TM 系列 工具显微镜 三丰 TM 系列工具显微镜适于测量加工工件的直径和角度, 安装可检测螺丝和齿轮形状 小型化设计, 十分适于在车间等狭小空间使用 转动刻度盘, 对准十字线分划板与工件图像, 实现角度测量 照明强度可调 技术参数观察图像 : 正像光管 : 单目目镜 ( 屈光度可调

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2 TM 系列 工具显微镜 三丰 TM 系列工具显微镜适于测量加工工件的直径和角度, 安装可检测螺丝和齿轮形状 小型化设计, 十分适于在车间等狭小空间使用 转动刻度盘, 对准十字线分划板与工件图像, 实现角度测量 照明强度可调 技术参数观察图像 : 正像光管 : 单目目镜 ( 屈光度可调 ) 俯角 : 30º 分划板 : 90º 十字线分划板 ( ) 角度分度值 : 范围 : 360º 最小读数 : 6' ( 使用游标 ) 目镜 : 15X ( ), 视场范围 : 13mm 可选 : 10X, 20X 物镜 : 2X ( ), 工作距离 : 67mm 可选 : 5X, 10X 总倍率 : 30X 轮廓照明 光源 : 钨丝灯泡 (24V, 2W) 带有绿色滤光片 光强度可调表面照明 : 光源 : 钨丝灯泡 (24V, 2W) 光强度可调电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz 重量 13.5g (14.5kg: TM-510) 角度分度值 TM-505 TM

3 选件 : 5X 投影镜头组 * : 10X 目镜 ( 视场范围 :13mm) : 20X 目镜 ( 视场范围 :10mm) : 物镜 5X (W.D.: 33mm, N.A.: 0.10) : 物镜 10X (W.D.: 14mm, N.A.: 0.14) : Digimatic 微分头 ( 测量范围 :50mm 读数:0.001mm) : Digimatic 微分头 ( 测量范围 :2"/50mm 读数:.00005"/0.001mm) : X 轴微分头 ( 测量范围 :50mm 读数:0.005mm) : Y 轴微分头 ( 测量范围 :50mm 读数:0.005mm) : X 轴微分头 ( 测量范围 :2" 读数:.0001") : Y 轴微分头 ( 测量范围 :2" 读数:.0001") : 矩形量块 (25mm) : 矩形量块 (50mm) : 矩形量块 (1") : 矩形量块 (2") : 卤素灯泡 (24V, 2W) : 用于 Z 轴测量的指针式千分表附件 : 用于 Digimatic 微分头的 SPC 电缆 型号 TM-505 TM-510 货号 * * XY 工作台行程范围 50 x 50mm 100 x 50mm 测量方法 微分头 ( 选件 ) 微分头 ( 选件 ) 移动功能 XY 工作台面尺寸 152 x 152mm 240 x 152mm 工作台有效范围 96 x 96mm 154 x 96mm 最大工件高度 115mm 107mm 最大工件重量 5kg 5kg 备注 * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): 尺寸 单位 :mm 固定和工作台附件 : 工件夹 (2 个 / 套 ) : 用于 TM-505 旋转工作台 ( 有效直径 :66mm) : 用于 TM-510 旋转工作台 ( 有效直径 :100mm) : 用于 TM-505 的旋转式中心架 ( 最大工件直径 :70mm) : 用于 TM-510 的旋转式中心架 ( 最大工件直径 :80mm) : 带有夹钳的 V 型块 ( 最大工件直径 :25mm) : 带有夹钳的支架 照明元件 : 环形光纤照明装置 : 双灯反射照明器 : 双光纤照明装置 分划板 : 同心圆 (ø4mm 以下 0.05mm 半径增量 ) : 同心圆 (ø.2" 以下.01" 半径增量 ) : 55º 角 : 60º 角 : 公制螺纹 ( 间距 = mm) : 公制螺纹 ( 间距 = mm) : ISO 公制螺纹 ( 间距 = mm) : ISO 公制螺纹 ( 间距 = mm) : ISO 统一标准螺纹 (80-28TPI) : ISO 统一标准螺纹 (24-14TPI) : ISO 统一标准螺纹 (13-10TPI) : 统一标准螺纹 (80-28TPI) : 统一标准螺纹 (24-14TPI) : 统一标准螺纹 (13-10TPI) : 惠式螺纹 (60-26TPI) : 惠式螺纹 (24-18TPI) : 惠式螺纹 (16-11TPI) : NF 螺纹 (80-28TPI) : NF 螺纹 (24-14TPI) : NF 螺纹 (13-10TPI)) : 14.5º 渐开线齿轮 ( 标准齿条型 ) : 20º 渐开线齿轮 ( 标准齿条型 ) 363

