测量显微镜 MF 系列 / MF-U 系列 1

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1 光学仪器 测量显微镜 MF 系列 / MF-U 系列 产品样本 No. C14003(6)

2 测量显微镜 MF 系列 / MF-U 系列 1

3 期待已久的测量显微镜 测量显微镜是同时具有高精度长度测量和观察功能的多功能仪器 这使得测量显微镜可对诸如半导体 电子电气器件 精密汽车零件 注塑件 刀具以及医疗器具等产品进行详细检测 测量显微镜还可轻易测量不能进行接触测量的易碎工件和不能用接触探针测量的具有极小孔径的工件 测量显微镜所必备的关键要素是光学性能 总体精度 操作三者的平衡 以前不可见或几乎不可见的物体现在不仅可观察而且能被测量 用户对测量显微镜性能的期待将持续增长 而这些增长是与操作简便 高测量能力以及对环境的适应性相关联的 三丰将持续提供高质量和高精度的测量显微镜来维护我们的承诺和信仰以履行我们支持行业关键技术的责任 目录 测量显微镜 MF 系列 特点 P5~8 规格 P9~10 外部尺寸 P13 系统图示 P15 通用测量显微镜 MF-U 系列 特点 P5~8 规格 P11~12 外部尺寸 P14 系统图示 P16 从开发 设计到售后服务 三丰设计 开发 制造所有的显微镜零部件包括主机用的物镜 光学管径和高精度内置数字光栅尺 我们内部的设计开发流程使我们能积极地为特殊要求提供咨询并响应客户定制的要求 三丰公司负责将测量显微镜由生产工厂精心运送至目的地 *, 运抵后负责就地安装调试 包装箱可回收再用, 以使客户收货后尽可能减少浪费 对设备校验调试后客户可签订维修合同, 可按需要享受可靠的售后服务, 确保客户所购三丰测量显微镜经久耐用 * 在指定运输服务情况下 电动型测量显微镜 MF 系列 /MF-U 系列 特点 P17~20 规格 P21~22 外部尺寸 P23~24 系统图示 P25~26 选件 镜头 P27~28 照明 P29~30 影像测量系统 Vision Unit P31 2-D 数据处理器 QM-Data200 P32 辅助聚焦系统 电子聚焦装置 滑动型换镜旋座 转塔 P33 带有微调手轮的旋转工作台 P34 带夹钳的 V 型块 旋转式中心架 带夹钳的支架 P35 工作台适配器 C-Mount 适配器 0.5X TV 适配器 偏振光装置 微分干涉装置 照明滤光片 读数尺 P36 安装支架 减震台 镜头清洁包 P37 分划板 P38 2

4 追求光学性能 - 显微镜的根本所在 该系列显微镜应用于光学管径和物镜的光学设计, 尽可能多的减少光学系统中的闪烁, 从而能够清晰显示观察对象的微小细节 使用这个系列, 即使是黑色树脂表面也可以在高对比度下清楚地观察到 MF - U 系列配备了久经验证的 FS 金像显微镜头, 显示经过三原色补正的具有高色彩再现性的清晰图像 ( 使用平场复消色差物镜 )* 对于 MF 和 MF-U 系列, 可以选择 LED 或卤素灯作为基本照明系统 光学系统内提供了高效的照明和足够的照度, 适合高倍率测量环境和明场 / 暗场观察, 从而提高测量效率减少操作人员的疲劳 * 对三原色 ( 蓝色 黄色和红色 ) 波长范围内的图像扭曲和色彩失真进行补正 测量精度接近 JIS 等级 0 X 轴和 Y 轴 : ( L) µm 或以下 例 (MF D 和 MF-U D 通用 ) 测量显微镜各轴的测量精度参照 JIS B 7153 (20 度环境下 ) 0 级 :(2+0.01L)µm 或以下 1 级 :(4+0.02L)µm 或以下 L: 测量长度 (mm) 标准 X 轴测量精度 测量范围 测量显微镜必须具备很高的整体测量精度和光学性能 MF 和 MF-U 系列测量显微镜可在各种尺寸的工作台上获得所给出的测量精度 * 该系列测量显微镜同时具有大测量范围和高精度, 适于各种测量 * 在 X 轴和 Y 轴的测量方法符合 JIS B 7153 的规定, 上述测量精度图仅供参考, 不代表所有主机的精度 显微镜内置的数字光栅尺是一个光电透射型线性编码器, 其最大响应速度为 50m/min 这种高精度的光栅尺是在配有世界上最高的光栅尺精度评估技术的三丰地下研究设施内开发的 三丰公司获得了日本首个线性标准尺 (500mm 及以下标准尺 ) 的校准认证资格 线性标准校准机地下温度波动曲线图玻璃尺 确保安全使用 可溯源国际标准 为确立并维护客户的测量工具与仪器的可溯源性, 三丰采用的 长度基准直接追溯到日本国家基准, 用来校准测量工具和仪 器 三丰还提供高精度长度测量所必需的温度校准服务 特定标准器 特定二级标准器 日本国家计量研究院 (NMIJ) 日本产业技术综合研究所 (AIST) 原子钟和光学频率梳装置可同步协调世界时间 三丰测量标准校准中心 (JCSS 认可校准实验室 No.0031) 长度基准使用 633nm 波长的碘稳频氦氖激光器 常规参照标准 检测与校准仪器 三丰测量标准校准中心 (JCSS 认可校准实验室 No.0031) 长度基准使用 633nm 实用波长的稳频氦氖激光器和光学干涉测长机 ( 标准尺用 ) 标准尺和基准尺 测量显微镜 3

5 测量显微镜提供的解决方案 观察和检查微小区域 通过使用不同类型的照明,MF 系列可以更精确地再现被观察物体的颜色和形状 MF-U 系列显微镜是高附加值的仪器, 如能提供显微镜暗视场模式观察功能 ( 观察其表面的划痕和小阶差, 这是在亮视场模式下很难观察到的 ), 简单偏振观察功能 ( 通过偏振装置的偏光板或分析器增强色彩和图像对比度 ) 和微分干涉功能 ( 使用偏振滤光片和微分干涉棱镜获取高色彩对比度, 以观察微小表面阶差或其他要素 ), 还有测量功能 BF 观察 DF 观察 偏振光观察 微分干涉对比观察 简单的图像摄影 简单的图像摄影任何人都可以通过附加的数码相机轻松地获得显微镜图像 因为使用通用的 C-mount 适配器, 任何支持 C-mount 数码相机都可以连接 例如, 几个人可以同时分析和评定显视器上的显微镜图像, 或自动生成附着影像的检查图表 基于显微镜下的高分辨力测量 通过测量显微镜和影像测量选件 (Vision Unit) 组合, 可以建立一个手动影像测量系统 由于软件可以不断传送工作台位移, 因此支持照相机图像内 ( 屏幕上的 ) 以及屏幕外尺寸的测量 此外, 自动边缘检测提供了一种有效高通量的测量环境 然而, 在某些情况下目镜分辨能力可能优于相机的分辨能力 例如, 用显微镜观察黑色树脂注塑件的表面, 肉眼目镜观察就比相机 ( 显视器观察 ) 清晰 因此, 能够观察到表面和其他要素的测量显微镜, 也被认为是一个高附加值的系统 建议测量显微镜连接两维数据处理器 QM-Data 200 ( 专用的处理装置 ), 进行尺寸测量 MF-B2017D Vision Unit MF-UB1010D QM-Data200 4

6 测量显微镜 MF 系列通用测量显微镜 MF-U 系列 因安装了滑动式物镜旋座 ( 选件 ), 可应对物镜 计数器的显示部位可以变换安装位置, 提高了 滑动式镜头更换座 (MF D 系列的工厂套装选件 ) 新设计 滑动式物镜旋座上安装两个物镜的示例 滑动式物镜旋座上安装物镜与环形 LED 照明的示例 通常,MF 系列测量显微镜 ( 有限补正光学系统 ) 只能安装一个目镜, 因此要改变倍率就只能更换另一个目镜 滑动式换镜座装有两个目镜, 可快速改变倍率 此外, 新设计的滑动式物镜旋座可以安装 LED 环形照明装置 因此, 可应对快速倍率转换及多彩照明 5

7 的快速倍率转换及环形照明 操作性! 高清晰数码显示器 (MF D 和 MF-U D 通用 ) 新设计 计数器前面板 计数器后面板 所有 MF 和 MF-U 系列测量显微镜标配的数显计数器 ( 两轴或三轴 ) 的分辨力可在 1µm, 0.5µm 和 0.1µm 之间切换, 因此可进行高分辨力的测量 调零 计数方向转换以及平滑功能也都是标配 ( 可使用 X 或 Y 轴旋转手柄旁的按钮进行置零 ) 计数器的显示部位既保持了大型化又进行了减薄, 可以任意变换安装位置, 调整到操作人员最合适的位置 数码计数器可以安装在立柱的左右任意一方 由于采用了通用的 RS-232C 接口, 数据可被输出至通用打印机或个人电脑 计数器显示可被单独输出至电子制表软件 数显计数器可安装在立柱的左侧或右侧 * 6

