影像测量系统 Quick Vision/QUIC SCOPE QUIC IMAGE 影像测量系统 目录 Quick Vision 系列 QV Apex / Hyper QV -3 QV ELF -5 ULTRA QV404-6 QV ACCEL -7 QV STREAM PLUS -8 QV HYB

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1 影像测量系统 多用途影像测量系统 新产品 配有非接触式位移传感器的 CNC 影像测量系统 QV HYBRID TYPE4 详细信息参见 -9 页 非接触式 3D 测量系统 Hyper QV WLI 详细信息参见 -10 页 -1

2 影像测量系统 Quick Vision/QUIC SCOPE QUIC IMAGE 影像测量系统 目录 Quick Vision 系列 QV Apex / Hyper QV -3 QV ELF -5 ULTRA QV404-6 QV ACCEL -7 QV STREAM PLUS -8 QV HYBRID 1 型, 4 型 -9 Hyper QV WLI -10 配有触发测头的 QV -11 QVPA -13 QUIC SCOPE 系列 QS QS-L/AFB -14 QS-LZB -15 QUIC IMAGE 系列 QI -16 精密量仪 量具的小知识 -17-2

3 影像测量系统 多用途影像测量系统 QV Apex 363 系列 标准型 CNC 影像测量系统 CNC 影像测量仪的 Quick Vision 系列配有 CCD 相机, 无需再像测量显微镜和投影仪那样进 行目视调整 可轻松完成对电子元件 模压 制品 树脂模塑制品等的自动测量 Quick Vision PRO 全部光源采用 LED 照明, 增强了边缘的可检测性 降低了功耗并延长了 使用寿命 观察系统采用具有高放大率和再现性的程控砖塔能在测量过程中自动切换放大率 (PRO/ PRO3) 所有型号的产品都具有表面 边缘和模式自动对焦的特色, 增加了测量灵活性以用于多 种用途 可添加激光自动对焦系统 ( 作为出厂安装的选 件 ) Hyper QV 363 系列 高精度 CNC 影像测量系统 QV Apex302 激光自动对焦 ( 出厂安装选件 ) 在高速移动中实现稳定 快捷的高度测量 此选件提供稳定的测值 采用双针孔测量系统, 降低了对表面倾斜的依赖 激光自动对焦 物镜 Q-HR2.5X 测量原理 双针孔法 光斑直径 3µm 重复性 = 0.4µm 检测器 a 针孔 物镜 检测器 b 针孔 半透镜 镜头 程控环形照明精细调控照明的角度和方向, 提供最佳测量用照明 照明角度可在 30º 到 80º 之间任意设定 这种照明可有效地突显倾斜表面的边缘以及非常小的阶差 照明在前 后 左 右每个方向均可独立控制 单向照明体以形成阴影, 即可突显边沿, 以利测量 Hyper QV 404 程控环形照明可显示微小段差以及增强斜面对比度 IC 封装端口底部的宽度测量实例 实例 : QFP 封装的引脚高度 4 象限 LED 灯环形反光镜 抛物面镜 工件表面 同轴光源下观察到的影像 程控环形照明下观察到的影像 图案对焦 边缘对焦 表面对焦 图案对焦线 ( 存在于 QV Apex 型号 ) 即使在对比度很低的透 明物体或镜面上也能实现清 晰聚焦 应用于不同表面的 高度测量 边缘对焦系统能够对边缘位 置准确聚焦 表面聚焦系统可用于测量各种区域尺寸的高度, 其优点在于, 即使在树脂成型表面或机械加工表面等非常粗糙处, 也不影响聚焦效果 -3

4 QV Apex302 QV Apex404 QV Apex606 测量范围 (X Y Z) mm mm mm 放大倍率转换系统 PPT1X-2X-6X 分辨力 0.1µm 长度测量装置 线性编码器 影像检测方式 CCD 照相机 精度 * 1 * 2 E1Z (1.5+4L/1000)µm E1X, E1Y (1.5+3L/1000)µm E2XY (2.0+4L/1000)µm LAF 重复精度 * 3 σ = 0.4µm 工作台玻璃尺寸 mm mm mm 台面最大承重 * 4 20kg 40kg 50kg 尺寸 (W D H) mm mm mm 重量 ( 包括机器设置台 ) 约 360kg 约 579kg 约 1450kg 型号 Hyper QV302 Hyper QV404 Hyper QV606 分辨力 0.02µm 长度测量装置 线性编码器 精度 * 1 * 2 E1Z (1.5+2L/1000)µm E1X, E1Y (0.8+2L/1000)µm E2XY (1.4+3L/1000)µm 台面最大承重 * 3 15kg 30kg 40kg *1 L = 任意 2 点之间的尺寸 (mm) *2 依据三丰公司的检查方法 *3 仅限于带 LAF 的型号 *4 不包括极端的载重 集中载重 照明装置 LED PRO RGB ( 彩色 ) 3 白色 3 RGB ( 彩色 ) 3 同轴照明 3 卤素灯 透射照明 3 程控环形照明 3 观察装置 可编程电动旋转工作台 3 3 PRO3 影像检测方式 CCD 照相机 ( 黑白 ) 3 彩色 CCD 照相机 3 激光自动对焦 工厂安装选件 工厂安装选件 带触发式测头 3 3 Hyper 型 3 RGB 彩色 LED 照明在红色 绿色 蓝色 白色 ( 合成的 ) 之间转换颜色, 可检测普通白光无法检测的边缘 影像测量机 CNC 影像测量机 QUIC VISION 系列 产品样本 No.C14007 红色 蓝色 蓝色 绿色 红色 绿色 白色 光的三原色色彩构成 参见 QUIC VISION 系列 (C14007) 产品样本 -4