4 MF 176 系列 测量显微镜 MF 测量显微镜具有可扩展性, 如与三丰 Vision Unit 一起使用可提高其性能, 或者可在 PC 中进行数据管理, 从而确保提高效率 亮视场观察 清晰的无闪烁的正像 以及宽阔的视场范围 长工作距离目镜, 倍率可达 100X ( 总倍率 : 2000X) 透射照明孔径光阑和反射照明系统为标准性能配置 XY 工作台选择 ( 行程范围 ) 快速释放系统, 特别适用于长行程测量 微调 / 粗调立柱两侧的加紧装置, 进行聚焦和测量 调零开关 (X 轴和 Y 轴 ) 也位于操作台手柄的附近 可将 Vision Unit 升级为视像测量系统 使用带有 2 个目镜安装槽的滑动型目镜转换盘选件 ( 工厂设置选件权 ) MF-B2017B XY 工作台行程范围 : 200 x 170mm ( 带有双目镜选件 ) MF-B505B: 50 x 50mm MF-B1010B: 100 x 100mm MF-B2010B: 200 x 100mm 技术参数观察图像 : 正像光管 ( 选件 ): 单目目镜或双目目镜 ( 俯角 :25º) 十字投影法 带有 TV 插板 光通比 ( 目镜 /TV 插板 :50/50) 目镜 ( 选件 ): 10X, 15X, 20X 物镜 : 3X ( ), W.D.: 72.5mm 可选 :1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X 轮廓照明 光源 : 卤素灯泡 (12V, 50W) 光学系统 : 带有可调整光圈的远心照明系统 光强度可调 无级亮度调整表面照明 光源 : 卤素灯泡 (12V, 100W 或 12V, 150W) 光学系统 : 带有可调整光圈的科勒照明系统 光强度可调 无级亮度调整显示装置 轴数 : 2 轴 (MF-A 型 ) 或 3 轴 (MF-B 型 ) 分辨率 : 0.001mm / mm / mm/.0001" /.00005" /.00001" 调零 方向转换 数据输出 ( 通过 RS-232C 接口 ) 电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz 重量 65.5kg (MF-_505B, MF-_1010B), 69.5kg (MF-_2010B), 130kg (MF-_2017B), 138kg (MF-_3017B), 144kg (MF-_4020B) 3X 目镜分划板 12AAG838 (12AAG878): 十字线 (7µm 宽 ) 12AAG836 (12AAG877): 十字线 (5µm 宽 ) 12AAG873 (12AAG876): 十字线 (3µm 宽 ) 12AAG839 (12AAG879): 十字线分划板 12AAG840 (12AAG880): 十字线分划板和 60º 角 12AAG841 (12AAG881): 蔡氏型图 12AAG842*: 20mm 读数尺 ( 分度值 0.1mm) 12AAG843*: 同心圆 (ø1.2 - ø18mm) 12AAG844*: 10mm 读数尺 ( 分度值 0.1mm) 12AAG845*: 5mm 读数尺 ( 分度值 0.05mm) 12AAG846*: 10x10mm 网格线 ( 最小 1mm) 12AAG847*: 公制螺纹 (P = ) 12AAG848*: 公制螺纹 (P = ) 12AAG849*: 渐开线齿轮 (14.5º), 模数 = AAG850*: 渐开线齿轮 (20º), 模数 = AAG851*: 统一标准螺纹 (80-28TPI) 12AAG852*: 统一标准螺纹 (24-14TPI) 12AAG853*: 统一标准螺纹 (13-10TPI) 12AAG854*: 同心圆 (ø.01" - ø.2") ( ): 适于 MF-UB 型号 *: 兼容 MF-B/MF-UB 提供分划板插板 分划板插板 ( 标准附件 ) 适于 MF-UB 型号 MF-B3017B: 300 x 170mm MF-B4020B: 400 x 200mm 适于 MF-B 型号 十字线和 45 角 ( 标准附件 ) 364

