国内性价比最高的测量工具显微镜 期待已久的测量工具显微镜测量显微镜是同时具有高精度长度测量和观察功能的多功能检测设备 主要应用在半导体 电子电气器件 模具 精细加工 精密汽车零件 冲压部件 注塑件 医疗设备等产品进行详细检测 VITT SQ600 和 SQ-FA 工具显微镜融合许多人的智慧和结晶,

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1 Vitt Measuring Microscope SQ600/SQM 工具显微镜 1

2 国内性价比最高的测量工具显微镜 期待已久的测量工具显微镜测量显微镜是同时具有高精度长度测量和观察功能的多功能检测设备 主要应用在半导体 电子电气器件 模具 精细加工 精密汽车零件 冲压部件 注塑件 医疗设备等产品进行详细检测 VITT SQ600 和 SQ-FA 工具显微镜融合许多人的智慧和结晶, 具有另人期待的关键功能 : 数字成像和影像处理测量技术 更高的精度, 光栅尺分辨率可达到 0.1um 更大的载物台设计提高了应用范围 高精度 z 轴测量 配合数据处理器便捷操作 电动 z 轴移动, 使操作简单化并且拥有精确的 z 轴控制 多种照明选择, 扩展了观察范围 底部光源是真正的准直光, 也是目前国内首家使用 ; 从而保证了使用透射模式测量工件的精度 2

3 Z 轴电动移动 专用的控制器使移动更精确 操作更方便 辅助对焦 拥有辅助对焦功能确保 z 轴对焦精确 目镜 适用于显微镜照相设备的配置 内置 z 轴线性光栅尺 进行非接触时高度测量时可读取 z 轴读数 LED 照明装置 一种用于明场观察的高亮度白色 led 照明 通用落射照明 支持一系列范围更广的应用 准直的透射光 用于轮廓测量, 提高测量精度 技术支持与售后服务测量显微镜至关重要的所有主要部件和光学系统都是自主研发, 以至于我们能提供其它方法不能达到的技术支持水平, 第一时间解决客户的特殊需求 安装调试都由专人专职负责, 设备的售后保障得以保证 设备校验调试后客户可签订维修合同, 可按需要享受可靠的售后服务 3

4 大视野目镜该目镜在同类国产产品中具有最大的视场数, 20mm(10x) 由于通过目镜的视野很大, 相对减小了眼睛的负担, 从而长时间观察使眼睛 高刚性结构为了实现任意倍率的高精度测量和清晰的观察, 显微镜的立柱和底座都是高刚性材质, 开发过程中同时进行了相关的基础试验, 确保产品的稳定性 的疲劳度降低 20mm 18mm SQ600/SQM 其它国产品牌 数据处理器多种规格的载物台 ( 可定制非常规平台 ) 此处理器最小读数为 0.1um, 因此可进行高分由于工具显微镜的应用很广泛, 测量的产品尺寸大小不一, 辨率的测量, 国内独有的复位归 0 键使操作更 便捷 由于采用通用的 rs-232 接口, 数据可直 导致测量范围会有不同状况, 所以针对此状况, 本显微镜 有多种载物台的选择, 或定制 接输出到电脑并可和专业的测量软件相连接, 应用范围更广泛 4

5 应用 : 模具 精细加工部件 冲压部件 注模部件 医学设备 钻孔 微型工具 汽车组件 VITT SQ600 工具显微镜 优秀的光学系统 适合使用显微镜照相设备的配置 高亮度白色 LED 照明高强度白色 LED 照明 Z 轴电动移动专用的控制器使得上下移动更方便 精确 数据处理器适用于数字化光栅测量及视频测量的多 功能数显处理系统 准直的透射光 轮廓测量, 提高测量精度 特点 : 采用新光学系统可在大视野范围内产生清晰的正像 国内首台三目系统测量工具显微镜 高数值孔径物镜为 SQ600 系列专用 照明系统 ( 反射 / 透射 ) 高亮度 LED 工作台标准尺寸多种多样, 最大可达 300*200mm 测量大尺寸或大重量的工件时, 可使用快速释放装置快速移动工作台 标配的高精度电动调焦手轮, 不仅满足人体工程, 更能适合不同光学系统和测量环境要求 这样可确保精确聚集和观察测量方法, 与用左右手习惯无关 高倍率目镜的检测放大倍率最高可达到 100X 标准测量显微镜, 可选配件包括影像系统 ( 视像装置 ) 与各种数码 CCD 相机, 种类烦多 低噪声设计 5

