Vision Unit 359 系列 显微镜改型视像系统 自动测边工具和各种宏观图标可使测量一步到位 图像窗口和导航功能使测量操作简单易行 图像 / 数据输出 / 储存功能 将测量值输出到 MS-Excel 表上, 用户可在同一台 PC 上生成一个检验表 可对测量结果和各种统计处理结果的误差区域进行

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2 Vision Unit 359 系列 显微镜改型视像系统 自动测边工具和各种宏观图标可使测量一步到位 图像窗口和导航功能使测量操作简单易行 图像 / 数据输出 / 储存功能 将测量值输出到 MS-Excel 表上, 用户可在同一台 PC 上生成一个检验表 可对测量结果和各种统计处理结果的误差区域进行测量 与 Focus Pilot 装置组合使用, 可确保高精度的高度测量 ( 专利申请中 ) Vision Unit 货号 : ( 用于 MF) 货号 : ( 用于 MF-U) 可以单屏显示一系列测量任务 亮度自动控制功能可正确地显示光照类型和亮度 ( 此功能仅限 MF-A/MF-UA 系列 ) QSPAK 测量窗口 个人电脑系统,QSPAK 软件和显微镜选件 技术参数投影图像 : 倒像 CCD 相机装置 图像传感器 : 1/3" 彩色 CCD 相机 分辨率 : mm : 100 x 58 x 89mm (W x D x H) 重量 : 0.4kg 适配器装置 操作软件 : QSPAK ( 可选 ) : 45 x 123mm 倍率 : 0.5X 重量 : 0.3kg 倍率 : 在 17" 显示器上 21X - 210X 标准附件 : 脚踏开关 (937179T) QSPAK, 选用软件用于外型的观察 / 比较 模板匹配功能 手动模式匹配功能 用于简易测量 单击边缘检测工具功能 灵巧工具功能 用户宏功能 用于重复测量 / 自动测量 快速导航功能 回放功能 图形功能 外部数据输出功能 统计计算功能 单击边缘检测用鼠标在边缘附近点一下,QSPak 就会自动选择合适的测量工具进行边缘检测并计算相应的特性 这项功能也适用于点工具, 箱工具, 环形工具和自动调焦工具 选件 校准玻璃表 视像装置 光纤环形照明器 测量显微镜 带有 或 计数器 相机装置 适配器 脚踏开关 多功能 卡连接电缆 物镜 物镜 用于 型号 用于 型号 色彩显示器 图形窗口测量结果和被测要素将实时显示在图形窗口中, 通过这一功能, 用户一眼就能知道现在的测量位置 图形窗口也可用于几何计算 物镜 激光打印机 物镜 后缀 : 适于 适于 适于 适于 无后缀 适于 中国 适于 韩国 374

3 球头铣刀测量装置 359 系列 球头铣刀 R 轮廓检测 从设置参考点到测量 R 轮廓, 操作过程十分简便您只需在球头铣刀测量程序的菜单中输入测量条件, 就可顺利完成整个测量过程 操作人员可在再次研磨后或球头研磨过程 中使用球头铣刀测量装置进行磨损检测 用户可通过球头铣刀的 R 轮廓周期磨损检 测, 从容地掌握更换或再次研磨球头的时 间, 确保实现稳定的高精 度测量 此外, 在提高了工作效率的同时, 还降低了球头铣刀的运行成本 周期检测 R 轮廓, 提高测量精度 再次研磨刀具端部后获得 R 轮廓信息 生成 R 轮廓测量结果报告 顺序保存刀具端部的清晰图像 达到高于通常使用投影仪能达到的精度 数显旋转头可确保实现高精度分度装配数显微分头后, 可在 0.1 和 1 之间切换显示, 从而实现高精度角度分度 PC 系统和显微镜选件 QSPAK 和球头铣刀扩展程序 显示 R 轮廓测量结果图形可通过 R 轮廓的测量结果图形, 直观地评价轮廓精度 角度计数器 数显旋转头 报告生成功能易于生成各类报告易于生成测量结果报告, 并留作再次研磨后的工厂定位记录表或磨损程度记录表 保存图像文件可将刀刃的加工和磨损状况等信息图像保存为数字文件 在图像处理过程中进行高精度 R 轮廓测量在图像处理过程中使用 CCD 相机进行位置检测, 可有效避免产生对焦错误, 从而确保实现高精度 R 轮廓测量 同时降低了工作量, 提高了测量效率 系统结构 球头铣刀测量装置 ( *) 数显旋转头球头铣刀扩展程序 * 后缀 :A 适于 100V, D 适于 220V, E 适于 240V MF 系列测量显微镜 视像装置 QSPAK ( 测量程序 ) 卡盘夹头套装套装 A (12AAG241): ø2.5 - ø5.0mm 5 件 / 套套装 B (12AAG242): ø5.5 - ø10.0mm 5 件 / 套套装 C (12AAG243): ø ø15.0mm 5 件 / 套套装 D (12AAG244): ø ø20.0mm 5 件 / 套 数显旋转头 在图表上设定一个参考点 测量薄片 R 的轮廓 在不同位置测量 R 轮廓 卡盘夹头 375