8 测量显微镜 MF 系列通用测量显微镜 MF-U 系列 具有高聚焦重复性的高度测量 (MF D 选件 MF-U D 工厂选件 ) 当使用显微镜测量垂直方向的阶差或其他要素, 聚焦重复性是很重要的 特别是, 由于物镜焦点深度导致的测量误差的是不可避免的 MF 与 MF-U 系列测量显微镜备有一个辅助聚焦系统, 可提高聚焦重复性 这一辅助聚焦系统作为附加部件 * 安装在本体上电视摄象机的端口, 能以高精度与高重复性探测聚焦位置 这样实现的重复性比目测所得要高, 人为失误造成的测量值的波动也要小 聚焦图案共有两种类型, 可按聚焦零件的大小, 或按待检测工件的表面状况 质材或其他属性选用其中一种 采用清晰明亮高强度的 LED 作光源 ( 绿色或红色 ) 目镜或电视监测器可检测聚焦图案, 其需亮度可连续调节 这样可充分提高测量处理能力 1 详见第 34 页 大视野目镜 (MF D 和 MF-U D 通用 ) 该目镜在同类产品中具有最大的视场数 *,24mm (WF10X) 由于获得的视野足够大, 对眼睛造成的负担大大减小, 从而缓解了长时间观察和测量的视疲劳 该 WF10X 目镜具有比老产品更广泛的屈光度调节范围, 左右两侧可独立调整 * 使用 1X 物镜时, 可观察视野的范围, 左右两侧可独立调整 MF ( 反射 & 透射 ) LED 及卤素光源选件 (MF D, MF-U D 通用, 选件 ) 透射 LED 照明部件 (MF 与 MF-U 通用 ) 反射 LED 照明部件 (MF) 反射 LED 照明部件 (MF-U) 本体中的同轴照明可选用 LED 或卤素光源 常规卤素光源可用于观察与测量, 但如果希望减少更换卤素灯泡耗费的时间, 且需要对亮度调节反应灵敏的高强度照明, 则可选用 LED 光源 LED 光源使用寿命长 * 1 且不会突然熄灭 此外,LED 光源与荧光灯管不同, 不闪烁, 色温稳定, 因而能见度 亮度与显色都恒定不变, 在 LED 光源下即便长时间观察眼睛也不会过于疲劳 由于 LED 光源耗电很少, 热辐射小, 所以采用 LED 光源, 测量较为经济, 发热不多, 减少对被检测工件产生的热效应 * 2 还应指出, 这种光源具有耐冲击的特性, 不含有害物质, 客户可放心长期使用 MF 与 MF-U 系列的所有型号均装有透射与反射照明孔径光阑作为标准配置, 以减少观察与测量中的光衍射 *1: 如常用最大照明度, 使用寿命会缩短 *2:MF D MF-U D 的 LED 光源中配有无声冷却风扇以进一步减少热效应 LED 照明 卤素照明 7

9 内置快速释放装置 * 1 和调零开关 * 2 (MF D 和 MF-U D 通用 ) 包括长量程的多种规格工作台 (MF D 和 MF-U D 通用 ) Z 轴 220mm 快速释放手柄 调零开关 Y 轴 200mm X 轴 400mm MF-B4020D 工作台的进给可通过快速释放手柄在粗调和微调之间转换 ( 释放 / 锁紧 ), 这 在测量距离较长或迅速返回参考位置时非常有用 由于采用 Twist-roller ( 扭 轮摩擦传动机构 ) 方式, 使得进给特别平滑 另外, 由于调零开关就在手柄 附近, 在测量过程中, 除了显微镜聚焦外您可以一直抓住手柄 * 2 *1: 已申请国内专利, 此专利在日本注册 *2: 调零开关仅安装于 X 和 Y 轴,Z 轴内没有 由于被测物从微小部件到大型部件尺寸不一, 测量显微镜广泛应用于各种工业领域, 其测量范围会有很大的不同 该系列测量显微镜具有最大测量范围可达 400mm (X 轴 ) X200mm (Y 轴 ) X220mm (Z 轴 ) 的工作台, 适于测量印刷电路板 各种轴以及其它工件 虽然标准型号的 Z 轴的量程是 220mm,Z 轴仍可以扩展量程 该系列还装配了一个旋转装置 *, 以保持工件平行于工作台的移动方向 *Y 轴长度为 170mm 以上时配备 Z 轴手柄安装于标准型号立柱两侧 标准型号倾斜镜筒 ( 适于 MF D 和 MF-U D 系列 ) ( 不限 MF-U D) 高刚性结构 (MF D 和 MF-U D 通用 ) MF D MF-U D 立柱两侧均安装了 Z 轴手柄可适于左手或右手操作 数显计数器可安装于立柱的任意一侧, 操作者可根据自己的习惯调整位置 手柄的位置根据人体工学设计, 任何操作者均可很舒适的操作 通过调整观察点位置以适应各种身高, 操作者可以很舒适的进行观察 倾斜角度可在 0~30º 范围内任意调节 镜筒内的分划板可更换 为了实现任意倍率的高精度测量和清晰的观察, 支撑镜筒的显微镜立柱和支撑主体的底座必须具有高刚性 同样, 再开发过程中这些显微镜都反复进行了跌落测试 * 运输测试 * 和疲劳测试 * 以确保其在正常运输和使用条件下保持清晰的视野和稳定的精度 立柱通过内部横筋加强了刚性且其采用外部电源设计以减小热效应 * 三丰使用适当的步骤进行测试 立柱 8

10 测量显微镜 MF 系列 MF-B1010D * 双目镜筒 ( 目镜 ), 照明系统为选件 MF-B2010D * 双目镜筒 ( 目镜 ), 照明系统为选件 特点 视察视场宽阔, 可得清晰无闪烁正像 在同类产品中测量精度最高 ( 符合日本工业标准 JIS B7153) ML 系列, 高数值孔径物镜为 MF 系列专用 ( 长工作距离型 ) 照明系统 ( 反射 / 透射 ) 可选择高亮度 LED 或卤素灯泡 ( 必选其一 ) 可变孔径光阑 ( 反射 / 透射 ) 可消除视察与测量中的光衍射 工作台标准尺寸多种多样, 最大可达 400X200mm 测量大尺寸或大重量的工件时, 可使用快速释放装置快速移动工作台 粗 / 细进给手柄做为标准配置安装在立柱两侧, 这样可确保精确聚焦和观察测量, 与用左右手习惯无关 高倍率目镜的检测放大倍率最高可达 2000X 标准测量显微镜, 可选配件包括影像系统 (Vision Unit) 与各种数码 CCD 相机, 种类繁多 低噪声设计 9

11 MF-B2017D * 双目镜筒 ( 目镜 ), 照明系统为选件 MF-B3017D * 双目镜筒 ( 目镜 ), 照明系统为选件 MF-B4020D * 双目镜筒 ( 目镜 ), 照明系统为选件 规格 不带 Z 轴 型号 MF-A1010D MF-A2010D MF-A2017D MF-A3017D MF-A4020D 测量 货号 带有 Z 轴 型号 MF-B1010D MF-B2010D MF-B2017D MF-B3017D MF-B4020D 测量 货号 目镜镜筒 ( 必选 ) 可选单目或双目镜筒 ( 俯视角角度 25º) TV 摄像机接口 分划板 ( 交叉十字虚线线宽 5µm) 光路切换( 观察 /TV 摄像机 =50/50) 观察图像 正像 观测方法 BF 观测 屈光度可调目镜 ( 可选 ) 10X ( 视场数 :24), 15X, 20X 注 : 单目镜筒个目镜 双目镜筒个 10X 目镜为标配 :1 10X :2 物镜 ( 可选 ) ML 物镜 3 ( 标准配置 ) Z 轴 最大工件高度 150mm 220mm 调焦方法同轴轴粗 / 微调 左右手柄 ( 粗调 :30mm/ 圈 微调 :0.2mm/ 圈 ) 透射照明 : 内置孔径光阑, 白色 LED 光源, 无极亮度调节, 冷却风扇 LED 照明装置 反射照明 : 科勒照明, 可调孔径光阑, 白色 LED 光源, 无极亮度调节控制装置 : 电源 ON/ OFF 开关 ( 主开关 ), V AC 电源输入连接器 照明装置 ( 二选一 ) 卤素照明装置 * 测量方法符合 JIS B 7153 标准 透射照明 : 远心光学系统, 内置孔径光阑, 卤素灯泡 (12V, 50W), 无极亮度调节, 冷却风扇反射照明 : 科勒照明, 可调孔径光阑, 卤素灯泡 (12V, 50W), 无极亮度调节, 冷却风扇控制装置 : 电源 ON/ OFF 开关 ( 主开关 ), V AC 电源输入连接器 滤光片 标准配置提供一个 GIF 滤光镜 ( 可用于透射和反射照明 ) 测量范围 mm mm mm mm mm 边界尺寸 mm mm mm mm mm 有效载物玻璃尺寸 mm mm mm mm mm 工作台 旋转角度 ±5º( 左 ) ±3º( 左 ) 最大负载 10kg 20kg 15kg 快速释放装置 X 和 Y 轴 ( 标配 ) 调零开关 X 和 Y 轴 ( 标配 ),(MF-B 型,Z 轴也为标配 ) 长度测量系统 高精度光栅尺 测量精度 * (XY 轴 : 无负载 ) ( L)µm L: 为测量长度 (mm) 分辨力 可在 1/0.5/0.1µm 间转换 数显计数器 显示轴 X 和 Y 轴,(MF-B 型 X, Y 和 Z 轴 ) 功能 调零, 方向转换和 RS-232C 输出 USB 出力 (QSPAK 用 ) 外部尺寸 (W D H) mm mm mm mm mm 重量 67kg 71kg 148kg 156kg 162kg 控制器尺寸和重量 114(W) (D) 96(H) mm LED:3.5kg 卤素 :4kg 最大能耗 ( 照明系统 ) LED 照明装置 :45W 卤素照明装置 :160W 备用卤素灯泡 ( 反射 / 直射 ) 标准型号 :No (12V50W) 长寿命 :No.12BAB345(12V50W) 10

12 通用测量显微镜 MF-U 系列 MF-UB1010D * 镜头转塔 物镜与照明系统均为选件 MF-UB2010D * 镜头转塔 物镜与照明系统均为选件 特点 清晰无闪烁正像观测, 视场宽阔 在同类产品中测量精度最高 ( 符合日本工业标准 JIS B7153) 久经验证的 M Plan Apo/BD Plan Apo/G Plan Apo 系列,FS 光学系统高数值孔径目镜 ( 长工作距离型 ) 金相学与测量显微镜功能一体化, 确保高分辨力观测与高精度测量结果 照明系统 ( 反射 / 透射 ) 可选择高亮度 LED 或卤素灯泡 ( 必选其一 ) * 由于作为透射照明的卤素灯源只有一个, 所以必须另选购其他照明装置作为反射照明 可变孔径光阑 ( 反射 / 透射 ) 可消除观测与测量中的光衍射 工作台标准尺寸多种多样, 最大可达 400X200mm 测量大尺寸或大重量的工件时, 可使用快速释放装置快速移动工作台 粗 / 细进给手柄做为标准配置安装在立柱两侧, 这样可确保精确聚焦和观察测量, 与用左右手习惯无关 高倍率目镜的检测放大倍率最高可达 4000X ( 须使用 M Plan Apo SL200X 系列 ) 标准测量显微镜, 可选配件包括影像系统 (Vision Unit) 与各种数码 CCD 相机 低噪声设计 11

