第 3 期 楚 中 毅, 等 : 双 重 驱 动 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人 系 统 的 研 究 457 稳 定 时 间 所 以, 抑 制 轻 质 柔 性 机 器 人 的 振 动, 提 高 系 统 位 置 分 辨 率 和 精 密 定 位 精 度, 实 现 高 速 高 精 度 操 作 是

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1 第 14 卷 2006 年 6 月 第 3 期 光 学 精 密 工 程 OpticsandPrecisionEngineering Vol.14 No.3 Feb.2006 文 章 编 号 X(2006) 双 重 驱 动 2 犇 犗 犉 平 面 并 联 机 器 人 系 统 的 研 究 楚 中 毅 1, 崔 晶 2, 孙 立 宁 3, 曲 东 升 3 (1. 清 华 大 学 计 算 机 科 学 与 技 术 系, 北 京 ;2. 清 华 大 学 精 密 仪 器 系, 北 京 ; 3. 哈 尔 滨 工 业 大 学 机 器 人 研 究 所, 黑 龙 江 哈 尔 滨 ) 摘 要 : 研 制 了 一 种 新 颖 的 高 速 高 精 度 柔 性 机 器 人 机 构 采 用 高 速 精 密 直 线 电 机 驱 动 2 DOF 平 面 并 联 压 电 智 能 杆 机 构, 针 对 柔 性 机 器 人 机 构 的 振 动 问 题, 以 直 线 伺 服 电 机 作 为 机 器 人 的 主 驱 动 源 实 现 高 速 精 密 点 位 控 制 并 采 用 脉 冲 整 形 技 术 减 小 末 端 残 余 振 动, 以 压 电 陶 瓷 作 为 从 驱 动 源 采 用 闭 环 反 馈 控 制 策 略 抑 制 末 端 残 余 振 动 实 验 研 究 和 测 试 结 果 表 明 : 机 器 人 系 统 的 最 大 加 速 度 为 2g, 稳 定 时 间 小 于 150ms, 重 复 定 位 精 度 小 于 ±5μm, 实 现 了 高 速 高 精 度 的 点 位 控 制 关 键 词 : 柔 性 机 器 人 ; 振 动 抑 制 ; 双 重 驱 动 中 图 分 类 号 :TP242 文 献 标 识 码 :A 犚 犲 狊 犲 犪 狉 犮 犺 狅 犳 犪 狀 狅 狏 犲 犾 犱 狌 犪 犾 犱 狉 犻 狏 犲 狀 2 犇 犗 犉 狆 犾 犪 狀 犪 狉 狆 犪 狉 犪 犾 犲 犾 狉 狅 犫 狅 狋 CHUZhong yi 1,CUIJing 2,SUN Li ning 3,QU Dong sheng 3 (1. 犇 犲 狆 犪 狉 狋 犿 犲 狀 狋 狅 犳 犆 狅 犿 狆 狌 狋 犲 狉 犛 犮 犻 犲 狀 犮 犲 犪 狀 犱 犜 犲 犮 犺 狀 狅 犾 狅 犵 狔, 犜 狊 犻 狀 犵 犺 狌 犪 犝 狀 犻 狏 犲 狉 狊 犻 狋 狔, 犅 犲 犻 犼 犻 狀 犵 , 犆 犺 犻 狀 犪 ; 2. 犇 犲 狆 犪 狉 狋 犿 犲 狀 狋 狅 犳 犘 狉 犲 犮 犻 狊 犻 狅 狀 犐 狀 狊 狋 狉 狌 犿 犲 狀 狋, 犜 狊 犻 狀 犵 犺 狌 犪 犝 狀 犻 狏 犲 狉 狊 犻 狋 狌 狔, 犅 犲 犻 犼 犻 狀 犵 , 犆 犺 犻 狀 犪 ; 3. 犚 狅 犫 狅 狋 犻 犮 狊 犐 狀 狊 狋 犻 狋 狌 狋 犲, 犎 犪 狉 犫 犻 狀 犐 狀 狊 狋 犻 狋 狌 狋 犲 狅 犳 犜 犲 犮 犺 狀 狅 犾 狅 犵 狔, 犎 犪 狉 犫 犻 狀 , 犆 犺 犻 狀 犪 ) 犃 犫 狊 狋 狉 犪 犮 狋 :Anovelhighspeed/highprecisionrobotwithtwopermanentlinearmotorsdriveda2 DOF planarparalelpiezosmartmechanism wasproposed.bytakingalinearmotorsasmasterdrivertore alizefastprecisionpositioninginlargedisplacementmotionandbypreshapinginputcommandtech