演讲主题 1. 概述 : 物联网与传感器 2. 传感器领域的关键技术 3. 制造技术 :MEMS 技术 4. 应用设计 : 低噪声前置放大电路的设计 5. 标定和校准 : 动态标定和云端校准 6. 展望 : 多维融合, 无限可能

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1 2015 年中国物联网大会 传感器论坛 物联网时代的传感器关键技术 传感器那些事儿 北京艾克艾瑞科技有限公司技术总监技术总监 : 高志兴 : 高志兴 2015 年 10 月 15 日 2015 年 12 月 4 日中国 深圳

2 演讲主题 1. 概述 : 物联网与传感器 2. 传感器领域的关键技术 3. 制造技术 :MEMS 技术 4. 应用设计 : 低噪声前置放大电路的设计 5. 标定和校准 : 动态标定和云端校准 6. 展望 : 多维融合, 无限可能

3 1. 概述 - 物联网与传感器 : 传感器是感知层的核心 应用层 App, Web Console, H5, WeChat 传输层 Wi-Fi, ZigBee, GPRS, BLE 感知层 Sensors(Temp, Humi, Position, etc.)

4 1. 概述 - 物联网与传感器 : 技术要求 应用层 智慧处理 传输层 可靠传输 技术要求 全面感知 感知层

5 1. 概述 - 物联网与传感器 : 物联网设备出货量快速增长 物联网设备出货量 500 亿台 300 亿台 60 亿台 根据麦肯锡数据

6 1. 概述 - 物联网与传感器 : 传感器是物联网全面感知的基石 在由 1 万亿个传感器和 500 亿个设备 ( 设备 ) 构成的 IoT 世界中, 传感器是物联网全面感知的基石 传感器技术的发展, 驱动着物联网的发展 由于互联网和云计算已经飞速发展, 就相对速度而言, 传感器技术还是物联网发展的主要瓶颈 500 亿 1 万亿 设备 传感器

7 2. 传感器领域的关键技术 基于 MEMS 构建小型化 低成本的物联网传感器 传感器的小型化 低功耗化 传感器的低成本大批量标定, 云端校准 传感器的应用电路设计 传感器的信号处理算法 传感器的网络化 智能化 一体化 基于新材料构建传感器

8 2. 传感器领域的关键技术 MEMS 技术 应用设计 关键技术 批量标定云端校准

9 3. MEMS 技术 : 让感知无处不在 微机电系统 (Micro-Electro-Mechanical System) 微米尺度 (0.1um~1mm) 的机电系统 MEMS 更微小 更丰富 更准确 感知无处不在

10 3. MEMS 技术 : 让感知无处不在 : 手机本身成为感知点 传统气体传感器 = 传感器硬件 + 移动终端 APP MEMS 传感器将集成在便携移动终端 : 如手机 传感器尺寸 :3*3mm,2*2mm,1*1mm 超低功耗, 低至 3mW 可间歇工作, 优化电池应用 成本低廉 可望大量普及应用

11 3. MEMS 技术 : 让感知无处不在 : 微型光谱仪 传统光谱分析仪 微型光谱仪 科学实验室 物品检室用 专业性高不易操作 十万起价 食物 植物和药品 内置蓝牙功能, 连结至移动终端查看数据 千元售价

12 3. MEMS 技术 : 让感知无处不在 : 迈向 NEMS MEMS: 微米尺度 (0.1um~1mm) NEMS: 纳米尺度 (0.1nm~100nm)

13 3. MEMS 技术 : 让感知无处不在 : 更高性价比 原材料量少价低 ; 生成技术与集成电路 (IC) 类似的, 可大量借用 大批量 低成本生产, 性价比远高于传统 机械 制造的传感器 传感器本身成本低 便于集成, 无需专用硬件设备 整体成本大幅降低 物联网传感器 万亿级覆盖量 值得期待

14 3. MEMS 技术 : 让感知无处不在 : 新原理传感器 微尺寸效应起支配作用的作用力与宏观完全不同物体及其运动有特殊的表现例如 : 重新诠释物理规律 开发新原理的传感器 配有镜头 可以测量眼球内的流体压力, 并通过智能手机相机读出数值的微流控传感器 从血液中快速分离白细胞, 有望被整合到便携式诊断仪以直接分析败血症等血液疾病的炎症迹的新型微流控芯片

15 3. MEMS 技术 : 让感知无处不在 : 让感知更加准确 多个相同的敏感元件集成在同一芯片上形成传感器阵列 体积小 重量轻, 附贴时对被测系统的影响可以忽略不计 可集成补偿电路, 降低由温度或由应变等因素引起的误差 可集成电压式电流源, 提供自动的或周期性的自校准和自诊断 可集成 A/D 转换, 提高信噪比

