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1 第 16 卷 2008 年 2 月第 2 期光学精密工程 OpticsandPrecisionEngineering Vol.16 No.2 Feb.2008 文章编号 X(2008) 注射成型工艺参数对微结构零件复制度的影响蒋炳炎, 申瑞霞, 沈龙江, 胡建良 ( 中南大学机电工程学院, 湖南长沙 ) 摘要 : 为研究不同工艺参数对微结构零件复制度的影响, 将成型质量作为微结构零件复制度的初步量化衡量指标, 研究了不同工艺参数下微结构零件的成型质量建立了简化的聚甲基丙烯酸甲酯 (PMMA) 微圆柱阵列注射成型实验模型, 运用单因素实验方法实验研究了注射成型工艺参数对微结构零件成型质量的影响规律实验结果表明, 成型工艺参数对微结构零件成型质量的影响顺序为 : 保压压力 > 熔体温度 > 模具温度 > 保压时间 > 注射时间, 增加保压压力, 制品质量约增加 1%, 但浇注系统质量变化幅度不到 0.2%, 表明在浇口尚未封闭的情况下, 增加熔体温度和模具温度能使保压压力更有效地通过浇注系统传递到微型腔, 从而增加制品质量 ; 影像测量观测结果表明, 成型质量大的制品, 微结构的填充要好于质量轻的制品, 微结构零件复制度与成型质量存在对应关系对于具有广泛应用前景的精细微结构零件微透镜阵列而言, 制品质量可初步评价微结构零件的复制度 ; 研究各工艺参数对制品质量的影响规律对提高微结构零件的复制度有重要意义关键词 : 微结构零件 ; 复制度 ; 注射成型 ; 工艺参数 ; 制品重量中图分类号 :TH703;TH161 文献标识码 :A 犐狀犳犾狌犲狀犮犲狅犳狆狉狅犮犲狊狊犻狀犵狆犪狉犪犿犲狋犲狉狊犻狀犻狀犼犲犮狋犻狅狀犿狅犾犱犻狀犵狅狀狉犲狆犾犻犮犪狋犻狅狀犳犻犱犲犾犻狋狔狅犳犿犻犮狉狅狊狋狉狌犮狋狌狉犲狆犪狉狋狊 JIANGBing yan,shen Rui xia,shen Long jiang,hujian liang ( 犆狅犾犲犵犲狅犳犕犲犮犺犪狋狉狅狀犻犮狊犈狀犵犻狀犲犲狉犻狀犵, 犆犲狀狋狉犪犾犛狅狌狋犺犝狀犻狏犲狉狊犻狋狔, 犆犺犪狀犵狊犺犪 , 犆犺犻狀犪 ) 犃犫狊狋狉犪犮狋 :Inordertoimprovereplicationfidelityofmicrostructuredparts,theinfluenceofdiferent processingparametersonthepartweightofmicrostructuredpartswasstudiedbytakingthe micro lensarrayastheapplicationcaseandthepartweightasthepreliminaryquantitativeindexofreplica tionfidelity.asimplifiedanalysismodelofpmma microcolumnarrayswassetupandtheefectsof diferentprocessingparametersininjectionmoldingontheweightofmicrostructuredpartswerestud ied.resultsofthesinglefactorexperimentsrevealthattheinfluencedegreeofprocessparameterson partweightcanbeorderedinpackingpressure>melttemperature>moldtemperature>packingtime >injectiontime,anditcanbeprovedthatthepartweightincreasesabout1% withincreasingpacking pressure,whilethechangeofrunnersystem weightdonotexceed0.2%.thisresultsshowthatthe increasesofmelttemperatureandmoldtemperaturecan makethepackingpressuretransfertomicro cavitymoreefectivelythroughrunnersystem,andcanincreasethepartweight.fromtheimagesof measuringapparatus,itisdiscoveredthattheweighterthepartweight,thebeterthefilingofthe 收稿日期 : ; 修订日期 : 基金项目 : 国家自然科学基金资助项目 (No ); 教育部科学技术研究重点资助项目 (No )