4 FS 系列 冶金显微镜 FS-110 是为了检测如 IC 芯片和摄像头零件等微型元件而设计的 此光学系统的 是物镜的工作距离超长, 目镜视场宽以及 具有独立的侧面色差校正系统 完整的 FS-110 系统可由不同部件组成以满足不同的需求 有无透射照明都可工作 物镜的超长工作距离使得操作变得更加容易 亮 / 暗视场照明之间的转换容易 选件的使用可扩大适用范围 系统图释 目镜 镜筒 目镜 正像三目镜筒 视野 目镜 目镜 目镜 倒像三目镜筒视野 彩色电视系统 带有选件的 FS-110T 带有选件的 FS-110IR 显微照相装置 选件 : 10X 目镜 ( 视场数 :24), 2 件 / 套 : 15X 目镜 ( 视场数 :16), 2 件 / 套 : 20X 目镜 ( 视场数 :12), 2 件 / 套 : 超宽 10X ( 视场数 :30)* : 三目镜筒 1X ( 正像 ) : 三目镜筒 1X ( 倒像 ) : 三目镜筒 1X / 2X 可转换 ( 正像 ) 12AAA646: 彩色滤光片 (LB80) 12AAA643: 彩色滤光片 (ND2) 12AAA646: 彩色滤光片 (ND8) 12AAA645: 彩色滤光片 ( 绿色 ) : 反射照明装置 ( 亮 / 暗视场 ) : 反射照明装置 ( 亮视场 ) : 光源装置 ** : 带有 4 个镜头接头的转换盘 (B/D 暗视场 ) : 带有 4 个镜头接头的转换盘 ( 亮视场 ) : 带有 5 个镜头接头的转换盘 ( 亮视场 ) : 偏震装置 : 亮 / 暗视场转换装置 : 工作台 (6" x 6") 右手操作型 : 工作台 (6" x 6") 左手操作型 : 工作台 (8" x 8") 右手操作型 : 工作台 (6" x 6") 左手操作型 : 6" x 6" 工作台用玻璃 : 8" x 8" 工作台用玻璃 : 水位固定器 (3" DIA. - 6" DIA.) : 遮蔽支架 (3" x 3") : 遮蔽支架 (4" x 4") : 遮蔽支架 (5" x 5") : 遮蔽支架 (6" x 6") : 遮蔽支架 (7" x 7") : 遮蔽支架 (6" DIA.) : 不同界面对比装置 (100X, SL80, SL50X) : 不同界面对比装置 (50X, SL20X) : 不同界面对比装置 (20X) : 不同界面对比装置 (10X, 5X) : CCD 相机插座适配器 ( 见 382 页 ) 物镜 * 可以配合专用三目光管使用 ( ). ** 光源 : 卤素灯泡 (12V, 50W) 系统图释 : 红外带通滤波器 电视适配器 观察装置 表面照明装置 系列物镜 用于红外线的彩色电视系统 亮 / 暗视场转换滑板 用于亮视场和暗视场 用于亮视场 光源 偏震装置分析装置 旋转盘 用于 物镜的 镜头固定旋转盘 用于 物镜的 镜头固定旋转盘用于 物镜的 镜头固定旋转盘 滤光镜片 滤光镜片 滤光镜片 滤光镜片 电视适配器 微分干涉对衬装置 物镜 系列物镜 系列物镜 工作台 工作台 机身 用于玻璃工作台 用于玻璃工作台 工作台 用于玻璃工作台 滤光镜片 滤光镜片 滤光镜片 滤光镜片 漫射滤光镜片 用于 物镜 芯片固定器 遮蔽支架 遮蔽支架 遮蔽支架 遮蔽支架 遮蔽支架 圆形 遮蔽支架 376

