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1 MS-LFR, MS q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo w 5 4 6x10 12

2 MS-LFR, MS MS [bar] [μm] AG /AQ D2 D4 D5 D6 D7 D8 A B C E MSB-FRC 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 ( Internet: msb4, msb6 msb9) MSB 4 G¼ Gx,G¼,Gy 6 G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 MS-LFR 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 MS-LF MS-LFM MS-LFX 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 MS-LWS 4 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 2 Internet: Subject to change

3 MS-LFR, MS MS /Internet MS EN Gx EN G¼ R U M H V E VS AG A8 A4 AD AS E11 S Z MSB-FRC 4 msb4 6 msb MSB 4 msb4 6 msb MS-LFR MS-LF MS-LFM MS-LFX 4 ms4-lf 6 ms6-lf 9 ms9-lf 12 ms12-lf 4 ms4-lfm 6 ms6-lfm 9 ms9-lfm 12 ms12-lfm 4 ms4-lfx 6 ms6-lfx 9 ms9-lfx 12 ms12-lfx MS-LWS 4 6 ms6-lws 9 ms9-lws 12 ms12-lws Subject to change Internet: 3

4 MS-LFR, MS MS [bar] 24 V DC EN V DC M12 IEC V AC EN V AC EN AG /AQ D2 D4 D5 D6 D7 D8 V24 V24P V110 V230 MS-LR MS-LRB MS-LRP MS-LRPB MS-LRE 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 G¼ Gx,G¼,Gy 6 G½ G¼,Gy,G½,G¾ G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ G½ G¼,Gy,G½,G¾ G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 MS-LOE 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 MS-EM(1) MS-EE MS-DL MS-DE 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 Internet: Subject to change

5 MS-LFR, MS MS /Internet MS EN Gx EN G¼ R U VS AG A8 A4 AD AS E11 S Z MS-LR MS-LRB MS-LRP MS-LRPB MS-LRE 4 ms4-lr 6 ms6-lr 9 ms9-lr 12 ms12-lr 4 ms4-lrb 6 ms6-lrb ms6-lrp ms6-lrpb ms6-lre 9 12 MS-LOE 4 ms4-loe 6 ms6-loe 9 ms9-loe 12 ms12-loe MS-EM(1) MS-EE MS-DL MS-DE 4 ms4-em1 6 ms6-em1 9 ms9-em 12 ms12-em 4 ms4-ee 6 ms6-ee 9 ms9-ee 12 ms12-ee 4 ms4-dl 6 ms6-dl 9 12 ms12-dl 4 ms4-de 6 ms6-de 9 12 ms12-de Subject to change Internet: 5

6 MS-LFR, MS MS 1, 1 3, 2 4, 2 24 V DC, Sub-D, 9 24 V DC EN AG /AQ C D E 10V24 10V24/ V24 MS-SV-C MS-SV-D MS-SV-E 24 V DC M12 IEC /230 V AC EN V24P V110/ V V DC M12, AS-i Safety at Work 4 6 G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ G½ G¼,Gy,G½,G¾ G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 ASIS MS-LDM1 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 12 MS-FRM MS-FRM-FRZ 4 Gx,G¼ Gx,G¼,Gy 6 G¼,Gy,G½ G¼,Gy,G½,G¾ 9 G¾,G1 G½,G¾,G1,G1¼,G1½ 12 G1, G1¼,G1½,G2 4 G¼ 6 G½ 9 12 SFAM 4 6 G½ G½ 9 G1, G1½ 12 6 Internet: Subject to change

7 MS-LFR, MS MS /Internet MS EN Gx EN G¼ 2x PNP NPN, ma 2x PNP NPN, V R U VS AG A8 A4 AD 2SA 2SV S Z/R MS-SV-C MS-SV-D MS-SV-E 4 6 ms6-sv 9 ms9-sv ms6-sv ms6-sv 9 12 MS-LDM1 4 ms4-ldm1 6 ms6-ldm MS-FRM MS-FRM-FRZ 4 ms4-frm 6 ms6-frm 9 ms9-frm 12 ms12-frm 4 ms4-frm 6 ms6-frm 9 12 SFAM 4 6 sfam-62 9 sfam Subject to change Internet: 7

8 MS4/MS6-LFR, MS MS4/MS6-LFR 7 -H af MS4/MS6 MS9 Internet: amv, rmv, armv Internet: ipm-80, ipm-40-80, ipm ad 1 ac 3 aa aj ab ae 8 Internet: Subject to change