2 第 2 期蒋炳炎, 等 : 注射成型工艺参数对微结构零件复制度的影响 249 microstructures.inconclusion,thepartweightcanbeusedtoevaluatethereplicationfidelityofmi crostructurepartsprimarily;theinvestigationoftheinfluenceofprocessingparametersonthepart weightcanbeusedtoimprovethereplicationfidelityofmicrostructuredparts. 犓犲狔狑狅狉犱狊 :microstructuredpart;replicationfidelity;injection molding;processingparameter;part weight 1 引言精细微结构零件作为国家高科技领域的重大需求产品, 在光电通讯航空航天生物医疗和信息存储等领域得到了广泛的应用, 始于 20 世纪 80 年代末期的微注射成型技术开创了此类零件 [1 2] 低成本大批量生产的新途径, 成为目前世界先进制造技术的研究热点之一高的复制度是注射成型微结构零件需要满足的首要条件, 成型工艺参数的改变直接影响到微结构零件复制度的高低 LiYong yu 等人研究了生物微机电系统产品中微尺度薄板的注射成型,2D 仿真和实验结果都表明注射速度和模具温 [3 4] 度对微结构的复制度影响最大 Yu chuan Su,JatanShahandLiweiLin 等人通过仿真和实验方法研究了微型腔内聚合物的流动行为, 结果显示温度在诸多影响微结构成型质量的注射成型 [5] 工艺参数中占主导地位 W B Young 等人仿真研究了带微通道零件的充填过程, 发现微结构的充填深度取决于熔体在微特征的流动速率和冷 [6] 却速率 LJamesLee 等人提出了聚合物 CD 微流控芯片的注射成型方法, 发现当注射速度不低于 50mm/s 时复制精度较高, 且残余应力随着 [7] 流动速率的增加而减小 B K Lee 等人研究了注射成型工艺条件对微透镜阵列复制度的影响, 实验结果表明, 保压压力和流动速率对微透镜阵列的最终表面轮廓影响最大 [8] 本文以具有广泛应用前景的精细微结构零件微透镜阵列为案例, 将不同形状的微透镜阵列简化成微圆柱阵列, 采用 LIGA 工艺制作了微圆柱阵列模芯镶件 ; 在理论分析的基础上采用成型重量作为制品复制度的初步量化衡量指标, 从成型性能的角度实验研究了注射成型工艺参数 ( 熔体温度模具温度注射时间保压压力保压时间 ) 对微圆柱阵列成型重量的影响 2 微透镜阵列实验模型简化及模芯镶件的制造根据不同的应用场合, 折射式微透镜阵列的 [9] 单元微透镜设计有不同的形状 ( 如矩形圆环形六边形等 ), 它们共同的几何特征是薄板上分布有凸起的功能微结构阵列这些功能微结构阵 [10] 列的复制性能是注射成型成功与否的关键目前, 微透镜阵列模芯镶件的制造技术国内还不是很成熟, 且价格昂贵, 由于本文研究的重点在于注射成型工艺参数对微透镜阵列微结构成型复制性能的影响, 为未来使用微透镜阵列的注射成型技术做探索研究, 故将不同形状的单元微透镜简化为微圆柱, 简化后的微透镜阵列实验模型及其模芯镶件如图 1 所示图 1 简化的微透镜阵列模型及其模芯镶件 Fig.1 Simplifiedmodelofmicrolensarrayanditsmoldinsert

250 光学精密工程第 16 卷本实验所用微透镜阵列模芯镶件是在北京中科院高能物理研究所的协助下采用 LIGA 技术制作而成的 LIGA 技术是制作微透镜阵列模芯镶件的最佳方法之一, 其工艺过程如图 2 所示将涂有一定厚度光刻胶的基板在具有适当孔径的圆形图案的掩模遮蔽下, 进行深度 X 射线曝光, 经显影后在基底上即可形成相对应的孤立的岛状圆柱形胶体, 即微圆柱阵列的表面结构 ;

2 Fabricationsequenceofmicro columnarray moldinsertbyligatechnology (a) 镍模芯镶件 (b)200μm 微圆柱孔阵列显微照片 (a)moldinsert (b)micrographofmicro columnarray 图 3 LIGA 技术制作的微圆柱阵列模芯镶件 Fig.

