第 16 卷 2008 年 11 月 第 11 期 光学精密工程 OpticsandPrecisionEngineering Vol.16 No.11 Nov.2008 文章编号 X(2008) 新型的波导矩阵光开关 张鹰 1,2, 孙德贵 3, 金光 1 (1.

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1 第 16 卷 2008 年 11 月 第 11 期 光学精密工程 OpticsandPrecisionEngineering Vol.16 No.11 Nov.2008 文章编号 X(2008) 新型的波导矩阵光开关 张鹰 1,2, 孙德贵 3, 金光 1 (1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 吉林长春 ; 2. 中国科学院研究生院, 北京 ;3. 长春理工大学光电工程学院, 吉林长春 ) 摘要 : 为了实现波导矩阵光开关一对多 多对多的通信方式, 设计了一种新型的多路可用波导矩阵光开关 在分析马赫 曾德尔干涉仪 (MZI) 基本结构的基础上, 定义了两种开关形式 以二者作为结构单元, 设计了 矩阵光开关结构以实现 1 犽 ( 犽 >1) 多路连接的功能 分析了 Banyan 网络中交叉连接损耗与交叉角度的关系, 对 MZI 结构进行了性能模拟和优化, 并由此对整个开关的插入损耗进行了分析 最后, 基于 PLC 技术制作出相应的 MZI 开关单元及 波导 SiO2 光开关实物 测试结果表明,2 2 光开关的插入损耗为 2.25dB,4 4 光开关的插入损耗为 4.3dB, 开关时间均 <1ms, 该类光开关能够很好地实现多路开关的功能 关键词 : 集成光学 ;Banyan 网络 ; 波导矩阵 ; 光开关 ; 氧化硅波导中图分类号 :TN256 文献标识码 :A 犃狀犲狑狋狔狆犲狅犳狅狆狋犻犮犪犾狑犪狏犲犵狌犻犱犲犿犪狋狉犻狓狊狑犻狋犮犺 ZHANG Ying 1,2,SUN De gui 3,JIN Guang 1 (1. 犆犺犪狀犵犮犺狌狀犐狀狊狋犻狋狌狋犲狅犳犗狆狋犻犮狊, 犉犻狀犲犕犲犮犺犪狀犻犮狊犪狀犱犘犺狔狊犻犮狊, 犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿狔狅犳犛犮犻犲狀犮犲狊, 犆犺犪狀犵犮犺狌狀 , 犆犺犻狀犪 ; 2. 犌狉犪犱狌犪狋犲犝狀犻狏犲狉狊犻狋狔狅犳犆犺犻狀犲狊犲犃犮犪犱犲犿狔狅犳犛犮犻犲狀犮犲狊, 犅犲犻犼犻狀犵 , 犆犺犻狀犪 ;3. 犛犮犺狅狅犾狅犳犗狆狋狅犲犾犲犮狋狉犻犮犪犾犈狀犵犻狀犲犲狉犻狀犵, 犆犺犪狀犵犮犺狌狀犝狀犻狏犲狉狊犻狋狔狅犳犛犮犻犲狀犮犲狊犪狀犱犜犲犮犺狀狅犾狅犵狔, 犆犺犪狀犵犮犺狌狀 , 犆犺犻狀犪 ) 犃犫狊狋狉犪犮狋 :Inordertorealizeone to manyandmany to manycommunicationsforopticalwaveguidema trixswitch,anewtypeofopticalwaveguidematrixswitchwasdesigned.twoswitchunitswerede finedonanalysisofthebasicstructureofmach ZehnderInterferometer(MZI).Then,basedonthis twounits,thenewstructuresof2 2and4 4opticalmatrixswitcheswereproposedtorealizethe multiportinterconnectionof1 犽 ( 犽 >1).Theinfluencesoftheintersectionanglesamongwaveguide linksontheintersection inducedopticallossofsystem werestudiedinbanyannetworkandthetotal insertionlossesofsystem werediscussedaftertheperformancesimulationandtheoptimizationofmzi construction.finaly,sio 2 based MZIunits,2 2and4 4opticalmatrixswitcheswerefabricated basedonplanarlightwavecircuit(plc)technology.theexperimentalresultsindicatethatthein sertionlossesof2 2opticalmatrixswitchand4 4opticalmatrixswitchare2.25dBand4.3dB,re spectively,andtheresponsetimeislessthan1 ms.itconcludesthatthistypeofopticalswitchcan 收稿日期 : ; 修订日期 : 基金项目 : 中国科学院 百人计划 光通信器件研究项目