9 MS4/MS6-LFR, MS 1 MS4/6-END 2 -SET MS4/6-AG -SET MS4/6-AQ 3 MS4/6-MV 4 MS4/6-WB 5 MS4-WBM 6 MS4/6-WR 7 MS4/6-WRS 8 VS 9 EN x/¼ A8/A4 aj MA aa AD7 AD10 ab NEBU-M8 -LE3 ac AD1 AD4 ad NEBU-M8 -LE3/NEBU-M12 -LE4 /Internet ms4-end, ms6-end ms4-ag, ms6-ag ms4-aq, ms6-aq ms4-mv, ms6-mv ms4-wb, ms6-wb ms4-wbm ae E2/E3/E4 24 af 50 LRVS-D MS4/6-WP/WPB/WPE/WPM ms4-wr, ms6-wr ms4-wrs, ms6-wrs ms4-wp, ms6-wp Subject to change Internet: 9

10 MS4/MS6-LFR, MS MS 6 LFR ½ D7 E R M AS MS 4 40 mm 6 62 mm LFR MS4 x ¼ Gx G¼ MS6 ¼ y ½ G¼ Gy G½ D6 D bar bar C E 5 μm 40 μm R U M V AS 24 EU UL 10 Internet: Subject to change

11 MS4/MS6-LFR, MS S -M ,200 l/min -Q C -L bar -W bar,0.3 7bar, bar bar 2 1 EX4 1, 2, μm 40 μm 49 MS4 MS6 1, 2 Gx G¼ G¼,Gy G½ AG Gx,G¼ Gy G¼,Gy,G½ G¾ AQ NPTx,NPT¼ NPTy NPT¼,NPTy,NPT½ NPT¾ ±5 [μm] 5 40 ISO :2010 [6:4:4] ( 5 μm) ISO :2010 [7:4:4] ( 40 μm) -H- ISO ISO Subject to change Internet: 11

12 MS4/MS6-LFR, MS MS4 MS6 D5 [bar] D6 [bar] D7 [bar] ( AD UL ) D8 [bar] (0.5 10UL ) [bar] 0.25 LCD Gx G¼ [cm 3 ] 19 () 25 () 38 qnn 1) [l/min] MS4 MS6 Gx G¼ G¼ Gy G½ D bar 5 μm 900 2) 1,800 2) 2,000 2) 5,500 2) 6,900 2) 40 μm 1,100 2) 1,900 2) 2,200 2) 6,000 2) 7,200 2) D bar 5 μm 900 1,500 2,700 5,000 5, μm 1,000 1,700 2,800 5,700 6,200 D bar 5 μm 850 1,200 2,200 3,500 4, μm 900 1,500 2,500 4,000 4,500 D bar 5 μm 2,000 3,300 3, μm 2,300 3,500 4,000 1) p1 = 10 bar p2 = 6 bar, Δp=1bar 2) p1 = 10 bar p2 = 3 bar, Δp=1bar M H V E2/E3/E4 MS4 MS6 MS4 MS6 MS4 MS6 MS6 [bar] (0.8 10) 1) (0.8 10) 1) (1.5 10) 1) (1.5 10) 1) 2 12 (2 10) 1) 2 12 (2 10) 1) (0.8 10) 1) ISO :2010 [ :4: ] ISO :2010 [ :4: ] ISO :2010 [7:4: ] ISO :2010 [ :4: ] [ C] (0 +50) 2) (+5 +50) 2) (+5 +50) 2) (+1 +50) 2) [ C] (0 +50) 2) (+5 +50) 2) (+5 +50) 2) (+1 +50) 2) [ C] CRC 3) 2 UL culus recognized (OL) 1) MS4/MS6-LFRUL. 2) MS4/MS6-LFR AD. 3) 2 Festo FN Internet: Subject to change

13 MS4/MS6-LFR, MS ATEX EU EX4 ATEX II 2G Ex ct6x ATEX II 2D EX c60 CX ATEX 10 C Ta +60 C ( M) +5 C Ta +60 C ( H/V) CE (ATEX) [g] MS4 MS6 E11 E11 E11 E11 R ,145 U ,087 1,627 U E2/E3/E4 1,800 2, aa aj PA/POM E11 3 PC 4, PA 5 PE 6 POM 7 POM 8 POM 9 POM aj NBR aa NBR RoHS ( E2, E3 E4) VS Subject to change Internet: 13

