福建省国家重点监控企业自行监测方案 企业名称 : 联芯集成电路制造 ( 厦门 ) 有限公司 所在设区市 : 厦门市翔安区 2018-05-10 1
一 企业概况 我司基本信息如下所示 : 企业名称 地址 法人代表 表 1 企业基本信息 联芯集成电路制造 ( 厦门 ) 有限公司 厦门市翔安区万家春路 899 号 尤朝生 环保负责人王艳娟手机 18150883028 企业规模中一型投产时间 2016-06-12 所属行业 占地面积 ( 万 m2) [3963] 集成电路制造 生产周期 365 25.5 职工人数 ( 人 ) 1036 生产工艺及产 排污情况 芯片生产可简要概括为三大步骤 : 步骤一 : 在晶片上形成薄膜, 薄膜可以是多晶硅 氧化硅 氮化硅 金属 ( 铜 钽 钨 铝等 ) 等, 成膜工艺包括 : 热氧化 物理气相沉积 化学气相沉积 ; 步骤二 : 将光掩膜版上的图形转移到第一步形成的膜上, 在薄膜上形成需要的器件图形或线路沟槽, 工艺主要利用照相原理的光刻和刻蚀技术 ; 步骤三 : 在上述基础上进行器件加工和线路连接, 工艺包括 : 扩散 离子注入 金属化等 产 排污情况见右图 2
生产工艺图 污染处理设施建设 运行情况 公司废水 废气 噪声均建设有配套的污染防治设施, 建设情况符合 三同时 要求, 且已通过阶段性 ( 第一阶段 ) 验收, 运行正常 1. 生产废水主要为 : 含磷废水 含氨废水 含氟废水 含铜废水 综合废水等 配套建设废水处理设施主要包括 : 含磷废水处理系统 含氨废水处理系统 含氟废水处理系统 含铜废水处理系统 中和处理系统 处理达标后与生活污水通过总排口排入翔安污水处理厂 2. 废气处理设施主要包括 : 酸性废气处理系统 碱性废气处理系统 酸碱性废气处理系统 酸腐蚀性废气处理系统 有机废气处理系统 废水站一般废气处理系统 废水站氨氮系统废气等 20 套设施, 即 20 根废气排气筒 但其中包含备用设施 4 套, 只在同型设施异常时开启, 故正常状态下运行设施计 16 套 另外公司有备用天然气锅炉一台, 平常不开启, 仅在热泵能力不足时才开 ; 且其功率 4.1KW, 根据监测指南要求, 不属于主要污染源, 公司环评文件中亦未对其监测频次进行要求, 故本方案中不含锅炉 3
同时公司工艺尾气中的砷烷 磷烷废气经过机台端废气处理装置处理 ( 处理效率 99%) 后排放, 因目前省内无检测公司有检测砷烷 磷烷的资质, 故本方案中亦不含砷烷 磷烷废气 污染物排放方式及排放去向工业废水及生活污水 : 间接排放, 污水处理站处理达标后排入翔安污水处理厂废气 : 直接排放, 处理达标后通过 42m 烟囱排放工业固体废物或危险废物 : 统一收集后给资质单位处置 4
表 2 企业环评 / 验收信息 批复 / 验收日期批复 / 验收文号批复 / 验收部门 1 环评批复 2015-04-27 2 环评批复 2016-02-24 3 环评验收 2017-05-03 厦环评 2015 23 号厦环函 2016 93 号厦环翔验 [2017]037 号 厦门市环境保护局 厦门市环境保护局 厦门市环境保护局翔安分局 5
二 企业监测能力 我司对污染物开展自行监测的具体情况如下 : 表 3 自行承担监测情况 实验室办公用房数 2 实验室面积 400 实验室监测人员数 5 持证人员数 0 发证单位 监测经费 ( 元 / 年 ) 50000 在线设备运营委托单位 厦门翔辉宏环保工程有限公司 运营经费 ( 元 / 年 ) 100000 6
版本号 : 0507101440 表 4 委托单位情况 单位名称 监测资质 实验室办公用房数 实验室面积 ( 平米 ) 实验室监测人员数 持证人员数 人员持证发证单位 委托监测经费 ( 元 / 年 ) 1 厦门市华测检测技术有限公司 有 40 1800 90 78 华测检测技术委 员会 100000 7
版本号 : 0507101440 1 废水 2 废气 3 废气 委托单位 总铜 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司 氨 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司 氯气 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司 表 5 项目监测情况 监测方法 仪器名称 方法检出限 样品保存方法 采样 个数 单位 备注 水质铜 锌 铅 镉的测定原子吸收分光光度法 GB/T7475-1987 - 0-1 - 环境空气和废 - 0-1 - 气氨的测定 纳氏试剂分光 光度法 HJ 533-2009 手工检测 - 0-1 - 8
4 废气 5 废气 6 废水 委托单位 硫酸雾 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司 氯化氢 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司 ph 值 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司 监测方法 固定污染源废气, 硫酸雾的测定离子色谱法 HJ 544-2009 环境空气和废气, 氯化氢的测定, 离子色谱法 HJ 549-2009 水质 ph 值的测定玻璃电极法 GB/T6920-1986 仪器名称 方法检出限 样品保存方法 - 0-1 - - 0-1 - - 0-1 - 版本号 : 0507101440 采样 个数 单位 备注 7 废 化学需 自承担 在线监测 在线分析 0-1 - 水 氧量 仪 8 废 悬浮物 委托监测 厦门市华 水质悬浮物 - 0-1 - 9