13 MF-UB2017D * 镜头转塔 物镜与照明系统均为选件 规格 MF-UB3017D * 镜头转塔 物镜与照明系统均为选件 MF-UB4020D * 镜头转塔 物镜与照明系统均为选件 不带 Z 轴 型号 MF-UA1010D MF-UA2010D MF-UA2017D MF-UA3017D MF-UA4020D BF( 亮视场 ) 长度测量货号 带有 Z 轴型号 MF-UB1010D MF-UB2010D MF-UB2017D MF-UB3017D MF-UB4020D 长度测量 货号 不带 Z 轴 型号 MF-UC1010D MF-UC2010D MF-UC2017D MF-UC3017D MF-UC4020D BD 长度测量 货号 ( 亮视场 / 暗视场 ) 带有 Z 轴型号 MF-UD1010D MF-UD2010D MF-UD2017D MF-UD3017D MF-UD4020D 长度测量货号 目镜镜筒 三目倾斜镜筒 ( 俯视角角度 :0~30º); 西登托夫型 ( 瞳距调节 :51~76mm) 内置 1X 管镜 ; 分划板 ( 交叉十字虚线 线宽 :5µm); 光路径转换 ( 观测 /TV 摄像机 = 50/50) 观察图像 正像 观测方法 亮视场暗视场仅限型观测 偏振光观测以及微分干涉观测 / ( MF-UC,UD ) 屈光度可调目镜 ( 可选 ) 10 ( 视场数 24 2 为双目镜筒标配 ) 转塔 ( 必选 ) 亮视场 / 暗视场 (BD) 手动调整转塔或数控转塔 ( 二选一 ) 亮视场 (BF) 可调式手动转塔可调式电动转塔 ( 二选一 ) 物镜 ( 可选 ) 亮视场 / 暗视场 (BD) M Plan Apo M Plan Apo SL G Plan Apo 包括 BD Plan Apo BD plan Apo L 系列在内的所有镜头亮视场 (BF) 包括 系列在内的所有镜头 Z 轴 最大工件高度 150mm 220mm 调焦方法操纵两侧同轴粗 / 微调焦旋钮 ( 粗调 :10mm / 转 微调 :0.1mm / 转 ) 透射照明 : 远心光学系统, 内置孔径光阑, 白色 LED 光源, 无极亮度调节, 冷却风扇 LED 照明装置反射照明 : 科勒照明, 可调孔径光阑, 白色 LED 光源, 无极亮度调节控制装置 : 电源 ON/ OFF 开关 ( 主开关 ), V AC 电源输入连接器照明装置 ( 必选 ) 透射照明 : 远心光学系统, 内置孔径光阑, 卤素灯泡 (12V, 50W), 无极亮度调节, 冷却风扇卤素照明装置反射照明 :BF/ BD 柯勒照明与可调孔径光阑,12V100W 或 12V15W 卤素灯泡 ( 可选 ), 外部光纤照明, 无级亮度调节控制装置 : 电源 ON/ OFF 开关 ( 主开关 ), V AC 电源输入连接器 滤光片配备一个 GIF 滤镜 ( 反射及透射照明装置均可安装 ) 测量范围 mm mm mm mm mm 边界尺寸 mm mm mm mm mm 有效载物玻璃尺寸 mm mm mm mm mm 工作台 旋转角度 ±5º( 左 ) ±3º( 左 ) 最大负载 10kg 20kg 15kg 快速释放装置 X 和 Y 轴 ( 标配 ) 调零开关 X 和 Y 轴 ( 标配 ),(MF-UB 和 UD 型,Z 轴也为标配 ) 长度测量系统 高精度光栅尺 测量精度 * 1 (XY 轴 : 无负载 ) ( L)µm L: 测量长度 (mm) 分辨力 1 / 0.5 / 0.1µm 可转换 数显计数器 显示轴 X 和 Y 轴,(MF-UB 和 UD 型,X, Y 和 Z 轴 ) 功能 调零, 方向转换和 RS-232C 输出 USB 出力 (QSPAK 专用 ) 外部尺寸 (W D H) mm mm mm mm mm 重量 67kg 71kg 148kg 156kg 162kg 用于照明系统控制器尺寸和重量 114(W) (D) 96(H) mm LED/ 卤素 :3.5kg 最大能耗 ( 照明系统 ) LED 照明装置 :55W 卤素照明装置 :90W* 2 *1: 测量标准与 JIS B 7153 一致 *2: 只有用于透射照明的数值 可更换卤素灯 ( 透射光 ) 标准型 :No (12V50W) 耐用型 :No.12BAB345(12V50W) 可更换卤素灯反射用 ( 独立光源 ) 细节见 29 页 12

14 测量显微镜 MF系列 外部尺寸 以下尺寸图包含LED照明装置 控制装置设在显微镜侧面或被固定在柱子后面 连接显微镜上控制装置的电缆长度为600mm MF D 单位 mm MF-B1010D MF-B2010D MF-B2017D MF-B3017D MF-B4020D

15 通用测量显微镜 MF系列 外部尺寸 以下尺寸图包含LED照明装置 控制装置设在显微镜侧面或被固定在柱子后面 连接显微镜上控制装置的电缆长度为600mm MF-U D 单位 mm MF-UB2010D MF-UB1010D MF-UB2017D MF-UB3017D MF-UB4020D

16 测量显微镜 MF 系列可选配件系统图示 主机照明 ( 透射和反射 ) 目镜装置 LED 照明装置 DC 主机透射照明滤光片 GIF 滤光片 12AAA645 LB80 滤光片 12AAA646 单目镜筒 ( 带有目镜 10 倍 :1 镜片 ) 双目镜筒 ( 带有目镜 10 倍 :2 镜片 ) ND2 滤光片 12AAA643 ND8 滤光片 12AAA644 卤素照明装置 DC 聚焦探测 辅助对焦 FP-05(LED 装置 ) DC( 绿色 )/ DC( 红色 ) 数据计算处理 RS-232C ( 交叉 ) 电缆 12AAA807 注 : D 型 9 针, 双头均为母插头 QM-Data200 QM-Data * 1 Vision unit Vision unit 10D QSPAK VUE 电脑 热敏打印机 DPU-414* 1 ( 含连接电缆 ): 脚踏开关 ( 高钢性型 ): 12AAJ088 打印机 (ESC/P) 电缆 : 12AAA804 影像 AF 自动聚焦电缆 12AAN358 脚踏开关 ( 高钢性型 ) 12AAJ088 校准片 02AKN020 校准片 ( 带支架 ) 02ATN695 目镜镜筒 10X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 15X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 控制装置遥控盒 控制装置遥控盒 20X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 10X 分度目镜 * 1 10X 数字分度目镜 各种分划板 * 细节参见 34 页 工作台外部装置 MF D 1010 尺寸 2010 尺寸 尺寸 外部反射照明 双光纤照明 (100W) DC 环形光纤照明 (100W) DC LED 环形照明 ( 白色 ) DC( 外部亮度调节器 ) 100W 外部照明滤光片 GIF 滤光片 ( 用于光源 ) 12AAG806 LB80 滤光片 ( 用于光源 ) 12AAG807 外部光源控制电缆 12AAD128 外部光源控制电缆 12AAG888 连接 Vision Unit * 细节参见 31 页 带微调旋钮的旋转工作台 (A) 带锁紧装置的支架 带锁紧装置 V 型块 旋转式中心架 带微调旋钮的旋转工作台 B 带锁紧装置的支架 带锁紧装置 V 型块 工作台适配器 旋转式中心架 带微调旋钮的旋转工作台 (B) 物镜 滑动式换镜座 ( 工厂套装选件 ) ( 工厂套装选件 ) 3X ML 物镜 各种 ML 物镜 ML 物镜 * 详见第 28 页 计数器数据打印数据管理可选外部设备 热敏打印机 DPU-414* 1 ( 含连接电缆 ) 脚踏开关 ( 高钢性型 ) 12AAJ088 实时处理控制程度 MeasurLink 检查表创建程序 MeasureReport 注 : 需要个人电脑 减震支架 镜片清洁工具包 12AAA165 安装支架 ( 显微镜主机 + QM-Data 200) 镜台测微尺 垂直系统支架 (Vision Unit) RS-232C ( 交叉 ) 电缆 12AAA807 *1: 订货号应所在国家不同而不同, 请联络当地营业点 15

17 测量显微镜 MF-U 系列可选配件系统图示 主机照明 ( 反射 + 透射 ) LED 照明装置 DC 外部光源控制电缆 12AAG W 光纤照明 DC 主机透射照明滤光片 GIF 滤光片 12AAA645 LB80 滤光片 12AAA646 透射 反射 卤素照明装置 DC 外部光源控制电缆 12AAD128 ND2 滤光片 12AAA643 ND8 滤光片 12AAA W 光纤照明 DC 连接 Vision Unit * 详见第 31 页 100W 外部照明用滤光片 GIF 滤光片 ( 光源 ) 12AAG0806 LB80 滤光片 ( 光源 ) 12AAG807 电脑 100W 双光纤光学照明 DC 数据计算处理 RS-232C( 交叉 ) 电缆 12AAA807 注 : D 型 9 针, 双头均为母插头 QM-Data * 1 Vision unit Vision unit 10D QSPAK VUE 电脑 热敏打印机 DPU-414* 1 ( 含连接电缆 ): 脚踏开关 ( 高钢性型 ): 12AAJ088 打印机 (ESC/P) 电缆 : 12AAA804 影像 AF 自动聚焦线 12AAN358 脚踏开关 ( 高钢性型 ) 12AAJ088 校准表 02AKN020 校准表 ( 带支架 ) 02ATN695 目镜镜筒 10X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 15X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 20X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) MF UD 聚焦探测 辅助对焦 ( 绿色 )/ ( 红色 ) 备注 : 工厂套装选件 控制装置遥控盒 控制装置 遥控盒 各种分划板 * 详见第 38 页 偏振 / 微分干涉 微分干涉装置 X, 10X 用 X 用 X, SL20X 用 X, SL50X, SL80X 用 偏振装置 转塔 / 物镜 亮视场 / 暗视场 BD 亮视场 BF 4 孔转塔 (BD) 电动 4 孔转塔 (BD) DC 可调转塔 (BF) 孔调心电动 (BF) DC RS-232C( 交叉 ) 电缆 12AAA807 注 : D 型 9 针, 双头均为母插头 物镜 亮视场 / 暗视场用物镜 BD Plan Apo 系列 BD Plan Apo SL 系列 亮视场用物镜 M Plan Apo 系列 M Plan Apo SL 系列 G Plan Apo 系列 * 详见第 28 页 平台外围设备 1010 尺寸 2010 尺寸 尺寸 *1: 订货号取决于目的地 带微调旋钮的旋转工作台 (A) 平台调节器 B 平台调节器 夹子支架 V 型夹 旋转中心支持 夹子支架 V 型夹 旋转中心支持 精细进料轮旋转台 (B) 细节见相应页码 必需项目 标准配件 16