2 第 11 期张鹰, 等 : 新型的波导矩阵光开关 2099 primelyfulfilthemultiportswitchfunction. 犓犲狔狑狅狉犱狊 :integratedoptics;banyannetwork;multiportopticalmatrixswitch;sio 2 waveguide 1 引言 随着现代光通信和密集波分复用技术 (Den sity WavelengthDivision Multiplexing,DWDM) 的迅猛发展, 光开关逐渐成为光通信系统中重要 [1] 的核心部件 光开关是按一定要求将一个通道的光信号转换到另一个通道的器件, 起着上下路信号和多路信号间光路交换的作用 传统机械及现代微机电系统 (Micro Electro MechanicalSys tems,mems) 光开关由于有移动部件, 器件稳定 [2 3] 性和开关速度与波导开关相比较差 平面光 [4 5] 波线路 (PlanarLightwaveCircuit,PLC) 技术利用波导材料的物理效应, 无需移动部件, 器件稳定性好, 集成度高 其中硅基 SiO 2 光波导技术具有与现有成熟的半导体工艺技术兼容性好 传输损耗低 成本低廉等优点, 在构建多端口矩阵光开 [6 8] 关中受到广泛重视和研究 但是, 传统的矩阵光开关是没有共享媒体 ( 通 [9] 信线路在物理上被分开 ) 的空分型开关, 这样一来只能实现一对一的通信方式, 比如在一个用户接收信息的同时其他的用户即无法获取同一信息, 这对信息的及时传递造成不便 因而需要具有多路连接功能的矩阵光开关以实现一对多 多对多的通信方式 通过对 Mach Zehnder 干涉仪 (Mach Ze hnderinterfenmeter,mzi) 的优化设计, 可令其实现功率的平均分配, 利用两种不同的 MZI 单元组成的矩阵网络可实现 1 犽 ( 犽 >1) 的多路连接 本文首先分析并设计了两种 MZI 结构, 并将其作为基本单元组成 的多路可用矩阵光开关 基于 PLC 技术实验制作出相应的波导 SiO 2 光开关, 测试结果表明, 该类光开关插入损耗低, 开关速度快, 体积较小, 能够很好地实现多路开关的功能 2 器件设计及原理 2.1 器件单元结构及原理本文采用的 MZI 的基本结构如图 1 所示, 主 要由两个 3dB 耦合器和两条等长的波导臂组成, 其中一条波导臂上蒸镀金属薄膜, 通过热光效应来改变通过光的相位 由二波导臂产生的相位差可以表示为 :Δφ= 2π λ Δ 狀 犔, 其中,λ 为真空中波长,Δ 狀是加电后引起的折射率变化, 犔为金属薄膜长度 未加电时, 从 1 输入的光经过 3dB 耦合器功率均分进入二波导臂, 二波导臂产生的相位差为零, 经过第二个 3dB 耦合器由 2 输出 ; 若对金属薄膜加电, 使得 Δφ=π, 则从 1 输出 本文把具有这种切换功能的光开关记为光开关 a; 如果加电后使得 Δφ=π/2, 则从 1 2 各输出原光功率的一半, 记为光开关 b, 如图 2 所示 图 1 Mach Zehnder 干涉仪结构 Fig.1 ConstructionofMZI (a) 加电后光信号从 1 输出 (a)afterapplyingvoltage,signalcomesoutfromport1 (b) 加电后光信号功率平分由 1 2 输出 (b)afterapplyingvoltage,signalwithaveragehalf powercomesfromport1 and2 图 2 MZI 单元功能示意图 Fig.2 FunctionofMZIunit 多端口输出光开关设计的 2 2 多端口输出光开关如图 3(a) 所示, 由光开关 a b 共同完成开关动作 它的基本功能是一个输入信号可以有 3 种输出选择 : 功率全部由 1 或 2 输出以及 1 2 平均分配功率输出 ( 此处可设计成不加电时 1 和 2 就能有输出信

