Vacuum Control Catalog 14-15_US_chs.indb

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1 真空控制产品目录 真空计, 配件, 馈入件

2 目录 真空控制产品目录 目录 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D A1 Edge CDG045D A5 Edge CDG100D A9 Stripe CDG045Dhs A13 Stripe CDG100Dhs A17 Cube CDGsci A21 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S A25 CDG025D-X A29 CDG045D A33 CDG100D A39 CDG160D, CDG200D A45 AllCeramic CDG025-C A51 AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS A53 B-A 型真空计 BAG A56 B-A 型皮拉尼真空计 BPG A60 BPG402-S A64 高压强热电离型皮拉尼真空计 HPG A69 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 TripleGauge BCG A73 皮拉尼标准真空计 PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S A78 PSG550, PSG552, PSG A82 皮拉尼电容膜片真空计 PCG550, PCG552, PCG A88 潘宁真空计 PEG A94 反磁控 / 反磁控皮拉尼真空计 Gemini MAG500/504, MPG500/ A97 MPG400/ A102 真空控制产品目录 i

3 真空控制产品目录 目录 真空计控制器 VGC401, VGC402, VGC A105 PGD A107 真空开关 VSA100A A109 VSA200, VSD A111 VSC150A A115 校准服务真空计 A118 检测文件服务真空控制 A119 真空馈入件 旋转馈入件 ISO-KF / ISO-K FRH DN 16 - DN B1 旋转馈入件 CF FRU DN 16 - DN B3 旋转 / 线性运动馈入件 ISO-KF FCH DN 16 - DN B5 线性运动馈入件 FPU DN 16 - DN B7 电馈入件 DN 16 ISO-KF B9 DN 40 ISO KF B11 DN 16 CF B13 DN 40 CF B15 DN 40 ISO KF B17 同轴馈入件 ISO-KF / CF-F BNC / MHV DN B19 真空馈入件金属 - 陶瓷连接 B21 液体馈入件 ISO-KF / CF-F DN B23 ii 真空控制产品目录

4 目录 真空控制产品目录 观察窗 DN 25 - DN 50 ISO-KF B25 DN 63 - DN 160 ISO-K B27 DN 16 - DN 160 CF B29 DN 63 - DN 160 ISO-F B31 真空馈入件真空球轴承 B33 润滑剂和密封材料 B35 检测文件服务真空控制 A119 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件连接件 C1 密封件 C4 法兰 C11 管道配件 C13 波纹管 / 软管带法兰 C16 过渡件 C18 软管, 软管连接件 C22 ISO-K 夹具式法兰元件连接件 C25 密封件 C27 法兰 C30 管道配件 C32 波纹管 / 软管带法兰 C35 过渡件 C36 保护盖 C38 ISO-F 固定式法兰元件法兰元件 C39 UHV CF 法兰元件连接件 C42 密封件 C44 法兰 C46 管道配件 C51 波纹管 / 软管带法兰, 补偿件 C54 过渡件 C55 保护盖 C56 检测文件服务真空控制 A119 真空控制产品目录 iii

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6 真空计

7 真空计 目录 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D A1 Edge CDG045D A5 Edge CDG100D A9 Stripe CDG045Dhs A13 Stripe CDG100Dhs A17 Cube CDGsci A21 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S A25 CDG025D-X A29 CDG045D A33 CDG100D A39 CDG160D, CDG200D A45 AllCeramic CDG025-C A51 AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS A53 B-A 型真空计 BAG A56 B-A 型皮拉尼真空计 BPG A60 BPG402-S A64 高压强热电离皮拉尼真空计 HPG A69 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 TripleGauge BCG A73 Aii 真空控制产品目录

8 目录 真空计 真空计 ( 续 ) 皮拉尼标准真空计 PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S A78 PSG550, PSG552, PSG A82 皮拉尼电容膜片真空计 PCG550, PCG552, PCG A88 潘宁真空计 PEG A94 反磁控 / 反磁控皮拉尼真空计 NEW Gemini MAG500/504, MPG500/ A97 MPG400/ A102 真空计控制器 VGC401, VGC402, VGC A105 PGD A107 真空开关 VSA100A A109 VSA200, VSD A111 VSC150A A115 校准服务控制器真空计 A118 检验文件服务真空控制 A119 真空控制产品目录 Aiii

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10 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D INFICON Porter CDG020D 电容膜片真空计是高质量, 低成本, 与气体类型无关的绝对压强传感器. Porter 设计用于在工业环境中长期稳定的性能. 陶瓷传感器提供许多年内无需维护的卓越的满量程稳定性和杰出的零点稳定性. 抗腐蚀的单一材料传感器结构保证卓越的温度补偿. 全数字电子学和小占位率决定在任何整合中的灵活性. Porter 真空计坚实可靠, 始终库存供货和价格适中. 优势 整个量程内卓越的稳定性 与气体类型无关 抗腐蚀的氧化铝传感器 小型轻便, 同类产品中尺寸最小 易整合, 任何方位安装 数字讯号处理 无需维护 用途 真空镀膜 真空监测 消毒灭菌 食品和包装 真空炉, 拉晶器 分析 化学真空过程 真空控制产品目录 A1

11 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D ( 续 ) 订购资料 3 C A 3 F 精度 1% 3 0.5% 4 电连接件 0 FCC, 8- 脚 1 D-Sub, 9- 脚 A 结合件 M12, 8- 脚 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 C 4 VCR 插头型 D 4 VCR 插座型 E 8 VCR 插座型 单位 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A2 真空控制产品目录

12 电容膜片真空计 真空计 Porter CDG020D ( 续 ) 技术规范 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1,333 66,661 26,664 6,666 2, ,000 10,000 毫巴 精度 1) 3CA3-xxx-xxx % 读值 1 3CA4- % 读值 0.5 温度效应在零点上 % F.S. / C 0.02 在满量程上 % 读值 / C 0.02 分辨率 % F.S 长期稳定性 % F.S. / 年 0.05 最低压强读值 % F.S 温度补偿范围 C 容许温度运行 ( 环境 ) C 烘烤 ( 法兰处 ) 2) C 110 贮存 C 环境湿度上限 % RH <80%, 无凝聚 电源电压 伏 ( 直流 ) 功耗 瓦 0.3 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 最大输出电压 伏 ( 直流 ) 反应时间 3) 毫秒 100 保护等级 IP 40 标准 CE 符合性 EMC (EN , EN ), EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CAN/CSA C22.2 No SEMI 依顺性 SEMI S2 电连接 3CAx-xxx-0000 FCC, 8- 脚 D-Sub, 9- 脚, 插头型 -0A00 连接件 M12, 8- 脚, 插头型 暴露于真空中的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L), 密闭度 毫巴升 / 秒 <1x10-9 安装方位 任何 内容积 DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 3.7 (0.226) 4 VCR 插头型 厘米 3 ( 吋 3 ) 6.1 (0.372) 4 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 5.6 (0.342) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 5.1 (0.311) 重量 DN 16 ISO-KF 克 ~110 4 VCR 插头型 克 ~123 4 VCR 插座型 克 ~133 8 VCR 插座型 克 ~159 维护 无 1) 在 25 C 环境工作温度下, 2 小时运行后, 无非线性, 滞后性, 重复性温度效应. 2) 未运行 3) 增大 10 90% F.S. 真空控制产品目录 A3

13 真空计 电容膜片真空计 Porter CDG020D ( 续 ) 尺寸 毫米 ( 吋 ) 65 (2.56") 50 (1.97") 65 (2.56") (1.54") 55 (2.16") 28.3 (1.11") 84 (3.31") 28.3 (1.11") 15 (0.59") DN 16 ISO-KF 49.2 (1.93") 64.2 (2.53") 84 (3.31") 84 (3.31") 28.3 (1.11") 28.3 (1.11") 30.7 (1.21") 插座型 8 VCR female 插座型 4 VCR female 插头型 4 VCR male A4 真空控制产品目录 TIBA44E1

14 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG045D 乇 / 毫巴 INFICON Edge 电容膜片真空计是高精度真空测量仪器, 设计用于严酷的制造环境. 验证的温度控制和抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的多年满量程稳定性和杰出的零点稳定性. Edge 附有 INFICON 专利的, 独特的传感器屏蔽, 它保护真空计防止不需要的过程副产物的侵袭. 先进的电子学为全部应用和可选的以太网 现场总线接口提供许多可配置的讯号条件处理功能. 创新的加热概念使接触表面可冷却和节省宝贵的工具空间. INFICON Edge 是同类中最小的真空测量仪器. 优势 小型, 节省宝贵的工具空间 易集成, 以太网, 大量的全量程和法兰配置, 标准型号带有两个设点简易的一键按钮或运距讯号抑零指令, 零偏移调整 诊断口用于快速服务和维护 两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命. 由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 典型应用 CVD, 刻蚀, PVD 和其它半导体生产过程 真空控制产品目录 A5

15 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG045D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 订购资料 3 C C 标准 B 压强控制 1) 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 法兰 现场总线接口 0 无 8 以太网 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 单位 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A6 真空控制产品目录

16 电容膜片真空计 真空计 Edge CDG045D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 精度 1) % 读值 0.15 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.01 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制 % F.S. 0.5 压强温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 瓦 12 在工作温度下 瓦 8 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 30 保护等级 IP 40 标准 CE 符合性 EMC (EN , EN ), EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 RS232-C 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 4) ) 内容积 1/2 吋管 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 1/2 吋管 克 ~837 DN 16 ISO-KF 克 ~852 DN 16 CF-R 克 ~875 8 VCR 插座型 克 ~897 真空控制产品目录 A7

17 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG045D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 以太网 协议以太网 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分, 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分, 特定设备配置 : 真空压强计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 以太网数据率 仟位 / 秒 以太网电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 25 C 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 尺寸 毫米 ( 吋 ) 4.3 (0.17) EtherCAT x100 x10 x ERR A 8 0 RUN E A 8 0 E A 8 E LA LA 63 (2.48) IN OUT PWR (4.42) SP1 SP2 STATUS SP ZERO DIAG SP1 SP2 STATUS SP ZERO DIAG 63 (2.48) 31.5 (1.24) DN 16 ISO-KF 31.5 (1.24) DN 16 CF-R 31.5 (1.24) OD½" 13 (0.51) 31.5 (1.24) 8-VCR 插座型 female A8 真空控制产品目录

18 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG100D 乇 / 毫巴 INFICON Edge 电容膜片真空计是高精度真空测量仪器, 设计用于严酷的制造环境. 验证的温度控制和抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的多年满量程稳定性和杰出的零点稳定性. Edge 附有 INFICON 专利的, 独特的传感器屏蔽, 它保护真空计防止不需要的过程副产物的侵袭. 先进的电子学为全部应用和可选的以太网 现场总线接口提供许多可配置的讯号条件处理功能. 创新的加热概念使接触表面可冷却和节省宝贵的工具空间. INFICON Edge 是同类中最小的真空测量仪器. 优势 小型, 节省宝贵的工具空间 易集成, 以太网, 大量的全量程和法兰配置, 标准型号带有两个设点简易的一键按钮或运距讯号抑零指令, 零偏移调整 诊断口用于快速服务和维护 两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命. 由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 典型应用 CVD, 刻蚀, PVD 和其它半导体过程 真空控制产品目录 A9

19 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG100D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 订购资料 3 C D 标准 B 压强控制 1) 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 法兰 现场总线接口 0 无 8 以太网 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 单位 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 Pa) 6 毫巴 ( 100 Pa) 1 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A10 真空控制产品目录

20 电容膜片真空计 真空计 Edge CDG100D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 精度 1) % 读值 0.15 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制 % F.S. 0.5 压强温度 工作 ( 周围环境 ) 5) C ) 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 瓦 20 在工作温度下 瓦 14 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 30 保护等级 IP 40 标准 CE 符合性 EN , EN , EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 5) SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 RS232-C 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 4) ) 内容积 1/2 吋管 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 1/2 吋管 克 ~837 DN 16 ISO-KF 克 ~852 DN 16 CF-R 克 ~875 8 VCR 插座型 克 ~897 真空控制产品目录 A11

21 真空计 电容膜片真空计 Edge CDG100D 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 以太网 协议以太网 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分, 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分, 特定设备配置 : 真空压强计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 CDG 的连接件 ( 模拟输出, D-sub. 15 脚, 插头型 电源电压, 设点 ) 以太网数据率 仟位 / 秒 以太网电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 5) 环境温度 >40 C 可增大表面温度高于 SEMI S2 兼容性值 标志 小心高温! 尺寸 毫米 ( 吋 ) 4.3 (0.17) EtherCAT x100 x10 x ERR A 8 0 RUN E A 8 0 E A 8 E LA LA 63 (2.48) IN OUT PWR (4.42) SP1 SP2 STATUS SP ZERO DIAG SP1 SP2 STATUS SP ZERO DIAG 63 (2.48) 31.5 (1.24) DN 16 ISO-KF 31.5 (1.24) DN 16 CF-R 31.5 (1.24) OD½" 13 (0.51) 31.5 (1.24) 8-VCR 插座型 female A12 真空控制产品目录

22 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG045Dhs 乇 / 毫巴 INFICON Stripe 高速电容膜片真空计是当今最快速的高精度真空测量仪器. 具有低于 1 毫秒的响应时间结合以太网现场总线接口. 它打开了一个全新的应用领域. 验证的温度控制和抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的多年满量程稳定性和杰出的零点稳定性. Stripe 附有 INFICON 专利的独特的传感器屏蔽, 它保护真空计防止不需要的过程副产物的侵袭. INFICON Stripe 采用革新的加热概念它提供接触表面的冷却, 和它的独特的速度能力, 使它成为同类中最为先进的真空仪器. 优势 高产率 快于 1 毫秒响应时间 灵活的集成 以太网 fieldbus 长寿命 验证的陶瓷传感器 再校准间隔期长 90ppm / 年全量程稳定性 典型应用 原子层镀膜 高速过程控制 PVD, CVD, 刻蚀 一般高温真空应用 真空控制产品目录 A13

23 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG045Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 订购资料 3 C C 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 单位 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A14 真空控制产品目录

24 电容膜片真空计 真空计 Stripe CDG045Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 精度 % 读值 0.15 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.01 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制 % F.S. 0.5 压强温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 瓦 14 在工作温度下 瓦 9 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 毫秒 1 保护等级 IP 30 标准 CE 符合性 EN , EN , EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 USB 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L) 内容积 1/2 吋管 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 1/2 吋管 克 ~837 DN 16 ISO-KF 克 ~852 DN 16 CF-R 克 ~875 8 VCR 插座型 克 ~897 真空控制产品目录 A15

25 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG045Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 以太网协议以太网 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分, 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分, 特定设备配置 : 真空压强计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN and OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 以太网电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 尺寸 毫米 毫米 mm (inch) ( 吋 ) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 2.2 (0.09) 15.7 (0.62) (5.74) (5.59) (3.35) 31.5 (1.24) 13 (0.51) ø85 (ø3.35) ø12.7 (ø0.5) A16 真空控制产品目录

26 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG100Dhs 乇 / 毫巴 INFICON Stripe 高速电容膜片真空计是当今最快速的高精度真空测量仪器. 具有低于 1 毫秒的响应时间结合以太网现场总线接口. 它打开了一个全新的应用领域. 验证的温度控制和抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的多年满量程稳定性和杰出的零点稳定性. Stripe 附有 INFICON 专利的独特的传感器屏蔽, 它保护真空计防止不需要的过程副产物的侵袭. INFICON Stripe 采用革新的加热概念它提供接触表面的冷却, 和它的独特的速度能力, 使它成为同类中最为先进的真空仪器. 优势 高产率 快于 1 毫秒响应时间 灵活的集成 以太网 fieldbus 长寿命 验证的陶瓷传感器 再校准间隔期长 90ppm / 年全量程稳定性 典型应用 原子层镀膜 高速过程控制 PVD, CVD, 刻蚀 一般高温真空应用 真空控制产品目录 A17

27 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG100Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 订购资料 3 C D 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 单位 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 粗体 = 标准产品 其它法兰类型和全量程 (F.S.) 按用户要求 A18 真空控制产品目录

28 电容膜片真空计 真空计 Stripe CDG100Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 精度 % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制 % F.S. 0.5 压强温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 仟帕 16 在工作温度下 仟帕 11 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 毫秒 1 保护等级 IP 30 标准 CE 符合性 EN , EN , EN and RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 USB 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L) 内容积 1/2 吋管 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 1/2 吋管 克 ~837 DN 16 ISO-KF 克 ~852 DN 16 CF-R 克 ~875 8 VCR 插座型 克 ~897 真空控制产品目录 A19

29 真空计 电容膜片真空计 Stripe CDG100Dhs 乇 / 毫巴 ( 续 ) 技术规范 型号 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 以太网 协议以太网 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分, 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分, 特定设备配置 : 真空压强计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 以太网电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 尺寸 毫米 毫米 mm (inch) ( 吋 ) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 2.2 (0.09) 15.7 (0.62) (5.74) (5.59) 31.5 (1.24) 13 (0.51) (3.35) ø85 (ø3.35) ø12.7 (ø0.5) A20 真空控制产品目录

