Vacuum Control Catalog 14-15_US_chs.indb

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1 真空控制产品目录 真空计, 配件, 馈入件

2 目录 真空控制产品目录 目录 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D A1 Edge CDG045D A5 Edge CDG100D A9 Stripe CDG045Dhs A13 Stripe CDG100Dhs A17 Cube CDGsci A21 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S A25 CDG025D-X A29 CDG045D A33 CDG100D A39 CDG160D, CDG200D A45 AllCeramic CDG025-C A51 AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS A53 B-A 型真空计 BAG A56 B-A 型皮拉尼真空计 BPG A60 BPG402-S A64 高压强热电离型皮拉尼真空计 HPG A69 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 TripleGauge BCG A73 皮拉尼标准真空计 PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S A78 PSG550, PSG552, PSG A82 皮拉尼电容膜片真空计 PCG550, PCG552, PCG A88 潘宁真空计 PEG A94 反磁控 / 反磁控皮拉尼真空计 Gemini MAG500/504, MPG500/ A97 MPG400/ A102 真空控制产品目录 i

3 真空控制产品目录 目录 真空计控制器 VGC401, VGC402, VGC A105 PGD A107 真空开关 VSA100A A109 VSA200, VSD A111 VSC150A A115 校准服务真空计 A118 检测文件服务真空控制 A119 真空馈入件 旋转馈入件 ISO-KF / ISO-K FRH DN 16 - DN B1 旋转馈入件 CF FRU DN 16 - DN B3 旋转 / 线性运动馈入件 ISO-KF FCH DN 16 - DN B5 线性运动馈入件 FPU DN 16 - DN B7 电馈入件 DN 16 ISO-KF B9 DN 40 ISO KF B11 DN 16 CF B13 DN 40 CF B15 DN 40 ISO KF B17 同轴馈入件 ISO-KF / CF-F BNC / MHV DN B19 真空馈入件金属 - 陶瓷连接 B21 液体馈入件 ISO-KF / CF-F DN B23 ii 真空控制产品目录

4 目录 真空控制产品目录 观察窗 DN 25 - DN 50 ISO-KF B25 DN 63 - DN 160 ISO-K B27 DN 16 - DN 160 CF B29 DN 63 - DN 160 ISO-F B31 真空馈入件真空球轴承 B33 润滑剂和密封材料 B35 检测文件服务真空控制 A119 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件连接件 C1 密封件 C4 法兰 C11 管道配件 C13 波纹管 / 软管带法兰 C16 过渡件 C18 软管, 软管连接件 C22 ISO-K 夹具式法兰元件连接件 C25 密封件 C27 法兰 C30 管道配件 C32 波纹管 / 软管带法兰 C35 过渡件 C36 保护盖 C38 ISO-F 固定式法兰元件法兰元件 C39 UHV CF 法兰元件连接件 C42 密封件 C44 法兰 C46 管道配件 C51 波纹管 / 软管带法兰, 补偿件 C54 过渡件 C55 保护盖 C56 检测文件服务真空控制 A119 真空控制产品目录 iii

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6 真空计

7 真空计 目录 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D A1 Edge CDG045D A5 Edge CDG100D A9 Stripe CDG045Dhs A13 Stripe CDG100Dhs A17 Cube CDGsci A21 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S A25 CDG025D-X A29 CDG045D A33 CDG100D A39 CDG160D, CDG200D A45 AllCeramic CDG025-C A51 AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS A53 B-A 型真空计 BAG A56 B-A 型皮拉尼真空计 BPG A60 BPG402-S A64 高压强热电离皮拉尼真空计 HPG A69 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 TripleGauge BCG A73 Aii 真空控制产品目录

8 目录 真空计 真空计 ( 续 ) 皮拉尼标准真空计 PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S A78 PSG550, PSG552, PSG A82 皮拉尼电容膜片真空计 PCG550, PCG552, PCG A88 潘宁真空计 PEG A94 反磁控 / 反磁控皮拉尼真空计 NEW Gemini MAG500/504, MPG500/ A97 MPG400/ A102 真空计控制器 VGC401, VGC402, VGC A105 PGD A107 真空开关 VSA100A A109 VSA200, VSD A111 VSC150A A115 校准服务控制器真空计 A118 检验文件服务真空控制 A119 真空控制产品目录 Aiii

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10 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D INFICON Porter CDG020D 电容膜片真空计是高质量, 低成本, 与气体类型无关的绝对压强传感器. Porter 设计用于在工业环境中长期稳定的性能. 陶瓷传感器提供许多年内无需维护的卓越的满量程稳定性和杰出的零点稳定性. 抗腐蚀的单一材料传感器结构保证卓越的温度补偿. 全数字电子学和小占位率决定在任何整合中的灵活性. Porter 真空计坚实可靠, 始终库存供货和价格适中. 优势 整个量程内卓越的稳定性 与气体类型无关 抗腐蚀的氧化铝传感器 小型轻便, 同类产品中尺寸最小 易整合, 任何方位安装 数字讯号处理 无需维护 用途 真空镀膜 真空监测 消毒灭菌 食品和包装 真空炉, 拉晶器 分析 化学真空过程 真空控制产品目录 A1

11 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D ( 续 ) 订购资料 3 C A 3 F 精度 1% 3 0.5% 4 电连接件 0 FCC, 8- 脚 1 D-Sub, 9- 脚 A 结合件 M12, 8- 脚 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 C 4 VCR 插头型 D 4 VCR 插座型 E 8 VCR 插座型 单位 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A2 真空控制产品目录

