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4 CONTENTS 目 录 芯片储备信息 1 SiGeHBT 的应用和发展 19 美国关于裸芯片的计划和世界市场 21 条带引线键合的测试 25 行业动态 27 蓝天碧野白桦醉 跃马纵歌塞罕坝 28 中国芯片银行通过 ISO9000 认证 扉页 北京华芯微 MOSFET 新品通过鉴定 封三 芯片技术通讯 编辑部 中国芯片银行主办发行 编辑 孟瑾 联系电话 PDF 文件使用 "pdffactory Pro" 试用版本创建

5 SiGeHBT 的 应 用 和 发 展 张 伟 严 利 人 李 高 庆 王 玉 东 清 华 大 学 微 电 子 学 研 究 所 中 电 华 清 微 电 子 工 程 中 心 有 限 公 司 1 SiGeHBT 的 特 点 和 应 用 领 域 锗 硅 (SiGe) 技 术 被 称 为 第 二 代 硅 微 电 子 技 术 SiGeHBT 利 用 在 基 区 Si 中 引 入 少 量 的 Ge(10~20%), 使 得 直 流 电 流 增 益 不 再 唯 一 地 依 赖 于 发 射 区 和 基 区 的 掺 杂 浓 度 比, 从 而 可 将 基 区 掺 杂 浓 度 大 幅 度 地 提 高, 在 降 低 基 区 厚 度 际 工 作 频 段 的 上 限 可 达 几 十 GHz, 其 应 用 主 要 集 中 在 无 线 / 通 讯 领 域, 涵 盖 了 GPS, 广 播,DCS PCS DECT CDMA 等 不 同 的 制 式 与 系 统 标 准 的 移 动 通 讯, 宽 带, 家 用 射 频, 蓝 牙, 卫 星 通 讯, 卫 星 电 视, 超 链 接 应 用, 超 宽 带 系 统 等 提 高 Ft 的 同 时, 还 可 有 效 地 降 低 基 极 电 阻, 使 噪 声 系 数 和 功 率 增 益 都 能 得 到 很 大 的 改 善, 因 此,SiGe 技 术 可 以 大 幅 度 地 提 高 器 件 的 频 率 性 能 此 外,SiGe 技 术 最 具 吸 引 力 的 优 势 之 一, 是 与 Si 工 艺 有 良 好 的 兼 容 性 硅 器 件 在 微 电 子 技 术 发 展 中 至 今 保 持 着 统 治 地 位, 相 关 技 术 和 设 备 的 发 展 使 其 集 成 度 越 来 越 高, 成 本 越 来 越 低 在 微 波 和 高 速 领 域, 由 于 Si 材 料 自 身 的 弱 点, 要 进 一 步 提 高 硅 器 件 及 其 集 成 电 路 的 工 作 频 率 比 较 困 难 SiGeHBT 器 件 制 作 工 艺 与 常 规 硅 工 艺 的 相 兼 容, 其 性 能 比 硅 BJT 好, 成 本 比 GaAs 和 InP 器 件 低, 因 此, SiGeHBT 具 有 高 的 性 价 比 SiGeHBT 之 所 以 有 很 好 的 频 率 性 能, 原 因 在 于 应 变 SiGe 材 料 的 能 带 结 构 具 有 Eg 小 且 与 Si 之 间 的 能 带 偏 移 几 乎 全 部 发 生 在 价 带 因 此, 对 SiGe/Si 异 质 结 的 NPN 晶 体 管 而 言, 基 区 能 带 结 构 主 要 表 现 为 价 带 上 移, 使 基 区 向 发 射 区 注 入 空 穴 需 克 服 的 势 垒 增 加, 从 而 极 大 地 增 加 了 发 射 结 的 发 射 效 率, 使 晶 体 管 的 直 流 放 大 系 数 得 以 提 高 这 就 允 许 提 高 基 区 的 掺 杂 浓 度, 使 得 基 区 厚 度 可 以 做 得 很 薄, 减 少 了 基 区 渡 越 时 间, 而 高 的 基 区 掺 杂 浓 度 既 有 效 地 抑 制 了 发 射 极 电 流 集 边 效 应, 其 穿 通 电 压 又 不 至 于 很 低, 同 时 还 有 利 于 降 低 Rbb, 降 低 噪 声 系 数 和 提 高 fmax 这 就 是 SiGeHBT 具 有 优 良 的 频 率 和 低 噪 声 性 能 的 关 键 所 在 ITRS( 国 际 半 导 体 技 术 发 展 路 线 路 ) 对 SiGe 技 术 给 予 了 充 分 的 重 视, 将 其 列 为 未 来 几 年 的 主 要 技 术 发 展 方 向 之 一 ITRS 是 国 际 上 较 为 权 威 的, 集 成 电 路 制 造 业 的 发 展 指 南 从 ITRS 2003 年 度 的 报 告 来 看, 未 来 几 年 产 业 发 展 的 重 点 集 中 在 光 刻 技 术 互 连 技 术 量 测 测 试 与 封 装 工 厂 控 制 与 管 理 成 品 率 提 高 技 术 等 方 面, 而 无 线 应 用 被 列 为 与 上 述 主 题 同 等 重 要 的 一 个 工 作 领 域 对 于 无 线 通 讯 方 面 的 主 要 应 用, ITRS 发 展 规 划 强 调 了 SiGe 技 术 的 重 要 性 图 1 即 取 自 ITRS 2003 版 的 指 南 从 图 中 可 以 看 到,SiGe 器 件 和 集 成 电 路 的 实 图 1. 不 同 材 料 器 件 / 电 路 的 应 用 频 段 基 于 SiGe 技 术 制 造 的 各 类 高 性 能 微 波 器 件 与 微 波 集 成 电 路, 可 工 作 于 几 百 MHz 到 几 十 GHz 的 高 频 频 段 在 这 一 频 段 范 围 中, 密 集 集 中 着 大 量 的 实 际 应 用, 例 如 GPS, 广 播, 移 动 通 讯 ( 又 分 为 DCS PCS DECT CDMA 等 不 同 的 制 式 与 系 统 标 准 ),WLAN 宽 带 ( 又 分 为 b/g,802.11a 等 不 同 的 制 式 与 系 统 标 准 ),HomeRF 家 用 射 频,Bluetooth 蓝 牙, 卫 星 通 讯, 卫 星 电 视,hyperlink 超 链 接 应 用,UWB 超 宽 带 系 统,LMDS 本 地 多 点 分 配 接 入 系 统 ( 俗 称 无 线 光 纤 ), 等 等 上 述 民 用 市 场 之 外, 在 国 防 军 事, 例 如 军 事 通 讯, 近 距 离 无 线 通 话, 位 置 侦 测, 导 弹 制 导 等 各 方 面, 也 具 有 极 其 重 要 的 应 用 因 此, 进 行 基 于 SiGe 技 术 的 微 波 器 件 与 集 成 电 路 的 量 产 制 造, 有 着 异 常 广 泛 的 应 用 前 景 另 外 在 低 温 下,SiGeHBT 的 hfe 是 上 升 趋 势, 其 增 益 等 高 频 参 数 不 会 恶 化 因 此, 低 温 下 应 用 时,SiGeHBT 比 硅 BJT 有 明 显 的 优 势 2 国 外 SiGeHBT 的 发 展 1987 年 IBM 的 S. S. Iyer 制 造 了 第 一 支 有 器 件 性 能 的 SiGe HBT;1989 年 IBM 采 用 UHV/CVD( 外 延 温 度 550µC) 制 造 了 第 一 只 基 区 Ge 组 分 渐 变 多 晶 发 射 极 SiGe HBT;1990 年,IBM 的 G.L. Patton 报 道 了 当 时 速 度 最 快 (Ft=75GHZ) 的 SiGe HBT 这 个 记 录 几 乎 是 当 时 最 先 进 Si BJT 的 两 倍 ;1992 年 IBM 报 道 了 第 一 个 SiGe BiCMOS 工 艺 ;1993 年 IBM 和 Analog Devices Inc. 19

6 制 造 了 第 一 个 SiGe LSI(1.2Gbps DAC);1994 年 在 商 业 化 的 产 品 中 开 始 采 用 SiGe HBT 技 术 (200mm 晶 圆 片 );1998 年 2 月, 德 国 TEMIC 公 司 (Atmel 全 资 子 公 司 ) 推 出 了 商 业 化 的 SiGe HBT 工 艺,1998 年 10 月,IBM 推 出 了 商 业 化 的 SiGe BiCMOS 5HP 工 艺 (0.42um SiGe HBT 和 3.3V 0.5µm CMOS 结 合 ), 为 全 球 数 十 家 通 信 公 司 提 供 代 工 服 务,SiGe 技 术 从 此 进 入 了 集 成 电 路 主 流 工 艺 的 行 列 ;2002 年 2 月,IBM 用 SiGe BiCMOS 8HP 工 艺 制 作 了 业 界 速 度 最 快 的 环 形 振 荡 器, 其 工 作 频 率 110GHz, 电 路 延 时 4.3ps, 而 当 前 最 快 的 InP 同 类 电 路 的 延 时 为 4.6ps 回 顾 SiGeHBT 的 发 展 历 程, 可 以 看 出 学 界 和 商 界 对 其 的 青 睐 由 图 2 可 见 SiGeHBT 的 特 征 频 率 一 度 扶 摇 直 上, 直 至 2003 年,IBM 报 道 了 Ft 为 375GHz 的 SiGeHBT, 之 前 这 样 的 频 率 只 有 InP 器 件 才 能 达 到 长 5 英 寸 的 SiGe 外 延 片 清 华 大 学 微 电 子 学 研 究 所 与 信 息 产 业 部 电 子 十 三 所 合 作, 研 制 出 国 内 第 一 个 SiGe/Si 微 波 功 率 HBT, 工 作 频 率 为 900MHz 时,PAE = 63%,Gp = 7.4dB, 连 续 波 输 出 功 率 为 5W,1999 年 10 月, 这 一 科 研 成 果 获 信 息 产 业 部 科 技 进 步 三 等 奖, 评 价 为 国 内 领 先, 且 某 些 指 标 达 到 国 际 先 进 水 平 在 国 家 863 计 划 SOC 设 计 方 法 及 其 关 键 支 撑 技 术 专 题 的 RF 电 路 模 块 和 相 关 关 键 实 现 技 术 研 究 课 题 支 持 下, 对 SiGe 材 料 生 长 的 衬 底 处 理 工 艺 烘 烤 工 艺 SiGe 膜 的 表 面 形 貌 SiGe 晶 体 的 组 分 