5 选件 : 10X 单目目镜 : 10X 双目目镜套装 : 10X 目镜套装 ( 视场范围 :24mm) : 15X 目镜套装 ( 视场范围 :16mm) : 20X 目镜套装 ( 视场范围 :12mm) : 量角目镜 (10X) : 数显量角目镜 (10X) : 1X 物镜 (W.D.: 61mm, N.A.: 0.03) : 5X 物镜 (W.D.: 61mm, N.A.: 0.13) : 10X 物镜 (W.D.: 51mm, N.A.: 0.21) : 20X 物镜 (W.D.: 20mm, N.A.: 0.42) : 50X 物镜 (W.D.: 13mm, N.A.: 0.55) : 100X 物镜 (W.D.: 6mm, N.A.: 0.7) : 带有 2 个目镜插板的滑动型目镜转换盘 12AAA643: ND2 型彩色滤光片 ( 轮廓 / 表面 ) 12AAA644: ND8 型彩色滤光片 ( 轮廓 / 表面 ) 12AAA645: GIF 型滤光片 ( 轮廓 / 表面 ) 12AAA646: LB80 型彩色滤光片 ( 轮廓 / 表面 ) : 0.5X 相机转向镜 ( 带有 C-mount 适配器 ) : C-mount 适配器 : 卤素灯泡 (24V, 50W) 12BAB345: 卤素灯泡 ( 长寿型 24V, 50W) : 防震台架 : 安装台架 : 读数尺 12AAA165: 镜头清洗工具 12AAA846: 脚踏开关 照明元件 : 斜面表面照明装置 : LED 环形照明装置 : 双光纤照明装置 : 环形光纤照明装置 12AAG806: GIF 型彩色滤光片 ( 用于光纤照明装置 ) 12AAG807: LB80 型彩色滤光片 ( 用于光纤照明装置 ) 固定和工作台附件 : 带有夹钳的支架 * : 带有夹钳的 V 型块 *( 最大工件直径 :25mm) : 用于 TM-510 的旋转式中心架 * ( 最大工件直径 :80mm) : 带有微调旋钮的旋转工作台, 适用于 505/1010/2010 型号 : 带有微调旋钮的旋转工作台, 适用于 2017/3017/4020 型号 *2010 型号需要与固定适配器 ( ) 配合使用 2017/3017/4020 型号需要与固定适配器 ( ) 配合使用 型号 MF-_505B MF-_1010B MF-_2010B MF-_2017B MF-_3017B MF-_4020B 货号 MF-A 型 * * * * * * MF-B 型 * * * * * * XY 工作台行程范围 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm Z 轴行程范围 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm 调焦方式 手动调焦 ( 粗调焦 :10mm/rev. 微调焦:0.1mm/rev.) 测量方法 线性编码器 (2 轴型号 :X / Y 轴 3 轴型号 :X / Y / Z 轴 ) 分辨率 ( 可转换 ) 0.001mm / mm / mm /.0001" /.00005" /.00001" 测量精度 (20ºC 时 ) XY 轴 :( L)µm, L 为无负载测量长度 (mm), JIS B 7153 指示精度 (20ºC 时 ) Z 轴 :(5+0.04L)µm, L 为测量长度 (mm) 移动功能 带有快速断开机构的 X 和 Y 轴 XY 工作台台面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm 载物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm 旋转功能 ±5º (left) ±5º (left) ±3º (left) 最大工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg 最大工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): 设备型号 尺寸 MF-A 型 MF-B 型 测量系统 X 和 Y 轴 (2 轴型 ) X, Y 和 Z 轴 (3 轴型 ) 单位 :mm QM-Data200 2D 数据处理器 ( 详见 372 页 ) 12AAA807: 连接电缆套装 Focus pilot FP-05 辅助聚焦系统 ( 见 370 页 ) Vision Unit 基于 PC 的视像测量系统 ( 见 374 页 ) 365