niquetosuppressvibration,andusingapiezoasslavedriverandclosedloopfeedbackcontrolertore strainresidualvibration,thedualdrivingstructurecouldsupressthevibrationofrobotidealy.ex perimentresultsindicatethatthisapproachrealizeshighperformancepoint to pointcontrolprecisely, themaximumaccelerationis2g,steadytimeislessthan150ms,andrepeatabilityislessthan ±5μm. 犓 犲 狔 狑 狅 狉 犱 狊 :flexiblerobot;vibrationcontrol;dualdriving 1 引 言 随 着 机 器 人 应 用 领 域 的 不 断 扩 大, 人 们 不 仅 要 求 机 器 人 具 有 质 量 轻 载 荷 / 自 重 比 高 能 耗 低 等 特 点, 而 且 还 要 求 其 能 够 快 速 精 密 的 定 位, 从 而 对 机 器 人 机 构 的 设 计 提 出 了 更 高 意 义 上 的 要 求 然 而, 运 动 速 度 和 加 速 度 的 不 断 增 大, 使 得 机 器 人 惯 性 力 增 大 ; 而 杆 件 轻 型 化, 又 使 其 在 高 速 运 动 时 不 可 避 免 地 产 生 振 动, 从 而 降 低 系 统 精 度 并 延 长 收 稿 日 期 : ; 修 订 日 期 : 基 金 项 目 : 国 家 863 计 划 资 助 (No.2001AA423110)

2 第 3 期 楚 中 毅, 等 : 双 重 驱 动 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人 系 统 的 研 究 457 稳 定 时 间 所 以, 抑 制 轻 质 柔 性 机 器 人 的 振 动, 提 高 系 统 位 置 分 辨 率 和 精 密 定 位 精 度, 实 现 高 速 高 精 度 操 作 是 柔 性 机 器 人 研 究 的 主 要 问 题 柔 性 机 器 人 机 构 抑 振 主 要 有 两 种 方 法 : 被 动 抑 振 和 主 动 抑 振 被 动 抑 振 通 常 是 指 系 统 的 被 动 阻 尼 设 计, 其 目 标 就 是 最 大 程 度 地 吸 收 并 耗 散 所 [1] 关 心 频 段 内 模 态 的 应 变 能 这 种 方 法 虽 然 在 一 定 程 度 上 减 少 了 机 器 人 的 振 动, 但 仍 存 在 着 诸 多 缺 点 : 被 动 减 振 器 件 的 体 积 较 大, 增 大 了 机 器 人 机 构 的 体 积 和 重 量, 受 到 操 作 空 间 的 限 制 ; 不 能 自 动 适 应 不 确 定 因 素 引 起 的 振 动, 当 工 作 环 境 操 作 负 载 等 发 生 变 化 时, 不 能 自 动 调 整 参 数 以 适 应 外 界 的 变 化 主 动 抑 振 方 法 克 服 了 上 述 缺 点, 其 与 被 动 抑 振 的 区 别 在 于 它 是 一 种 有 源 控 制, 具 有 明 显 的 反 馈 回 路 用 于 主 动 抑 振 的 智 能 结 构 中, 多 用 压 电 [2] 材 料 作 传 感 器 和 驱 动 器, 将 其 贴 于 梁 板 壳 等 结 构 元 件 的 表 面 或 嵌 入 内 部, 在 受 到 交 变 电 场 的 [3 4] 作 用 时, 产 生 交 变 的 伸 缩 变 形, 当 它 与 由 于 结 构 振 动 而 引 起 的 变 形 相 反 时, 产 生 控 制 作 用, 从 而 抑 制 结 构 振 动 [5] 此 外, 输 入 指 令 整 形 减 振 技 术 作 为 一 种 简 单 实 用 的 开 环 控 制 方 法 在 柔 性 机 构 的 抑 振 中 得 到 了 大 量 的 应 用 它 通 过 对 输 入 系 统 的 指 令 信 号 进 行 整 形 处 理, 将 系 统 的 指 令 输 入 和 脉 冲 序 列 进 行 卷 积, 产 生 一 个 整 形 后 的 输 入 来 实 现 振 动 抑 制 的 目 的 本 文 针 对 IC 制 