和 质 量 以 及 对 应 变 SiGe 层 的 评 价 体 系 进 行 了 系 统 的 研 究, 并 且 在 5 英 寸 0.8um 的 CMOS 生 产 线 上 开 发 出 与 CMOS 工 艺 兼 容 的 低 热 开 销 的 单 晶 发 射 极 多 晶 发 射 极 台 面 结 构 以 及 准 自 对 准 结 构 等 不 同 的 SiGeHBT 工 艺 技 术, 成 功 的 研 制 出 2.4GHz 下 Po=2W,Gp=10dB 的 微 波 功 率 SiGeHBT 为 了 使 科 研 成 果 产 业 化, 清 华 大 学 与 中 国 电 子 信 息 产 业 集 团 公 司 合 作, 成 立 了 中 电 华 清 微 电 子 工 程 中 心 有 限 公 司, 在 SiGe 技 术 科 研 成 果 的 基 础 上, 设 计 了 满 足 不 同 需 求 的 中 小 功 率 微 波 SiGeHBT 系 列 产 品 和 SiGeMMIC 电 路, 现 已 进 入 小 批 量 试 生 产 阶 段 图 2 SiGeHBT 特 征 频 率 的 进 展 SiGe 技 术 已 获 得 了 长 足 的 进 展, 对 现 代 通 信 技 术 的 发 展 产 生 了 深 远 的 影 响 在 无 线 通 信 市 场 需 求 爆 炸 性 增 长 的 时 期, SiGeHBT 的 发 展 和 应 用 如 日 中 天 持 有 SiGe 技 术 的 IBM JAZZ TEMIC MAXIM 等 家 半 导 体 厂 商 在 半 导 体 低 谷 期 逆 势 走 强, 赚 足 了 利 润 SiGe HBT 的 性 能 集 成 和 效 率 优 势 使 得 产 品 体 积 更 小 电 池 寿 命 更 长 信 息 处 理 更 快 通 信 质 量 更 好 SiGe 技 术 对 现 代 通 信 的 影 响 巨 大 3 国 内 SiGeHBT 的 发 展 国 内 对 SiGe 技 术 的 研 究 开 始 于 20 世 纪 90 年 代 清 华 大 学 北 京 大 学 中 科 院 物 理 所 中 科 院 半 导 体 所 北 京 工 业 大 学 西 安 电 子 科 技 大 学 电 子 科 技 大 学 中 国 电 子 科 技 集 团 公 司 第 24 研 究 所 等 单 位, 先 后 在 SiGe 设 备 材 料 生 长 器 件 或 电 路 的 制 作 方 面 取 得 了 一 定 的 成 果 其 中, 清 华 大 学 微 电 子 学 研 究 所 在 SiGe 设 备 材 料 和 器 件 方 面 的 科 研 成 果 有 : 在 国 家 自 然 科 学 基 金 的 支 持 下,1998 年 研 制 开 发 出 了 国 内 第 一 台 具 有 自 主 知 识 产 权 的 超 高 真 空 化 学 气 相 淀 积 系 统 该 系 统 具 有 操 作 简 便 材 料 生 长 均 匀 性 好 晶 体 质 量 高 等 优 点, 并 获 得 了 国 家 发 明 专 利, 专 利 号 为 : 在 2002 年 国 家 863 计 划 的 超 大 规 模 集 成 电 路 配 套 材 料 重 大 专 项 大 直 径 SiGe/Si 外 延 材 料 课 题 支 持 下, 在 改 造 SGE400 UHV/CVD 外 延 系 统 的 基 础 上, 完 成 了 SGE500/600 UHV/CVD 外 延 系 统 的 研 制 安 装 调 试 和 工 艺 实 验, 可 生 (1) 中 小 功 率 微 波 SiGeHBT 系 列 产 品 的 典 型 参 数 为 : 注 : 表 中 RF 参 数 均 为 ST-32 金 属 陶 瓷 微 带 管 壳 封 装 后 所 测 结 果 (2) 适 用 于 中 放 的 达 林 顿 结 构 SiGeHBT MMIC, 其 典 型 参 数 如 下 : 插 入 增 益 : S 21 2 = 23 ; 输 入 驻 波 比 输 出 驻 波 比 噪 声 系 数 :N f =2 工 作 电 压 :V D = 3.5 V; 工 作 电 流 :I D = 35 ma (3) 正 在 进 行 的 研 究 开 发 的 项 目 有 :S 波 段 SiGeHBT 功 率 管 微 波 低 噪 声 放 大 器 FT 达 25GHz 的 SiGeHBT 4 结 束 语 SiGe 器 件 和 电 路 可 工 作 于 几 百 MHz 到 几 十 GHz 的 高 频 频 段, 目 前 已 成 为 RF 电 路 的 主 流 技 术 之 一 虽 然 国 产 的 SiGeHBT 产 品 性 能 与 国 外 相 比 还 有 很 大 的 差 距, 前 面 还 有 很 长 的 路 要 走, 但 目 前 我 们 小 批 量 投 放 市 场 的 SiGeHBT 反 应 良 好 随 着 SiGe 技 术 研 究 的 不 断 进 步 和 市 场 培 育 的 逐 步 完 成, 国 产 SiGeHBT 的 性 能 和 市 场 占 有 率 也 将 不 断 提 高 20

7 美 国 关 于 裸 芯 片 的 计 划 和 世 界 市 场 蔡 少 英 供 稿 1. 摘 要 Known Good Die( 已 知 合 格 芯 片 ) 这 一 术 语 形 成 于 90 年 代 初, 用 于 描 述 准 备 用 于 多 芯 片 组 件 (MCM) 的 集 成 电 路 因 此 这 些 IC 是 已 经 知 道 至 少 能 满 足 与 同 等 封 装 元 器 件 同 样 严 格 的 质 量 与 可 靠 性 指 标 我 们 也 知 道 这 些 IC 是 昂 贵 的 组 装 困 难 的 脆 弱 的, 以 及 其 他 一 系 列 负 面 的 特 性 ; 其 中 某 些 特 性 实 际 上 是 固 有 的 最 近, 在 微 电 子 工 业 占 领 导 地 位 的 公 司 获 悉, Known Good Die 流 程 在 今 天 高 度 竞 争 的 环 境 中 对 于 以 低 成 本 生 产 大 批 量 高 可 靠 IC 的 基 准 线 来 说 非 常 有 利 结 果, Known Good Die 一 词 被 用 于 描 述 使 IC 达 到 全 面 要 求 状 态 的 过 程 ( 不 论 最 终 的 封 装 外 形 因 素 是 什 么 ) 因 此 向 市 场 提 供 裸 芯 片 的 公 司 创 造 了 一 个 新 的 术 语 芯 片 产 品 本 文 将 研 究 芯 片 产 品 市 场 目 前 的 状 态, 介 绍 目 前 正 在 进 行 的 改 善 基 础 设 施 和 发 展 市 场 转 换 技 术 的 各 种 计 划 2. 包 括 KGD 的 芯 片 产 品 便 携 式 消 费 产 品 已 经 成 为 今 天 电 子 系 统 进 步 的 推 动 因 素 这 些 系 统 的 竞 争 在 很 大 程 度 上 要 依 赖 于 尺 寸 永 远 都 是 越 小 越 好 以 更 小 的 体 积 提 供 更 多 的 功 能 加 剧 了 消 费 业 的 激 烈 竞 争 IC 行 业 对 这 类 竞 争 有 特 殊 的 接 受 能 力, 过 去 都 是 采 用 收 缩 的 方 法 在 特 定 器 件 消 耗 的 单 位 硅 面 积 中 提 供 更 多 的 功 能 但 对 于 几 个 市 场 ( 如 通 信 玩 具 等 ) 世 界 领 先 的 OEM 来 说, 摩 尔 定 律 还 没 有 发 挥 足 够 快 的 作 用 这 些 公 司 正 在 通 过 消 除 IC 封 装 来 增 加 产 品 的 收 缩 程 度 这 可 大 大 缩 小 尺 寸 和 重 量 ; 这 也 是 在 今 天 的 消 费 产 品 市 场 中 获 得 竞 争 优 势 的 理 想 捷 径 这 也 是 在 产 品 中 加 快 采 用 裸 芯 片 的 根 本 原 因 IC 封 装 对 于 IC 制 造 厂 和 系 统 安 装 厂 来 说 都 有 许 多 好 处 IC 封 装 可 为 防 止 环 境 ( 特 别 是 湿 度 和 污 染 ) 的 损 坏 提 供 保 护 封 装 尺 寸 相 对 较 大, 可 方 便 生 产 和 工 艺 加 工 封 装 还 提 供 了 一 种 热 管 理 机 制, 即 通 过 连 接 到 芯 片 或 背 面 的 金 属 ( 通 过 热 芯 片 连 接 ) 把 IC 产 生 的 热 量 传 导 出 去 封 装 还 提 供 有 到 封 装 引 线 的 电 连 接, 并 可 暂 时 安 装 在 插 槽 中 以 方 便 进 行 测 试 或 故 障 排 除 IC 生 产 厂 利 用 了 这 些 好 处 来 进 行 试 验 和 可 靠 性 筛 选 封 装 可 避 免 进 行 深 入 的 裸 芯 片 试 验 和 筛 选, 这 些 试 验 和 筛 选 有 可 能 损 坏 器 件 或 产 生 虚 假 的 负 面 试 验 结 果 而 且 裸 芯 片 试 验 环 境 还 较 难 控 制,IC 生 产 厂 在 建 立 试 验 结 果 与 使 用 环 境 之 间 的 相 关 性 时 更 为 困 难 但 第 一 层 电 子 产 品 封 装 的 好 处 是 有 代 价 的 经 过 封 装 的 IC 由 于 IC 焊 接 区 上 增 加 了 电 容 电 感 和 引 线 长 度 而 使 电 性 能 下 降 除 了 IC 封 装 本 身 的 性 能 限 制 以 外, 封 装 轨 迹 越 大, 下 一 层 互 连 会 受 内 部 IC 引 线 尺 寸 和 扇 出 的 影 响 而 越 不 理 想 图 1 是 IC 封 装 的 尺 寸 重 量 和 典 型 板 空 间 如 图 所 示, 消 除 第 一 层 互 连, 把 芯 片 直 接 连 接 到 互 连 衬 底 上 有 多 方 面 的 吸 引 力, 即 有 更 高 的 I/O 密 度 轮 廓 更 小 引 线 更 短 和 重 量 较 轻 和 大 多 数 的 技 术 开 发 一 样, 在 选 择 解 决 方 案 时 费 用 问 题 总 是 首 要 的 因 素 过 去 芯 片 供 应 商 和 用 户 的 目 标 是 把 KGD 的 费 用 降 低 到 与 封 装 部 件 试 验 和 老 练 费 用 相 当 的 水 平, 而 今 天 芯 片 产 品 生 产 厂 对 此 的 要 求 有 过 之 而 无 不 及 在 许 多 情 况 下 生 产 裸 芯 片 的 费 用 比 封 装 中 的 同 等 部 件 要 低 这 主 要 归 功 于 用 于 试 验 可 靠 性 筛 选 和 运 输 加 工 的 设 施 有 了 很 大 的 进 步 图 1 先 进 消 费 产 品 每 平 方 英 寸 的 连 接 数 21