5 偏光观察 : 观察过滤后只在一个方向振动的光 它用于观察具有特殊光学特性的物体, 如矿石和液晶 FS 系列 冶金显微镜 FS-300 是为了检测如 IC 芯片和摄像头零件等微型元件而设计的 此光学系统的 是物镜的工作距离超长, 目镜视场宽以及 具有独立的侧面色差校正系统 完整的 FS-300 系统可由不同部件组成以满足不同的需求 有无透射照明都可工作 物镜的超长工作距离使得操作变得更加容易 亮 / 暗视场照明之间的转换容易 选件的使用可扩大适用范围 微分干涉对比观察 : 在检测金属 液晶和半导体表面的擦痕和台阶时很有效 带有选件的 FS-300 暗视场观察 : 挡住直射到物体上的光, 只观察散射光 通过高对比度能看到在亮视场看不到的擦痕和灰尘 亮视场观察 : 最普通的观察方式, 它直接观察到工件表面的反射光 主机 观察系统 亮视场 (BF): , , , 亮 / 暗视场 (BF/DF): , , , 反射照明 带有孔径光阑的科勒照明 ( 调心机械 ),12V/100W 卤素灯泡 ( 无级亮度调节 ), 滤光片固定槽 (2 个 ),BF/DF 转换滑块 ( 仅限 , , , ) 透射照明 12V/100W 光纤照明 ( 无级亮度调节 ) 带有孔径光阑 ( 仅限 , , , ) 对焦 有同心粗调和微调手轮 ( 左和右 ) 微调 :0.1mm/rev 用于 32mm 测量范围粗调 :3.8mm/rev 用于 32mm 测量范围 电动旋转盘 内置 4 镜头旋转盘 工作台 行程 :356 x 306mm 用 X-/Y 轴微调旋钮和粗调手轮 光管 类型 三目镜筒 ( 正像 ) 视场数 24 下俯角 固定 20º: , , , 可调 0º 至 20º: , , , 中间图像倍率 1X 透过率 Siedentopf 型 调节范围 :51-76mm 瞳距 Siedentopf 型 调节范围 :51-76mm 目镜 视场 10X/ø30: , , , X/ø24: , , , 适用物镜 ( 选件 ) M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo: , , , BD Plan Apo, BD Plan Apo SL: , , , 主机 360 x 803 x 568.5mm 工作台 700 x 400mm 电源 VAC, 50/60Hz 功耗 约 150W: , , , 约 300W: , , , 重量 约 50kg 包括工作台 详见 FS-300 产品样本 (C4197) 377