14 MS4/MS6-LFR, MS qn p2 D6 D7 5 μm 40 μm MS4-LFR-x p1 = 10 bar p2 [bar] p2 [bar] D6: bar D7: bar qn [l/min] qn [l/min] MS4-LFR-¼ p1 = 10 bar p2 [bar] p2 [bar] D6: bar D7: bar qn [l/min] qn [l/min] 14 Internet: Subject to change

15 MS4/MS6-LFR, MS qn p2 D6 D7 5 μm 40 μm MS6-LFR-¼ p1 = 10 bar p2 [bar] p2 [bar] D6: bar D7: bar qn [l/min] qn [l/min] MS6-LFR-y p1 = 10 bar p2 [bar] p2 [bar] D6: bar D7: bar qn [l/min] qn [l/min] MS6-LFR-½ p1 = 10 bar p2 [bar] p2 [bar] D6: bar D7: bar qn [l/min] qn [l/min] Subject to change Internet: 15

16 MS4/MS6-LFR, MS MS4-LFR MS,, R U CAD 1 B1 B2 B3 D1 D2 L1 L2 L3 L4 L5 L6 MS4-LFR-x Gx MS4-LFR-¼ G¼ H- ISO ISO Internet: Subject to change

17 MS4/MS6-LFR, MS MS6-LFR MS,, CAD R U 1 B1 B2 B3 D1 D2 L1 L2 L3 L4 L5 L6 MS6-LFR-¼ G¼ MS6-LFR-y Gy MS6-LFR-½ G½ -H- ISO ISO Subject to change Internet: 17

18 MS4/MS6-LFR, MS VS CAD A8/A4EN x/¼ B2 B3 D1 D4 MS4-LFR-x- -VS MS4-LFR-¼- -VS Gx G¼ MS4-LFR-x- -A8 MS4-LFR-¼- -A Gx G¼ Gx MS4-LFR-x- -A4 MS4-LFR-¼- -A Gx G¼ G¼ MS6-LFR-¼- -VS G¼ MS6-LFR-y- -VS Gy MS6-LFR-½- -VS G½ MS6-LFR-¼- -A4 G¼ MS6-LFR-y- -A Gy G¼ MS6-LFR-½- -A4 G½ -H- ISO ISO Internet: Subject to change

19 MS4/MS6-LFR, MS MS RG CAD B2 B3 D1 MS4-LFR-x- -RG MS4-LFR-¼- -RG Gx G¼ MS6-LFR-¼- -RG MS6-LFR-y- -RG MS6-LFR-½- -RG G¼ Gy G½ -H- ISO ISO Subject to change Internet: 19

20 MS4/MS6-LFR, MS LCD AD1 AD4 CAD Internet: sde1 AD1: SDE1-D10-G2-MS- L-P1-M83 M8x1, 1 PNP AD2: SDE1-D10-G2-MS- L-N1-M83 M8x1, 1 NPN AD3: SDE1-D10-G2-MS-L- PI-M124 M12x1, 1 PNP 4 20mA AD4: SDE1-D10-G2-MS-L- NI-M124 M12x1, 1 NPN 4 20mA LCD () AD7 AD10 Internet: sde5 AD7: SDE5-D10-O- -P-M83 M8x1,,1 PNP, AD9: SDE5-D10-O3- -P-M83 M8x1,, 1 PNP, AD8: SDE5-D10-C- -P-M83 M8x1,,1 PNP, AD10: SDE5-D10-C3- -P-M83 M8x1,, 1 PNP, B2 B3 D1 D6 L5 L6 MS4-LFR-x- -AD1/AD2 MS4-LFR-¼- -AD1/AD Gx G¼ M8x MS4-LFR-x- -AD3/AD4 MS4-LFR-¼- -AD3/AD Gx G¼ M12x MS4-LFR-x- -AD7/AD8/AD9/AD10 MS4-LFR-¼- -AD7/AD8/AD9/AD Gx G¼ M8x1 MS6-LFR-¼- -AD1/AD2 G¼ MS6-LFR-y- -AD1/AD Gy M8x MS6-LFR-½- -AD1/AD2 G½ MS6-LFR-¼- -AD3/AD4 G¼ MS6-LFR-y- -AD3/AD Gy M12x MS6-LFR-½- -AD3/AD4 G½ MS6-LFR-¼- -AD7/AD8/AD9/AD10 G¼ MS6-LFR-y- -AD7/AD8/AD9/AD Gy M8x1 MS6-LFR-½- -AD7/AD8/AD9/AD10 G½ -H- ISO ISO Internet: Subject to change