3 250 光学精密工程第 16 卷本实验所用微透镜阵列模芯镶件是在北京中科院高能物理研究所的协助下采用 LIGA 技术制作而成的 LIGA 技术是制作微透镜阵列模芯镶件的最佳方法之一, 其工艺过程如图 2 所示将涂有一定厚度光刻胶的基板在具有适当孔径的圆形图案的掩模遮蔽下, 进行深度 X 射线曝光, 经显影后在基底上即可形成相对应的孤立的岛状圆柱形胶体, 即微圆柱阵列的表面结构 ; 在制作好的微圆柱阵列图案的光刻胶板基础上, 进行电铸成 [11] 型复制, 制成金属模芯镶件制作的微圆柱阵列镍模芯镶件如图 3 所示 (a) 布胶 (b) 曝光 (a)coating (b)exposure (c) 显影 (d) 电铸 (c)developing (d)electroforming 图 2 LIGA 技术制作微圆柱阵列模芯镶件工艺过程 Fig.2 Fabricationsequenceofmicro columnarray moldinsertbyligatechnology (a) 镍模芯镶件 (b)200μm 微圆柱孔阵列显微照片 (a)moldinsert (b)micrographofmicro columnarray 图 3 LIGA 技术制作的微圆柱阵列模芯镶件 Fig.3 Fabricatedmicro columnarraymoldinsertby LIGAtechnology 3 复制度量化衡量指标为了提高微结构零件的成型制品质量, 特别是制品复制度, 国内外学者在微注射成型工艺参数优化方面开展了许多研究工作一类研究者借助快速影像系统扫描电镜光学显微镜等设备将微结构零件放大, 通过微结构零件成型形貌的对 [12 13] 比来定性评价复制度, 以探讨各个工艺参数的影响但这种成型形貌对比的评价方法只能用于定性分析, 不能量化衡量, 且结果不够准确研究者们给出的结论相互之间差别很大, 甚至相互矛盾另一类研究者通过微结构某一方向尺寸的 [14 16] 显微观测来定量评价微结构零件的复制度, 此种方法使对制品复制度的评价准确性有了保证, 且针对不同微结构零件进行工艺参数优化研究的结论也趋于一致但是该方法仅适用于微结构规则和单一的零件, 且在整个工艺参数优化过程中都需要借助扫描探针显微镜扫描电镜等高档仪器来进行微结构尺寸测量, 不利于在生产中推广使用制品体收缩率过大和微结构充填不足是造成微结构零件注射成型复制度不高的主要因素制 [17] 品内某点体收缩率定义为 : 犞犻 = ρ( 狋 room, 狆 atm)-ρ ( 狋犻, 狆犻 ) ρ (, (1) 狋 room, 狆 atm) 式中 : 犞犻制品内某点体收缩率 ; ρ ( 狋 room, 狆 atm) 室温和大气压下的密度 ; ρ ( 狋犻, 狆犻 ) 注射成型周期内的密度注射成型保压结束后, 若工艺参数设置合理, 浇口同时冻结 ( 设浇口冻结时间为狋 g,f), 制品质量将不再改变, 则制品质量犠可由式 (2) 计算 : 犠 = ρ ( 狓, 狔, 狕, 狋 gf)d 犞 = 珋 ρ 犞犞狆式中 : 犠制品质量 ; 犞狆充填体积 ; 狋 gf 浇口冻结时间狆犞狆,(2) 由式 (1) (2) 和上述的分析可知, 制品质量包含了制品体收缩和微结构充填的信息, 充填率越高, 体积收缩率越小 ( 密度越大 ), 则制品质量越大, 制品精度越高换言之, 制品成型质量的大小初步反映了微结构零件注射成型复制度的高低, 在微结构零件注射成型中, 可用制品成型质量来初步量化评价其复制度, 此前的一些研究者也利用制品成型质量作为评价指标来进行工艺过程和 [18 20] 制品质量的控制, 证实了此种方法的可行性

