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1 Chapter 3 1

2 N P 掺 ( 掺 ) MOS 2

3 3

4 掺 Si Ge (SiGe), (SiC) (GaAs), (InP) 4

5 5

6 P 掺 掺 N 掺 6

7 , E c, E g, E v 7

8 E g = 1.1 ev E g = 8 ev 2.7 cm 4.7 cm ~ cm > cm 8

9 Shared electrons Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si Si - Si 9

10 N ( ) 掺 Si Si Si Si As Si, E c E g = 1.1 ev E d ~ 0.05 ev Si Si - Si, E v 10

11 P ( ) 掺, E c Si Si Si Si B Si E g = 1.1 ev Si Si - Si, E v E a ~ 0.05 ev 11

12 , E c, Ec, Ec E g = 1.1 ev E a ~ 0.05 ev E g = 1.1 ev E g = 1.1 ev, E v, E v, E v 12

13 掺 N, 掺 13

14 掺 掺 ( ) 掺 N P 14

15 (Bipolar transistor) (MOS transistor) 15

16 l h w R l wh 16

17 IC 掺 17

18 l d h hl d C F/m 18

19 DRAM High- 19

20 掺 20

21 RC,, l I d w 21

22 P-N 22

23 V1 V2 P1 P2 V1 > V2, P1 > P2, V1 < V2, P1 < P2, 23

24 P-N P N Vn Vp V0 24

25 Intrinsic Potential) kt V ln 0 q N a 2 i n N d k N a T q N d n i V 0 ~ 0.7 V 25

26 I -I 0 V 26

27 PNP NPN 27

28 NPN PNP E E B C B N P N C C E B C B P N P E 28

29 NPN Al Cu Si SiO 2 n + p n p + + n + P p + N 29

30 NPN CVD CVD CVD p n + p n + n + P 30

31 MOS Metal-oxide-semiconductor MOSFET (MOS Field Effect Transistor) 31

32 NMOS V G V D V G SiO 2 n + p-si n + V D 32

33 NMOS V G = 0 V D V G > V T > 0 V D > 0 SiO 2 n + p-si n + SiO 2 n p-si n + 33

34 PMOS V G = 0 V D V G < V T < 0 V D > 0 SiO 2 p + n-si p + SiO 2 p n-si p + 34

35 MOSFET 35

36 MOSFET BiCMOS : : (LED) 36

37 100% 8% 4% 50% MOSFET 88%

38 IC IC chip 1961,, $ TV, VCR, 38

39 PMOS MOFET, NMOS 39

40 NMOS PMOS 1970s 1980s 1980s CMOS 40

41 CMOS 1980s IC 41

42 CMOS V dd V in V out PMOS V in V out NMOS In Out V ss

43 CMOS IC n + p + / p-si STI n-si USG Bulk Si 43

44 BiCMOS CMOS + bipolar 1990s CMOS Bipolar CMOS IC 1 44

45 IC (ASIC) 45

46 Dynamic random access memory (DRAM) Static random access memory (SRAM) Erasable programmable read only memory (EPROM) FLASH (EEPROM) 46

47 DRAM IC 47

48 DRAM NMOS V dd 48

49 SRAM (cache memory) 6 DRAM 49

50 EPROM (BIOS) UV 50

51 EPROM V G V D n p-si n + 51

52 EPROM V G >V T >0 V D > 0 n + 2 e - e - e - e - e - e - e - p-si n + 52

53 EPROM V G = 0 UV light V D n + e - e - 2 p-si n + 53

54 54 IC IC, SiO 2 CMP CVD PVD ( RIE) ( ) ( ) ( ) ( )

55 掺 掺 55

56 SiO 2 P-Silicon n + 56

57 n + n-epi P-Silicon 57

58 SiO 2 p + n-epi p+ n + P-Silicon 58

59 p + n + p n + n-epi p+ n + P-Silicon 59

60 SiO 2 Al Cu Si p + n + p n+ n-epi p + n + P-Silicon 60

61 SiO 2 Al Cu Si p + n + p n+ p + n-epi n + P-Silicon CVD oxide 61

62 1960s: PMOS IC 掺 PMOS 62

63 PMOS (1960s) (R) (R) (A) (R) 1. ( / ) (P) (A) (R) 4. ( ) (P) / (R) (R) S/D ( / ) (A) (R) 2. ( ) (P) (H) (R) CVD (A) / (R) 5. ( ) (P) (A) (R) 3. ( ) (P) 63

64 PMOS CVD p + N-Silicon p + 64

65 N-Silicon N-Silicon N-Silicon N-Silicon 65

66 /UV Light / N-Silicon N-Silicon N-Silicon N-Silicon 66

67 / 掺 N-Silicon p + p + N-Silicon p + p + N-Silicon p + p + N-Silicon 67

68 Al Si p + p + N-Silicon p + p + N-Silicon CVD p + N-Silicon p + p + N-Silicon p + 68

69 NMOS (1970 掺 NMOS PMOS NMOS PMOS 69

70 , P + n + n + p-silicon / 70

71 NMOS (1970s) PSG PSG/USG / / / S/D CVD 5. CVD USG PSG 71

72 NMOS p-si p-si p-si p-si p-si poly p-si poly P + p-si poly poly n + p-si n + 72

73 NMOS PSG PSG poly p-si PSG poly p-si PSG PSG PSG poly p-si Al Si PSG poly p-si Al Si Al Si Si 3 N 4 PSG poly p-si PSG poly n + n + p-si 73

74 CMOS 1980s MOSFET LCD LED CMOS NMOS IC 74

75 CMOS 75

76 CMOS PD2 Nitride PD1 Oxide 2, Al Cu Si p + n + IMD PMD n + Al Cu Si BPSG LOCOS SiO 2 p + P USG p + p + N 76

77 CMOS 2, 1, USG 4 FSG 3 2 M 1 PSG n + n + FSG FSG FSG FSG FSG STI USG p + p + P-well N-well P-epi P-wafer Ti/TiN PMD 77

78 掺 78

79 掺 (B) P 掺 P) (As) (Sb) N 掺 掺 N P 79

80 R= l/a C= A/d DRAM MOSFET 80

81 1980 MOSFET IC IC ASIC CMOS 81

82 CMOS ( ) / ( ) 82

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