芯 关 键 装 备 IC 后 封 装 设 备 对 高 速 高 精 度 作 业 系 统 的 需 求, 研 制 出 一 种 结 构 紧 凑 简 单 实 用 的 新 型 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人, 即 采 用 直 线 电 机 驱 动 平 面 并 联 压 电 智 能 杆 机 构 该 系 统 采 用 直 线 电 机 作 为 机 器 人 的 主 驱 动 源 实 现 高 速 精 密 点 位 控 制 并 采 用 脉 冲 整 形 技 术 减 小 末 端 残 余 振 动, 以 压 电 陶 瓷 作 为 从 驱 动 源 采 用 闭 环 反 馈 控 制 策 略 抑 制 末 端 残 余 振 动 最 后 进 行 了 实 验 研 究 和 系 统 测 试, 结 果 表 明, 基 于 双 重 驱 动 思 想 可 以 有 效 抑 制 柔 性 机 器 人 机 构 的 残 余 振 动, 实 现 高 速 高 精 度 的 点 位 控 制 2 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人 系 统 及 其 模 型 [6] 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人 机 构 如 图 1 所 示, 采 用 两 直 线 电 机 驱 动 一 平 面 并 联 杆 机 构, 直 线 电 机 的 位 置 反 馈 信 号 由 内 部 光 栅 提 供, 压 电 陶 瓷 作 为 驱 动 器 对 称 粘 贴 于 两 并 联 杆 中 部 两 侧, 电 阻 应 变 片 作 为 传 感 器 测 量 该 处 的 变 形 情 况, 构 成 一 典 型 的 压 电 智 能 结 构, 使 其 具 有 一 定 的 驱 动 和 测 量 功 能, 充 分 体 现 了 驱 动 机 构 测 量 一 体 化 的 设 计 思 想 该 系 统 的 结 构 框 图 如 图 2 所 示 图 1 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人 Fig.1 2 DOFplanarparalelrobot 图 2 系 统 结 构 框 图 Fig.2 Structuraldiagram 采 用 有 限 元 分 析 方 法, 通 过 引 入 单 元 位 移 和 电 势 的 场 函 数, 依 据 Hamilton 虚 功 原 理, 可 建 立 [7] 智 能 结 构 的 动 力 学 方 程 : 犕 0 狌 犆 0 狌 犓 狌 犓 狌 犞 狌 犉 狊 [ ] 0 0 { 犞 } + [ ] 0 0 { 犞 } + [ 犜 ] 犓 狌 犞 犓 { } = 犞 犞 犌 式 中 : 犕 质 量 矩 阵 ; 犆 阻 尼 矩 阵 犓 狌 狌 结 构 刚 度 矩 阵 犓 狌 犞 压 电 耦 合 矩 阵 犓 犞 犞 介 电 系 数 矩 阵 { },(1)

3 458 光 学 精 密 工 程 第 14 卷 狌 犞 系 统 的 结 点 位 移 和 电 势 向 量 采 用 Guyan 凝 聚 方 法, 将 电 势 自 由 度 凝 聚 掉, 可 得 修 正 后 的 系 统 动 力 学 方 程 : [ 犕 ]{ 狌 }+[ 犆 ]{ 狌 }+[ 犓 ]{ 狌 }={ 犉 狊 }+{ 犉 狆 }, (2a) -1 犜 [ 犓 ]=[ 犓 狌 ]-[ 犓 狌 犞 ][ 犓 犞 ][ 犓 狌 犞 ].(2b) 其 中,{ 犉 狆 } 是 智 能 结 构 的 电 载 荷 部 分 电 阻 应 变 片 的 传 感 方 程 为 : [ 犅 狌 ]= ε=[ 犅 狌 ]{ 狌 } 犡 熿 狓 0 狔 0 0燄 狕 狌 犜 [ 犖 ], (3) 0 狔 狓 0 狕 狔 0 燀 狕 狓 燅 狌 下 标 犡 为 应 变 片 粘 贴 的 位 置, 犖 对 应 位 移 型 函 数 对 式 (2) 作 变 换 { 狌 }=[ ]{ η }, (4) 将 式 (2) 转 化 到 模 态 空 间, 在 比 例 阻 尼 情 况 下, 可 得 智 能 结 构 的 平 衡 方 程 : { η}+[λ]{ η }+[Ω]{ η }={ 犉 }+{ 狊 犉 },(5) 狆 犜 犜 { 犉 }=[ ] 狊 { 犉 狊 },{ 犉 }=[ ] 狆 { 犉 狆 }.