6 FS 系列 半导体检测用显微镜 此光学系统最初是为畅销的 FS60 型 ( 后升级为 FS70 型 ) 而开发的 它作为测量检测 半导体器件的显微镜是很理想的 FS70L 支持 3 种 YAG 激光波长 (1064nm, 532nm, 355nm),FS70L4 支持 2 种波长 (532nm, 266nm), 可在半导体和液晶基板中使用激光切割和薄膜技术 这就扩大了激光的 使用范围 然而, 使用三丰量具对显微 镜的激光系统的性能和安全性, 三丰公 司不负责任 我们推荐在选购激光发射 器时应仔细检查 FS70Z 的标准功能有 : 亮视场, 微分干涉对比 (DIC) 和偏振观测 FS70L 和 FS70L4 不 支持 DIC 使用内置式转换器使得长工作距离物镜的操作很简单 极易操作的设计 :FS70 采用正像光学系统 ( 视场中的像与样品方向相同 ) 并用橡胶把手加大微调手轮 技术参数对焦 方法 : 有同心粗调和微调手轮 ( 左和右 ) 范围 : 50mm 测量范围微调 0.1mm/rev 同心粗调 3.8mm/rev 三目镜筒图像 : 正像瞳距 : Siedentopf 型调节范围 : 51-76mm 视场数 : 24 俯角 : 0º - 20º ( 仅用于 -TH, -THS 型号 ) 照明系统 : 亮视场反射照明 ( 科勒照明 带光圈 ) 光源 : 12V100W 光纤 无极亮度调节 ), 光导长度 1.5m 功耗 150W 物镜 ( 选件 ): M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo FS70Z FS70L FS70L4 型号货号 FS FS70-TH FS70Z FS70Z-TH FS70L FS70L-TH FS70L FS70L4-TH 短基座型号货号 FS70-S FS70-THS FS70Z-S FS70Z-THS FS70L-S FS70L-THS FS70L4-S FS70L4-THS 对焦 50mm 行程, 同心焦距粗调 (3.8mm/rev) 和微调 (0.1mm/rev) 手轮 ( 左 右 ) 图像 正像 瞳距 Siedentopf 型 调节范围 :51-76mm 视场数 24 俯角 0 至 20 0 至 20 0 至 20 0 至 20 透过率 50/50 100/0 或 50/50 100/0 或 100/0 或 0/ /0 或 0/100 0/100 0/100 管镜头 内置激光射线滤光片 内置激光射线滤光片 适用激光 1X 1X - 2X zoom 1X 1X 适用激光 1064/532/355nm 532/355nm 相机端口 C-mount ( 使用适配器 B 选件 ) 使用带有电视端口的激光器 照明系统 可选 亮视场反射照明 ( 科勒照明 带光圈 ) 12V 100W 光纤 无极亮度调节 光导长度 :1.5m 功耗 150W 物镜 可选 M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo ( 用于观察 ) 物镜 可选 M/LCD Plan NIR, ( 用于激光切割 ) M/LCD Plan NUV C-mount 插座 ( 带有绿色滤光片转换开关 ) M Plan UV 载重 * 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 14.5kg 13.6kg 14.1kg 13.2kg 重量 ( 主机 ) 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg 6.1kg 7.1kg 6.6kg 7.5kg * 光管的载重不包括物镜镜头和目镜的重量 详见 Microscope Units (E4191) 产品样本 378

7 VM-ZOOM 系列 组合型显微镜 VM-ZOOM40 是组装型显微镜, 通过具有高倍率的主装置与新开发的具有高分辨率的 长工作距离的物镜相结合, 可使得显微镜 的操作性和图像质量大大提高, 如果 VM- ZOOM40 和分析探测器以及各种各样的激光维修设备配合使用, 将非常有助于半导体 器件和 LCD 仪表板的开发和制造 总倍率 100X - 4,000X ( 使用 1/2"CCD 相机和 14" 监视器时 ) 光管倍率 0.25X - 10X ( 调整比例 1:40) 物镜 M Plan Apo HR 10X 视场 1/2" CCD 相机 ( 选件 ): 2.56x1.92mm x 0.048mm 双目 :ø3.2mm - ø0.08mm 反射照明 科勒系统 ( 带光圈 ) 手动调整需光纤照明 ( ) 光源卤素灯泡 (21V, 150W) 聚焦装置同心粗 / 微调手轮电源在屏幕上 20L X ( 最小 ) 重量主装置 : 约 7kg 双目系统 :1kg 遥控装置 : 约 7kg 40X 高倍率和优良操作性能的聚焦镜 标准配置高分辨率物镜 (10X) 可连接不同亮视场物镜 滑动型透镜筒可在监视器和激光束切割物镜之间快速切换 持 3 种激光波长 ( 近红外线 可见光线 近紫外线 紫外线 ) 标准配置 C-mount 端口 可根据目的选择手工或自动系统 系统配置选择向导 货号 ( 根据各种系统配置而定 ) * * * * * * * * * * 备注手动调整功能 l l l l 详见 Microscope Units (E4191) 产品样本 自动调整功能 l l l l l l 同时提供光纤照明控制器 单物镜筒 l l 双物镜筒 l l l l l l l l 可用滑动装置转换物镜 双目装置 l l l l l 带有 10X 目镜 ( ) YAG 激光 (1064/532/355nm) l l l l YAG 激光 (532/266nm) l l 聚焦装置 l l l l l l l l l l CCD 相机端口 l l l l l l l l l l M Plan Apo HR 10X 物镜 l l l l l l l l l l l: 包括在系统中 * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国 K 适于 EK, 无后缀适于 JIS/100V 379