18 电动型测量显微镜 MF 系列 /MF-U 系列 测量显微镜的 X Y Z 轴可以通过马达驱动, 与 Vision unit ( 选件 ) 组合, 可以进行影像 AF! 到下一阶段 17

19 提高了操作性! MF-G2017D * 双镜筒, 目镜和 LED 照明组件都是可选配件 * 包含单独 LED 控制器和控制箱 MF-UG4020D * 镜头转塔, 物镜和 LED 照明组件都是可选组件 * 包含单独 LED 控制器和控制箱 MF-UE2017D * 镜头转塔, 物镜和 LED 照明组件都是可选组件 * 包含单独 LED 控制器和控制箱 特点 测量显微镜的 X,Y 和 Z 轴现在都是电机驱动, 可以通过遥控盒进行操作 可以用一个操纵杆来操控 X 和 Y 轴, 用一个飞梭轮控制 Z 轴, 以此实现设备操控的自然感触 而且, 这些显微镜还配备了 Z 轴限定装置, 您可以设定 Z 轴移动的最低界限, 以免物镜碰触到工件 操作人员免去了重复手动调控的疲劳之苦 安装了影像测量选件, 可以实现影像自动对焦 (AF)* 1 对于 MF-U 电动型和 MF-U 电动 LAF 型显微镜, 选取电动镜头转台能够使显微镜自动识别影像测量组件中的物镜的位置 * 2 电动型号, 配备 mm 到 mm 的大尺寸平台 一键式粗调 / 微调开关和速度调节功能, 在长距离滑动和精细定位中非常实用, 属于标准配备 遥控盒上的操控按钮, 能够提供真实自然的操控体验 遥控盒标准配备了数据输出键和 X, Y, Z 轴计数器复位键, 使您可以实现各种远程操控 MF-U 电动产品中包括了配备了 LAF ( 激光自动聚焦 ) 的产品, 能够提升聚焦操作的效率 配备 LAF 激光自动聚焦功能的型号, 不仅具有单聚焦 (JF) 功能, 还可以实现跟踪聚焦 (TF), 在平台移动过程中也能保持聚焦状态 这些功能专为应付各种情况的聚焦需求定制而成, 能够降低操作人员的工作量 *1: 需要单独的影像 AF 电缆 (No.12AAN358) *2: 需要单独的 RS-232C 电缆 (No.12AAA807) 18

20 电动型测量显微镜 MF 系列 /MF-U 系列 电机驱动 计算处理器 QM-Data200 *MF-G2017D 和 QM-Data200 的组合图 XYZ 轴都是电机驱动 操纵杆操控 XY 轴, 飞梭轮操控 Z 轴, 这样就可以通过遥控盒实现测量的操控 消除了传统的手动调节和聚焦工作, 降低了操控人员的疲劳程度 XY 轴最大进给驱动速度是 40mm/s,Z 轴最大进给驱动速度是 20mm/s 配备有大尺寸平台型号, 尺寸范围 mm 至 mm 实现电动 Z 轴的改装, 可以使用新的影像 AF 自动对焦功能, 也可以使用备选的 Vision Unit * 1 Vision unit *1: 必须连接单独的影像 AF 自动对焦电缆 (No.12AAN358) *MF-G2017D + 10D Vision Unit 和影像自动聚焦电缆组合图 计数显示器 我们的电动测量显微镜继承了手动操控测量显微镜的选项和功能, 同时也对其进行了长足的扩展 正如我们传统的测量显微镜产品一样, 我们的电动测量显微镜可以配备 QM-Data200 二维数据处理器以及 Vision Unit 手动图像测量系统, 可以用其装备的数码相机进行边缘检测 多亏有了新的电动型, 现在可以使用影像 AF 自动聚焦电缆和 Vision Unit 实现影像 AF 自动聚焦 自动聚焦 大屏计数器, 能够提供良好的可视效果, 配备重置键, 属于标准配备 该计数器还配备了下述标准功能 : 显示器分辨力调节, 归零, 方向转换和平滑功能 尽管显示器很大, 计数器厚度却很薄 由于计数器安装位置可以自由变化, 操作人员可以将计数器放置在最佳位置 影像 AF 自动聚焦 ( 通用选件 ) 通过使用选件 Vision Unit 和影像 AF 自动聚焦电缆, 可以实现影像的自动聚焦 在影像测量软件 QSPAK 中, 可以检测到最高对比度图像数据所需要的位置并实现自动对焦 运行速度比裸眼聚焦更加快速, 能够降低工作时间, 减轻操作员疲劳度 19

21 电动型转塔 (MF-U 电动产品和 LAF 产品的选件 ) MF-U 电动产品和 MF-U 电动 LAF 产品必须选择镜头转塔 通过选择电动转塔, 安装配备选件 Vision Unit 的测量显微镜, 可以改变和监测转塔位置 * 1 这是一个新的功能, 在 10D Vision Unit 的软件 QSPAK VUE 4.1 版和后续版本中可以提供这一功能 您可以使用软件来改变和自动监测转塔位置, 不再需要另外操控转塔 而且, 还解决了您在改变放大率时可能忘记改变校准值的问题, 这样, 就为您提供了一个使用更可靠 简便的系统 *1: 需要独立 RS-232C 电缆 (No.12AAA807) QSPAK 转塔位置显示器 * 该图像是 4 孔电动转塔和 4 孔传感器转塔的组合 激光自动聚焦 ( 仅限电动 LAF 型 ) LAF ( 激光自动聚焦 ) 可以通过电动 LAF 产品实现 通过使用应用了 TTL ( 通过镜头 ) 法的 AF 自动聚焦会有 690nm 波长的半导体激光束穿过这些镜头, 这些显微镜可以实现微小面积上的自动聚焦 相比肉眼聚焦, 激光自动聚焦具有更好的重复性, 可以用来测量高度 而且, 下述两种聚焦功能也是标配 :JF ( 单聚焦 ), 可以用来将激光定位在您想聚焦的地方以测量高度 ; 以及 TF ( 跟踪聚焦 ), 可以始终保持聚焦位置 20

22 电动型测量显微镜 MF 系列 /MF-U 系列 MF D 规格 型号 MF-G2017D MF-G3017D MF-G4020D 货号 DC DC DC 目镜镜筒 ( 必选 ) 可选单目或双目镜筒 ( 俯视角角度 25º) TV 摄像机接口 分划板 ( 交叉十字虚线线宽 5µm) 观测/ 电视摄像头 =50:50 观察图像 正像 观测方法 亮场观察 目镜 ( 可选 ) 屈光度可调 10 ( 视场数 24) 注 ) 单目镜筒个标准配置镜片 双目镜筒个标准配置镜片 :10 1 :10 2 物镜 ( 可选 ) ML 物镜 3 ( 标准配置 ) Z 轴 最大工件高度 220mm 调焦方法电动 ( 最大测量速度 :20mm/s) 照明装置 ( 必需 ) LED 照明装置 卤素照明装置 透射 : 远心, 内置式孔径光阑, 白色 LED 光源, 无级亮度调节, 配备冷却风扇反射 : 调孔径光阑科勒照明, 白色 LED 光源, 无级亮度调节控制器控制器 : 电源开关 ( 主开关 ), 交流电电源输入连接器 (100 到 240V) 透射 : 远心, 内置式孔径光阑,12V/50W 卤素灯, 无级亮度调节, 冷却风扇反射 : 可调孔径光阑科勒照明,12V/50W 卤素灯, 无级亮度调节, 冷却风扇控制器 : 电源开关 ( 主开关 ), 交流电电源输入连接器 (100 到 240V) 滤光片 标配 GIF 滤光片 ( 透射和透射照明均可安装 ) 测量范围 mm mm mm 边界尺寸 mm mm mm 工作台 有效载物玻璃尺寸 mm mm mm 旋转角度 ±5º ±3º 最大载荷 20kg 15kg 长度测量系统 高精度数字光栅尺 测量精度 (XY 轴无负载 )* ( L)µm L: 测量长度 (mm) 分辨力 1/0.5/0.1µm 可调 数显计数器 显示轴 X/Y/Z 轴 功能 归零, 方向转换 操纵杆 (X 和 Y 轴驱动 ), 锁定键 (X 和 Y 轴 ), 速度调节 (X,Y 和 Z 轴 ), 粗 / 精调节按钮 (X,Y 和 Z 轴 ), 飞梭轮 (Z 轴驱动 ), 界限设定遥控盒 (Z 轴 ), 紧急停止开关, 备用电源开关 AF 自动聚焦按钮 ( 影像自动聚焦 ): 连接 Vision Unit ( 可选 ) 时有效重置键 (X,Y 和 Z 轴计算器 ), 数据输出键 外部尺寸 (W D H) mm mm mm 主机重量 150kg 158kg 164kg 控制器尺寸 (W D H) mm 重量 7kg 照明装置的控制器尺寸 (W D H) mm 照明装置的控制器重量 LED:3.5kg 卤素 :4kg 最大电源消耗 230W * 测量标准与 JIS B 7153 一致 21