6 规格 型号 VITT SQ600 镜筒 双目镜筒, 带有标准相机接口 ; 十字线 ( 交叉虚线 ); 光路径转换 ( 观测 / 相机 =50/50) 图像 正像 观测方法 明场 屈光度可调目镜 10x( 视场数 20),20x/16 可选 物镜 标配物镜 3x, 可选择物镜 1x 5x 调焦系统 Z 轴电动控制 ( 快 中 慢三种调节方式 ) 光源 透射 (led 照明器, 准直光 ) 落射 (led 照明器, 同轴光 ) 工作台 测量范围 :300*200mm;200*100mm 或定制平台尺寸 快速释放装置 :x 和 y 轴标配 调零开关 :x y z 轴选配 长度测量系统 高精度数显光栅尺,0.1um 光栅可选 数显计数器 最小读数 0.1um,RS232C 输出 外部尺寸 ( 宽 * 深 * 高 ) 380*705*725mm 测量精度 X 和 y:3+l/200,l 为测量长度 Z 轴 最大行程 :200mm 调焦方法 : 电动手轮控制调节 ( 快 中 慢 ) 线性刻度尺 : 内置 外部尺寸图 ( 单位 :mm) 6

7 SQ600 光学头说明 图片及外部尺寸图 ( 单位 :mm) SQ600 物镜说明图片及外部尺寸图 ( 单位 :mm) 1 倍 3 倍 5 倍物镜 这些紧凑的物镜具有较长的工作距离以及出色的分辨率, 所有的物镜几乎具有相同的齐焦距离 放大倍率 1x 3x 5x 工作距离 (mm)

8 附件说明 目镜 刻画片 双目镜筒 倍率 视场数 俯视角角度 10x 20mm 25 度 电动 z 轴移动 配备了具有 10mm/sec 速度的电动控制器, 使得控制更精确, 操作更方便 SQM 机器上同样标配 脚踏开关 复位归 0 开关 测量时方便使用人员取点, 国内首家采用复位键装置, 大大提高作业效率 更人性化的操作设计 照明选件 SQ600 根据不同测量要求提供四种照明方式 卡勒同轴照明 透射照明 LED 环形照明 光纤侧照明 同轴照明透射照明环状照明 8

9 SQ600 应用领域 模具医学设备钻孔注模部件 精细加工的部件冲压部件微型工具汽车组件 9

10 应用 : 半导体封装 FPD 面板 焊接贴片 光纤端子台阶测量 MEMS 晶片级 CSP 硬盘滑行磁头 VITT SQM-FA 工具显微镜 优秀的光学系统 适合使用显微镜照相设备的配置 高亮度白色的 LED 照明高强度白色 LED 照明器 Z 轴电动移动专用的控制器使得上下移动更方便 精确 数据处理器适用于数字化光栅测量及视频测量的多功能数显处理系统 Z 轴辅助对焦 FA 功能提高 z 轴测量精度 准直的透射光轮廓测量, 提高测量精度 特点 : 清晰无闪烁正像观测, 视场宽阔 国内首台带 FA 功能工具金相显微镜 金相学功能与测量显微镜功能一体化, 确保高分辨率观测与高精度测量结果 照明系统 ( 反射 / 透射 ) 高亮度 LED 可变孔径光阑 ( 反射 / 透射 ) 可消除观测与测量中的光衍射 具有二种 FA 图像可选 工作台标准尺寸多种多样, 最大可达 300*200mm 可变孔径光阑可消除观测与测量中的光衍射 测量大尺寸或大重量的工件时, 可使用快速释放装置快速移动工作台 这样可确保精确聚集和观察测量方法, 与用左右手习惯无关 标配的高精度电动调焦手轮, 不仅满足人体工程, 更能适合不同光学系统和测量环境要求 高倍率目镜的检测放大倍率最高可达到 2000X( 须使用 PLAN 100X 物镜 ) 标准测量显微镜, 可选配件包括影像系统 ( 视像装置 ) 与各种数码 CCD 相机 低噪声设计 10