(6) 式 中 [ ] 模 态 向 量 ; { η } 与 之 对 应 的 模 态 坐 标 ; [Ω]= 犱 犻 犪 犵 {ω 2 1} 系 统 固 有 频 率 矩 阵 ; [Λ]= 犱 犻 犪 犵 {2ξ 犻 ω 犻 } 系 统 模 态 阻 尼 矩 阵 ; 犉 狊 系 统 模 态 力 ; 犉 狆 模 态 控 制 力 模 态 坐 标 下 电 阻 应 变 片 的 传 感 方 程 为 : 狀 狀 ε= [ 犅 ] 狌 犽 ( 犡 ) η 犽 ( 狋 )= 犎 犽 η 犽 犽 =1 犽 =1 犎 犽 =[ 犅 狌 ] 犽 ( 犡 ), (7) 当 采 用 闭 环 反 馈 控 制 时, 电 载 荷 可 以 看 成 反 馈 控 制 力 考 虑 智 能 结 构 及 其 控 制 系 统 的 特 点, 本 系 统 采 用 比 例 反 馈 和 微 分 反 馈 两 种 控 制 律, 基 于 模 态 控 制 理 论 方 法, 仅 对 系 统 前 狀 犮 阶 模 态 进 行 控 制, 由 式 (6 7) 可 得 实 际 比 例 微 分 控 制 器 的 增 益 描 述 的 模 态 控 制 力 参 数 : 狀 犮 犜 { 犉 }=[ ] 狆 ( 犓 狆 犽 - 犓 犱 犽 犱 /d 狋 )[ 犅 狌 ] 犽 =1 犽 ( 犡 ) η 犽 =-[ 犓 狆 ]{ η }-[ 犓 犱 ]{ η }, (8) 式 中, 犓 狆 犓 犱 分 别 为 比 例 微 分 反 馈 增 益 系 数 将 式 (8) 代 入 到 式 (5) 整 理 后 可 得 : { η}+([λ]+[ 犓 犱 ]){ η }+ ([Ω]-[ 犓 狆 ]){ η }={ 犉 狊 }, (9) 由 上 式 可 得, 采 用 比 例 反 馈 控 制 规 律, 相 当 于 在 原 系 统 的 刚 度 阵 上 加 了 一 个 修 正 项, 调 整 [ 犓 狆 ] 会 改 变 系 统 的 刚 度 阵, 从 而 改 变 智 能 结 构 的 动 态 特 性, 达 到 结 构 振 动 抑 制 的 目 的 采 用 微 分 反 馈 控 制 律 后, 系 统 的 阻 尼 项 由 两 项 组 成, 一 项 是 智 能 结 构 本 身 的 模 态 阻 尼, 另 一 项 是 由 反 馈 控 制 力 引 起 的 等 效 阻 尼 调 整 [ 犓 犱 ] 会 改 变 系 统 的 总 阻 尼, 从 而 改 变 结 构 的 瞬 态 响 应, 达 到 结 构 振 动 抑 制 的 目 的 3 控 制 系 统 设 计 机 器 人 主 驱 动 源 采 用 快 速 精 密 的 直 线 电 机, 避 免 了 滚 珠 丝 杠 ( 齿 轮 减 速 器 ) 等 传 动 机 构 中 的 反 向 间 隙 惯 性 和 刚 度 不 足 等 缺 点, 可 获 得 高 速 高 精 度 的 位 移 运 动 但 由 于 直 线 电 机 是 直 接 驱 动 型 的, 推 力 波 动 摩 擦 力 等 非 线 性 因 素 会 对 控 制 性 [8 9] 能 产 生 较 大 影 响 为 解 决 这 些 问 题, 本 系 统 引 入 扰 动 观 测 器 进 行 扰 动 补 偿, 抑 制 外 部 扰 动 的 影 [10] 响 直 线 电 机 控 制 器 的 结 构 框 图 如 图 3 所 示, 控 制 器 由 前 馈 环 节 和 反 馈 环 节 构 成 整 形 器 设 计 在 前 馈 环 中, 反 馈 控 制 器 由 速 度 环 和 位 置 环 构 成, 均 采 用 比 例 控 制 律 速 度 信 号 通 过 位 置 差 分 获 得, 扰 动 观 测 器 设 计 在 速 度 环 中, 保 证 控 制 器 具 有 良 好 的 速 度 响 应, 同 时 可 对 外 部 扰 动 进 行 有 效 抑 制 图 3 直 线 电 机 控 制 器 结 构 框 图 Fig.3 Controleroflinearmotor 系 统 以 压 电 陶 瓷 作 为 从 驱 动 源, 采 用 电 阻 应