23 MF-UD 规格 电动型 LAF 电动型 型号 MF-UG2017D MF-UG3017D MF-UG4020D MF-UE2017D MF-UE3017D MF-UE4020D BF( 亮视场 ) 货号 DC DC DC DC DC DC 型号 MF-UH2017D MF-UH3017D MF-UH4020D MF-UF2017D MF-UF3017D MF-UF4020D BD( 亮视场 / 暗视场 ) 货号 DC DC DC DC DC DC 目镜镜筒 ( 必选 ) 三目倾斜镜筒 ( 俯角 0~30º) 西登托夫型可调瞳距 51~76mm 内置式 1 管径, 分划板 ( 十字交叉虚线, 宽 5µm), 观测 / 电视摄像头 =50:50 观察图像 正像 观测方法 BF,DF ( 兼容暗视场 ), 简单偏振, 微分干涉 目镜 ( 可选 ) 屈光度可调 10 ( 视场数 24 2 个标准配置 ) 转塔 ( 必选 ) BF( 亮视场 ) 可调式手动转塔或可调式电动转塔 ( 二选一 ) BF 传感器手动转塔, 可调式电动转塔 *1 BD( 亮视场 / 暗视场 ) 手动转塔或电动转塔 ( 二选一 ) BD 传感器手动转塔, 电动转塔 *1 物镜 ( 可选 ) BF( 亮视场 ) BD( 亮视场 / 暗视场 ) M Plan Apo M Plan Apo SL G Plan Apo 系列 BD Plan Apo BD Plan Apo SL 系列 Z 轴 最大工件高度 220mm 调焦方法最大测量速度 : 20mm/s) 透射 : 远心, 内置式孔径光阑, 白色 LED 光源, 无级亮度调节, 配备冷却风扇 LED 照明装置反射 : 调孔径光阑科勒照明, 白色 LED 光源, 无级亮度调节, 冷却风扇控制器 : 电源开关 ( 主开关 ), 交流电电源输入连接器 (100 到 240V) 照明装置 ( 必选 ) 透射 : 远心, 内置式孔径光阑,12V/50W 卤素灯, 无级亮度调节, 配备冷却风扇反射 : 可调孔径光阑卤素照明装置 BF/BD 科勒照明,12V100W 或 12V15W 卤素灯 ( 可选 ), 外部光纤照明, 无级亮度调节控制器 ; 控制器 : 电源开关 ( 主开关 ), 交流电电源输入连接器 (100 到 240V) 滤光片 标配 GIF 滤光片 ( 透射和反射照明均可安装 ) 测量范围 mm mm mm mm mm mm 边界尺寸 mm mm mm mm mm mm 工作台 有效载物玻璃尺寸 mm mm mm mm mm mm 旋转角度 ±5º ±3º ±5º ±3º 最大载荷 20kg 15kg 20kg 15kg 长度测量系统 高精度数字光栅尺 测量精度 (XY 轴无负载 )* 2 ( L)µm L: 测量长度 (mm) 分辨力 1/0.5/0.1µm 可调 数显计数器 显示轴 X/Y/Z 轴 功能 调零, 方向转换 操纵杆 (X 和 Y 轴驱动 ), 锁定键 (X 和 Y 轴 ), 速度调节 (X,Y 和 Z 轴 ), 粗 / 精调节按钮 (X,Y 和 Z 轴 ), 飞梭轮 (Z 轴驱动 ), 界限设 定 (Z 轴 ), 紧急停止开关, 备用电源开关 遥控盒 AF 自动聚焦按钮 ( 影像自动聚焦 ): 连接 Vision Unit ( 可选 ) 时有效 LAF 激光自动聚焦键 : 只有 LAF 型可用, 单聚焦 (JF), 跟踪聚焦 (TF) 重置键 (X,Y 和 Z 轴计算器 ), 数据输出键 LAF( 激光自动聚焦 ) 外部尺寸 (W D H) mm mm mm mm mm mm 重量 150kg 158kg 164kg 155kg 163kg 169kg 控制器尺寸 (W D H) mm 控制器重量 7kg 照明装置的控制器尺寸 (W D H) mm 照明装置的控制器重量 LED/ 卤素 :3.5kg 最大电源消耗 230W *1: 必须使用 RS-232C 电缆 (No. 12AAA807) 与 LAF 型和电动转塔相连 *2: 测量标准与 JIS B 7153 一致 22

24 电动型测量显微镜 MF系列/MF-U系列 外部尺寸 以下尺寸图包含LED照明装置 控制装置设在显微镜侧面或被固定在柱子后面 连接显微镜上控制装置的电缆长度为600mm MF D 单位 mm MF-G3017D MF-G2017D MF-G4020D MF-U D(电动型) 单位 mm MF-UG2017D MF-UG3017D MF-UG4020D

25 以下尺寸图包含LED照明装置 控制装置设在显微镜侧面或被固定在柱子后面 连接显微镜上控制装置的电缆长度为600mm MF-U D(LAF电动型) 单位 mm MF-UF2017D MF-UF3017D MF-UF4020D

26 测量显微镜 MF 系列 /MF-U 系列可选配件系统图示 主机照明 ( 透射和反射 ) 目镜装置 LED 照明装置 DC 主机透射照明滤光片 GIF 滤光片 12AAA645 LB80 滤光片 12AAA646 单目镜筒 ( 带有目镜 10 倍 x1 镜片 ) 双目镜筒 ( 带有目镜 10 倍 x2 镜片 ) ND2 滤光片 12AAA643 ND8 滤光片 12AAA644 卤素照明装置 DC 聚焦探测 辅助对焦 * 1 ( 绿色 )/ * 1 ( 红色 ) 数据计算处理 RS-232C( 交叉 ) 电缆 12AAA807 注 : D 型 9 针, 双头均为母插头 QM-Data200 QM-Data * 1 Vision unit Vision unit 10D QSPAK VUE 电脑 热敏打印机 DPU-414* 1 ( 含连接电缆 ): 脚踏开关 ( 高钢性型 ): 12AAJ088 打印机 (ESC/P) 电缆 : 12AAA804 影像 AF 自动聚焦电缆 12AAN358 脚踏开关 ( 高钢性型 ) 12AAJ088 校准片 02AKN020 校准片 ( 带支架 ) 02ATN695 目镜镜筒 10X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 15X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 20X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 10X 分度目镜 * 1 10X 数字分度目镜 各种分划板 * 细节参见 38 页 工作台外部装置 带微调旋钮的旋转工作台 (B) MF D 电动型 工作台适配器 外部反射照明 双光纤照明 (100W) DC 环形光纤照明 (100W) DC LED 环形照明 ( 白色 ) DC( 外部亮度调节器 ) 控制装置遥控盒 100W 外部照明滤光片 GIF 滤光片 ( 用于光源 ) 12AAG806 LB80 滤光片 ( 用于光源 ) 12AAG807 外部光源控制电缆 12AAD128 外部光源控制电缆 12AAG888 控制装置遥控盒连接 Vision Unit * 细节参见 31 页 带锁紧装置的支架 带锁紧装置 V 型块 旋转式中心架 物镜 滑动式换镜座 ( 工厂套装选件 ) ( 工厂套装选件 ) 3X ML 物镜 各种 ML 物镜 ML 物镜 * 详见第 28 页 计数器数据打印数据管理可选外部设备 热敏打印机 DPU-414* 1 ( 含连接电缆 ) 脚踏开关 ( 高钢性型 ) 12AAJ088 实时处理控制程度 MeasurLink 检查表创建程序 MeasureReport 注 : 需要个人电脑 减震支架 镜片清洁工具包 12AAA165 安装支架 ( 显微镜主机 + QM-Data 200) 镜台测微尺 垂直系统支架 (Vision Unit) RS-232C ( 交叉 ) 电缆 12AAA807 *1: 订货号取决于目的地 25

27 主机照明 ( 反射 + 透射 ) LED 照明装置 DC 外部光源控制电缆 12AAG W 光纤照明 DC 主机透射照明滤光片 GIF 滤光片 12AAA645 LB80 滤光片 12AAA646 透射 反射 卤素照明装置 DC 外部光源控制电缆 12AAD128 ND2 滤光片 12AAA643 ND8 滤光片 12AAA W 光纤照明 DC 双光纤光学照明 (100W) DC 连接 Vision Unit * 详见第 31 页 100W 外部照明滤光片 GIF 滤光片 ( 光源 ) 12AAG0806 LB80 滤光片 ( 光源 ) 12AAG807 数据计算处理 RS-232C( 交叉 ) 电缆 12AAA807 注 : D 型 9 针, 双头均为母插头 QM-Data * 1 Vision unit Vision unit 10D QSPAK VUE 电脑 热敏打印机 DPU-414* 1 ( 含连接电缆 ): 脚踏开关 ( 高钢性型 ): 12AAJ088 打印机 (ESC/P) 电缆 : 12AAA804 影像 AF 自动聚焦线 12AAN358 脚踏开关 ( 高钢性型 ) 12AAJ088 校准表 02AKN020 校准表 ( 带支架 ) 02ATN695 目镜镜筒 控制装置遥控盒 控制装置 10X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 15X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) 20X 目镜 (2 个 )/ (1 个 ) MF-UD 电动型 聚焦探测 辅助对焦 * 1 ( 绿色 )/ * 1 ( 红色 ) 备注 : 工厂套装选件 遥控盒 各种分划板 * 详见第 38 页 偏振 / 微分干涉 微分干涉装置 X, 10X 用 X 用 X, SL20X 用 X, SL50X, SL80X 用 转塔 / 物镜 电动电动 LAF 平台外围设备 带微调旋钮的旋转工作台 (B) 夹子支架 V 型夹 偏振装置 平台调节器 旋转中心支持 亮视场 / 暗视场 BD 亮视场 BF 4 孔转塔 (BD) 电动 4 孔转塔 (BD) DC 传感器手动转塔 BD( 带传感器 ) 可调转塔 (BF) 孔调心电动 (BF) DC 传感器手动转塔 BF( 带传感器 ) * LAF 物镜和转塔是工厂套装选件 有关 LAF 机请选着 5 以上物镜 RS-232C( 交叉 ) 电缆 12AAA807 注 : D 型 9 针, 双头均为母插头 注 : 请确认是为电子 LAF 选择此线缆 物镜 亮视场 / 暗视场用物镜 BD Plan Apo 系列 BD Plan Apo SL 系列 亮视场用物镜 M Plan Apo 系列 M Plan Apo SL 系列 G Plan Apo 系列 * 详见第 28 页 细节见相应页码 必需项目 标准配件 *1: 订货号取决于目的地 26