30 电容膜片真空计 真空计 电容膜片真空计 Cube CDGsci 高端的 INFICON Cube 电容膜片仪器是当前最精确的 ( % 读值精度 ; 50 ppm F.S. 再现性 ) 和最稳定的真空计 (<5 ppm F.S./ C 温度稳定性 ; <70 ppm F.S./ 年的长期稳定性 ). Cube 设计作为纯的参考设备, 用于标准化的真空测量系统和是真空科研应用的唯一选择. 验证的 INFICON 温度控制的, 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器是 Cube 杰出性能的心脏. 通过无线或有线的以太网接口用 20 位的模拟输出和连接的 RS232-C, TCP/IP 和 HTML 数字输出 Cube 在现代通讯和用户灵活性中设定新的标准. 每个设备附有质量保证书由 Cube 的领先产品科研人员签发. 发运时置于可再用的硬壳内箱包装内以便贮存或发运至校准实验室, 着重它的专业性. 优势 真实的高精度压强测量 陶瓷工艺 全稳定输出 由 PTB 验证 灵活的通讯 各种现代接口 全功能集成的 不需要控制器 直接装配在真空室内 使重心最佳化 可无隔离阀运输 典型应用 传递标准 主参考真空计 科研 企业标准 真空控制产品目录 A21

31 真空计 电容膜片真空计 订购资料 3 C S 1 C 全量程 (F.S.) C 1000 F 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R E 8 VCR 插座型 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 A22 真空控制产品目录

32 电容膜片真空计 真空计 Cube CDGsci ( 续 ) 技术规范 型号 1000 乇 乇 100 m 乇 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 压强, 最大 巴 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 温度工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 +15 伏 (+5%) 功耗在升温过程中 瓦 在工作温度下 瓦 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 100 保护等级 IP 40 标准 CE 符合性 EN , EN , EN 和 RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No SEMI 兼容性 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 ; 2 x LEMO 同轴 ; Ethernet FCC 设点 设点数 2 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口 协议 网页, REST 网页, REST RS232-C 服务, RS232-ASCII services, RS232-ASCII 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (Al 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 4) ) 内容积 DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) DN 16 CF-R 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 8 VCR 插座型 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 重量 DN 16 ISO-KF 克 ~1670 DN 16 CF-R 克 ~ VCR 插座型 克 ~1670 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 真空控制产品目录 A23

33 真空计 电容膜片真空计 Cube CDGsci ( 续 ) 尺寸 毫米 (40.1) DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8VCR 插座型 female 105 A24 真空控制产品目录

34 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命. 独特的传感器屏蔽 ( 专利申请 ) 保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高 EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力. CDG025D 为加电源后的快速稳定性和暴露大气后的快速恢复性设定新的标准. 优势 全量程范围从 100 毫乇 1000 乇 加电源后快速稳定性 从大气压的快速恢复性 抗腐蚀的陶瓷传感器 卓越的长期讯号稳定性 温度补偿 传感器有防污染保护 一键调零功能 宽范围电源 两个设点 ( 可选 ) RS232 接口 ( 可选 ) 应用 半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 数据贮存和显示器制造设备 工业真空设备 一般高精度压强测量 真空控制产品目录 A25

35 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S ( 续 ) 订购资料 CDG025D, 温度补偿型全量程范围 法兰型号 乇帕毫巴 1/2 吋管 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR , , , CDG025D, with 2 设点 and RS232 接口, 温度补偿型全量程范围 粗体 = 标准产品 法兰型号 乇帕毫巴 1/2 吋管 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR , ,000 1, , , , , , , 其它法兰型号和全量程范围按用户要求 A26 真空控制产品目录

36 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG025D, CDG025D-S ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制压强 % F.S. 0.5 温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 3) C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 功耗 瓦 1 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 保护等级 IP 30 标准 EN , EN , EN 61010, UL , CSA 22.2 No , RoHS 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 4) 两个设点 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), Vacon 70 5), 不锈钢 (AISI 316L 6) ), AgCuTi 硬钎焊, 密封玻璃 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 未运行 4) 仅 CDG025D-S 5) 28% Ni, 23% Co, 49% Fe 6) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 真空控制产品目录 A27

37 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D, CDG025D-S ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 26,664 10,000 2,666 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 更多有关技术规范的内容, 见上表. 尺寸, 内容积, 重量 毫米 ( 吋 ) 55 (2.17) 26 (1.02) 44 (1.73) 69 (2.72) 3.8 (0.15) 管 OD ½" tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR RUN ZERO 1 2 SP 33.8 (1.33) 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积厘米 3 ( 吋 3 ) 3.6 ( 0.22) 3.6 ( 0.22) 3.6 ( 0.22) 3.6 ( 0.22) 重量克 A28 真空控制产品目录 TIBA33E1-E

38 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D-X 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG025D 电容膜片真空计是高精度温度补偿型真空计设计用于在严酷的制造工具环境中具有稳定的性能. 先进的数字电子学提高真空计的性能和提供容易操作的特点如一键调零的功能和设点调整. 抗腐蚀的超纯陶瓷传感器提供卓越的零点稳定性, 以及引起能达到数百万次压力循环包括大气冲击的长的使用寿命. 独特的传感器屏蔽 ( 专利申请 ) 保护真空计防止过程污染. 经久耐用的机械结构和数字电子学提高 EMC 兼容性, 长期稳定性和温度补偿能力. CDG025D 为加电源后的快速稳定性和暴露大气后的快速恢复性设定新的标准. 优势 全量程范围从 100 毫乇 1000 乇 加电源后快速稳定性 从大气压的快速恢复性 抗腐蚀的陶瓷传感器 卓越的长期讯号稳定性 温度补偿 传感器对污染双保护 一键调零功能 宽范围电源 两个设点 RS232 接口 清洁室兼容 应用高要求的应用需要的精确和快速的压强测量 : 半导体制造设备用于刻蚀, CVD, PVD, ALD 数据贮存和显示器制造设备 工业真空设备 一般高精度压强测量 真空控制产品目录 A29

39 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D-X3 ( 续 ) 订购资料 3 C B 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 单位 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 0 标准 B 压强控制 1) 5 乇 ( 1.33 毫巴 ; 133 帕 ) 6 毫巴 ( 100 帕 ) 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值. 粗体 = 标准产品 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 A30 真空控制产品目录

40 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG025D-X3 ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制压强 % F.S. 0.5 温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 4) C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 功耗 瓦 1 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 保护等级 IP 30 标准 EN , EN , EN 61010, UL , CSA 22.2 No , RoHS 电连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 设点 两个设点 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 5) ) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 未运行 5) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 真空控制产品目录 A31

41 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG025D-X3 ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 26,664 10,000 2,666 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 更多技术规范见上表. 尺寸, 内容积, 重量 毫米 ( 吋 ) 55 (2.17) 3.8 (0.15) 26 (1.02) 44 (1.73) 69 (2.72) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR RUN ZERO 1 2 SP 33.8 (1.33) 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 3.6 (0.22) 重量 克 A32 真空控制产品目录 TIBA39E1-B

42 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG045D 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG045D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的最佳选择. 为实现卓越的讯号稳定性和再现性, CDG045D 真空计是在 45 C 下温度控制的. 可供应的真空计包括全量程范围从 50 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0 至 10 V, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 高效益的压强传感器用于高要求的真空应用. 优势 拥有成本低, 预热快 50%, 能效高, 低功耗 易集成, 规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点简易的一键按钮或运距讯号调零指令, 零点偏移可调整诊断口用于快速服务和维护两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 应用 刻蚀, CVD, PVD 和其它半导体过程 化学和腐蚀性的真空过程 一般薄膜和真空过程 参考传感器用于按国际标准监测测试仪器 传递标准用于可追踪的测量 真空控制产品目录 A33

43 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG045D ( 续 ) 订购资料 3 C C 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 现场总线接口 0 无 1 DeviceNet 2 Profibus DP 8 以太网 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 0 标准 B 压强控制 1) 单位 5 乇 (x 1.33 毫巴 ; x 133 帕 ) 6 毫巴 (x 100 帕 ) 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 粗体 = 标准产品 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 附件诊断通讯适配件 (2 米 ) 用于 PC RS232 串列端口 在 WindowsNT,XP 上运行诊断功能的软件可从我公司的网页上下载. A34 真空控制产品目录

44 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG045D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 精度 (1) % 读值 温度效应在零点 % FS/ C 温度效应在满量程 % 读值 / C 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % FS 最低压强读值 % FS 最低建议压强 % FS 最低建议控制压强 % FS 温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 C 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) or 伏 ( 直流 ) or 伏 ( 直流 ) 或 ±15 V (±5%) ±15 V (±5%) ±15 V (±5%) 功耗在升温过程中 瓦 在工作温度下 瓦 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 (2) 毫秒 /30 3) 保护等级 IP 40 IP 40 IP 40 标准 CE 符合性 EN /-6-3, EN EN /-6-3, EN EN /-6-3, EN & RoHS & RoHS & RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 UL , CSA 22.2 UL , CSA 22.2 No No No SEMI 兼容性 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 D-sub, 15 脚, 插头型 D-sub, 15 脚, 插头型 设点设点数 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 设点继电器触点 伏 ( 直流 ) 继电器触点 安 ( 直流 ) 设点滞后 % FS 诊断口协议 RS232-C RS232-C RS232-C 读 压强, 状态, ID 压强, 状态, ID 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 调零 设点, 筛选值, 调零 设点, 筛选值, 调零 工厂复位, 工厂复位, 工厂复位, DC 偏置 DC 偏置 DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 氧化铝陶瓷 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), (AI 2 O 3 ), (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316l 4) ) 不锈钢 (AISI 316l 4) ) 不锈钢 (AISI 316l 4) ) 真空控制产品目录 A35

45 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG045D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 型号 1000 乇, 1100 毫巴 乇 / 毫巴 乇 / 毫巴 内容积内容积 1/2 吋管 厘米 ³ ( 吋 ³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内容积 DN 16 ISO KF 厘米 ³ ( 吋 ³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内容积 DN 16 CF-R 厘米 ³ ( 吋 ³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内容积 8 VCR 厘米 ³ ( 吋 ³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 重量重量 1/2 吋管 克 重量 DN 16 ISO KF 克 重量 DN 16 CF-R 克 重量 8 VCR 克 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 66,661 26,664 6, , 毫巴 精度 1) % 读值 0.15 温度效应 在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.01 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 更多技术规范见上表. 技术规范 ( 基于毫巴的产品 ) 测量范围 毫巴 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 10,000 1, 精度 1) % 读值 0.15 温度效应 在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.01 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号更多技术规范见表 «技术规范 ( 基于乇的标准产品 )» 和 «技术规范 ( 基于乇的其它产品 )». A36 真空控制产品目录

46 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG045D ( 续 ) 技术规范 (DeviceNet) CDG045D DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率 仟波特 125, 250, 500 由开关或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 (ODVA) 设备型号 VG 真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 电源电压用于连接在 D-sub 连接件上的真空计 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 / 12 瓦 电源电压用于 DeviceNet 收发机 微型连接件 24 伏 nom / <2 瓦 (11 25 伏 ) DeviceNet 的连接件 微型, 5 脚, 插头型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压 CDG, 设点 ) D-sub, 15 脚, 插头型 技术规范 (Profibus DP) CDG045D Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 Profibus DP 的连接件 D-sub, 9 脚, 插座型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-sub, 15 脚, 插头型 技术规范 ( 以太网 ) CDG045D 以太网 协议 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分 半导体设备配置 特定设备配置 : 真空计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx-(IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 电缆长度 米 ( 呎 ) <100 (330) TIBA34E1-C 真空控制产品目录 A37

47 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG045D ( 续 ) 尺寸 毫米 ( 吋 ) 3.8 (0.15) 82 (3.23) DeviceNet (5.74) (5.59) 10.8 (0.41) 13 (0.51) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 16.5 (0.65) 43.2 (1.70) 31.5 (1.24) 54.1 (2.13) (4.35) 8 VCR 插座型 female 长管 long SP1 SP1 SP2 STATUS SP2 STATUS Standard 标准 DeviceNet x100 x10 x ERR RUN E A E A E A ADDRESS NET LA LA E C A E C A 17.9 (0.70) IN OUT 17.9 (0.70) MSD LSD DIAG DIAG SP1 PWR SP1 SP2 STATUS SP ZERO SP2 STATUS SP ZERO EtherCAT Profibus 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 重量 克 A38 真空控制产品目录

48 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG100D 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG100D 真空计是用于高精度总压强测量和控制的最佳选择. CDG100D 真空计是在 100 C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有卓越的性能. 可供应的真空计包括全量程范围从 100 毫乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0 至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDG 是高质量, 高效益的压强传感器用于高要求的半导体, 等离子和真空应用. 优势 拥有成本低, 预热快 50%, 能效高, 低功耗 易集成, 规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点简易的一键按钮或运距讯号调零指令, 零点偏移可调整诊断口用于快速服务和维护两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 应用 刻蚀, PVD, CVD 和其它半导体过程 化学和腐蚀性的高温过程 一般薄膜和真空过程要求的真空计保护 真空控制产品目录 A39

49 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG100D ( 续 ) 订购资料 3 C D 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 现场总线接口 0 无 1 DeviceNet 2 Profibus DP 8 以太网 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 0 标准 B 压强控制 1) 单位 5 乇 (x 1.33 毫巴 ; x 133 帕 ) 6 毫巴 (x 100 帕 ) 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 粗体 = 标准产品 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 附件诊断通讯适配件 (2 米 ) 用于 PC RS232 串列端口 在 WindowsNT,XP 上运行诊断功能的软件可从我公司的网页上下载. A40 真空控制产品目录

50 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG100D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1, 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制压强 % F.S. 0.5 温度工作 ( 周围环境 ) 5) C 法兰处烘烤 C 110 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 (±5%) 功耗在升温过程中 瓦 15 在工作温度下 瓦 10 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 保护等级 IP 40 标准 EN , EN , EN 61010, UL , CSA 22.2 No , SEMI S-2 电连接件 D-sub, 15 脚, 插头型 设点 两个设点 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 RS232-C 读 压强, 状态, ID, 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 4) ) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 % F.S. 3) 仅用于压强控制型号 4) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 5) 环境温度 >40 C 可增大表面温度高于 SEMI S2 兼容性值 标志 小心高温! 真空控制产品目录 A41

51 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG100D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 66,661 26,664 6, , 毫巴 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 更多技术规范见上表. 技术规范 ( 基于毫巴的产品 ) 测量范围 毫巴 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 10,000 1, 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 响应时间 2) 毫秒 / 30 3) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 仅用于压强控制型号更多技术规范见表 «技术规范 ( 基于乇的标准产品 )» 和 «技术规范 ( 基于乇的其它产品 )». A42 真空控制产品目录

52 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG100D ( 续 ) 技术规范 (DeviceNet) CDG100D DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率 仟波特 125, 250, 500 由开关或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 (ODVA) 设备型号 VG 真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 电源电压用于连接在 D-sub 连接件上的真空计 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 / 12 瓦 电源电压用于 DeviceNet 收发机 微型连接件 24 V nom / <2 瓦 (11 25 伏 ) DeviceNet 的连接件 微型, 5 脚, 插头型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-sub, 15 脚, 插头型 技术规范 (Profibus DP) CDG100D Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 Profibus DP 的连接件 D-sub, 9 脚, 插座型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-sub, 15 脚, 插头型 技术规范 ( 以太网 ) CDG100D 以太网 协议 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分 半导体设备配置 特定设备配置 : 真空计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx-(IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 电缆长度 米 ( 呎 ) <100 (330) 真空控制产品目录 A43

53 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG100D ( 续 ) 尺寸 毫米 ( 吋 ) 3.8 (0.15) 82 (3.23) DeviceNet (5.74) (5.59) 10.8 (0.41) 13 (0.51) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 16.5 (0.65) 43.2 (1.70) 31.5 (1.24) 54.1 (2.13) (4.35) 8 VCR 插座型 female 长管 long SP1 SP1 SP2 STATUS SP2 STATUS Standard 标准 DeviceNet x100 x10 x ERR RUN E A E A E A ADDRESS NET LA LA E C A E C A 17.9 (0.70) IN OUT 17.9 (0.70) MSD LSD DIAG DIAG SP1 PWR SP1 SP2 STATUS SP ZERO SP2 STATUS SP ZERO EtherCAT Profibus 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 重量 克 A44 真空控制产品目录 TIBA35E1-C

54 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160D, CDG200D 乇 / 毫巴 INFICON SKY CDG160D 和 CDG200D 高温真空计是用于高精度总压强测量和控制的最佳选择. CDG160D 和 CDG200D 真空计是在 160 C 至 200 C 下温度控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有卓越的性能. 可供应的真空计包括全量程范围从 1 乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供线性 0 至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复, 短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDGs 是高质量, 高效益的压强传感器用于高要求的半导体, 等离子和真空应用. 优势 拥有成本低, 预热快 50%, 能效高, 低功耗 易集成, 规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点 简易的一键按钮或运距讯号调零指令, 零点偏移可调整 诊断口用于快速服务和维护 两年保用期, 带有先进的加热概念和真空计保护的长使用寿命 由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中也无长期再校准的需要 兼容性和标准 : CE, EN, UL, SEMI, RoHS 应用 刻蚀, CVD, PVD 和其它半导体过程 化学和腐蚀性的高温过程 一般薄膜和真空过程要求的真空计保护 真空控制产品目录 A45