8 3. 老 练 问 题 老 练 是 可 靠 性 筛 选 过 程, 传 统 上 是 用 于 微 电 子 工 业 以 降 低 IC 器 件 的 早 期 失 效 风 险 通 过 施 加 加 速 应 力 使 所 有 安 装 的 器 件 老 化, 使 有 缺 陷 的 器 件 失 效 除 了 与 温 度 有 关 的 应 力 以 外, 动 态 老 练 一 般 是 通 过 施 加 最 大 电 源 电 压 来 进 行 在 器 件 输 入 上 施 加 随 机 图 形, 引 起 内 部 节 点 锁 定 (toggle); 其 思 路 是 在 老 练 期 间 对 所 有 节 点 施 加 应 力, 老 练 时 间 从 几 小 时 到 几 图 2 倒 装 片 的 格 式 在 PCB 上 占 据 的 轨 迹 最 小 微 电 子 工 业 正 开 始 建 立 新 的 典 范, 即 芯 片 产 品 的 倒 装 片 安 装 ; 这 种 安 装 技 术 的 好 处 因 不 同 应 用 而 不 同, 包 括 有 : 可 靠 性 通 过 消 除 至 少 一 层 封 装 使 系 统 可 靠 性 因 减 少 了 互 连 而 得 到 提 高 芯 片 接 触 从 外 围 接 触 芯 片 正 成 为 一 个 问 题, 因 为 芯 片 尺 寸 ( 外 围 周 长 ) 的 增 长 没 有 引 脚 数 那 么 快, 因 此 需 要 使 用 面 阵 连 接 到 衬 底 的 倒 装 片 突 焊 芯 片 面 阵 接 触 被 认 为 是 今 天 有 数 百 ( 或 数 千 ) 引 线 的 IC 进 行 有 效 安 装 和 布 线 的 唯 一 方 法 芯 片 缩 小 自 然 带 来 费 用 的 节 约 焊 接 区 面 积 节 约 的 硅 可 达 芯 片 面 积 的 8% 低 电 感 倒 装 片 连 接 的 电 感 只 有 线 焊 的 10 分 之 1 这 对 于 10GHz 以 上 的 通 讯 应 用 是 非 常 显 著 的, 倒 装 片 的 应 用 范 围 可 从 航 空 电 子 雷 达 到 大 型 的 通 讯 系 统, 包 括 无 线 电 台 和 冲 突 避 免 自 对 准 焊 接 倒 装 片 可 按 器 件 和 衬 底 尺 寸 规 定 的 精 确 度 自 动 对 准 这 一 特 性 对 于 小 节 距 高 引 脚 数 的 器 件 非 常 有 用 低 成 本 在 大 批 量 的 情 况 下, 倒 装 片 是 成 本 最 低 的 装 配 方 法 对 于 大 直 径 高 成 品 率 ( 即 成 熟 硅 ) 高 堆 焊 密 度 来 说, 倒 装 片 在 成 本 上 是 其 他 方 法 无 法 相 比 的 表 1 目 前 几 个 先 进 封 装 技 术 的 优 缺 点 天, 可 根 据 器 件 的 成 熟 程 度 和 可 靠 性 要 求 水 平 而 定 目 前 已 有 迹 象 表 明 生 产 厂 已 经 不 再 那 么 依 赖 于 老 练 来 保 证 IC 的 可 靠 性 了 后 段 工 艺 明 显 增 加 了 器 件 的 成 本, 使 芯 片 的 封 装 和 试 验 过 程 变 得 很 昂 贵, 而 这 仅 仅 是 为 了 使 器 件 在 老 练 中 失 效 因 此, 供 应 厂 正 在 努 力 开 发 圆 片 级 的 可 靠 性 筛 选, 从 而 在 任 何 后 段 装 配 封 装 和 试 验 之 前 消 除 较 弱 的 部 件 洁 净 室 从 来 也 没 有 这 么 洁 净 过, 比 1 级 还 要 好 这 大 大 降 低 了 静 态 温 度 加 速 的 缺 陷 类 型 由 于 今 天 现 代 化 的 生 产 需 要 极 高 的 费 用, 因 此 对 于 缺 陷 的 降 低 首 先 选 择 工 艺 改 进 措 施, 这 可 大 大 改 进 每 个 工 艺 过 程 产 生 的 成 品 率 ; 同 时 也 有 助 于 改 进 可 靠 性 有 些 试 验 和 可 靠 性 筛 选 方 法 可 在 圆 片 级 有 效 使 用, 因 此 可 用 于 提 高 消 除 缺 陷 IC 在 货 运 前 确 定 一 批 中 的 早 期 失 效 的 概 率 这 种 减 少 老 练 的 方 法 对 于 所 有 芯 片 ( 不 论 是 否 最 终 封 装 形 式 ) 都 是 非 常 有 价 值 的 工 艺 过 程 对 这 一 技 术 目 前 正 通 过 一 个 由 芯 片 产 品 联 合 会 的 成 员 进 行 的 多 公 司 实 验 进 行 评 价 高 可 靠 性 应 用 的 系 统, 特 别 是 非 维 修 系 统, 可 能 仍 然 要 求 大 量 的 IC 老 练 来 获 得 合 格 的 现 场 失 效 率 4. 历 史 回 顾 早 在 九 十 年 代 初, 许 多 公 司 就 开 发 出 了 可 用 非 常 小 的 节 距 互 连 电 器 件 的 基 于 高 密 度 薄 膜 的 衬 底, 使 系 统 集 成 人 员 可 考 虑 用 多 个 高 性 能 IC 直 接 安 装 在 细 线 衬 底 上 的 方 法 来 安 装 产 品 许 多 在 这 方 面 非 常 积 极 主 动 的 公 司 都 是 垂 直 集 成 型 公 司, 他 们 不 仅 控 制 硅 的 设 计, 而 且 还 控 制 互 连 技 术 和 安 装 过 程 这 一 技 术 的 应 用 包 括 极 高 可 靠 性 的 武 器 和 宇 航 系 统, 在 这 些 系 统 中 性 能 是 最 关 键 的 参 数 当 时 许 多 工 作 的 重 点 都 是 放 在 使 IC 在 宽 温 度 范 围 内 能 满 足 这 些 应 用 的 最 佳 可 靠 性 上, 因 此 大 家 也 就 认 为 用 在 这 些 先 进 COB( 板 上 芯 片 ) 应 用 中 的 裸 芯 片 需 要 非 常 的 试 验 和 可 靠 性 筛 选 才 可 接 受 在 整 个 九 十 年 代, 我 们 见 证 了 先 进 技 术 发 展 的 不 断 变 化 过 去, 军 用 和 宇 航 领 域 是 最 先 进 复 杂 电 子 设 备 的 最 积 极 的 开 发 者 ; 而 到 了 九 十 年 代 末, 却 是 消 费 电 子 系 统 采 用 了 最 先 进 的 安 装 和 封 装 技 术 对 最 高 可 靠 性 的 重 视 要 让 位 于 对 费 用 的 重 视 22

9 在 芯 片 产 品 市 场 中 竞 争 成 功 的 公 司 不 得 不 对 这 一 变 化 作 出 响 应 他 们 必 须 把 多 种 试 验 和 可 靠 性 条 件 前 移 到 圆 片 级, 在 使 IC 制 造 成 为 可 能 的 批 量 工 艺 中 获 得 经 济 效 益 但 这 需 要 有 新 的 技 术 对 试 验 和 可 靠 性 新 的 认 识 以 及 新 的 数 据 跟 踪 过 程, 才 能 对 整 个 圆 片 和 圆 片 批 作 出 决 策 5. 过 去 和 现 在 的 设 施 1994 年 6 月, 美 国 国 防 部 长 佩 里 在 一 份 给 各 军 种 的 备 忘 录 中 指 出, 只 有 在 性 能 规 范 和 商 业 标 准 不 符 合 美 国 国 防 采 办 项 目 的 需 要 时 才 可 使 用 军 用 规 范 和 标 准, 并 且 要 得 到 指 定 的 阶 段 目 标 决 策 机 构 对 项 目 的 豁 免 批 准 这 一 法 令 给 航 天 工 业 带 来 很 大 的 震 动 佩 里 的 改 革 行 动 正 式 确 认 了 微 电 子 行 业 越 来 越 明 显 的 一 个 发 展 趋 势, 即 现 代 大 批 量 IC 制 造 业 的 常 规 运 作 所 产 生 的 商 业 IC 的 质 量 和 可 靠 性 要 优 越 于 DOD 靠 规 定 和 要 求 严 格 振 动 与 烘 烤 类 试 验 所 能 够 实 现 的 质 量 和 可 靠 性 消 费 电 子 激 烈 的 竞 争 使 成 功 的 公 司 开 发 出 了 极 其 有 效 的 试 验 和 筛 选 过 程 和 设 备, 这 些 过 程 和 设 备 在 实 现 非 常 积 极 的 质 量 和 可 靠 性 目 标 的 同 时 可 把 附 加 费 用 降 低 到 最 小 佩 里 的 改 革 行 动 帮 助 改 变 了 企 业 中 可 靠 性 方 法 的 负 担, 即 从 要 求 用 户 规 定 生 产 厂 如 何 制 造 IC 以 实 现 可 靠 性, 变 成 规 定 要 求 达 到 的 可 靠 性 水 平, 从 而 使 生 产 厂 可 决 定 采 取 最 好 的 方 式 来 满 足 目 标 6. 