(19) 中华人民共和国国家知识产权局 (12) 发明专利 (21) 申请号 (22) 申请日 (65) 同一申请的已公布的文献号申请公布号 CN A (43) 申请公布日 (73) 专利权人深圳市华星光电

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1 (19) 中华人民共和国国家知识产权局 (12) 发明专利 (21) 申请号 (22) 申请日 (65) 同一申请的已公布的文献号申请公布号 CN A (43) 申请公布日 (73) 专利权人深圳市华星光电技术有限公司地址 广东省深圳市光明新区塘明大道 9 2 号 (10) 授权公告号 (45) 授权公告日 (56) 对比文件 JP A, , 权利要求 1 说明书第 段以及说明书附图 1-3. JP A, , 权利要求 1 说明书第 段以及说明书附图 1-3. KR B1, , 明书第 5 页第 6 段至第 6 页第 3 段以及附图 5-9. 审查员闫蕾 (72) 发明人李奂钦 (74) 专利代理机构深圳市德力知识产权代理事务所 代理人林才桂 (51)Int.Cl. C23C 14/24( ) 权利要求书 1 页说明书 3 页附图 4 页 (54) 发明名称蒸镀装置 (57) 摘要本发明提供一种蒸镀装置, 包括 : 真空腔 (11) 设于所述真空腔 (11) 内的蒸发源 (12) 以及设于所述蒸发源 ( 12 ) 上方的坩埚切换装置 (13), 其中, 所述坩埚切换装置 (13) 包括 : 坩埚载盘 ( 10 ) 设于所述坩埚载盘 ( 10 ) 上的多个坩埚 (30) 以及设于所述坩埚载盘 (10) 底部与所述坩埚载盘 (10) 垂直相连的运动轴 (20), 通过控制所述运动轴带动所述坩埚载盘旋转和升降运动实现在真空环境下完成蒸镀源上的坩埚切换, 实现一个蒸镀源对应多个坩埚, 从而增加坩埚载入的数量, 减少蒸镀源的数量, 延长开腔加料的周期, 提高生产效率, 降低设备成本

2 权利要求书 1/1 页 1. 一种蒸镀装置, 其特征在于, 包括 : 真空腔 (11) 设于所述真空腔 (11) 内的蒸发源 (12) 以及设于所述蒸发源 (12) 上方的坩埚切换装置 (13); 所述坩埚切换装置 (13) 包括 : 坩埚载盘 (10) 设于所述坩埚载盘 (10) 上的多个坩埚 (30) 以及设于所述坩埚载盘(10) 底部与所述坩埚载盘 (10) 垂直相连的运动轴 (20); 所述坩埚载盘 (10) 上设有多个通孔 (50), 每一个通孔 (50) 内对应放置有一个坩埚 (30); 所述运动轴 (20) 带动所述坩埚载盘 (10) 绕所述运动轴 (20) 的轴线旋转, 使得坩埚载盘 (10) 上的坩埚 (30) 与蒸发源 (12) 对位, 所述运动轴 (20) 带动所述坩埚载盘 (10) 沿所述运动轴 (20) 的轴向进行上升或下降, 使得坩埚 (30) 与蒸发源 (12) 分离或将坩埚 (30) 放入蒸发源 (12) 内 ; 所述运动轴 (20) 包括 : 旋转轴 (21) 以及套设于所述旋转轴 (21) 内的升降轴 (22); 所述坩埚 (30) 的顶部直径大于所述坩埚 (30) 的底部直径, 所述通孔 (50) 的直径大于所述坩埚 (30) 的底部直径且小于所述坩埚 (30) 的顶部直径 ; 所述坩埚载盘 (10) 的形状为圆形, 所述多个通孔 (50) 均匀分布于一所述坩埚载盘 (10) 的同心圆的圆周上, 所述运动轴 (20) 设于所述坩埚载盘 (10) 的底部的中心点 2. 如权利要求 1 所述的蒸镀装置, 其特征在于, 所述蒸发源 (12) 的数量为 2 到 10 个, 所述坩埚切换装置 (13) 的数量小于或等于所述蒸发源 (12) 的数量, 每一坩埚切换装置 (13) 的坩埚载盘 (10) 上的坩埚 (30) 的数量为 2 到 10 个 3. 如权利要求 2 所述的蒸镀装置, 其特征在于, 所述蒸发源 (12) 均匀分布于一个圆的圆周上 4. 如权利要求 2 所述的蒸镀装置, 其特征在于, 所述坩埚切换装置 (13) 的数量小于所述蒸发源 (12) 的数量, 每一坩埚切换装置 (13) 对应多个蒸发源 (12) 5. 如权利要求 2 所述的蒸镀装置, 其特征在于, 所述坩埚切换装置 (13) 的数量等于所述蒸发源 (12) 的数量, 每一坩埚切换装置 (13) 对应一个蒸发源 (12) 6. 如权利要求 5 所述的蒸镀装置, 其特征在于, 所述蒸发源 (12) 和坩埚切换装置 (13) 的数量均为 3 个 7. 如权利要求 6 所述的蒸镀装置, 其特征在于, 每一坩埚切换装置 (13) 的坩埚载盘 (10) 上的坩埚 (30) 的数量为 10 个 2