4 第 3 期 楚 中 毅, 等 : 双 重 驱 动 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人 系 统 的 研 究 459 变 片 的 测 量 信 号 作 为 反 馈, 采 用 经 典 PD 控 制 器 对 压 电 陶 瓷 进 行 闭 环 反 馈 控 制 3.1 输 入 指 令 整 形 技 术 的 减 振 原 理 及 整 形 器 的 设 计 为 描 述 简 单, 假 设 只 考 虑 系 统 一 阶 模 态 影 响, 即 认 为 系 统 是 一 简 单 的 二 阶 振 荡 环 节 二 阶 环 节 均 具 有 两 个 共 轭 极 点, 其 对 脉 冲 响 应 的 输 出 为 衰 减 的 正 弦 波 形, 如 图 4(a) 所 示, 其 表 达 式 为 : ω0 -ζω ( 0 狋 - 狋 ) 0 [ ] 狔 ( 狋 )= 犃 犲 2 槡 1.0-ζ ( ) sin ω0 槡 ζ ( 狋 - 狋 0), (10) 式 中 犃 输 入 脉 冲 的 幅 值 ; ω0 被 控 对 象 的 无 阻 尼 固 有 频 率 ; ζ 被 控 对 象 的 阻 尼 比 ; 狋 0 输 入 脉 冲 发 生 的 时 刻 为 消 除 振 荡, 如 图 4(b) 所 示, 可 在 第 一 个 脉 冲 输 入 信 号 ( 即 输 入 指 令 信 号 的 瞬 时 值 ) 结 束 后 的 半 个 振 动 周 期 的 时 刻 再 输 入 一 个 脉 冲 信 号, 如 果 控 制 这 个 滞 后 的 脉 冲 信 号 与 前 一 个 脉 冲 信 号 的 振 动 幅 度 差 正 好 是 第 一 个 脉 冲 经 过 半 个 振 荡 周 期 后 的 衰 减 量, 那 么 如 图 4(c) 所 示, 两 个 脉 冲 响 应 叠 加 后, 系 统 在 第 二 个 脉 冲 输 入 结 束 后 可 实 现 无 振 动 运 动, 这 就 是 输 入 指 令 整 形 技 术 的 减 振 原 理 式 中 犅 犼 表 达 式 (10) 中 正 弦 项 的 系 数 ; 狋 犼 对 应 脉 冲 发 生 的 时 刻 ; ω 固 有 频 率 要 使 脉 冲 序 列 输 入 结 束 后 系 统 实 现 无 振 动 运 动, 要 求 正 弦 响 应 的 幅 度 犃 amp 在 脉 冲 序 列 结 束 时 刻 狋 犖 衰 减 为 零, 即 : 犅 1cos 1+ 犅 2cos 2+ + 犅 犖 cos 犖 =0, (12a) 犅 1sin 1+ 犅 2sin 2+ + 犅 犖 sin 犖 =0, (12b) ω -ζω( 狋 犅 犼 = 犃 犼 犲 犖 - 狋 犼 ). (12c) 2 槡 1.0-ζ 如 果 选 择 犖 个 脉 冲 组 成 的 输 入 信 号, 那 么 方 程 组 (12) 含 有 犖 项 对 于 两 脉 冲 输 入 的 情 况, 公 式 (12) 中 仅 包 括 两 项 如 果 选 择 第 一 个 脉 冲 发 生 的 时 刻 狋 1 为 时 间 零 点, 那 么 公 式 (12) 中 的 两 个 未 知 数 狋 2 和 犃 2 就 可 以 求 得, 方 程 式 的 解 就 生 成 了 如 图 5 所 示 的 脉 冲 序 列 如 此 生 成 的 脉 冲 整 形 器 称 之 为 ZV(VibrationZero) 输 入 整 形 器, 类 似 [5] 也 可 得 到 多 脉 冲 输 入 的 整 形 器 结 构 通 过 以 上 分 析 可 以 看 出, 整 形 器 的 设 计 关 键 在 于 确 定 两 个 参 数 : 系 统 固 有 频 率 和 阻 尼 比, 并 由 此 可 以 确 定 参 数 犓 和 Δ 犜 图 5 ZV 整 形 器 的 设 计 Fig.5 DesignofZVshaper 图 4 输 入 指 令 整 形 技 术 减 振 原 理 Fig.4 Principlesofinputpreshapingcommand 采 用 数 学 符 号 来 描 述 图 4 的 结 果, 即 将 两 个 分 别 由 公 式 (10) 表 达 的 脉 冲 响 应 相 叠 加, 类 似 地, 对 于 犖 个 脉 冲 输 入 的 振 动 幅 值 响 应 可 以 表 示 为 : 犃 amp= 犖 犖 2 2 ( 犅 犼 cos 犼 ) + ( 犅 犼 sin 犼 ), 犼 =1 犼 =1 (11a) 槡 犼 =ω 槡 10-ζ 2 狋 犼, (11b) 3.2 扰 动 观 测 器 扰 动 观 测 器 如 图 6 所 示, 其 中 狌, 犱, 狀 和 狏 分 别 为 