3 2100 光学精密工程第 16 卷 号 ) 对于二输入端均有信号的情况, 一个输出端口可以选择任意一个输入信号, 输入与输出之间的开关选择关系在图 3(b) 中给出, 图 3(c) 将之与普通光开关做了比较 从而克服了传统矩阵光开关同一输入信号无法在多端口同时输出的弊端 开关结构分析及设计图 4 给出了 4 4 多端口输出光开关的结构示意图, 它可以很好地实现一入多出的开关功能, 其开关机理与前面 2 2 多端口输出光开关类似, 这里不再赘述 值得指出的是采用该结构不仅可以在任一输出端选择所需信号, 而且对同一输入信号可在不同的输出端同时输出, 从而避免了多个端口对同一信号的竞争 (a) 结构与功能 (a)constructionandfunction (b) 开关状态选择 ( 0 表示没有输出 ) (b)choiceofswitchstate( 0 impliesnooutput) Fig.4 图 多端口输出光开关结构 Construction of4 4 multi port optical switch 本文采取的网络结构为蝶形交叉连接的 (c) 与普通光开关对比 (c)comparisonwithordinaryswitch 图 多端口输出光开关 Fig.3 2 2multi portopticalswitch 若假定 1 2 均有输入信号, 正常情况下 1 2 没有输出 考虑从 1 输入的信号,A 1 不加电时, 进入 B 2 的上端口, 若 B 2 不加电则没有输出 若 B 2 加电则进入 C 的下端口, 由 1 输出 ; 若再对 C 加电则由 2 输出 若对 A 1 加电, 则信号功率平均分配进入 B 1 和 B 2, 对 B 1 不加电而对 B 2 加电, 信号继续进入 C 的上下二入口, 由 1 2 输出同一信号, 只是功率分别减半 这样,2 在 1 接收 1 输入信号的同时也可以获得由 1 输入的信号, Banyan 网络结构, 它既可以克服传统 Crossbar 结构光路损耗一致性差的缺点, 又以较少的联接级数优于光路补偿型 Crossbar 结构, 降低插入损耗 对于基于平面光波线路的光互联网络, 波导间的交叉也会引入光波损耗, 称之为交叉损耗 在 Banyan 网络结构中只存在两种交叉, 即斜波导和直波导交叉以及两反方向斜波导交叉, 交叉角分别为 θbs 和 θbb, 蝶形交叉的特点是同一级上的 θbs 和 θbb 分别相同 在实际连接波导时, 通过合理设计, 可避免两条斜波导和一条直波导同时交叉的情况, 并且使不同级连接的交叉角 θbb 相同, 显然有 θbs=θbb/2, 两种交叉角损耗分别表示为犔 inter(θbs) 和犔 inter(θbb) [10] 本文利用 OptiBPM 软件对交叉角引起的光损耗随交叉角度变化情况进行了仿真, 设定芯层和包层折射率差为 0.75%, 波导截面尺寸为 6.5μm 6.5μm, 结果如图 5 所示 可以看出, 随着波导交叉角度的增大, 交叉引起的损耗迅速减小, 当交叉角 >30 时, 交叉损耗 <0.1dB 本文设计 θbs=30, 此时犔 inter(θbs)=0.09db, 犔 inter

4 第 11 期张鹰, 等 : 新型的波导矩阵光开关 2101 (a)mzi 单元实物图 (4 组 ) (a)chipphotoof2 2opticalswitch 图 5 交叉角损耗随角度变化曲线 Fig.5 Intersection inducedopticallossesversusin tersectionangles (θbb)<0.01db, 在端口数较少时对插入损耗的影响可忽略不计 考虑开关中几个主要的光损耗,Banyan 网络插入损耗可表示为 : 犐犔 BN= 犜犔 inter+ 犜犔 switch+ 犜犔 prop+2 犔 WFC, (1) 其中, 犜犔 inter 为连接波导交叉损耗, 犜犔 switch 为 MZI 开关单元损耗, 犜犔 prop 为波导传输损耗, 犔 WFC 为波导光纤耦合损耗 值得指出的是采用该结构不仅小于普通结构器件体积, 而且通过合理选择驱动电极后获得的 [11] 光开关还是严格无阻塞的 3 器件优化和实验结果 MZI 作为矩阵光开关的基本单元, 其结构和性能对整个光开关器件的结构和性能有很大影响, 本文利用 OptiBPM 软件对 MZI 结构进行了 [12] 性能模拟和优化 取波导截面尺寸为 6.5μm 6.5 μm, 波导芯层和包层的折射率差为 0.75%, 获得的最小 MZI 结构光损耗为 0.41dB 根据仿真计算出该结构 4 4 矩阵光开关的理想系统光损耗为 2.62dB, 此处的仿真并未考虑 犜犔 prop 和犔 WFC 两项 据此, 本文做出了实际 MZI 型 SiO 2 开关单元, 如图 6(a) 所示, 其长度为 12 mm, 在 MZI 的一个波导臂上蒸镀金属钛作为加热器, 加热器长 3.3mm, 宽 20μm 从端口 1 输入 1550nm 的光信号, 两个输出端口光功率随加电功率的变化曲线如图 6(b) 所示 显然, 曲线的峰值对应开关 a 的工作状态, 两曲线的交点对应开关 b 的工作状态 实验中, 得 (b)mzi 单元输出光功率随功耗变化曲线 (b)opticaloutputsversusappliedpowersofmziunit 图 6 MZI 开关单元及其测试结果 Fig.6 MZIunitanditsmeasuredresults 到开关单元 a 的插入损耗为 1.9 db, 串扰为 27dB, 最高功耗为 400 mw; 开关 b 的插入损耗为 2.07dB, 最高功耗为 200mW [13] 满足商业标准的 SiO 2 波导传输损耗为犔 prop=0.1db/cm, 波导 光纤耦合损耗犔 WFC=0.5 db/point 根据前面模拟结果, 理论上开关 a 和开关 b 的插入损耗均为 1.53dB, 而实验结果比理论值略大 造成插入损耗偏大的原因是由于器件解理后未进行抛光处理及光纤与波导对接时存在对准偏差 根据前面所述, 采用 Banyan 网络结构, 以上述 MZI 单元制作 多端口矩阵光开关, 封装后的器件实物如图 7 所示 对 2 2 开关, 输入 nm 的光信号, 得到的插入损耗为 2.25dB, 响应时间为 0.8ms, 串扰为 43dB, 最高功耗为 700 mw 表 1 列出了 4 4 光开关部分通道的插入损耗 偏振相关损耗和串扰的测试结果 其平均插入损耗 (IL) 为 4.3dB, 平均偏振相关损耗 (PDL) 为 0.4dB, 平均串扰 (XT) 为 37dB 器件的插入损耗比理论计算值稍大, 主要原因是

5 光学 202 精密工程 第 6 卷 图 8 给出 了分 别在 530 550 和570nm 波长时 4 4 器件的插入 损耗 随 外 加 功 率 的 变 化 曲线 其 中 光 信 号 从 端 口 2 输 入 从 端 口 4 输 出 可以看出 3 条曲线基本重 合 说 明 其 波 长 一 致 性 很好 最小插入损耗约 4 0dB 2 2 图 8 4 4 开关插入损耗测试结果 b 4 4 F 8 I n n upp dpw f4 4 g 图 7 光开关器件实物图 p w h F 7 D ph fp w h g 器 件 封 装 中 光 纤 与 波 导 件 对 准 不 是 特 别 理 想 4 结 同时 实 验 中 得 到 平 均 开 关 功 率 约 670 mw hnn 开关时间 m 论 利用两种不同的 MZI单 元 组 成 的 矩 阵 网 络 可实现 犽 犽 的 多 路 连 接 完 成 一 对 多 多 表 4 4 光开关测试数据 对多的通信方式 基于 PLC 技术 制作 了 S O2 波 Tb M u dd f4 4p w h 导光开关 采用 Bnyn 网 络 结 构 不 但 降 低 器 件 Chnn 2 3 4 2 2 2 2 3 2 4 IL db 5 6 4 83 4 29 3 96 4 25 4 3 3 89 3 95 db 0 4 0 43 0 53 0 26 0 57 0 34 0 53 0 2 PDL 尺寸而且还是严格无阻塞 的 实 验 中 测 得 的 4 4 矩 阵 光 开 关 平 均 插 入 损 耗 为 4 3dB 开 关 功 率 22 46 29 46 26 62 2 35 67 32 5 29 6 约 670mW hnn 开关时间 m 在530 570nm 波 长 一 致 性 很 好 测 试 结 果 与 仿 真 结 3 46 24 44 4 23 63 XT 4 52 3 53 9 37 93 db 2 果基本吻合 该 类 光 开 关 能 够 很 好 地 实 现 多 路 开 2 2 2 3 22 48 45 6 44 82 37 05 28 7 3 5 42 3 43 64 23 92 2 4 5 40 50 3 35 34 关的功能 为设计 8 8 6 6 等 更 大 规 模 矩 阵 光开关和有效应 用 一 对 多 多 对 多 的 通 信 方 式 提 供了依据 该项工作正在朝进一步降低插入损耗 的方向努力 参考文献 孙德贵 刘志福 HSngT ng 等 自聚焦超晶格波导电光调制器 J 光学 精密工程 2004 2 4 386 392 SUN D G LIU ZH F HOST 犲 狋犪 犾 E p mdu w h f mb dup wgu d J 犗狆狋 犘狉 犲 犮 犻 狊 犻 狅狀犈狀犵 2004 2 4 386 392 nch n 2 SYMSR R A MOOREDF Op MEMSf m J 犕犪 狋 犲 狉 犻 犪 犾 狊犜狅犱犪狔 2002 5 7 8 26 35 3 MIYA T S b dp n w u p nd h m d J 犐犈犈犈 2000 6 38 45 gh