3 说明书 1/3 页 蒸镀装置 技术领域 [0001] 本发明涉及 OLED 显示制造技术领域, 尤其涉及一种蒸镀装置 背景技术 [0002] 近年来, 液晶显示 (Liquid Crystal Display,LCD) 器和有机发光二极管 (Organic Light Emitting Diode,OLED) 显示器等平板显示器已经逐步取代 CRT 显示器, 成为显示器市场中的主流产品 其中,OLED 显示器具有自发光 驱动电压低 发光效率高 响应时间短 清晰度与对比度高 近 180 视角 使用温度范围宽, 可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点, 被业界公认为是最有发展潜力的显示器 [0003] OLED 显示器件通常由阳极 阴极 以及夹在阳极和阴极之间的有机电致发光材料层构成, 有机电致发光材料层又包括空穴注入层 空穴传输层 发光层 电子传输层及电子注入层 OLED 显示器件的发光机理是从阴 阳两极分别注入电子和空穴, 被注入的电子和空穴经传输在发光层内复合, 从而激发发光层分子产生单态激子, 单态激子辐射衰减而发光 [0004] 目前, 制备 OLED 显示器件主流方式是真空加热镀膜, 即在真空腔体内使用坩埚加热 OLED 材料, 使其在一定温度下升华或者熔融汽化成蒸汽, 透过金属掩膜板上的开孔沉积在基板上 [0005] 请参阅图 1, 图 1 为现有的一种 OLED 蒸镀装置的结构示意图, 该 OLED 蒸镀装置为点源的 OLED 蒸镀设备, 包括 : 真空腔体 1 设于所述真空腔体 1 内的多个蒸镀源 2 以及与所述蒸镀源 2 一一对应的多个坩埚 ( 未图示 ), 受限于真空腔体 1 的大小, 该 OLED 蒸镀装置中所能够布置的蒸发源 2 的数量是有限的 ( 一般不超过 10 个 ), 也即每次载入坩埚的数量也是有限的, 当坩埚中的材料蒸发完后, 无法在真空的环境下实现新坩埚的载入与替换, 只能切换到下一个蒸发源使用或者重新开腔加料 举例来说, 假设该 OLED 蒸镀装置包含 10 个蒸镀源和 10 个坩埚, 每个坩埚可填充 100 克的有机材料, 按照正常镀率蒸镀, 每小时消耗 3 克有机材料计算,10 个坩埚中的全部有机材料都使用完的时间约为 333 小时, 约合 14 天, 即最多每隔两周就必须开腔加料, 如果镀率再提高的话, 这个周期也将变得更短, 开腔加料作业必须打开真空腔体, 在大气状态下进行材料的添加或替换, 然后重新抽取真空才可继续工作, 极大的影响生产效率和量产的连续性 同时该 OLED 蒸镀装置中每增加一个坩埚就需要增加一个蒸发源, 导致其设备成本高居不下 发明内容 [0006] 本发明的目的在于提供一种蒸镀装置, 能够增加坩埚载入的数量, 减少蒸镀源的数量, 延长开腔加料的周期, 提高生产效率, 降低设备成本 [0007] 为实现上述目的, 本发明提供一种蒸镀装置, 包括 : 真空腔 设于所述真空腔内的蒸发源 以及设于所述蒸发源上方的坩埚切换装置 ; [0008] 所述坩埚切换装置包括 : 坩埚载盘 设于所述坩埚载盘上的多个坩埚 以及设于所述坩埚载盘底部与所述坩埚载盘垂直相连的运动轴 ; 3