$1 PropertiesofCM 205typePMMA Properties Values Specificgravity 1.19 Elasticmodulus(GPa) 2.74 图 4 微透镜阵列注射成型实验模具 Poissonratio 0.355 Transitiontemperature- 狋 ( g ) 95 Refractiveindex 1.$

4 第 2 期蒋炳炎, 等 : 注射成型工艺参数对微结构零件复制度的影响注射成型实验和表征 4.1 实验原料实验原料为台湾奇美实业公司的 CM 205 型号 PMMA, 主要性能参数如表 1 所示注射成型模具所示自制微透镜阵列注射成型实验模具, 如图 4 表 1 型号为犆犕 205 的犘犕犕犃性能参数 Tab.1 PropertiesofCM 205typePMMA Properties Values Specificgravity 1.19 Elasticmodulus(GPa) 2.74 图 4 微透镜阵列注射成型实验模具 Poissonratio Transitiontemperature- 狋 ( g ) 95 Refractiveindex Lighttransmission (%) 实验设备注射成型机采用海天 HTF86X1/J1 型注塑机, 主要技术参数为 : 螺杆直径 36mm 螺杆长径比 21.2 最大注射压力 183 MPa 最大注射量 131cm 3 Fig.4 Assemblyviewofactualmicro lensarraymold 4.3 单因素实验方法运用 Moldflow PlasticsInsight(MPI) 软件的 MPI/Flow3D 模块对微透镜阵列的成型质量 [21] 进行仿真研究, 分析其正交实验结果, 得到最优的工艺参数组合为 : 熔体温度 235, 模具温度 70, 注射时间 0.4s, 保压压力 95%, 保压时间 2.4s 以此组最优工艺参数为参考, 逐一改变单个工艺参数, 研究各工艺参数对微透镜阵列成型质量的影响表 2 单因素实验方案 Tab.2 Schemesofsinglefactorexperiments Processingparameters Variations Melttemperature( ) / / / Moldtemperature( ) Injectiontime(s) / / Packingpressure(MPa) / / / / / Packingtime(s) / / / / / 由于微透镜阵列制品很小, 制品体积占注射体积 ( 制品体积 + 流道系统凝料体积 ) 的百分比很小 ( 约为 6%), 流道系统的存在影响了微透镜阵列成型质量对工艺参数调变的响应为更深入地了解各工艺参数对制品复制度的影响, 实现在不增加流道系统质量的前提下增加制品质量的目的, 采用单因素实验方案分别研究了各工艺参数对微透镜阵列成型质量和流道系统质量的影响规律单因素实验方案如表 2 所示 4.4 表征精密电子天平称重沿浇口将微制品与浇注系统切开, 如图 5 所示, 用分析天平称量制品质量实验中使用的称量微透镜阵列质量的仪器为梅特勒托利多公司生产的 AB135 S 型精密电子天平, 精度为 0.01/ 0.1mg, 最大称量范围 31g/120g( 双量程 )

252 光学精密工程第 16 卷图 5 制品和浇注系统 Fig.5 Partandrunnersystem 4.4.2 影像测量仪观测用 VMS 1510A 影像测量仪观测微结构的外观形貌, 比较不同质量制品微结构的充填情况 4.5 结果分析与讨论 4.5.1 微透镜阵列及其流道系统成型质量分析与讨论根据分析天平称重的结果, 计算样品质量的均值, 绘制各工艺参数对微透镜阵列及其流道系统的影响曲线, 如图 6 至图 15 所示图 7 熔体温度对浇注系统质量的影响 Fig.