世 界 市 场 和 需 求 世 界 对 芯 片 产 品 的 市 场 与 需 求 在 过 去 的 5 到 10 年 中 经 过 了 很 大 的 变 化 这 包 括 安 装 方 法 应 用 和 地 区 需 求 以 及 芯 片 产 品 供 应 商 的 供 应 水 平 和 质 量 水 平 表 2 本 文 讨 论 的 产 品 类 型 从 本 文 历 史 的 角 度 来 看, 过 去 芯 片 产 品 采 用 的 主 要 安 装 技 术 不 是 传 统 混 合 和 MCM 封 装 的 形 式 就 是 非 常 低 成 本 的 COB 混 合 和 MCM 安 装 要 求 使 用 昂 贵 的 封 装 以 及 增 加 工 艺 来 保 证 满 足 应 用 的 最 终 质 量 水 平, 而 COB 安 装 则 处 于 费 用 曲 线 的 反 向 端, 重 视 性 能 价 格 比 混 合 和 MCM 应 用 的 重 点 是 高 价 值 小 批 量, 主 要 驱 动 因 素 是 性 能, 而 COB 应 用 的 重 点 是 非 常 大 的 批 量, 驱 动 因 素 是 费 用 最 终 应 用 重 点 放 在 军 事 航 天 / 卫 星 航 空 电 子 汽 车 或 非 常 低 端 的 应 用, 如 玩 具 和 游 戏 随 着 信 息 时 代 的 到 来, 我 们 看 到 芯 片 产 品 的 总 需 求 上 升 到 了 超 过 各 种 传 统 封 装 需 求 的 水 平 1998 年, 芯 片 产 品 的 百 分 比 占 世 界 封 装 总 需 求 的 7%, 并 且 正 在 以 约 25% 的 年 综 合 增 长 率 (CAGR) 增 长 ( 见 图 3) 最 终 应 用 现 在 已 扩 大 到 包 括 单 片 系 统 功 率 系 统 显 示 器 子 系 统 组 件 通 讯 汽 车 和 军 事 ( 见 图 4) 这 些 已 经 不 再 仅 仅 是 高 价 值 小 批 量 性 能 驱 动 的 应 用 或 非 常 低 端 的 应 用, 而 是 以 费 用 尺 寸 和 小 型 化 为 驱 动 的 大 批 量 应 用 从 1998 年 到 2003 年 芯 片 产 品 用 量 最 大 的 将 仍 然 是 单 片 系 统 ( 即 游 戏 玩 具 钟 表 计 算 器 和 智 能 卡 ) 以 及 功 率 系 统 ( 即 AC/DC 交 换 器 发 动 机 控 制 和 IGBT 模 块 ) 但 增 长 超 过 6 倍 市 场 占 有 率 从 2% 增 长 到 6.5% 的 应 用 估 计 是 通 讯 领 域 的 应 用, 包 括 微 波 RF 光 电 子 和 无 线 LAN 应 该 指 出 的 是, 所 有 芯 片 市 场 应 用 都 会 增 长, 总 市 场 需 求 将 从 1998 年 的 49.7 亿 美 元 上 升 到 2003 年 的 亿 美 元 ( 见 图 4) 图 年 各 类 使 用 封 装 IC 的 百 分 比 年 平 均 综 合 增 长 率 (CAAGR) 为 16.9%, 这 大 大 高 于 IC 业 每 年 8% 到 11% 的 增 长 在 这 5 年 期 间 地 区 需 求 的 变 化 较 小 ( 见 图 5) 但 明 显 从 北 美 和 日 本 向 东 南 亚 转 移 主 要 是 因 为 这 两 个 地 区 的 产 品 设 计 增 加 了, 但 购 买 和 生 产 则 主 要 在 低 成 本 安 装 地 区 进 行 7. 芯 片 产 品 联 合 会 芯 片 产 品 联 合 会 (DPC) 是 几 个 先 进 微 电 子 公 司 组 成 的 合 作 组 织, 目 的 是 推 动 支 持 设 施 的 发 展, 加 速 芯 片 产 品 被 世 23

10 界 范 围 内 的 电 子 系 统 厂 家 所 采 用 联 合 会 的 创 立 成 员 是 美 国 国 家 半 导 体 公 司 TI Lucent Rockwell HP( 现 称 Agilent) 和 IBM Honeywell Chip Supply Cypress 半 导 体 Tempo 电 子 Amkor 和 Intel 于 1999 年 加 入 了 联 合 会 该 联 合 会 目 前 由 MCC 管 理,MCC 是 公 认 的 KGD 技 术 世 界 领 先 公 司 DPC 的 任 务 是 领 导 微 电 子 企 业 发 展 各 种 方 法 以 较 低 的 费 用 改 进 芯 片 产 品 ( 包 括 倒 装 片 ) 的 质 量 可 靠 性 处 理 运 输 标 准 和 相 关 设 施, 以 满 足 用 户 对 更 小 外 形 因 素 更 高 性 能 和 更 低 价 格 产 品 的 需 求 联 合 会 着 重 于 3 个 主 要 项 目 : (2)KGD 标 准 制 定 在 芯 片 产 品 市 场 项 目 中 一 个 重 要 的 话 题 是 KGD 或 裸 芯 片 标 准 作 为 芯 片 产 品 信 息 在 北 美 的 汇 集 点,DPC 正 在 与 世 界 范 围 内 的 标 准 机 构 进 行 合 作 DPC 已 经 与 欧 洲 的 Cenelec 进 行 合 作, 就 芯 片 标 准 达 成 协 议, 使 标 准 可 包 括 广 泛 基 础 和 实 际 的 用 户 要 求, 同 时 又 不 给 芯 片 供 应 商 增 加 不 实 际 的 数 据 和 过 程 信 息 要 求 (3) 芯 片 产 品 市 场 在 采 用 象 裸 芯 片 或 倒 装 片 IC 这 样 的 新 技 术 的 问 题 上, 潜 在 用 户 的 决 策 有 各 种 影 响 因 素 (1)KGD 试 验 方 法 和 可 靠 性 筛 选 有 些 试 验 和 可 靠 性 筛 选 方 法 可 在 圆 片 级 有 效 利 用, 这 些 方 法 可 提 高 消 除 缺 陷 IC 以 及 在 批 发 货 前 确 定 早 期 失 效 的 概 率 这 有 很 大 的 费 用 节 约 潜 力, 不 仅 对 芯 片 产 品 市 场, 对 于 最 新 一 代 的 在 发 货 前 封 装 的 IC 也 是 如 此 芯 片 产 品 联 合 会 已 经 确 定 了 一 套 可 靠 性 应 力 筛 选 过 程, 既 可 大 大 提 高 裸 芯 片 产 品 的 可 靠 性 又 无 需 使 用 老 练 这 些 试 验 方 法 可 应 用 在 圆 片 级 上, 结 合 标 准 的 圆 片 探 针 测 试, 试 验 时 间 增 加 很 少 这 一 试 验 方 法 与 可 靠 性 筛 选 论 证 项 目 将 验 证 这 些 试 验 方 法 在 几 个 产 品 和 圆 片 制 造 厂 中 的 有 效 性 论 证 项 目 的 目 的 是 开 发 能 有 效 加 速 和 发 现 各 种 类 型 缺 陷 的 圆 片 级 试 验 和 筛 选 方 法 该 项 目 将 为 成 员 提 供 一 个 基 准, 在 严 格 保 密 的 基 础 上 比 较 其 制 造 厂 的 缺 陷 率 和 其 他 成 员 的 经 验 该 项 目 将 开 发 工 具, 提 高 对 企 业 最 佳 实 施 方 法 的 认 识, 使 成 员 可 确 定 最 经 济 有 效 的 途 径 来 实 现 其 特 定 可 靠 性 目 标 图 5 各 地 区 的 裸 芯 片 消 耗 量 DPC 市 场 项 目 有 3 个 相 关 的 目 标 : 确 定 将 加 速 裸 芯 片 在 产 品 中 广 泛 使 用 的 因 素 ; 在 了 解 第 一 项 内 容 的 前 提 下, 确 定 适 于 DPC 执 行 的 活 动 ; 提 供 行 业 范 围 内 有 关 芯 片 产 品 销 售 和 使 用 的 信 息 交 换 和 传 播 的 场 所 为 了 促 进 这 些 目 标 的 实 现,DPC 正 在 调 查 世 界 范 围 内 的 公 司, 包 括 OEM 和 承 包 安 装 厂, 以 确 定 那 些 决 定 在 应 用 中 使 用 芯 片 产 品 的 公 司, 并 确 定 使 用 哪 些 信 息 渠 道 来 保 证 几 种 封 装 形 式 的 就 绪 状 态 和 竞 争 能 力 8. 总 结 芯 片 产 品 是 没 有 传 统 封 装 的 本 身 以 产 品 形 式 在 公 开 市 场 上 提 供 的 裸 芯 片 IC, 包 括 倒 装 片 目 前 裸 芯 片 和 相 关 支 持 产 品 的 供 应 商 面 临 着 许 多 问 题, 主 要 包 括 需 要 更 全 面 的 圆 片 级 试 验 提 高 运 输 与 处 理 方 法 需 要 更 全 面 的 芯 片 本 身 的 信 息 以 及 用 户 的 培 训 问 题 芯 片 产 品 供 应 商 开 发 的 过 程 和 技 术 正 在 大 批 企 业 中 得 到 采 用 这 一 趋 势 将 进 一 步 使 芯 片 产 品 成 图 年 和 2003 年 最 终 应 用 的 芯 片 消 耗 量 比 较 为 有 吸 引 力 的 封 装 替 代 品 24

11 条 带 引 线 键 合 的 测 试 工 艺 工 程 师 面 临 的 挑 战 及 解 决 方 案 半 导 体 组 装 和 封 装 工 艺 工 程 师 通 常 要 面 对 技 术 更 新 的 挑 战, 例 如 无 铅 化 进 程 引 进 新 产 品, 以 及 客 户 特 殊 的 质 量 要 求 由 于 产 品 可 靠 性 很 大 程 度 上 依 赖 于 引 线 键 合 的 质 量, 工 艺 工 程 师 必 须 非 常 精 通 引 线 键 合 机 的 调 试 和 参 数 优 化 而 键 合 测 试 机 则 是 实 现 键 合 工 艺 优 化 的 决 定 性 工 具 历 史 上, 在 小 信 号 和 大 功 率 半 导 体 器 件 中, 大 部 分 引 线 键 合 工 艺 采 用 的 是 截 面 为 圆 形 的 金 丝 或 铝 丝 在 当 今 的 先 进 封 装 中, 条 带 引 线 键 合 开 始 被 逐 渐 采 用 过 去 条 带 引 线 键 合 主 要 用 于 微 波 产 品 但 在 大 功 率 半 导 体 器 件 和 像 无 线 器 件 这 样 的 大 体 积 小 信 号 产 品 中, 条 带 引 线 键 合 正 变 得 愈 加 普 遍 同 圆 形 键 合 丝 相 比, 采 用 条 带 引 线 键 合 的 优 点 包 括 在 高 频 下 更 低 的 寄 生 效 应 ; 在 大 功 率 应 用 中 更 低 的 电 流 密 度 可 以 通 过 更 高 的 电 流 ; 以 及 在 线 弧 很 低 的 情 况 下 保 证 键 合 线 弧 形 状 的 稳 定 随 着 对 更 薄 封 装 需 求 的 增 加, 半 导 体 封 装 设 计 人 员 开 始 着 眼 于 采 用 条 带 键 合 来 降 低 键 合 线 弧 的 高 度 以 及 整 个 封 装 的 厚 度 建 立 测 试 条 带 键 合 的 流 程 安 装 在 引 线 键 合 工 艺 监 控 区 域 的 通 用 键 合 测 试 机 就 可 以 计 算 出 与 条 带 截 面 积 相 同 的 圆 