8 VMU 378 系列 视像显微镜装置 VMU 是一种袖珍 轻型和易于安装的显微镜装置, 通常在半导体制造中用于 CCD 相 机监视 此光学系统的是具有物镜超长工作距离和辐射角的校正功能 光纤反射照明可使工件免于受热膨胀影响 需要光纤照明器作为光源 也可选用激光支架或旋转管壳 ( 物镜接头 ) VMU-V VMU-H VMU-L VMU-L4 系统配置选择指南 光管倍率适用波长 , 1X 近红外线和可见光范围 货号 ( 根据系统配置而定 ) 近红外线 可见光 近紫外 线范围 可见光和紫外线范围 垂直 CCD 相机端口 l l l 物镜 ( 选件 ) 水平 CCD 相机端口 l 反射照明 带有孔径光阑系统的远心系统 YAG 激光支架 l l 需要光纤照明 ( 选件 ) 光纤照明装置 l l 光源卤素灯泡 (21V, 150W) ( 选件 ) M Plan Apo, M Plan Apo SL, G Plan Apo 亮视场观 s s s s 重量 : 570g 察物镜 : 590g M Plan Apo NIR, LCD Plan Apo NIR, M Plan Apo NUV : 980g 和 LCD Plan Apo NUV 用于激光光管的物镜 s : 1010g M Plan UV 用于激光光管的物镜 s 详见 Microscope Units (E4191) 产品样本 l: 标配,s: 选件

9 目镜 378 系列 分划板 ( 选件 ) : 十字线 : 十字虚线 (90º 和 60º) : 同心圆 ( 直径增量 :1.2mm) : 20mm 比例尺 ( 最小读数值 :0.1mm) 带有十字线 : 10mm 比例尺 ( 最小读数值 :0.1mm) : 5mm 比例尺 ( 最小读数值 :0.05mm) : 10x10mm 网格 ( 最小网格 :1x1mm) 超大视场 带可选的分划板 货号 倍率 视场数 重量 特殊货号 (2 个一组 ) X 24 85g X 16 40g X 12 55g 物镜 378 系列 三丰 378 系列物镜的工作距离是世界上最 长的并具有无数的矫光学系统 这些物镜 能提供高倍率的自由观察和独立的色差 校正 物镜的长工作距离使透镜表面和工件表面之间的距离很大, 便于观察很难观察 的工件的突出部分 M Plan Apo 物镜有优秀的光学系统这种物镜可在整个视场内提供平面的 无单色 差 ( 几乎无彩色色差 ) 的图像, 它适用于各 种显微镜 特别设计的物镜也适用于校正近红外线, 近紫外线和紫外线或者各种厚度的液晶 玻璃 物镜固定螺纹的设计符合 JIS B 标准 亮视场观察用 M Plan Apo 和 M Plan Apo SL 物镜 亮 / 暗视场观察用 BD Plan Apo 和 BD Plan Apo SL 物镜 详见 Microscope Units (E4191) 产品样本 近红外线色差校正 M Plan NIR 物镜 近紫外线色差校正 M Plan NUV 物镜 紫外线色差校正 M Plan UV 物镜 381

10 亮视场 M Plan Apo X mm 200mm 11.0µm 440µm ø24mm 4.8x6.4mm 300g X mm 100mm 5.0µm 91µm ø12mm 2.4x3.2mm 220g X mm 40mm 2.0µm 14.0µm ø4.8mm 0.96x1.28mm 230g X mm 20mm 1.0µm 3.5µm ø2.4mm 0.48x0.64mm 230g X mm 10mm 0.7µm 1.6µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 270g X mm 4mm 0.5µm 0.9µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 290g X mm 2mm 0.4µm 0.6µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 320g 当使用 1X 物镜时需要使用偏震装置 ( ) 波长滤色镜 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 亮视场观察 M Plan Apo SL X mm 10mm 1.0µm 3.5µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 240g X mm 4mm 0.7µm 1.6µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 280g X mm 2.5mm 0.6µm 1.1µm ø0.3mm 0.06x0.08mm 280g X mm 2mm 0.5µm 0.9µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 290g X mm 1mm 0.4µm 0.7µm ø0.12mm 0.025x0.03mm 490g 这些物镜具有超长工作距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 亮视场观察 M Plan Apo HR X mm 20mm 0.8µm µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 240g X mm 4mm 0.4µm 0.48µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 275g X mm 2mm 0.3µm 0.34µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 275g 这些物镜具有超高分辨能力 等焦面距离 等焦面距离 382

