高速化 高精度 複合化 環保 生活化 '11 '09 '08 '05年台灣精品金質獎 2006, 2001, 1993年台灣精品銀質獎 2002年台灣精品獎 2001年中小企業創新研究獎 滾珠螺桿 Ballscrew 線性致動器 精密研磨/精密轉造 高速化 (高 Dm-N 值 /Super S 系列

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1 驅動器 D1Servo Drive

2 高速化 高精度 複合化 環保 生活化 '11 '09 '08 '05年台灣精品金質獎 2006, 2001, 1993年台灣精品銀質獎 2002年台灣精品獎 2001年中小企業創新研究獎 滾珠螺桿 Ballscrew 線性致動器 精密研磨/精密轉造 高速化 (高 Dm-N 值 /Super S 系列) 重負荷-全電試射出成型機型 E2 自潤式 R1 螺帽旋轉式 2004年台灣精品金質獎 2005年中小企業創新研究獎 Linear Actuator 醫療/自動化/工業用 AC伺服馬達 AC Servo Motor 線性伺服馬達 Linear Synchronous Motor 無鐵心式 (LMC) 鐵心式 (LMS) 2010, 2003年台灣精品金質獎 2009年台灣精品銀質獎 工業機器人 空氣軸承線性馬達 定位平台 Industrial Robot KK, KU 半導體 電子化系列 KS, KA 自動化系列 SK 靜音式系列 2008年台灣精品金質獎 2007, 2002年台灣精品銀質獎 線性滑軌 Linear Guideway HG/EG/RG/MG 系列 精密機械/電子半導體/生技醫療 E2 自潤式 Q1 靜音式 A1 氣淨式 2006年台灣精品銀質獎 2007年中小企業創新研究獎 TMS直驅式定位平台 TMS Direct-Drive Positioning System Linear Motor Air Bearing Platform 位置量測系統 Positioning Measurement System 線性馬達驅動的X-Y平台 Linear Motor X-Y Robot 2004年台灣精品獎 定位線性滑軌 Positioning Guideway 線性馬達龍門系統 Linear Motor Gantry

3 性能 藉由半導體業界之運動控制技術, 達到超高定位性能, 實現優良跟隨特性, 有效縮短定位時間 安全 符合世界潮流, 通過各大國際認證 ; 提供馬達短路偵測, 極限開關, 緊急煞車信號輸出, 回生電阻等保護措施 功能 提供試運轉介面, 速度 加速度保護設定, 增益設定,I/O 測試, 加上完整的濾波器, 頻譜分析 波德圖 李薩律圖等功能, 提供完整的驅動控制方案 易用 人機介面提供極簡單的設定, 所有標準型式馬達及編碼器都內建於人機介面裡面, 一點就通 服務 透過 HIWIN 完整的全球據點, 隨時提供即時的技術 服務 01

4 公司簡介 mega-fabs 為以色列專業運動控制的廠商, 提供半導體及軍事應用之最先進控制系統服務, 客戶包括次奈米之半導體晶圓檢測應用, 提供小至 0.4nm 微振動以下之超高精密運動控制驅動器 D1 系列驅動器, 採用 mega-fabs 之控制技術, 實現 高性價比之完整馬達驅動器方案 10nm 3-Axis Motion Control Box - Amadeus 伺服穩定度 0.4nm 02

5 工業標準控制介面 脈波命令 ( 單端與差動信號皆可 ) Pulse/Direction CW/CCW A/B LCD 顯示窗提供隨時之狀態監測及顯示錯誤訊息的功能, 由面板按鍵可快速設定增益並試運轉 +/-10V 電壓命令控制速度 轉矩 / 力量模式 PWM 命令控制速度 轉矩 / 力量模式 I/O 控制 獨立作業模式 操作容易 - 功能導向的軟體介面 直接在電腦上設定 監看 分析 簡單設置 - 試運轉只需要三個步驟 選擇馬達型號與模式 支援 HIWIN 及多家廠商之馬達 支援獨立操作模式 自動計算增益 性能調適 自動顯示整定時間 自動計算速度漣波 縮短使用者調機時間 調適完成 相位初始化 03

6 多功能人機介面 精度提升功能為了提升系統的定位精度,D1 具備建立誤差補償表之功能 您能在雷射干涉儀量測後, 將其定位誤差表建入 D1 內, 使該系統達到高定位精度 類比編碼器可解析至奈米以下之解析度使用類比編碼器時, 您可任意設定其解析度,D1 實現奈米以下精密控制 最佳化工具 D 1 提供一個強大又容易上手的最佳化工具 您可以使用閉迴路頻率響應功能, 在 PC 顯示出系統真實響應圖, 您則可依響應圖輕易設定系統之最佳增益值, 即使初次使用者也可輕易上手 先進的增益排程功能最佳化工具設定增益後, 若需再調整, 您只需調整共用增益值 另外, 系統運動過程中, D 1 更提供人性化的增益調整功能, 您可再依運動階段調整增益, 如移動階段 整定階段 到位階段,D1 會依比例調整增益 分析工具解決系統共振問題,D1 除了提供濾波器設計改善系統的控制性能外, 更具備快速傅立葉轉換 (FFT) 等數學運算模式, 您可使用功能輕易計算出系統之共振頻, 使濾波器設計上更加精確 多樣化的 I/O 功能因應大量不同的功能, 您可自由配置各 I/O 腳位的功能以及硬體介面的需求, 滿足在腳位設定以及因應各種不同控制系統之硬體介面的需求 04