55 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 订购资料 3 C E E 传感器温度 C 160 E 200 F 0 标准 B 压强控制 1) 全量程 (F.S.) A 50 B 100 C 200 D 500 E ( 仅乇 ) 1000 F ( 仅毫巴 ) 1100 G 现场总线接口 0 无 1 DeviceNet 2 Profibus DP 8 以太网 法兰 1 DN 16 ISO-KF 3 DN 16 CF-R 9 OD 1 /2 吋管 E 8 VCR 插座型 1) 为压强控制设置最佳的讯号筛选值 单位 5 乇 (x 1.33 毫巴 ; x 133 帕 ) 6 毫巴 (x 100 帕 ) 粗体 = 标准产品 其它法兰型号和全量程范围 (F.S.) 按用户要求 附件诊断通讯适配件 (2 米 ) 用于 PC RS232 串列端口 在 WindowsNT,XP 上运行诊断功能的软件可从我公司的网页上下载. A46 真空控制产品目录

56 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的标准产品 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 133,322 13,332 1, 毫巴 精度 1) % 读值 0.4 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S 最低压强读值 % F.S 最低建议压强 % F.S 最低建议控制压强 % F.S. 0.5 温度工作 ( 周围环境 ) 4) C 法兰处烘烤 C 200 贮存 C 电源电压 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 (±5%) 功耗在升温过程中 CDG160D 瓦 18 CDG200D 瓦 25 功耗在工作温度下 CDG160D 瓦 12 CDG200D 瓦 18 输出讯号 ( 模拟 ) 伏 ( 直流 ) 响应时间 2) 毫秒 30 保护等级 IP 40 标准 EN , EN , EN 61010, UL , CSA 22.2 No , SEMI S-2 电连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 设点 两个设点 (SP1, SP2) 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 滞后 % F.S. 1 诊断口协议 RS232-C 读 压强, 状态, ID, 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 不锈钢 (AISI 316L 3) ) 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 增大 10 90% F.S. 3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe 4) 环境温度 >40 C 可增大表面温度高于 SEMI S2 兼容性值 标志 小心高温! 真空控制产品目录 A47

57 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 技术规范 ( 基于乇的其它范围 ) 测量范围 乇 F.S. ( 全量程 ) 帕 66,661 26,664 6, , 毫巴 精度 1) % 读值 0.4 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 更多技术规范见上表. 技术规范 ( 基于毫巴的产品 ) 测量范围 毫巴 F.S. ( 全量程 ) 帕 110,000 10,000 1, 精度 1) % 读值 0.4 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 0.02 压强, 最大 仟帕 ( 绝对 ) 分辨率 % F.S ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 更多技术规范见表 «技术规范 ( 基于乇的标准产品 )» 和 «技术规范 ( 基于乇的其它产品 )». 技术规范 (DeviceNet) CDG160D, CDG200D DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率 仟波特 125, 250, 500 由开关或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 (ODVA) 设备型号 VG 真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 电源电压用于连接在 D-sub 连接件上的真空计 伏 ( 直流 ) 或 ±15 伏 / 12 瓦 电源电压用于 DeviceNet 收发机 微型连接件 24 伏 nom / <2 瓦 (11 25 伏 ) DeviceNet 的连接件 微型, 5- 脚, 插头型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-Sub, 15- 脚, 插头型 A48 真空控制产品目录

58 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 技术规范 (Profibus DP) CDG160D, CDG200D Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 地址 由开关或网络可编程 数字功能 读 压强, 状态, ID 设定 设点, 筛选值, 零点调整, 工厂复位, DC 偏置 Profibus DP 的连接件 D-Sub, 9- 脚, 插座型 CDG 的连接件 ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) D-Sub, 15- 脚, 插头型 技术规范 ( 以太网 ) CDG160D, CDG200D 以太网 协议 协议专用于以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 半导体设备配置 ETG.5003 第 2080 部分 半导体设备配置 特定设备配置 : 真空计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx-(IEEE 802.3) 数字功能读 压强, 状态, ID 数字功能设定 设点, 筛选值, 零点调整, 复位, DC 偏置 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 以太网连接件 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), IN 和 OUT 电缆 屏蔽的以太网 CAT5e 电缆或更高 电缆长度 米 ( 呎 ) <100 (330) TIBA36E1-C 真空控制产品目录 A49

59 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160D, CDG200D ( 续 ) 尺寸, 内容积, 重量 毫米 ( 吋 ) 3.8 (0.15) 82 (3.23) DeviceNet (5.74) (5.59) 10.8 (0.41) 13 (0.51) OD ½" 管 tube DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 8 VCR 插座型 female 16.5 (0.65) 43.2 (1.70) 31.5 (1.24) 54.1 (2.13) (4.35) 8 VCR 插座型 female 长管 long SP1 SP1 SP2 STATUS SP2 STATUS Standard 标准 DeviceNet x100 x10 x ERR RUN E A E A E A ADDRESS NET LA LA E C A E C A 17.9 (0.70) IN OUT 17.9 (0.70) MSD LSD DIAG DIAG SP1 PWR SP1 SP2 STATUS SP ZERO SP2 STATUS SP ZERO EtherCAT Profibus 1/2 吋管 DN 16 ISO KF DN 16 CF-R 8 VCR 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.2 ( 0.26) 4.2 ( 0.26) 4.2 ( 0.26) 4.2 ( 0.26) 重量 克 A50 真空控制产品目录

60 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 AllCeramic CDG025-C Sky AllCeramic CDG 全部暴露于真空的表面是由超纯氧化铝陶瓷构成的, 取代常规 CDG 中的不锈钢管材料. 本产品适用于必须避免金属污染的应用中. 优势 无金属污染 微小的零点漂移 真正的抗腐蚀 长的传感器寿命减少停机时间从而降低拥有成本长期运行中卓越的精度和再现性更好的长期温度稳定性对频繁接触大气不敏感, 可省略隔离阀 ( 取决于操作模式 ) 由于增强的粒子防护层 (Suprashield), 对微粒和过程副产物不敏感 应用 刻蚀, CVD 和 PVD 过程 用注入或扩散过程掺杂硅 氧化 创建 100 Å 量级的栅极氧化层 创建阻断层 (Ti, TiN, Ta 和 TaN, 作为硅与铝或铜之间的保护层 ) 订购资料 全量程 ( 帕 1) ) 型号法兰 ATM± ) CDG025-C 1/2 吋管 ) 其它压强单位请提要求 2) 大气压与真空计之间的压差 真空控制产品目录 A51

61 真空计 SKY 电容膜片真空计 AllCeramic CDG025-C ( 续 ) 技术规范 测量范围 帕 ATM± F.S. ( 全量程 ) 最低建议控制压强 帕 6.66 x x x x 10-1 最低建议压强 帕 6.66 x x x x 10-2 最低压强读值 帕 1.33 x x x x ) 精度 % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰 C 贮存 C 压强最大 ( 绝对 ) 仟帕 电源电压 1 or 伏 ( 直流 ) ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% 电压 2 伏 ( 直流 ) ) 功耗 瓦 输出讯号 ( 模拟 ) 测量范围 伏 ±5 电压范围 伏 电压与压强的关系 线性 线性 线性 线性 线性 响应时间 毫秒 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.5 (0.275) 4.5 (0.275) 4.5 (0.275) 4.5 (0.275) 4.5 (0.275) 重量 克 保护类型 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 电连接件 D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, 插头型 插头型 插头型 插头型 插头型 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 密封玻璃 1) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. 2) 达到工作温度后, 在 25 C 室温下的典型值. 尺寸 57 (2.24") 毫米 mm ( 吋 (inch) ) 30 (1.18") 63 (2.48") 55 (2.17" ) 1/2 " 管 tube A52 真空控制产品目录 TIBA07E1-A

62 SKY 电容膜片真空计 真空计 SKY 电容膜片真空计 AllCeramic CDG160A-C / CDG160A-CS INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 是唯一完全无金属的 160 C 温度控制的电容膜片真空计设计用于高要求的应用, 如氧化, 扩散和 LPCVD. 暴露于真空的全部表面如管道, 等离子屏蔽和防污染屏蔽均由抗腐蚀的超纯氧化铝陶瓷构成, 完全免除了对真空计的金属污染. INFICON SKY AllCeramic CDG160A-C 集成了验证的 INFICON CDG160A 真空计系列的传感器技术, 在 LPCVD 和其它严酷的半导体制造应用中达到可靠和可再现的性能. 优势 无金属的超纯陶瓷结构防止金属污染物 温度控制于 160 C 防止过程产物和副产物的凝聚 小型设计节省可贵的空间和简化工具集成 高环境温度兼容性 增强的微粒保护室具有附加的保护层 (Suprashield) 减少真空计被污染的可能性独特的陶瓷传感器结构提供再现性和精确的测量, 具有极好的长期稳定性可选的设点和状态指示提供附加的控制和安全功能 应用 氧化, 扩散和 LPCVD 过程 其它无金属的真空测量要求 订购资料 全量程 ( 帕 1) ) 型号 设点 法兰 CDG160A-C 无 1/2 吋管 CDG160A-CS 2 1/2 吋管 ) 其它压强单位请提要求 真空控制产品目录 A53

63 真空计 SKY 电容膜片真空计 CDG160A-C / CDG160A-CS ( 续 ) 技术规范 测量范围 帕 F.S. ( 全量程 ) 最低建议控制压强 帕 6.66 x x x x 10-1 最低建议压强 帕 6.66 x x x x 10-2 最低压强读值 帕 1.33 x x x x 10-2 精度 1) % 读值 温度效应在零点 % F.S. / C 在满量程 % 读值 / C 分辨率 % F.S 温度工作 ( 周围环境 ) C 烘烤 ( 法兰处 ) C 贮存 C 压强最大 ( 绝对 ) 仟帕 电源 伏 ( 直流 ) ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% ±15 ±5% 功耗在工作温度下 瓦 在预热过程中 CDG160A-C 瓦 CDG160A-CS 瓦 输出讯号 ( 模拟 ) 测量范围 伏 电压范围 伏 电压与压强的关系 线性 线性 线性 线性 响应时间 毫秒 保护类型 IP 30 IP 30 IP 30 IP 30 电连接件 CDG160A-C D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, D-sub, 15 脚, 插头型 插头型 插头型 插头型 CDG160A-CS D-sub, 25 脚, D-sub, 25 脚, D-sub, 25 脚, D-sub, 25 脚, 插头型 插头型 插头型 插头型 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 4.7 (0.286) 4.7 (0.286) 4.7 (0.286) 4.7 (0.286) 重量 CDG160A-C 克 CDG160A-CS 克 暴露于真空的材料 氧化铝陶瓷 (AI 2 O 3 ), 密封玻璃 CDG160A-CS 继电器功能 两个设点, 5 个状态指示灯 ( 两个设点起作用, 温度传感器 ok, 温度准备好, 过热 ) 和光学状态指示灯 ( 电源 on) 继电器触点类型 NO / NC NO / NC NO / NC NO / NC 切换 切换 切换 切换 开关电压最大 伏 ( 直流 ) / 伏 ( 交流 ) 110 / / / / 125 开关电流 安 ) 在 25 C 环境工作温度下运行两小时后无非线性, 滞后性, 再现性的温度效应. A54 真空控制产品目录

64 SKY 电容膜片真空计 真空计 CDG160A-C / CDG160A-CS ( 续 ) 尺寸 ø78.5 (3.09") 2.5 (0.098") 5.0 (0.197") (5.88") 105 (4.13") CDG160A-C CDG160A-CS 陶瓷管 1 /2 吋 CDG160A-C 和 CDG160A-CS TIBA13E1-A 真空控制产品目录 A55

65 真空计 B-A 型皮拉尼真空计 B-A 型真空计 BAG402 INFICON 单 B-A 型热阴极电离真空计 BAG402 覆盖宽阔的测量范围从 5 x 毫巴至 6.7 x 10-2 毫巴 (3.75 x 乇至 5 x 10-2 乇 ). 选择 INFICON BAG402 用于可及的和可再现的过程, 在一个小型的活性真空计组件中执行基本的压强测量. 独特的支持的双灯丝提供极好的精度和长使用寿命. 以太网选件可单系统整合. 优势 测量范围从 5 x 毫巴至 6.7 x 10-2 毫巴 (3.75 x 乇至 5 x 10-2 乇 ) 卓越的再现性在过程压强从 毫巴的范围内为 5% 过压检测保护灯丝防止过早烧毁 两根涂敷氧化钇的长寿命铱灯丝 可提供以太网现场总线接口 发射电流选择降低控制的复杂性 易于更换传感元件和在机校准数据保证高的再现性 RoHS 兼容性 应用 在半导体过程和传送室中的压强测量 工业镀膜 在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制 订购资料 型号 BAG402 BAG402-S BAG402-SE 设点 无 一个设点 一个设点 连接件 D-Sub, 9- 脚 D-Sub, 15- 脚 D-Sub, 15- 脚 接口 模拟 模拟 /RS232C 以太网 DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用传感器 DN 25 ISO-KF 更换用传感器 DN 40 CF-R A56 真空控制产品目录

66 B-A 型皮拉尼真空计 真空计 s BAG402 ( 续 ) 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS232C 线 挡板 带挡板的对中环 DN 25 ISO-KF 技术规范 BAG402 BAG402-S D-Sub, 9- 脚 D-Sub, 15- 脚 测量范围 ( 空气, O 2, CO, N 2 ) 毫巴 ( 乇 ) 5 x x 10-2 (3.75 x x 10-2 ) 精度 毫巴 % 读值 ±15 再现性 毫巴 % 读值 5 除气 1) p < 7.2 x 10-6 毫巴 电子轰击, 最大 3 分钟 压强, 最大 巴 ( 绝对 ) 2 温度 工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 法兰处烘烤 无电子学 C 80 电源电压 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.8 输出讯号模拟 伏 测量范围 伏 对数, 或 线性和指数 4) 电压与压强的关系 伏 / 量级 1 1 误差讯号 伏 > / 0.3 / 0.4 / 0.5 / 0.6 负载电阻, 最小 kω 设点继电器 1 范围毫巴 1 x x 10-2 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 数字功能 除气和发射控制 接口 ( 数字 ) 2) 诊断口 RS232C 发射控制 手动 灯丝 两根涂敷 Yt 2 O 2 的 Ir 灯丝 灯丝状态 LED / 数字输出 电连接件 D-Sub, 9- 脚, 插头型 D-Sub, 15- 脚, 插头型 电缆长度, 最大 3) 米 ( 呎 ) 100 (330) 暴露于真空的材料 Yt 2 O 3, Ir, Pt, Mo, W, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃 内容积 KF / CF 厘米 3 ( 吋 3 ) 24 (1.46) / 34 (2.1) 重量 KF / CF 克 450 / 710 保护等级 IP30 1) 在除气过程中降低精度 2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器和以太网是不允许的 3) 为 RS232C 运行 <30 米 4) 尾数 伏线性和第二个输出 伏指数 真空控制产品目录 A57

67 真空计 B-A 型皮拉尼真空计 BAG402 ( 续 ) 技术规范 ( 以太网 ) BAG402-SE 以太网 协议 以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 1) ETG.5003 第 2080 部分 2) 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕 发射控制, 除气功能 监测真空计状态, 灯丝状态 安全状态允许定义出现误差时的行为 详细的报警和警告信息 设点继电器 1 范围 毫巴 1 x x 10-2 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 以太网连接件 2 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), 输入和输出 电缆 特定的以太网插塞式电缆或交叉式电缆, 屏蔽的 (CAT5e 质量或更高 ) 电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) BAG402-SE 连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 1) 半导体设备配置 2) 特定设备配置 : 真空压强计 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS232C 线 D-Sub, 15- 脚, 插座型 5 米 5 米 24 伏 ( 直流 ) 电源 RS232 至 PC / PLC D-Sub, 9- 脚, 插座型, 挡板 : 防止污染传感器. 快和易安装. 标准 挡板 1.8 米 伏 ( 交流 ) 电源 A58 真空控制产品目录

68 B-A 型皮拉尼真空计 真空计 s BAG402 ( 续 ) 尺寸 BAG402-S (D-Sub, 15-pin) 脚 BAG402 (D-Sub, 9-pin) 脚 BPG402-SE (EtherCAT) (4.43) 59 (2.32) 59 (2.32) 67 (2.64) 67 (2.64) 42 (1.65) 48 (1.89) 毫米 ( 吋 ) DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 真空控制产品目录 A59

69 真空计 B-A 型皮拉尼真空计 B-A 型皮拉尼真空计 BPG400 INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG400, 两个真空计复合在一个小型单元中测量范围从 5 x 毫巴至大气压 (3.8 x 乇至大气压 ). 复合技术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 选 BPG400 用于可及的和可再现的过程, 在一个经济的真空计组件中执行基本的压强测量. 优势 极宽的测量范围从 5 x 毫巴至大气压 (3.8 x 乇至大气压 ) 过程压强范围从 毫巴, 卓越的再现性 5% 皮拉尼联锁保护 B-A 型系统防止灯丝过早烧毁和来自高压强运行的过度污染长寿命的涂敷氧化钇的铱灯丝可选图形显示器和现场总线接口自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预 RoHS 兼容性 应用 在半导体过程和传送室中的压强测量 工业镀膜 在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制 订购资料 型号 BPG400 BPG400 BPG400-SP BPG400-SD 无 LCD 带 LCD 带 Profibus DP 带 DeviceNet DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用传感器 25 ISO-KF 更换用传感器 40 CF-R 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS232C 线 烘烤延伸件, 100 毫米 (3.94 吋 ) 挡板 带挡板的对中环 DN 25 ISO-KF A60 真空控制产品目录