21 MS4/MS6-LFR, MS MS4/6-WRS ( ) AS E11 CAD 2 LD-AS 3 B4 B5 D2 D3 L3 L8 L9 L10 L11 ß 1 MS4-LFR- -AS M30x MS4-LFR- -E MS4-LFR- -LD-AS MS6-LFR- -AS M44x MS6-LFR- -E MS6-LFR- -LD-AS , Subject to change Internet: 21

22 MS4/MS6-LFR, MS M H V MS4- -R/U-M MS6- -R-M MS6- -U-M MS4- -R/U-H MS6- -R-H MS6- -U-H MS4- -R/U-V MS6- -R-V CAD MS6- -U-V PUN(-H)-8x1,25 PUN-6/PAN-6 PUN(-H)-8x1,25 D6 L6 D6 L6 D6 L6 R R R MS4-LFR- -M 17.7 MS4-LFR- -H 22.1 MS4-LFR- -V MS6-LFR- -M 15.8 MS6-LFR- -H 20.4 MS6-LFR- -V 18.5 U U U MS4-LFR- -M 17.7 MS4-LFR- -H 22.1 MS4-LFR- -V MS6-LFR- -M MS6-LFR- -H MS6-LFR- -V E2/E3/E4 PWEA: 2 : PG PUN-H-12x2 Internet: pwea B6 B7 B8 B9 L12 MS6-LFR- -E2/E3/E Internet: Subject to change

23 MS4/MS6-LFR, MS q 5 μm 40 μm 0.3 7bar,, MS [bar], MS4 G¼ q MS4-LFR-¼-D6-CRM-AS q MS4-LFR-¼-D6-ERM-AS q MS4-LFR-¼-D6-CRV-AS q MS4-LFR-¼-D6-ERV-AS MS6 G½ q MS6-LFR-½-D6-CRM-AS q MS6-LFR-½-D6-ERM-AS q MS6-LFR-½-D6-CRV-AS q MS6-LFR-½-D6-ERV-AS bar,, MS [bar], MS4 G¼ q MS4-LFR-¼-D7-CRM-AS q MS4-LFR-¼-D7-ERM-AS q MS4-LFR-¼-D7-CRV-AS q MS4-LFR-¼-D7-ERV-AS MS6 G½ q MS6-LFR-½-D7-CRM-AS q MS6-LFR-½-D7-ERM-AS q MS6-LFR-½-D7-CRV-AS q MS6-LFR-½-D7-ERV-AS bar,, MS [bar], MS4 G¼ q MS4-LFR-¼-D7-EUM-AS q MS4-LFR-¼-D7-CUV-AS q MS4-LFR-¼-D7-EUV-AS MS6 G½ q MS6-LFR-½-D7-CUM-AS q MS6-LFR-½-D7-EUM-AS q MS6-LFR-½-D7-CUV-AS q MS6-LFR-½-D7-EUV-AS 5 μm 40 μm 0.3 7bar,, MS [bar], MS4 Gx MS4-LFR-x-D6-CRM-AS MS4-LFR-x-D6-ERM-AS MS4-LFR-x-D6-CRV-AS MS4-LFR-x-D6-ERV-AS MS6 G¼ MS6-LFR-¼-D6-CRM-AS MS6-LFR-¼-D6-ERM-AS MS6-LFR-¼-D6-ERV-AS Gy MS6-LFR-y-D6-CRM-AS MS6-LFR-y-D6-ERM-AS MS6-LFR-y-D6-CRV-AS MS6-LFR-y-D6-ERV-AS bar,, MS [bar], MS4 Gx MS4-LFR-x-D7-CRM-AS MS4-LFR-x-D7-ERM-AS MS4-LFR-x-D7-CRV-AS MS4-LFR-x-D7-ERV-AS MS6 G¼ MS6-LFR-¼-D7-CRM-AS MS6-LFR-¼-D7-ERM-AS MS6-LFR-¼-D7-CRV-AS MS6-LFR-¼-D7-ERV-AS Gy MS6-LFR-y-D7-CRM-AS MS6-LFR-y-D7-ERM-AS MS6-LFR-y-D7-CRV-AS MS6-LFR-y-D7-ERV-AS bar,, MS [bar], MS6 Gy MS6-LFR-y-D7-EUM-AS MS6-LFR-y-D7-CUV-AS MS6-LFR-y-D7-EUV-AS Festo q24 Festo w Subject to change Internet: 23