12 电容膜片真空计 真空计 Porter CDG020D ( 续 ) 技术规范 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1,333 66,661 26,664 6,666 2, ,000 10,000 毫巴 精度 1) 3CA3-xxx-xxx % 读值 1 3CA4- % 读值 0.5 温度效应在零点上 % F.S. / C 0.02 在满量程上 % 读值 / C 0.02 分辨率 % F.S 长期稳定性 % F.S. / 年 0.05 最低压强读值 % F.S 温度补偿范围 C 容许温度运行 ( 环境 ) C 烘烤 ( 法兰处 ) 2) C 110 贮存 C 环境湿度上限 % RH <80%, 无凝聚 电源电压 伏 ( 直流 ) 功耗 瓦 0.3 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 最大输出电压 伏 ( 直流 ) 反应时间 3) 毫秒 100 保护等级 IP 40 标准 CE 符合性 EMC (EN , EN ), EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CAN/CSA C22.2 No SEMI 依顺性 SEMI S2 电连接 3CAx-xxx-0000 FCC, 8- 脚 D-Sub, 9- 脚, 插头型 -0A00 连接件 M12, 8- 脚, 插头型 暴露于真空中的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L), 密闭度 毫巴升 / 秒 <1x10-9 安装方位 任何 内容积 DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 3.7 (0.226) 4 VCR 插头型 厘米 3 ( 吋 3 ) 6.1 (0.372) 4 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 5.6 (0.342) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 5.1 (0.311) 重量 DN 16 ISO-KF 克 ~110 4 VCR 插头型 克 ~123 4 VCR 插座型 克 ~133 8 VCR 插座型 克 ~159 维护 无 1) 在 25 C 环境工作温度下, 2 小时运行后, 无非线性, 滞后性, 重复性温度效应. 2) 未运行 3) 增大 10 90% F.S. 真空控制产品目录 A3

13 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D ( 续 ) 尺寸 毫米 ( 吋 ) 65 (2.56") 50 (1.97") 65 (2.56") (1.54") 55 (2.16") 28.3 (1.11") 84 (3.31") 28.3 (1.11") 15 (0.59") DN 16 ISO-KF 49.2 (1.93") 64.2 (2.53") 84 (3.31") 84 (3.31") 28.3 (1.11") 28.3 (1.11") 30.7 (1.21") 插座型 8 VCR female 插座型 4 VCR female 插头型 4 VCR male A4 真空控制产品目录 TIBA44E1

14 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG045D 乇 / 毫巴 INFICON Edge 电容膜片真空计是高精度真空测量仪器, 设计用于严酷的制造环境. 验证的温度控制和抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的多年满量程稳定性和杰出的零点稳定性. Edge 附有 INFICON 专利的, 独特的传感器屏蔽, 它保护真空计防止不需要的过程副产物的侵袭. 先进的电子学为全部应用和可选的以太网 现场总线接口提供许多可配置的讯号条件处理功能. 创新的加热概念使接触表面可冷却和节省宝贵的工具空间. INFICON Edge 是同类中最小的真空测量仪器. 优势 小型, 节省宝贵的工具空间 易集成, 以太网, 大量的全量程和法兰配置, 标准型号带有两个设点简易的一键按钮或运距讯号抑零指令, 零偏移调整 诊断口用于快速服务和维护 两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命. 由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 典型应用 CVD, 刻蚀, PVD 和其它半导体生产过程 真空控制产品目录 A5

15 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG045D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 订购资料 3 C C 标准 B 压强控制 1) 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 法兰 现场总线接口 0 无 8 以太网 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 单位 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A6 真空控制产品目录

16 电容膜片真空计 真空计 Edge CDG045D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 精度 1) % 读值 0.15 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.01 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制 % F.S. 0.5 压强温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 瓦 12 在工作温度下 瓦 8 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 30 保护等级 IP 40 标准 CE 符合性 EMC (EN , EN ), EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 RS232-C 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 4) ) 内容积 1/2 吋管 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 1/2 吋管 克 ~837 DN 16 ISO-KF 克 ~852 DN 16 CF-R 克 ~875 8 VCR 插座型 克 ~897 真空控制产品目录 A7

17 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG045D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 以太网 协议以太网 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分, 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分, 特定设备配置 : 真空压强计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 以太网数据率 仟位 / 秒 以太网电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 25 C 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 尺寸 毫米 ( 吋 ) 4.3 (0.17) EtherCAT x100 x10 x ERR A 8 0 RUN E A 8 0 E A 8 E LA LA 63 (2.48) IN OUT PWR (4.42) SP1 SP2 STATUS SP ZERO DIAG SP1 SP2 STATUS SP ZERO DIAG 63 (2.48) 31.5 (1.24) DN 16 ISO-KF 31.5 (1.24) DN 16 CF-R 31.5 (1.24) OD½" 13 (0.51) 31.5 (1.24) 8-VCR 插座型 female A8 真空控制产品目录

18 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG100D 乇 / 毫巴 INFICON Edge 电容膜片真空计是高精度真空测量仪器, 设计用于严酷的制造环境. 验证的温度控制和抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的多年满量程稳定性和杰出的零点稳定性. Edge 附有 INFICON 专利的, 独特的传感器屏蔽, 它保护真空计防止不需要的过程副产物的侵袭. 先进的电子学为全部应用和可选的以太网 现场总线接口提供许多可配置的讯号条件处理功能. 创新的加热概念使接触表面可冷却和节省宝贵的工具空间. INFICON Edge 是同类中最小的真空测量仪器. 优势 小型, 节省宝贵的工具空间 易集成, 以太网, 大量的全量程和法兰配置, 标准型号带有两个设点简易的一键按钮或运距讯号抑零指令, 零偏移调整 诊断口用于快速服务和维护 两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命. 由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 典型应用 CVD, 刻蚀, PVD 和其它半导体过程 真空控制产品目录 A9