16 4. 传感器的应用 : 低噪声前置放大电路的设计 设计原则与步骤 元器件的选择 同相放大与反相放大的选择 屏蔽和接地设计

17 4.1 设计原则与步骤 性能与成本的平衡原则 : 从最优器件向下寻找满足性能要求的平衡点 理论与实践的结合原则 : 控制噪声, 放大信号, 理论计算, 实践检验 设计步骤 : 1 了解产品的用途和使用环境 2 确认电源特性 3 分析输入信号的特性 4 确认模数转换器 (ADC) 的特性 5 抗混叠与滤波电路设计

18 4.1.1 了解产品的用途和使用环境 关注点最终产品形态是什么? 产品的具体应用领域是什么? 信号的传输链路是怎样的? 举例 / 分析 传感器的信号调理需要直流特性好的低噪声运放 军用 / 商用 / 民用等, 使用场景决定了运放的工作温度区间 缓变的直流信号使用直流特性好的低噪声运放 射频系统使用交流耦合, 运放速度不低于奈奎斯特频率 音频系统需要总谐波失真低的运放

19 4.1.2 确认电源特性 单电源还是双电源 : 决定了运放的工作方式及信号的极性 直流电源供电, 还是电池供电 : 电池在可工作区间是良好的低噪声电源 电源的供电能力 : 低功耗设计 电源的噪声和纹波是怎样的 : 电源滤波电路 电压参考的问题 : 单电源供电的情形, 需要一个 1/2V cc 附近的 V ref

20 4.1.3 分析输入信号的特性 信号源的输出是什么类型? 电压 / 电流 / 电容 / 频率, 对应不同的调理电路 信号源的输出幅度是多大?mV 级和 μv 级信号对于运放及放大电路的结构要求是不同的 信号源的输出是单端的还是差分的? 差分信号源需要具有差分输入的仪表运放 信号源的内阻是多少? 要认真考虑阻抗匹配, 以获得最大的原始信号幅度

21 4.1.4 确认模数转换器 (ADC) 的特性 满幅输入的范围是怎样的? 根据输入信号幅度和 ADC 满幅输入范围, 确定放大倍数 ADC 的输入是单端输入还是差分输入? 前者的输入管脚是一个 Pin, 后者需要一对 转换精度和需要的分辨率是否匹配?16 位转换器通常只能提供 15 位或者 14 位有效分辨率 ADC 的采样频率是多少? 是否满足能奎斯特采样定律? 采样频率要大于信号最高频率 2 倍 输入端是否需要补偿电路? 对于慢变信号, 通常部署一个 RC 滤波电路来匹配 ADC 内部的采样电容 应该仔细阅读模数转换器的数据手册

22 4.1.5 抗混叠与滤波电路 抗混叠 : 如果信号中包含有高频噪声, 必须设计低通滤波电路进行滤除, 确保将其衰减到足够小 ; 信号的特征频率不能高于采样频率的 1/2 滤波电路 : 减少高频噪声 : 低通滤波 Low-Pass Filter 减少低频噪声 : 高通滤波 High-Pass Filter 增强窄带信号 : 带通滤波 Band-Pass Filter 滤除干扰频率 : 限波滤波 Notch Filter 滤波器设计工具 :Matlab(FDA Tool),FilterLab,ADI 滤波器设计工具

23 4.2 元器件的选择 有源器件的选择 电阻的选择 电容的选择 电感的选择

24 4.2.1 有源器件的选择 有源器件选择指南

25 4.2.1 有源器件的选择 各类晶体管前置放大器的性能 晶体管种类放大器组态输入阻抗 /Ω 输入噪声电压方均根值 /nv 应用温度范围 /K 备注 1KHZ 100kHz 共发射极 ~398 双极性晶体管 射极跟随器 ~398 结型场效应晶体管 共基极 ~398 共源极 ~398 源极跟随器 ~398 硅棒 MOS 和绝缘栅型场效应晶体管 共源极 ~398 源极跟随器 ~398 输入阻抗是对低温下的器件而言

26 4.2.2 电阻的选择 优选金属膜电阻或线绕电阻 对噪声没要求的时候, 可选择碳膜电阻, 比较经济 注意电阻的阻值会随着通过信号的频率呈现变化, 线绕电阻存在电感, 在高频时阻抗大 电阻的功率选择 : 工作功率要低于额定功率, 越低越好 电阻的热噪声 : 电阻越热, 噪声越大 用于采样的电阻, 要考虑温度漂移系数

27 4.2.3 电容的选择 电容实际上并非理想电容, 还存在电感和电阻 实际电容等效电路

28 4.2.3 电容的选择 各类电容适用的频率范围 :