指 令, 扰 动, 噪 声 和 输 出 信 号 珟 犱 和 犱 犳 分 别 为 低 通 滤 波 器 犙 滤 波 前 后 的 扰 动 估 计, 犌 狀 ( 狊 ) 为 系 统 的 标 称 模 型, 一 般 为 实 际 系 统 犌 狆 ( 狊 ) 的 低 阶 近 似 模 型 通 常, 实 际 系 统 中 的 时 间 延 迟 不 包 含 在 该 标 称 模 型 基 于 低 通 性 能 与 稳 定 性 考 虑, 一 般 采 用 三 阶 低 通 滤 波 器, 其 形 式 为 : 犙 ( 3τ 狊 +1 狊 )= τ 3 狊 3 +3τ 2 狊 2 +3τ 狊 +1, ( 13)

5 460 光 学 精 密 工 程 第 14 卷 道 中 心 矩 犛 =140mm 经 试 验 测 试, 速 度 环 约 有 0.9~1.1ms 的 时 间 延 迟, 为 此 在 扰 动 观 测 器 的 设 计 中 引 入 2 个 单 位 时 间 延 迟, 低 通 滤 波 器 的 带 宽 为 125Hz 图 6 扰 动 观 测 器 Fig.6 Disturbanceobserver 为 减 小 时 间 延 迟 对 扰 动 观 测 器 带 宽 的 影 响, 本 系 统 在 离 散 域 内 对 扰 动 观 测 器 进 行 设 计 考 虑 系 统 中 的 时 间 延 迟, 被 控 对 象 可 表 示 为 : 犌 狀 ( 狕 -1 )= - 狆 狕 -1 犅 狀 ( 狕 ) -1 犃 狀 ( 狕 ), ( 14) 低 通 滤 波 器 犙 ( 狊 ) 采 用 双 线 性 变 换 离 散 化, 得 到 的 离 散 形 式 的 扰 动 观 测 器 如 图 7(a) 所 示, 实 际 [11] 应 用 中 采 用 其 等 效 的 实 现 形 式, 如 图 7(b) 所 示 表 1 柔 性 杆 和 压 电 陶 瓷 的 物 理 参 数 Tab.1 ParametersofflexiblelinkandPZT 长 宽 厚 密 度 杨 氏 模 量 (mm) (mm) (mm) (kg/m 3 ) (N/m 2 ) 柔 性 杆 压 电 陶 瓷 (a) 图 7 (b) 离 散 域 内 的 扰 动 观 测 器 Fig.7 Discretedisturbanceobserver 4 实 验 研 究 和 系 统 测 试 实 验 系 统 的 结 构 框 图 如 图 2 所 示, 直 线 电 机 为 Parker 公 司 的 永 磁 无 刷 直 流 伺 服 电 机, 其 位 置 反 馈 采 用 电 机 内 置 的 精 密 光 栅, 分 辨 率 为 0.5 μm, 实 时 控 制 的 采 样 周 期 为 0.5μm 柔 性 杆 和 陶 瓷 片 的 物 理 参 数 见 表 1 直 线 电 机 1 和 2 的 轨 图 8 同 向 运 动 下 杆 末 端 残 余 振 动 的 比 较 Fig.8 Comparisonofresidualvibrationundersame directionmotionofmotors 实 验 中 两 直 线 电 机 采 用 行 程 为 20mm 最 大 速 度 0.5m/s 最 大 加 速 度 2g 的 钟 型 运 动 曲 线 图 8 为 采 用 德 国 polytec 仪 器 测 试 的 振 动 控 制 前 后 末 端 的 残 余 振 动 曲 线, 当 两 电 机 反 向 运 动 时 的 试 验 结 果 见 图 9 从 图 中 可 以 看 出, 采 用 输 入 命 令 整 形 减 振 技 术 和 压 电 陶 瓷 相 结 合 的 抑 振 策 略, 克 服 了 采 用 单 一 输 入 指 令 整 形 技 术 无 法 有 效 抑 制 两 电 机 反 向 运 动 时 残 余 振 动 的 缺 点, 并 进 一 步 提 高 了 单 纯 采 用

