纳米直线直线直线无比紧凑的先进直线工作台系列! 纳米直线为采用磁动方式的截面高度极低的直线工作台可动工作台的导向部采用小型直线导轨设备领域评价颇高的直线导轨或交叉滚子直线导轨, 通过搭配直线和高分解能线性, 实现了高精度定位通过采用高性能钕磁石, 可获得大推力, 虽然是极小型, 也可实

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部牛贡
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1 ( V H XZ XZH) Ⅱ-9 Ⅱ-

通过搭配直线和高分解能线性, 实现了高精度定位通过采用高性能钕磁石, 可获得大推力, 虽然是极小型, 也可实现高速高响应性定位此外,

最大推力额定推力最大可搬质量有效行程长度分解能最高速度 ( ) N N kg mm μm mm/s........ 重复定位精度 μm ±.

.. 拾取 & 定位单元 XZ XZ..... 高推力拾取 & 定位单元 XZH 9X

单位 mm 额定推力最大可搬质量有效行程长度分解能最高速度 ( ) N kg mm μm mm/s. 9.. 重复定位精度 μm ±.

除外 ) 碳素钢标配定位精度无效运动工作台运动的平行度 A 工作台运动的平行度 B 姿势精度直线度无效行程纳米直线的动作原理纳米直线

2 纳米直线直线直线无比紧凑的先进直线工作台系列! 纳米直线为采用磁动方式的截面高度极低的直线工作台可动工作台的导向部采用小型直线导轨设备领域评价颇高的直线导轨或交叉滚子直线导轨, 通过搭配直线和高分解能线性, 实现了高精度定位通过采用高性能钕磁石, 可获得大推力, 虽然是极小型, 也可实现高速高响应性定位此外, 采用无可动电线的划时代驱动方式, 机械接触部分只有直线导轨设备, 因此可实现高洁净度纳米直线规格一览表标准型 V V V V V V V V 截面形状最大推力额定推力最大可搬质量有效行程长度分解能最高速度 ( ) N N kg mm μm mm/s 重复定位精度 μm ±. ±. ±. ±. ±. ±. 注 ( ) 根据实际的装载质量和行程长度, 也存在达不到最高速度的情况, 需要探讨运转模式具体可参考运转模式的探讨该章节 H 高精度型 H H... 拾取 & 定位单元 XZ XZ..... 高推力拾取 & 定位单元 XZH 9XZH. ±.. 截面形状 () () X 轴 Z 轴 X 轴 Z 轴最大推力 N 驱动主要产品规格直线精度重复定位精度 ±.~. 单位 mm 额定推力最大可搬质量有效行程长度分解能最高速度 ( ) N kg mm μm mm/s. 9.. 重复定位精度 μm ±. ±. ±. ±. ±. 注 ( ) 根据实际的装载质量和行程长度, 也存在达不到最高速度的情况, 需要探讨运转模式具体可参考运转模式的探讨该章节.. 自冷 : 风冷 : 自冷 : 风冷 : ±. 直线导轨设备内置润滑部件工作台底座的材质传感器直线导轨 ( 滚珠型 ) 交叉滚子直线导轨 ( 圆柱滚子型 ) 内置 C-Lube 自润滑部件 (V V H 除外 ) 碳素钢标配定位精度无效运动工作台运动的平行度 A 工作台运动的平行度 B 姿势精度直线度无效行程纳米直线的动作原理纳米直线采用在动子中配置磁铁和线性用光栅尺, 在定子中配置空心线圈和线性用读取头的紧凑型结构如右图所示, 通过磁铁和线圈轭铁始终作用在垂直方向上的磁通, 以及通过线圈电流在线圈周围产生的旋转磁通, 使线圈承受水平方向的作用力 ( 弗莱明左手定律 ) 通过将线圈电流切换到与磁通朝向相应的方向, 可获得单向连续推力, 使动子持续进行直线运动通过电流量进行的加速度控制和线性的反馈, 进行移动和正确定位工作台的移动方向磁轭 ( 动子 ) 磁铁 ( 动子 ) 线圈 ( 定子 ) 磁通线圈轭铁 Ⅱ- Ⅱ-

纳米直线 V [ 标准型 ] V 直线工作台在工作台导向部使用小型直线导轨设备的直线导轨 L, 通过减少零件数量, 重新设计零件形状, 实现了卓越的性价比系列中最小尺寸的 V 的断面高度仅定子线圈动子磁铁可动工作台双轴并列运行通过刚体结合并列配置的台 V, 用台专用驱动器驱动, 可获得大推力和稳定的姿势精度 X 工作台双轴并列运行的特长