形 引 线 断 裂 所 需 的 最 小 力 对 很 多 应 用 特 别 是 厚 度 较 薄 的 金 条 带 来 说, 键 合 拉 拔 测 试 就 足 够 了 然 而 对 条 带 引 线 而 言, 由 于 较 难 进 入 测 试 位 置, 提 高 了 测 试 的 难 度 例 如, 由 于 阻 抗 的 原 因, 微 波 应 用 需 要 键 合 线 弧 的 高 度 非 常 低 条 带 线 弧 高 度 通 常 为 50 μ m 在 宽 条 带 和 低 线 弧 的 综 合 作 用 下, 将 拉 拔 钩 置 于 线 弧 下 面 的 动 作 变 得 颇 为 棘 手 拉 拔 钩 的 选 择 为 待 测 的 键 合 线 弧 选 择 合 适 的 拉 拔 钩 非 常 重 要 用 于 圆 形 引 线 测 试 的 拉 拔 钩 一 般 都 是 一 个 薄 且 坚 硬 的 细 丝 通 常 采 用 高 弹 性 模 量 的 纯 钨 制 成 细 丝 的 末 端 被 弯 成 L 型 拉 拔 钩 的 水 平 部 分 被 称 为 钩 脚, 其 长 度 就 是 钩 子 弯 曲 部 分 到 末 端 的 距 离 对 圆 形 引 线 来 说, 美 国 军 标 883 建 议 细 丝 的 直 径 应 至 少 是 待 测 引 线 直 径 的 两 倍 如 果 在 条 带 引 线 上 也 照 搬 这 一 规 则 那 将 会 得 到 一 个 不 结 实 易 断 的 钩 子, 也 无 法 获 得 稳 定 的 测 试 结 果 用 来 测 试 条 带 引 线 此 外 用 于 圆 形 引 线 测 试 的 大 部 分 方 法 都 可 以 移 植 到 条 带 引 线 上 例 如, 工 艺 工 程 师 可 以 采 用 同 样 的 数 据 采 集 和 统 计 过 程 控 制 (statistical process control, SPC) 方 法 来 监 控 产 品 生 产 为 了 避 免 降 低 产 品 质 量, 决 定 采 用 哪 些 测 试 方 法 是 最 为 关 键 的 例 如, 当 键 合 条 带 的 材 料 强 度 低 于 键 合 强 度 时, 可 能 会 产 生 像 条 带 从 键 合 焊 盘 上 脱 离 的 工 艺 问 题 拉 拔 测 试 中, 断 裂 位 置 在 条 带 跨 越 线 弧 的 顶 端 时, 将 不 会 发 现 这 类 失 效, 因 此 这 样 的 测 试 是 没 有 价 值 的 在 这 种 情 况 中, 采 用 镊 子 或 者 剪 切 测 试 可 以 更 好 地 遴 选 出 质 量 较 低 的 键 合 条 带 拉 拔 测 试 传 统 的 键 合 拉 拔 测 试 比 较 有 价 值 同 圆 形 引 线 的 拉 拔 测 试 类 似, 该 测 试 流 程 为 将 一 个 拉 拔 钩 伸 到 条 带 下 面, 之 后 向 上 拉 条 带 直 到 发 生 断 裂 ( 图 1) 检 测 到 的 力 用 于 工 艺 监 控 该 测 试 在 大 部 分 常 见 的 键 合 拉 拔 标 准 中 都 有 描 述, 例 如 MIL-STD 883E 中 方 法 在 这 个 标 准 中 没 有 单 独 给 出 条 带 测 试 的 初 始 条 件 ; 但 工 艺 工 程 师 可 以 根 据 给 出 的 方 法 图 1. 厚 铝 条 带 键 合 的 拉 拔 测 试 为 了 确 定 适 合 的 拉 拔 钩 尺 寸, 必 须 考 虑 三 个 参 数 : 线 弧 高 度 条 带 宽 度 和 拉 断 力 线 弧 高 度 决 定 了 能 够 把 拉 拔 钩 伸 入 条 带 下 方 的 最 大 直 径 通 常 拉 拔 钩 的 末 端 加 工 成 平 面 这 样 拉 拔 钩 可 以 用 于 高 度 较 低 的 条 带 情 况, 但 也 会 在 一 定 程 度 上 降 低 拉 拔 钩 的 强 度 条 带 宽 度 决 定 了 拉 拔 钩 钩 脚 的 最 小 长 度 例 如, 如 果 拉 拔 钩 只 占 条 带 全 部 宽 度 的 一 部 分 可 能 会 得 到 错 误 的 测 试 结 果 条 带 宽 度 越 大, 则 挑 战 越 大, 这 是 由 于 力 矩 更 大, 拉 拔 钩 要 在 钩 脚 末 端 弯 曲 处 施 加 更 大 的 力 ; 这 也 意 味 着 在 测 试 过 程 中 拉 拔 钩 可 能 无 法 保 持 水 平 如 果 在 测 试 加 载 过 程 中 钩 脚 的 弯 曲 超 过 一 定 程 度, 那 条 带 的 混 乱 可 能 会 带 来 无 法 预 测 的 实 验 结 果 25

12 另 一 个 问 题 来 自 于 条 带 过 薄 ( 在 12μm 这 个 范 围 ) 如 果 拉 拔 钩 过 小, 实 际 上 可 能 直 接 割 断 条 带 在 这 种 情 况 下 只 检 测 到 了 材 料 本 身 的 强 度, 这 个 参 数 很 少 能 反 映 出 条 带 与 键 有 效 这 类 条 带 键 合 可 以 用 拉 拔 钩 进 行 拉 拔, 也 可 以 在 楔 形 键 合 位 置 进 行 剪 切 测 试 合 焊 盘 之 间 的 连 接 情 况 如 果 不 能 使 用 L 形 圆 截 面 的 拉 拔 钩, 需 要 针 对 具 体 的 问 题 设 计 出 特 别 形 状 的 拉 拔 钩 ( 图 2) 通 常 拉 拔 钩 的 材 料 强 度 比 标 准 的 引 线 要 高, 拉 拔 钩 与 引 线 接 触 部 分 比 较 平 坦 经 过 这 样 设 计 的 拉 拔 钩 可 以 保 证 作 用 的 力 垂 直 于 条 带 中 心 以 及 拉 拔 钩 的 旋 转 中 心 拉 拔 钩 要 非 常 薄 才 能 插 入 那 些 很 低 的 条 带 线 弧 要 根 据 条 带 的 直 径 和 线 弧 高 度 来 确 定 拉 拔 钩 的 尺 寸, 有 时 候 符 合 要 求 的 拉 拔 钩 很 难 制 备 在 某 些 应 用 中, 由 于 键 合 引 线 位 于 封 装 或 者 模 块 中 较 深 的 位 置, 很 难 将 拉 拔 钩 伸 进 去 为 了 能 够 到 达 要 测 试 的 位 置 可 能 要 采 用 非 常 规 的 拉 拔 钩 图 3. 厚 铝 条 带 键 合 的 剪 切 测 试 条 带 键 合 的 剪 切 力 通 常 比 圆 形 引 线 键 合 高 很 多, 这 是 因 为 条 带 键 合 的 键 合 位 置 要 大 很 多 非 常 重 要 的 是 在 所 有 键 合 位 置 剪 切 高 度 必 须 可 重 复 现 代 的 通 用 键 合 测 试 机 已 经 具 有 很 好 的 高 度 可 重 复 性 单 端 金 条 带 测 试 一 种 很 常 见 的 应 用 是 在 一 端 键 合 薄 金 条 带, 之 后 在 组 装 过 程 中 完 成 第 二 次 键 合 为 了 准 确 地 监 控 第 一 次 键 合 的 质 量, 也 需 要 进 行 测 试 单 端 条 带 不 能 用 拉 拔 钩 进 行 拉 拔 测 试 其 余 的 两 种 选 择 是 剪 切 测 试 或 者 用 镊 子 完 成 条 带 拉 拔 在 这 类 图 2. 用 于 低 线 弧 高 度 金 条 带 引 线 测 试 的 特 制 拉 拔 钩 非 破 坏 性 测 试 很 多 高 可 靠 性 应 用 需 要 对 模 块 上 每 个 引 线 键 合 进 行 非 破 坏 的 拉 拔 测 试 工 艺 工 程 师 可 能 被 要 求 针 对 每 种 条 带 键 合 建 样 品 上 进 行 的 镊 子 拉 拔 测 试 可 能 会 导 致 多 种 不 同 的 失 效 模 式 一 种 比 较 常 见 的 情 况 是 条 带 从 键 合 焊 盘 剥 离, 在 某 些 情 况 下 完 全 被 拉 下 来 这 表 示 键 合 质 量 很 差 如 果 键 合 良 好, 条 带 会 刚 好 在 楔 形 键 合 上 的 颈 部 断 裂 立 带 有 破 坏 性 ( 在 样 品 级 别 ) 和 非 破 坏 性 测 试 的 流 程 非 破 坏 性 测 试 的 参 数 必 须 经 过 优 化 来 满 足 工 业 标 准 和 客 户 要 求 拉 断 尺 寸 为 1 5mil 的 金 条 带 引 线 所 需 的 力 大 约 为 20g 对 这 种 条 带 引 线 采 用 的 非 破 坏 性 测 试 通 常 在 拉 断 力 10% 左 右 进 行, 就 是 2g 如 果 是 有 缺 陷 的 连 接, 可 以 通 过 这 种 方 法 发 现 并 在 进 入 下 一 工 序 之 前 返 工 这 种 方 法 在 像 军 工 航 天 和 医 用 等 高 可 靠 性 产 业 中 非 常 普 遍 一 般 来 说, 尽 管 非 破 坏 性 测 试 的 加 载 只 是 破 坏 性 测 试 的 1/10, 但 其 拉 拔 钩 的 几 何 尺 寸 相 仿 剪 切 测 试 对 于 衡 量 条 带 引 线 的 键 合 强 度 来 说, 剪 切 测 试 非 常 合 适 剪 切 测 试 通 过 一 个 镊 子 形 的 工 具 来 完 成 该 工 具 在 特 定 的 高 度 位 置, 向 垂 直 于 条 带 的 方 向 施 加 力 也 可 以 沿 平 行 于 条 带 的 方 向 进 行 剪 切 ; 当 然 需 要 特 别 注 意 工 具 的 选 择 1 剪 切 测 试 提 供 了 检 查 测 试 位 置 和 测 量 已 键 合 面 积 的 好 机 会 然 而 在 某 些 应 用 中 数 据 可 能 不 准 确 如 果 结 合 位 置 被 过 多 键 合, 即 便 实 际 键 合 质 量 并 不 高, 但 也 可 能 测 到 的 剪 切 力 很 高 这 样 的 位 置 可 能 会 引 起 局 部 电 流 密 度 过 高, 进 而 降 低 器 件 的 可 靠 性 将 剪 切 和 拉 拔 测 试 结 合 起 来 综 合 衡 量 可 以 避 免 这 样 的 问 题 当 像 大 功 率 器 件 那 样 使 用 厚 铝 条 带 时, 剪 切 测 试 就 特 别 图 4. 使 用 镊 子 拉 拔 单 端 键 合 的 金 条 带 最 完 整 的 方 法 是 进 行 所 有 的 测 试 在 工 艺 的 开 发 阶 段, 可 以 采 用 剪 切 测 试 来 优 化 键 合 参 数 之 后 检 测 键 合 面 积, 保 证 其 达 到 最 大 的 键 合 区 域 当 这 部 分 完 成 后, 采 用 镊 子 拉 拔 测 试 检 查 楔 形 键 合 的 断 裂 是 否 符 合 要 求 结 论 条 带 引 线 的 测 试 相 对 来 说 都 比 较 直 接, 但 同 传 统 的 圆 形 引 线 键 合 相 比, 可 能 需 要 不 同 的 测 试 流 程 来 监 控 其 质 量 大 部 分 信 息 是 从 圆 形 引 线 移 植 到 条 带 引 线 的, 例 如 衡 量 数 据 的 趋 势 和 监 控 所 有 的 工 艺 ; 然 而, 面 对 如 此 之 多 的 新 应 用, 最 棘 手 的 部 分 正 是 决 定 采 用 哪 些 测 试 键 合 的 条 带 可 以 具 有 多 种 尺 寸 测 试 工 具 可 以 因 情 况 而 调 整 来 满 足 各 种 应 用 的 要 求 26