70 B-A 型皮拉尼真空计 真空计 s BPG400 ( 续 ) 技术规范 BPG400 标准 BPG400 显示器测量范围 ( 空气, O 2, CO, N 2 ) 毫巴 ( 乇 ) 5 x (3.8 x ) 精度 毫巴 % 读值 ±15 再现性 毫巴 % 读值 5 除气 1) p < 7.2 x 10-6 毫巴 电子轰击, 最大 3 分钟 压强, 最大 巴 ( 绝对 ) 2 温度工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 烘烤在法兰处带延伸件 C 150 在法兰处不带延伸件 C 80 卸除电子学 C 150 电源电压 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.8 输出讯号模拟 伏 测量范围 伏 电压对比于压强 伏 / 量级 0.75 误差讯号 伏 0.3 / 0.5 负载电阻, 最小 kω 10 接口 ( 数字 ) 2) RS232C 电连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 3) 电缆长度, 最大 米 ( 呎 ) 100 (330) 暴露于真空的材料 Yt 2 O 3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃 内容积 KF / CF 厘米 3 ( 吋 3 ) 24 (1.46) / 34 (2.1) 重量 KF / CF 克 285 / 550 保护等级 IP30 1) 在除气过程中降低精度 2) 同时使用 RS232C 或 VGC400 系列控制器和 Fieldbus 是不允许的 3) 对 RS232C 运行 <30 米 技术规范 (Profibus DP) BPG400-SP Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 两个开关 ( 地址 ) 或网络可编程 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕除气功能, 皮拉尼全量程调整监测真空计状态安全状态允许定义出现误差时的行为详细的报警和警告信息 模拟功能 0 10 伏模拟输出压强指示两个设点继电器 A + B 设点继电器 2 范围 毫巴 1 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 60 / 0.5 Profibus DP 的连接件 D-Sub, 9- 脚, 插座型 BPG ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) 的连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 真空控制产品目录 A61

71 真空计 B-A 型皮拉尼真空计 BPG400 ( 续 ) 技术规范 (DeviceNet) BPG400-SD DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率切换 仟波特 125, 250, 500 或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 两个开关 ( 地址 00 63) 或网络可编程 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕除气功能, 皮拉尼全量程调整监测真空计状态安全状态允许定义出现误差时的行为详细的报警和警告信息 模拟功能 0 10 伏模拟输出压强指示两个设点继电器 A + B 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 设备型号 CG 用于复合真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 设点继电器 2 范围毫巴 1 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 60 / 0.5 DeviceNet 的电源 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.5 真空计的电源 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.8 DeviceNet 的连接件 微型, 5- 脚 BPG ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) 的连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 A62 真空控制产品目录

72 B-A 型皮拉尼真空计 真空计 s BPG400 ( 续 ) 尺寸 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS232C 线 D-Sub, 15- 脚, 插座型 5 米 RS232 至 PC / PLC D-Sub, 9- 脚, 插座型, 24 伏 ( 直流 ) 电源 5 米 1.8 米 毫米 ( 吋 ) 伏 ( 交流 ) 电源 烘烤延伸件 : 允许在法兰处温度高至 150 C 下测量. 易安装在真空连接件中 - 无需工具. 挡板 : 防止污染传感器. 快和易安装. 标准 挡板 TIBA15E1-C 真空控制产品目录 A63

73 真空计 B-A 型皮拉尼真空计 B-A 型皮拉尼真空计 BPG402-S INFICON B-A 型皮拉尼复合真空计, BPG402-S, 将两个真空计复合在一个小型单元中, 测量范围从 5 x 毫巴至大气压 (3.8 x 乇至大气压 ). 复合技术降低了安装, 设置和集成的复杂性. 带两根涂敷氧化钇的铱灯丝的 BPG402-S 用于可及的和可再现的过程, 在一个经济的真空计组件中执行基本的压强测量. 传感元件和在机校准数据保证当更换传感器时的高度再现性. 优势 极宽的测量范围从 5 x 毫巴至大气压 (3.8 x 乇至大气压 ) 过程压强范围从 毫巴, 卓越的再现性 5% 皮拉尼联锁保护防止灯丝过早烧毁 两根涂敷氧化钇的长寿命铱灯丝 可选图形显示器和现场总线接口, 例如以太网 自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预 易于更换传感元件和在机校准数据保证高的再现性 RoHS 兼容性 应用 在半导体过程和传送室中的压强测量 工业镀膜 在低至超高真空范围内的一般真空测量和控制 订购资料 型号 BPG402-S BPG402-S BPG402-SL BPG402-SP BPG402-SD BPG402-SE 无显示器 带显示器 带长管 带 Profibus DP 带 DeviceNet 带以太网 无显示器 DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用传感器 25 ISO-KF 更换用传感器 40 CF-R A64 真空控制产品目录

74 B-A 型皮拉尼真空计 真空计 s BPG402-S ( 续 ) 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS232C 线 挡板 带挡板的对中环 DN 25 ISO-KF 技术规范 BPG402-S / -SL 标准 BPG402-S 显示器测量范围 ( 空气, O 2, CO, N 2 ) 毫巴 ( 乇 ) 5 x (3.8 x ) 精度 毫巴 % 读值 ±15 再现性 毫巴 % 读值 5 除气 1) p < 7.2 x 10-6 毫巴 电子轰击, 最大 3 分钟 压强, 最大 巴 ( 绝对 ) 2 温度工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 法兰处烘烤无电子学 BPG402-S C 80 BPG402-SL C 150 电源电压 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.8 输出讯号模拟 伏 测量范围 伏 电压与压强的关系 伏 / 量级 0.75 误差讯号 伏 0.1 / 0.3 / 0.5 负载电阻, 最小 kω 10 设点继电器 1 范围毫巴 1 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 数字功能 除气 接口 ( 数字 ) 2) RS232C 发射控制 自动 / 手动通过接口 灯丝 两根涂敷氧化钇的铱灯丝 灯丝状态 LED / 数字输出 电连接件 D-Sub, 15 脚, 插头型 电缆长度, 最大 3) 米 ( 呎 ) 100 (330) 暴露于真空的材料 Yt 2 O 3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃 内容积 KF / CF 厘米 3 ( 吋 3 ) 24 (1.46) / 34 (2.1) 重量 KF / CF 克 450 / 710 保护等级 IP30 1) 在除气过程中降低精度 2) 同时使用 RS232C or VGC400 系列控制器和 Fieldbus 是不允许的 3) 对 RS232C 运行 <30 米 真空控制产品目录 A65

75 真空计 B-A 型皮拉尼真空计 BPG402-S ( 续 ) 技术规范 (Profibus DP) BPG402-SP Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 两个开关 ( 地址 ) 或网络可编程 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕发射控制, 除气功能监测真空计状态, 灯丝状态安全状态允许定义出现误差时的行为详细的报警和警告信息 模拟功能 0 10 伏模拟输出压强指示两个设点继电器 A + B 设点继电器 2 范围 毫巴 1 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 Profibus DP 的连接件 D-Sub, 9 脚, 插座型 BPG ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) 的连接件 D-Sub, 15 脚, 插头型 技术规范 ( 以太网 ) BPG402-SE 以太网 协议 以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 1) ETG.5003 第 2080 部分 2) 特定设备配置 : 真空计 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx-(IEEE 802.3) 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕 发射控制, 除气功能 监测真空计状态, 灯丝状态 安全状态允许定义出现误差时的行为 详细的报警和警告信息 设点继电器 2 范围 毫巴 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 以太网连接件 2 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), 输入和输出 电缆 特定的以太网插塞式电缆或交叉式电缆, 屏蔽的 (CAT5e 质量或更高 ) 电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 1) 半导体设备配置 2) 特定设备配置 : 真空压强计 A66 真空控制产品目录

76 B-A 型皮拉尼真空计 真空计 s BPG402-S ( 续 ) 技术规范 (DeviceNet) BPG402-SD DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率切换 仟波特 125, 250, 500 或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 两个开关 ( 地址 00 63) 或网络可编程 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕发射控制, 除气功能监测真空计状态, 灯丝状态安全状态允许定义出现误差时的行为详细的报警和警告信息 模拟功能 0 10 伏模拟输出压强指示两个设点继电器 A + B 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 设备型号 CG 用于复合真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 设点继电器 2 范围毫巴 1 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 DeviceNet 的电源 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.5 真空计的电源 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.8 DeviceNet 的连接件 微型, 5 脚 BPG ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) 的连接件 D-Sub, 15 脚, 插头型 真空控制产品目录 A67

77 真空计 B-A 型皮拉尼真空计 BPG402-S ( 续 ) 尺寸 BPG402-S/-SL BPG402-SD (DeviceNet) BPG402-SP (Profibus) BPG402-SE (EtherCAT) 14 (0.55) DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R (6.11) 42 (1.65) 48 (1.89) (4.43) 59 (2.32) 67 (2.64) 毫米 ( 吋 ) DN 40 CF-R long 长管 tube 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS232C 线 D-Sub, 15 脚, 插座型 5 米 5 米 24 伏 ( 直流 ) 电源 RS232 至 PC / PLC D-Sub, 9 脚, 插座型, 挡板 : 防止污染传感器. 易安装在真空连接件中 - 无需工具. 标准 挡板 1.8 米 伏 ( 交流 ) 电源 A68 真空控制产品目录 TIBA31E1-C

78 高压强热电离皮拉尼真空计 真空计 高压强热电离皮拉尼真空计 HPG400 INFICON 高压强热电离皮拉尼真空计, HPG400, 将高压强热电离和皮拉尼传感器组合在一个简单, 小型, 经济的组装件中, 测量压强范围从 2 x 10-6 毫巴至大气压 (1.5 x 10-6 乇至大气压 ). HPG400 提供高度可重复和可再生的压强测量用于精确的溅射过程压强控制. 优势 HPG400 节省成本和工具空间和减少真空系统安装和设置的复杂性高压强热电离真空计提供精确, 可靠的压强测量从 1 x 10-5 至 1 毫巴, 用于改进的过程控制 用户可选的热离子发射作用于 5 x 10-2 与 1 毫巴之间 皮拉尼联锁保护热灯丝防止过早烧毁 可选图形显示器和现场总线接口 自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预 RoHS 兼容性 应用 溅射应用于半导体制造, 电子学和介质工业中 工业镀膜 一般真空测量和控制在低至高真空范围 订购资料 型号 HPG400 HPG400 HPG400-SP HPG400-SD 无 LCD 带 LCD 带 Profibus DP 1) 带 DeviceNet 1) DN 25 ISO-KF DN 40 CF-F 更换用传感器 25 ISO-KF 更换用传感器 40 CF-R ) 不带 LCD 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS232C 线 带挡板的对中环 DN 25 ISO-KF 真空控制产品目录 A69

79 真空计 高压强热电离皮拉尼真空计 HPG400 ( 续 ) 技术规范 HPG400 标准 HPG400 显示器测量范围 ( 空气, N 2 ) 毫巴 ( 乇 ) 2 x (1.5 x ) 精度 毫巴 % 读值 ±15 1) 再现性 毫巴 % 读值 毫巴 % 读值 30 热离子发射 on, 可选 毫巴 1 毫巴 5 x 10-1 毫巴 2 x 10-1 毫巴 1 x 10-1 毫巴 5 x 10-2 压强, 最大 巴 ( 绝对 ) 2 温度工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 烘烤在法兰处 C 80 卸除电子学 C 150 电源电压 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.8 输出讯号模拟 伏 测量范围热阴极 伏 皮拉尼 伏 电压与压强的关系热阴极 伏 / 量级 1 皮拉尼 伏 / 量级 0.25 误差讯号热阴极 伏 0.3 皮拉尼 伏 0.5 负载电阻, 最小 kω 10 接口 ( 数字 ) 2) RS232C 电连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 3) 电缆长度, 最大 米 ( 呎 ) 100 (330) 暴露于真空的材料 Yt 2 O 3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, 不锈钢, 玻璃 内容积 KF / CF 厘米 3 ( 吋 3 ) 20 (1.2) / 30 (1.8) 重量 KF / CF 克 430 / 695 保护等级 IP30 1) 精度从 10-5 毫巴至所选的热离子发射 on 值 2) 同时使用 RS232C 或 VGC400 系列控制器和 Fieldbus 是不允许的 3) 对 RS232C 运行 <30 米 A70 真空控制产品目录

80 高压强热电离皮拉尼真空计 真空计 HPG400 ( 续 ) 技术规范 (DeviceNet) HPG400-SD DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率切换 仟波特 125, 250, 500 或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 两个开关 ( 地址 00 63) 或网络可编程 网络大小 每段高至 64 个节点 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, Pa 皮拉尼全量程调整监测真空计状态安全状态允许定义出现误差时的行为详细的报警和警告信息 模拟功能 0 10 伏模拟输出压强指示两个设点继电器 A + B 可观察的通讯指示器 LED 网络状态 ( 绿 / 红 ) LED 模件状态 ( 绿 / 红 ) 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 设备型号 CG 用于复合真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 设点继电器 2 范围毫巴 2x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 ( 直流 ) / 安 60 / 0.5 DeviceNet 的电源 伏 ( 直流 ) / 安 / 0.5 真空计的电源 伏 ( 直流 ) / 安 DeviceNet 的连接件 微型, 5- 脚 HPG ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) 的连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 技术规范 (Profibus DP) HPG400-SP Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 两个开关 ( 地址 ) 或网络可编程 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕皮拉尼全量程调整监测真空计状态安全状态允许定义出现误差时的行为详细的报警和警告信息 模拟功能 0 10 伏模拟输出压强指示两个设点继电器 A + B 设点继电器 2 范围 毫巴 1x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 ( 直流 ) / 安 60 / 0.5 Profibus DP 的连接件 D-Sub, 9- 脚, 插座型 HPG ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) 的连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 真空控制产品目录 A71

81 真空计 高压强热电离皮拉尼真空计 HPG400 ( 续 ) 尺寸 DN 25 ISO-KF DN 40 CF-F 毫米 ( 吋 ) 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS232C 线 D-Sub, 15- 脚, 插座型 5 米 5 米 24 伏 ( 直流 ) 电源 RS232 至 PC / PLC D-Sub,9- 脚, 插座型 1.8 米 伏 ( 交流 ) 电源 A72 真空控制产品目录 TIBA14E1-C

82 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 真空计 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 三合一真空计 BCG450 INFICON B-A 型皮拉尼电容膜片真空计, BCG450, 将三种不同的技术综合在一个简单, 小型, 经济的组装件中用于测量过程和基本压强从 5 x 至 1500 毫巴 (3.75 x 至 1125 乇 ). BCG450 设计于取代三种传感器 ( 热离子, 增强对流的皮拉尼和真空开关 ), 从而降低成本和可贵的工具空间. 优势 BCG450 节省成本和工具空间和减少真空测量安装和设置的复杂性与气体类型无关的压强测量, 在 10 乇以上为任何气体混合物提供更可靠的预抽锁控制皮拉尼联锁保护热灯丝防止过早烧毁自动高真空皮拉尼调整减少操作人员的干预大气压下的差分压强测量可消除与大气压强变更有关的不定性易于更换传感元件和在机校准数据保证高的再现性可选图形显示器和现场总线接口, 例如以太网 RoHS 兼容性 应用 半导体过程, 传送和自锁室的压强测量 工业镀膜 从低至超高真空范围系统的一般真空测量和控制 订购资料 型号 BCG450 BCG450 BCG450-SP BCG450-SD BCG450-SE 无 LCD 带 LCD 带 Profibus DP 1) 带 DeviceNet 1) 1) 带以太网 DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用传感器 25 ISO-KF 更换用传感器 40 CF-R ) 不带 LCD 显示器 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS 232 C 线 挡板 带挡板的对中环 DN 25 ISO-KF 真空控制产品目录 A73

83 真空计 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 三合一真空计 BCG450 ( 续 ) 技术规范 BCG450 标准 BCG450 显示器测量范围毫巴 ( 乇 ) 5 x 至 1500 (3.75 x 至 1125) 精度 毫巴 % 读值 ± 毫巴 % 读值 ± 毫巴 % 读值 ±2.5 再现性 毫巴 % 读值 5 热离子发射 on 毫巴 2 x 10-2 ( 高 ) ( 可选高 / 低通过 RS232 / Fieldbus) 毫巴 8 x 10-3 ( 低 ) 1) 除气 p < 7.2 x 10-6 毫巴 电子轰击, 最大 3 分钟 压强, 最大 巴 ( 绝对 ) 5 温度工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 烘烤在法兰处 C 80 卸除电子学 C 150 电源电压 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.8 输出讯号模拟 伏 测量范围 伏 电压 / 压强的关系 伏 / 量级 0.75 误差讯号 伏 0.3 / 0.5 最小负载 kω 10 接口 ( 数字 ) 2) RS232C 连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 电缆长度, 最大 3) 米 ( 呎 ) 100 (330) 暴露于真空的材料 Yt 2 O 3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI 2 O 3, SnAg, 不锈钢, 玻璃 内容积 KF / CF 厘米 3 ( 吋 3 ) 24 (1.46) / 34 (2.1) 重量 KF / CF 克 285 / 550 保护等级 IP30 1) 在除气过程中降低精度 2) 同时使用 RS232C 或 VGC400 系列控制器和 Fieldbus 是不允许的 3) 对 RS232C 运行 <30 米 A74 真空控制产品目录