实现了省配线, 平滑高速高精度的动作底座直线导轨 L 线性用光栅尺线性用读取头移动方向 X 工作台专用驱动器高位控制器 Points 彻底追求小型化尤其是系列中最小尺寸的 V, 断面高度仅 mm, 实现了工作台宽度 mm 全长 mm 即使超小型将多个工作台层叠配置, 所占空间也不会增大, 有助于定位机构的进一步小型化备注 :

的低断面紧凑特性, 可构建多连型拾取 & 定位机构等多连型拾取 & 定位机构 ( 示意图 ) 弹簧式平衡机构 X 轴 ( 行程长度 mm) 弹簧支持运动网络备有支持运动网络 EtherCAT SSCNETⅢ/H 和 MECHATROLINK 的驱动器, 省配线可构建高级系统控制器专用驱动器专用驱动器纳米直线 V 可动工作台纳米直线 V

3 纳米直线 V [ 标准型 ] V 直线工作台在工作台导向部使用小型直线导轨设备的直线导轨 L, 通过减少零件数量, 重新设计零件形状, 实现了卓越的性价比系列中最小尺寸的 V 的断面高度仅定子线圈动子磁铁可动工作台双轴并列运行通过刚体结合并列配置的台 V, 用台专用驱动器驱动, 可获得大推力和稳定的姿势精度 X 工作台双轴并列运行的特长双轴驱动可获得大推力通过左右工作台的驱动, 可将工作台延时和框体扭曲控制到最小程度由于工作台延时和框体扭曲被控制在最小程度, 因此可确保高定位精度与双轴同步控制系统相比较, 可降低成本 mm, 实现工作台宽度 mm 全长 mm 使精密定位工作台进一步小型化另备有支持运动网络 EtherCAT 的驱动器及支持 SSCNETⅢ/H 的驱动器, 实现了省配线, 平滑高速高精度的动作底座直线导轨 L 线性用光栅尺线性用读取头移动方向 X 工作台专用驱动器高位控制器 Points 彻底追求小型化尤其是系列中最小尺寸的 V, 断面高度仅 mm, 实现了工作台宽度 mm 全长 mm 即使超小型将多个工作台层叠配置, 所占空间也不会增大, 有助于定位机构的进一步小型化备注 : 需要双轴并列运行时, 请向咨询电线 (X 工作台用 ) 电线 (X 工作台用 ) 电线 XY 双轴组合规格直接组合台 V, 无需特别的安装板, 即可轻松构建低断面的 XY 工作台 V V V V V V V 截面形状 (mm) Y 轴 ( 行程长度 mm) 适用于立轴规格通过装入专用的弹簧式平衡机构, 可防止可动工作台在电源切断等时掉落充分发挥 V 的低断面紧凑特性, 可构建多连型拾取 & 定位机构等多连型拾取 & 定位机构 ( 示意图 ) 弹簧式平衡机构 X 轴 ( 行程长度 mm) 弹簧支持运动网络备有支持运动网络 EtherCAT SSCNETⅢ/H 和 MECHATROLINK 的驱动器, 省配线可构建高级系统控制器专用驱动器专用驱动器纳米直线 V 可动工作台纳米直线 V 专用驱动器备注 : 立轴规格为单独对应品需要根据用户的使用条件选择弹簧, 因此请向咨询备注 :EtherCAT 是德国 BeckhoffAutomation GmbH 公司授权的专利技术, 也是注册商标 SSCNETⅢ/H 是三菱 ( 株 ) 开发的伺服系统控制用运动网络通信 MECHATROLINK 是开放式现场网络, 由 MECHATROLINK 协会管理纳米直线 V Ⅱ- Ⅱ-

纳米直线 H [ 高精度型 ] XZ [ 拾取 & 定位单元 ] C-Lube 自润滑直线导轨 L H 是将圆柱滚子型的内置齿轨 & 齿轮型交叉滚子直线导轨用于工作台导向部, 通过 μm 以下的定位精度和行走直线度, 实现高刚性和顺畅动作 ( 无作用于空气静压轴承的脉动 ) 动子磁铁线性用读取头可动工作台 XZ 是工作台导向部使用小型直线导轨设备的 C-Lube 自润滑直线导轨 L,X