11 液晶 Plan Apo 系列用于透过液晶玻璃观察工件 ( 厚度 =3.5mm) 玻璃厚度校正 (t = 3.5mm) 亮视场观察 G Plan Apo X mm* 10mm 1.0µm 3.5µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 270g X mm* 4mm 0.6µm 1.1µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 320g * 在空气中 玻璃 玻璃 亮 / 暗视场观察 BD Plan Apo X mm 100mm 5.0µm 91µm ø12mm 2.4x3.2mm 230g X mm 40mm 2.0µm 14.0µm ø4.8mm 0.96x1.28mm 240g X mm 20mm 1.0µm 3.5µm ø2.4mm 0.48x0.64mm 240g X mm 10mm 0.7µm 1.6µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 300g X mm 4mm 0.5µm 0.9µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 320g X mm 2mm 0.4µm 0.6µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 320g 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 这些物镜具有超长工作距离 亮 / 暗视场观察 BD Plan Apo SL X mm 10mm 1.0µm 3.5µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 240g X mm 4mm 0.7µm 1.6µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 310g X mm 2mm 0.6µm 1.1µm ø0.3mm 0.06x0.08mm 320g X mm 2mm 0.5µm 0.9µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 320g 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 383

12 亮 / 暗视场观察 BD Plan Apo HR X mm 4mm 0.4µm 0.48µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 420g X mm 2mm 0.3µm 0.24µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 435g 这些物镜具有超高分辨能力 等焦面距离 等焦面距离 近红外线色差校正亮视场观察 M Plan Apo NIR X mm 40mm 2.0µm 14.0µm ø4.8mm 0.96x1.28mm 220g X mm 20mm 1.1µm 4.1µm ø2.4mm 0.48x0.64mm 250g X mm 10mm 0.7µm 1.7µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 300g X mm 4mm 0.7µm 1.6µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 315g X mm 2mm 0.6µm 1.1µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 335g X mm 4mm 0.42µm 0.65µm ø0.48mm 0.10x0.17mm 450g X mm 2mm 0.74µm 0.56µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 450g 这些物镜是为把工件图像成在景深之内而设计的 ( 甚至波长在可见光 ( 波长 =480nm) 和近红外范围 ( 波长 =1800nm) 之间变化时 ), 所以 M Plan NIR 系列适用于激光修复 然而当波长超过 1100nm 时, 由于玻璃的散射率和折射率的变化, 焦点的位置和可见光下的相比可能会稍有偏离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 近紫外线色差校正亮视场观察 M Plan Apo NUV X mm 10mm 0.7µm 1.7µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 340g X mm 4mm 0.7µm 1.6µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 350g X mm 2mm 0.6µm 1.1µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 380g 这些物镜为把工件图像成在景深之内而设计的 ( 波长在可见光 ( 波长 =620nm) 和近紫外光 ( 波长 =355nm) 范围之间变化时 )) 所以 M Plan NUV 系列适用于使用高频激光束的激光修复 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 384

13 这些近红外 ( 波长 =1800nm) 校正物镜是为透过液晶玻璃观察工件 ( 厚度 =1.1mm ( , ) 或 0.7 mm ( , ) ) 以及激光修复而设计的 近红外线色差校正和液晶玻璃厚度 (t = 1.1mm 或 0.7mm) 亮视场观察液晶 LCD Plan Apo NIR X mm* 10mm 0.7µm 1.7µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 305g X mm* 3.9mm 0.7µm 1.6µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 320g X mm* 3.9mm 0.7µm 1.6µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 320g X mm* 2mm 0.6µm 1.1µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 335g X mm* 2mm 0.6µm 1.1µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 335g * 在空气中 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 这些近紫外 ( 波长 =355nm) 校正物镜是为透过液晶玻璃观察工件 ( 厚度 =0.7mm ( ) 或 11mm ( , ) 和激光修复而设计 近紫外线色差校正和液晶玻璃厚度 (t = 0.7mm) 亮视场观察液晶 LCD Plan NUV X mm* 4mm 0.7µm 1.6µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 310g X mm 4mm 0.7µm 1.6µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 310g X mm 2mm 0.6µm 1.1µm ø0.24mm 0.05x0.06mm 380g * 在空气中 等焦面距离 这些紫外校正物镜为把工件图像成在景深之内而设计的 ( 波长在可见光 ( 波长 =550nm) 和紫外光 ( 波长 =266nm) 范围之间变化时 ), 所以 M Plan UV 系列适用于使用高频激光束的激光修复 紫外线色差校正亮视场观察 M Plan UV X mm 10mm 0.8µm 2.1µm ø1.2mm 0.24x0.32mm 330g X mm 4mm 0.7µm 1.7µm ø0.48mm 0.10x0.13mm 400g X mm 2.5mm 0.5µm 0.9µm ø0.3mm 0.06x0.08mm 380g 等焦面距离 等焦面距离 等焦面距离 385