84 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 真空计 三合一真空计 BCG450 ( 续 ) 技术规范 (Profibus DP) BCG450-SP Profibus DP 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 两个开关 ( 地址 ) 或网络可编程 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕除气功能监测真空计状态安全状态允许定义出现误差时的行为详细的报警和警告信息 模拟功能 0 10 伏模拟输出压强指示两个设点继电器 A + B 设点继电器 2 范围 毫巴 1 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 60 / 0.5 Profibus DP 的连接件 D-Sub, 9- 脚, 插座型 BCG ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) 的连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 技术规范 ( 以太网 ) BCG450-SE 以太网 协议 以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 1) ETG.5003 第 2080 部分 2) 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕 除气功能 监测真空计状态 安全状态允许定义出现误差时的行为 详细的报警和警告信息 设点继电器 2 范围 毫巴 1 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 60 / 0.5 以太网连接件 2 x RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), 输入和输出 电缆 特定的以太网插塞式电缆或交叉式电缆, 屏蔽的 (CAT5e 质量或更高 ) 电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 1) 半导体设备配置 2) 特定设备配置 : 真空压强计 真空控制产品目录 A75

85 真空计 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 三合一真空计 BCG450 ( 续 ) 技术规范 (DeviceNet) BCG450-SD DeviceNet 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率切换 仟波特 125, 250, 500 或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 两个开关 ( 地址 00 63) 或网络可编程 网络大小 每段高至 64 个节点 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, Pa 除气功能监测真空计状态安全状态允许定义出现误差时的行为详细的报警和警告信息 模拟功能 0 10 伏模拟输出压强指示两个设点继电器 A + B 可观察的通讯指示器 LED 网络状态 ( 绿 / 红 ) LED 模件状态 ( 绿 / 红 ) 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 设备型号 CG 用于复合真空计 I / 0 从属讯息 仅轮询 设点继电器 2 范围毫巴 1 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 读值 10 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 60 / 0.5 连接件 D-Sub, 15- 脚, 插头型 DeviceNet 的电源 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.5 真空计的电源 伏 / 安 ( 直流 ) / 0.8 DeviceNet 的连接件 微型, 5 脚 BCG ( 模拟输出, 电源电压, 设点 ) 的连接件 D-sub, 15- 脚, 插头型 A76 真空控制产品目录

86 B-A 型皮拉尼电容膜片真空计 真空计 三合一真空计 BCG450 ( 续 ) 尺寸 附件 电源 24 伏 ( 直流 ) / RS 232 C 线 D-Sub, 15- 脚, 插座型 5 米 RS232 至 PC / PLC D-Sub, 9- 脚, 插座型, 24 伏 ( 直流 ) 电源 5 米 1.8 米 伏 ( 交流 ) 电源 毫米 ( 吋 ) 挡板 防止污染传感器. 快和易安装. 标准 挡板 TIBA12E1-D 真空控制产品目录 A77

87 真空计 皮拉尼标准真空计 皮拉尼标准真空计 PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S INFICON 皮拉尼标准真空计, PSG500, PSG502-S, PSG510-S 和 PSG512-S, 采用市场上最先进的数字皮拉尼技术. 坚固的不锈钢传感器室和小型的结构使它们适用于半导体系统和标准应用, 如前级真空管路中. 优势 容易的 ATM 和 HV 按键调整 节省空间的坚固结构 铝壳 任何方位安装 完全不锈钢的测量室 易于集成的对数讯号输出 10 巴绝对过压, 用螺纹连接 250 C 烘烤型 可为腐蚀性应用选用镍灯丝 陶瓷馈入件用于极强腐蚀性的应用中 (PSG510 和 PSG512) 可选设点 RoHS 兼容性 应用 控制高真空电离真空计 前级真空压强监测 真空系统中的安全回路 在细和粗真空范围内的一般真空测量 A78 真空控制产品目录

88 皮拉尼标准真空计 真空计 PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S ( 续 ) 订购资料 型号 PSG500 PSG500-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S 设点 无 两个设点 两个设点 两个设点 两个设点 灯丝 钨 钨 镍 钨 镍 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R /8 吋 NPT VCR VCR /2 吋管 /16-20 UNF DN 16 ISO-KF 长管 DN 16 CF-R 长管 更换用传感器灯丝 钨 镍 钨 镍 DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R /8 吋 NPT VCR VCR /2 吋管 /16-20 UNF DN 16 ISO-KF 长管 DN 16 CF-R 长管 真空控制产品目录 A79

89 真空计 皮拉尼标准真空计 PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S ( 续 ) 技术规范 型号 PSG500 PSG500-S PSG502-S PSG510-S PSG512-S 灯丝 钨 钨 镍 钨 镍 测量原理皮拉尼热导原理测量范围 ( 空气, O 2, CO, N 2 ) 毫巴 5 x 10-4 至 1000 精度 (N 2 ) 1 x 毫巴 % 读值 ±15% 5 x x 10-3 毫巴 % 读值 ±50% 毫巴 % 读值 ±50% 再现性 ( 空气 ) 1 x 毫巴 % 读值 2% 输出讯号 ( 测量讯号 ) 电压范围 伏 测量范围 伏 电压与压强的关系 对数 V/ 量级 误差讯号 伏 ( 灯丝断裂 ) 输出阻抗 Ω 2 x 4.7 最小负载阻抗 kω 10, 短路保护 响应时间 毫秒 80 真空计标识 kω 27.0, 参考于电源公共 调整 一个触摸开关用于 ATM 和 HV 调整 设点无 2 设定范围毫巴 2 x 滞后 % 读值 高于低阈值 10% 继电器触点 伏 ( 直流 ) / 安 ( 直流 ) 30 / 0.5 浮点 开关时间 毫秒 <20 电源电压在真空计上 伏 ( 直流 ) 纹波 V pp 1 电流耗损 毫安 <500 ( 最大启动电流 ) 功耗 瓦 1 电连接件 FCC 68 / RJ45 电器连接件, 8 脚, 插头型 传感器电缆 8 脚加屏蔽 电缆长度 米 100 (8 x 0.14 毫米 2 ) 暴露于真空的材料 玻璃, Ni, NiFe Al 2 O 3, Ni, DIN /1.4305/ DIN /1.4305/ 灯丝 钨 钨 镍 钨 镍 内容积 DN 16 ISO-KF, DN 16 CF-R, 7/16-20 UNF 厘米 3 ( 吋 3 ) 1.5 (0.092) DN 16 ISO-KF 和 DN 16 CF-R 长管 厘米 3 ( 吋 3 ) 10 (0.61) 1/8 吋 NPT, 4 VCR, 8 VCR, 1 /2 吋管 厘米 3 ( 吋 3 ) 2 (0.122) 可允许压强 巴 ( 绝对 ) 10, 限于惰性气体 允许温度 运行 C ) 真空连接 C 80 / 250 2) 贮存 C 安装方位 任何 保护等级 IP40 重量 DN 16 ISO-KF, 7/16-20 UNF 克 80 DN 16 CF-R, 4 VCR 克 100 1/8 吋 NPT, 1 /2 吋管 克 70 8 VCR, DN 16 ISO-KF 长管 克 130 DN 16 CF-R 长管 克 140 1) 水平安装方位 2) 长管 A80 真空控制产品目录

90 皮拉尼标准真空计 真空计 PSG500/-S, PSG502-S, PSG510-S, PSG512-S ( 续 ) 尺寸 毫米 ( 吋 ) 50 (1.97) 65 (2.56) 20.9 (0.82) 15 (0.59) * ) DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 14 (5.5) 31.5 (1.24) 8 VCR 4 VCR 41.5 (1.63) 116 (4.57) 70.3 (2.77) 32.8 (1.29) * ) PSG51x-S: 20 (0.78) DN 16 ISO-KF DN 16 CF-R 115 (4.53) 29 (1.14) 1/8" NPT 19 (0.75) 1/2" 管 tube 24 (0.95) 7/16-20 UNF TIBA29E1-C 真空控制产品目录 A81

91 真空计 皮拉尼标准真空计 皮拉尼标准真空计 PSG550, PSG552, PSG554 INFICON 皮拉尼标准真空计 (PSG55x) 如它的兄弟产品 PCG55x 和 PSG50x 一样采用当今最先进的数字皮拉尼技术. 坚固的传感器结构综合小型的尺寸和各种特色使它成为测量从低至高真空范围的恰当产品. 优势 为高腐蚀性的应用, 提供钨 (PSG550) 或镍 (PSG552) 灯丝的或全陶瓷涂敷 (PSG554) 的传感器单元 可选显示器, 设点和数字接口, 例如以太网 易于更换即插即用的传感元件和在机校准数据 保证高的再现性和低的拥有成本为易于集成可选输出讯号和各种插头型号任何方位安装 提供在工具设计中的工程自由度 诊断口在全部型号上 兼容性和标准 : CE, EN, UL, CSA, RoHS 应用 前级真空压强测量 真空系统中的安全回路 从低至高真空范围的一般真空测量和控制 A82 真空控制产品目录

92 皮拉尼标准真空计 真空计 PSG550, PSG552, PSG554 ( 续 ) 订购资料 3 P I 测量范围 灯丝 钨 1 镍 2 陶瓷涂敷 3 钨, 电流隔离 1) 6 镍, 电流隔离 1) 7 陶瓷涂敷的, 电流隔离 1) 8 单位 2) 毫巴 0 乇 1 帕 2 微米汞柱 3 法兰 DN 16 ISO-KF 1 DN 16 ISO-KF 长管 2 DN 16 CF-F 4 DN 16 CF-R 长管 5 DN 25 ISO-KF 6 4 VCR 插座型 D 8 VCR 插座型 E 1/8 吋 NPT F 表面装配 29 毫米 / 1.15 吋 K 4 VCR 90 插座型 M 7/16-20 UNF 插头型 N 数字接口 0 无 3) 1 DeviceNet 4) 2 Profibus DP 8 以太网 1) 7) - RS485 8) 电连接件 伏 3) 伏 伏 伏 0 FCC, 8- 脚 3) 1 D-Sub, 9- 脚 2 D-Sub, 15- 脚 HD 4 D-Sub, 15- 脚 HD, 带 RS485 5) 显示器, 开关功能 0 无 1 LCD 2 2 设点 ( 固态 ) 4 LCD 和 2 设点 ( 固态 ) 6 2 设点 ( 机械 ) 6) 1) 仅提供 D-Sub 9- 脚连接件 2) 当选 LCD ( 液晶显示器 ) 选所需的压强单位 3) 当使用 INFICON VGC40x 或 PGD400 控制器或当选电连接件下的 4 时, 选这些设定值 4) 仅提供 D-Sub 9- 脚连接件和电流隔离的连接件 5) 仅提供无附加数字接口的 6) 仅提供 D-Sub 9- 脚连接件无 LCD 7) Fieldbus 选件仅与开关功能一起提供 ( 从表 显示器, 开关功能 中选数字 2 或 4 ) 8) 从表中通过 电连接件 可选数字 4 真空控制产品目录 A83

93 真空计 皮拉尼标准真空计 PSG550, PSG552, PSG554 ( 续 ) 技术规范 ( 续 ) 型号 PSG550 PSG552 PSG554 灯丝钨镍陶瓷涂敷的 测量范围 毫巴 ( 乇 ) ( ) 精度 (N 2 ) 5 x x 10-3 毫巴 % 读值 ±50 1 x 毫巴 % 读值 ± 毫巴 % 读值 ±50 再现性 (N 2 ) 1 x 毫巴 % 读值 ±2 可允许压强 巴 ( 绝对 ) 5 压强, 最大 巴 ( 绝对 ) 10 允许温度 工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 法兰处烘烤 C 80 长管 C 250 电源电压 伏 / 安 ( 直流 ) 功耗无 fieldbus 瓦 2.5 DeviceNet 瓦 3 Profibus DP 瓦 3 输出讯号模拟 3PIx-0xx-xxx0 伏 xxx1 伏 xxx2 伏 xxx3 伏 测量范围 3PIx-0xx-xxx0 伏 xxx1 伏 xxx2 伏 xxx3 伏 电压对比于压强 3PIx-0xx-xxx0 伏 / 量级 PIx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3 伏 / 量级 1 负载电阻 kω >10 设点继电器 2 范围 (N 2 ) 毫巴 5 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 阈值 10 触点额定值固态继电器 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 0.3 机械继电器 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 1 开关时间 毫秒 30 接口 ( 数字 ) RS232C 电连接件 3PIx-0xx-x0xx FCC, 8- 脚 -x1xx D-Sub, 9- 脚, 插头型 -x2xx D-Sub, 15- 脚 HD, 插头型 -x4xx D-Sub, 15- 脚 HD, 带 RS485, 插头型 电缆长度 米 ( 呎 ) 100 ( 330) RS232C 运行 米 ( 呎 ) 30 ( 100) 暴露于真空的材料 W, Ni, NiFe, 玻璃, Ni, NiFe, 玻璃, SnAg, Al 2 O 3, 不锈钢 SnAg, 不锈钢 不锈钢 A84 真空控制产品目录 ( 续 )

94 皮拉尼标准真空计 真空计 PSG550, PSG552, PSG554 ( 续 ) 技术规范 ( 续 ) 型号 PSG550 PSG552 PSG554 灯丝 钨 镍 陶瓷涂敷的 内容积 DN 16 ISO-KF 厘米 DN 16 ISO-KF 长管 厘米 DN 16 CF-F 厘米 3 8 DN 16 CF-R 长管 厘米 3 14 DN 25 ISO-KF, 4 VCR 厘米 VCR 厘米 3 7 1/8 吋 NPT, 7/16-20 UNF 厘米 表面装配 29 毫米 (1.15 吋 ) 厘米 VCR 90 厘米 重量无现场总线接口 克 带现场总线接口 克 保护等级 IP 40 标准 EN /-6-3, EN 61010, UL , CSA 22.2 No 技术规范 (DeviceNet) 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率切换 仟波特 125, 250, 500 或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 两个开关 ( 地址 00 63) 或网络可编程 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕, 微米汞柱, 计数监测真空计状态, 详细的报警和警告信息, 安全状态允许定义出现误差时的行为 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 设备型号 CG 用于复合真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 DeviceNet 的电源 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx 伏 / 安 ( 直流 ) 功耗 3PI6- / 3PI7- / 3PI8-0xx-xxxx 瓦 3 DeviceNet 的连接件 微型, 5- 脚, 插头型 技术规范 (Profibus DP) 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 两个开关 ( 地址 ) 或网络可编程 数字功能 连接件 for Profibus DP 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕, 微米汞柱, 计数监测真空计状态, 详细的报警和警告信息, 安全状态允许定义出现误差时的行为 D-Sub, 9- 脚, 插座型 真空控制产品目录 A85

95 真空计 皮拉尼标准真空计 PSG550, PSG552, PSG554 ( 续 ) 技术规范 ( 以太网 ) PSG55x 以太网 协议 以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 1) ETG.5003 第 2080 部分 2) 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕, 微米汞柱, 计数 监测真空计状态, 详细的报警和警告信息, 安全状态允许定义出现误差时的行为 以太网连接件 2 x RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), 输入和输出 电缆 特定的以太网插塞式电缆或交叉式电缆, 屏蔽的 (CAT5e 质量或更高 ) 电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 1) 半导体设备配置 2) 特定设备配置 : 真空压强计 技术规范 (RS485C) 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / 38.4 /57.6 地址 两个开关 ( 地址 ) 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕, 微米汞柱, 计数监测真空计状态, 详细的报警和警告信息, 安全状态允许定义出现误差时的行为 RS485 的连接件 D-Sub, 15- 脚 HD, 插头型 备件 型号 PSG550 PSG552 PSG554 灯丝 钨 镍 陶瓷涂敷的 更换用传感器 DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF 长管 DN 16 CF-F DN 16 CF-R 长管 DN 25 ISO-KF VCR 插座型 VCR 插座型 /8 吋 NPT 表面装配 29 毫米 (1.15 吋 ) VCR 90 插座型 /16-20 UNF 插头型 A86 真空控制产品目录

96 皮拉尼标准真空计 真空计 PSG550, PSG552, PSG554 ( 续 ) 附件带过滤网的对中环 (DN 16 ISO-KF) 诊断 : 1) 通讯适配件 (2 米 ) 用于 PC RS232C 串列端口 ) 在 WindowsNT,XP 上运行诊断功能的软件可从我公司的网页上下载. 尺寸 Standard 标准 DeviceNet Profibus EtherCAT RS (1.77) 28 (1.10) ADDRESS P MSD LSD I/O DIA SP2 BUS RATE STATUS 2 5 P 1 SP1 ST NET MOD 56 (2.20) ADDRESS E C A E C A MSD LSD I/O DIA SP2 BUS SP1 ST IN ERR RUN E A E A E A x100 x10 x1 I/O DIA SP2 LA SP1 ST LA OUT D-Sub 79.5 (3.13) 65 (2.56) FCC 50 (1.97) 67 (2.64) Micro-Style 微型 87.5 (3.44) ADDRESS MSD LSD RATE SP1 SP ST E A E A E A ADJ ON DIA BUS ADJ ADJ ADJ 65 (2.56) D-Sub 65 (2.56) D-Sub 65 (2.56) DN 25 ISO-KF 毫米 ( 吋 ) 21.5 (0.85) 1/8" NPT 36 (1.42) 7/16-20 UNF 36.5 (1.44) 34 (1.34) mm 毫米 42.7 (1.68) 46.3 (1.82) 4 VCR 8 VCR 31.5 (1.26) 24.3 (0.96) 4-VCR (0.57) DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF 长管 long (5.15) 30.9 (1.22) DN 16 CF-F DN 16 CF-R 长管 long (5.13) TIBA42E1-A 真空控制产品目录 A87