5 影像测量系统 多用途影像测量系统 QV ELF 363 系列 小型 CNC 影像测量机 集成控制箱的小型外观设计, 体积小, 特别适合安装于小型办公地点 本系列产品包含程序控制电动转塔 (PPT) 和程序控制环形照明的 PRO 型 可选激光自动对焦 ( 工厂选件 ), 可实现高速度 高精度的高度测量 QV ELF 测量范围 (X Y Z) 放大倍率转换系统分辨力长度测量装置影像测量方法 照明装置 同轴照明透射照明程控环形照明 mm PPT1X-2X-6X 0.1µm 线性编码器 CCD 照相机 白色 LED E1X, 影像测量精度 * 1 * 2 E1Y (2.0+3L/1000)µm E1Z (3.0+5L/1000)µm LAF 重复精度 * 3 σ = 0.4µm 工作台玻璃尺寸 mm 台面最大承重 * 4 15kg 尺寸 (W D H) mm 重量 ( 包括机器设置台 ) 约 270kg *1 L = 任意 2 点之间的尺寸 (mm) *2 依据三丰公司的检查方法 *3 仅限于带 LAF 的型号 *4 不包括极端的载重 集中载重 QV ELF CNC 影像测量机 QUIC VISION 系列 产品样本 No.C14007 影像测量机 参见 QUIC VISION 系列 (C14007) 产品样本 -5

6 ULTRA QV 系列 超高精度 CNC 影像测量系统 ULTRA QV404 是实现了世界顶级测量精度 E1XY=(0.25+L/1000)µm 的超高精度 CNC 影像测量系统 为了将直线度误差控制至最小,X Y Z3 轴移动方式采用了高精度三坐标等使用的 空气轴承 通过 FEM ( 有限要素法 ) 解析后的最佳设计实现了本体的高刚性化 作为基准的测长方式采用了分辨力为 0.01µm 的光学式线性编码器 该编码器的线性膨胀系数为零, 将温度变 化产生的误差控制到最小限度 超高精度玻璃光栅尺在三丰公司的清原工厂地下车间生产 ULTRA QV404 CNC 影像测量机 QUIC VISION 系列 产品样本 No.C14007 影像测量机 ULTRA QV 404 测量范围 (X Y Z) mm 放大倍率转换系统 PPT1X-2X-6X 分辨力 0.01 µm 长度测量装置 线性编码器 影像测量方法 CCD 照相机 测量精度 * 1 * 2 E1Z (1.5+2L/1000) µm ( 测量范围 : 200mm) (1.0+2L/1000) µm ( 测量范围 : 10-60mm) E1X, E1Y (0.25+L/1000)µm E2XY (0.5+2L/1000)µm LAF 重复精度 * 3 σ = 0.4µm 照明装置 * 4 同轴照明 / 透射照明 / 程控环形照明 工作台玻璃尺寸 mm 台面最大承重 * 5 40kg 尺寸 (W D H) mm 重量 ( 包括机器设置台 ) 约 2150kg *1 L = 任意 2 点之间的尺寸 (mm) *2 依据三丰公司的检查方法 *3 仅限于带 LAF 的机型 *4 冷光源照明用卤素灯泡和光纤 *5 不包括极端的载重 集中载重 参见 QUIC VISION 系列 (C14007) 产品样本 -6