6 MF-U 176 系列 高倍率多功能测量显微镜 亮视场 大视野观察可得到清晰 无闪烁的正像 使用长工作距离的目镜, 放大倍率可达 20X ( 总倍率 :4000X) 和高级检测显微镜一样采用校正光学系统 (FS 系列 ) 亮 / 暗视场观察, 偏光观察和微分头干涉对比 (DIC) 观察 使用立柱两侧的微调 / 粗调旋钮进行调焦和测量 调零开关 (X 轴和 Y 轴 ) 也位于操作台手柄的附近 带有镜头旋转盘 增强型目镜可有效缓解眼睛疲劳 MF-UB3017B XY 工作台行程范围 :300 x 170mm ( 带有可选旋转盘 目镜和光纤照明 ) 技术参数观察图像 : 正像光管 : Siedentoph 型 ( 可调瞳距 :51-76mm), 1X 光管镜头 双目目镜 ( 俯角 :30º), 十字投影法 带有 TV 插板 光通比 ( 目镜 /TV 插板 :50/50) 目镜 : 10X ( 视场直径 :24mm), 可选 : 15X, 20X 转盘 ( 选件 ): 手动或电动旋转盘物镜 ( 选件 ): 从 1X - 100X 的 M/BD Plan Apo 物镜 ( 详见 382 页 ) 轮廓照明 光源 : 卤素灯泡 (12V, 50W) 光学系统 : 带有可调整光圈的远心照明系统 光强度可调 无级亮度调整表面照明 光源 : 卤素灯泡照明选件 ( 光纤冷光照明 ) 光学系统 : 带有可调整光圈的科勒照明系统 光强度可调 无级亮度调整显示装置 : 轴数 : 2 轴或 3 轴 分辨率 : 0.001mm / mm / mm/.0001" /.00005" /.00001" 调零 方向转换 数据输出 ( 通过 RS-232C 接口 ) 电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz 重量 65.5kg (MF-U_505B, MF-U_1010B), 69.5kg (MF-U_2010B), 130kg (MF-U_2017B), 138kg (MF-U_3017B), 144kg (MF-U_4020B) XY 工作台选择 ( 行程范围 ) MF-UB505B: 50 x 50mm MF-UB1010B: 100 x 100mm MF-UB2010B: 200 x 100mm 偏光观察 : 观察过滤后只有一个方向振动的光 用于观察具有特殊光学特性的材料, 如矿石和液晶 微分干涉对比观察 : 在检测金属 液晶和半导体表面的微小划痕和台阶时十很有效 MF-UB2017B: 200 x 170mm MF-UB4020B: 400 x 200mm 暗视场观察 : 挡住直射到物体上的光, 只观察散射光, 通过高对比度能观察到在亮视场看不到的划痕和粉末 亮视场观察 : 最普通的观察方式, 直接观察从工件表面反射的光 366

7 选件 : 15X 目镜套装 ( 视场范围 :16mm) : 20X 目镜套装 ( 视场范围 :12mm) ( 见 382 页 ) 物镜 : 手动 BF 旋转盘 : 电动 BF 旋转盘 : 手动 BF/DF 旋转盘 : 电动 BF/DF 旋转盘 ( 见 364 页 ) 分划板 : 偏震器 : 用于 100X, SL80X, SL50X 目镜的微分干涉 对比装置 : 用于 50X, SL20X 目镜的微分干涉对比装置 : 用于 20X 目镜的微分干涉对比装置 : 用于 10X, 5X 目镜的微分干涉对比装置 12AAA643: ND2 型彩色滤光片 12AAA644: ND8 型彩色滤光片 12AAA645: GIF 型滤光片 12AAA646: LB80 型彩色滤光片 : 0.5X 相机转向镜 ( 带有 C-mount 适配器 ) : C-mount 适配器 : 卤素灯泡 (24V, 50W) 12BAB345: 卤素灯泡 ( 长寿型 24V, 50W) : 卤素灯泡 (24V, 100W) 12BAD602: 卤素灯泡 ( 