x 大气压至超高真空真空计 INFICON 贝阿德 - 阿尔珀特皮拉尼 (Pirani) 型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中, 测量范围为 5 10-10 毫巴至大气压 (3.8 10-10 托至大气压 ) 多项技术相结合降低了安装 设置和集成的复杂性 选择带有两根氧化钇镀层铱丝的 BPG400 型真空计, 价格经济, 且可重复测量基准压力 传感元件自带的在轨校准数据在更换传感器时确保了高再现性 益处 测量范围非常广, 从 5 10-10 毫巴至大气压 (3.8 10-10 托至大气压 ) 10-8 10-2 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性 皮拉尼联锁保护单丝, 防止过早烧毁 两根使用寿命长的氧化钇铱丝 备有可选的图形显示屏和现场总线接口 高真空皮拉尼自动调节, 减少操作员干预 易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性 RoHS 合规 订购信息 1 x 大气压至超高真空真空计
BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF 353-570 BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R 353-571 真空计 353-572 D BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R. 353-577 D 型真空计 353-576 E ECAT, DN 25 ISO-KF 353-590 E ECAT, DN 40 CF-R 353-591 L BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R 353-578 P BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF 353-574 P BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R 353-575 规格 测量范围 ( 空气 O₂ CO N₂) 测量范围 ( 空气 O₂ CO N₂) 精度 mbar 5 10 ¹⁰ 1000 Torr 3.8 10 ¹⁰ 750 10 ⁸ 10 ² 毫巴 % of reading ±15 可重复性 10 ⁸ 10 ² 毫巴 % of reading 5 除气 (1) p < 7.2 10 ⁶ mbar electron bombardment, max. 3 min 压力, 最大 bar (absolute) 2 温度 运行 ( 环境 ) C 0 +50 贮存 C -20 +70 在法兰处烘烤, 无电子设备 无电子设备, 在法兰处烘烤 L C 80 C 150 电源电压 V (dc) +20 +28 电源电压 A (dc) 0.8 输出信号模拟 输出信号 V 0 +10 2 x 大气压至超高真空真空计
测量范围 V +0.774 +10 错误信号 V 0.1 / 0.3 / 0.5 输出信号模拟电压与压强 volts per decade 0.75 输出信号模拟最小负载电阻 kω 10 设定点数量 1 继电器触点 n.o., potential free 范围 mbar 1 10 ⁹ 100 滞后 % of reading 10 触点额定值 V (dc) 30 触点额定值 A (dc) 0.5 数字功能 接口 ( 数字 )(2) 发射控制 单丝 单丝状态 / 继电器 电气连接 degas RS232C automatic / manual via interface two Yt₂O₃ coated Ir LED / relay D-Sub, 15-pin, male 电缆长度, 最大 (3) m (ft.) 100 (330) 暴露于真空的材料 Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass 内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1) 重量 KF / CF g 450 / 710 保护等级 波特率 kbaud 9.6 / 19.2 / 93.75 / 187.5 / 500 波特率 Mbaud 1.5 / 12 IP30 3 x 大气压至超高真空真空计
地址 数字功能 模拟功能 2 switches (address 00-127) or network programmable read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warn 0 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B : 设定点数量 2 : 继电器触点 连接器 n.o., potential free D-Sub, 9-pin, female CDG( 模拟输出 电源电压 设定点 ) 连接器 D-Sub, 15-pin, male : 范围 mbar 1 10 ⁹ 100 : 滞后 % of reading 10 : 触点额定值 V (dc) 30 : 触点额定值 A (dc) 0.5 协议 MAC ID 数字功能模拟功能技术规格设备 I / O 从属传讯, group 2 slave only 2 switches (address 00-63) or network programmable read pressure, select units: Torr, mbar, Pa ; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and 0 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B "Vacuum Gauge Device Profile" ''CG'' for combination gauge polling only : 设定点数量 2 : 继电器触点 连接器 n.o., potential free Microstyle, 5-pin 4 x 大气压至超高真空真空计
BPG( 模拟输出 电源电压 设定点 ) 连接器 D-Sub, 15-pin, male 数据率开关 kbaud 125, 250, 500 or network programmable 电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330) : 范围 mbar 1 10 ⁹ 100 : 滞后 % of reading 10 : 触点额定值 V (dc) 30 电源电压 V (dc) +11 +25 真空计电源电压 V (dc) +20 +28 : 触点额定值 A (dc) 0.5 电源电压 A (dc) 0.5 真空计电源电压 A (dc) 0.8 以太网以太网协议通讯标准节点地址 protocol specialized for EtherCAT ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" Explicit Device Identification 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 以太网数字功能过程数据邮箱 (CoE) 以太网连接件电缆 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher 5 x 大气压至超高真空真空计
以太网电缆长度 m (ft.) 100 (330) 1) 除气期间降低精度 2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器, 不允许使用现场总线 3) 适用于 RS232C 运行 <30m 备件 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R 354-495 BPG402 感应器 354-494 附件 Baffle for BPG400 353-512 BPG400 24V 电源 353-511 中心圈 with baffle DN 25 KF 211-113 6 x 大气压至超高真空真空计
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