7 影像测量系统 多用途影像测量系统 QV ACCEL 363 系列 大型 CNC 影像测量机 QV ACCEL 系列采用了门移动构造, 因为工作台不动所以实现了固定工件夹具的简单 化 为此, 不仅缩短了夹具的制作工时, 而且更加适合易碎工件及轻薄工件的测量 产品种类中新增了应对高密度, 小型化 IC 组件 大型印刷电路板 金属膜 液晶显 示屏的 QV ACCEL808/1010 系列及应对大型 液晶显示屏的 QV ACCEL1212/1517 系列 所有型号的产品都具有表面 边缘和图案自动对焦的功能, 增加了测量灵活性以用 于多种用途 可选激光自动对焦 ( 工厂选件 ), 可实现高速度 高精度的高度测量 接触式触发测头可在一台机器中, 实现接触和非接触式测量 ( 订购时需说明 ) QV ACCEL 1212 QV ACCEL808 QV ACCEL1010 QV ACCEL1212 QV ACCEL1517 测量范围 (X Y Z) mm mm mm mm 放大倍率转换系统 PPT1X-2X-6X 分辨力 0.1µm 长度测量装置 线性编码器 影像测量方法 CCD 照相机 测量精度 * 1 * 2 E1Z (1.5+4L/1000)µm (2.5+5L/1000)µm E1X, E1Y (1.5+3L/1000)µm (2.2+3L/1000)µm E2XY (2.5+4L/1000)µm (3.5+4L/1000)µm 重复精度 * 1 短尺寸 3σ = 0.2µm X, Y 轴长尺寸 3σ = 0.7µm 3σ = 1.5µm LAF 重复精度 * 3 σ = 0.4µm 工作台玻璃尺寸 mm mm mm mm 台面最大承重 * 4 10kg 30kg 30kg 30kg 尺寸 (W D H) mm mm mm mm 重量 ( 包括机器设置台 ) 约 2050kg 约 2950kg 约 3600kg 约 4500kg *1 依据三丰公司的检查方法 *2 L = 任意 2 点之间的尺寸 (mm) *3 仅限于带 LAF 的型号 *4 不包括极端的载重 集中载重 QV ACCEL 808 CNC 影像测量机 QUIC VISION 系列 影像测量机 产品样本 No.C14007 参见 QUIC VISION 系列 (C14007) 产品样本 -7

8 NOSTOP 影像测量频闪照明系统是在高亮 LED 闪光照明系统基础上发展起来的, 可确保无停止影像测量得以实现 在工作台到达测量点的瞬间, 照明器可以发出短暂而高亮的闪光, 可以有效捕捉所有运动的物体 照明器的开关过程非常短暂, 确保不会出现图像模糊而且可以细致 完整的获取图像 这项创新设计使用准直透镜和分光镜, 充分利用了高密度 高亮度 LED 阵列的优势, 可以达到超亮 定向 有效的照明效果 QV STREAM PLUS 363 系列 NOSTOP CNC 影像测量机 根据被测工件的尺寸, 选择具有相应测量范围 的型号 新的影像获取技术的引用 ( 不许停止工作台 ), 大大提高了测量效率 传统的影像测量系统, 按照工作台移动 工作台停止 测量 工作台 移动的顺序进行重复操作, 但这种重复一直限 制了测量效率的提高 相比之下,QV STREAM PLUS 通过引入不间断影像测量 (STREAM 型 ) 已缩短了测量时间, 不间断影像测量能消除由传 统的加速 减速及停止循环造成的非生产时间 准直透镜阵列 元件 分光镜 最终图像处理闪光捕捉闪光捕捉闪光捕捉捕捉照相机图像连续照相机 反光镜 基本光源 QV STREAM PLUS 606 QV STREAM PLUS302 QV STREAM PLUS404 QV STREAM PLUS606 测量范围 (X Y Z) mm mm mm 放大倍率转换系统 PPT1X-2X-6X 分辨力 / 长度测量装置 0.1µm/ 线性编码器 影像测量方法 CCD 照相机 同轴照明 * 2 彩色 LED 照明装置 * 1 透射照明 蓝色 LED 可编程环形照明 * 2 彩色 LED 测量精度 * 3 E1Z (1.5+4L/1000)µm E1X, E1Y (1.5+3L/1000)µm E2XY (2.0+4L/1000)µm LAF 重复精度 * 4 σ = 0.4µm 工作台玻璃尺寸 mm mm mm 台面最大承重 20kg 40kg 50kg 尺寸 (W D H) mm mm mm 重量 ( 包括机器设置台 ) 约 360kg 约 579kg 约 1450kg CNC 影像测量机 QUIC VISION 系列 影像测量机 *1 STREAM 模式时, 照明功能为 ( 表面 / 轮廓 / PRL) 中任意 1 个,PRL 可以设为全频闪 (4 方向 ) 或单方向 精度保证光学条件为 (QV-HR2.5X 或 QV-SL2.5X) + 成像镜头 1X *2 STREAM 模式时, 仅青色照明 *3 测量精度为用三丰公司的检测方法,L = 任意 2 点之间的尺寸 (mm) *4 仅限带 LAF 型 产品样本 No.C14007 参见 QUIC VISION 系列 (C14007) 产品样本 -8