4 纳米直线 H [ 高精度型 ] XZ [ 拾取 & 定位单元 ] C-Lube 自润滑直线导轨 L H 是将圆柱滚子型的内置齿轨 & 齿轮型交叉滚子直线导轨用于工作台导向部, 通过 μm 以下的定位精度和行走直线度, 实现高刚性和顺畅动作 ( 无作用于空气静压轴承的脉动 ) 动子磁铁线性用读取头可动工作台 XZ 是工作台导向部使用小型直线导轨设备的 C-Lube 自润滑直线导轨 L,X 轴的可动工作台和 Z 轴的底座采用一体化设计, 实现了厚度仅 mm 的超薄型直线驱动的拾取 & 定线性用读取头线性用光栅尺的高精度直线工作台位单元通过输入定位程序, 可自由选择不同的运转模式, 底座还可根据工件轻松变更行程定子线圈动子磁铁底座可动工作台内置齿轨 & 齿轮型交叉滚子直线导轨线性用光栅尺定子线圈 Points Points 姿势精度高通过组合高精度加工的零部件和齿条 & 齿轮内置型交叉滚子直线导轨, 实现了秒以下的姿势精度因移动引起的姿势变化极少, 位置的再现性优异姿势精度秒姿势精度 : 秒以内俯仰摇摆采用直线驱动构造无可比拟的拾取 & 定位单元两个高节拍定位轴上均配置有光学式线性, 可实现精密的高节拍定位位置 mm 速度稳定性高通过动作顺畅的交叉滚子直线导轨无芯动磁铁型直线高性能伺服驱动器, 进一步提高了速度稳定性速度 mm/s. mm/s 速度稳定性 ( 测量频率 :,Hz):±% 以下时间 s 通过使 X 轴的可动工作台与 Z 轴的基座一体超薄型省空间化, 实现了厚度仅 mm 的超薄化可在宽度 mm 的空间内并排设置台, 有助于节省空间和提高效率样品日元硬币除去电线后的尺寸行走精度高通过对构件进行高精度加工和组装, 实现了直线度 μm 以下的高行走精度直线度误差 μm 行走直线度 :μm 以下可使用驱动器的监视功能, 通过计算机进运行监视功能行轨道的验证位置 mm Ⅱ- Ⅱ-

5 纳米直线 XZH是工作台导向部使用小型直线导轨设备的C-Lube [高推力拾取&定位单元] 底座 X 轴工作台通过在两个轴上均配置光学式线性以进行全闭环控整定时间 ms 周期次数次/分钟制实现了高分解能和高响应性测量条件 C-Lube 自润滑直线导轨 L 自润滑直线导轨L X轴和Z轴采用紧凑一体化设计是采用实际推力 X轴.N 装载质量 g 行程 X轴mm 加减速时间 X轴ms 定子线圈直线驱动的高推力拾取&定位单元采用通过连杆机构动子磁铁 Z 轴工作台驱动可动工作台的方式同时实现了直线的高推力及可速定位动部的轻量化缩短了动作周期通过输入定位程序可自 Z轴 mm Z轴 9ms X轴实际速度 X轴定位完成信号 Z轴实际速度 Z轴定位完成信号实现高由选择不同的运转模式还可根据工件轻松变更行程 Z轴.N 速度 mm/s XZH 高分解能高响应性连杆导向装置 (C-Lube 自润滑直线导轨 L) 可动工作台 Points 风冷采用将发热线圈集中在定子上的构造方便冷却和向安装 9XZH温度(环境温度 ) 底座散热通过指定风冷选装件可进一步缩短动作周期高推力高节拍通过将X轴和Z轴的配置无强制风冷有强制风冷(NL/min) 于平面上利用连杆机构驱流路动可动工作台的方式同时实现了直线的高推力及实际推力可动部的轻量化大幅缩短 X轴了动作周期 Z轴 X 轴可动部 Z 轴可动部 X 轴无可动部电线简洁虽然是多轴单元但可动部采用无电线的动磁铁方式因此配线处理简便可实现高洁净度 Z 轴连杆导向装置 (C-Lube 自润滑直线导轨 L) 可动工作台 Ⅱ- 时间 ms 底座温度线性用读取头线性用光栅尺运行监视功能与 XZ相同可使用驱动器的监视功能通过计算机进行轨道的验证 Ⅱ-

6 公称型号 V 的公称型号的排列例 V / L SC 公称型号 H 的公称型号的排列例 H / R 型号 Ⅱ-9 页大小尺寸 Ⅱ-9 页行程长度 Ⅱ-9 页线性分解能 Ⅱ-9 页护罩 Ⅱ-9 页 Ⅱ-9 页传感器的指定 Ⅱ-9 页规格编号 Ⅱ-9 页公称型号和规格的说明型号大小尺寸行程长度线性分解能护罩传感器的指定规格编号 V : 纳米直线 V : 宽度尺寸 mm : 宽度尺寸 mm : 宽度尺寸 mm :mm( 适用于 V) :mm( 适用于 V) :mm( 适用于 V V) :mm( 适用于 V V) :mm( 适用于 V) :.μm F :.μm 选择高速规格 ( 适用于 V V)F 时, 需要构建使用了专用驱动器 ADVA 的系统 :.μm 无标记 : 无护罩 D : 带护罩 ( 适用于 V) L : 左向 R : 右向从图所示的选择 ( 将设置在下侧时的引出方向 ) 无标记 : 无传感器 SC : 带传感器 ( 限位原点前 ) 传感器支架适用于 V V 纳米直线 V 及 V 备有支持 ADVA 和 SSCNETⅢ/H 的 MR-J-B 的两种专用驱动器, 使用 MR-J-B 时, 必须选择 SC : 规格编号规格编号仅限型号 Ⅱ- 页大小尺寸 Ⅱ- 页行程长度 Ⅱ- 页线性分解能 Ⅱ- 页 Ⅱ- 页公称型号和规格的说明型号大小尺寸行程长度线性分解能 H : 纳米直线 H : 宽度尺寸 mm :mm :mm :.μm :.μm L : 左向 R : 右向从图所示的引出方向选择 ( 将设置在下侧时的引出方向 ) L: 左向图 H 的 Ⅱ-9 L: 左向图 V 的 Ⅱ-

