falab.cn 预 定 详 细 信 息 : 姓 名 单 位 宾 馆 名 称 ( 号 码 ) 房 间 类 型 房 间 数 入 住 日 期 离 店 日 期 联 系 方 法 凭 [ ] VISA [ ] Master Card 付 款 持 卡 人 姓 名 : 卡 号 到 期 日 : 签 名 : 机 场 接 机 服 务 : 到 达 日 期 航 班 : 到 达 时 间 : 上 海 虹 桥 机 场 ( ) 小 车 ( 最 多 可 容 纳 2 人 及 少 量 行 李 ) 接 机 ---- 人 民 币 上 海 浦 东 国 际 机 场 ( ) 小 车 ( 最 多 可 容 纳 2 人 及 少 量 行 李 ) 接 机 ---- 人 民 币 注 : 如 需 取 消 房 间 预 定 必 须 在 15 天 前 提 出, 更 改 房 间 预 定 必 须 在 7 天 前 提 出 ; 否 则 酒 店 将 收 取 全 部 房 费 作 为 滞 后 取 消 的 赔 偿 如 客 人 在 到 达 日 期 没 有 入 住 酒 店, 酒 店 仍 将 收 取 全 部 房 费 作 为 赔 偿 酒 店 预 订 截 止 日 期 为 2009 年 6 月 20 日, 逾 期 将 不 再 接 受 预 定, 谢 谢 合 作! 10

11 参 考 酒 店 星 级 酒 店 名 称 地 址 房 型 参 考 价 格 行 政 套 房 CNY 2300 距 离 会 场 ( 约 ) 五 星 级 1) 苏 州 尼 盛 万 丽 酒 店 工 业 园 区 苏 华 路 229 号 高 级 豪 华 间 CNY 1610 行 政 豪 华 间 CNY 1450 豪 华 间 CNY1100 行 政 套 房 CNY 公 里 2) 苏 州 中 新 豪 生 全 套 房 酒 店 工 业 园 区 高 和 路 78 号 豪 华 套 房 CNY 680 行 政 公 寓 房 CNY 公 里 大 床 房 CNY 288 四 星 级 4)MBA 公 寓 工 业 园 区 独 墅 湖 高 教 区 标 准 间 CNY 288 三 室 一 厅 CNY 348 两 室 一 厅 CNY 348 套 房 间 CNY 公 里 5) 苏 州 书 香 门 第 连 锁 酒 店 工 业 园 区 通 达 路 2699 号 会 所 间 CNY 699 豪 华 间 CNY 公 里 经 济 型 酒 店 6) 锦 江 之 星 园 区 东 环 路 店 7) 苏 州 园 区 速 8 酒 店 工 业 园 区 东 环 路 260 号 工 业 园 区 东 环 路 1320 号 / 扬 东 路 288 号 标 准 房 CNY 209 商 务 房 CNY 209 大 床 间 CNY 198 商 务 间 CNY 238 标 准 间 CNY 公 里 15 公 里 11