24 MS4/MS6-LFR, MS [mm] M MS MS 4 6 -LFR -LFR Gx 1 -x G¼ G¼ 1 w-¼ Gy 1 -y G½ 1 w-½ Gx -AGA G¼ G¼ w-agb Gy Gy -AGC G½ w-agd G¾ -AGE NPTx 1 -AQK NPT¼ NPT¼ 1 -AQN NPTy NPTy 1 -AQP NPT½ 1 -AQR NPT¾ 1 -AQS 0.3 4bar w-d bar w-d bar w-d bar 1 -D8 40 μm w-e 5 μm w-c w-r -U w-m (P1max.12bar) 2 -H (P1max.12bar) 2 w-v 110 V AC 13 -E2 230 V AC 13 -E3 24 V DC 13 -E4 1 x, ¼, y, ½, AQK,AQN,AQP,AQR,AQS,D8,E2,E3,E4,AD1 AD4, AD7 AD10, E11, WPM EU EX4 2 H, V D8 3 E2, E3, E4 U M O MS LFR Festo q24 Festo w 5 24 Internet: Subject to change

25 MS4/MS6-LFR, MS [mm] O w-vs EN -A8 x EN ¼ -A4, 4 -RG LCD, M8, 1 PNP, AD1 LCD, M8, 1 NPN, AD2 LCD, M12, 1 PNP, 4, 4 20mA 15 -AD3 LCD, M12, 1 NPN, 4, 4 20mA 15 -AD4, M8,,PNP, 15 -AD7, M8,,PNP, 15 -AD8, M8,,PNP, 15 -AD9, M8,,PNP, 15 -AD10 psi 6 -PSI MPa 6 -MPA -OS 7 -LD 0M w-as 1 -E11 0O 8 w-wr 9 -WP 19 -WPM w-wb -WBM EU II 2GD (ATEX) -EX4 UL culus, -UL1 -Z 4 RG PSI 5 AD1 AD4, AD7 AD10 max. 10 bar D8 6 PSI, MPA VS, A8, A4, AD1 AD4, AD7 AD10 7 LD E11 8 WR LD 9 WP, WPM AGA, AGB, AGC, AGD, AGE, AQK, AQN, AQP, AQR AQS M O Festo q24 Festo w Subject to change Internet: 25

26 MS9-LFR, MS H- MS6, MS9 MS12 Internet: rmv, armv ab aj aa 2/3/4/ /3/4/5 ac 26 Internet: Subject to change

27 MS9-LFR, MS AG /AQ /Internet ¾/1/N¾/N1 EX4 EX4 G/NG 1 -SET ms9-ag MS9-AG -SET ms9-aq MS9-AQ 2 ms9-mv MS9-MV 3 ms9-wp MS9-WP 4 ms9-wp MS9-WPB 5 ms9-wp MS9-WPM 6 MS 38 AG 7 38 VS 8 38 AD7 AD NEBU-M8 -LE3 aj EN ¼ 38 A4 aa 50 MA ab 50 LRVS-D ac, E2/E3/E Subject to change Internet: 27

28 MS9-LFR, MS MS 9 LFR G D6 E U M DI AG BAR AS MS 9 90 mm LFR G NG (inch) / D6 D bar, bar, C E 5 μm 40 μm U M V DI AG MS BAR PSI bar psi AS 38 EU UL 28 Internet: Subject to change

29 MS9-LFR, MS S -M- 6,000 23,000 l/min -Q C -L- 1 20bar -W bar,0.5 7bar, bar bar 5 μm 40 μm 49 EX4 1, 2, , 2 AG AQ G/NG G¾,G1,NPT¾ NPT1 G½,G¾,G1,G1¼ G1½ NPT½,NPT¾,NPT1,NPT1¼ NPT1½ ±5 [μm] 5(ISO :2010 [6:4:4]) 40 (ISO :2010 [7:4:4]) / D5 [bar] 0.5 4, D6 [bar] 0.5 7, D7 [bar] , ( AD ) D8 [bar] , ( AD ) -H- ISO ISO Subject to change Internet: 29