13 行 业 动 态 ST 新 集 成 压 控 晶 振 的 射 频 合 成 器 将 频 率 输 出 扩 展 到 5GHz 意 法 半 导 体 推 出 了 该 公 司 新 开 发 的 在 当 今 市 场 上 频 率 覆 盖 率 最 高 的 集 成 压 控 振 荡 器 (VCO) 的 射 频 合 成 器 ST 的 STW81103 是 第 一 个 输 出 频 率 高 达 5GHz 的 单 片 射 频 合 成 器, 满 足 了 微 波 无 线 电 应 用 领 域 的 设 备 制 造 商 对 注 重 空 间 和 成 本 效 益 的 解 决 方 案 的 需 求 这 些 元 器 件 的 目 标 应 用 包 括 无 线 网 络 基 础 设 施 CATV 系 统 仪 表 和 测 试 设 备 频 率 合 成 器 是 大 多 数 射 频 前 端 设 计 的 基 础, 其 性 能 高 低 对 整 个 系 统 的 运 行 有 很 大 的 影 响 相 位 噪 声 最 小 化 和 宽 带 频 率 范 围 最 大 化 是 今 天 的 通 信 设 备 对 信 号 源 组 件 的 主 要 需 求 以 满 足 这 些 需 求 为 目 的,ST 的 STW81103 在 单 片 射 频 合 成 器 中 相 噪 性 能 最 为 出 色, 在 1.16GHz 下, 相 噪 达 到 0.27 度 RMS( 均 方 根 ); 在 2.33GHz 下, 达 到 0.6 度 RMS; 在 4.67GHz 下, 达 到 1.5 度 RMS, 频 率 阶 跃 200kHz 对 信 号 内 的 随 机 频 率 波 动 的 出 色 抑 制 能 力, 为 设 计 人 员 提 供 了 更 大 的 设 计 余 量 ; 更 低 的 相 位 噪 声 则 满 足 了 系 统 制 造 商 对 最 小 化 数 据 和 语 音 传 输 中 的 位 错 误 率 的 严 格 要 求 除 高 达 5GHz 的 宽 频 带 范 围 外, 因 为 具 有 自 动 中 心 频 率 校 准 功 能,STW81103 的 嵌 入 式 压 控 晶 振 为 客 户 提 供 了 出 色 的 多 频 带 性 能 因 为 一 个 器 件 就 能 把 频 带 分 为 MHz MHz MHz 和 MHz 多 个 频 段, 所 以 无 线 系 统 供 应 商 可 以 把 这 款 产 品 用 于 宽 带 和 多 频 带 应 用 在 所 有 的 竞 争 解 决 方 案 中, 覆 盖 625MHz 到 5GHz 的 最 大 频 率 覆 盖 范 围, 只 有 ST 的 集 成 式 射 频 合 成 器 需 要 三 个 组 件 (STW81101 STW81102 和 STW81103) 现 有 的 微 波 解 决 方 案 需 要 分 立 的 锁 相 环 (PLL) 芯 片 和 压 控 晶 振 (VCO), 而 ST 的 单 片 解 决 方 案 将 材 料 成 本 和 占 板 面 积 降 低 了 70% 此 外, 单 片 合 成 器 还 有 很 多 其 它 优 点, 像 提 高 芯 片 的 可 靠 性 和 简 化 设 备 供 应 商 的 供 应 链 管 理 STW81103 与 ST 的 STW8110x 产 品 家 族 引 脚 对 引 脚 兼 容, 采 用 VFQFN-28 无 铅 封 装 样 片 现 已 上 市,2008 年 第 一 季 度 初 开 始 量 产, 订 购 1000 支 芯 片, 单 价 5.39 美 元 ST 还 为 客 户 提 供 了 含 有 STWPLLSim 软 件 的 评 估 套 件, 这 个 软 件 是 一 个 功 能 强 大 的 仿 真 工 具, 用 户 利 用 这 个 工 具 可 以 快 速 准 确 地 设 计 锁 相 环, 更 有 效 地 使 用 STW8110x 产 品 Atmel 联 手 巨 有 科 技 开 发 基 于 AT91CAP 可 定 制 微 控 制 器 的 系 统 级 芯 片 爱 特 梅 尔 公 司 和 台 湾 的 巨 有 科 技 股 份 有 限 公 司 宣 布 一 项 合 作 协 议, 双 方 将 携 手 为 其 共 同 的 客 户 开 发 系 统 级 芯 片 (systems-on-chip, SoC) 此 项 合 作 将 以 爱 特 梅 尔 基 于 AT91CAP ARM 技 术 的 可 定 制 微 控 制 器 为 基 础, 并 结 合 巨 有 科 技 的 设 计 专 业 实 力 及 其 对 台 湾 客 户 的 技 术 支 持, 创 造 双 赢 局 面 按 照 该 项 协 议, 巨 有 科 技 将 负 责 直 接 与 客 户 沟 通, 将 客 户 的 设 计 技 术 要 求 转 换 成 AT91CAP 可 定 制 微 控 制 器 的 金 属 可 编 程 部 分 的 网 表 (netlist), 并 利 用 巨 有 科 技 所 拥 有 的 ARM 外 设 和 接 口 库 来 组 合 所 需 的 IP 构 件 巨 有 将 利 用 其 在 系 统 级 芯 片 设 计 方 面 的 丰 富 知 识 和 经 验, 最 大 限 度 地 缩 短 设 计 周 期 和 优 化 器 件 性 能 此 外, 该 公 司 还 将 为 客 户 提 供 软 件 开 发 支 持, 确 保 客 户 能 实 现 软 硬 件 的 并 行 开 发 巨 有 科 技 所 构 建 的 网 表, 在 转 交 给 爱 特 梅 尔 进 行 AT91CAP 平 台 布 局 布 线 和 金 属 编 程 之 前, 将 首 先 在 AT91CAP 仿 真 板 上 进 行 验 证, 方 法 是 将 网 表 映 射 到 仿 真 板 的 FPGA 爱 特 梅 尔 公 司 ASIC 产 品 市 场 总 监 Michel Le Lan 欢 迎 这 项 协 议, 他 表 示 : 巨 有 科 技 的 高 超 设 计 专 业 水 平 和 本 地 语 言 沟 通 能 力, 使 到 我 们 能 够 为 台 湾 地 区 庞 大 的 客 户 群 提 供 最 好 的 服 务 由 于 我 们 拥 有 将 ARM 微 控 制 器 与 实 现 客 户 IP 核 的 金 属 可 编 程 模 块 集 成 于 一 体 的 独 特 CAP? 构 架, 因 此 爱 特 梅 尔 与 巨 有 携 手 合 作, 将 能 够 提 供 开 发 周 期 短 开 发 成 本 低, 而 且 量 产 单 价 具 吸 引 力 的 系 统 级 芯 片 解 决 方 案 巨 有 科 技 股 份 有 限 公 司 总 经 理 Albert Hu 称 : 爱 特 梅 尔 的 AT91CAP 平 台 提 供 了 一 种 更 具 成 本 竞 争 力 的 ASIC 方 案, 而 且 开 发 周 期 更 短, 我 们 的 客 户 将 可 从 中 大 大 受 益 多 年 来, 巨 有 科 技 的 设 计 和 实 现 能 力 在 设 计 服 务 领 域 中 一 直 是 遥 遥 领 先 的, 表 现 有 目 共 睹 与 爱 特 梅 尔 公 司 合 作, 让 我 们 拥 有 了 一 个 能 够 帮 助 系 统 开 发 商 和 创 业 公 司 将 其 想 法 和 设 计 迅 速 变 成 产 品 的 伙 伴 在 双 方 的 合 作 下, 巨 有 科 技 也 能 提 供 独 特 的 交 钥 匙 式 系 统 级 芯 片 解 决 方 案 ; 而 这 些 方 案 将 会 简 化 客 户 的 设 计 工 作, 并 缩 短 其 产 品 开 发 周 期 27 PDF 文 件 使 用 "pdffactory Pro" 试 用 版 本 创 建