高亮度型 24V, 100W) : 防震台架 : 安装台架 : 读数尺 12AAA165: 镜头清洗工具 12AAA846: 脚踏开关 照明元件 : 卤素照明装置 (12V, 100W) : 卤素照明装置 (12V, 150W) : 双光纤照明装置 12AAG806: GIF 型彩色滤光片 ( 用于 ) 12AAG807: LB80 型彩色滤光片 ( 用于 ) 型号 MF-U_505B MF-U_1010B MF-U_2010B MF-U_2017B MF-U_3017B MF-U_4020B 货号 MF-A 型 * * * * * * MF-B 型 * * * * * * MF-C 型 * * * * * * MF-D 型 * * * * * * XY 工作台行程范围 50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm Z 轴行程范围 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm 调焦方式 手动调焦 ( 粗调焦 :10mm/rev. 微调焦:0.1mm/rev.) 测量方法 线性编码器 (2 轴型号 :X / Y 轴 3 轴型号 :X / Y / Z 轴 ) 分辨率 ( 可转换 ) 0.001mm / mm / mm /.0001" /.00005" /.00001" 测量精度 (20ºC 时 ) XY 轴 :( L)µm, L 无负载测量长度 (mm), JIS B 7153 指示精度 (20ºC 时 ) Z 轴 :(5+0.04L)µm, L 为测量长度 (mm) 移动功能 带有快速断开机构的 X 和 Y 轴 XY 工作台台面尺寸 280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm 载物玻璃有效尺寸 180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm 旋转功能 ±5º (left) ±5º (left) ±3º (left) 最大工件重量 10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg 最大工件高度 150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): 设备型号 尺寸 MF-A 型 MF-B 型 MF-C 型 MF-D 型 观察类型亮视场 (BF) 亮视场 (BF) 亮 / 暗视场 (BF/DF) 亮 / 暗视场 (BF/DF) 测量系统 X 和 Y 轴 (2 axes) X, Y 和 Z 轴 (3 axes) X 和 Y 轴 (2 axes) X, Y 和 Z 轴 (3 axes) 固定和工作台附件 : 带有夹钳的支架 * : 带有夹钳的 V 型块 * ( 最大工件直径 :25mm) : 用于 TM-510 的旋转式中心架 * ( 最大工件直径 :80mm) : 带有微调旋钮的旋转工作台, 适用于 505/1010/1020 型号 : 带有微调旋钮的旋转工作台, 适用于 1720/1730 型号 *1020 型号需要与固定适配器 ( ) 配合使用 1720/1730 型号需要与固定适配器 ( ) 配合使用 单位 :mm QM-Data200 2D 数据处理器 ( 详见 372 页 ) 12AAA807: 连接电缆套装 Focus pilot FP-05 辅助聚焦系统 ( 见 370 页 ) Vision Unit 基于 PC 的视像测量系统 ( 见 374 页 ) 367

8 Hyper MF / MF-U 176 系列 高精度测量显微镜 世界级高精度 XY 测量精度为 (0.9+3L/1000)µm 可选择 LAF 功能 良好的操作性能和重复精度 Hyper MF-U ( 带有可选光管镜头, 旋转盘和物镜 ) 三轴电动控制 标配电动自动聚焦装置 技术参数 :Hyper MF 观察图像 : 正像光管 : 单目目镜或双目目镜 ( 可选俯角 :25º) 十字投影法 带有 TV 插板 光通比 ( 目镜 /TV 插板 :50/50) 目镜 ( 选件 ): 10X, 15X, 20X 物镜 : 3X ( ), W.D.: 72.5mm 可选 : 1X, 5X 10X, 20X, 50X, 100X 轮廓照明 