9 影像测量系统 多用途影像测量系统 QV HYBRID 1 型, 4 型 365 系列 CNC 影像测量机 ( 带有非接触式位移传感器 ) Quick Vision Hybrid 是拥有 CCD 相机和非接触式位移传感器, 实现影像测量和高速 扫描的先进影像测量仪 摄像头 非接触式位移传感器 应用 2D 形状分析 多种扫描工具作为标准设备 激光扫描工具 测量实例 - 印刷电路板 QVH4 606 特点 : HYBRID 1 型 聚焦方法最大限度地减小了测量面反射差异, 并实现了高度测量再现性 高分辨力实现了细小图像的测量 特点 : HYBRID 4 型 能为镜面和漫射面高度倾角的测量 自动调光功能可用于高精度测量 可用于如胶片的薄而透明物体的表面形状和厚度测量 通过观察功能进行事先确认 - 1 型 /4 型 Apex / Hyper / STREAM PLUS 形状评估软件 FORMPA-QV 通过非接触式位移传感器获得的形状数据, 实现对 2D 微细形状的分析 FORMTRACEPA-PRO 等厚线 等线 / 后线填充等丰富的 3D 显示分析表面形状 通过 FORMPA-QV 进行剖面评价分析 QVH Apex302 QVH STREAM 302 Hyper QVH302 QVH Apex404 QVH STREAM 404 Hyper QVH404 QVH Apex606 QVH STREAM 606 Hyper QVH606 影像 mm mm mm 测量范围 1 型 mm mm mm (X Y Z) 非接触式位移传感器 4 型 * mm mm mm 测量精度 ( 影像 )* 2 * 3 E1Z (1.5+4L/1000)µm (1.5+2L/1000)µm (1.5+4L/1000)µm (1.5+2L/1000)µm (1.5+4L/1000)µm (1.5+2L/1000)µm E1X, E1Y (1.5+3L/1000)µm (0.8+2L/1000)µm (1.5+3L/1000)µm (0.8+2L/1000)µm (1.5+3L/1000)µm (0.8+2L/1000)µm E2XY (2.0+4L/1000)µm (1.4+3L/1000)µm (2.0+4L/1000)µm (1.4+3L/1000)µm (2.0+4L/1000)µm (1.4+3L/1000)µm 测量精度 ( 位移传感器 )* 2 * 3 E1Z (1.5+4L/1000)µm (1.5+2L/1000)µm (1.5+4L/1000)µm (1.5+2L/1000)µm (1.5+4L/1000)µm (1.5+2L/1000)µm ACCEL 测量范围 (X Y Z) QVH ACCEL808 QVH ACCEL1010 QVH ACCEL1212 QVH ACCEL1517 影像 mm mm mm mm 非接触式位移传感器 1 型 mm mm mm mm 测量精度 ( 影像 )* 2 * 3 E1Z (1.5+4L/1000)µm (2.5+5L/1000)µm E1X, E1Y (1.5+3L/1000)µm (2.2+3L/1000)µm E2XY (2.5+4L/1000)µm (3.5+4L/1000)µm 测量精度 ( 位移传感器 )* 2 * 3 E1Z (2.5+4L/1000)µm (3.5+5L/1000)µm 1:TYPE4 不支持 QVH STREAM 2:L 为 2 点之间的尺寸 (mm) 3: 三丰公司的检查方法为基准 主机 型号 级别 PRO PRO3 QVH Apex/ACCEL Hyper QVH/QVH STREAM 详细信息参见 -4 页下半部分 微观形状分析屏幕 明暗表示 断面分析实例 网格识别表示 -9

10 Hyper QV WLI 363 系列 非接触式 3D 测量机 1 台设备即可实现坐标, 尺寸和 3D 形状的非接触测量 配有白光干涉仪的高精度 双镜头影像测量系统 白光干涉仪利用高纵横比对形状进行准确测量 标准影像测量功能能够连续不间断地进行坐标 尺寸和 3D 形状测量 大工作台能准确地处理大尺寸工件, 如印制电路板 影像测量机 CNC 影像测量机 QUIC VISION 系列 产品样本 No.C14007 Hyper QV WLI 606 应用实例 Si 模板 10/10µm 间距 参见 QUIC VISION 系列 (C14007) 产品样本 使用影像头进行 2D 测量 3D 形状分析 ( 任意角度显示 ) 截面测量 Hyper QV WLI 302 Hyper QV WLI 404 Hyper QV WLI 606 测量范围 (X Y Z) 影像测量区域 mm mm mm WLI 测量区域 * mm mm mm WLI 光学测头装置 视场 (H V) 10X 镜头 : 约 mm / 25X 镜头 : 约 mm 重复精度 2 0.2µm Z 轴扫描范围 * 2 170µm 影像光学测头装置 放大倍率转换系统 PPT1X-2X-6X 影像测量方法 黑白 CCD 照相机 同轴照明 彩色 LED 照明装置 透射照明 白色 LED 程控环形照明 彩色 LED E1X, E1Y (0.8+2L/1000)µm 测量精度 E1Z (1.5+2L/1000)µm E2XY (1.4+3L/1000)µm 主装置分辨力 0.01µm 台面最大承重 15kg 25kg 35kg 导向系统 直动式硬轴承 尺寸 (W D H) mm mm mm 重量 ( 包括防振台架 ) 约 490kg 约 1160kg 约 2275kg *1: WLI 头可移动,WLI 3D 形状测量范围为 1 视场 *2: 标准型 通过改变扫描间距最大 200µm -10