19 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG100D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 订购资料 3 C D 标准 B 压强控制 1) 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 法兰 现场总线接口 0 无 8 以太网 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 单位 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 Pa) 6 毫巴 ( 100 Pa) 1 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A10 真空控制产品目录

20 电容膜片真空计 真空计 Edge CDG100D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 精度 1) % 读值 0.15 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制 % F.S. 0.5 压强温度 工作 ( 周围环境 ) 5) C ) 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 瓦 20 在工作温度下 瓦 14 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 30 保护等级 IP 40 标准 CE 符合性 EN , EN , EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 5) SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 RS232-C 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 4) ) 内容积 1/2 吋管 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 1/2 吋管 克 ~837 DN 16 ISO-KF 克 ~852 DN 16 CF-R 克 ~875 8 VCR 插座型 克 ~897 真空控制产品目录 A11

21 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG100D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 以太网 协议以太网 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分, 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分, 特定设备配置 : 真空压强计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 CDG 的连接件 ( 模拟输出, D-sub. 15 脚, 插头型 电源电压, 设点 ) 以太网数据率 仟位 / 秒 以太网电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 5) 环境温度 >40 C 可增大表面温度高于 SEMI S2 兼容性值 标志 小心高温! 尺寸 毫米 ( 吋 ) 4.3 (0.17) EtherCAT x100 x10 x ERR A 8 0 RUN E A 8 0 E A 8 E LA LA 63 (2.48) IN OUT PWR (4.42) SP1 SP2 STATUS SP ZERO DIAG SP1 SP2 STATUS SP ZERO DIAG 63 (2.48) 31.5 (1.24) DN 16 ISO-KF 31.5 (1.24) DN 16 CF-R 31.5 (1.24) OD½" 13 (0.51) 31.5 (1.24) 8-VCR 插座型 female A12 真空控制产品目录

22 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG045Dhs 乇 / 毫巴 INFICON Stripe 高速电容膜片真空计是当今最快速的高精度真空测量仪器. 具有低于 1 毫秒的响应时间结合以太网现场总线接口. 它打开了一个全新的应用领域. 验证的温度控制和抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的多年满量程稳定性和杰出的零点稳定性. Stripe 附有 INFICON 专利的独特的传感器屏蔽, 它保护真空计防止不需要的过程副产物的侵袭. INFICON Stripe 采用革新的加热概念它提供接触表面的冷却, 和它的独特的速度能力, 使它成为同类中最为先进的真空仪器. 优势 高产率 快于 1 毫秒响应时间 灵活的集成 以太网 fieldbus 长寿命 验证的陶瓷传感器 再校准间隔期长 90ppm / 年全量程稳定性 典型应用 原子层镀膜 高速过程控制 PVD, CVD, 刻蚀 一般高温真空应用 真空控制产品目录 A13

23 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG045Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 订购资料 3 C C 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 单位 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A14 真空控制产品目录

24 电容膜片真空计 真空计 Stripe CDG045Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 精度 % 读值 0.15 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.01 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制 % F.S. 0.5 压强温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 瓦 14 在工作温度下 瓦 9 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 毫秒 1 保护等级 IP 30 标准 CE 符合性 EN , EN , EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 USB 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L) 内容积 1/2 吋管 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 1/2 吋管 克 ~837 DN 16 ISO-KF 克 ~852 DN 16 CF-R 克 ~875 8 VCR 插座型 克 ~897 真空控制产品目录 A15

25 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG045Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 以太网协议以太网 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分, 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分, 特定设备配置 : 真空压强计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN and OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 以太网电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 尺寸 毫米 毫米 mm (inch) ( 吋 ) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 2.2 (0.09) 15.7 (0.62) (5.74) (5.59) (3.35) 31.5 (1.24) 13 (0.51) ø85 (ø3.35) ø12.7 (ø0.5) A16 真空控制产品目录

26 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG100Dhs 乇 / 毫巴 INFICON Stripe 高速电容膜片真空计是当今最快速的高精度真空测量仪器. 具有低于 1 毫秒的响应时间结合以太网现场总线接口. 它打开了一个全新的应用领域. 验证的温度控制和抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的多年满量程稳定性和杰出的零点稳定性. Stripe 附有 INFICON 专利的独特的传感器屏蔽, 它保护真空计防止不需要的过程副产物的侵袭. INFICON Stripe 采用革新的加热概念它提供接触表面的冷却, 和它的独特的速度能力, 使它成为同类中最为先进的真空仪器. 优势 高产率 快于 1 毫秒响应时间 灵活的集成 以太网 fieldbus 长寿命 验证的陶瓷传感器 再校准间隔期长 90ppm / 年全量程稳定性 典型应用 原子层镀膜 高速过程控制 PVD, CVD, 刻蚀 一般高温真空应用 真空控制产品目录 A17

27 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG100Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 订购资料 3 C D 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 单位 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A18 真空控制产品目录