28 选件镜头 我们的目镜具有大视野 ( 使用 10X 目镜时视野数 24), 更容易观察和测量物体 长工作距离和无闪烁的标准物镜可提供明亮的图像 亮视场和暗视场物镜均采用平场复消色差透镜 我们认为长时间无疲劳的观察和测量是非常重要的 目镜 目镜 WF10 /24 WF15 /16 WF20 /12 货号 (1 个 ) 货号 (2 个 ) 倍率 视场数 适用型号 MF D/MF-U D 只有 10X 型带有遮光眼罩 如果您正在使用的测量显微镜比带有双目目镜的 MF B 系列旧, 请选择货号为 No 的产品 目镜镜筒 分度目镜 货号 倍率 10 视场数 21 目盛 º5 适用型号 MF D 数显分度目镜货号 * 1 倍率 10 视场数 22 分划板目镜探测 90º 实线,45º 虚线 ( 两者线宽均为 5µm) 十进制度数部分测量范围 :0.00º 至 ± º 弧度 :0º00' 至 ± 369º59' 探测方法静电电容型线性光栅尺外部尺寸 (mm) 外径 ø (D) 分辨力 0.01º ( 度 ) 或 1' ( 弧度 - 分 ) 调零,ABS*/INC 转换, 十进制读数 / 弧度转换, 方向转换, 数据功能输出 ( 脚踏开关,12AAJ088 同时数显计数使用 ) 器 ( 标准附外部输出 RS-232C 件 ) CE 外部尺寸 (mm) 143(W) 112(D) 57(H) 电源 AC100~120V 适用型号 MF D ( 可固定在计数器顶部 ) * 本测量系统并不总是向内部标尺提供电源显示绝对值 该系统从任何固定原点测得坐标值 *1: 订货号取决于目的地 单目镜筒 货号 倍率 10 视场数 24 适用型号 用于 MF D 双目镜筒 货号 倍率 10 视场数 24 适用型号 用于 MF D 倾斜双目镜筒 倍率 10 视场数 24 俯视角角度 ( 倾斜角度 ) 0~30º 适用型号 标准附件用于 MF U D 27

29 当显微镜用于检测 观察和测量时, 物镜的高分辨力和长工作距离对于提高操作简便性而言会非常重要 为了在视野中获得清晰的图像, 复消色差透镜可以在可见光范围内补偿色彩失真 ( 红色 蓝色和黄色波长的补偿 ), 而平场规格物镜, 可对图像表面的扭曲, 点失真等进行补偿 FS 物镜就是集成了这些因素的高性能目镜 该系列物镜扩大了显微镜的应用范围并显著提高了操作简便性 M Plan Apo 系列透镜适合用于可见光范围, 适于 BF 观测 BD Plan Apo 系列则可同时用于 BF 和 DF 观测 SL ( 超长 ) 规格在长工作距离时非常有用 G Plan Apo 系列透镜能够透过玻璃观测 玻璃厚度补偿为 3.5mm ( 可定制 2~5mm) ML 物镜有限补正光学系统... 用于 MF C/MF D 型号货号倍率 NA 工作距离 (mm) 分解能 (µm) ML ML ML ML ML ML ML FS 物镜 无限补正光学系统... 用于 MF-U C/MF U D 用 用于亮视场 (BF) 观察和测量 工作距离分解能型号货号倍率 NA (mm) (µm) M Plan Apo M Plan Apo M Plan Apo M Plan Apo M Plan Apo M Plan Apo M Plan Apo M Plan Apo M Plan Apo SL M Plan Apo SL M Plan Apo SL M Plan Apo SL M Plan Apo SL M Plan Apo HR M Plan Apo HR G Plan Apo 20 (t3.5) 空气换算 G Plan Apo 50 (t3.5) 空气换算 透镜套装 B 一套 M Plan Apo10, 20, 50, 和 100 透镜套装 B 一套 M Plan Apo2, 5, 10, 和 SL20 透镜套装 B 一套 M Plan Apo5, 10, 20, 和 50 FS 物镜转换适配器 在 BD 转塔从亮视场 BF 镜头转化到 BF/DF 时使用 用于明暗视场 (BD) 观察测量用 工作距离分解能型号货号倍率 NA (mm) (µm) BD Plan Apo BD Plan Apo BD Plan Apo BD Plan Apo BD Plan Apo BD Plan Apo BD Plan Apo BD Plan Apo SL BD Plan Apo SL BD Plan Apo SL BD Plan Apo SL BD Plan Apo HR BD Plan Apo HR 透镜套装 D 一套 BD Plan Apo10, 20, 50, 和 100 透镜套装 D 一套 BD Plan Apo2, 5, 10, 和 SL20 透镜套装 D 一套 BD Plan Apo5, 10, 20, 和 50 28

30 选件照明 对观察和测量各种各样的物体来说 ( 半导体 电子电动元件, 汽车精密元件 树脂制品 工具 药品及有着高对比度的透明铅印材料 ), 照明装置 ( 光源 ) 是非常重要的 根据被观测物体的形状, 外观 颜色及材料来选择最适合的照明装置 A: 反射照明系统与透射照明系统 ( 必选 ) MF D 系列 透射照明 反射照明 LED 照明系统货号 DC 由 ( 反射照明与透射照明的 ) 灯罩与一个 LED 控制系统构成 LED 控制系统可安装在显微镜主体立柱的后部白光 LED( 低耗电 :45W) 额定使用寿命约为 30,000 小时, 连续可变亮度控制内置冷却风扇 ( 配有报告风扇停止工作的报警器 ) 反射照明系统或透射照明系统均可安装滤色镜 外部尺寸 (mm) 适用型号 反射照明系统 :ø33 86( 最大突出部位 ) 透射照明系统 :68 103( 最大突出部位 ) LED 控制系统 :114(W) (D) 96(H) MF D MF-U D 系列 透射照明 反射照明 卤素照明装置货号 DC (MF D)/ DC (MF-U D) 由 ( 反射照明与透射照明的 ) 灯罩与一个卤素控制系统构成卤素控制系统可安装在显微镜主体立柱的后部 12V,50W 卤素灯, 连续可变亮度控制内置冷却风扇 ( 含一报告风扇停止工作的报警器 ) 可安装滤色镜 外部尺寸反射与透射照明系统 :91 106( 最大突起部 ) (mm) 卤素控制系统 :114(W) (D) 96(H) 适用型号 MF D/MF-U D 注 : 仅在透射照明下可用 MF-U D 型 透射照明 反射照明 LED 照明装置货号 DC 由 ( 反射照明与透射照明的 ) 灯罩与一个 LED 控制系统构成 LED 控制系统可安装在显微镜主体立柱的后部 白光 LED ( 低耗电 :55W) 额定使用寿命 : 约 30,000 小时连续可变亮度控制内置冷却风扇 ( 配有报告风扇停止工作的报警器 ) 反射照明系统或透射照明系统均可安装滤色镜 外部尺寸 (mm) 适用型号 反射照明系统 :68 66( 最大突出部位 ) 透射照明系统 :68 103( 最大突出部位 ) LED 控制系统 :114(W) (D) 96(H) MF-UD 4 100W/150W 光纤照明装置 ( 外部光源性能参数 ) 货号 DC (100W) DC (150W) 12V100W 卤素灯炮 (No ) 额定寿命 :1,000 小时 100W 12V100W 高亮度卤素灯炮 (No.12BAD602) 额定寿命 :50 小时无级亮度控制外部尺寸 (mm) 76(W) 235(D) 120(H) 玻璃光缆长度 :1,500 15V150W 卤素灯炮 (No.12BAJ076) 额定寿命 :500 小时 150W 15V150W 高亮度卤素灯炮 (No.12BAJ075) 额定寿命 :50 小时无级亮度控制外部尺寸 (mm) 120(W) 273(D) 119(H) 玻璃光缆长度 :1,500 适用型号 MF-U D 卤素照明装置适用 (No ) 选用时, 用作反射照明 29

31 B 双光纤照明装置 ( 外部光源性能参数 ) 货号 DC 安装于显微镜立柱背面无级亮度控制包括一个聚光透镜使用影像装置系统时为自动亮度控制 ( 需要外部光源控制电缆 No.12AAD128) 12V100W 卤素灯炮 (No ), 额定寿命 :1,000 小时 12V100W 高亮度卤素灯炮 (No.12BAD602), 额定寿命 :50 小时 LB80 滤光片 (No.12AAG807) 外部尺寸 (mm) 适用型号 A: 反射及透射照明装置 光通过物镜垂直照亮观察物体的表面 LED 及卤素灯均可作为光源 B: 双光纤照明装置 该照明装置从两个方向发射卤素灯光, 适合用于三维观察 该装置配有聚光镜头, 可使用高亮度点光源 76(W) 235(D) 120(H): 仅光源部分光纤长度 700: 丛背部固定点到末端最大光纤弯曲半径 :R60 MF D/MF-U D 图像 图像 C B 四个图像显示的是同一被测物体 A C 光纤环形照明装置 ( 外部光源性能参数 ) 货号 DC 无级亮度控制包括一个聚光透镜使用影像装置系统时为自动亮度控制 ( 需要单独得电缆 No.12AAD128) 12V100W 卤素灯炮 (No ), 额定寿命 :1,000 小时 12V100W 高亮度卤素灯炮 (No.12BAD602), 额定寿命 :50 小时 LB80 滤光片 (No.12AAG807) 76(W) 235(D) 120(H): 仅光源部分外部尺寸外径 (mm) ø60 内径 ø35: 环形照明装置部分光纤长度 : 1,000 适用型号 MF D ( 倍率不大于 10X 的 ML 物镜 ) D C: 环形光纤照明装置 该照明装置从物镜外围发射卤素灯光, 使观测中的阴影减到最小, 适用于图像测量 D:LED 环形照明装置该照明装置由一组 LED 光源从物镜外围发射光线, 在观测着色树脂 电路板及圆柱形小物体时, 观测图像有很高的对比度, 同 图像 图像 样适于图像测量 调整亮度不会改变着色 D LED 环形照明装置 ( 用于 FS 物镜 ) 货号 外部尺寸 (mm) 联系我们固定在目镜上 发出环形白色 LED 光无级亮度控制影像装置系统可以使用自动亮度调节控制 ( 使用外部光源控制电缆 No.12AAG888) 75(W) 150(D) 90(H): 仅控制部分内径 ø70 总长 :65~80 ( 环形 LED 部分 ) LED 电缆长度 : 1,000 适用型号 MF-U D (FS 物镜, 倍率不大于 10X 的 M Plan Apo 镜头 ) D LED 环形照明装置货号 DC 无级亮度控制影像装置系统可以使用自动亮度调节控制 ( 使用外部光源控制电缆 No.12AAG888) 75(W) 150(D) 90(H): 仅控制部分外部尺寸内径 (mm) ø70 总长 :68~93 ( 环形 LED 部分 ) LED 电缆长度 : 1,500 适用型号 MF D ( 倍率不大于 10X 的 ML 物镜 ) 30