7 公称型号 XZ XZH 的公称型号排列例型号 Ⅱ- 页大小尺寸 Ⅱ- 页 X 轴行程长度 Ⅱ- 页 9 XZH / CA 诸特性表 V 的规格性能项目 V V 最大推力 ( ) N 额定推力 ( ) N.. 最大可搬质量 kg. 有效行程长度 mm 分解能 μm.... 最高速度 ( ) mm/s 重复定位精度 ( ) μm ±. 可动部质量 kg.( 带护罩.).( 带护罩.) 总质量 ( ) kg.9( 带护罩.9).( 带护罩.9) 工作环境温度湿度 ~ ~%RH( 不结露 ) 注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 不含电线质量 ( ) 根据实际的装载质量和行程长度, 也存在达不到最高速度的情况, 需要探讨运转模式具体可参考运转模式的探讨该章节 Z 轴行程长度 Ⅱ- 页线性分解能 Ⅱ- 页冷却规格 Ⅱ- 页公称型号和规格的说明型号大小尺寸 X 轴行程长度 XZ : 纳米直线 XZ XZH : 纳米直线 XZH 高推力型 :Z 轴宽度尺寸 mm( 适用于 XZ) 9 :Z 轴宽度尺寸 9mm( 适用于 XZH) :mm( 适用于 XZH) :mm( 适用于 XZ) 表 V 的规格性能项目 V V 最大推力 ( ) N 额定推力 ( ) N 最大可搬质量 kg 有效行程长度 mm 分解能 μm.... 最高速度 ( ) mm/s ( ) ( ) 重复定位精度 ( ) μm ±. 可动部质量 kg.. 总质量 ( ) kg.. 工作环境温度湿度 ~ ~%RH( 不结露 ) 注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 不含电线质量 ( ) 适用于高速规格 ( ) 根据实际的装载质量和行程长度, 也存在达不到最高速度的情况, 需要探讨运转模式具体可参考运转模式的探讨该章节 Z 轴行程长度线性分解能冷却规格 :mm :.μm F :.μm 高速规格 :.μm 无标记 : 自冷 CA : 风冷 ( 适用于 XZH) 表 V 的规格性能项目 V V V 最大推力 ( ) N 额定推力 ( ) N 最大可搬质量 kg 有效行程长度 mm 分解能 μm 最高速度 ( ) mm/s ( ) ( ) ( ) 重复定位精度 ( ) μm ±. 可动部质量 kg... 总质量 ( ) kg... 工作环境温度湿度 ~ ~%RH( 不结露 ) 注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 不含电线质量 ( ) 适用于高速规格 ( ) 根据实际的装载质量和行程长度, 也存在达不到最高速度的情况, 需要探讨运转模式具体可参考运转模式的探讨该章节 Ⅱ- Ⅱ-

