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1 在 线 014 年 一张图看懂靶材及 ITO 靶材 简版

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3 什么是靶材 (Sputter Targets) 简单说的话, 靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料 例如 : 蒸发磁控溅射镀膜是加热蒸发镀膜 铝膜等 更换不同的靶材 ( 如铝 铜 不锈钢 钛 镍靶等 ), 即可得到不同的膜系 ( 如超硬 耐磨 防腐的合金膜等 ) 故靶材也叫溅射靶材 ( 纯度 :99.9% %) 靶材 蒸发磁控溅射镀膜是物理气相沉积 (Physical Vapor Deposition,PVD) 主要方法之一, 主要用于 在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜

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5 靶材分类 按材质按几何形状按应用领域 金属靶材 :Ni Ti Zn Cr Mg Nb Sn Al In Fe Zr Cu Ta Ag Au W Mo 等 ; 陶瓷靶材 :ITO 靶 氧化锌 靶 二氧化锆靶等 ; 合金靶材 :ZrAl TiAl TiZn NiAl 等 长 ( 正 ) 方体形靶材 圆柱体形靶材 不规则形状靶材 实心靶材 空心靶材 半导体领域用靶材 记录介质用靶材 显示薄膜用靶材 光学靶材 超导靶材 ITO 靶 : 成分为 In 2 O 3 / SnO 2 靶材, In 2 O 3 / SnO 2 分别占比 80~95%/5~20%

6 靶材的应用领域 装饰镀 膜 TiAl CrAl Cr Ti Cr Mo Al 铝 合金 Cu 铜合金 镀膜 和ITO靶材 玻璃镀 膜 电子器 CrSi Ta NiCrAl 件镀膜 镀膜 TiAl 不锈钢 工模具 NiCr NiCrSi 磁记录 Cr Ti Zr Ni W 示镀膜 半导体 ZnSn SiAl 氧化 镀膜 钛 Mo CdS CuInGaSe 基 Ni基等合金 平面显 Ag Cr Ti NiCr AZO ZnO ZnAl Cr基 Co基 CoFe 太阳能 电池镀 膜 W WTi Ti Ta Al Cu

7 靶材生产工艺流程

8 靶材生产工艺流程 压铸法 铸造坯料 提炼熔炼提纯铸造 铸造坯料 轧制与热处理 板材 切割 机加工 靶材

9 ITO 粉末生产工艺流程

10 ITO 靶材生产工艺流程

11 全球靶材市场分析 根据 BCC Research 数据,2013 年全球靶材市场规模为 30 亿美元, 预计到 2018 年为 32 亿美 元, 年复合增长率为 1.3% 2013 年和 2018 年, 全球靶材市场规模 32 单位 : 亿美元 来源 :BCC Research, 新材料在线

12 全球靶材市场分析 根据 BCC Research 数据,2013 年靶材主要用在新能源领域 数据存储 平板显示和微电子, 预 计到 2018 年, 靶材在平板显示的应用领域会迅速扩大, 数据存储和微电子领域会缩减 全球靶材在不同应用领域情况 ( 左图 :2013 年, 右图 :2018 年 ) 16.3% 6.3% 1.2% 新能源 6.5% 28.8% 数据存储 平板显示 微电子 8.9% 12.0% 8.5% 2.3% 新能源数据存储 28.7% 平板显示微电子 19.2% 21.7% 特殊涂层 零部件 其他 27.2% 12.4% 特殊涂层 零部件 其他 来源 :BCC Research, 新材料在线

13 全球靶材市场分析 根据 BCC Research 数据, 靶材的市场主要集中在亚洲, 占了靶材的 63% 市场份额, 其次是美国 和欧洲 全球靶材市场分布情况 ( 左图 :2013 年, 右图 :2018 年 ) 17.0% 2.4% 亚洲美国 16.2% 2.2% 亚洲美国 17.6% 63.0% 欧洲其他 18.6% 63.0% 欧洲其他 来源 :BCC Research, 新材料在线