5 252 光学精密工程第 16 卷图 5 制品和浇注系统 Fig.5 Partandrunnersystem 影像测量仪观测用 VMS 1510A 影像测量仪观测微结构的外观形貌, 比较不同质量制品微结构的充填情况 4.5 结果分析与讨论微透镜阵列及其流道系统成型质量分析与讨论根据分析天平称重的结果, 计算样品质量的均值, 绘制各工艺参数对微透镜阵列及其流道系统的影响曲线, 如图 6 至图 15 所示图 7 熔体温度对浇注系统质量的影响 Fig.7 Influenceofmelttemperatureonrunnersys tem weight 图 8 模具温度对制品质量的影响 Fig.8 Influenceofmoldtemperatureonpartweight 图 6 熔体温度对制品质量的影响 Fig.6 Influenceofmelttemperatureonpartweight 根据各工艺参数对微透镜阵列及其流道系统成型质量影响的曲线图分析可得 : (1) 随熔体温度或模具温度的增加, 流道系统的质量减小, 模具温度的影响幅度较小 ; 但是, 微透镜阵列质量随熔体温度或模具温度的增加呈上升趋势, 与流道系统的变化趋势相反, 这是因为实验中, 在维持注射压力保压压力不变的情况下, 随温度升高,PMMA 黏度下降, 在流道系统中损失的压力减少, 传递到型腔内的压力增加, 有利于补料, 增加密度图 9 模具温度对浇注系统质量的影响 Fig.9 Influenceofmoldtemperatureonrunnersys tem weight (2) 随注射时间的增加, 流道系统的质量单调增加, 而微透镜阵列质量则先升后降, 在注射时间为 0.8s 时出现最大值, 这是由于注射时间过短时, 注射速率太大, 熔体为湍流状态, 严重时会

6 第 2 期蒋炳炎, 等 : 注射成型工艺参数对微结构零件复制度的影响 253 图 10 注射时间对制品质量的影响 Fig.10 Influenceofinjectiontimeonpartweight 图 13 保压压力对浇注系统质量的影响 Fig.13 Influenceofpackingpressureonrunnersys tem weight 图 11 注射时间对浇注系统质量的影响 Fig.11 Influenceofinjectiontimeonrunnersystem weight 图 14 保压时间对制品质量的影响 Fig.14 Influenceofpackingtimeonpartweight 图 12 保压压力对制品质量的影响 Fig.12 Influenceofpackingpressureonpartweight 引起熔体在模内喷射, 减少进入型腔的塑料熔体, 相反, 如果注射时间过长, 注射速率太低, 熔体前沿过早凝固, 微结构出现充填不足 (3) 随保压压力的增加, 微透镜阵列质量呈上升趋势, 上升幅度约为 1%, 保压压力对流道系图 15 保压时间对浇注系统质量的影响 Fig.15 Influenceofpackingtimeonrunnersystem weight 统的影响曲线较平缓, 流道系统质量变化幅度不到 0.2%, 这表明在浇口尚未封闭的情况下, 保压压力能够更有效地从流道系统传递到制品, 增加制品质量

254 光学精密工程第 16 卷 (4) 保压时间为 0.8s 时, 制品质量不再变化, 而流道系统的质量随保压时间增加而单调增加, 上升幅度约为 2.1%, 这是因为浇口在保压时间为 0.8s 时已经封闭, 再增加保压时间对制品重量不会产生影响, 但却能使流道系统质量增加 4.5.2 微结构阵列的成型形貌定性分析为了定性分析制品微结构成型形貌与成型质量之间的关系, 由影像测量仪采集了不同注射时间下成型制品的侧视图, 如图 16 所示由图中可以看出 : 在注射时间为 0.

8s, 犠 =73.72mg (d) 狋 =1.0s, 犠 =73.62mg (e) 狋 =1.2s, 犠 =73.55mg (f) 狋 =1.4s, 犠 =73.46mg (g) 狋 =1.6s, 犠 =73.32mg (h) 狋 =1.8s, 犠 =73.30mg 狋注射时间, 犠制品质量图 16 不同注射时间下成型制品侧视图 Fig.