8 诸特性表 H 的规格性能项目表 XZ XZH 的规格性能项目 H XZ 9XZH X 轴 Z 轴 X 轴 Z 轴最大推力 ( ) N 额定推力 ( ) N. 自冷 : 风冷 ( ) : 最大可搬质量 kg.. 有效行程长度 mm 分解能 μm 最高速度 ( ) mm/s ( ) ( ) ( ) ( ) 重复定位精度 ( ) μm ±. ±. 可动部质量 kg.( )... 总质量 ( ) kg.. 工作环境温度湿度 ~ ~% RH( 不结露 ) 注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 空气流量为 NL/min 时 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 含 Z 轴的可动部质量 ( ) 不含电线质量 ( ) 适用于高速规格 ( ) 根据实际的装载质量和行程长度, 也存在达不到最高速度的情况, 需要探讨运转模式具体可参考运转模式的探讨该章节 H 最大推力 ( ) N 额定推力 ( ) N 最大可搬质量 kg 有效行程长度 mm 分解能 μm.... 最高速度 ( ) mm/s 9 9 定位精度 ( ) μm 重复定位精度 ( ) μm ±. 运动平行度 A μm 姿势精度 ( ) 秒垂直直线度水平直线度 μm 可动部质量 kg..9 总质量 ( ) kg. 工作环境温度湿度 ~ ~%RH( 不结露 ) 注 ( ) 最大推力的持续时间最长为秒 ( ) 环境温度为, 安装于金属制配合部件时 ( ) 环境及产品主体的温度为时的值 ( ) 产品主体的温度恒定时 ( ) 表示俯仰及摇摆 ( ) 不含电线质量 ( ) 根据实际的装载质量和行程长度, 也存在达不到最高速度的情况, 需要探讨运转模式具体可参考运转模式的探讨该章节 V 组合驱动器为 ADVA-NL MR-J 时工作台的移动速度 mm/s 图 V 的推力特性组合驱动器是 ADVA-RML 时 V 组合驱动器为 ADVA-NL MR-J 时 V V 工作台的移动速度 mm/s 图 9 V 的推力特性图 V 的额定推力特性备注安装于金属制配合部件上时图 V 的额定推力特性备注安装于金属制配合部件上时动态可搬质量 kg 备注动态可搬质量 kg 动态可搬质量 kg.. 加速度 m/s 图 V 的动态可搬质量以工作台的移动速度为 mm/s 时的推力计算得出的值... V V V 加速度 m/s 图 V 的动态可搬质量备注以工作台的移动速度为 mm/s 时的推力计算得出的值 V V. V 的推力特性 V V.. V. 动态可搬质量 kg.. V V 工作台的移动速度 mm/s 图 V 的推力特性组合驱动器为 ADVA-RML 时 V V V 图 V 的额定推力特性备注安装于金属制配合部件上时加速度 m/s 图 V 的动态可搬质量备注以工作台的移动速度为 mm/s 时的推力计算得出的值动态可搬质量 kg. V V V 工作台的移动速度 mm/s 图 V 的推力特性图 V 的额定推力特性加速度 m/s 图 V 的动态可搬质量工作台的移动速度 mm/s. 加速度 m/s 备注安装于金属制配合部件上时备注以工作台的移动速度为 mm/s 时的推力计算得出的值图 V 的推力特性图 V 的额定推力特性备注安装于金属制配合部件上时图 V 的动态可搬质量备注以工作台的移动速度为 mm/s 时的推力计算得出的值 Ⅱ- Ⅱ-

9 诸特性 H 的推力特性传感器规格表 V/SC V/SC 的传感器时序图 H H 原点 A A 原点工作台的移动速度 mm/s 原点前传感器 B B 原点前传感器图 H 的推力特性图 9 H 的额定推力特性备注安装于金属制配合部件上时 + 方向限位 - 方向限位机械止动器 C (D) (E) C (D) (D) C (E) C (D) + 方向限位 - 方向限位机械止动器 XZ XZH 的推力特性 V/LSC 时 V/RSC 时组合驱动器为 ADVA-NL 时 9XZH XZ 轴通用 XZ X 轴 9XZH( 风冷 )XZ 轴通用 9XZH( 自冷 ) XZ 轴通用 XZ X 轴 A B( ) C( ) D( ) E( ) V /SC. V /SC. V /SC. V /SC. V/SC. 注 ( ) 各数值为大致标准, 并非保证值需要详细尺寸时, 请向咨询备注关于各传感器规格, 请参照综合解说的传感器规格项单位 mm XZ Z 轴 XZ Z 轴工作台的移动速度 mm/s 图 XZ XZH 的推力特性图 XZ XZH 的额定推力特性备注安装于金属制配合部件上时 V XZ XZH 未内置传感器使用了驱动器 ADVA 的系统构成及 V 的系统构成的原点复位, 通过外部输入来进行原点复位动作在可动工作台接触机械止动器后反向, 并在原点位置停止但 V V 可通过辅助标记 (/SC) 安装限位传感器及原点前传感器, 因此也可利用各传感器进行原点复位在使用了驱动器 ADVA 的系统构成中, 通过驱动器的软限位功能进行 ± 方向限位的检测可通过驱动器的参数设定行程范围此外, 软限位功能仅在位置控制模式下有效, 其前提条件是已完成原点复位速度控制模式推力控制模式时, 请设置外部传感器组合驱动器为 ADVA-RML 时 9XZH XZ 轴通用 9XZH( 风冷 )XZ 轴通用 9XZH( 自冷 ) XZ 轴通用 XZ X 轴 XZ X 轴 XZ Z 轴 XZ Z 轴工作台的移动速度 mm/s 图 XZ XZH 的推力特性图 XZ XZH 的额定推力特性备注安装于金属制配合部件上时 Ⅱ- Ⅱ-