6 第 3 期 楚 中 毅, 等 : 双 重 驱 动 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人 系 统 的 研 究 461 示, 采 用 polytec 测 振 仪 对 各 点 位 姿 稳 定 时 间 进 行 测 试, 重 复 3 次 后 取 平 均 值, 各 点 进 入 ±5μm 稳 定 域 的 稳 定 时 间 如 表 3 所 示, 从 表 2 3 可 以 看 出, 系 统 重 复 定 位 精 度 小 于 ±5μm, 稳 定 时 间 从 振 动 抑 制 前 的 430 ms 缩 短 到 振 动 抑 制 后 的 150ms 表 2 重 复 定 位 精 度 ( μ m) Tab.2 Repeatability( μ m) 负 载 犘 1 犘 2 犘 3 犘 4 犘 kg 表 3 位 姿 稳 定 时 间 (ms) Tab.3 Stabletime(ms) 测 试 点 犘 1 犘 2 犘 3 犘 4 犘 5 抑 振 前 抑 振 后 图 9 反 向 运 动 下 杆 末 端 残 余 振 动 的 比 较 Fig.9 Comparisonofresidualvibrationunderre versedirectionmotionofmotors 压 电 陶 瓷 驱 动 的 抑 振 效 果 双 重 驱 动 控 制 下, 两 电 机 同 向 运 动 时 系 统 的 稳 定 时 间 从 振 动 抑 制 前 的 430ms 缩 短 到 40ms; 反 向 运 动 时 从 振 动 抑 制 前 的 640ms 缩 短 到 115ms 最 后 根 据 GB 进 行 了 性 能 测 试, 在 工 作 空 间 的 对 角 线 设 置 5 个 测 试 点, 采 用 德 国 MicroEpsilon 公 司 的 capancdt620 型 非 接 触 式 电 容 测 微 仪 对 各 点 位 姿 重 复 性 进 行 测 试, 根 据 GB/T12642 所 规 定 的 公 式 对 30 次 测 量 数 据 进 行 计 算, 得 到 各 点 重 复 定 位 精 度 如 表 2 所 5 结 束 语 柔 性 机 器 人 机 构 由 于 具 有 轻 质 高 效 低 能 耗 的 特 点, 受 到 人 们 的 普 遍 重 视, 但 其 振 动 问 题 是 影 响 其 性 能 的 关 键 所 在, 本 文 针 对 IC 制 芯 关 键 装 备 IC 后 封 装 设 备 对 高 速 高 精 度 作 业 系 统 的 需 求, 基 于 双 重 驱 动 的 思 想 研 制 出 一 种 新 型 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人, 并 进 行 了 实 验 研 究, 实 验 结 果 证 明 了 采 用 直 线 电 机 和 压 电 陶 瓷 双 重 驱 动 实 现 高 速 高 精 度 点 位 控 制 的 可 行 性 系 统 测 试 结 果 表 明, 2 DOF 平 面 并 联 机 器 人 的 最 大 加 速 度 为 2g, 稳 定 时 间 小 于 150 ms, 重 复 定 位 精 度 小 于 ±5μm, 实 现 了 高 速 高 精 度 的 点 位 控 制 参 考 文 献 : 狋 犺 [1] JOHNSONCD.Designofpassivedampingsystem [J]. 犛 狆 犲 犮 犻 犪 犾 50 犃 狀 犻 狏 犲 狉 狊 犪 狉 狔 犇 犲 狊 犻 犵 狀 犐 狊 狌 犲. 犜 狉 犪 狀 狊 犪 犮 狋 犻 狅 狀 狅 犳 犃 犛 犕 犈,1995,117(1): [2] TZOU H S,ZHONGJP,HOLLKOMPJJ.Spatialydistributedorthigonalpiezoelectricshelactuatortheoryand application[j]. 犑 狅 狌 狉 狀 犪 犾 狅 犳 犛 狅 狌 狀 犱 犪 狀 犱 犞 犻 犫 狉 犪 狋 犻 狅 狀,1998,177(3): [3] 曲 东 升, 荣 伟 彬. 压 电 陶 瓷 微 位 移 器 件 控 制 模 型 的 研 究 [J]. 光 学 精 密 工 程,2002,10(6): QU DSH,RONG W B.Researchonthecontrolmodelofpiezoelectricmicropositioningactuator[J]. 犗 狆 狋 犻 犮 狊 犪 狀 犱 犘 狉 犲 犮 犻 狊 狅 狀 犈 狀 犵 犻 狀 犲 狉 犻 狀 犵,2002,10(6): (inChinese) [4] 张 涛, 孙 立 宁, 蔡 鹤 皋. 压 电 陶 瓷 基 本 特 性 研 究 [J]. 光 学 精 密 工 程,1998,6(5):26 32.