14 MSM 系列 立体显微镜 可再现具有高分辨率 真实景深以及完美色彩还原的明亮 清晰图像, 将工作 人员的眼睛疲劳降至最低, 并提高了工 作效率和生产效率 MSM 系列以低廉的价格实现了全部先进功能 提供便于用户使用两种型号的镜头旋转盘型 (MSM-412, MSM-465) 和变焦型 (MSM-Z414) 连续变焦, 标准性能配置, 总倍率高达 10~40 倍 MSM 系列可连接数码相机或 CCD 相机以保存所捕捉的物体图像, 或通过不同媒 体进行同期观察 延长景深可提高长工作距离和广视场时的工作效率 此系统还可作为进行各种 物体检测的理想工具, 如电子元件 金 属元件 植物 矿物成分及生物细胞等 可通过各种附件扩展使用范围 使用可扩展的 MSM 装置可在生产线 内部检测 系统以及学习环境中进行外观检测 MSM-412 MSM-Z414 MSM-465 型号 MSM-412 MSM-Z414 MSM-465 货号 * * * 光学系统 格里诺型 伽利略型 总倍率 10X, 20X 10X - 40X 6X, 12X, 25X, 50X 光学镜筒 双目 双目 双目 瞳距 54-76mm ( 可调 ) 54-76mm ( 可调 ) 54-76mm ( 可调 ) 目镜 WF10X, WF5X, WF15X, WF20X WF10X, WF5X, WF15X, WF20X WF10X, WF5X, WF15X, WF20X 物镜 1X, 2X 1X - 4X 1.2X, 2.5X, 5X 物镜的工作距离 95mm 80mm 89mm 聚焦位移 44mm 44mm 50mm 最大工件高度 93mm 95mm 95mm* 工作台 ø95mm ø95mm ø95mm 151x285x343mm 151x285x343mm 151x285x343mm 重量 4.9kg ( B) 4.7kg 5.3kg ( B) 5.1kg * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国 K 适于 EK, 无后缀适于 JIS/100V 4.8kg ( B) 6.3kg 386

15 可选镜头用于 MSM-412, Z414 5X 目镜 : X 目镜 : X 目镜 : X 辅助物镜 X 辅助物镜 X 辅助物镜 用于 MSM X 目镜 : X 目镜 : X 目镜 : X 目镜 : X 辅助物镜 X 辅助物镜 X 辅助物镜 MSM-465 MSM-Z

16 袖珍放大镜 183 系列 适于进行金属表面检测 袖珍比较仪分划板选件 倍率 货号 备注 25X 笔型 带有台架 50X 带有台架 袖珍比较仪 183 系列 使用不同的分划板, 可进行 角度等多种测量 带有照明装置 (950757) 倍率 货号 备注 8X 分划板选件 9X 分划板选件 10X 分划板选件 照明装置选件 (950757) 变焦小型放大镜 183 系列 可进行 8X - 16X 可变焦距观测 通过倍率指示器可进行 8X, 10X, 12X, 14X, 和 16X 观测 提供公制 / 英制型刻度 带有包装盒 放大镜 183 系列 带有分划板 倍率 货号 备注 8X 带有分划板 ( 分度值 : 0.1mm,.0005") 倍率 货号 备注 7X 抽取式镜筒 10X 抽取式镜筒 15X 抽取式镜筒 388