10 传感器规格系统构成 V 的系统构成纳米直线 V 备有专用的驱动器, 系统构成如表中所示驱动器的详细规格请参照 Ⅱ- 页的驱动器规格一项表 V 的系统构成数据编辑软件驱动器计算机连接电缆计算机原点 + 方向限位 - 方向限位机械止动器 () () () () 原点 + 方向限位 - 方向限位机械止动器 PLC 开关传感器等 H/ L 时 H/ R 时纳米直线 V DCV No. 名称公称型号纳米直线 V V 驱动器 NCR-DCEDB-D-S 原点 + 方向限位 - 方向限位机械止动器 () () H/ L 时图 H 的传感器时序图 () () H/ R 时原点 + 方向限位 - 方向限位机械止动器转接线 (m( )) 转接线 (.m( )) TAET-AM TAEU-EC 计算机连接电缆 USB 电缆 A 插头 - 迷你 B 插头数据编辑软件 NCR-XCR-S 输入输出信号用连接器 TAEU9-CN( ) 电源线连接线 DCV 电源注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) 输入输出信号用连接器 TAEU9-CN 是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合备注. 标准系统构成中的原点复位使用驱动器的原点复位功能 ( 限位取反方式 ) 需要将从接口输出的限位信号输入到驱动器中. 无原点前传感器输出. 关于各传感器的详细规格, 请参照综合解说的传感器规格项 Ⅱ- Ⅱ-

11 R 系统构成 V V XZ XZH 的系统构成作为专用驱动器, 纳米直线 V V XZ XZH 备有 ADVA 和 MR-J 两个系列, 系统构成因所使用的驱动器而异 ADVA 备有脉冲串规格和高速网络 EtherCAT 规格两种,MR-J 仅限高速网络 SSCNETⅢ/H 规格驱动器和工作台的对应型号如表中所示表 9 中列出了 ADVA 的公称型号排列, 表中列出了工作台与适用 MR-J 的公称型号驱动器的详细规格请参照 Ⅱ-9~ 页的驱动器规格一项另外, 支持 MECHATROLINK 的驱动器为单独处理品, 需要时请向表纳米直线 V XZ XZH 与适用驱动器的公称型号驱动器的种类 ADVA MR-J 备注 MR-J 仅适用于带传感器规格 /SC 表 9 ADVA 的公称型号电流电压指令方式 NL RML 无标记 EC 表 V 与适用的 MR-J 的公称型号工作台的公称型号 V V V V V 备注 MR-J-B 仅适用于带传感器规格 /SC 适用的纳米直线型号咨询 V V XZ XZH V V ADVA NL EC / V 型号单相 / 三相 V 单相 V 脉冲串指令 EtherCAT 表使用了驱动器 ADVA 的 V 的系统构成驱动器 ACSERVO ADV Series PLC 开关传感器等设定软件计算机驱动器的公称型号 MR-J-B-RJ/V MR-J-B-RJ/V MR-J-B-RJ/V MR-J-B-RJ/V MR-J-B-RJ/V 纳米直线 V 适用的纳米直线型号 V V V V V V V V V V XZ-X XZ 的 X 轴 XZ-Z XZ 的 Z 轴 9XZH 9XZH 的 X 轴 Z 轴通用 No. 名称公称型号转接线 (m)( ) 转接线 (m)( ) TAEV-AM TAEV-EC 传感器转接线 ( ) TAEV-LC 计算机连接电缆设定软件 USB mini B 电缆 ProDriveNext 请从 ( 株 ) 日立产机系统公司的网站下载 I/O 连接器 TAER-CN( ) 电源线 I/O 连接器连接电缆注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) 传感器转接线长度通过公称型号末尾的, 以 m 为单位在 ~m 范围内指定 ( ) I/O 连接器 TAER-CN 是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合设定软件为了使纳米直线 V V XZ XZH 动作, 需要进行驱动器参数的初始设定通过设定软件进行驱动器的参数设定还可用于调整增益和确认运转状况驱动器主体不附带设定软件计算机连接电缆这些可由多台驱动器共用, 但至少需要套请根据用户的条件另行订购或准备表使用了驱动器 ADVA EC 的 V 的系统构成驱动器 ACSERVO ADV Series ET ET 计算机 PLC 开关传感器等其他支持 EtherCAT 的设备设定软件 PLC 开关传感器等纳米直线 V No. 名称公称型号转接线 (m)( ) 转接线 (m)( ) TAEV-AM TAEV-EC 传感器转接线 ( ) TAEV-LC 计算机连接电缆设定软件 USB mini B 电缆 ProDriveNext 请从 ( 株 ) 日立产机系统公司的网站下载 I/O 连接器 TAEV-CN( ) Ethernet 电缆电源线 I/O 连接器连接电缆注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) 传感器转接线长度通过公称型号末尾的, 以 m 为单位在 ~m 范围内指定 ( ) I/O 连接器 TAEV-CN 是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合表使用了驱动器 MR-J-B 的 V 的系统构成 ( 支持 SSCNETⅢ/H) 驱动器单相或三相 ACV(/Hz) 设定软件 DCV 电源支持 SSCNETⅢ/H 运动控制器定位单元纳米直线 V 计算机 No. 名称公称型号转接线 (m)( ) 转接线 (m)( ) TAEV-AM TAEV-EC 传感器转接线 ( ) TAEV-LC 计算机连接电缆 (m) MR-JUSBCBLM 设定软件 SWDNC-MRC-J 输入输出连接用连接器 MR-CCN( ) 电源线 ( ) SSCNETⅢ/H 连接电缆注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) 传感器转接线长度通过公称型号末尾的, 以 m 为单位在 ~m 范围内指定 ( ) 输入输出连接用连接器 MR-CCN 是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合 ( ) 为三菱 ( 株 ) 产 SSCNETⅢ/H 对应的运动控制器定位单元 DCV 电源 Ⅱ-9 Ⅱ-