版本号 : 0507101440 水 9 废水 1 废 0 水 1 1 1 2 废气 废气 委托单位 测检测技术有限公司 监测方法 的测定重量法 GB/T11901-1 989 仪器名称 方法检出限 样品保存方法 氨氮自承担在线监测 - 0-1 - 氟化物 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司 非甲烷总烃 氮氧化物 委托监测 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司厦门市华测检测技术有限公司 水质无机阴离子的测定离子色谱法 HJ/T84-2001 - 0-1 - 气相色谱法 - 0-1 - HJ/T43-1999 或定电位电解法 - 0-1 - 采样 个数 单位 备注 10
版本号 : 0507101440 1 3 1 4 1 5 1 6 废气 废气 废水 废水 委托单位 乙酸 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司 氟化物 委托监测 厦门市华 测检测技 术有限公 司 生化需氧量 委托监测 厦门市华测检测技术有限公司 总磷 委托监测 厦门市华 测检测技 术有限公 监测方法 仪器名称 方法检出限 样品保存方法 手工检测 - 0-1 - 大气固定污染源氟化物的测定离子选择性电极法 HJ/T67-2001 水质五日生化需氧量 (BOD5) 的测定稀释与接种法 HJ 505-2009 水质总磷的测定钼酸胺分光光度法 - 0-1 - - 0-1 - - 0-1 - 采样 个数 单位 备注 11
版本号 : 0507101440 司 委托单位 监测方法 GB/T11893-1 989 仪器名称 方法检出限 样品保存方法 采样 个数 单位 备注 12
版本号 : 0507101440 三 监测点位 我司各监测点情况如下 点位示意图 13
版本号 : 0507101440 四 监测内容 根据环评批复及最新排放标准要求, 我司具体监测内容如下 : 表 6 监测点位情况 监测点代码 状态 1 废水总口 WS-0001 正常 2 废气酸性废气排气筒 1# FQ-0001 正常 3 废气碱性废气排气筒 1# FQ-0002 正常 14
版本号 : 0507101440 监测点代码 状态 4 废气酸碱性废气排气筒 1# FQ-0003 正常 5 废气酸腐蚀性废气排气筒 1# FQ-0004 正常 6 废气有机废气排气筒 1# FQ-0005 正常 7 废气废水站一般废气排气筒 FQ-0006 正常 15
版本号 : 0507101440 监测点代码 状态 8 废气废水站氨氮系统排气筒 FQ-0007 正常 9 废气酸性废气排气筒 2# FQ-0008 正常 10 废气酸性废气排气筒 3# FQ-0009 正常 11 废气酸性废气排气筒 4# FQ-0010 正常 16
版本号 : 0507101440 监测点代码 状态 12 废气酸性废气排气筒 5# FQ-0011 正常 13 废气酸性废气排气筒 6# FQ-0012 正常 14 废气酸性废气排气筒 7# FQ-0013 正常 15 废气酸性废气排气筒 8# FQ-0014 正常 17
版本号 : 0507101440 监测点代码 状态 16 废气酸性废气排气筒 9# FQ-0015 正常 17 废气碱性废气排气筒 2# FQ-0016 正常 18 废气碱性废气排气筒 3# FQ-0017 正常 19 废气酸碱性废气排气筒 2# FQ-0018 正常 18
版本号 : 0507101440 监测点代码 状态 20 废气酸腐蚀性废气排气筒 2# FQ-0019 正常 21 废气有机废气排气筒 2# FQ-0020 正常 22 噪声厂东界 ZS-0001 正常 23 噪声厂西界 ZS-0002 正常 19
版本号 : 0507101440 监测点代码 状态 24 噪声厂南界 ZS-0003 正常 25 噪声厂北界 ZS-0004 正常 20
表 7 监测点位情况 1 废水总口 ph 值 2 废水总口氨氮 3 废水总口 4 废水总口 氟化物 化学需氧量 监测频次 日 日 排放标准及标准号 污水综合排放标准 GB8978-1997 厦门市水污染物排放标准 DB-35/322-2011 污水综合排放标准 GB8978-1997 厦门市水污染物排放标准 DB-35/322-2011 标准条件 1998 年 1 月 1 日起建成 ( 包括改 扩建 ) 的单位 / 适用排污单位范围 / 一般的排污单位 / 三级标准 污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准 1998 年 1 月 1 日起建成 ( 包括改 扩建 ) 的单位 / 适用排污单位范围 / 一般的排污单位 / 三级标准 污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准 标准限值 6-9 35 20 400 21
5 废水总口 6 废水总口 生化需氧量 悬浮物 7 废水总口总磷 8 废水总口总铜 9 废气 10 废气 酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 氨 氮氧化物 监测频次 排放标准及标准号 厦门市水污染物排放标准 DB-35/322-2011 厦门市水污染物排放标准 DB-35/322-2011 厦门市水污染物排放标准 DB-35/322-2011 污水综合排放标准 GB8978-1997 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件 污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准 污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准 污染物排放的允许最高浓度 / 三级标准 1998 年 1 月 1 日起建成 ( 包括改 扩建 ) 的单位 / 适用排污单位范围 / 一般的排污单位 / 三级标准 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 最高允许排放浓度 标准限值 250 350 3 2 35 200 22