11 影像测量系统 多用途影像测量系统 配有触发式测头的 Quick Vision 一台机器同时实现接触和非接触式测量 QV 触发式测头装置可以进行影像和接触式测量 3D 工件测量 测量 3D 工件, 如模压制品 树脂成型品 机加工产品等 模块更换架应用模块更换架能轻松完成影像和触发式测头间的切换 PH6 TP20 基准球校准环规 安装模块更换架, MCR20 ( 安装触发式测头选件 ) 测量范围 * 1 (X Y Z) 测量精度 ( 触发式测头 )* 2 测量范围 * 1 (X Y Z) 测量精度 ( 触发式测头 )* 2 QV TP ELF QV TP Apex302 Hyper QV TP302 QV TP Apex404 Hyper QVz TP404 QV TP Apex606 Hyper QV TP606 影像 mm mm mm mm 触发式测头器 mm mm mm mm E1X,E1Y,E1Z (2.4+3L/1000)µm QV TP Apex:(1.8+3L/1000)µm Hyper QV TP:(1.7+3L/1000)µm QV TP ACCEL 808 QV TP ACCEL 1010QV TP ACCEL 1212QV TP ACCEL 1517 影像 mm mm mm mm 触发式测头器 mm mm mm mm E1X,E1Y,E1Z (1.8+3L/1000)µm (3+4L/1000)µm (6+7L/1000)µm *1: 如果安装模块更换架 基准球及校准环规时, 测量范围会小于表内的尺寸 其它同 QV ELF, QV Apex, Hyper QV, 和 QV ACCEL *2: 依据三丰公司的检测方法 L 为两点之间的尺寸 (mm) 激光自动对焦系统的安全预防措施 ( 出厂安装的选件 ) 本品采用低功率可见激光 (690nm) 进行测量 激光器为 CLASS 1EN/IEC (2007) 装置 如上图所示的警告和说明标签, 会贴在产品的相应位置 CNC 影像测量机 QUIC VISION 系列 影像测量机 产品样本 No.C14007 QV HYBRID TYPE1 的安全预防措施 如上图所示的警告和说明标签, 会贴在产品的相应位置 参见 QUIC VISION 系列 (C14007) 产品样本 -11

12 选件 物镜 多种可选物镜使光学系统可在 0.5 至 25X 的 范围内选择最符合测量用途的放大率 另有 长工作距离的型号可选 物镜 QV-SL0.5 QV-HR1 QV-SL1 QV-HR2.5 QV-SL2.5 QV-5 QV-HR10 QV-10 QV-25 货号 02AT199 02AT250 02ALA150 02AT300 02ALA170 02ALA420 02AT650 02ALG010 02ALG020 光学放大倍率 工件距离 30.5mm 40.6mm 52.5mm 40.6mm 60mm 33.5mm 20mm 30.5mm 13mm PRO 型影像视场 [ (H)mm (V)mm] PRO3 型影像视场 [ (H)mm (V)mm] 旋转工作台 旋转工作台 旋转工作台 旋转工作台 旋转工作台 旋转工作台 QV-INDEX 作为测量的扩展和合理化, 通过一次设置不 仅能够测量工件的正面, 侧面和后面亦可测 量 项目 工件直径 ø140mm ( 最大 ) 工件重量 2kg ( 最大 ) 分辨力 0.1º 定位精度 ±0.5º 最高转速 10rpm 电源 AC100V80VA RGB 彩色滤光装置卤素光源 QUIC VISION 的表面照明和程序控制环形照明均可附加彩色过滤功能 测量彩色的低反光工件时, 通过突出边缘, 从而达到更易于边缘检测的效果 旧型 QUIC VISION 也可以更新 滤光镜切换到黄色是, 即可实现在感光灵敏的黄光室中进行影像测量 使用红色滤光器 -12