28 电容膜片真空计 真空计 Stripe CDG100Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 精度 % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制 % F.S. 0.5 压强温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 仟帕 16 在工作温度下 仟帕 11 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 毫秒 1 保护等级 IP 30 标准 CE 符合性 EN , EN , EN and RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 USB 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L) 内容积 1/2 吋管 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 1/2 吋管 克 ~837 DN 16 ISO-KF 克 ~852 DN 16 CF-R 克 ~875 8 VCR 插座型 克 ~897 真空控制产品目录 A19

29 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG100Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 以太网 协议以太网 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分, 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分, 特定设备配置 : 真空压强计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 以太网电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 尺寸 毫米 毫米 mm (inch) ( 吋 ) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 2.2 (0.09) 15.7 (0.62) (5.74) (5.59) 31.5 (1.24) 13 (0.51) (3.35) ø85 (ø3.35) ø12.7 (ø0.5) A20 真空控制产品目录

30 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Cube CDGsci 高端的 INFICON Cube 电容膜片仪器是当前最精确的 ( % 读值精度 ; 50 ppm F.S. 再现性 ) 和最稳定的真空计 (<5 ppm F.S./ C 温度稳定性 ; <70 ppm F.S./ 年的长期稳定性 ). Cube 设计作为纯的参考设备, 用于标准化的真空测量系统和是真空科研应用的唯一选择. 验证的 INFICON 温度控制的, 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器是 Cube 杰出性能的心脏. 通过无线或有线的以太网接口用 20 位的模拟输出和连接的 RS232-C, TCP/IP 和 HTML 数字输出 Cube 在现代通讯和用户灵活性中设定新的标准. 每个设备附有质量保证书由 Cube 的领先产品科研人员签发. 发运时置于可再用的硬壳内箱包装内以便贮存或发运至校准实验室, 着重它的专业性. 优势 真实的高精度压强测量 陶瓷工艺 全稳定输出 由 PTB 验证 灵活的通讯 各种现代接口 全功能集成的 不需要控制器 直接装配在真空室内 使重心最佳化 可无隔离阀运输 典型应用 传递标准 主参考真空计 科研 企业标准 真空控制产品目录 A21

31 真空计 电容膜片真空计 订购资料 3 C S 1 C 全量程 (F.S.) C 1000 F 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R E 8 VCR 插座型 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 A22 真空控制产品目录

32 电容膜片真空计 真空计 Cube CDGsci ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇 乇 100 m 乇 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 压强, 最大 巴 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 温度工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 瓦 在工作温度下 瓦 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 100 保护等级 IP 40 标准 CE 符合性 EN , EN , EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 ; 2 x LEMO 同轴 ; Ethernet FCC 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口 协议 网页, REST 网页, REST RS232-C 服务, RS232-ASCII services, RS232-ASCII 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 4) ) 内容积 DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 DN 16 ISO-KF 克 ~1670 DN 16 CF-R 克 ~ VCR 插座型 克 ~1670 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 真空控制产品目录 A23

33 真空计 电容膜片真空计 Cube CDGsci ( 续 ) 尺寸 毫米 (40.1) DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8VCR 插座型 female 105 A24 真空控制产品目录

34 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命. 独特的传感器屏蔽 ( 专利申请 ) 保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高 EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力. CDG025D 为加电源后的快速稳定性和暴露大气后的快速恢复性设定新的标准. 优势 全量程范围从 100 毫乇 1000 乇 加电源后快速稳定性 从大气压的快速恢复性 抗腐蚀的陶瓷传感器 卓越的长期讯号稳定性 温度补偿 传感器有防污染保护 一键调零功能 宽范围电源 两个设点 ( 可选 ) RS232 接口 ( 可选 ) 应用 半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 数据贮存和显示器制造设备 工业真空设备 一般高精度压强测量 真空控制产品目录 A25

35 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S ( 续 ) 订购资料 CDG025D, 温度补偿型全量程范围 法兰型号 乇帕毫巴 1/2 吋管 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR , , , CDG025D, with 2 设点 and RS232 接口, 温度补偿型全量程范围 粗体 = 标准产品 法兰型号 乇帕毫巴 1/2 吋管 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR , ,000 1, , , , , , , 其它法兰型号和全量程范围按用户要求 A26 真空控制产品目录

36 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG025D, CDG025D-S ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制压强 % F.S. 0.5 温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 3) C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 功耗 瓦 1 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 保护等级 IP 30 标准 EN , EN , EN 61010, UL , CSA 22.2 No , RoHS 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 4) 两个设点 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), Vacon 70 5), 不锈钢 (AISI 316L 6) ), AgCuTi 硬钎焊, 密封玻璃 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 未运行 4) 仅 CDG025D-S 5) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe 6) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 真空控制产品目录 A27

37 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 26,664 10,000 2,666 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 更多有关技术规范的内容, 见上表. 尺寸, 内容积, 重量 毫米 ( 吋 ) 55 (2.17) 26 (1.02) 44 (1.73) 69 (2.72) 3.8 (0.15) 管 OD ½" tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR RUN ZERO 1 2 SP 33.8 (1.33) 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积厘米 3 ( 吋 3 ) 3.6 ( 0.22) 3.6 ( 0.22) 3.6 ( 0.22) 3.6 ( 0.22) 重量克 A28 真空控制产品目录 TIBA33E1-E

38 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D-X 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命. 独特的传感器屏蔽 ( 专利申请 ) 保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高 EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力. CDG025D 为加电源后的快速稳定性和暴露大气后的快速恢复性设定新的标准. 优势 全量程范围从 100 毫乇 1000 乇 加电源后快速稳定性 从大气压的快速恢复性 抗腐蚀的陶瓷传感器 卓越的长期讯号稳定性 温度补偿 传感器对污染双保护 一键调零功能 宽范围电源 两个设点 RS232 接口 清洁室兼容 应用高要求的应用需要的精确和快速的压强测量 : 半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 数据贮存和显示器制造设备 工业真空设备 一般高精度压强测量 真空控制产品目录 A29