14 全球 ITO 靶材市场分析 据报道,2010 年全球 ITO 靶材市场产量为 941 吨, 而到了 2012 年, 全球 ITO 靶材产量上涨至 1271 吨 随着大尺寸 AMOLED 面板的正式量产, 预计 2015 年以前 ITO 靶材需求每年将增 加 9.8% 国际高端 ITO 靶材由 JX 日矿日石金属 日本三井矿业 日本东曹 韩国三星 德国及美国的少 数几家公司所垄断 日本日矿和三井这两家几乎占据了高端 TFT-LCD 市场用 ITO 靶材的全部份额和大部分的触摸屏 面板市场, 每家年供应量据称达到 600 吨以上

15 全球 ITO 靶材市场分析 全球 ITO 靶材主要市场在亚洲的韩国 中国台湾 中国大陆和日本, 都各占四分之一 ITO 靶材市场需求量 ( 单位 : 吨 ) ITO 靶材市场需求占比 日本 21% 韩国 27% 中国大陆 26% 中国台湾 26% 韩国中国台湾中国大陆日本 来源 : 台湾业者, 新材料在线 来源 : 台湾业者, 新材料在线

16 全球靶材重点企业分析 目前全世界溅射靶材生产厂家主要集中在美国 德国及日本 日本 美国 德国 其他

17 国内靶材企业分析 ( 部分 ) 难熔金属靶材 半导体靶材 装饰玻璃镀膜喷涂靶材 ITO 靶材 AZO 靶材

18 全球 ITO 靶材重点企业分析 从供给看, 日本三井 日本能源和 TOSOH( 东曹 ) 囊括中国 80% 以上 ITO 靶材市场, 其中日本能源在 TFT 及 PDP 方面市场占有率大,TOSOH 在滤光片 (ColorFilter) 较强, 三井则分配比较平均 低端 TN 导电玻璃的 ITO 靶材厂商中端 STN 玻璃的 ITO 靶材厂商高端 TFT-LCD 的 ITO 靶材 1 韩国 : 三星康宁 2 美国 : 优美可 (Umicore) 3 日本 : 三井 (Mitsui) 4 德国 : 贺利士 5 中国 : 少数厂家 1 韩国 : 三星康宁 2 美国 : 优美可 (Umicore) 3 日本 : 日本能源 三井 4 德国 : 贺利士 5 中国 : 少数厂家 几乎全来自日本 日本 : 东曹日立住友 VMC

19 2013 年中国 ITO 靶材企业产能分析 来源 : 水清木华研究中心

20 新材料在线 版权声明 1. 凡注明 新材料在线 的所有文字 图片 音视频资料 研究报告等信息版权均属新材料在线 平台所有, 转载或引用本网版权所有之内容须注明 转自 ( 或引自 ) 新材料在线 字样, 并标明本网网址 2. 本站信息仅供用于学习交流使用, 对于不当转载或引用本网内容而引起的民事纷争 行政处理或其他损失, 本网不承担责任 新材料在线 免责声明 1. 本文仅代表作者本人观点, 新材料在线 对文中陈述 观点判断保持中立, 不对所包含内容的准确性 可靠性或完整性提供任何明示或暗示的保证 本报告内容及观点也不构成任何投资建议, 报告中所引用信息均来自公开资料, 请读者仅作参考, 并请自行承担全部责任 2. 本文部分数据 图表或其他内容来源于网络或其他公开资料, 版权归属原作者 原出处所有 任何涉及商业盈利目的均不得使用, 否则产生的一切后果将由您自己承担 3. 新材料在线 尊重知识产权, 本文作者引用部分数据仅为交流学习之用, 所引用数据都标注了原文出处, 个人或单位如认为本文存在侵权之内容, 应及时与我们取得联系, 收到信息后即及时给予处理 4. 新材料在线 力求数据严谨准确, 但因时间和人力有限, 文中数据难免有所纰漏, 我们对文中数据 观点不做任何保证 如有重大失误失实, 敬请读者不吝赐教批评指正 我们热忱欢迎新材料各界人士免费加入 [ 新材料在线 ] 平台, 发表您的观点或见解 附则 对 版权声明 和 免责声明 的解释权 修改权及更新权均属于新材料在线 所有 微信公众号 :xincailiaozaixian 新浪微博 : 新材料在线官微 service@xincailiao.com 官方微信 官方微博

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