30 MS9-LFR, MS [bar] 0.4 G¼ [ml] 220 qnn 1)2) [l/min] DI G¾/NPT¾ G1/NPT1 G¾/NPT¾ G1/NPT1 D bar 5 μm 17,000 3) 20,000 3) 16,000 3) 18,000 3) 40 μm 18,000 3) 23,000 3) 16,000 3) 20,000 3) D bar 5 μm 15,000 18,000 12,000 10, μm 16,000 20,000 12,000 10,000 D bar 5 μm 15,000 18, μm 16,000 20,000 D bar 5 μm 15,000 18, μm 16,000 20,000 1) ±15% 2) p1 = 10 bar p2 = 6 bar, Δp=1bar 3) p1 = 10 bar p2 = 4 bar, Δp=1bar E2/E3/E4 M H V [bar] ISO :2010 [ :4: ] ISO :2010 [ :4: ] ISO :2010 [7:4: ] ISO :2010 [ :4: ] [ C] [ C] AD [ C] [ C] AD [ C] CRC 1) 2 ( UL1) culus recognized (OL) 1) 2 Festo FN ATEX EU EX4 ATEX II 2G Ex ct6x ATEX II 2D EX ct60 CX ATEX 10 C Ta +60 C ( M) +5 C Ta +60 C ( H/V) CE (ATEX) 30 Internet: Subject to change

31 MS9-LFR, MS [g] E11 E11 U 2,400 2,700 U E2/E3/E4 2,800 3, PA E11 3 PA 4 PE 5 POM 6 POM 7 POM 8 NBR 9,NBR,POM NBR RoHS ( E2, E3 E4) qn p2 p1 = 10 bar 5 μm, G¾/NPT¾ 40 μm, G¾/NPT¾ MS9-LFR- -D5 MS9-LFR- -D6/D7/D8 MS9-LFR- -D5 MS9-LFR- -D6/D8 MS9-LFR- -D Subject to change Internet: 31

32 MS9-LFR, MS qn p2 p1 = 10 bar 5 μm, G1/NPT1 40 μm, G1/NPT1 MS9-LFR- -D5 MS9-LFR- -D6/D7/D8 qn p2 p1 = 10 bar DI 5 μm, G¾/NPT¾ 40 μm, G¾/NPT¾ 5 μm, G1/NPT1 40 μm, G1/NPT1 MS9-LFR- -D5 MS9-LFR- -D6 32 Internet: Subject to change

33 MS9-LFR, MS G/NG, VS, CAD 1 B1 B2 B3 L1 L2 L3 L4 L5 L6 MS9-LFR-G/NG Subject to change Internet: 33

34 MS9-LFR, MS / ¾/1/N¾/N1 AG /AQ CAD 2 M6xmin.90 DIN 912 ( ) 3 M4x8 ( MS9- -EX4) B4 B5 B6 B7 B8 D1 D4 D5 L7 L8 T1 ß EX4 EX4 MS9-LFR-¾ G¾ MS9-LFR-1 G MS9-LFR-AGD 132 G½ 30 MS9-LFR-AGE 132 G¾ 36 MS9-LFR-AGF G MS9-LFR-AGG 162 G1¼ 50 MS9-LFR-AGH 176 G1½ 55 MS9-LFR-N¾ NPT¾ MS9-LFR-N1 NPT1-11½ MS9-LFR-AQR 132 NPT½ MS9-LFR-AQS 132 NPT¾ MS9-LFR-AQT NPT1-11½ 41 MS9-LFR-AQU 162 NPT1¼-11½ 50 MS9-LFR-AQV 176 NPT1½-11½ 55 -H- ISO ISO Internet: Subject to change

35 MS9-LFR, MS MS AG RG CAD A4EN ¼ B2 B3 B9 D2 MS9-LFR- -AG/RG MS9-LFR- -A4 110 G¼ -H- ISO ISO LCD () AD7 AD10 AD7: SDE5-D10-O- -P-M83 M8x1,,1 PNP, CAD Internet: sde5 AD9: SDE5-D10-O3- -P-M83 M8x1,, 1 PNP, AD8: SDE5-D10-C- -P-M83 M8x1,,1 PNP, AD10: SDE5-D10-C3- -P-M83 M8x1,, 1 PNP, B2 B11 D3 MS9-LFR- -AD7/AD8/AD9/AD M8x Subject to change Internet: 35

36 MS9-LFR, MS AS E11 CAD 2 B1 D1 D2 L2 L3 L4 MS9-LFR- -AS M44x1 MS9-LFR- -E M/ V H CAD PUN(-H)-8x1,25 PUN-6/PAN-6 E2/E3/E4 PWEA 2 : PG PUN-H-12x2 Internet: pwea B1 D1 H1 L1 L2 L3 MS9-LFR- -M/V MS9-LFR- -H 6.2 MS9-LFR- -E2/E3/E Internet: Subject to change