12 ACSERVO ACSERVO 系统构成表 XZ XZH 的系统构成 X 轴驱动器 ADV Series No. 名称数量公称型号纳米直线 XZ XZH XZ 9XZH X 轴用驱动器 ADVA-NL/XZ-X ADVA-NL/9XZH Z 轴用驱动器 ADVA-NL/XZ-Z ADVA-NL/9XZH 转接线 (m)( ) TAEV-AM 转接线 (m)( ) TAEV-EC 计算机连接电缆 (m) USB mini B 电缆 ( ) ProDriveNext 设定软件请从 ( 株 ) 日立产机系统公司的网站下载 I/O 连接器 TAER-CN( ) 电源线 - - I/O 连接器连接电缆 - Z 轴驱动器注 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) I/O 连接器 TAER-CN 是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合 ADV Series PLC 开关传感器等设定软件计算机纳米直线 XZ XZH H 的系统构成纳米直线 H 备有专用的驱动器, 系统构成如表中所示驱动器的规格请参照 Ⅱ- 页的驱动器规格一项订购时, 请通过表所示公称型号另行指定表 H 的系统构成驱动器 VC TB ACV (/Hz) 数据编辑软件 r s TB J J R S (T) B J B U CN V W DBK DBC CN 接口数据编辑软件计算机 PLC 开关传感器等 DCV 电源 ( ) 纳米直线 H No. 名称公称型号纳米直线 H H 驱动器 NCR-DDAAA-D-T 为了使纳米直线 H 动作, 需要进行驱动器参数的初始设定通过数据编辑软件进行驱动器的参数设定驱动器主体不附带数据编辑软件计算机连接电缆这些可由多台驱动器共用, 但至少需要套请根据用户的条件另行订购转接线 (m)( ) 转接线 (m)( ) TAET-AM TAET9-EC 计算机连接电缆 USB 电缆 A 插头 -B 插头数据编辑软件 NCR-XCR-S 连接器套件 TAEU-CN( ) 电源线 I/O 连接器连接电缆注 ( ) 请用户另行准备 DCV 电源 ( ) 关于特殊线长, 请向咨询 ( ) 连接器套件 TAEU-CN 为 I/O 连接器和传感器用连接器的套件 ( 压接配线完成 (mm)) I/O 连接器是住友 M( 株 ) 制 -PE( 连接器 ) 和 -F-( 护罩 ) 的组合传感器用连接器是泰科电子日本合同会社制 -( 触点 ) 和 -( 轴承座 ) 的组合 Ⅱ- Ⅱ-

13 运行模式示例 XZ 的拾取 & 定位运行模式示例 V 纳米直线拾取 & 定位运行模式的典型示例如下所示表使用条件项目使用条件装载质量 g X 轴移动量 mm Z 轴移动量 mm P P 中的静止时间 s.9 个周期时间 s. X 轴实际.9 Z 轴实际. -M 深度 ( ) -M深度 ( ) () () -M 用孔 -M 用孔.. () ( 原点位置 ) () 9 (/ ( 行程长度原点位置 ) ) (/ 行程长度 ) 9 (/ 行程长度 (.) ) ( 机械止动器间 ) (/ 行程长度 ) (.) ( 机械止动器间 ) V -M 深度 ( ) -M 深度 ( ) () () -M 用孔 -M 用孔.. () ( 原点位置 ) () 9(/ ( 行程长度原点位置 ) ) 9(/ 行程长度 ) (.) ( 机械止动器间 ) 9(/ 行程长度 ) 9(/ 行程长度 ) (.) ( 机械止动器间 ) V/D g mm 以上垂直移动 P mm P mm -M 深度 ( ) -M 深度 ( ) (9) (9) -M 用孔. -M 用孔速度 mm/s X 轴. Z 轴 - +mm -mm... +mm -mm...9 时间 s 时间 s V/D () ( 原点位置 ) (). ( 原点位置 ) (/ 行程长度 ) (/ 行程长度 ). (/ 行程长度 ) (/ 行程长度 ) (.) ( 机械止动器间 ) (.) -M 深度 ( ) -M 深度 ( ) (9) (9) ( 机械止动器间 ) 9.. -M 用孔. -M 用孔从 P 向 P 移动静止时间从 P 向 P 移动静止时间备注速度模式图为程序模式, 不代表实际的动作 () 9( 原点位置 ) (). 9(/ 9( 行程长度原点位置 ) ) 9(/ 行程长度 ). 9(/ 行程长度 (.) ) ( 机械止动器间 ) 9(/ 行程长度 ) (.) ( 机械止动器间 ) 注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓 Ⅱ- Ⅱ-