11 废气 12 废气 13 废气 14 废气 15 废气 16 废气 酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 酸性废气排气筒 1# 碱性废气排气筒 1# 氟化物 硫酸雾 氯化氢 氯气 乙酸 氨 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件最高允许排放浓度 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 标准限值 7 40 80 50 50 35 23
17 废气 18 废气 19 废气 20 废气 21 废气 22 废气 酸碱性废气排气筒 1# 酸碱性废气排气筒 1# 酸碱性废气排气筒 1# 酸碱性废气排气筒 1# 酸碱性废气排气筒 1# 酸腐蚀性废气排气筒 1# 氨 氮氧化物 氟化物 硫酸雾 氯化氢 氯化氢 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 最高允许排放浓度 标准限值 35 200 7 40 80 80 24
23 废气 24 废气 25 废气 26 废气 27 废气 28 废气 有机废气排气筒 1# 废水站一般废气排气筒废水站一般废气排气筒废水站氨氮系统排气筒废水站氨氮系统排气筒 酸性废气排气筒 2# 非甲烷总烃 氨 硫酸雾 氨 氮氧化物 氨 监测频次 年 年 年 年 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件最高允许排放浓度 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 25 米 最高允许排放浓度 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 25 米 最高允许排放浓度 (mg/m3)/ 硝酸使用和其他 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 标准限值 100 14 40 14 200 35 25
29 废气 30 废气 31 废气 32 废气 33 废气 34 废气 酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 酸性废气排气筒 2# 氮氧化物 氟化物 硫酸雾 氯化氢 氯气 乙酸 监测频次 排放标准及标准号 标准条件最高允许排放浓度 标准限值 200 7 40 80 50 50 26
35 废气 36 废气 37 废气 38 废气 39 废气 40 废气 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 3# 氨 氮氧化物 氟化物 硫酸雾 氯化氢 氯气 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 最高允许排放浓度 标准限值 35 200 7 40 80 50 27
41 废气 42 废气 43 废气 44 废气 45 废气 46 废气 酸性废气排气筒 3# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 乙酸 氨 氮氧化物 氟化物 硫酸雾 氯化氢 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件最高允许排放浓度 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 最高允许排放浓度 标准限值 50 35 200 7 40 80 28
47 废气 48 废气 49 废气 50 废气 51 废气 52 废气 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 4# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 氯气 乙酸 氨 氮氧化物 氟化物 硫酸雾 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件最高允许排放浓度 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 最高允许排放浓度 标准限值 50 50 35 200 7 40 29
53 废气 54 废气 55 废气 56 废气 57 废气 58 废气 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 5# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 氯化氢 氯气 乙酸 氨 氮氧化物 氟化物 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件最高允许排放浓度 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 最高允许排放浓度 标准限值 80 50 50 35 200 7 30
59 废气 60 废气 61 废气 62 废气 63 废气 64 废气 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 6# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 硫酸雾 氯化氢 氯气 乙酸 氨 氮氧化物 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件最高允许排放浓度 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 最高允许排放浓度 标准限值 40 80 50 50 35 200 31