37 MS9-LFR, MS 5 μm 40 μm 0.5 7bar,, MS AG [bar], MS MS9-LFR-G-D6-CUM-AG-BAR-AS MS9-LFR-G-D6-EUM-AG-BAR-AS MS9-LFR-G-D6-CUV-AG-BAR-AS MS9-LFR-G-D6-EUV-AG-BAR-AS 0.5 7bar,, MS AG [bar], MS MS9-LFR-G-D6-CUM-DI-AG-BAR-AS MS9-LFR-G-D6-EUM-DI-AG-BAR-AS MS9-LFR-G-D6-CUV-DI-AG-BAR-AS MS9-LFR-G-D6-EUV-DI-AG-BAR-AS 0.5 7bar,, MS AG [psi], MS MS9-LFR-NG-D6-CUM-DI-AG-PSI-AS MS9-LFR-NG-D6-EUM-DI-AG-PSI-AS MS9-LFR-NG-D6-CUV-DI-AG-PSI-AS MS9-LFR-NG-D6-EUV-DI-AG-PSI-AS bar,, MS AG [bar], MS MS9-LFR-G-D7-CUM-AG-BAR-AS MS9-LFR-G-D7-EUM-AG-BAR-AS MS9-LFR-G-D7-CUV-AG-BAR-AS MS9-LFR-G-D7-EUV-AG-BAR-AS Subject to change Internet: 37

38 MS9-LFR, MS [mm] 90 0M MS MS LFR -LFR G¾ 1 -¾ G1 1-1 G½ -AGD G¾ -AGE G1 -AGF G1¼ -AGG G1½ -AGH NPT¾ 1 -N¾ NPT1 1 -N1 NPT½ 1 -AQR NPT¾ 1 -AQS NPT1 1 -AQT NPT1¼ 1 -AQU NPT1½ 1 -AQV 1 -G (inch) 1 -NG / 0.5 4bar, -D bar, -D bar, -D bar, 1 -D8 40 μm -E 5 μm -C -U -U -M (P1max.12bar) -H (P1max.12bar) -V 110 V AC (P1max.16bar) 1 -E2 230 V AC (P1max.16bar) 1 -E3 24 V DC (P1max.16bar) 1 -E4 1 ¾, 1,N¾, N1,AQR,AQS,AQT,AQU,AQV,G,NG,D8,E2,E3,E4,AD7,AD8,AD9,AD10,E11,WPM EU EX4 M O MS 9 LFR U 38 Internet: Subject to change

39 MS9-LFR, MS [mm] 90 0O 2 -DI 0M / MS -AG -VS EN ¼ -A4, 3 -RG, M8,,PNP, 14 -AD7, M8,,PNP, 14 -AD8, M8,,PNP, 14 -AD9, M8,,PNP, 14 -AD10 0O psi 5 -PSI MPa 5 -MPA bar 5 -BAR 6 -OS 0M -AS 1 -E11 0O 7 -WP 17 -WPM 7 -WPB EU II 2GD (ATEX) -EX4 UL culus, -UL1 -Z 1 ¾, 1,N¾, N1,AQR,AQS,AQT,AQU,AQV,G,NG,D8,E2,E3,E4,AD7,AD8,AD9,AD10, E11, WPM EU EX4 2 DI D7, D8 3 RG PSI PSI 4 AD7 AD10 max. 10 bar 5 PSI, MPA, BAR VS, A4, AD7, AD8, AD9, AD10 6 OS DI 7 WP,WPM,WPB G/NG M O Subject to change Internet: 39

40 MS12-LFR, MS MS12-LFR H- MS9 Internet: armv SET MS12-AG 2 MS12-WP 3 MS12-MV 4 LRVS-D 5 VS 6 EN ¼ A4 7 MA /Internet ms12-ag ms12-wp ms12-mv Internet: Subject to change

41 MS12-LFR, MS MS 12 LFR G D7 C U V LD AS MS mm LFR G D bar C E 5 μm 40 μm U V LD AS Subject to change Internet: 41

42 MS12-LFR, MS -M- 11,000 17,000 l/min -Q C -L bar -W bar, bar bar 5 μm 40 μm 49 1, 2 AG G G1, G1¼,G1½ G2 ±5 [μm] 5 40 ISO :2010 [6:4:4] ( 5 μm) ISO :2010 [7:4:4] ( 40 μm) D6 [bar] D7 [bar] D8 [bar] [bar] 0.4 [cm 3 ] 400 -H- ISO ISO Internet: Subject to change