11 规格型号 VITT SQM-FA 镜筒 双目镜筒, 带有标准相机接口 ; 十字线 ( 交叉虚线 ); 光路径转换 ( 观测 / 相机 =50/50) 图像 正像 观测方法 BD 观测 偏振光观测 屈光度可调目镜 10x( 视场数 20),20x/16 可选 物镜 标配物镜 5x 10x 20x 50x 100x 调焦系统 Z 轴电动控制 ( 快 中 慢三种调节方式 ) 光源 透射 (led 照明器, 准直光 ) 落射 (led 照明器, 同轴光 ) 照明装置 可调孔径光阑 视场光阑 工作台 测量范围 :300*200mm;200*100mm; 或定制平台尺寸 快速释放装置 :x 和 y 轴标配 调零开关 :x y z 轴选配 长度测量系统 高精度数显光栅尺 数显计数器 最小读数 0.1um,RS232C 输出 外部尺寸 ( 宽 * 深 * 高 ) 380*705*725mm 测量精度 X 和 y:3+l/200,l 为测量长度 Z 轴 最大行程 :200mm 调焦方法 : 电动手轮控制调节 线性刻度尺 : 内置 外部尺寸图 ( 单位 :mm) 11

12 SQM-FA 光学头说明 图片及外部尺寸图 ( 单位 :mm) SQM-FA 物镜说明 图片及外部尺寸图 ( 单位 :mm) P/N Item N.A. W.D. Focal Resolution Depth of Field of View (mm) Length(mm) (μm) Focus(μm) (mm)(φ24eyepiece) APO2X 2X 平场复消色差物镜 φ12 APO5X 5X 平场复消色差物镜 φ4.8 APO10X 10X 平场复消色差物镜 φ2.4 APO20X 20X 平场复消色差物镜 φ1.2 APO50X 50X 平场复消色差物镜 φ0.4 PLAN5X 5X 平场消色差物镜 φ4.0 PLAN10X 10X 平场消色差物镜 φ2.0 PLAN20X 20X 平场消色差物镜 φ1.0 PLAN50X 50X 平场消色差物镜 φ0.4 对焦完成后, 长工作距离物镜顶面和工件表面之间可以有一个宽阔的空间, 便于对工件作业 平场复消色型 (M PLAN APO) 物镜有一套优良的光学系统, 这种物镜可以提供一个平坦的消色差的图像, 整个 视场的色差很少, 使得图象更加锐利, 影像更加逼真 12

13 SQM-FA 应用领域 半导体封装硬盘滑行磁头 MEMS 注塑部件 焊接贴片光纤端子台阶测量精密刀晶片级 CSP 冲压部件 13

14 辅助对焦 (FA) 采用自主研发的分光棱镜辅助对焦 (FA) 提供更锐利的图案, 可在 z 轴测量期间提供精确对焦 对于不同物镜焦深 差异和不同测量人员导致的测量误差被降至最低 测定原理 测定方法该显微镜有一个精确的焦点以确保显微镜的格子线上半区和下半区的垂直索引线与两条直线的精准一致性, 这样就不会必须根据标本图像外观的清晰与否而对其进行矫正的烦扰了 与其他调焦系统相比较, 由于这是一个独特的系统, 即不受物镜焦点深度的影响, 也不依赖人们肉眼的能力来区分这两个点, 该系统能非常精准的判断出焦点所在位置 该调焦系统和数字测量仪表允许面与面之间短距离高度的非接触式 高精密测量 FA 实物效果及应用范围 14

15 系统图解 APO 2X 物镜 偏光装置 FA 辅助对焦 APO 5X 物镜 APO 10X 物镜 1X 物镜 APO 20X 物镜 3X 物镜 SQ600 光学头 SQM 光学头 APO 50X 物镜 5X 物镜 APO 100X 物镜 光学系统 45mm 5X 物镜 Z 轴电动控制 1x 相机接口 45mm 10x 物镜 0.5x 相机接口 3W led 照明 VW 80 软件 45mm 20x 物镜 Led 环形照明 300*200mm 载物台 数字 CCD 45mm 50x 物镜 Led 斜形照明 200*100mm 载物台 DC200 数据处理器 双光纤照明 复位装置 准直透射照明 脚踏开关 标准配置 选择配置 15

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