32 选件影像测量系统 Vision Unit Vision Unit 将测量显微镜提升为一个高性能影像测量系统, 能够大幅度提高质量保证工作效率 影像测量可以从工件边缘采集足够多的特征点以确保准确度, 并让功能强大的基于 PC 的软件计算出测量结果 一种影像测量方法是沿着影像边缘测量, 另一种是专用电子方式, 这两种都可以达到一般测量目的 这两种方式可打印出测量结果或输出到电子表格软件或检查表 特点 典型系统 自动边缘探测工具能实现快速测量和各种类型的测量 影像和测量导航功能使得操作简便 测量结果能被输出至 MS-Excel* 1 电子表格, 并可用同一台个人电脑创建检查表 可进行公差检验并对每项测量结果进行统计处理 自动亮度控制功能可准确地再现照明设置 ( 在同时使用 MF-D 和 MF-UD 测量显微镜的时候 ) 单一屏幕影像测量 输入和保存图像功能 (BMP 或 JPEG 格式 ) 电动型 MF/MF-U 系列测量显微镜 ( 参见 P19) 组合使用, 进行图像 AF 自动对焦 脚踏开关货号 No.12AAJ088 *1. MS-Excel 是微软公司的注册商标 性能参数 Vision Unit 10D 货号 光学系统放大率 连接显微镜时 0.5 (0.5 使用 TV 适配器时 ) 图像检测 300M 像素高清晰度 1/2 英寸 CMOS 彩色镜头 显示器显示倍率 约 19 倍 ( 物镜 3 使用时 : 约 59 撮像范围: mm) 分辨力 0.1µm 每个轴的测量精度 (20ºC 环境下 ) 取决于测量显微镜 取决于测量显微镜 参照 : 使用 3X ML 物镜 精度 (20ºC 环境下 ) ( 使用我们的标准样品时进行的测量 ) 屏幕内测量精度 ±2.5µm 以下屏幕内部重复性 (±2σ) ±1µm 以下 电脑系统 Windows 7 22 型 LCD 软件 QSPAK Vision Unit 最大能耗 最大 510W ( 含显示器 ) 适用型号 MF D/MF-U D * 分别需要软件和计算机处理 CAD I/F ( 可选软件 ) FORMPAK-QV ( 可选软件 ) 通过将产品设计过程中产生的 CAD 数据 (DXF,IGES) 录入到 QSPAK 中, 操作 性得到了极大的改善, 创建零件程序的时间也大大降低了 QSPAK 产出的测 量结果可以转换成 CAD 数据 特点 图形窗口可以用来计算各种要素 图形数据可以输出成特定 CAD 数据格式 详细信息参见样本 No 根据使用 QSPAK 获取的数据,FORMPAK-QV 能够对比标称值, 分析轮廓 和公差 特点 轮廓公差分析功能 精细轮廓分析功能 报告生成功能 31 轮廓公差分析图像

33 选件 2-D 数据处理器 QM-Data200 典型系统 性能参数 QM-Data200( 台式 ) 货号 * 热敏打印机 DPU-414 SII 产品 特点 高对比度图像显示在大屏幕 LCD 显示器 可从键盘上的单键操作实现常用的组合测量 ( 如两圆的圆心距离测量 ) 重复测量模式具有测量过程示教功能和测量点导航功能 AI 测量功能 ( 自动识别被测要素 ) 用户菜单功能能够注册保存用户各别设置的测量命令和工件程序 测量演算结果的公差检验并可对各测量结果进行统计处理 测量结果可以 CSV 格式输出至 MS-Excel* 1 电子表格 测量程序和结果可被保存在 U 盘 * 2 上 带有倾斜装置的支架 可在打印数据的同时进行测量 *1. MS-Excel 是微软公司的注册商标 *2. 有可能不支持部分市面上的 U 盘 支持 16 种语言 ( 日语, 英语, 法语, 德语, 意大利语, 西班牙语, 显示语言 葡萄牙语, 捷克语, 繁体中文, 简体中文, 韩语, 土耳其, 瑞典, 荷兰, 波兰, 匈牙利 ) 测量单位 长度 : 毫米 角度 : 度 / 度 - 分 - 秒 ( 可选 ) 分辨力 0.1µm 程序功能 创建 运行和编辑测量程序 统计处理 测量项目 数据量 最大值 最小值 平均值 标准偏差 范围 直方图 统计测量 ( 适用于全部命令 ) 显示区域 彩色图形 LCD ( 带 LED 背光 ) 倾斜能力 XYZ: 线性光栅尺输入 ( 最多三条轴线 ) RS-232C 1: 连接电脑 ( 测量结果 ) RS-232C 2: 连接计数器 输入 / 输出接口 FS: 连接脚踏开关 PRINTER: 连接外部打印机 ( 测量结果 ) USB-FDD: 连接 USD 软驱 ( 测量结果, 测量程序文件 ) USB-MEMORY: 连接 USB 记忆棒 ( 测量结果, 测量程序文件 ) 测量结果文件输出 RS-232C 出力 (CSV 形式 MUX-10 形式 ) 电源 AC100V~240V 最大能耗 17W( 不包括选件 ) 外部尺寸 (W D H) 约 mm ( 包括支架 ) 重量 约 2.9kg 适用型号 MF D/MF-UD *: 货号取决于目的地 外部尺寸 脚踏开关货号 No.12AAJ088 ( 单位 :mm) 性能参数 热敏打印机 DPU-414 连接 QM-Data200 请联系当地三丰销售处 货号请联系当地三丰销售处连接打印计数器注意 : 与脚踏开关组合使用货号 No.12AAA846 打印方法 热敏点阵打印 打印位数 40 位 (9 普通字符 (7 点阵 )) 打印速度 最高 52.5 普通字符 / 秒 外部尺寸 160(W) 170(D) 65.5(H)mm( 打印机 ) 标准配件 电缆 打印纸 (1 卷 ) AC 适配器 (100V) 备用配件 打印纸 (5 卷 ) No (5 卷 ) ESC/P 打印机电用缆 No.12AAA804(2m)24pin 彩色 / 黑白对应 打印实例 32

34 选件 三丰提供各种易于测量显微镜操作的各种选件 辅助聚焦能减小聚焦点的偏差, 电动转塔和电动聚焦装置可改变手动变换倍率和聚焦方式, 数显角测量旋转头和带微调的旋转台能平滑的旋转被测目标, 还有其它的各种选件都能使显微镜的操作更方便 选择偏光片装置和微分干涉对比装置能支持显微观测,TV 接口适配器在安装摄像机后可应用不同应用程序满足不同用户的需求以同时进行分析和评估 辅助聚焦系统焦距探测器型号 FP-05 FP-05U 货号 * 1 ( 绿 ) * 1 ( 赤 ) * 1 ( 绿 ) * 1 ( 赤 ) 绿色 LED 或红色 LED 同心圆聚焦图 品字形聚焦图 光源 聚焦图顶部与底部对齐的位置即为焦点 亮度可按表面反射情况调节 采用 5X 光学放大倍数可在 TV 监视器宽视场中进行观测 聚焦重复精度约为 1.5µm ( 采用 20X 透镜时 ) * 这是基于用标准样本监测所得的参考值 光学放大倍数 0.5 放大精度 ±0.1% ( 视场中心 2/3 范围内 ) 相机 最大可支持 2/3 寸 TV 适配器 配备 C-Mount, 中心或等焦距调节装置 电源 AC100V~240V 最大功率约 10W 外形尺寸 主机 :131(H) (mm) 控制台盒 :90(W) 78(H) 178(D) 适用型号 MF D MF-U D 颜色交换器 LED 照明组件 ( 绿色 ):02AKV350B LED 照明组件 ( 赤色 ):02AKV390B 注 :MF-U 与 FP-05U 相结合的一体机为工厂可选安装 *1: 订货号取决于目的地 滑动型换镜旋座 ( 工厂可选安装 ) 货号 安装在中心设备 ( 标准 ) 位置的透镜与安装在调节设备位置的焦点的透镜两者是等焦距的 注 : 不能保证安装在调节设备位置的焦点的透镜的放大倍数 货号 可以确保安装在中心设备 ( 标准 ) 位置的透镜放大倍数与安装在调节设备位置的焦点的透镜放大倍数 注 : 这两个透镜不是等焦距的 适用型号 MF D 电子聚焦装置货号请联络当地三丰办事处此装置安装在显微镜左侧的 Z- 轴手柄上, 如此即可用手转动电控微动拨盘 (jog dial) 微调焦距 使用微动梭可按 7 个挡调节变速粗给进焦距 最大给进量 0.4µm 最大驱动速度 3.2mm/sec 驱动方式步进电机 ( 飞梭 / 微动拨盘 ) 电源 AC100V~240V 最大电耗约为 20W 外部尺寸主机 :ø69 99(L) (mm) 控制台盒 :108(W) 72(H) 193(D) 适用型号 MF-U C 注意 : 此装置定做 亮暗视场用手动显微镜换镜旋座 亮视场用手动显微镜换镜旋座 亮视场用电动显微镜换镜旋座 (4 孔 ) 转塔货号 观测支持 DC DC DC 亮 / 暗视场亮 / 暗视场亮视场亮视场亮 / 暗视场亮视场亮视场 BD BD BF BF BD BF BF 物镜孔位数量 同心共焦结构 标准固定 :1 位同心共焦 :3 位 标准固定 :1 位标准固定 :1 位同心共焦 :3 位同心共焦 :4 位 操作方法 手动 电动 电源 AC100V~240V 外部尺寸 ø120 转盘 :164(W) 65(H) 137(D) ø110 ø120 操控盒 :108(W) 72(H) 193(D) (mm) 48.2(H) 50.7(H) 50.6(H) 电缆长度 :3m 适用型号 MF-U D 33