97 真空计 皮拉尼电容膜片真空计 皮拉尼电容膜片真空计 PCG550, PCG552, PCG554 INFICON 皮拉尼电容膜片真空计 (PCG55x) 将 INFICON 的皮拉尼技术与先进的陶瓷电容膜片传感器组合在一个单一的规管中. 测量范围在 10 毫巴与大气压之间电容膜片技术为可靠的压强测量提供与气体类型无关的, 高精度测量值. PCG55x 还提供各种功能, 可为高要求的应用提供正确的产品配置. 优势 与气体类型无关至以上 10 毫巴以上 允许用任何气体混合物安全放空在大气压下高精度和再现性 用于可靠的大气压强检测 快速的大气压检测 免除等待时间和缩短过程周期 任何方位安装 提供在工具设计中的工程自由度 可供应钨 (PCG550) 或镍 (PCG552) 灯丝或采用整个陶瓷涂敷的 (PCG554) 传感器单元用于高腐蚀性的应用 易于更换的带有在机校准数据的即插即用传感器元件 高保证高的重复性和低的拥有成本 为易于集成可选输出讯号 可选大气开关, 显示器和数字接口例如以太网 诊断口在全部型号上 兼容性和标准 : CE, EN, UL, CSA, RoHS 应用 自锁室控制 前级真空压强测量 真空系统中的安全回路 在中和粗真空范围内的一般真空测量和控制 A88 真空控制产品目录

98 皮拉尼电容膜片真空计 真空计 PCG550, PCG552, PCG554 ( 续 ) 订购资料 3 P C 灯丝 钨 1 镍 2 陶瓷涂敷 3 钨, 电流隔离 1) 6 镍, 电流隔离 1) 7 陶瓷涂敷, 电流隔离 1) 8 单位 2) 毫巴 0 乇 1 帕 2 微米汞柱 3 数字接口 测量范围 伏 3) 伏 伏 伏 0 无 3) 1 DeviceNet 4) 2 Profibus DP 8 以太网 1) 7) RS485 法兰 DN 16 ISO-KF 1 DN 16 ISO-KF 长管 2 DN 16 CF-F 4 DN 16 CF-R 长管 5 DN 25 ISO-KF 6 4 VCR 插座型 D 8 VCR 插座型 E 1/8 吋 NPT F 表面装配 29 毫米 (1.15 吋 ) K 4 VCR 90 插座型 M 7/16-20 UNF 插头型 N 电连接件 0 FCC, 8- 脚 3) 1 D-Sub, 9- 脚 2 D-Sub, 15- 脚 HD 4 D-Sub, 15- 脚 HD with RS485 5) 显示器, 开关功能 0 无 1 LCD 显示器 2 2 设点 ( 固态 ) 3 ATM 和 2 设点 ( 固态 ) 4 LCD 显示器和 2 设点 ( 固态 ) 5 ATM and LCD 显示器和 2 设点 ( 固态 ) 6 2 设点 ( 机械 ) 6) 7 ATM 和 2 设点 ( 机械 ) 6) 1) 仅提供 D-Sub 9- 脚连接件 2) 当选 LCD ( 液晶显示器 ) 时选所需的压强单位 3) 当使用 INFICON VGC40x/PGD 控制器或如选 4 以下的电连接件时, 选这些设定值 4) 仅提供 D-Sub 9- 脚连接件和电流隔离的连接件 5) 仅提供无附加数字接口的 6) 仅提供 D-Sub 9- 脚连接件无 LCD 显示器 7) Fieldbus 选件仅与开关功能一起提供 ( 从表 显示器, 开关功能 选数 2, 3, 4, 或 5 ) 8) 从表中通过 电连接件 可选数字 4 真空控制产品目录 A89

99 真空计 皮拉尼电容膜片真空计 PCG550, PCG552, PCG554 ( 续 ) 技术规范 型号 PCG550 PCG552 PCG554 灯丝 钨 镍 陶瓷涂敷的 测量范围 毫巴 ( 乇 ) 5 x (3.8 x ) 精度 5 x x 10-3 毫巴 (N 2 ) % 读值 ±50 1 x 毫巴 (N 2 ) % 读值 ± 毫巴 % 读值 ± 毫巴 % 读值 ±2.5 再现性 1 x 毫巴 (N 2 ) % 读值 ±2 可允许压强 巴 ( 绝对 ) 5 压强, 最大 巴 ( 绝对 ) >10 允许温度 工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 法兰处烘烤 C 80 长管 C 250 电源电压 伏 / 安 ( 直流 ) 功耗无 fieldbus 瓦 2.5 DeviceNet 瓦 3 Profibus DP 瓦 3 输出讯号模拟 3PCx-0xx-xxx0 伏 xxx1 伏 xxx2 伏 xxx3 伏 测量范围 3PCx-0xx-xxx0 伏 xxx1 伏 xxx2 伏 xxx3 伏 电压对比于压强 3PCx-0xx-xxx0 伏 / 量级 PCx-0xx-xxx1 / -xxx2 / -xxx3 伏 / 量级 1 负载电阻 kω >10 设点继电器 2 范围 (N 2 ) 毫巴 5 x 继电器触点 常开, 无电位 滞后 % 阈值 10 触点额定值固态继电器 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 0.3 机械继电器 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 1 开关时间 毫秒 30 接口 ( 数字 ) RS232C 电连接件 3PCx-0xx-x0xx FCC, 8- 脚 -x1xx D-Sub, 9- 脚, 插头型 -x2xx D-Sub, 15- 脚 HD, 插头型 -x4xx D-Sub, 15- 脚 HD 带 RS485, 插头型 电缆长度 米 ( 呎 ) 100 ( 330) RS232C 运行 米 ( 呎 ) 30 ( 100) ( 续 ) A90 真空控制产品目录

100 皮拉尼电容膜片真空计 真空计 PCG550, PCG552, PCG554 ( 续 ) 技术规范 ( 总结 ) 型号 PCG550 PCG552 PCG554 灯丝 钨 镍 陶瓷涂敷的 暴露于真空的材料 W, Ni, NiFe, Al 2 O 3, Ni, NiFe, Al 2 O 3, SnAg, Al 2 O 3, 不锈钢 SnAg, 不锈钢, 不锈钢, 玻璃 玻璃 内容积 DN 16 ISO-KF 厘米 DN 16 ISO-KF 长管 厘米 DN 16 CF-F 厘米 3 8 DN 16 CF-R 长管 厘米 3 14 DN 25 ISO-KF, 4 VCR 厘米 VCR 厘米 3 7 1/8 吋 NPT, 7/16-20 UNF 厘米 表面装配 29 毫米 (1.15 吋 ) 厘米 VCR 90 厘米 重量无现场总线接口 克 带现场总线接口 克 保护等级 IP 40 标准 EN /-6-3, EN 61010, UL , CSA 22.2 No 技术规范 (DeviceNet) 协议 DeviceNet, 组 2 仅从属 数据率切换 仟波特 125, 250, 500 或网络可编程 电缆长度 125 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 500 (1650) 250 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 250 (825) 500 仟位 / 秒 米 ( 呎 ) 100 (330) MAC ID 两个开关 ( 地址 00 63) 或网络可编程 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕, 微米汞柱, 计数监测真空计状态, 详细的报警和警告信息, 安全状态允许定义出现误差时的行为 技术规范 DeviceNet 真空计设备配置 设备型号 CG 用于复合真空计 I / O 从属讯息 仅轮询 DeviceNet 的电源 3PC6- / 3PC7- / 3PC8-0xx-xxxx 伏 / 安 ( 直流 ) 功耗 3PC6- / 3PC7- / 3PC8-0xx-xxxx 瓦 3 DeviceNet 的连接件 微型, 5- 脚, 插头型 技术规范 (Profibus DP) 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 兆波特 1.5 / 12 地址 两个开关 ( 地址 ) 或网络可编程 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕, 微米汞柱, 计数监测真空计状态, 详细的报警和警告信息, 安全状态允许定义出现误差时的行为 Profibus DP 的连接件 D-Sub, 9- 脚, 插座型 真空控制产品目录 A91

101 真空计 皮拉尼电容膜片真空计 PCG550, PCG552, PCG554 ( 续 ) 技术规范 ( 以太网 ) PCG55x 以太网 协议 以太网 通讯标准 ETG.5003 第 1 部分 1) ETG.5003 第 2080 部分 2) 节点地址 明确的设备标识 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕, 微米汞柱, 计数 监测真空计状态, 详细的报警和警告信息, 安全状态允许定义出现误差时的行为 以太网连接件 2 RJ45, 8- 脚 ( 插座 ), 输入和输出 电缆 特定的以太网插塞式电缆或交叉式电缆, 屏蔽的 (CAT5e 质量或更高 ) 电缆长度 米 ( 呎 ) 100 (330) 过程数据 固定的 PDO 映射和可配置的 PDO 映射 邮箱 (CoE) SDO 请求, 响应和信息 1) 半导体设备配置 2) 特定设备配置 : 真空压强计 技术规范 (RS485C) 波特率 仟波特 9.6 / 19.2 / 38.4 / 57.6 地址 两个开关 ( 地址 ) 数字功能 读压强, 选单位 : 乇, 毫巴, 帕, 微米汞柱, 计数监测真空计状态, 详细的报警和警告信息, 安全状态允许定义出现误差时的行为 RS485 的连接件 D-Sub, 15- 脚 HD, 插头型 备件 型号 PCG550 PCG552 PCG554 灯丝 钨 镍 陶瓷涂敷的 更换用传感器 DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF 长管 DN 16 CF-F DN 16 CF-R 长管 DN 25 ISO-KF VCR 插座型 VCR 插座型 /8 吋 NPT 表面装配 29 毫米 (1.15 吋 ) VCR 90 插座型 /16-20 UNF 插头型 附件 带过滤网的对中环 (DN 16 ISO-KF) 诊断 : 1) 通讯适配件 (2 米 ) 用于 PC RS232C 串列端口 ) 在 WindowsNT,XP 上运行诊断功能的软件可从我公司的网页上下载. A92 真空控制产品目录

102 皮拉尼电容膜片真空计 真空计 PCG550, PCG552, PCG554 ( 续 ) 尺寸, 内容积, 重量 Standard 标准 DeviceNet Profibus EtherCAT RS (1.77) 28 (1.10) ADDRESS P MSD LSD I/O DIA SP2 BUS RATE STATUS 2 5 P 1 SP1 ST NET MOD 56 (2.20) ADDRESS E C A E C A MSD LSD I/O DIA SP2 BUS SP1 ST IN ERR RUN E A E A E A x100 x10 x1 I/O DIA SP2 LA SP1 ST LA OUT ADDRESS MSD LSD RATE SP1 SP ST E A E A E A ADJ ON DIA BUS ADJ ADJ D-Sub 79.5 (3.13) 65 (2.56) FCC 50 (1.97) 67 (2.64) Micro-Style 微型 87.5 (3.44) ADJ 65 (2.56) D-Sub 65 (2.56) D-Sub 65 (2.56) DN 25 ISO-KF 毫米 ( 吋 ) 21.5 (0.85) 1/8" NPT 36 (1.42) 7/16-20 UNF 36.5 (1.44) 34 (1.34) mm 毫米 42.7 (1.68) 46.3 (1.82) 4 VCR 8 VCR 31.5 (1.26) 24.3 (0.96) 4-VCR (0.57) DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF 长管 long (5.15) 30.9 (1.22) DN 16 CF-F DN 16 CF-R 长管 long (5.13) TIBA40E1-C 真空控制产品目录 A93

103 真空计 潘宁真空计 潘宁真空计 PEG100 INFICON 潘宁真空计 PEG100 提供可靠的真空测量. 坚固耐用的潘宁冷阴极传感器没有可烧毁的灯丝. 由于钛阴极板和等离子点燃后高电压的降低, 真空计还可工作于溅射应用中. 除对数模拟输出讯号外, Fieldbus 选项可使用 Profibus DP 或 DeviceNet 协议, 容易地集成在真空系统中. 优势 宽的测量范围从 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴 (7.5 x 至 7.5 x 10-3 乇 ) 全金属冷阴极传感器 ( 潘宁 ) 带陶瓷馈入件 创新的电极形状提供了卓越的点燃性能 等离子点燃后降低高电压和钛阴极板降低污染危险性, 甚至在用氩气的溅射过程中 阳极环和钛阴极易于清洗或更换 真空计邻近最小的磁场强度 LED 指示灯用于指示电源 on 和等离子点燃 对数模拟输出讯号 现场总线接口 (Profibus DB, DeviceNet) 为易于集成使用网络通讯的真空系统中 应用 高真空压强监测蒸发和溅射系统中, 高真空范围的一般真空测量与控制 订购资料 型号 PEG100 PEG100-D PEG100-P 带 DeviceNet 带 Profibus DP DN 25 ISO-KF DN 40 CF-R 更换用阴极板, 钛 件装 A94 真空控制产品目录

104 潘宁真空计 真空计 s PEG100 ( 续 ) 技术规范 PEG100 测量范围毫巴乇 1 x 10-9 to 1 x x to 7.5 x 10-3 精度 10-8 至 10-4 毫巴 % 读值 ±30 压强, 最大 ( 绝对 ) 巴 10 温度工作 ( 周围环境 ) C +10 至 +50 贮存 C 20 至 +75 烘烤 无电子学 C 350 带电子学, 在法兰处 C 70 电源电压 伏 ( 直流 ) 14.5 至 36 功耗, 最大 瓦 <2 输出讯号模拟 伏 0 至 10.6 测量范围 伏 0.66 至 10 电压 / 压强比值 伏 / 量级 连接件 FCC 68, 插座型, 8 脚 ( 屏蔽的 ) 电缆长度, 最大 ( 模拟 ) 米 ( 呎 ) 100 (330) 暴露于真空的材料 不锈钢, CrNi, AI 2 O 3, NiFe, Mo, Cu, Ni, Ti 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 21 (1.28) 重量, 约 克 500 保护类型 IP40 技术规范 (DeviceNet) PEG100-D DeviceNet 设备型号 一般 显式点对点网络讯息 无 I / O 点对点网络讯息 无 配置相容值 无 故障节点恢复 无 波特率 仟波特 125 / 250 / 500 主板 / 扫描器 无 I / O 从属讯息比特选通 有 轮询 有 轮传 有 更换状态 (COS) 有 DeviceNet 的电源 伏 ( 直流 ) 11 至 25 DeviceNet 的连接件 Phoenix Combicon, 5 脚 技术规范 (Profibus DP) PEG100-P Profibus DP 支持的波特率 ( 自动检测 ) 仟波特 9.6 / 19.2 / / / 500 / 1500 扩展的用户参数数据 比特 5 配置输入和输出数据的数量 2 同步模式和冻结模式 有 连接件 D-sub, 9 脚 真空控制产品目录 A95

105 真空计 潘宁真空计 PEG100 ( 续 ) 尺寸 毫米 ( 吋 ) A96 真空控制产品目录 TIBA22E1-A

106 反磁控皮拉尼真空计 真空计 反磁控反磁控皮拉尼真空计 Gemini MAG500, MAG504 ( 冷阴极 ) Gemini MPG500, MPG504 ( 冷阴极和皮拉尼 ) INFICON Gemini 反磁控真空计是经久耐用的设备用于全部真空测量应用. Gemini 将两种传感器系统组合在一个小型的规管内, 测量从大气压至 1 x 10-9 毫巴. 专利 ( 申请 ) 的超低杂散磁场结构打开了全新范围的应用. 独特的可更换的双室传感器单元避免清洗周期和减少维护, 使 Gemini 成为同类中最结实和经济的真空计. Gemini 冷阴极和组合附有全集成的数字电子学, 为系统整合提供最大的灵活性. 冷阴极和皮拉尼组合选项为跨范围的应用提供无缝的跃迁性, 可靠性, 实用性和灵活性. 优势 在严酷环境中具有长的使用寿命 零维护 可更换的插件 卓越的点燃性能 验证的设计 低的杂散磁场 分析应用 小型紧凑 应用 基本压强监测和控制, 从大气压至高真空, 在蒸发和溅射镀膜中应用. 一般真空测量 工业真空炉, 建筑玻璃, 半导体, 制冷和空调. 分析和 R&D 应用 质谱仪, 电子显微镜, 医药, 眼科, 光学和高能物理. 真空控制产品目录 A97

107 真空计 反磁控皮拉尼真空计 Gemini MxG50x ( 续 ) 订购资料 3 M A P 型号 反磁控反磁控皮拉尼 A B 测量范围 N 伏 1) P 伏 2) Q 伏 3) 传感器型号 标准 0 陶瓷涂敷馈入件 3 电连接件 0 FCC, 8- 脚 1 D-Sub, 9- 脚 收集极电流 高电流 0 低电流 1 法兰 6 DN 25 ISO-KF 7 DN 40 ISO-KF 8 DN 40 CF-R Q DN 40 CF-F 1) 2) 3) N = 反磁控 (MAG50x) 不适合与真空计控制器 VGC40x 一起工作. P = 反磁控皮拉尼 (MPG50x) Q = 潘宁 (MAG50x) A98 真空控制产品目录