光源 : 卤素灯泡 (12V, 100W) ( 光纤冷光照明 ) 光学系统 : 带有可调整光圈的远心照明系统 光强度可调 100 级亮度调整表面照明 光源 : 卤素灯泡 (12V, 50W) 光学系统 : 带有可调整光圈的科勒照明系统 光强度可调 100 级亮度调整数据输出 : 通过 RS-232C 接口电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz 重量 250kg ( 主机 ), 14kg ( 电源装置 ) 技术参数 :Hyper MF-U 观察图像 : 正像光管 : Siedentoph 型 ( 可调瞳距 :51-76mm), 1X 光管镜头 双目目镜 ( 俯角 :25º) 十字投影法 带有 TV 插板 光通比 ( 目镜 /TV 插板 :50/50) 目镜 : 10X ( 视场直径 :24mm), 可选 : 15X, 20X 转盘 ( 选件 ): 电动旋转盘物镜 ( 选件 ): 从 1X - 100X 的 M/BD Plan Apo 物镜 ( 详见 382 页 ) 轮廓照明 光源 : 卤素灯泡 (12V, 100W) 光学系统 : 带有可调整光圈的远心照明系统 光强度可调, 100 级亮度调整表面照明 光源 : 卤素灯泡 (12V, 50W) 光学系统 : 带有可调整光圈的科勒照明系统 光强度可调 100 级亮度调整数据输出通过 RS-232C 接口电源 : 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz 重量 255kg ( 主机 ), 14kg ( 电源装置 ) 型号 Hyper MF Hyper MF-U 货号 (mm) * * 观察类型 BF BF 或 BF/BD 数显计数器 XY 工作台行程范围 250 x 150mm 250 x 150mm 测量装置 线性编辑器 线性编辑器 分辨率 0.01µm 0.01µm 测量精度 (20ºC 时 ) ±(0.9+3L/1000)µm,L 为 XY 轴无负载测量长度 (mm) 驱动系统 (X, Y, Z 轴 ) 带操纵杆的电动控制 XY 工作台台面尺寸 460 x 350mm 460 x 350mm 载物玻璃有效尺寸 300 x 200mm 300 x 200mm 旋转功能 ±3º ±3º 最大工件重量 30kg 30kg 最大工件高度 150mm 150mm * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): 详见 Hyper MF/MF-U(E4267) 产品样本 368

9 系统图释 数显彩色视像装置 3D 视像组合程序 VCPAK 带微调旋钮 (B) 的旋转工作台 读数尺 A 芯片固定器 带夹钳的 V 型块 带夹钳的支架 仪器放置台 C-mount 适配器 Focus pilot FP X 相机转向镜 Focus pilot FP-05U 中心架双光纤电缆旋转式中心架彩色滤光片金属物镜千分尺 防震垫 3µm 分划板 7µm 分划板 连接器 B 环形 LED ( 白色 ) 照明装置 Hyper MF Hyper MF-V 偏光装置 环形光线电缆 QM-Data200 DIC ( 微分干涉相衬技术 ) 装置 用于 FS 物镜的环形 LED ( 白色 ) 照明装置 斜面照明 单目目镜 双目目镜数显测角目镜双像目镜各种 ML 物镜 带有 LAF 的 BF 光学镜筒 BF 光学镜筒 带有 LAF 的 BF/DF 光学镜筒 BF/DF 光学镜筒 测角目镜 各种目镜 旋转盘 BF 4P 带有定心 / 调焦装置 旋转盘 BF 4P 带传感器 自动旋转盘 BF 5P 旋转盘 BF 4P 旋转盘 BD 4P 带传感器 自动旋转盘 BF 4P 各种 FS 物镜 各种 FS 物镜 尺寸 单位 :mm 369