7 誤差補償 D1 驅動器提供編碼器回授誤差補償功能, 並且提供高達 點的補償表建置 藉由此功能的幫助在任何控制模式都可以讓系統的定位精度達到最佳化 45 Accuracy : Bi-Dir Rep. : Renishaw Analysis - 線性目標 ( 毫米 ) 誤差 ( 微米 ) Renishaw Analysis 補償前 ACC Renishaw Analysis ACC 45 Accuracy : Bi-Dir Rep. : Renishaw Analysis - 線性目標 ( 毫米 ) 誤差 ( 微米 ) 補償後 電子齒輪比與 Encoder Emulator D1 驅動器提供許多彈性功能, 例如電子齒輪比功能可以幫助使用者調整上位控制器脈波指令的解析度, 得以和各式位置編碼器不同的解析度做搭配 ; 更進一步地,D1 驅動器也可以調整輸出給上位控制器的模擬位置編碼器的解析度, 得以搭配不同上位控制器的接收功能 1 um D1 Driver Electronic Gear Host Controller Electronic Emulator Interpolator 1 um 40 nm 40 um 05

8 抑振濾波器 可除去馬達移動過程中所發生的振動頻率, 可抑制機構所造成之震動, 提高機台的生產能力 無抑振濾波器 有抑振濾波器 即時圖形示波器 D1 驅動器人機軟體 Lightening 提供即時的圖形示波器, 其最多可顯示 8 個頻道, 可媲美市面販售的示波器, 觀察所有重要的物理量, 包含位置 速度 電流控制迴路的命令 回授及誤差等 30 多個參數即時波形的顯示, 可協助使用者在進行調機的過程中, 達到控制性能的最佳化 Data collection 可提供使用者分析所得到的信號, 例如加 減 微分 積分運算功能, 更有 FFT 濾波器等強大的信號處理功能 另外, 可無限時間擷取即時控制資料, 對於偵錯相當有幫助 06

9 週邊系統接線 主電源地線 LCD 伺服狀態顯示器 電源濾波器 ( 選購 ) LED 狀態顯示燈 PC 馬達動力端 抗干擾磁環 ( 選購 ) 上位控制器 回生電阻 ( 選購 ) 馬達編碼器端 抗干擾磁環 ( 選購 ) DC24V 24V 電源輸入 07

10 D1 驅動器配件選配表 名稱 型號 說明 通信線 RS232 通信線 LMACR21D 2m 長, 驅動器端為 RJ11 接頭 接頭配件包 接頭配件包 ( 不含 CN3 接頭 ) D1-CK1 內含 CN2 回生電阻 24V 控制電源 AC 電源接頭 接頭配件包 ( 含 CN3 接頭 ) EMC 配件包 D1-CK2 內含 CN2 CN3 回生電阻 24V 控制電源 AC 電源接頭 EMC 配件包 ( 單相 ) D1-EMC1 單相濾波器 FN 與抗干擾磁環 EMC 配件包 ( 三相 ) D1-EMC2 三相濾波器 FN 與抗干擾磁環 回生電阻回生電阻 額定功率 100W, 瞬間功率 500W 散熱片外掛散熱片 D1-H1 標準 外掛散熱片 D1-H2 小型 控制線 控制信號線 LMACK30R 3m 長, 連接上位控制器用的信號線, 信號線控制器端為散線, 可自行依上位控制器接頭做焊接 控制信號線 LMACK A 連接 ACS SPiiPlus SA 控制器用信號線 訊號轉換電路板 STDO 端子台 HP00STDO4TB4 當上位控制器只能送單端訊號到驅動器, 建議在上位驅動器命令端加上此訊號轉換電路板, 讓訊號不受雜訊干擾 電源濾波器 抗干擾磁環 STDO 端子台回生電阻 08

11 D1 應用範圍 PCB 板檢測機 晶圓檢測機 雷射加工機 工業機器人 精密機械加工機 大小型面板檢測機 倉儲定位系統 光學檢測機 機器手臂控制 工業控制應用 09

12 美國芝加哥 矽谷 HIWIN USA CHICAGO SILICON VALLEY, U.S.A. 瑞士蘇黎士 HIWIN SCHWEIZ ZURICH, SWITZERLAND 以色列海法 Mega-Fabs Motion Systems, Ltd. HAIFA, ISRAEL 大銀微系統股份有限公司 HIWIN MIKROSYSTEM CORP 台中市精密機械園區精科路 7 號 Tel : (04) Fax: (04) business@mail.hiwinmikro.com.tw 德國歐芬堡 HIWIN GmbH OFFENBURG, GERMANY 日本神戶 東京名古屋 九州 HIWIN JAPAN KOBE TOKYO NAGOYA KUMAMOTO, JAPAN 捷克布爾諾 HIWIN S.R.O. BRNO, CZECH 法國雷格勒 HIWIN FRANCE L AIGLE, FRANCE 英國卡文垂 Matrix Machine Tool COVENTRY, UK 本型錄的內容規格若有變更, 恕不另行通知 2011 FROM D01DC (PRINTED IN TAIWAN)

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