13 影像测量系统 多用途影像测量系统 用于 QUIC VISION 的数据处理软件 QVPA 根据 Quick Vision 系统收集的测量数据检测 X Y 和 Z 轴位置数据, 并随即对坐标和尺寸进行计算处理 QVPA 特点 (QV EasyEditor) "QV EasyEditor" 为标准装配, 可简化零件程序的编辑工作 这是最强大的软件, 可 通过结合 QV EasyEditor ( 不需要专业知识 ) 和 QV Basic( 可提供令软件开发人员满意的 全部功能 ) 而创建 应用软件 ( 选件 ) QV PartManager QV PartManager 适用于对测量台上的多个工件进行测量分析的程序管理软件 形状评价 / 分析软件 FORMPA-QV 根据 QV 自动跟踪工具和非接触式位移传感器获得的形状数据, 对设计值和形状分析进行 QV EasyEditor ( 简易操作程序编辑器 ) 测量支持软件 QV3DCAD-OnLine 该软件利用 3DCAD 数据创建 QVPA 测量程序 可减少制作程序所需的时间, 缩短工时 QV-CAD I/F 该软件在图形窗口中显示 CAD 数据以提高测量可操作性 该软件能使用户简易地纠正程序执行过程 中出现的错误, 还可轻松编辑 插入及删 除零件程序, 降低了工件变化造成的误差 同时还减少了与设计变更有关程序修订所 需的人时 分析 FORMTRACEPA-PRO 该软件可根据 QV 混合系列的非接触式位移传感器获得的数据进行 3D 形状分析 QV3DPA 脱机教学软件 EASYPAG PRO 该软件利用 2D CAD 数据创建 QVPA 测量程序 可减少制作程序所需的时间, 缩短工时 PAGPA 这是利用 NC 数据 CAD 数据和 Gerber 数据创建 QVPA 程序的离线教学软件 测试图软件 / 统计处理软件 MeasureReportQV 该软件可根据 QV 测量结果生成检验报告 MeasurLink 本软件可对测量结果进行统计计算处理 CNC 影像测量机 QUIC VISION 系列 产品样本 No.C14007 影像测量机 该软件可根据 PFF( 点形态聚焦 ) 或 W L I ( 白光干涉 ) 数据生成 3D 形状 外部控制软件 QVEio-PLC/QVEio-PC/QVEio-Signal 这是一款客户端应用程序软件, 可通过连接 PLC 或外部电脑上的远程软件从外部控制 QVPA 或提供 QVPA 的操作状态 该软件可用于连接自动传输机器人和信号塔 参见 QUIC VISION 系列 (C14007) 产品样本 -13

14 QS 359 系列 CNC 影像测量机 这是一台配有彩色 CCD 摄影机的 CNC 影像测量仪 环形光纤照明连同透射照明及同轴反射照明均为标准配件, 以便更清晰地再现 彩色影像 本机配有变焦镜头 ( 变焦镜头 8 级放大, 放大比为 7:1) 本机配有自动对焦功能,Z 轴测量精度能得以保证 QS250Z 型号 驱动方式 X, Y, Z 轴 : CNC 光学放大倍率 变焦 0.5X - 3.5X (8 级 ) 测量范围 (X Y Z) mm 分辨力 0.5µm 长度测量装置 线性编码器 影像测量方法 彩色 CCD 相机 照明装置 同轴照明, 透射照明 环形照明 测量精度 * 1 E1X, E1Y (2.5+6L/1000)µm E1Z (5+6L/1000)µm 工作台玻璃尺寸 mm 台面最大承重 * 2 10kg 尺寸 (W D H) mm 重量 约 76kg *1: 适用于 20ºC, 变焦倍率 2.5X *2: 不包括极端的载重 集中载重 QS250Z QS-L/AFB 359 系列 手动影像测量机 本手动影像测量机配有彩色 CCD 相机 所有型号产品均配有同轴反射照明 透射照明及环形光纤照明 ( 作为标准配件 ) 本机配有变焦镜头 ( 变焦镜头 8 级放大, 放大比为 7:1) 本机配有自动对焦功能,Z 轴测量精度能得以保证 影像测量系统 影像测量系统 QUIC SCOPE 系列 产品样本 No. C14004 参见 QUIC SCOPE 系列 (C14004) 产品样本 货号 QS-L2010Z/AFB QS-L3017Z/AFB QS-L4020Z/AFB 驱动方式 配备自动对焦,X,Y 轴 : 手动,Z 轴 : 电动 光学放大倍率 变焦 0.5X - 3.5X (8 级 ) 测量范围 (X Y Z) mm mm mm 分辨力 0.1µm 长度测量装置 线性编码器 影像测量方法 彩色 CCD 相机 照明装置 同轴照明, 透射照明 环形照明 测量精度 * 1 X 轴, Y 轴 (2.5+20L/1000)µm Z 轴 (5.0+6L/1000)µm 台面最大承重 * 2 10kg 20kg 15kg 尺寸 * 3 (W D H) mm mm mm 电动单元尺寸 mm 重量 约 66kg 约 134kg 约 140kg *1: 适用于 20ºC, 变焦倍率 2.5X *2: 不包括极端的载重 集中载重 *3: 本尺寸增加了 X 轴及 Z 轴最大行程 Y 轴一半行程尺寸 QS-L3017Z/AFB -14