7 254 光学精密工程第 16 卷 (4) 保压时间为 0.8s 时, 制品质量不再变化, 而流道系统的质量随保压时间增加而单调增加, 上升幅度约为 2.1%, 这是因为浇口在保压时间为 0.8s 时已经封闭, 再增加保压时间对制品重量不会产生影响, 但却能使流道系统质量增加微结构阵列的成型形貌定性分析为了定性分析制品微结构成型形貌与成型质量之间的关系, 由影像测量仪采集了不同注射时间下成型制品的侧视图, 如图 16 所示由图中可以看出 : 在注射时间为 0.6~1.2s 时, 微结构充填较好, 即成型质量大的制品, 微结构充填要好一些, 微结构复制度高一些因此以成型重量作为微结构零件注射成型复制度的量化评价指标进行工艺参数优化能够有效缩小工艺参数窗口, 最后再结合 SEM AFM 等高档仪器可以找到实现微制品高复制度的工艺参数 (a) 狋 =0.4s, 犠 =73.15mg (b) 狋 =0.6s, 犠 =73.58mg (c) 狋 =0.8s, 犠 =73.72mg (d) 狋 =1.0s, 犠 =73.62mg (e) 狋 =1.2s, 犠 =73.55mg (f) 狋 =1.4s, 犠 =73.46mg (g) 狋 =1.6s, 犠 =73.32mg (h) 狋 =1.8s, 犠 =73.30mg 狋注射时间, 犠制品质量图 16 不同注射时间下成型制品侧视图 Fig.16 Sideviewsofmoldedpartsvs.injectiontime 5 结论本文以微透镜阵列为例, 首次将制品成型质量作为制品复制度的初步量化衡量指标, 采用单因素实验方法实验研究了各工艺参数对微结构零件复制度的影响规律实验结果表明, 对于 PM MA 微圆柱阵列, 增加保压压力, 制品重量约增加 1%, 但浇注系统质量变化幅度不到 0.2%, 表明在浇口尚未封闭的情况下, 增加熔体温度和模具

