1 I S O - 14001 O H S A S - 18001 ISO-14001OHSAS-18001 Plan-Do-Check- Act (WSC, World Semiconductor Council) International S E M AT E C H
2 N Y S E TSM 0. 18 0. 15 0. 13 CMOS Logic M i x e d - S i g n a l R F F l a s h E m b e d d e d B i C M O S S i G e
3 Wa f e r Te c h S S M C 400 efoundry Robert N. Noyce Medal CNN 2001 25
4 (1) (2) (3) (4) (5) (6)
5 營運組織總經理暨營運長營運組織一副總經理營運組織二副總經理十二廠十二廠工安環保部資材處員工服務部倉儲管理部廢棄物資源管理課風險管理部十二 B 廠設計營建組十四廠設計營建組技術製造中心新廠規劃暨工程處廠務技術委員會八廠工安環保部七廠工安環保部六廠工安環保部八廠七廠六廠一廠一廠工安環保部二 五廠工安環保部三廠工安環保部二廠五廠三廠資材暨風險管理副總經理人力資源副總經理健康促進課
6
7 --- 76 79 84 85 86 ISO-14001 I S O - 14001 87 87 International SEMATECH 89 89 89 ISO-14001 ISO-14001 OHSAS-18001 90 90 O H S A S - 18001 90 ISO- 14001
8 50 M X 25 M X 2 M (XX) 2, 500 1, 138 2,844 2.5 International S E M AT E C H 項目 民國八十八年 民國八十九年 民國九十年 製程用水回收率 節省之自來水量 ( 百萬公噸 ) 節省之標準游泳池 ( 個 )
9 (單千位公噸 億元) 單(位百萬片) 民國八十八年民國八十九年民國九十年 超純水水量 / 營業額 晶圓產出量 (單千位公噸 億元) 單(位百萬片) 民國八十八年民國八十九年民國九十年 自來水水量 / 營業額 晶圓產出量
10 20,086 ( 12,245 ) Class 1 17,580 29,940 (5) 5& 9 5 < 9 2,896
11 (PCW) 327 7,435 2,463 680 1,340 7,140 (單百位萬度 億元) 單(位百萬片) 民國八十八年民國八十九年民國九十年 用電電量 / 營業額 晶圓產出量
12 液鹼 氧化鈣石灰 混凝劑 助凝劑 收集槽反應池 1 反應池 2 反應池 3 含氟廢水 無塵室排放 沈澱槽 污泥運送至再利用機構 一般酸廢水 液酸 液鹼 收集槽中和池放流池放流水排至科學工業園區污水處理廠
13 1186111028222613112426881210 ph 7.0 6.2 6.4 6.8 6.8 7.0 7.3 7.1 6.8 5-10 (Temp.) 23.0 25.6 26.4 23.1 26.4 21.0 26.4 28.0 24.0 35 (SS) (mg/l) 23.0 100.0 35.0 10.8 146.0 6.5 165.0 13.2 20.2 300 (COD) (mg/l) 145.0 62.0 46.5 43.9 68.7 53.7 108.0 9.7 16.4 500 (BOD) (mg/l) 89.0 30.0 19.0 29.6 42.7 22.7 52.2 2.2 7.8 300 (Fluoride) (mg/l) 8.8 6.8 3.2 3.4 3.3 5.3 2.6 5.3 9.1 15
14 901120-23 1 2 3 4 5 6 kg/hr 0.0601 0.0703 0.0010 x x x 0.1 kg/hr ND ND ND x x x 0.6 kg/hr ND ND ND x x x 0.6 ppm 0.20 0.17 ND x x x 30 g/sec x x x 0.0085 x x 13 kg/hr ND ND ND x x x 0.6 kg/hr ND ND ND x x x 0.6 % x x x x 95 100 90 Nm 3 /min 2,003 1,674 1,688 224 886 763 --- x ND
15 45.7% 47.7% 76 % 民國八十八年民國八十九年民國九十年
16 * * * * * * * * * * ( p a p e r l e s s ) * * ( * ) *
17 C H F 3, C 2 F 6, SF 6, CF 4, C 3 F 8, C 4 F 8 N F 3 ( P F C s, Perfluorinated Compounds) ( E t c h i n g ) (CVD, Chemical Va p o r D e p o s i t i o n ) ( TSIA, Ta i w a n Semiconductor Industrial Association) (WCS, World Semiconductor Council) 90 % P F C s TSMC PFCs PFCs PFCs (1) CVD C 3 F 8 C 2 F 6 (2) AMAT HDP NF 3 ( 3 ) N F 3 C F 4 S F 6 ( 2 )( 3 ) ISESH ( Intern atio nal Semiconductor Environmental, Safety and Health) P F C s PFCs
18 ( ) - ( ) - 1,000,000-1,000,000 民國八十九年 ( 勞委會 ) 民國八十八年 ( 台積公司 ) 民國八十九年 ( 台積公司 ) 民國九十年 ( 台積公司 ) (1) 3.24 2.33 1.00 4.97
19 民國八十九年 ( 勞委會 ) 民國八十九年 ( 美國勞工統計局 ) 民國八十九年 ( 美國半導體產業協會 ) 民國八十八年 ( 台積公司 ) (2) 民國八十九年 ( 台積公司 ) 民國九十年 ( 台積公司 ) 1. 45 1.04 0. 4 7 2. 13 (SIA, Semiconductor Industry Association) 1. 95 (1 ) (BLS, Bureau of Labor Statistics) 5.5 民國八十九年 ( 勞委會 ) 民國八十八年 ( 台積公司 ) 民國八十九年 ( 台積公司 ) 民國九十年 ( 台積公司 ) (3) 6 3 2 224
20 85% ( )
21 (SMOC, Safety Management Of Change) 17
22
23 : 1. / 2. After Developing Inspection(ADI) / After Etching Inspection (AEI) 3. ( C M P, Chemical Mechanical Polishing) (Pad) (Platen) 4.
24 ( e - l e a r n i n g ) Fit for Wo r knot Work for Fit
25 e Wellness Center
26 SEMI S2-93A/0200 (SEMI, Semiconductor Equipment and Material International) SEMI S2 * * * * * * * * * * SEMI 93A/0200 尚未收到 10% 尚須改進 19% 已通過 71%
27 Tools Installation Sign- Off SL1 (Safety Level 1) SL2 (Safety Level 2) SL3 (Safety Level 3)
28 ( ) ( ERC, Emergency Response Center) 24 (ERT, Emergency Response Team) E RT E RT 95%
29 (Disaster) 危機管理組織 工業工程財務會計法務公關風險管理資訊技術人力資源採購進出口及物料管理市場 銷售 外部支援單位科管局 消防局 環保局 醫院 意外事故指揮官 緊急應變指揮中心 廠務組管制組救災組急救組疏散組財務組計畫組
30 AAA 27 A A A A A A A A A A A A 晶圓一廠 晶圓二廠晶圓三廠晶圓五廠晶圓六廠晶圓七廠晶圓八廠晶圓十二廠 八十四年八十五年八十六年八十七年八十八年八十九年九十年
31 --- * * * * * *
32 90 90 90 90 89 89 89 89 88 88 88 88 88 88 88 87 87 WSO (World Safety Organization) 86 86 86 86 86 85 85 84 84 84 84 84,
33
34 1. 2. 3. 03-578-51122672 03-564-3820 30077 6 E-Mailcyhuangb@tsmc.com.tw