108 反磁控皮拉尼真空计 真空计 Gemini MxG50x ( 续 ) 技术规范 型号 MAG50x MPG50x 测量系统 冷阴极 皮拉尼和冷阴极 电离测量系统 电离测量系统 ( 按反磁控原理 ) ( 按反磁控原理 ) 测量范围 ( 空气, N2) 毫巴 1 x x x 乇 (7.6 x x 10-3 ) (7.6 x ) 精度 (N2) 1 x x10-2 毫巴 % 读值 30 1 x 毫巴 % 读值 毫巴 % 读值 50 再现性 (N2) 1 x x 10-2 毫巴 % 读值 5 1 x 毫巴 % 读值 5 安装方位 任何 允许压强 巴 ( 绝对 ) 10 ( 限于惰性气体 <55 C) 允许温度工作 ( 周围环境 ) C 法兰处烘烤 1) C 150 贮存 C 灯丝温度 C 120 相对湿度对 30 天 / 年 1 x x 10-2 毫巴 % RH 95 ( 无凝聚 ) 1 x x 10-2 毫巴 % RH 70 ( 无凝聚 ) 电源电压 At 真空计 2) 伏 ( 直流 ) 纹波 V pp 1 功耗 瓦 2 连接的保险丝 AT 1 电压范围 ( 模拟输出 ) 伏 测量范围 3MAx-0xx-0x0N 伏 MBx-0xx-0x0Q 伏 MAx-0xx-0x0P 伏 电压与压强的关系 3MAx-0xx-0x0N 伏 / 量级 1 ( 对数 ) 3MBx-0xx-0x0Q 伏 / 量级 1.33 ( 对数 ) 3MAx-0xx-0x0P 伏 / 量级 0.6 ( 对数 ) 误差讯号 3MAx-0xx-0x0N 伏 <+0.5 3MBx-0xx-0x0Q 伏 MAx-0xx-0x0P 伏 输出阻抗 Ω 2 x 4.7 ( 短路保护 ) 负载电阻 kω 10 ( 短路保护 ) 步段响应时间 p > 10-6 毫巴 毫秒 <100 p = 10-8 毫巴 秒 1 真空控制产品目录 A99

109 真空计 反磁控皮拉尼真空计 Gemini MxG50x ( 续 ) 技术规范 型号 MAG50x MPG50x 真空计标识 3MAx-0xx-0x0N kω 3MBx-0xx-0x0Q kω 100 3MAx-0xx-0x0P kω 85 状态讯号 伏 ( 点燃的冷阴极 ) 状态 ( 脚 6) 点燃的冷阴极 伏 皮拉尼 - 只模式 伏 0 ( 低 ) 复合的皮拉尼 / 冷阴极 伏 ( 高 ) 电连接件 3Mxx-0xx-000x FCC68, 8- 脚, 插座型 3Mxx-0xx-010x D-Sub, 9- 脚, 插头型 传感器电缆 3Mxx-0xx-000x 8- 脚, 屏蔽的 3Mxx-0xx-010x 9- 脚, 屏蔽的 电缆长度 ( 仅 FCC) 米 50 (0.14 毫米 2 / 导线 ) 高电压 ( 在测量室内 ) 点燃电压 仟伏 4.5 工作电压 仟伏 3.3 电流 ( 在测量室内 ) 高电流 微安 500 低电流 微安 100 暴露于真空的材料 3Mx0-0xx-0x0x Ni 合金, AI 2 O 3, 玻璃, 不锈钢 W, Ni 合金, AI 2 O 3, 玻璃, 不锈钢 3Mx3-0xx-0x0x Ni 合金, AI 2 O 3, 不锈钢 Ni 合金, AI 2 O 3, 不锈钢 内容积 DN 25 ISO-KF 厘米 DN 40 ISO-KF 厘米 DN 40 CF-F 厘米 DN 40 CF-R 厘米 重量 DN 25 ISO-KF 克 <280 DN 40 ISO-KF 克 <320 DN 40 CF-F & CF-R 克 <570 保护等级 IP40 - 标准 CE 符合性 EMC (EN , EN ), EN & RoHS 1) 无电子学 2) 电源单元的最低电压必须随传感器电缆的长度正比增大 A100 真空控制产品目录

110 反磁控皮拉尼真空计 真空计 Gemini MxG50x ( 续 ) 尺寸 毫米 ( 吋 ) 脚 脚 tiba45e1-a 真空控制产品目录 A101

111 真空计 反磁控皮拉尼真空计 反磁控皮拉尼真空计 MPG400/401 INFICON 反磁控皮拉尼真空计, MPG400 和 MPG401, 测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压 (3.8 x 10-9 乇至大气压 ). 将两种技术复合在带有对数模拟输出的简单小型规管中, 大大地降低安装, 设置和集成的复杂性. 优势 复合真空计 反磁控和皮拉尼 宽的测量范围从 5 x 10-9 毫巴至大气压 无可烧毁的灯丝 卓越的点燃特性 易清洗 FPM 或金属密封的馈入件 LED 指示灯用于高电压 on 对数模拟输出讯号 应用 高真空压强监测 蒸发和溅射系统的基本压强 中高真空范围的一般真空测量和控制 订购资料 型号 MPG400 MPG401 FPM 密封 金属密封 DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F 附件 型号 MPG400 MPG401 FPM 密封 金属密封 磁屏蔽 A102 真空控制产品目录

112 反磁控皮拉尼真空计 真空计 MPG400/401 - 续 技术规范 MPG400 MPG401 FPM 密封 金属密封 测量范围 ( 空气, N 2 ) 毫巴 ( 乇 ) 5 x (3.8 x ) 精度 (N 2 ) 1 x 毫巴 % 读值 ±30% 再现性 1 x 毫巴 % 读值 ±5% 安装方位 任何 可允许压强 巴 ( 绝对 ) 10 ( 限于惰性气体 ) 允许温度工作 ( 周围环境 ) C 贮存 C 烘烤 1) C 150 灯丝温度 ( 皮拉尼 ) C 120 电源电压真空计 伏 ( 直流 ) 最大电缆长度的电源单元 2) 伏 ( 直流 ) 纹波 V pp 1 功耗 瓦 2 连接的保险丝 AT 1 输出讯号 ( 测量讯号 ) 电压范围 伏 测量范围 伏 电压对比于压强 对数, 0.6 伏 / 量级 误差讯号 伏 <0.5 ( 无电源 ) 伏 >9.5 ( 皮拉尼传感器, 灯丝断裂 ) 输出阻抗 Ω 2 x 10 最小负载阻抗 kω 10, 短路保护 响应时间 p > 10-6 毫巴 毫秒 <10 p = 10-8 毫巴 毫秒 1000 标识真空计 kω 85, 参考于电源公共 状态 皮拉尼 - 只模式 伏 0 ( 低 ) 皮拉尼 / 冷阴极复合模式 伏 ( 高 ) LED LED 绿 高电压 on 电连接件 FCC 68 电器连接件, 8 脚, 插座型 传感器电缆 8 脚加屏蔽 电缆长度 米 50 (8 x 0.14 毫米 2 ) 工作电压 仟伏 3.3 工作电流 微安 500 暴露于真空的材料 不锈钢, Al 2 O 3, FPM75, 不锈钢, Al 2 O 3, Ag, Cu, Sn Mo, Ni, Au, W Mo, Ni, Au, W 内容积 厘米 3 20 重量 DN 25 ISO-KF 克 DN 40 ISO-KF 克 DN 40 CF-F 克 保护等级 IP 40 标准 EN , EN , EN ) 无电子学和磁屏蔽. 2) 电源单元的最低电压必须随传感器电缆的长度正比增大. 真空控制产品目录 A103

113 真空计 反磁控皮拉尼真空计 MPG400/401 - 续 尺寸 备件 [ 毫米 ] MPG ø DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF 24 MPG ø 型号 MPG400 MPG401 FPM 密封 金属密封 维护成套件包含 : 支柱 / 对中环密封件点燃辅助极检修成套件包含 : 皮拉尼元件阳极阳极延伸件 1) 铜密封垫 1) 螺纹接头 1) 支柱 / 对中环密封件点燃辅助极点燃辅助极成套件包含 : 点燃辅助极点燃辅助极安装工具 ) 仅 MPG401 DN 40 CF-F A104 真空控制产品目录 TIBA30E1

114 真空计控制器 真空计 真空计控制器 VGC401, VGC402, VGC403 VGC401 过程测量和控制的完整解决方案. 与 INFICON 全部现有的真空计兼容, VGC400 系列控制器可监测从 至 1500 毫巴 (10-10 至 1125 乇 ) 整个压强范围和设点状态. 优势 自动识别连接的 INFICON 真空计 用户可选测量单位 ( 毫巴, 乇, 帕, 微米汞柱 ) 高分辨率 16 位 A/D 变换器 多至 6 个带有可调节滞后的可调节设点, 可配置于任何通道兼容性和标准 : CE, ETL, RoHS 可编程的 0 至 10 伏图形记录仪输出, 对每台真空计或复合真空计均有对数 / 线性输出 ( 仅 VGC402/403) 提供固件的在线更新, 可通过 RS232 接口容易下载 通用的小型桌上式模件结构可容易地安装在面板或 19 吋机架上 宽范围电源 90 至 250 伏, 50 至 60 赫 VGC402 VGC403 订购资料 型号 VGC401 VGC402 VGC403 真空计控制器 机架安装适配件 2HE / 3HE 附件 真空计 PCG, PEG, PSG, MPG BAG, BCG, BPG, HPG CDG ( 不加热 ) CDG 讯号读出 / 通讯 模拟 数字 模拟 模拟可能 连接件 FCC / FCC D-Sub / D-Sub FCC / D-Sub 连接电缆 VGC401/402/403 米 ( 呎 ) 3 (9.9) (16.5) (33.0) (49.5) (66.0) (99.0) 其它长度请提要求 真空控制产品目录 A105

115 para ch para 真空计 真空计控制器 VGC401, VGC402, VGC403 ( 续 ) 技术规范 型号 VGC401 VGC402 VGC403 测量通道数 显示器 LED LCD LCD 范围 毫巴 2 x x x ( 乇 ) (1.5 x ) (3.75 x ) (3.75 x ) 速率 1/ 秒 A/D 变换器 位 可连接的真空计显示范围 CDG (A/D) 毫巴 1 x 10-3 x FS 1 x FS PCG550 1) 毫巴 / 乇 5 x / 3.75 x PSG 毫巴 / 乇 5 x / 3.75 x MPG 毫巴 / 乇 5 x / 3.75 x PEG 毫巴 / 乇 1 x x 10-2 / 7.5 x x 10-3 BCG 毫巴 / 乇 5 x / 3.75 x BPG 毫巴 / 乇 5 x / 3.75 x HPG 毫巴 / 乇 2 x / 1.5 x BAG 毫巴 / 乇 2 x x 10-1 / (1.5 x x 10-2 ) 测量单位 ( 可选 ) 毫巴, 乇, 帕, 微米汞柱 设点 设点继电器 通道分配 1 1 或 2 1/2 或 3 调整范围 取决于传感器 滞后 可调 继电器触点 无电位切换触点 触点额定值 伏 ( 交流 ) / 安 30 / 2 30 / 1 30 / 1 伏 ( 直流 ) / 安 60 / 1 60 / / 0.5 连接件 D-Sub, 9 脚, 插头型 D-Sub, 25 脚, 插座型 D-Sub, 25 脚, 插座型 模拟输出 范围 伏, 传感器模拟输出讯号 可编程模拟输出 1 1 连接件 D-Sub, 9 脚, 插头型 D-Sub, 9 脚, 插头型 D-Sub, 9 脚, 插头型 接口 ( 数字 ) RS 232 C RS 232 C RS 232 C 连接件 D-Sub, 9 脚, 插座型 D-Sub, 9 脚, 插座型 D-Sub, 9 脚, 插座型 电源电压 伏 频率 赫 功耗 瓦 运行温度 ( 环境 ) C ) 用可调的参数模式 PRE 下降至 5 x 10-4 尺寸 VGC401 VGC402 / VGC (4.18) 91.2 (3.6) ø 3.5 (0.14) 285 (11.2) (8.05) 2.5 (0.1) (4.08) (4.19) 91.4 (3.6) ø 3.5 (0.14) 285 (11.2) (8.05) 2.5 (0.1) 103 (4.06) 78 (3.07) 84 (3.3) 67.3 (2.65) (4.82) (5.06) 110 (4.33) A106 真空控制产品目录 TIBA08E1-E 毫米 mm ( 吋 (inch) )

116 真空计控制器 真空计 皮拉尼真空计显示器 PGD400 INFICON 皮拉尼真空计显示器 PGD400 与 INFICON 皮拉尼标准真空计 PSG5xx 一起使用提供成本效益的压强监测方案. 尽管称为皮拉尼真空计显示器, PGD400 还支持我们的 PCG55x 和 MPG 系列真空计. 优势 用户可选测量单位 ( 帕, 毫巴或乇 ) 通用的小型桌上式模件结构可容易地安装在面板或 19 吋机架上 真空计有用于 PLC 或图形记录仪的 0 至 10 伏输出讯号 一个可自由调整的设点 自动化真空计规管连接和灯丝检测 CE / UL 认证 应用 前级真空压强测量 RAC 和汽车生产中充注站的压强测量 灯泡生产线的压强测量 在中和粗真空范围的一般真空测量和控制 订购资料 型号 PGD400 皮拉尼真空计显示器 附件 传感器电缆 1) 1.3 米 (4.27 呎 ) 带对中环和过滤网的密封件 DN 16 ISO-KF 用于机架安装的适配件 2HE / 3HE ) 其它长度请提要求 真空控制产品目录 A107

117 真空计 真空计控制器 PGD400 ( 续 ) 技术规范 测量通道 1 (PSG5xx, PCG5xx 或 MPG 系列 ) 显示器 LED 范围 帕 5 x x 10 5 毫巴 5 x 测量速率 1/ 秒 30 测量单位 ( 可选 ) 帕, 毫巴, 乇 设点设点继电器 1 调整范围 1 x 滞后 10% 测量值 继电器触点 浮动转换触点 触点额定值 伏 ( 交流 ) / 安 50 / 5 连接件 D-Sub, 9 脚, 插头型 模拟输出 伏 , 传感器输出讯号 电源电压 伏 ( 交流 ) 频率 赫 功耗 伏安 30 温度运行 ( 环境 ) C 贮存 C 相对湿度 80% 高至 +31 C 降至 50% 在 +40 C 时 保护等级 IP20 重量 公斤 尺寸 毫米 ø OUTPUT set SENSOR A108 真空控制产品目录 TIBA38E1-A

118 真空开关 真空计 真空开关 VSA100A 压强开关 VSA100A 在真空系统中用作为安全开关. 例如, 当用冲净气体放空真空系统, 压强低于大气压强 6 毫巴时, 自动中断气源. 在差分压强 6 毫巴分别回到低于大气压强 3 毫巴的开关压强时, 弹性膜片将驱动转换触点, 它可用于直接依次开关任何辅助设备. 用塑料盖保护电气连接件. 优势 可靠和符合预算的真空开关 使用寿命长 坚固耐用的结构 易集成 IP 44 保护 可连接程序控制器 应用 控制自锁室 安全关断真空系统 订购资料 型号 VSA100A DN 16 ISO-KF, 整套, 带 3 米 (9.9 呎 ) 电缆 真空控制产品目录 A109

119 真空计 真空开关 VSA100A - 续 技术规范 开关压强 毫巴 6 ±2 ( 低于大气压强 ) 返回压强 毫巴 3 ±2 ( 低于大气压强 ) 工作压强 ( 绝对 ) 巴 <2 氦气渗透 毫巴升 / 秒 <10-6 漏率 毫巴升 / 秒 <5 x 10-8 温度运行 C 贮存 C 开关触点 ( 镀金 ) 切换触点 最大电压 伏 ( 直流 ) / 伏 ( 交流 ) 24/24 最大电流 毫安 30 (24 伏 ( 直流 )) / 100 (24 伏 ( 交流 )) 最小负载 毫安 1 电连接件 电缆, 裸线 电缆长度, 标准 米 ( 呎 ) 3 (9.9) 真空连接件 DN 16 ISO-KF 保护类型 IP 44 安装方位 垂直 ( 立式 ) 内容积 厘米 3 ( 吋 3 ) 2 (0.122) 暴露于真空的材料 不锈钢 , EPDM, PTFE (Teflon) 重量 克 315 技术附注 : 由于膜片材料采用 (EPDM), 真空开关 VSA100A 不适用于包含大量氦气的过程气体中. 膜片对氦的渗漏率 <10-6 毫巴升 / 秒. 尺寸 72 (2.83) 50 (1.97) DN16 KF ø48.5 (ø1.9) 毫米 mm (inch) ( 吋 ) A110 真空控制产品目录 TIBA27E1-A

120 真空开关 真空计 真空开关 VSA200, VSD200 INFICON 真空开关用于精确与可靠的压强检测. 这些经久耐用的电子开关用于包括压强联锁的所有真空应用中. 开关有两种型号, 绝对 ( 参考真空 ) 或差分 ( 参考环境 ). 优势 耐腐蚀的全不锈钢结构 带无电位触点的继电器输出 易安装, 带工厂予设或现场可调整的设点 高精度温度补偿型传感器 坚固的结构, 清洁室兼容性 压强范围 1 x 10-9 毫巴 2 巴 CE, RoHS 认证 应用 所有真空应用的大气压强检测 压强联锁 ( 电源, 气源, 泵, 阀, 驱动器等 ) 真空至高真空 真空控制产品目录 A111