43 MS12-LFR, MS qnn 1) [l/min] G1 G1¼ G1½ G2 5 μm 11,000 11,500 12,000 14, μm 12,000 12,500 13,000 17,000 1) Internet: ms12-ag p1 = 10 bar p2 = 6 bar, Δp=0.5bar M V E2/E3/E4 [bar] ISO :2010 [ :4: ] ISO :2010 [7:4: ] [ C] [ C] [ C] CRC 1) 2 ISO :2010 [ :4: ] 1) 2 Festo FN [g] E11 E11 U 7,000 7,300 U E2/E3/E4 7,700 8, ab aa PA E POM 8 POM 9 POM aj POM aa NBR ab NBR 9 4 aj Subject to change Internet: 43

44 MS12-LFR, MS qn p2 40 μm p1 = 10 bar MS12-AGF G1 MS12-AGG G1¼ p2 [bar] p2 [bar] qn [l/min] qn [l/min] p1 = 10 bar MS12-AGH G1½ MS12-AGI G2 p2 [bar] p2 [bar] qn [l/min] qn [l/min] 44 Internet: Subject to change

45 MS12-LFR, MS, MS, CAD 1 B1 B2 B3 B4 B5 L1 L2 L3 L4 L5 MS12-LFR-G Subject to change Internet: 45

46 MS12-LFR, MS VS CAD A4EN ¼ B3 B4 D4 MS12-LFR- -VS MS12-LFR- -A G¼ -H- ISO ISO LD-AS E11 CAD 1 B5 D1 L6 L7 L8 MS12-LFR- -LD-AS MS12-LFR- -E Internet: Subject to change

47 MS12-LFR, MS M V CAD PUN(-H)-8x1,25 PUN(-H)-8x1,25 E2/E3/E4 PWEA: 2 : PG PUN-H-12x2 Internet: pwea B1 D2 H1 L1 L2 L3 L9 ß 1 MS12-LFR- -M MS12-LFR- -V MS12-LFR- -E2/E3/E μm 40 μm bar,, MS [bar], MS MS12-LFR-G-D7-CUV-LD-AS MS12-LFR-G-D7-EUV-LD-AS Subject to change Internet: 47

48 MS12-LFR, MS [mm] 124 0M MS MS LFR -LFR G1 -AGF G1¼ -AGG G1½ -AGH G2 -AGI -G 0.3 7bar -D bar -D bar -D8 40 μm -E 5 μm -C -U -U -M (P1max.12bar) 1 -V 110 V AC, -E2 230 V AC, -E3 24 V DC, -E4 0O -VS EN ¼ -A4 psi 2 -PSI MPa 2 -MPA 3 -LD 0M 4 -AS -E11 0O 5 -WP -Z 1 V D8 2 PSI, MPA VS, A4 3 LD E11 4 AS LD 5 WP AGF, AGG, AGH AGI M O MS 12 LFR U 48 Internet: Subject to change

49 MS-LFR, MS [μm] MS4 5() MS4-LFP-C 40 () MS4-LFP-E MS6 5() MS6-LFP-C 40 () MS6-LFP-E MS MS9-LFP-C MS9-LFP-E MS MS12-LFP-C MS12-LFP-E Subject to change Internet: 49

50 MS-LFR, MS NEBU-M8 [m] Internet: nebu M8x1, q NEBU-M8G3-K-2.5-LE3 5 q NEBU-M8G3-K-5-LE3 M8x1, q NEBU-M8W3-K-2.5-LE3 5 q NEBU-M8W3-K-5-LE3 NEBU-M12 [m] Internet: nebu M12x1, q NEBU-M12G5-K-2.5-LE4 5 q NEBU-M12G5-K-5-LE4 M12x1, NEBU-M12W5-K-2.5-LE NEBU-M12W5-K-5-LE4 MA [bar] [psi] MA, DIN EN Internet: ma 40 R¼ MA R¼-EN G¼ MA G¼-EN MA, DIN EN Internet: ma 40 Rx MA Rx-E-RG 50 R¼ MA R¼-E-RG LRVS-D [g] LRVS-D Festo q24 Festo w 5 50 Internet: Subject to change

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untitled MS-LR/LRB/LRP/LRPB/LRE, MS q/w : : : Festo 80% Festo q24 Festo 13 2200 w 5 4 6x10 12 MS-LR/LRB/LRP/LRPB/LRE, MS MS [bar] [μm] 0.05 0.05 0.1 0.3 0.1 0.5 0.7 2.5 4 7 12 16 0.01 1 5 40 AG /AQ D2 D4 D5 D6

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