4 说明书 2/3 页 [0009] 所述坩埚载盘上设有多个通孔, 每一个通孔内对应放置有一个坩埚 ; [0010] 所述运动轴带动所述坩埚载盘绕所述运动轴的轴线旋转, 使得坩埚载盘上的坩埚与蒸发源对位, 所述运动轴带动所述坩埚载盘沿所述运动轴的轴向进行上升或下降, 使得坩埚与蒸发源分离或将坩埚放入蒸发源内 [0011] 所述坩埚载盘的形状为圆形, 所述多个通孔均匀分布于一所述坩埚载盘的同心圆的圆周上, 所述运动轴设于所述坩埚载盘的底部的中心点 [0012] 所述坩埚的顶部直径大于所述坩埚的底部直径, 所述通孔的直径大于所述坩埚的底部直径小于所述坩埚的顶部直径 [0013] 所述蒸发源的数量为 2 到 10 个, 所述坩埚切换装置的数量小于或等于所述蒸发源的数量, 每一坩埚切换装置的坩埚载盘上的坩埚的数量为 2 到 10 个 [0014] 所述蒸发源均匀分布于一个圆的圆周上 [0015] 所述坩埚切换装置的数量小于所述蒸发源的数量, 每一坩埚切换装置对应多个蒸发源 [0016] 所述坩埚切换装置的数量等于所述蒸发源的数量, 每一坩埚切换装置对应一个蒸发源 [0017] 所述蒸发源和坩埚切换装置的数量均为 3 个 [0018] 每一坩埚切换装置的坩埚载盘上的坩埚的数量为 10 个 [0019] 本发明的有益效果 : 本发明提供的蒸镀装置, 包括 : 真空腔 设于所述真空腔内的蒸发源 以及设于所述蒸发源上方的坩埚切换装置, 其中, 所述坩埚切换装置包括 : 坩埚载盘 设于所述坩埚载盘上的多个坩埚 以及设于所述坩埚载盘底部与所述坩埚载盘垂直相连的运动轴, 通过控制所述运动轴带动所述坩埚载盘旋转和升降运动实现在真空环境下完成蒸镀源上的坩埚切换, 实现一个蒸镀源对应多个坩埚, 从而增加坩埚载入的数量, 减少蒸镀源的数量, 延长开腔加料的周期, 提高生产效率, 降低设备成本 附图说明 [0020] 为了能更进一步了解本发明的特征以及技术内容, 请参阅以下有关本发明的详细 说明与附图, 然而附图仅提供参考与说明用, 并非用来对本发明加以限制 [0021] 附图中, [0022] 图 1 为现有的蒸镀装置的结构示意图 ; [0023] 图 2 为本发明的蒸镀装置的结构示意图 ; [0024] 图 3 为本发明的蒸镀装置中坩埚切换装置与蒸发源的立体结构图 ; [0025] 图 4 为本发明的蒸镀装置中坩埚的结构示意图 具体实施方式 [0026] 为更进一步阐述本发明所采取的技术手段及其效果, 以下结合本发明的优选实施例及其附图进行详细描述 [0027] 请参阅图 2, 本发明提供一种蒸镀装置, 包括 : 真空腔 11 设于所述真空腔 11 内的蒸发源 12 以及设于所述蒸发源 12 上方的坩埚切换装置 13 [0028] 具体地, 请参阅图 3, 所述坩埚切换装置 13 包括 : 坩埚载盘 10 设于所述坩埚载盘 10 4