29 4.2.4 电感的选择 实际电感的等效电路 通过选择线圈导线的粗细, 控制通过的电流大小, 改变 R 的噪声和过剩噪声 电感容易受到外磁场的影响, 受影响最大的是空心电感, 开环磁芯电感次之, 闭环磁芯电感最小

30 4.3 同相放大与反相放大的选择 同相放大电路和反相放大电路 ( 见图 ) 同相放大电路 反相放大电路 推荐使用同相放大电路 : 输入阻抗大, 但注意需要高共模抑制比 反相放大电路, 其输入端等效电阻会受到信号源内阻 R s 的影响, 如果 R s 容易随工作状态和工作环境有明显变化, 则不推荐使用

31 4.4 屏蔽和接地设计 屏蔽 : 电场屏蔽 ( 电导体 ), 磁场屏蔽 ( 磁导体 : 软磁材料 ) 接地 : 三种接地形式和对比

32 4.4 屏蔽和接地设计 ( 续 ) 串联一点接地并联一点接地多点接地 简单, 方便, 对噪声要求不高时可用 广泛用于脉冲数字电路 不适合各部分电路功率较大的情形 不适合模数混合电路 ( 将导致模拟部分变差 ) 不适用于微弱信号放大 高频时, 感抗和分布电容的影响将导致相互干扰 向外发射电磁辐射噪声 小于 1MHz 时可考虑使用 频率为 1~10MHz 时, 最长接地线不超过波长的 1/20 超过 10MHz 时, 必须使用多点接地方式 适用于高频电路, 有利于降低接地阻抗 用于低频电路, 特性不如单点并联接地方式

33 5. 传感器的标定和校准 以甲醛传感器标定为例, 有静态标定技术和动态标定技术 静态标定技术 : 气体相对于传感器是静止的, 使用 密闭舱 动态标定技术 : 气体相对于传感器是流动的, 使用 流通池 传感器的校准技术 : 在云端对传感器进行校准

34 5.1 静态标定技术 彻底清洗标定舱放置甲醛蒸发皿在蒸发皿中放入计算好的甲醛放置传感器和标准仪器开始甲醛蒸发读取传感器数据和标准仪器数据记录数据对应关系生成校准系数

35 5.1 静态标定技术 浓度随时间不断变化, 使得很难找到一个时刻, 来对齐测量的数据

36 传感器流量计 准气标准表标5.2 动态标定技术 Maxense 云 ( 气体 ) 传感器使用的标定方法

37 5.2 动态标定技术

38 5.3. 传感器在线校准技术 (MAXENSE 云端校准引擎 ) Maxense 云传感器 云端数据存储 检索标定场景 筛除无效数据 生成标定信息 数据计算验证

39 5. 传感器的在线校准 - 实例分析 温度 ( ) 开窗换气 湿度 (RH%) 甲醛 (ppm) 零点漂移 -0.04

40 5. 传感器的在线校准 - 实例分析 零点漂移 :-0.04 ppm 测量值 ( 未修正 ) 0.07 ppm 安全 测量值 ( 修正后 ) 0.11 ppm 危险 国家标准 : 室内甲醛不高于 0.08ppm( 0.10mg/m3)

41 6. 展望 : 多维融合, 无限可能 移动化智能化微型化多样化集成化 智能化 :1) 感知与处理 计算 存储 联网 控制 自校准 自诊断融合 ;2) 结合人工智能 : 模糊控制, 神经网络等算法 移动化 : 克服节点资源限制, 在定位, 同步, 能量采集, 安全认证等方面进一步发展 微型化 : 降低尺寸的同时降低功耗, 原理改进, 提高精度, 集成化, 智能化, 与光学 生物学交叉制造新型传感器 ; 纳米技术的传感器 集成化 : 线性阵列传感器, 不同种类传感器集成在一个硅片上 多样化 : 新材料与新技术的融合, 光学 气敏 生物 化学等领域将诞生更多先进传感器

42 6.2 传感器将与更多技术融合 行动 机器人 传感器 人工智能 大数据 机器学习 1. 传感器产生数据 2. 大数据支撑机器学习 3. 机器学习改善 AI 4. 人工智能指导机器人行动 5. 机器人采取行动 6. 行动触发传感器

43 6. 展望 : 多维融合, 无限可能 : 跨界融合, 边界变得模糊 传感器 1. 传感器产生数据 行动 机器人 数据 机器学习 2. 大数据支撑机器学习 3. 机器学习改善 AI 4. 人工智能指导机器人行动 5. 机器人采取行动 人工智能 6. 行动触发传感器

44 结语 : 物联网改变整个世界 互联网改变了人和人的交互 无限可能 物联网带来了物和物的合作 云计算提供了 : 计算, 存储 改变整个世界

45 谢谢! Maxense, 为物联智能硬件加速! 北京艾克艾瑞科技有限公司技术总监 : 高志兴 2015 年 12 月 4 日深圳

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