15 影像测量系统 多用途影像测量系统 QS-LZB 359 系列 手动影像测量机 这是一台配有 CMOS 彩色相机的手动影像测量仪 所有型号的产品均配有同轴反射照明 透射照明及环形光纤照明 ( 作为标准配件 ) 本机配有变焦镜头 ( 变焦镜头 8 级放大, 放大比为 7:1) QS-L2010ZB 货号 QS-L2010ZB QS-L3017ZB QS-L4020ZB 驱动方式 X, Y, Z 轴 : 手动 光学放大倍率 变焦 0.75X X (8 级 ) 测量范围 (X Y Z) mm mm mm 分辨力 0.1µm 长度测量装置 线性编码器 影像测量方法 彩色 CMOS 相机 照明装置 同轴照明, 透射照明, 环形照明 指示精度 * 1 X 轴, Y 轴 (2.5+20L/1000)µm Z 轴 (5.0+40L/1000)µm 台面最大承重 * 2 10kg 20kg 15kg 尺寸 * 3 (W D H) mm mm mm 重量 约 72kg 约 140kg 约 146kg *1: 适用于 20ºC, 变焦倍率 2.5X *2: 不包括极端的载重 集中载重 *3: 本尺寸增加了 X 轴及 Z 轴最大行程 Y 轴一半行程尺寸 影像测量系统 影像测量系统 QUIC SCOPE 系列 产品样本 No. C14004 参见 QUIC SCOPE 系列 (C14004) 产品样本 -15

16 2D 视像测量系统 QUIC IMAGE 视像测量系统 QI 361 系列 非接触型 2D 影像测量机 次系列 2D 影像测量机采用双远心光学系统, 可提供高效率测量 QI-A 型号可提供宽视场 (32 24mm) 测量 QI-B 系列 (12.8x9.6mm) 能轻松测量微型工件和表面不均匀工件的尺寸 本系列配有百万像素的彩色相机 即使在低放大率的情况下, 也能获得高重复性 大景深和宽视场 可轻松完成大景深模式与高分辨力模式间的切换, 以提高精度 多种 尺寸的 XY 工作台可供使用, 包括用于大尺 寸或多个相同工件测量的 400x200mm 工作 台 拥有 XY 快速释放手柄, 工作台能在微调一直有效的情况下快速移动 这节省了两个相 距较远点之间的测量时间, 因而大大提高了 生产率 产品样本 No. C 实现了超大视场和高分辨率的 2D 视像测量系统 双远心光学系统可选择 0.2X 和 0.5X 增加了 mm 新机型, 可测量大型工件及对复数相同工件进行多点测量 参见 QUIC IMAGE (C4242) 产品样本 QI-A 系列 货号 QI-A1010B QI-A2010B QI-A2017B QI-A3017B QI-A4020B 影像 32 24mm 测量模式 高分辨力模式 / 普通模式 测量范围 (X Y) mm mm mm mm mm 行程 (Z 方向 ) 100mm 画面内测量精度 高分辨力模式 : ±5µm / 普通模式 : ±8µm 测量精度 * 1 画面内重复精度 (±2 ) 高分辨力模式 : ±1µm / 普通模式 : ±2µm U1xy ±(5+0.08L)µm L = 测量长度 (mm) 影像捕捉元件 1.3M 像素, 1/2", 彩色相机 放大倍率 ( 远心光学系统 ) 0.2 光学系统 工作距离 90mm 焦点深度 高分辨力模式 : ±0.6mm / 普通模式 : ±11mm 照明装置 同轴照明 :12V100W 卤素灯泡, 透射照明 : 绿色 LED 远心系统, 环形照明 :4 个白色 LED 工作台玻璃尺寸 mm mm mm mm mm 台面最大承重 * 2 约 10g 约 20g 约 15g 重量 约 70g 约 74g 约 140g 约 148g 约 154g QI-B 系列 货号 QI-B1010B QI-B2010B QI-B2017B QI-B3017B QI-B4020B 影像 mm 测量模式 高分辨力模式 / 普通模式 测量范围 (X Y) mm mm mm mm mm 行程 (Z 方向 ) 100mm 画面内测量精度 高分辨力模式 : ±2.7µm / 普通模式 : ±4µm 测量精度 * 1 画面内重复精度 (±2 ) 高分辨力模式 : ±0.7µm / 普通模式 : ±1µm U1xy ±(5+0.08L)µm L = 测量长度 (mm) 影像捕捉元件 1.3M 像素, 1/2", 彩色相机 放大倍率 ( 远心光学系统 ) 0.5 光学系统 工作距离 90mm 焦点深度 高分辨力模式 : ±0.6mm / 普通模式 : ±1.8mm 照明装置 同轴照明 :12V100W 卤素灯泡, 透射照明 : 绿色 LED 远心系统, 环形照明 :4 个白色 LED 工作台玻璃尺寸 mm mm mm mm mm 台面最大承重 * 2 约 10g 约 20g 约 15g 重量 约 70g 约 74g 约 140g 约 148g 约 154g *1: 三丰公司的检查方法为基准 *2: 不包括极端的载重 集中载重 QI-B4020B -16