7 462 光 学 精 密 工 程 第 14 卷 ZHANG T,SUNLN,CAIH G.Studyonthecharacteristicsofpiezoelectricelement[J]. 犗 狆 狋 犻 犮 狊 犪 狀 犱 犘 狉 犲 犮 犻 狊 狅 狀 犈 狀 犵 犻 狀 犲 狉 犻 狀 犵,1998,6(5):26 32.(inChinese) [5] SINGER NC,SEERING W P.Preshapingcommandinputstoreducesystemvibration[J]. 犑 狅 狌 狉 狀 犪 犾 狅 犳 犇 狔 狀. 犛 狔 狊. 犕 犲 犪. 牔 犆 狅 狀,1990,112(1): [6] 楚 中 毅. 高 速 高 精 度 平 面 并 联 机 器 人 动 力 学 建 模 及 主 动 抑 振 的 研 究 [D]. 哈 尔 滨 : 哈 尔 滨 工 业 大 学,2004. CHUZH Y. 犇 狔 狀 犪 犿 犻 犮 狊 犿 狅 犱 犲 犾 犻 狀 犵 犪 狀 犱 犪 犮 狋 犻 狏 犲 狏 犻 犫 狉 犪 狋 犻 狅 狀 犮 狅 狀 狋 狉 狅 犾 狅 犳 犺 犻 犵 犺 狊 狆 犲 犱 / 犺 犻 犵 犺 狆 狉 犲 犮 犻 狊 狅 狀 狆 犾 犪 狀 犪 狉 狆 犪 狉 犪 犾 犲 犾 狉 狅 犫 狅 狋 [D].Harbin:HarbinInstituteofTechnology,2004.(inChinese) [7] 孙 立 宁, 楚 中 毅, 曲 东 升, 等. 压 电 智 能 结 构 有 限 元 动 力 方 程 及 其 振 动 主 动 控 制 的 研 究 [J]. 高 技 术 通 讯,2004,14 (11): SUNLN,CHUZH Y,QU DSH, 犲 狋 犪 犾.Researchoffiniteelementdynamicalmodelandactivevibrationcontrolfor piezosmartstructure[j]. 犎 犻 犵 犺 犜 犲 犮 犺 狀 狅 犾 狅 犵 狔 犔 犲 狋 犲 狉 狊,2004,14(11):61 64.(inChinese) [8] ALTERD M,TSAOTC.Controloflinearmotorsformachinetoolfeeddrives:Designandimplementationofop timalfeedbackcontrol[j]. 犃 犛 犕 犈 犑. 犇 狔 狀 犪 犿 犻 犮 犛 狔 狊 狋., 犕 犲 犪 狊., 犆 狅 狀 狋 狉.,1996,118(3): [9] TAN K K,LEET H.Precisionmotioncontrolwithdisturbanceobserverforpulsewidth modulated drivenperma nent magnetlinearmotors[j]. 犐 犈 犈 犜 狉 犪 狀 狊 犪 犮 狋 犻 狅 狀 狊 狅 狀 犕 犪 犵 狀 犲 狋 犻 犮 狊.2003,39(3): [10] 崔 晶. 两 自 由 度 平 面 并 联 机 器 人 控 制 方 法 的 研 究 [D]. 哈 尔 滨 : 哈 尔 滨 工 业 大 学,2004. CUIJ. 犛 狋 狌 犱 狔 狅 狀 2 犇 犗 犉 狆 犾 犪 狀 犪 狉 狆 犪 狉 犪 犾 犲 犾 狉 狅 犫 狅 狋 犮 狅 狀 狋 狉 狅 犾 狊 狔 狊 狋 犲 犿 [D].Harbin:HarbinInstituteofTechnology,2004. (inchinese) [11] 孙 立 宁, 崔 晶, 曲 东 升, 等. 基 于 离 散 型 扰 动 观 测 器 的 直 线 电 机 控 制 研 究 [J]. 机 械 工 程 学 报,2004,40(12): SUNL N,CUIJ,QU DSH, 犲 狋 犪 犾.Researchofdiscrete timedisturbanceobserverforlinearmotor[j]. 犆 犺 犻 狀 犲 狊 犲 犑 狅 狌 狉 狀 犪 犾 狅 犳 犕 犲 犮 犺 犪 狀 犻 犮 犪 犾 犈 狀 犵 犻 狀 犲 狉 犻 狀 犵,2004,40(12): (inchinese) 作 者 简 介 : 楚 中 毅 (1977-), 男, 河 北 清 河 人,2000 年 毕 业 于 哈 尔 滨 工 业 大 学 机 器 人 研 究 所, 现 为 清 华 大 学 计 算 机 科 学 与 技 术 系 博 士 后, 主 要 研 究 方 向 为 机 器 人 动 力 学 及 控 制 等.

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