14 记得很早的时候在一本旅游刊物上 偶然发现了我国塞罕坝草原的风光照片 美丽的风光让人十分向往 向往着有一 天能够亲临这美丽开阔的大草原 到那里亲身感受一下远离繁华都市的宁静生活 终于 今年八月份正直酷暑难耐的盛夏 中国芯片银行组织了塞罕坝草原自驾游 大家带着欣喜与激动出发了 终于 向往了多年的草原赫然眼前 虽然看不到 风吹草低见牛羊 的苍凉古风 虽然我们错过了最灿烂的花海 但 依然不能阻挡我们雀跃地奔向那延绵到天边的绿 躺在草地上 看着蓝得没有一丝杂质的天空上朵朵的云彩飘过 纯净的 空气带着青草的芳香 沁透心肺 原来 这绿 这蓝 在这没有污染的空气的沁润中也是可以醉人的 草原之游结束了 但是草原的美景已经深深地印在大家的脑海中 于是纷纷写下了自己的感想 以纪念这次难以忘怀 的草原之旅 游记一 圆梦草原 儿时 每当看到影片中的主人公策马飞奔的场面我都有 赏着路边一簇簇五颜六色的野花 感到心旷神怡 车子随山 跃跃欲试的想法 今年公司组织全体员工去塞罕坝草原旅游 路不断上行 经过十几个急转弯 开车 30分钟左右 来到海 内心有一种说不出的高兴 因为八月的草原是绿色的海洋 拔1700米的林场山顶 举目远望 湛蓝的天空能够触手抚摸 骑在马背上奔跑是儿时梦想 不同品种的树林 像一块块深浅不一的绿色毛毡 披在山坡 经过一天的车行 入住到离草原60公里的十里画廊农家 旅馆 第二天就要进入草原了 兴奋得天未亮就起来 屋外 的一切还没有脱掉暗灰色的夜装 到处都是灰蒙蒙的 四周 上 组成一幅幅抽象画 随着山路急速下行 不一会穿过滦 河源头 进入蒙古草原 人间天堂 举目远望 到处都被染成绿色 只有远处的丘陵上 点缀 的山和田野联成一片谁也分不开 对面的山顶慢慢的亮起来 了几棵叫不出名字的树木 一望无际的草原 把白云衬托得比 天空被霞光染成了红色 太阳出来了 天空逐渐的升高 平日干净了许多 我们驱车进入草原深处 不一会到了红山军 变成浅蓝色 片片白云如同刚刚洗礼的少女 在湛蓝的空中 马场 一人租一匹骏马 由马主人牵着 进入草原腹地 飘来追去 互相嬉戏 山坡上的树木 也渐渐透出绿色 阳 由于第一次骑马 坐在马背上一颤一颤的 我心里难免 光像一把利刃劈开黑暗爬过山顶 仿佛一道瀑布飞泻到屋后 有些紧张 看看身边的同事 大家的表情都一样紧张 马主 的山坡上 山上的树林和田野上的红顶农家小屋逐渐看清了 人是典型的蒙古人 黝黑的皮肤 宽宽的脸庞 浓眉大眼 牵 轮廓 身边的一切都亮了起来 被阳光叫醒的鸟儿 也高兴 着马一边走一边告诉我们骑马要领 渐渐的我消除了紧张 的唱起了歌 阳光在屋后的山坡上飞快的流下来 照亮山坡 也悠闲的欣赏起美景 细看草原深处 有说不出的美 虽然 下的农田和地里金黄色的向日葵 它们在晨风中抖落黑夜的 过了盛花期 草原上依旧花团锦簇 五颜六色 有的象黄色 束缚 高兴的迎来新的一天 的金莲 有的象蓝色的绒球 有的象紫色的菊花 有的象枣 山脚下的农家小院也苏醒了 连路边的野花和野草 都 红色的麦穗 有的象小的向日葵 有的象黄色的康乃馨 还 用晶莹的露珠 装扮着自己 插在二楼平台上红色大旗上写 有一串串白色的 黄色的小花 女同事把采摘的鲜花扎成花 着 旭普科技 中国芯片银行 的金色大字 在晨风中轻快 环戴在头上 比往日又漂亮了几分 的飘扬 身旁的一切 随阳光的抚摸 都渐渐醒来 望着这 在草原深处的白桦林休息一会 开始相互照相 让马儿 一切 真正体会到旭普的内涵 在阳光的普照下一切才充满 吃了一会儿草 随后我们上马往回赶 女同事由于胆小 还 生命 在阳光下一切才能展现自我,我们在公司中 才能展现 是让马主人牵着马 我们几个男同事都想让马跑起来 享受 出自我的价值 一下飞奔的感觉 开始马儿不听话 不肯快跑 这时后面一 吃过早饭 汽车进入塞罕坝森林公园 驶入树的海洋 汽 28 车随着盘山公路在林海中穿行 我们呼吸着新鲜的空气 欣 个女孩骑着马从侧面跑过 我的马仿佛看到了伙伴 也兴奋

15 得 飞 奔 起 来, 跟 在 她 的 马 后 面 跑 起 来 这 时, 我 心 里 非 常 紧 张, 生 怕 被 甩 下 来, 渐 渐 地 适 应 马 儿 跑 得 感 觉, 两 腿 紧 紧 夹 着 马 鞍, 双 手 抓 着 缰 绳, 身 体 随 马 的 奔 跑 上 下 起 伏, 四 周 的 景 物 快 速 的 向 身 后 移 动, 犹 如 在 空 中 飞 起 来 一 样, 儿 时 梦 想 终 于 变 成 了 现 实, 心 里 有 说 不 出 的 喜 悦 与 兴 奋 吃 罢 午 饭, 我 们 找 到 一 块 比 较 平 整 的 草 坪 组 织 一 场 足 球 友 谊 赛 每 组 有 七 个 人, 有 男 有 女, 每 队 还 有 一 个 同 事 上 小 学 的 男 孩 比 赛 一 开 始, 人 们 在 草 坪 上 你 来 我 往, 随 着 足 球 来 回 奔 跑, 足 球 滚 到 哪, 欢 声 笑 语 跟 到 哪 由 于 草 坪 不 平 整, 不 时 有 人 倒 在 草 坪 上, 博 得 大 家 一 阵 欢 笑 踢 累 了, 躺 在 草 坪 上, 看 着 蓝 天 白 云 休 息 一 会, 浑 身 感 到 特 别 舒 畅 最 难 忘 的 草 原 之 旅, 最 难 忘 的 快 马 飞 奔, 最 难 忘 的 美 丽 风 景, 一 切 的 一 切 深 深 的 印 在 了 我 的 脑 海 中, 一 辈 子 也 抹 不 掉! 游 记 二 : 草 原 游 想 很 幸 运 刚 来 公 司 不 久 就 能 出 去 旅 游, 而 且 地 点 是 向 往 已 久 的 大 草 原 塞 罕 坝 大 草 原 经 过 了 七 八 个 小 时 的 驱 车 旅 行, 我 们 下 榻 到 了 离 塞 罕 坝 草 原 不 远 的 十 里 画 廊 农 家 院 这 里 的 景 色 也 是 很 美, 一 路 的 劳 累, 也 阻 挡 不 住 我 欣 赏 这 夕 阳 下 的 美 景, 远 处 的 山 丘 绿 的 养 眼, 湛 蓝 的 天, 雪 白 的 云, 清 新 的 空 气 夹 杂 着 花 香 和 泥 土 香, 令 人 分 外 的 舒 畅 由 于 兴 奋, 第 二 天 早 晨, 我 早 早 的 醒 来, 看 着 远 处 的 阳 光 从 山 头 上 猛 地 照 进 山 谷, 光 线 穿 透 黑 暗, 照 射 在 雾 气 氤 氲 的 草 地 上, 仿 佛 仙 境 一 般, 好 美 好 美 用 相 机 记 下 了 美 景, 我 们 向 着 塞 罕 坝 大 草 原 进 发 了 我 们 进 入 了 塞 罕 坝 国 家 森 林 公 园, 盘 旋 的 山 路 陡 弯 不 断, 据 说 这 条 山 路 有 99 个 弯, 一 路 上 景 色 不 断 变 化, 一 会 儿 是 挺 拔 直 立 的 水 杉, 一 会 儿 是 月 牙 弯 弯 的 湖 泊, 一 会 儿 是 茂 盛 的 白 桦 林, 路 上 的 景 色 真 是 美 不 胜 收, 按 快 门 的 速 度 远 没 有 这 美 景 变 化 得 快 经 过 了 一 个 小 时 的 路 程, 我 们 来 到 的 红 山 军 马 场, 在 这 里, 我 经 历 了 人 生 中 的 又 一 个 第 一 次 骑 马 真 正 的 草 原 骏 马! 在 我 没 有 意 识 到 的 时 候, 马 儿 已 经 将 我 驮 入 了 草 原 原 来 草 原 并 不 都 是 一 望 无 际 的 天 苍 苍 野 茫 茫 风 吹 草 低 见 牛 羊, 这 里 的 草 原 其 实 是 延 绵 不 断 的 草 坡, 长 着 绿 油 油 的 草 和 各 种 颜 色 的 小 野 花, 骑 在 宽 厚 的 马 背 上, 抚 摸 马 儿 温 热 的 皮 肤, 呼 吸 着 草 原 的 气 息, 暂 时 忘 记 了 钢 筋 混 凝 土 的 世 界, 这 里 只 有 自 由 的 空 气, 我 用 力 的 呼 吸 着 绿 色, 爽 啊! 我 骑 的 马 儿 性 子 比 较 烈, 牵 马 的 阿 姨 怕 有 危 险 一 直 牵 着, 偶 尔 还 小 跑 一 会 儿, 刚 开 始 的 时 候 有 点 颠, 慢 慢 地, 阿 姨 告 诉 我 一 些 要 领 好 多 了, 悠 闲 地 骑 着 马 儿, 看 着 蓝 天 白 云, 偶 尔 能 看 到 鹰 高 高 地 在 天 空 盘 旋, 心 旷 神 怡 我 们 来 到 了 百 花 坡, 这 里 的 花 据 说 有 几 百 种, 各 种 各 样 的 颜 色, 各 种 各 样 的 形 状, 一 大 片, 已 经 没 过 了 膝 盖 马 儿 看 到 了 新 鲜 的 绿 草, 高 兴 得 享 受 起 美 味 来, 这 一 切 的 一 切, 看 上 去 都 是 那 么 的 和 谐 下 午 我 们 寻 找 了 一 片 草 地 进 行 了 一 次 别 开 生 面 的 足 球 比 赛 一 阵 猛 奔 之 后, 躺 在 柔 软 的 草 原 上, 阳 光 很 好, 朵 朵 的 白 云 点 缀 着 蓝 天, 渐 渐 的 感 觉 自 己 像 是 变 成 了 一 根 小 草, 融 入 了 草 原, 融 入 了 大 自 然 第 三 天, 我 们 是 在 太 阳 雨 中 离 开 草 原 的, 雨 中 的 草 原 越 发 绿 得 可 爱, 美 得 诱 人 我 的 贫 乏 的 词 汇 无 法 描 绘 草 原 的 美 景, 她 的 美 丽 没 有 让 人 怦 然 心 动, 却 在 不 知 不 觉 间 掳 走 了 我 的 心 然 而 她 不 属 于 我, 而 我 也 不 属 于 她, 城 市 里 的 生 活 依 然 很 喧 嚣, 但 是 我 们 的 心 中 应 该 要 有 一 块 自 己 的 草 原 游 记 三 : 逐 梦 之 旅 美 丽 的 草 原 我 的 家, 风 吹 绿 草 遍 地 花, 彩 蝶 纷 飞 百 鸟 儿 唱, 一 湾 碧 水 映 晚 霞, 骏 马 好 似 草 一 朵, 牛 羊 好 似 珍 珠 撒, 啊, 牧 羊 姑 娘 放 声 唱, 愉 快 的 歌 声 满 天 涯! 德 德 玛 的 歌 曲 赋 予 了 草 原 神 秘 的 面 纱,8 月 的 一 天 上 午, 我 们 公 司 全 体 成 员 驾 着 车 寻 着 歌 声 一 路 向 北, 开 始 了 一 次 逐 梦 之 旅 一 路 上 我 们 欢 声 笑 语 歌 声 不 断, 只 为 迎 接 那 神 秘 的 草 原 路 上 的 自 然 美 景 是 在 城 市 中 难 以 见 到 的, 就 是 神 秘 马 良 也 无 法 绘 出 如 此 美 丽 的 图 画 傍 晚, 我 们 抵 达 了 十 里 画 廊 农 家 院, 在 这 里 歇 息, 周 围 的 景 色 很 漂 亮, 绿 绿 的 树 木 绿 绿 的 庄 稼, 铺 天 盖 地 的 绿 色, 身 处 大 自 然 就 是 这 种 感 觉 了, 觉 得 自 己 将 要 融 化 在 这 美 丽 的 地 方 第 二 天 早 晨, 我 们 早 早 的 吃 过 早 饭, 驱 车 前 往 塞 罕 坝 大 草 原 一 路 的 山 路, 路 两 旁 的 风 景, 看 得 我 的 眼 睛 应 接 不 暇 终 于, 我 们 到 达 了 红 山 军 马 场, 大 家 都 去 骑 马 了, 我 没 去, 却 欣 赏 了 跟 马 背 上 完 全 不 同 的 草 原 美 景 这 里 是 内 蒙 古 赤 峰 丰 富 的 旅 游 资 源 之 一, 是 人 们 休 闲 度 假, 回 归 自 然 的 理 想 之 地, 她 虽 然 没 有 锡 林 郭 勒 和 呼 伦 贝 尔 的 辽 阔 气 魄, 但 她 是 距 离 北 京 最 近 的 草 原, 号 称 北 京 的 后 花 园 天 然 的 绿 色 草 地, 让 我 们 拿 出 足 球 在 这 里 狂 奔 吧 这 里 的 比 赛 比 世 界 杯 还 要 精 彩 踢 完 足 球 躺 在 草 地 上, 仰 望 蓝 天, 朵 朵 白 云, 好 美 哦 ; 抓 一 把 青 草 使 劲 地 闻 一 下, 好 香 哦 ; 放 声 喊 一 嗓 啊 ~~~, 好 爽 哦! 