8 第 2 期蒋炳炎, 等 : 注射成型工艺参数对微结构零件复制度的影响 255 温度能够使保压压力更有效地通过流道系统传递到微型腔, 增加制品质量 ; 影像测量仪观测结果发现, 成型质量大的制品, 微结构充填效果好, 即微结构的复制度高综上所述, 制品质量大小可作为制品复制度的初步量化衡量指标, 初步评价微结构零件的复制度并研究各工艺参数对制品质量的影响规律对生产中指导微结构零件注射成型复制度的提高有重要意义参考文献 : [1] HECKELE M,SCHOMBURG W K.Reviewonmicromoldingofthermoplasticpolymers[J]. 犕犻犮狉狅犿犲犮犺. 犕犻犮狉狅犲狀犵.,2004,14(3):1 14. [2] RUPRCHT R,GIETZELT T,MULLER K, 犲狋犪犾..Injectionmoldingofmicrostructruedcomponentsfromplas tics,meltsandceramics[j]. 犕犻犮狉狅狊狔狊狋犲犿犜犲犮犺狀狅犾狅犵犻犲狊,2002,8(4/5): [3] LIY Y,CHEE G K,LEELJ, 犲狋犪犾..Experimentalinvestigationandnumericalsimulationofinjection molding withmicro features[j]. 犘狅犾狔犿犲狉犈狀犵犻狀犲犲狉犻狀犵犪狀犱犛犮犻犲狀犮犲,2002,42(5): [4] LIY Y. 犈狓狆犲狉犻犿犲狀狋犪犾犪狀犱狀狌犿犲狉犻犮犪犾犪狀犪犾狔狊犻狊狅犳犻狀犼犲犮狋犻狅狀犿狅犾犱犻狀犵狑犻狋犺犿犻犮狉狅犳犲犪狋狌狉犲狊 [D].GraduateoftheOhio StateUniversity,2004. [5] SU YCH,SHAHJ,LINL W.Implementationandanalysisofpolymericmicrostructurereplicationbymicroinjec tionmolding[j]. 犕犻犮狉狅犿犲狊犺. 犕犻犮狉狅犲狀犵.,2004,14(3): [6] YOUNG W B.Simulationofthefilingprocessinmoldingcomponentswithmicrochannels[J]. 犕犻犮狉狅狊狔狊狋犲犿犜犲犮犺狀狅犾狅犵犻犲狊,2005,11(6/7): [7] JAMESL,MADOUL,KOELLINGK W, 犲狋犪犾..DesignandfabricationofCD likemicrofluidicplatformsfordi agnostics:polymer basedmicrofabrication[j]. 犅犻狅犿犲犱犻犮犪犾犕犻犮狉狅犱犲狏犻犮犲狊,2001,3(4): [8] LEEBK,KIM DS,KWONT H.Replicationofmicrolensarraysbyinjectionmolding[J]. 犕犻犮狉狅狊狔狊狋犲犿犜犲犮犺狀狅犾狅犵犻犲狊,2004,10(6): [9] 蒋炳炎, 沈龙江, 罗建华, 等. 微特征结构对导光板翘曲变形影响的仿真研究 [J]. 光学精密工程,2007,15(2): JIANGBY,SHENLJ,LUOJH, 犲狋犪犾..Efectsofdiferentmicro featurestructuresonthewarpageandde formationoflightguideplate[j]. 犗狆狋. 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犈狀犵.,2007,15(2):30 36.(inChinese) [10] 勾治践, 樊仲维, 卢锷, 等. 光学塑料透镜注射成型关键技术的研究 [J]. 光学精密工程,2000,8(6): GOUZHJ,FANZH W,LU E, 犲狋犪犾..Injection molding methodforopticalplasticslens[j]. 犗狆狋. 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犈狀犵.,2000,8(6): (inChinese) [11] 许乔, 叶钧, 周光亚, 等. 折射型微透镜阵列的光刻热融法研究 [J]. 光学学报,1996,16 (9): XU Q,YEJ,ZHOU GY, 犲狋犪犾..Fabricationofrefractivemicrolensarraybymeltingphotoresist[J]. 犃犮狋犪犗狆狋犻犮犪犛犻狀犻犮犪,1996,16(9): (inChinese) [12] SHAB,DIMOVS,GRIFFITHSC, 犲狋犪犾..Investigationofmicro injectionmoulding:factorsafectingtherepli cationquality[j]. 犑狅狌狉狀犪犾狅犳犕犪狋犲狉犻犪犾狊犘狉狅犮犲狊犻狀犵犜犲犮犺狀狅犾狅犵狔,2007,183: [13] ZHAOJ,MAYESR H,CHEN G, 犲狋犪犾..Efectsofprocessparametersonthemicromoldingprocess[J]. 犘狅犾狔犿犲狉犈狀犵犻狀犲犲狉犻狀犵犪狀犱犛犮犻犲狀犮犲,2003,43(9): [14] DESPA M S,KELLY K W,COLLIERJR.InjectionmoldingofpolymericLIGAharms[J]. 犕犻犮狉狅狊狔狊狋犲犿犜犲犮犺狀狅犾狅犵犻犲狊,1999,6(2): [15] SCHIFT H,GLAUSF,GOBRECHTJ, 犲狋犪犾..V groovereplication:atoolforqualitycontrolofacompactdisc injectionmoldingprocess[r]. 犘犛犐犃狀狀狌犪犾犚犲狆狅狉狋,2000. [16] ONG NS,KOH Y H.Experimentalinvestigationintomicroinjectionmoldingofplasticparts[J]. 犕犪狋犲狉犻犪犾狊犪狀犱犕犪狀狌犳犪犮狋狌狉犻狀犵犘狉狅犮犲狊犲狊,2005,20(2): [17] 王利霞, 杨杨, 王蓓, 等. 注塑成型工艺参数对制品体收缩率变化的影响及工艺参数优化 [J]. 高分子材料科学与工

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BuletinofSoiland WaterConservation Vol.38,No.3 Jun.,2018 & X R( + 1, 1, < 1,=> 3 (1. E^ IFTU ^,NO ; 2.NO\ ^,NO ;3.NO B`a -

$BuletinofSoiland WaterConservation Vol.38,No.3 Jun.,2018 & X R( + 1, 1, < 1,=> 3 (1. E^ IFTU ^,NO ; 2.NO\ ^,NO ;3.NO B`a -$ 383 0186 BuletinofSoiland WaterConservation Vol.38,No.3 Jun.,018 & X R( + 1, 1, < 1,=>,?@A 3 (1. E^ IFTU ^,NO 730070;.NO\ ^,NO 730070;3.NO B`a -[/H,NO 730000) -.:[# ] _D5 & % I /, + -. I P+- [ ] ( 犜狉犻狋犻犮狌犿犪犲狊狋犻狏狌犿