10 测量显微镜附件 Focus Pilot FP-05 在 MF 系列测量显微镜的 CCD 相机支架上安装此系统, 并将聚焦图投影到工件表 面上, 即可精确快速的检测到焦点 有两种聚焦图可供选择 选择和工件表面纹理一致的图形 聚焦图的亮度可调 使用 CCD 相机 ( 带有 C-mount 适配器 ), 可在监视器上进行大视场观察 聚焦图 : 同心圆 货号 * * 适用的显微镜 MF 型 MF-U 型 倍率 0.5X, 精度 :0.1%** 相机接口 C-mount ( 标配 ) 适用 CCD 相机 2/3-inch 以下 重量 1.8kg 1.8kg : 品字光阑 * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): ** 在视野区域中心 2/3 的面积之内 读数尺 电动调焦装置 动力旋转盘 货号 测量范围 1mm 分度值 0.01mm 精度 (20ºC 时 ) (1+L)µm, L 为测量长度 (mm) 尺寸 (WxD) 76 x 26 x mm 重量 16g 货号 * 适用的显微镜 MF-A 型, MF-UA 型 分辨率 0.4µm 驱动速度 3.2mm/s 电源 V AC, 50/60Hz 尺寸 (WxDxH) 控制盒 :108 x 72 x 193mm * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): 货号 * * 观察类型 BF BF/DF 适用的显微镜 MF-UB 型 物镜插板数量 5-mount 4-mount 视场调整范围 ±0.5mm 电源 V AC, 50/60Hz 尺寸 (W x D x H) 控制盒 :108 x 72 x 193mm * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): 370

11 双光纤照明装置 环形光纤照明装置 A: 垂直表面照明 ( 卤素照明 ) PCB HDD 悬架 IC 电路 货号 * 适用的显微镜 MF-B, MF-UB 型 光缆长度 1800mm 光源 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181: 卤素灯泡 ) 尺寸 (W x D x H) 照明装置 :235 x 76 x 120mm 货号 * 适用的显微镜 MF-B 型 光缆长度 1000mm 光源 卤素灯泡 (12V, 100W) (517181: 卤素灯泡 ) 尺寸 (W x D x H) 照明装置 :235 x 76 x 120mm B: 环形光纤照明 可选用彩色滤光片 (GIF: 12AAG806, LB80: 12AAG807) * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): 可选用彩色滤光片 (GIF: 12AAG806, LB80: 12AAG807) * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): 柔性 PCB PCB LED 环形照明装置 斜面表面照明装置 电子器件 C: LED 环形照明装置 HDD 悬架 PCB 黑色树脂注塑件 D: 双光纤照明装置 IC 模块 深红色 货号 * 适用的显微镜 带有 1X/3X/5X 物镜的 MF-B 型 光源 白色 LED (12V, 100W) LED 电缆长度 1500mm 可选用彩色滤光片 (ND2: 12AAA643, ND8: 12AAA644, GIF: 12AAA645, LB80: 12AAA646) * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): 货号 * 适用的显微镜 带有 1X/3X/5X 物镜的 MF-B 型 光源 由显微镜提供 ( 表面照明 ) 可选用彩色滤光片 (ND2: 12AAA643, ND8: 12AAA644, GIF: 12AAA645, LB80: 12AAA646) * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): PCB 371

12 QM-Data 系列 2D 数据处理器 QM-Data200 综合控制键盘可使任何操作人员方便地进行操作使用 如圆心距测量, 只要按一下相应的功能键, 就可进入该项 测量, 测量步骤以及下一个测量点的位置 都有向导显示, 即使是一个初学者, 也可 能一目了然地知道下一个测量位置在什么 地方 大型液晶显示屏, 具有各种图形显示功能, 操作简便 常用的组合测量 ( 如两圆的间距 ) 具有单键快捷方式 采用 AI ( 测量项目自动识别 ) 功能, 可免除测量指令的重复键入 具有测量步骤学习功能, 重复测量模式下具有测量位置导航功能 用户菜单功能允许用户注册测量指令或工件测量程序, 