65 废气 66 废气 67 废气 68 废气 69 废气 70 废气 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 7# 酸性废气排气筒 8# 氟化物 硫酸雾 氯化氢 氯气 乙酸 氨 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件最高允许排放浓度 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 标准限值 7 40 80 50 50 35 32
71 废气 72 废气 73 废气 74 废气 75 废气 76 废气 酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 酸性废气排气筒 8# 氮氧化物 氟化物 硫酸雾 氯化氢 氯气 乙酸 监测频次 排放标准及标准号 标准条件最高允许排放浓度 标准限值 200 7 40 80 50 50 33
77 废气 78 废气 79 废气 80 废气 81 废气 82 废气 酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 酸性废气排气筒 9# 氨 氮氧化物 氟化物 硫酸雾 氯化氢 氯气 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 最高允许排放浓度 标准限值 35 200 7 40 80 50 34
83 废气 84 废气 85 废气 86 废气 87 废气 88 废气 酸性废气排气筒 9# 碱性废气排气筒 2# 碱性废气排气筒 3# 酸碱性废气排气筒 2# 酸碱性废气排气筒 2# 酸碱性废气排气筒 2# 乙酸 氨 氨 氨 氮氧化物 氟化物 监测频次 排放标准及标准号 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 恶臭污染物排放标准 GB14554-93 标准条件最高允许排放浓度 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 恶臭污染物排放标准值 / 排气筒高度 40 米 最高允许排放浓度 标准限值 50 35 35 35 200 7 35
89 废气 90 废气 91 废气 92 废气 酸碱性废气排气筒 2# 酸碱性废气排气筒 2# 酸腐蚀性废气排气筒 2# 有机废气排气筒 2# 硫酸雾 氯化氢 氯化氢 非甲烷总烃 93 噪声厂东界 Leq 94 噪声厂西界 Leq 监测频次 排放标准及标准号 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 12348-2008 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 12348- 标准条件最高允许排放浓度 工业企业厂界环境噪声排放限值 / 功能区类别 3 工业企业厂界环境噪声排放限值 / 功能区类别 3 标准限值 40 80 80 100 55-65 55-65 36
监测频次 排放标准及标准号 2008 标准条件 标准限值 95 噪声厂南界 Leq 96 噪声厂北界 Leq 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 12348-2008 工业企业厂界环境噪声排放标准 GB 12348-2008 工业企业厂界环境噪声排放限值 / 功能区类别 3 工业企业厂界环境噪声排放限值 / 功能区类别 3 55-65 55-65 37
五 质量控制措施本自行监测方案由我司根据 国家重点监控企业自行监测及信息公开办法 ( 试行 ) 的有关要求 结合自身情况制订完成, 经县 ( 区 ) 市两级环保部门审核后备案, 向公众公开 ( 一 ) 自行承担监测的质量控制 1 分析方法遵守国家环境监测技术规范和方法 2 严格按照国家相关规定做好监测分析仪表的检定和校准 属于国家强制检定的仪器和设备, 依法送检, 并在检定合格有效期内使用 ; 属于非强制检定的仪器与设备按照相关校准规程自行校准或核查, 或送有资质的计量检定机构进行校准, 校准合格并在有效期内使用 每年对仪器与设备检定及校准情况进行核查 3 按照环境监测技术规范和自动监控技术规范的要求安装自动监测设备, 与环境保护主管部门联网, 并通过环境保护主管部门验收 4 人员持证上岗 上岗人员均持有省级环境保护主管部门组织的 与相符的培训证书 ; 对自动监测设备进行日常运行维护人员持有省级环境保护主管部门颁发培训证书, 并定期参加环境监测管理和相关技术业务培训 5 具有健全的自动监测设备 环境监测工作和质量管理制度, 保证监测数据的准确性 有效性 真实性 ; 同时, 作好数据报表的整理 汇编 装订工作, 保证报表的统一管理 ( 二 ) 委托监测的质量控制本司的委托监测单位通过省级以上实验室资质认定, 具体见附件 3 ( 三 ) 其他质量控制 38
自行监测记录包含监测各环节的原始记录 委托监测相关记录 自动监测设备运维记录, 各类原始记录内容应完整并有相关人员签字, 保存三年 六 监测数据公开方式 ( 一 ) 公开方式我司在省环保主管部门组织建立的公布平台上公开企业基础信息 自行监测方案 自行监测结果及未开展监测原因 自行监测开展年度报告等信息, 对信息的真实性承担责任, 信息公开保存一年以上 ( 二 ) 公开时限及要求 1. 基础信息随监测数据一并公布, 基础信息 自行监测方案如有调整变化于变更后的五日内公布最新内容 ; 2. 自动监测数据实时公布监测结果, 如有在线设备故障时数据次日公布 ; 3. 数据于每次监测完成并获取监测数据结果后次日公布 ; 4. 每年一月底前公布上年度自行监测年度报告 附件 : 附件 1 企业环评批复 附件 2 委托监测合同 附件 3 委托单位资质认定证书 39