5 说明书 3/3 页 上的多个坩埚 30 以及设于所述坩埚载盘 10 底部与所述坩埚载盘 20 垂直相连的运动轴 20 [0029] 进一步地, 所述坩埚载盘 10 上设有多个通孔 50, 每一个通孔 50 内对应放置有一个坩埚 30, 结合图 4, 所述坩埚 30 的顶部直径 D 大于所述坩埚 30 的底部直径 d, 所述通孔 50 的直径大于所述坩埚 30 的底部直径 d 小于所述坩埚 30 的顶部直径 D, 从而使得坩埚 30 平稳放置于通孔 50 上, 且不会掉落, 并且在下降时能够与蒸发源 12 接触 [0030] 具体地, 所述蒸镀装置的坩埚切换过程为 : 首先, 所述运动轴 20 带动所述坩埚载盘 10 上升使得已经蒸发完的坩埚 30 与所述蒸镀源 12 分离, 然后, 所述运动轴 20 带动所述坩埚载盘 10 绕所述运动轴 20 的轴线旋转, 使得坩埚载盘 10 上的另一个坩埚 30 与蒸发源 12 对位, 所述运动轴 20 带动所述坩埚载盘 10 沿所述运动轴 20 的轴向下降, 将另一个坩埚 30 放入蒸发源 12 中, 完成坩埚的切换 整个切换过程不需要打开真空腔 11, 在真空环境下即可完成, 简单快捷 [0031] 进一步地, 所述运动轴 20 包括 : 旋转轴 21 以及套设于所述旋转轴 21 内的升降轴 22, 所述升降轴 22 与所述坩埚载盘 10 连接, 带动所述坩埚载盘 10 上下升降, 所述旋转轴 21 带动所述升降轴 22 和坩埚载盘 10 旋转 [0032] 具体地, 所述坩埚载盘 10 的形状为圆形, 所述多个通孔 50 均匀分布于一所述坩埚载盘 10 的同心圆的圆周上, 所述运动轴 20 设于所述坩埚载盘 10 的底部的中心点 [0033] 具体地, 所述蒸发源 12 的数量根据所述真空腔 11 的大小进行选择, 至少为 2 个, 最多不能超过所述真空腔 11 所能容纳的上限 ( 如 10 个 ), 而所述坩埚切换装置 13 的数量小于或等于所述蒸发源 12 的数量 其中, 当所述坩埚切换装置 13 的数量小于所述蒸发源 12 的数量时, 每一坩埚切换装置 13 对应多个蒸发源 12, 当所述坩埚切换装置 13 的数量等于所述蒸发源 12 的数量时, 每一坩埚切换装置 13 对应一个蒸发源 12 [0034] 优选地, 每一坩埚切换装置 13 的坩埚载盘 10 上的坩埚 30 的数量为 2 到 10 个, 所述蒸发源 12 均匀分布于一个圆的圆周上 [0035] 需要说明的是, 若所述蒸发源 12 和坩埚切换装置 13 的数量均为 3 个, 每一坩埚切换装置 13 的坩埚载盘 10 上的坩埚 30 的数量为 10 个, 则一个真空腔 11 可载入 30 个坩埚 30, 是现有技术的 3 倍, 极大的增加了坩埚 30 的载入量, 而 30 个坩埚 30 只需要 3 个蒸发源 2, 蒸发源 2 数量是现有技术的 1/10, 该 30 个坩埚可通过坩埚切换装置在真空环境下完成切换, 也就是说一次开腔加料作业可以填充 30 个坩埚的材料, 在镀率相同的情况下, 大大延长了开腔加料的周期, 从而提高生产效率, 降低设备成本 [0036] 综上所述, 本发明的蒸镀装置, 包括 : 真空腔 设于所述真空腔内的蒸发源 以及设于所述蒸发源上方的坩埚切换装置, 其中, 所述坩埚切换装置包括 : 坩埚载盘 设于所述坩埚载盘上的多个坩埚 以及设于所述坩埚载盘底部与所述坩埚载盘垂直相连的运动轴, 通过控制所述运动轴带动所述坩埚载盘旋转和升降运动实现在真空环境下完成蒸镀源上的坩埚切换, 实现一个蒸镀源对应多个坩埚, 从而增加坩埚载入的数量, 减少蒸镀源的数量, 延长开腔加料的周期, 提高生产效率, 降低设备成本 [0037] 以上所述, 对于本领域的普通技术人员来说, 可以根据本发明的技术方案和技术构思作出其他各种相应的改变和变形, 而所有这些改变和变形都应属于本发明后附的权利要求的保护范围 5

6 说明书附图 1/4 页 图 1 6

7 说明书附图 2/4 页 图 2 7

8 说明书附图 3/4 页 图 3 8

9 说明书附图 4/4 页 图 4 9

26 D00 27 D02 28 D03 29 D05 30 D06 31 D10 32 D12 33 D13 34 D14 35 D16 36 D17 37 D18, 38 D19 39 D20 40 D21 41 D22 42 D23 43 D24 44 D25 45 D26 46 D27 47

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