39 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D-X3 ( 续 ) 订购资料 3 C B 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 单位 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 0 标准 B 压强控制 1) 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值. 粗体 = 标准产品 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 A30 真空控制产品目录

40 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG025D-X3 ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制压强 % F.S. 0.5 温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 4) C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 功耗 瓦 1 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 保护等级 IP 30 标准 EN , EN , EN 61010, UL , CSA 22.2 No , RoHS 电连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 设点 两个设点 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 5) ) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 未运行 5) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 真空控制产品目录 A31

41 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D-X3 ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 26,664 10,000 2,666 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 更多技术规范见上表. 尺寸, 内容积, 重量 毫米 ( 吋 ) 55 (2.17) 3.8 (0.15) 26 (1.02) 44 (1.73) 69 (2.72) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR RUN ZERO 1 2 SP 33.8 (1.33) 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 重量 克 A32 真空控制产品目录 TIBA39E1-B

42 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG045D 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG045D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的最佳选择. 为实现卓越的讯号稳定性和再现性, CDG045D 真空计是在 45 C 下温度控制的. 可供应的真空计包括全量程范围从 50 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0 至 10 V, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 高效益的压强传感器用于高要求的真空应用. 优势 拥有成本低, 预热快 50%, 能效高, 低功耗 易集成, 规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点简易的一键按钮或运距讯号调零指令, 零点偏移可调整诊断口用于快速服务和维护两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 应用 刻蚀, CVD, PVD 和其它半导体过程 化学和腐蚀性的真空过程 一般薄膜和真空过程 参考传感器用于按国际标准监测测试仪器 传递标准用于可追踪的测量 真空控制产品目录 A33

43 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG045D ( 续 ) 订购资料 3 C C 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 现场总线接口 0 无 1 DeviceNet 2 Profibus DP 8 以太网 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 0 标准 B 压强控制 1) 单位 5 乇 (x 1.33 毫巴 ; x 133 帕 ) 6 毫巴 (x 100 帕 ) 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 粗体 = 标准产品 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 附件诊断通讯适配件 (2 米 ) 用于 PC RS232 串列端口 在 WindowsNT,XP 上运行诊断功能的软件可从我公司的网页上下载. A34 真空控制产品目录

44 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG045D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 精度 (1) % 读值 温度效应在零点 % FS/ C 温度效应在满量程 % 读值 / C 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % FS 最低压强读值 % FS 最低建议压强 % FS 最低建议控制压强 % FS 温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 C 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) or 伏 ( 直流 ) or 伏 ( 直流 ) 或 ±15 V (±5%) ±15 V (±5%) ±15 V (±5%) 功耗在升温过程中 瓦 在工作温度下 瓦 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 (2) 毫秒 /30 3) 保护等级 IP 40 IP 40 IP 40 标准 CE 符合性 EN /-6-3, EN EN /-6-3, EN EN /-6-3, EN & RoHS & RoHS & RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 UL , CSA 22.2 UL , CSA 22.2 No No No SEMI 兼容性 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 D-sub, 15 脚, 插头型 D-sub, 15 脚, 插头型 设点设点数 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 设点继电器触点 伏 ( 直流 ) 继电器触点 安 ( 直流 ) 设点滞后 % FS 诊断口协议 RS232-C RS232-C RS232-C 读 压强, 状态, ID 压强, 状态, ID 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 调零 设点, 筛选值, 调零 设点, 筛选值, 调零 工厂复位, 工厂复位, 工厂复位, DC 偏置 DC 偏置 DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 氧化铝陶瓷 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), (AI 2 O 3 ), (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316l 4) ) 不锈钢 (AISI 316l 4) ) 不锈钢 (AISI 316l 4) ) 真空控制产品目录 A35

45 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG045D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 内容积内容积 1/2 吋管 厘米 ³ ( 吋 ³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内容积 DN 16 ISO KF 厘米 ³ ( 吋 ³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内容积 DN 16 CF-R 厘米 ³ ( 吋 ³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内容积 8 VCR 厘米 ³ ( 吋 ³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 重量重量 1/2 吋管 克 重量 DN 16 ISO KF 克 重量 DN 16 CF-R 克 重量 8 VCR 克 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 66,661 26,664 6, , 毫巴 精度 1) % 读值 0.15 温度效应 在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.01 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 更多技术规范见上表. 技术规范 ( 基于毫巴的产品 ) 测量范围 毫巴 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 10,000 1, 精度 1) % 读值 0.15 温度效应 在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.01 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号更多技术规范见表 «技术规范 ( 基于乇的标准产品 )» 和 «技术规范 ( 基于乇的其它产品 )». A36 真空控制产品目录

46 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG045D ( 续 ) 技术规范 (DeviceNet) CDG045D DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率 仟波特 125, 250, 500 由开关或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 (ODVA) 设备型号 VG 真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 电源电压用于连接在 D-sub 连接件上的真空计 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 / 12 瓦 电源电压用于 DeviceNet 收发机 微型连接件 24 伏 nom / <2 瓦 (11 25 伏 ) DeviceNet 的连接件 微型, 5 脚, 插头型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压 CDG, 设点 ) D-sub, 15 脚, 插头型 技术规范 (Profibus DP) CDG045D Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 Profibus DP 的连接件 D-sub, 9 脚, 插座型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-sub, 15 脚, 插头型 技术规范 ( 以太网 ) CDG045D 以太网 协议 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分 半导体设备配置 特定设备配置 : 真空计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx-(IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 电缆长度 米 ( 呎 ) <100 (330) TIBA34E1-C 真空控制产品目录 A37