17 精密量仪 量具的小知识 影像测量机篇 影像测量 影像测量设备主要具备以下功能 影像质量的不同 两级灰度和 256 级灰度之间的区别 边缘检测 检测 / 测量 XY 平面内的边缘 两级灰度显示的图像范例 256 级灰度显示的图像范例 自动对焦 对焦和 Z 轴测量 不同阀值影像的不同 模式识别 排列, 定位, 特征提取 这三幅图片是同一图像在两级灰度显示时不同分层 ( 阀值 ) 显示出来的图像 2 级灰度影像因不同的分层会产生不同的图像, 正如以上图像一样 设置的阀值不同会导致数值的变化, 因此 2 级灰度不用于高精度图像的测量 图像储存 CCD 视频信号摄相机镜头放大器 高速 A/D 电路转换器 640 像素 显示画面 PC 图像采集卡 尺寸测量图像由像素构成 如果将测量的区域内像素的总数乘以每个像素的尺寸, 就可将该区域转化为长度值 例如假设一个正方型的工作部件的侧面的像素总量为 300 像素 ( 如下图 ) 假如影象放大后一个像素的大小为 10µm, 该工作部件的总长度为 10µmx300 像素 =3000µm=3mm 300 像素 10µm 480 像素 图像是由多组规则的像素构成, 这就像在精细的绘图纸上的图画, 每个方格由不同颜色填充而成 灰度 电脑将影像转化为数字值, 然后储存该影像 电脑给影像的每一个像素指定一个数字值 图像的质量取决于数字值所定义的灰度的级数 电脑可提供两种灰度 : 两级和多级 图像中的像素通常为 256 级灰度显示 边缘检测 以下面这幅单色影像为例, 说明如何确切检测影像中工作部件的边缘检测是在一个给定的域中进行的 工具指的是用于视觉上定义该域的符号 有多种工具可供选择, 满足不同工作部件的几何形状或测量数据的需要 工具 边缘检测系统自动扫描工具定义的域 ( 如左图所示 ) 并检测光照与阴影之间的界限 两级灰度 白 灰 黑 图像中的像素比给定的灰度级别亮, 显示为白色而所有其他像素都为黑色 1 0 多级灰度 白 灰 黑 每个像素都是以黑白色之间的 256 级灰度中的一个级别的灰度显示 这样就可以显示高保真的影像 0 灰度 (1) (2) (3) 工具域中像素数值范例 工具位置 (1) 扫描开始位置 (2) 边缘检测位置 (3) 扫描结束位置 -17

18 高分辨力测量 测量点的组合坐标 放大后... 机械坐标系统 M 影像坐标系统 My Mz Vx V Vy 灰度 工具位置 灰度 工具位置 Mx 由于系统识别的边缘的位置最大只能移动一个像素, 从而无法执行高分辨率的测量 使用子像素的图像处理, 能提高边缘检查精度 通过确定与相邻像素数据之间的插补曲线 ( 如下图所示 ) 检测边缘 这样就可测量高于 1 个像素的分辨力 测量机工作台位置 M = (Mx, My, Mz) 检测到的边缘位置 ( 从影像中心点 ) V = (Vx, Vy) 实际坐标分别定义为 X = (Mx + Vx), Y = (My + Vy), and Z = Mz 由于进行测量时系统会纪录并储存各个测量的位置, 系统可顺利测量一个屏幕无法完整显示的工件的尺寸 灰度 未使用子像素处理的图像信号 工具位置 图象信号曲线接近模拟波形 ( 如图所示 ) 自动对焦的原理系统可进行 XY 水平测量 但是仅凭 CCD 摄像机影像, 系统无法进行高度测量 系统通常都具备自动对焦功能, 用于高度测量 以下文字向您介绍使用普通图像的自动对焦机制, 虽然有些系统可能使用激光自动对焦 灰度 工具位置 使用了子像素处理的图像信号 系统沿着 Z 轴上下移动 CCD, 进行图像分析 在分析图像对比度时, 对焦清晰的会显示最大对比度, 而对焦模糊的影像会显示低对比度 因此影像对比度最高时的高度即为对焦高度 CCD Z 轴坐标 对焦高度 多画面输入的测量测量无法在一个屏幕中完整显示的大图像时必须通过精确控制 CCD 传感器的位置和工作台的位置以期在每幅图像中准确定位每个基准点 这样一来, 通过将工作台沿着圆周各个部分移动进行边缘检测, 系统甚至可测量一个大圆 ( 如下图所示 ) 对焦条件不同产生的对比度的差异 由于边缘对焦模糊导致的低对比度 对比度 清晰的焦距内边缘所带来的高对比度 高 高 低 扫描方向的对比度 低 扫描方向的对比度 -18