14 V 纳米直线 V 限位. (/ 行程长度 ) ( 原点位置 ) () (.) ( 机械止动器间 ).. (/ 行程长度 ) -M 深度 ( ) () 限位 (.). (/ 行程长度 ) ( 原点位置 ) ( 机械止动器间 ) 9.. (/ 行程长度 ) -M 深度 ( ) () () () 马达 () V 限位 () -M 用孔 (.). (/ 行程长度 ) ( 原点位置 ) () () () -M 用孔. ( 机械止动器间 ) 注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓备注尺寸图中的虚线部分表示带传感器的规格 /SC.. (/ 行程长度 ) -M 深度 ( ) () V 限位 () -M 用孔. (.) ( 机械止动器间 ). (/ 行程长度 ) 9 ( 原点位置 ) () () (). -M 用孔.. (/ 行程长度 ) -M 深度 ( ) () V 限位 (.) ( 机械止动器间 ) (/ 行程长度 ) (/ 行程长度 ) ( 原点位置 ) -M 深度 ( ). () () () () -M 用孔. 注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓备注. 尺寸图中的虚线部分表示带传感器的规格 /SC. 在组合了 V 的 XY 双轴规格的工作台中,V 为上轴的规格, 由组装后出厂 Ⅱ- Ⅱ-

15 H 纳米直线 XZ ( 机械止动器位置 ). (/ 行程长度 )... -M 深度 ( ) ( 机械止动器位置 ). (/ 行程长度 ) () () () -M 9 () -M 用孔 -M 用孔 () -M 深度 ( ) 9 9. ( 原点位置 ). 接口 ( 原点位置 ). 机械止动器 Z 轴有效行程 -M 深度安装到 mmdin 导轨上 (EN) 机械止动器 X 轴有效行程.... H 9XZH 空气接头安装口 M 深度 ( 风冷选装件 ). () 9 空气接头安装口 M 深度 () 铭牌 () ()... ( 机械止动器位置 ) ( 机械止动器位置 ). 9. (/ 行程长度 ) (/ 行程长度 ). -M 深度 ( ) () () -M 用孔 -M 用孔. 9.. ( 风冷选装件 ) -M 通孔 9 9. ( 风冷选装件 ) ( 原点位置 ) 9 机械止动器 X 轴有效行程. ( 原点位置 ). 机械止动器 Z 轴有效行程接口 -M 深度安装到 mmdin 导轨上 (EN) 注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓... 注 ( ) 如果安装螺丝的拧入深度过长, 将对可动工作台的行走性能造成不良影响, 因此请勿插入比螺纹孔深度更长的螺栓 Ⅱ- Ⅱ-

额定规格 / 性能单相标准认证 UL CSA. NO. EN-- 额定规格输入环境温度项目电压电平额定电压使用电压范围输入电流型号动作电压复位电压 - B ma 以下 DC~V DC.~V DC.V 以下 DC.V 以上 - BL ma 以下输出项目 * 根据环境温度的不同而不同详情请

额定规格 / 性能单相标准认证 UL CSA. NO. EN-- 额定规格输入环境温度项目电压电平额定电压使用电压范围输入电流型号动作电压复位电压 - B ma 以下 DC~V DC.~V DC.V 以下 DC.V 以上 - BL ma 以下输出项目 * 根据环境温度的不同而不同详情请加热器用固态继电器单相 CSM_-Single-phase_DS_C 带纤细型散热器的一体式小型 SSR 备有无过零触发型号, 用途广泛符合 RoHS 标准包含无过零触发型号, 产品线齐全输出回路的抗浪涌电压性能进一步提高根据本公司的试验条件小型纤细形状除了 DIN 导轨安装, 还可进行螺钉安装获取 UL CSA EN 标准 TÜV 认证请参见共通注意事项种类关于标准认证机型的最新信息,