47 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG045D ( 续 ) 尺寸 毫米 ( 吋 ) 3.8 (0.15) 82 (3.23) DeviceNet (5.74) (5.59) 10.8 (0.41) 13 (0.51) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 16.5 (0.65) 43.2 (1.70) 31.5 (1.24) 54.1 (2.13) (4.35) 8 VCR 插座型 female 长管 long SP1 SP1 SP2 STATUS SP2 STATUS Standard 标准 DeviceNet x100 x10 x ERR RUN E A E A E A ADDRESS NET LA LA E C A E C A 17.9 (0.70) IN OUT 17.9 (0.70) MSD LSD DIAG DIAG SP1 PWR SP1 SP2 STATUS SP ZERO SP2 STATUS SP ZERO EtherCAT Profibus 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 重量 克 A38 真空控制产品目录

48 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG100D 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG100D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的最佳选择. CDG100D 真空计是在 100 C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有卓越的性能. 可供应的真空计包括全量程范围从 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0 至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 高效益的压强传感器用于高要求的半导体, 等离子和真空应用. 优势 拥有成本低, 预热快 50%, 能效高, 低功耗 易集成, 规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点简易的一键按钮或运距讯号调零指令, 零点偏移可调整诊断口用于快速服务和维护两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 应用 刻蚀, PVD, CVD 和其它半导体过程 化学和腐蚀性的高温过程 一般薄膜和真空过程要求的真空计保护 真空控制产品目录 A39

49 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG100D ( 续 ) 订购资料 3 C D 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 现场总线接口 0 无 1 DeviceNet 2 Profibus DP 8 以太网 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 0 标准 B 压强控制 1) 单位 5 乇 (x 1.33 毫巴 ; x 133 帕 ) 6 毫巴 (x 100 帕 ) 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 粗体 = 标准产品 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 附件诊断通讯适配件 (2 米 ) 用于 PC RS232 串列端口 在 WindowsNT,XP 上运行诊断功能的软件可从我公司的网页上下载. A40 真空控制产品目录

50 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG100D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制压强 % F.S. 0.5 温度工作 ( 周围环境 ) 5) C 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 (±5%) 功耗在升温过程中 瓦 15 在工作温度下 瓦 10 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 保护等级 IP 40 标准 EN , EN , EN 61010, UL , CSA 22.2 No , SEMI S-2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 两个设点 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 RS232-C 读 压强, 状态, ID, 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 4) ) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 % F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 5) 环境温度 >40 C 可增大表面温度高于 SEMI S2 兼容性值 标志 小心高温! 真空控制产品目录 A41

51 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG100D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 66,661 26,664 6, , 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 更多技术规范见上表. 技术规范 ( 基于毫巴的产品 ) 测量范围 毫巴 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 10,000 1, 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号更多技术规范见表 «技术规范 ( 基于乇的标准产品 )» 和 «技术规范 ( 基于乇的其它产品 )». A42 真空控制产品目录

52 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG100D ( 续 ) 技术规范 (DeviceNet) CDG100D DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率 仟波特 125, 250, 500 由开关或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 (ODVA) 设备型号 VG 真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 电源电压用于连接在 D-sub 连接件上的真空计 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 / 12 瓦 电源电压用于 DeviceNet 收发机 微型连接件 24 V nom / <2 瓦 (11 25 伏 ) DeviceNet 的连接件 微型, 5 脚, 插头型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-sub, 15 脚, 插头型 技术规范 (Profibus DP) CDG100D Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 Profibus DP 的连接件 D-sub, 9 脚, 插座型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-sub, 15 脚, 插头型 技术规范 ( 以太网 ) CDG100D 以太网 协议 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分 半导体设备配置 特定设备配置 : 真空计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx-(IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 电缆长度 米 ( 呎 ) <100 (330) 真空控制产品目录 A43

53 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG100D ( 续 ) 尺寸 毫米 ( 吋 ) 3.8 (0.15) 82 (3.23) DeviceNet (5.74) (5.59) 10.8 (0.41) 13 (0.51) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 16.5 (0.65) 43.2 (1.70) 31.5 (1.24) 54.1 (2.13) (4.35) 8 VCR 插座型 female 长管 long SP1 SP1 SP2 STATUS SP2 STATUS Standard 标准 DeviceNet x100 x10 x ERR RUN E A E A E A ADDRESS NET LA LA E C A E C A 17.9 (0.70) IN OUT 17.9 (0.70) MSD LSD DIAG DIAG SP1 PWR SP1 SP2 STATUS SP ZERO SP2 STATUS SP ZERO EtherCAT Profibus 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 重量 克 A44 真空控制产品目录 TIBA35E1-C

54 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160D, CDG200D 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高温真空计是用于高精度总压强测量和控制的最佳选择. CDG160D 和 CDG200D 真空计是在 160 C 至 200 C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有卓越的性能. 可供应的真空计包括全量程范围从 1 乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0 至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDGs 是高质量, 高效益的压强传感器用于高要求的半导体, 等离子和真空应用. 优势 拥有成本低, 预热快 50%, 能效高, 低功耗 易集成, 规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点 简易的一键按钮或运距讯号调零指令, 零点偏移可调整 诊断口用于快速服务和维护 两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命 由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要 兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 应用 刻蚀, CVD, PVD 和其它半导体过程 化学和腐蚀性的高温过程 一般薄膜和真空过程要求的真空计保护 真空控制产品目录 A45