35 选件 带有微调手轮的旋转工作台 (A) 货号 (W) 280(D) 23.7(H) 外部尺寸 (mm) 工作台顶部 ø240mm º 旋转 无角度读数重量 5.5kg 有效玻璃尺寸 (mm) ø182 适用型号 1010, 2010 尺寸 (MF-U D) 注 : 可以安装带夹钳的 V 型块, 旋转式中心架和带夹钳的支架 带有微调手轮的旋转工作台 (B) 货号 (W) 342(D) 23.2(H) 外部尺寸 (mm) 工作台顶部 ø270mm º 旋转 无角度读数重量 6.5kg 有效玻璃尺寸 (mm) ø238 适用型号 2017, 3017, 4020 尺寸 (MF D/MF-U D) 注 : 可以安装带夹钳的 V 型块, 旋转式中心架和带夹钳的支架 带有微调手轮的旋转工作台 ( 带有刻度 ) 货号 (W) 172(D) 19.7(H) 工作台顶部外部尺寸 (mm) T 槽间距 :120 工作台顶部 ø146mm º 旋转 最小角度刻度 :2 重量 2.4kg 有效玻璃尺寸 (mm) ø96 MF-U D 注 : 工作台适配器适用型号 B 适于 2010 尺寸型号, 工作台适配器 A 适于 2017, 3017 和 4020 尺寸型号 注 : 可以安装带夹钳的 V 型块, 旋转式中心架和带夹钳的支架 ø7 hole, Lip: ø14, counter sink depth: ø (stage glass outside diameter) (stage glass outside diameter) ø182 ø220 ø (effective stage glass diameter) ø 50 Clamp screws (2) 2-M6 depth 8 ( ) ø184 (Table inside diameter) 241 (stage glass outside diameter) ø245 (stage glass outside diameter) øø270 ø238 (effective stage glass diameter) Clamp screws (2) (96.361) ø ø ø ø (table inside diameter) 100 (effective stage glass diameter) ø28 12 M6 Clamp screw (0.2) M6 depth 8 ( ) Turning knob C ø28 M6 Clamp screw ø 241 (table (table inside inside diameter) diameter) ( ) (0.7) Turning knob (stage glass outside diameter) ø162 ø (T-groove pitch) T-groove dimensions (Scale 2/1) 34

36 选件 带夹钳的 V 型块货号 最大夹持直径 :ø25mm 安装表面到中心的高度 : 38~48mm 外部尺寸 (mm) 117(H) 90(W) 45(D) 重量 0.8kg MF D/MF-U D 注 : 工作台适配器适用型号 B 适于 2010 尺寸型号, 工作台适配器 A 适于 2017, 3017 和 4020 尺寸型号 旋转式中心架货号 可倾斜调节 ±10º 最小角读数 :1º 适于测量螺丝和其它零件最大水平钳位 :ø80x140mm 水平安装时最大钳位尺寸 :ø65x140mm 倾斜 10º 时重量 2.5kg MF D/MF-U D 注 : 工作台适配器适用型号 B 适于 2010 尺寸型号, 工作台适配器 A 适于 2017, 3017 和 4020 尺寸型号 带夹钳的支架货号 最大可夹长度 (mm) 35 外部尺寸 (mm) 62(H) 152(W) 38(D) 重量 0.4kg MF D/MF-U D 注 : 工作台适配器适用型号 B 适于 2010 尺寸型号, 工作台适配器 A 适于 2017, 3017 和 4020 尺寸型号 工作台适配器 / 工作台适配器 B 货号 (2017, 3017, 4020 用 ) B: (2010 用 ) 外部尺寸 50(W) 340(D) 15(H) 1 枚 (mm) 注 : 适配器 B 的深度为 280mm 重量 1.5kg/B:1.2kg 适用型号 MF D/MF-U D 注 : 每套中为一对 C-Mount 适配器货号 用来安装数字摄像机或其它装置到显微镜主机 TV 摄像机接口的标准适配器 注 : 安装影像装置时不使用外部尺寸 (mm) ø (H) 适用型号 MF D/MF-U D 0.5X TV 适配器 ( 带有 C-mount) 货号 用来安装数字摄像机或其它装置到显微镜主机 TV 摄像机接口的标准适配器 0.5X 缩小倍率加大了观察视野倍率精度 :±0.1% 图像视野:11mm 注 : 影像装置标配外部尺寸 (mm) ø45 123(H) 适用型号 MF D/MF-U D 35

37 偏振光装置 货号 适用型号 (BF 和 BF/DF 一样 ) 每套包括一个偏振光器和一个分析器 MF-U D 微分干涉装置 货号 ( 适于 5 和 10 ) ( 适于 20 用 ) ( 适于 50 和 SL20 ) ( 适于 100, SL80 和 SL50 ) 适用型号 MF-U D 注 : 和偏振光装置同时使用 照明滤光片用于显微镜主机卤素照明 /LED 照明用 GIF 滤光片 * 2 12AAA645 LB80 滤光片 12AAA646 用于显微镜主机卤素照明 * 1 ND2 滤光片 12AAA643 ND8 滤光片 12AAA644 用于反射照明光源 ( 用于 100W 光纤照明 ) GIF 滤光片 * 2 12AAG806 LB80 滤光片 12AAG807 *1 MF D( 同样适于透射和反射照明 )/MF-U D( 仅适于透射照明 ) *2 主机标准配置 Positive type scale Negative type scale 读数尺 货号 标尺刻度 1mm 最小刻度 0.01mm 标尺精度 (20ºC) 1+L(µm)L: 任意两直线间的距离 mm 刻度 负 / 正类型 外部尺寸 (mm) 76(W) 26(D) 重量 16g 适用型号 MF D/MF-U D 注 : 三丰支持售后校准服务, 更多详情, 请联系最近的销售办公室 36

38 选件 安装支架 ( 用于显微镜主机 ) 货号 最大负载 300kg 外部尺寸 (mm) 1200(W) 900(D) 650(H) 重量 约 50kg 适用型号 MF D/MF-U D 注 : 在集成 Vision Unit 和 DV-520L 到显微镜主机时, 三丰推荐使用外部尺寸为 1800(W)x900(D) x740(h) 的大尺寸安装支架,No.02ATE760 减震台 货号 支持方式 弹簧衬垫 最大负载 200kg 外部尺寸 (mm) 750(W) 550(D) 36(H) 重量 36kg 适用型号 MF D/MF-U D 镜头清洁包货号 12AAA165 用于目镜和物镜的维护包括清洁剂 擦布 吹风机 棉球和其它工具的套装 37

39 选件 用于MF No.12AAG838(MF D) No.12AAG878(MF-U D) 90º虚线 虚线步距 线宽7µm No.12AAG836(MF D) No.12AAG877(MF-U D) 90º虚线 虚线步距 线宽5µm No.12AAG873(MF D) No.12AAG876(MF-U D) 90º虚线 虚线步距 线宽 3µm No.12AAG839(MF D) No.12AAG879(MF-U D) 90º实线 45º虚线 虚线步距 线宽5µm D 用于MF-U D No.12AAG840(MF D) No.12AAG880(MF-U D) 90º虚线 60º虚线 虚线步距 线宽5µm No.12AAG841(MF D) No.12AAG881(MF-U D) No.12AAG845(MF D)*1 No.12AAG846(MF D)*1 蔡司图案 虚线步距 线宽5µm No.12AAG842(MF D)*1 十字分度线 0.1/20mm 线宽7µm No.12AAG843(MF D)*1 带有十字线的同心圆 ø1.2 ø18 线宽7µm No.12AAG844(MF D)*1 分度线 0.1/10mm 线宽10µm /5mm 线宽10µm 栅格 1mm 10mm 线宽10µm 分度线 RACK GEAR 14.5 RACK GEAR No.12AAG847(MF D)*2 公制粗螺纹 P= 线宽7µm No.12AAG848(MF D)*2 公制粗螺纹 P= 线宽7µm No.12AAG849(MF D)*2 渐开线齿轮基准齿条 m= 压力角14.5º 线宽7µm 渐开线齿轮基准齿条 m= 压力角20º 线宽7µm 28 No.12AAG851(MF D)*2 标准粗螺纹 线宽7µm 用于数显量角目镜的十字线分划板 (标准) METRIC THREAD 24 No.12AAG850(MF D)* No.12AAG852(MF D)*2 标准粗螺纹 线宽7µm No.12AAG853(MF D)*2 标准粗螺纹 线宽7µm No.12AAG854(MF D)*2 带十字线的同心圆 线宽7µm 每个十字线分划板都带有一个安装支架 *1 和10X目镜一起使用 *2 使用ML 3X物镜的比较表 和10X目镜一起使用 38 90º实线 45º虚线 虚线步距 线宽5µm

40 本公司产品分类按照日本 外汇及对外贸易管理法 被列为管制产品类 如将本公司产品用于出口, 或携带出境, 则需要日本政府的出口许可 购买商品出口后, 即使该产品不属于上述法令的管制对象 ( 而属于 全面监管制度 管制品 ), 该产品的售后服务将会受到影响 如有任何问题, 请致电当地三丰联络处 (4)Ca (PG)PG, 中国印刷 三坐标测量机 影像测量机 形状测量系统 中国联络处三丰精密量仪 ( 上海 ) 有限公司电话 :86 (21) 传真 :86 (21) 长春电话 :86 (431) 传真 :86 (431) 大连电话 :86 (411) 传真 :86 (411) 青岛电话 :86 (532) 传真 :86 (532) 天津电话 :86 (22) 传真 :86 (22) 西安电话 :86 (29) 传真 :86 (29) 郑州电话 :86 (371) 传真 :86 (371) 苏州电话 :86 (512) 传真 :86 (512) 杭州电话 :86 (571) 传真 :86 (571) 成都电话 :86 (28) 传真 :86 (28) 武汉电话 :86 (27) 传真 :86 (27) 三丰力丰量仪 ( 香港 ) 有限公司电话 :(852) 传真 :(852) 三丰力丰量仪 ( 东莞 ) 有限公司电话 :86 (769) 传真 :86 (769) 福州电话 :86 (591) 传真 :86 (591) 长沙电话 :86 (731) 传真 :86 (731) 密测多友量仪 ( 苏州 ) 有限公司电话 :86 (512) 传真 :86 (512) 光学仪器 传感器系统 试验设备和地震仪 数显标尺和 DRO 系统 小量具和数据管理系统 Mitutoyo Corporation