6 第 11 期张鹰, 等 : 新型的波导矩阵光开关 2103 [4] KASAHARA R,YANAGISAWA M,GOH T, 犲狋犪犾..Newstructureofsilica basedplanarlightwavecircuitsfor low powerthermoopticswitchanditsapplicationto8 8opticalmatrixswitch[J]. 犔犻犵犺狋狑犪狏犲犜犲犮犺狀狅犾.,2002,20: [5] EARNSHAW M P,SOOLEJBD,CAPPUZZO M, 犲狋犪犾..8 8opticalswitchmatrixusinggeneralized Mach Ze hnderinterferometers[j]. 犐犈犈犈,2003,15(6): [6] LAIQ,HUNZIKER W,MELCHIOR H.Low powercompact2 2thermoopticsilica on siliconwaveguideswitch withfastresponse[j]. 犐犈犈犈,1998,10(5): [7] EARNSHAW M P,SOOLEJBD,CAPPUZZO M, 犲狋犪犾..Compactlow loss4 4opticalswitchmatrixusingmul timodeinterferometers[j]. 犈犾犲犮狋狉狅狀. 犔犲狋.,2001,37(2): [8] SYAHRIAR A,SYMSRR A.Thermoopticinterferometricswitchesfabricatedbyelectronbeamirradiationofsili ca on silicon [J]. 犑. 犔犻犵犺狋狑犪狏犲犜犲犮犺狀狅犾.,1998,16(5): [9] 行松健一. 光开关与光互连 [M]. 北京 : 科学出版社,2002. XINGSJY. 犗狆狋犻犮犪犾犛狑犻狋犮犺犪狀犱犗狆狋犻犮犪犾犐狀狋犲狉狀犲狋 [M].Beijing:SciencePress,2002.(inChinese) [10] SUN D G,DENG W Y,ESL, 犲狋犪犾..Studyforperformanceofthethermo opticmatrixswitcheswithflexible switchingunitsandbanyannetworks[j]. 犗狆狋犻犮犪犾犈狀犵犻狀犲犲狉犻狀犵,2006,45(1): [11] CHANGF H,GUOJY,HWANGFK.Wide sensenonblockingformulti logdnnetworksundervariousrouting strategies[j]. 犜犺犲狅狉犲狋犻犮犪犾犆狅犿狆狌狋犲狉犛犮犻犲狀犮犲,2006,352: [12] 张燕君, 陈才和, 吴波, 等. 硅微光机械加速度地震检波器中 M Z 光波导干涉仪结构设计 [J]. 光学精密工程, 2006,14(1): ZHANG YJ,CHENC H,WU B, 犲狋犪犾..StructuredesignofMach Zehnderinterferometerinelectroopticinte gratedaccelerationseismicgeophone[j]. 犗狆狋. 犘狉犲犮犻狊犻狅狀犈狀犵.,2006,14(1):77 82.(inChinese) [13] KAWACHIM.Silicawaveguidesonsiliconandtheirapplicationtointegrated opticcomponents[j]. 犗狆狋犙狌犪狀狋犈 犾犲犮狋,1990,22: 作者简介 : 张鹰 (1978-), 男, 吉林长春人, 在读博士, 主要从事光波导器件 光开关及光学设计等方面的研究 E mail:eagle1978@sina.com. 导师简介 : 孙德贵 (1962-), 男, 教授, 博士生导师, 主要从事集成光学方面的研究 E mail:deguisun_b@yahoo.com 下期预告 惯性冲击驱动管内移动机器人 刘品宽, 温志杰, 李 ( 上海交通大学机械与动力工程学院, 上海 ) 锦 设计了一种以压电双层膜为基本结构的管内移动机器人 通过惯性冲击原理达到运动驱动的目的 该机器人的基本结构由一个典型的压电双层膜结构 惯性质量串联构成 工作时, 压电双层膜的变形由惯性冲击转化为整体结构的直线位移 从理论上详细分析了惯性冲击原理的核心问题 : 惯性冲击力与管壁 机器人之间的摩擦力的关系, 并通过 MATLAB 和 ANSYS 等软件对整个系统的动态响应做出了仿真 相关的验证表明, 所提出的管内移动机器人运动步长可以达到 0.15μm, 具有精密运动和高效率的优点, 可以在工业中广泛应用

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