55 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 订购资料 3 C E E 传感器温度 C 160 E 200 F 0 标准 B 压强控制 1) 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 现场总线接口 0 无 1 DeviceNet 2 Profibus DP 8 以太网 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 单位 5 乇 (x 1.33 毫巴 ; x 133 帕 ) 6 毫巴 (x 100 帕 ) 粗体 = 标准产品 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 附件诊断通讯适配件 (2 米 ) 用于 PC RS232 串列端口 在 WindowsNT,XP 上运行诊断功能的软件可从我公司的网页上下载. A46 真空控制产品目录

56 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1, 毫巴 精度 1) % 读值 0.4 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制压强 % F.S. 0.5 温度工作 ( 周围环境 ) 4) C 法兰处烘烤 C 200 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 (±5%) 功耗在升温过程中 CDG160D 瓦 18 CDG200D 瓦 25 功耗在工作温度下 CDG160D 瓦 12 CDG200D 瓦 18 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 30 保护等级 IP 40 标准 EN , EN , EN 61010, UL , CSA 22.2 No , SEMI S-2 电连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 设点 两个设点 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 RS232-C 读 压强, 状态, ID, 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 3) ) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 4) 环境温度 >40 C 可增大表面温度高于 SEMI S2 兼容性值 标志 小心高温! 真空控制产品目录 A47

57 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 66,661 26,664 6, , 毫巴 精度 1) % 读值 0.4 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 更多技术规范见上表. 技术规范 ( 基于毫巴的产品 ) 测量范围 毫巴 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 10,000 1, 精度 1) % 读值 0.4 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 更多技术规范见表 «技术规范 ( 基于乇的标准产品 )» 和 «技术规范 ( 基于乇的其它产品 )». 技术规范 (DeviceNet) CDG160D, CDG200D DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率 仟波特 125, 250, 500 由开关或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 (ODVA) 设备型号 VG 真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 电源电压用于连接在 D-sub 连接件上的真空计 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 / 12 瓦 电源电压用于 DeviceNet 收发机 微型连接件 24 伏 nom / <2 瓦 (11 25 伏 ) DeviceNet 的连接件 微型, 5- 脚, 插头型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-Sub, 15- 脚, 插头型 A48 真空控制产品目录

58 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 技术规范 (Profibus DP) CDG160D, CDG200D Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 Profibus DP 的连接件 D-Sub, 9- 脚, 插座型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-Sub, 15- 脚, 插头型 技术规范 ( 以太网 ) CDG160D, CDG200D 以太网 协议 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分 半导体设备配置 特定设备配置 : 真空计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx-(IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 电缆长度 米 ( 呎 ) <100 (330) TIBA36E1-C 真空控制产品目录 A49

59 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 尺寸, 内容积, 重量 毫米 ( 吋 ) 3.8 (0.15) 82 (3.23) DeviceNet (5.74) (5.59) 10.8 (0.41) 13 (0.51) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 16.5 (0.65) 43.2 (1.70) 31.5 (1.24) 54.1 (2.13) (4.35) 8 VCR 插座型 female 长管 long SP1 SP1 SP2 STATUS SP2 STATUS Standard 标准 DeviceNet x100 x10 x ERR RUN E A E A E A ADDRESS NET LA LA E C A E C A 17.9 (0.70) IN OUT 17.9 (0.70) MSD LSD DIAG DIAG SP1 PWR SP1 SP2 STATUS SP ZERO SP2 STATUS SP ZERO EtherCAT Profibus 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 ( 0.26) 4.2 ( 0.26) 4.2 ( 0.26) 4.2 ( 0.26) 重量 克 A50 真空控制产品目录

60 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 AllCeramic CDG025-C Sky AllCeramic CDG 全部暴露于真空的表面是由超纯氧化铝陶瓷构成的, 取代常规 CDG 中的不锈钢管材料. 本产品适用于必须避免金属污染的应用中. 优势 无金属污染 微小的零点漂移 真正的抗腐蚀 长的传感器寿命减少停机时间从而降低拥有成本长期运行中卓越的精度和再现性更好的长期温度稳定性对频繁接触大气不敏感, 可省略隔离阀 ( 取决于操作模式 ) 由于增强的粒子防护层 (Suprashield), 对微粒和过程副产物不敏感 应用 刻蚀, CVD 和 PVD 过程 用注入或扩散过程掺杂硅 氧化 创建 100 Å 量级的栅极氧化层 创建阻断层 (Ti, TiN, Ta 和 TaN, 作为硅与铝或铜之间的保护层 ) 订购资料 全量程 ( 帕 1) ) 型号法兰 ATM± ) CDG025-C 1/2 吋管 ) 其它压强单位请提要求 2) 大气压与真空计之间的压差 真空控制产品目录 A51