创建用户自己的菜单 可进行数据处理结果的公差检验及各个项目的统计处理 可将测量结果以 (CSV) 格式输出到 MS- Excel 利用软盘驱动器选件可将测量程序和测量结果存到软盘中 两种型号可供选择 : 角度可调的独立型和可安装于投影仪上的悬臂固定型 技术参数分辨率 : mm 程序功能 : 工件测量程序生成 执行 编辑统计处理 : 数据数 最大值 最小值 平均值 标准偏差 范围 柱状图要素记忆 : 最多一千个可调用要素 : 点 线 圆 距离 椭圆 矩形孔 长圆孔 交点和夹角可键入要素 : 点 线 圆显示系统 : 单色图像液晶显示 (320 x 240 点 带背光 ) 测量结果文件输出 : RS-232C 输出 (CSV 格式 MUX-10F 格式 ) 显示语言 : 日 / 英 / 德 / 法 / 意 / 西 / 葡数据输入 : RS-232C, X/Y/Z 轴信号 脚踏开关数据输出 : RS-232C, 打印机 软盘驱动器电源 : 100V AC - 240V AC 重量 : 2.2kg ( 直立安装型 ), 2.1kg ( 卧式安装型 ) QM-Data200 货号 : * ( 直立安装型 ) 货号 : * ( 卧式安装型 ) 货号 : * ( 适于 Hyper MF/MF-U) * 为区分交流电源电压, 在货号后加上以下后缀 ( 如 : A): A 适于 UL/CSA, D 适于 CEE, E 适于 BS, DC 适于中国 K 适于 EK, QM-Data200 直立安装型 用于光学仪器 QM-Data200 是一种几何解析装置, 适于投影仪之类的光学仪器 它具有强大的 2D 测 量功能, 和及其简单的键操作 QM-Data200 处理器提高了操作人员的生产效率, 减少 了误差, 节省了总的测量时间和降低了生 产成本 图形显示利用图形端口, 测量信息和数据可在带背 光的液晶显示屏上显示 您选择的几何要 素通过检测向导进行显示 测量图和闪烁 光标可指示检测点和检测次序 随着光标 的指示, 简单地用鼠标点击检测点, 即使 是一个初学者也能很容易地完成测量, 这 种方法提高了操作精度, 减少了测量误差 和测量时间 372

13 选件 12AAH035: 软盘驱动器 (USB 型 ) 12AAH034: 记忆棒 (512MB, USB 型 ) 12AAD033: 接收打印机 ( 适于 230V) 12AAD034: 接收打印机 ( 适于 120V) : 打印纸 12AAA804: 打印电缆 (2m) T: 脚踏开关 : 可调支架 12AAD193: 连接电缆 B 12AAD194: 连接电缆 C 12AAD195: 连接电缆 D 12AAD196: 连接电缆 E 12AAA807: RS-232C 电缆 (2m) 12AAA920: RS-232C 电缆 (3m) 系统图释 电缆 个 电缆 连接电缆 连接电缆 用于 输出 连接到 可以直接连接所有带有线性光栅尺 工作台的投影仪 计数器 连接电缆 电源开关 用于连接 装置 ( 用于连接打印机 用于记忆棒连接 技术参数图像探测 识别条件 : 无方向性 最小直径 : 屏幕上为 ø2mm 最小宽度 : 屏幕上为 1mm 最大移动速度 : 1000mm/s 适用照明 类型 : 表面 / 轮廓照明 范围 : 屏幕上为 30Lx Lx 亮 / 暗视场照明差异 : 20Lx 重复精度 : 轮廓照明 1µm 功能 : 探测照明变化错误, 带有投影仪轮廓照明亮度选择开关 选件 12AAE671: 探测器附件 (A) PJ-A3000, PJ-H30, PH-3515, PH-A14 系列 ( 适用屏幕直径 : ø250 - ø350mm) 12AAE672: 探测器附件 (B) PV-5110, PV-600A 系列 ( 适用屏幕直径 : ø500 - ø600mm) 背板 OPTOEYE-200 OPTOEYE-200 图像边缘传感器可以消除在视觉定位中的人为误差, 确保高速, 高精度 和一致的测量, 而不必考虑操作者的技术 水平 探测器附件 ( 选件 ) 用于脚踏开关输入 OPTOEYE 采用一根很细的光缆与探测器连接, 易于设置和操作而不影响视线 明暗按钮易于校正 OPTOEYE 由 QM-Data200 通过连接电缆供电, 无需 AC 适配器 工件表面材质类型 图表的亮度可以调整 OPTOEYE-200 货号 : 尺寸 单位 :mm 373