哈 哈! 夜 色 降 临 是 草 原 的 篝 火 燃 起 的 时 候, 坐 在 篝 火 旁 享 受 着 草 原 的 美 丽 与 旷 然, 抬 眼 望 去, 天 空 中 繁 星 点 点, 这 样 美 丽 的 夜 色, 是 霓 虹 灯 映 衬 下 的 城 市 根 本 不 具 备 的 一 路 的 好 风 光, 一 路 的 好 心 情, 我 眼 中 的 草 原 不 是 色 彩 斑 斓 的, 它 只 是 由 绿 蓝 白 三 种 简 单 的 颜 色 组 成, 看 似 简 单 但 不 单 调, 放 眼 望 去 满 眼 的 绿 色, 绿 色 的 尽 头 是 广 阔 的 蓝 天, 蓝 天 上 飘 着 朵 朵 的 白 云 离 开 北 京 闷 热 的 天 气, 风 儿 在 草 原 上 飞 奔, 给 人 神 清 气 爽 的 感 觉, 不 用 为 忙 碌 的 工 作 而 烦 躁, 逐 梦, 没 错, 就 在 草 原 逐 梦 29 PDF 文 件 使 用 "pdffactory Pro" 试 用 版 本 创 建

16 游 记 四 : 诗 若 仙 境 的 绿 色 明 珠 草 原 是 个 怎 样 的 地 方? 我 感 觉 很 模 糊, 但 是 很 向 往, 到 底 是 什 么 在 吸 引 着 我? 在 出 游 的 季 节, 我 终 于 如 愿 以 偿, 借 着 公 司 组 织 旅 游 的 机 会, 随 着 旅 行 的 人 流 一 路 向 北, 来 到 了 美 丽 的 绿 色 明 珠 塞 罕 坝 塞 罕 坝 是 蒙 汉 合 璧 语, 意 为 美 丽 的 高 岭, 是 驰 名 京 城 的 天 然 草 原 避 暑 胜 地 这 里 被 誉 为 河 的 源 头 云 的 故 乡 花 的 世 界 林 的 海 洋 这 里 有 广 阔 的 牧 场, 繁 茂 的 水 草, 成 群 的 牛 羊, 骏 马 奔 腾 春 季, 这 里 冰 雪 消 融, 万 物 复 苏 ; 盛 夏, 碧 草 连 天, 漫 地 金 莲 ; 深 秋, 万 山 红 遍, 层 林 尽 染 ; 严 冬, 银 装 素 裹, 分 外 妖 娆 傍 晚 时 分, 我 们 下 榻 到 了 离 塞 罕 坝 不 远 的 一 个 农 家 院, 周 围 环 绕 着 绿 色 的 小 山 丘, 景 色 美 丽 宜 人, 一 天 的 旅 途 劳 累 立 刻 消 失 在 这 美 丽 的 风 景 中 晚 上 抬 眼 仰 望 天 空, 繁 星 点 点, 分 外 的 明 亮, 真 是 城 市 里 难 得 一 见 的 清 透 第 二 天 我 们 早 早 的 起 来, 吃 过 早 饭, 向 草 原 前 行 沿 路 两 旁 有 大 片 的 庄 稼 地, 碧 草 地, 远 处 是 延 绵 不 断 的 山 丘, 偶 尔 长 满 青 草 的 山 丘 上 会 有 一 簇 一 簇 的 白 桦 树 和 落 叶 松, 看 上 去 十 分 可 爱 进 入 塞 罕 坝 森 林 公 园, 我 们 开 始 走 盘 山 路 了, 路 旁 郁 郁 葱 葱 的 树 木 就 像 是 浩 瀚 的 林 海, 满 眼 是 森 林 和 草 原, 空 气 清 新, 真 是 是 呼 吸 绿 色 的 天 然 浴 场, 苍 翠 葱 茏 的 树 木 盈 山 盖 谷, 只 有 一 条 路 蜿 蜒 伸 向 远 方 太 美 了! 大 约 一 个 多 小 时, 我 们 来 到 了 鼎 鼎 有 名 的 红 山 军 马 场 大 家 都 去 骑 马 了, 由 于 我 的 胆 小, 任 大 家 如 何 劝 说 也 不 敢 骑, 最 后, 经 过 了 长 时 间 的 心 理 斗 争, 再 加 上 找 到 了 伙 伴 相 陪, 我 鼓 足 了 毕 生 的 勇 气, 向 着 那 匹 高 大 的 骏 马 走 去, 在 牵 马 的 女 孩 和 同 事 的 帮 助 下, 我 终 于 坐 在 了 马 背 上, 这 匹 马 好 像 在 欢 迎 我 似 的, 还 转 过 头 来 看 我, 抖 抖 它 的 鬃 毛, 妈 呀, 这 辈 子 还 没 被 吓 得 吱 哇 乱 叫 呢, 好 丢 人 嘿 嘿 走 了 一 会, 我 紧 张 得 双 腿 就 有 点 麻 了, 心 想 这 样 下 去 我 还 不 是 要 累 死 在 马 背 上? 赶 快 向 牵 马 的 女 孩 求 救, 这 个 纯 朴 的 蒙 古 女 孩 努 力 安 慰 我, 让 我 放 松, 大 概 二 十 分 钟, 我 之 前 的 恐 惧 感 渐 渐 的 消 失 了, 还 时 不 时 地 摸 摸 这 匹 可 爱 又 漂 亮 的 骏 马, 看 着 周 围 旷 阔 的 草 原, 满 眼 的 绿 草 百 花, 渐 渐 的 悠 闲 起 来, 悠 闲 得 欣 赏 这 心 旷 神 怡 的 美 景 下 午, 我 们 举 行 了 一 次 足 球 比 赛, 我 的 腿 在 骑 马 时 磨 破 了, 失 去 了 这 次 机 会, 不 过 好 在 下 面 的 风 景 并 没 有 给 我 带 来 遗 憾 我 们 下 一 个 目 的 地 是 著 名 的 将 军 泡 子, 车 行 进 在 广 阔 起 伏 的 草 原 缓 坡 之 间 的 公 路 上, 悠 长 悠 长 的, 好 像 通 向 那 飘 着 白 云 的 天 边 公 路 两 侧, 草 原 缓 坡 天 空 云 朵 树 林 的 色 彩 形 状 和 光 影 不 断 地 变 幻 着 组 合, 让 我 目 不 暇 接 一 路 上 风 光 旖 旎, 看 到 了 休 憩 的 马 群, 蓝 天 白 云 碧 草 和 它 们 闲 适 的 身 影, 如 梦 似 真, 让 我 如 痴 如 醉 将 军 泡 子 在 军 马 场 西 北 面 约 20 公 里, 这 里 是 康 熙 大 战 葛 尔 丹 的 遗 址, 草 原 辽 阔, 百 花 齐 放, 郁 郁 葱 葱, 高 到 齐 腰, 于 是 联 想 到 天 苍 苍 野 茫 茫, 风 吹 草 低 见 牛 羊 的 图 画, 心 不 禁 的 醉 了 这 里 有 一 个 草 原 湖 泊 公 主 湖, 第 一 眼 望 去 心 中 便 涌 起 一 种 异 样 的 感 觉, 也 许 是 没 有 了 惯 常 所 见 的 垂 柳, 她 就 那 样 孤 零 零 地 又 是 那 么 坦 坦 荡 荡 清 清 亮 亮 地 倘 佯 在 空 旷 的 草 原 上, 犹 如 上 天 无 意 散 落 下 来 的 珍 珠 湖 的 远 处 是 扬 起 白 帆 的 蓝 天, 忽 然 一 阵 急 风 掠 过, 湖 面 似 乎 有 了 勃 勃 的 生 机, 欢 畅 地 卷 起 层 层 细 浪, 向 你 展 示 她 蕴 藏 的 激 情 湖 水 面 开 阔, 四 面 环 山, 水 中 的 芦 苇 长 得 一 丛 丛 的, 而 且 还 错 落 有 致 据 说 每 天 下 六 点 多 钟 时, 会 有 一 大 群 马 飞 奔 到 湖 边 来 喝 水, 群 马 入 水, 溅 起 的 水 花 非 常 漂 亮 并 且 每 当 夜 幕 降 临, 在 泡 子 边 的 蒙 古 包 里 住 一 晚, 围 坐 在 篝 火 旁 欣 赏 如 泣 如 诉 的 马 头 琴 和 抑 扬 悲 壮 的 蒙 古 长 调, 能 不 又 是 一 番 情 怀 第 三 天, 我 们 踏 上 了 归 途, 从 车 窗 外 向 后 推 去 的 一 草 一 木 都 让 我 如 此 不 舍 真 想 在 这 里 随 意 什 么 地 方 呆 上 整 整 一 天, 从 日 升 到 日 落, 呼 吸 那 草 原 特 有 的 伴 着 青 草 味 儿 的 清 香, 静 听 万 物 的 声 息, 放 逐 一 下 自 己, 这 不 就 是 我 们 这 些 生 活 在 钢 筋 混 凝 土 里 的 人 们 渴 望 的 田 园 牧 歌 式 的 生 活 吗? 美 丽 的 草 原, 让 我 意 犹 未 尽, 这 辈 子 我 还 要 来, 下 辈 子 也 还 要 来! 从 此 开 始 想 念 的 塞 罕 坝, 盼 望 再 一 次 的 与 你 相 见! 芯 片 技 术 通 讯 诚 征 您 的 稿 件 稿 件 要 求 : 内 容 范 围 可 涉 及 半 导 体 IC 测 试 测 量 封 装 制 程 制 造 等 方 面 的 技 术 应 用 市 场 类 的 文 章, 您 也 可 以 将 您 看 到 的 有 价 值 的 文 章 寄 给 我 们 格 式 要 求 : 篇 幅 最 好 在 5000 字 以 内, 最 好 有 附 图 或 附 表 转 摘 文 章, 请 注 明 转 摘 出 处 稿 件 处 理 : 稿 件 一 经 刊 出 即 寄 稿 酬 来 稿 时 请 留 下 您 的 联 系 电 话 来 稿 请 寄 : 地 址 : 北 京 市 海 淀 区 蓝 靛 厂 东 路 2 号 C 座 7E TEL:( 010) FAX:( 010) PDF 文 件 使 用 "pdffactory Pro" 试 用 版 本 创 建

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I  元器件上市公司经济状况分析及年度展望 2002 1 2002 5 WWW.CEI.GOV.CN 2001-2005 2005 3000 2010 7500 : : : 21 1 FAX 010 68558370 2 FAX 010 68558370 I.. 2...2...3...7...8 2002...9 II..11...11...12...17...21...23 III.26...26...27...27...27 1 2001...3

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