61 真空计 SKY 电容膜片真空计 AllCeramic CDG025-C ( 续 ) 技术规范 测量范围 帕 ATM± F.S. ( 全量程 ) 最低建议控制压强 帕 6.66 x x x x 10-1 最低建议压强 帕 6.66 x x x x 10-2 最低压强读值 帕 1.33 x x x x ) 精度 % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰 C 贮存 C 压强最大 ( 绝对 ) 仟帕 电源电压 1 or 伏 ( 直流 ) ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% 电压 2 伏 ( 直流 ) ) 功耗 瓦 输出讯号 ( 模拟 ) 测量范围 伏 ±5 电压范围 伏 电压与压强的关系 线性 线性 线性 线性 线性 响应时间 毫秒 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.5 (0.275) 4.5 (0.275) 4.5 (0.275) 4.5 (0.275) 4.5 (0.275) 重量 克 保护类型 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 电连接件 D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, 插头型 插头型 插头型 插头型 插头型 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 密封玻璃 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 达到工作温度后, 在 25 C 室温下的典型值. 尺寸 57 (2.24") 毫米 mm ( 吋 (inch) ) 30 (1.18") 63 (2.48") 55 (2.17" ) 1/2 " 管 tube A52 真空控制产品目录 TIBA07E1-A

62 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 是唯一完全无金属的 160 C 温度控制的电容膜片真空计设计用于高要求的应用, 如氧化, 扩散和 LPCVD. 暴露于真空的全部表面如管道, 等离子屏蔽和防污染屏蔽均由抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷构成, 完全免除了对真空计的金属污染. INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 集成了验证的 INFICON CDG160A 真空计系列的传感器技术, 在 LPCVD 和其它严酷的半导体制造应用中达到可靠和可再现的性能. 优势 无金属的超纯陶瓷结构防止金属污染物 温度控制于 160 C 防止过程产物和副产物的凝聚 小型设计节省可贵的空间和简化工具集成 高环境温度兼容性 增强的微粒保护室具有附加的保护层 (Suprashield) 减少真空计被污染的可能性独特的陶瓷传感器结构提供再现性和精确的测量, 具有极好的长期稳定性可选的设点和状态指示提供附加的控制和安全功能 应用 氧化, 扩散和 LPCVD 过程 其它无金属的真空测量要求 订购资料 全量程 ( 帕 1) ) 型号 设点 法兰 CDG160A-C 无 1/2 吋管 CDG160A-CS 2 1/2 吋管 ) 其它压强单位请提要求 真空控制产品目录 A53

63 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160A-C / CDG160A-CS ( 续 ) 技术规范 测量范围 帕 F.S. ( 全量程 ) 最低建议控制压强 帕 6.66 x x x x 10-1 最低建议压强 帕 6.66 x x x x 10-2 最低压强读值 帕 1.33 x x x x 10-2 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 温度工作 ( 周围环境 ) C 烘烤 ( 法兰处 ) C 贮存 C 压强最大 ( 绝对 ) 仟帕 电源 伏 ( 直流 ) ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% 功耗在工作温度下 瓦 在预热过程中 CDG160A-C 瓦 CDG160A-CS 瓦 输出讯号 ( 模拟 ) 测量范围 伏 电压范围 伏 电压与压强的关系 线性 线性 线性 线性 响应时间 毫秒 保护类型 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 电连接件 CDG160A-C D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, 插头型 插头型 插头型 插头型 CDG160A-CS D-sub, 25 脚, D-sub, 25 脚, D-sub, 25 脚, D-sub, 25 脚, 插头型 插头型 插头型 插头型 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.7 (0.286) 4.7 (0.286) 4.7 (0.286) 4.7 (0.286) 重量 CDG160A-C 克 CDG160A-CS 克 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 密封玻璃 CDG160A-CS 继电器功能 两个设点, 5 个状态指示灯 ( 两个设点起作用, 温度传感器 ok, 温度准备好, 过热 ) 和光学状态指示灯 ( 电源 on) 继电器触点类型 NO / NC NO / NC NO / NC NO / NC 切换 切换 切换 切换 开关电压最大 伏 ( 直流 ) / 伏 ( 交流 ) 110 / / / / 125 开关电流 安 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. A54 真空控制产品目录

64 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG160A-C / CDG160A-CS ( 续 ) 尺寸 ø78.5 (3.09") 2.5 (0.098") 5.0 (0.197") (5.88") 105 (4.13") CDG160A-C CDG160A-CS 陶瓷管 1 /2 吋 CDG160A-C 和 CDG160A-CS TIBA13E1-A 真空控制产品目录 A55

65 真空计 B-A 型皮拉尼真空计 B-A 型真空计 BAG402 INFICON 单 B-A 型热阴极电离真空计 BAG402 覆盖宽阔的测量范围从 5 x 毫巴至 6.7 x 10-2 毫巴 (3.75 x 乇至 5 x 10-2 乇 ). 选择 INFICON BAG402 用于可及的和可再现的过程, 在一个小型的活性真空计组件中执行基本的压强测量. 独特的支持的双灯丝提供极好的精度和长使用寿命. 以太网选件可单系统整合. 优势 测量范围从 5 x 毫巴至 6.7 x 10-2 毫巴 (3.75 x 乇至 5 x 10-2 乇 ) 卓越的再现性在过程压强从 毫巴的范围内为 5% 过压检测保护灯丝防止过早烧毁 两根涂敷氧化钇的长寿命铱灯丝 可提供以太网现场总线接口 发射电流选择降低控制的复杂性 易于更换传感元件和在机校准数据保证高的再现性 RoHS 兼容性 应用 在半导体过程和传送室中的压强测量 工业镀膜 在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制 订购资料 型号 BAG402 BAG402-S BAG402-SE 设点 无 一个设点 一个设点 连接件 D-Sub, 9- 脚 D-Sub, 15- 脚 D-Sub, 15- 脚 接口 模拟 模拟 /RS232C 以太网 DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用传感器 DN 25 ISO-KF 更换用传感器 DN 40 CF-R A56 真空控制产品目录