121 真空计 真空开关 VSA200, VSD200 - 续 订购资料 VSA200 绝对开关 3 S A 1 F FS 单位 设点值 1000 乇 F 毫巴 G 6 法兰 DN 16 ISO-KF 1 4 VCR 插头型 C 4 VCR 插座型 D C 1) ) C = 10 例 : 设点在 970 乇绝对压强, DN 16 ISO-KF: 3SA1-F 设点在 1080 毫巴绝对压强, 4 VCR 插头型 : 3SA1-G6C-C800 订购资料 VSD200 差分开关 3 S D 1 M 5 1 B 单位 乇 5 毫巴 6 法兰 DN 16 ISO-KF 1 4 VCR 插头型 C 4 VCR 插座型 D 设点值 符号 A + ( 正 ) B ( 负 ) 例 : 低于周围大气压强 20 乇, DN 16 ISO-KF: 3SD1-M51-B200 A112 真空控制产品目录

122 真空开关 真空计 VSA200, VSD200 - 续 技术规范 VSA200 VSD200 全量程 (F.S.) 毫巴 ( 绝对 ) 1100 乇 ( 绝对 ) 1000 差分范围 1) 毫巴 乇 设点范围 毫巴 乇 允许压强 巴 ( 绝对 ) 5 2 设点继电器继电器输出 常开, 常闭, 无电位 触点额定值 伏 / 安 ( 直流 ) 30 / 1 伏 / 安 ( 交流 ) 125 / 0.3 设点精度 % F.S. 0.5 温度效应在零点和满量程 % F.S. / C ±0.02 响应时间 毫秒 45 滞后 % F.S. 2 电连接件 D-Sub, 9- 脚 电源电压 伏 ( 直流 ) 功耗 瓦 <0.5 允许温度 工作 ( 周围环境 ) C 0 70 贮存 C 暴露于真空的材料 不锈钢 安装方位 任何 内容积 DN 16 ISO-KF 厘米 3 ( 吋 3 ) 2.81 (0.17) 4 VCR 厘米 3 ( 吋 3 ) 0.93 (0.057) 重量 克 140 保护等级 IP 40 传感器保护 短路保护和反极性保护 1) 参考周围大气压强. 真空控制产品目录 A113

123 真空计 真空开关 VSA200, VSD200 - 续 尺寸 毫米 ( 吋 ) ø30 ø DN 16 ISO-KF 4 VCR 插座型 female VCR 插头型 male 附件 通讯适配件 (2 米 ) 用于 PC USB 插口 1) ) Windows 上使用的读写软件可从我公司网页下载 A114 真空控制产品目录 TIBA41E1

124 真空开关 真空计 真空开关 VSC150A INFICON 真空开关 VSC150 是带可调整开关触点从 0.5 至 2000 毫巴的绝对压强开关. 机械结构允许短时间过载至 3000 毫巴不损害开关精度 ±0.1 毫巴. INFICON 提供客户特定的压强开关调整. 优势 高开关精度 (±0.1 毫巴 ) 长期稳定的工作特性 坚固的耐腐蚀结构 当使用开关放大器时, 增强开关功能 开关触点 ( 常闭 ) 设置在参考室, 从而防护过程介质 提供用于差压测量的适配件 应用 压强开关或差分压强开关控制阀, 泵, 电源 自锁室 过程工艺室 订购资料 型号 VSC150A DN 16 ISO-KF 附件 SV 开关放大器 压强开关调整件 差分压强适配件 真空控制产品目录 A115

125 真空计 真空开关 VSC150A - 续 技术规范 VSC150A 真空开关 开关范围 毫巴 响应灵敏度 毫巴 0.1 过载上限 毫巴 3000 开关滞后 毫巴 0.5 温度工作 ( 周围环境 ) C 5 90 贮存 C 烘烤 ( 最大 8 小时 ) C 120 开关点系数 % / K 开关值 0.4 真空连接件 DN 16 ISO-KF 电连接件 保护的插头 (DIN 43650) 开关 常闭 开关电压 伏 24 开关电流 毫安 10 触点电阻 Ω <1 保护类型 IP 65 与介质接触的材料传感容积 不锈钢 , , , , FPM75 参考容积 不锈钢 , , , 玻璃, 金 传感容积 1) 厘米 3 4 参考容积 厘米 3 20 重量 公斤 1.3 1) 包括连接口. 技术规范 SV 开关放大器 电源 ( 可选 ) 伏 , 电源频率 赫 50 / 60 功耗 伏安 3 输出继电器 切换触点 开关电压 伏 250 开关电流 安 5 开关容量 伏安 500 响应时间 毫秒 30 释放时间 毫秒 7 控制电路 伏 / 毫安 24 / 10 运行温度 C 5 50 重量 公斤 0.36 A116 真空控制产品目录

126 真空开关 真空计 VSC150A - 续 尺寸 VSC150A 真空开关 SV 开关放大器 选件 Option: : 差分压强适配件 DN Differential 16 KF pressure adapter DN 16 KF 55, ,2 Pg ,5 Pg 9 毫米 DN 16 KF 毫米 21,5 163 TIBA32E1-A 真空控制产品目录 A117

127 真空计 校准服务 校准服务 真空计 INFICON 为真空计提供校准服务. 可颁发 DAkks ( 德国国家认证认可委员会 ; 根据 DIN EN ISO/IEC 17025:2005 标准 ) 校准证书或出厂校准证书. 所有签发的检测文件都符合欧洲 EN 标准. 优势 相对于校准标准的已知偏差 长时期质量控制 应用 DAkks 校准 德国校准服务 (DAkks) 确保按照国家校准标准进行工业测量和测试的可追溯性. 由德国物理技术研究院 (PTB), 本行业, 联邦经济部和西欧计量俱乐部 (WEMC) 合作承办. PTB 对 DK 校准装置采用的传递标准进行定期检查 ( 再校准 ). 需要标准参考 客户内部真空计校准服务参考 出厂校准 出厂校准可追溯至 DAkks 传递标准. CDG 真空计使用一种专门工具根据 PTB 国家标准进行校准. 因此两种情况均可确保符合国家标准. 其它校准 根据需要可提供 NIST 校准. 可来电咨询有关服务情况和价格. 订购资料 校准服务校准范围 DAkks 校准 1) 工厂校准 1) [ 毫巴 ], [ 乇 ] 皮拉尼, 皮拉尼复合真空计 1 x 电容膜片真空计 1 x 电容膜片真空计 ( 真空计带连接控制器的测量电缆 ) 1 x B-A 型, 冷阴极, 高压强和复合真空计 1 x B-A 型, 冷阴极, 高压强和复合真空计 5 x ) 压强介质 : 氮气 A118 真空控制产品目录 TIBA37E1_A

128 检测文件服务 真空计 检测文件服务 真空控制 INFICON 为真空控制产品提供检测文件服务. 所有签发的检测文件都符合欧洲 EN 标准. 优势 为客户的各自需要选择三种不同的检测文件 检测文件都符合欧洲 EN 标准. 订购资料 检测文件名称 型号 订购号 符合客户要求的声明 EN (Werksbescheinigung 2.1) 测试报告 EN (Werkszeugnis 2.2) 检测证书 EN (Abnahmeprüfzeugnis 3.1) 请从下面的图表中找到您需要的与真空控制产品相关的检测文件. 检测文件 (pdf 文件 ) 将随产品一起交付使用. 有关检测文件的价格或相关问题, 请与我们的客户服务中心联系. 真空控制产品目录 A119

129 真空计 检测文件服务 检测文件服务 检测文件 EN EN EN 检测文件符合客户要求的声明测试报告检测证书 检测种类非规定检测. 检测的产品不一定是实际提供的产品. 非规定检测. 检测的产品不一定是实际提供的产品. 规定检测. 检测的产品是实际提供的全部或部分产品. 检测文件内容 制造商声明提供的产品符合客户的要求, 不包括测试结果. 制造商声明提供的产品符合客户的要求, 包括非规定检测的测试结果. 制造商声明提供的产品符合客户的要求, 包括规定检测的测试结果. 交货条件 按照订购条件. 按照订购条件. 按照当局的规定和相应的技术条款. 检测文件的确认方 制造商 制造商 制造商授权的检测代表, 独立于生产部门 从 INFICON 订购实例 添加订购号 至订货单上订购相应产品部件后面单独的位置 - 要求提供符合客户要求的声明. 添加订购号 至订货单上订购相应产品部件后面单独的位置 - 要求提供测试报告. 添加订购号 至订货单上订购相应产品部件后面单独的位置 - 要求提供检测证书. INFICON 备注如所有订购项目均需要这个声明, 只要简单地在项目的最后位置添加订购号 并注明对全部订购项目均有效. 测试报告仅为您订购的特定产品件号签发. 可对多个件号有效. 但必须与相应的产品一起订购 ( 直接将订购号 添加在它所属产品的后面 ). 本证书仅为您订购的特定产品件号签发. 可对多个件号有效. 但必须与相应的产品一起订购. ( 直接将订购号 添加在它所属产品的后面 ). 原始证书始终与订购的相应产品一起发送. 按客户要求可用 发送 pdf 文件或邮寄 ( 副本 ). 可提供的检测文件 全部 INFICON 真空控制产品 全部 INFICON 真空控制产品 大多是我们的真空配件 ( 通常这个证书是对用不锈钢和铝或其它特定化学成分制造的配件 ). 其它真空控制产品请提要求和按可行性. 请注明您要求的测试值和确认证书的标准价格, 否则我们将保留提出要求支付为测试所做附加工作费用的权利. A120 真空控制产品目录 TIBA43E

130 真空馈入件

131 真空馈入件 目录 真空馈入件 旋转馈入件 ISO-KF / ISO-K FRH DN 16 - DN B1 旋转馈入件 CF FRU DN 16 - DN B3 旋转 / 线性运动馈入件 ISO-KF FCH DN 16 - DN B5 线性运动馈入件 CF FPU DN 16 - DN B7 电馈入件 DN 16 ISO-KF B9 DN 40 ISO KF B11 DN 16 CF B13 DN 40 CF B15 DN 40 ISO KF B17 同轴馈入件 ISO-KF / CF-F BNC / MHV DN B19 真空馈入件金属 - 陶瓷连接件 B21 液体馈入件 ISO-KF / CF-F DN B23 观察窗 DN 25 - DN 50 ISO-KF B25 DN 63 - DN 160 ISO-K B27 DN 16 - DN 160 CF B29 DN 63 - DN 160 ISO-F B31 真空馈入件真空球轴承 B33 润滑剂和密封材料 B35 检验文件服务真空控制 A119 Bii 真空控制产品目录

132 旋转馈入件 真空馈入件 旋转馈入件 ISO-KF / ISO-K FRH DN 16 - DN 63 性能 用于传输高力矩 用 FPM 轴密封和球轴承 选用参数 真空连接 DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 63 ISO-K 馈入件 / 密封件 FPM FPM FPM FPM 轴尺寸 毫米 Ø5 Ø8 Ø12 Ø20 订购资料 型号 FRH016-H FRH025-H FRH040-H FRH063-H 件号 ) 技术规范 可传输力矩 牛顿米 转速 1) 转数 / 分 在真空下的空转力矩 牛顿厘米 在真空下的启动力矩 牛顿厘米 轴负载真空侧径向力 牛顿 轴向力 牛顿 使用寿命 转数 密闭度, 静态 毫巴升 / 秒 1 x x x x 10-9 压强 ( 绝对 ) 1 x 10-9 毫巴... 1 巴 工作温度 C 50 烘烤温度 C 110 暴露于过程介质的材料 不锈钢 420/ 铝 6063/ 氟橡胶 FPM 重量 公斤 ) 如允许降低使用寿命, 转速可增大至两倍 2) 对中环 / CR / 铝件号 / FPM / 不锈钢件号 不包括在交货范围内 真空控制产品目录 B1

133 真空馈入件 旋转馈入件 FRH DN 16 - DN 63 ( 续 ) 尺寸 FRH016-H FRH025-H FRH040-H FRH063-H B2 真空控制产品目录 RIBA01E1

134 旋转馈入件 真空馈入件 旋转馈入件 CF FRU DN 16 - DN 40 性能 波纹管密封 全金属型 用于非常高的真空要求 选用参数 真空连接 DN 16 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F 馈入件 / 密封件 波纹管 波纹管 波纹管 轴连接 毫米 订购资料 型号 FRU016-H FRU040-N FRU040-L 件号 技术规范 可传输力矩动态 牛顿米 动态, 在 300 C 牛顿米 静态 牛顿米 转速 转数 / 分 在最大力矩下 转数 / 分 轴负载真空侧径向力 牛顿 轴向力 牛顿 使用寿命 转数 分度 度 10 密闭度 毫巴升 / 秒 5 x 压强 ( 绝对 ) 1 x 毫巴... 2 巴 工作温度 C 300 烘烤温度 C 300 暴露于过程介质的材料 304L/ L/ L/ / / / / / / 重量 公斤 真空控制产品目录 B3

135 真空馈入件 旋转馈入件 FRU DN 16 - DN 40 ( 续 ) 尺寸 FRU016-H FRU040-N FRU040-L 30 ø4 g6 ø30 g6 ø8 g6 M4 10 ø33.5 ø12 f h h ø ø80 ø h9 16 ø8 g6 ø34 g M4 10 4h9 20 ø12 f7 ø35 g6 B4 真空控制产品目录 RIBA02E1-A

136 旋转 / 线性运动馈入件 真空馈入件 旋转 / 线性运动馈入件 ISO-KF FCH DN 16 - DN 40 性能 两个 FPM 轴密封件 直接推 / 拉和旋转驱动 用锁紧环和选件防旋转装置 选用参数 真空连接 DN 16 ISO-KF DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF 馈入件 / 密封件 FPM FPM FPM 轴连接 M 3 / Ø 5 毫米 M 4 / Ø 8 毫米 M 6 / Ø 12 毫米 行程 毫米 订购资料 型号 FCH016-H FCH025-H FCH040-H 旋转 /l 线性馈入件 件号 防旋转装置 件号 技术规范 轴负载径向力最大行程下 牛顿 扭矩 牛顿米 密闭度, 静态 毫巴升 / 秒 1 x 10-9 压强 ( 绝对 ) 1 x 10-8 毫巴... 1 巴 工作温度 C 50 烘烤温度 C 110 暴露于过程介质的材料 不锈钢 304/ 铝 6063/ 重量 公斤 真空控制产品目录 B5

137 真空馈入件 旋转 / 线性运动馈入件 FCH DN 16 - DN 40 ( 续 ) 尺寸 FCH016-H FCH025-H FCH040-H 馈入件 馈入件 馈入件 防旋转装置 防旋转装置 防旋转装置 B6 真空控制产品目录 RIBA03E1

138 线性运动馈入件 真空馈入件 线性运动馈入件 CF FPU DN 16 - DN 40 性能 带波纹管的用于更高的真空要求 直接推和拉驱动 高精度调整用微调螺丝 选用参数 真空连接 DN 16 CF-R DN 40 CF-R DN 16 CF-R DN 40 CF-R 馈入件 / 密封件 波纹管 波纹管 波纹管 波纹管 轴连接 M4x16 毫米 M6x10 毫米, Ø10 毫米 M4x16 毫米 M6x10 毫米, Ø10 毫米 驱动 手动 手动 微调螺丝 微调螺丝 行程 毫米 订购资料 型号 FPU016-H FPU040-H FPU016-Z FPU040-Z 件号 技术规范 行程 / 转 毫米 分度 毫米 轴负载径向力最大 牛顿 轴向力真空 牛顿 轴向力对大气压 牛顿 扭矩 牛顿米 密闭度 毫巴升 / 秒 5 x 压强 ( 绝对 ) 1 x 毫巴... 2 巴 烘烤温度馈入件 C 微调螺丝 C 暴露于过程介质的材料 不锈钢 304L/ 不锈钢 316Ti/ 重量 公斤 真空控制产品目录 B7

139 真空馈入件 线性运动馈入件 FPU DN 16 - DN 40 ( 续 ) 尺寸 FPU016-H FPU040-H FPU016-Z FPU040-Z B8 真空控制产品目录 RIBA04E1

140 电馈入件 真空馈入件 电馈入件 DN 16 ISO-KF 选用参数 真空连接 DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF 馈入件数量 电压 / 极 伏 电流 / 极 安 订购资料 馈入件 连接件 : 真空侧 连接件 : 大气侧 技术规范 连接真空侧 钎焊连接 钎焊连接 连接件 大气侧 连接件 连接件 连接件 接线直径 毫米 密闭度 毫巴升 / 秒 1 x 10-9 压强 ( 绝对 ) 1 x 10-8 毫巴 巴 烘烤温度 ( 馈入件和连接件 ) C 130 外壳 不锈钢 303/ 绝缘件 PEEK / Araldite 密封件 FPM 触点 ( 馈入件和连接件 ) 镀金的青铜 真空控制产品目录 B9

141 真空馈入件 电馈入件 DN 16 ISO-KF ( 续 ) 尺寸 馈入件 馈入件 馈入件 连接件 : 真空侧 连接件 : 空气侧 B10 真空控制产品目录 RIBA09E1

142 电馈入件 真空馈入件 电馈入件 DN 40 ISO KF 选用参数 真空连接 DN 40 ISO - KF DN 40 ISO - KF DN 40 ISO - KF DN 40 ISO - KF 馈入件数量 电压 / 极 伏 电流 / 极 安 订购资料 馈入件 连接件 : 真空侧 连接件 : 大气侧 技术规范 连接真空侧 钎焊连接 连接件 连接件 螺栓连接 大气侧 连接件 连接件 连接件 连接件 接线直径 毫米 测试电压 仟伏 / 赫 15/50 压强 ( 绝对 ) 1 x 10-8 毫巴 巴 烘烤温度 ( 馈入件和连接件 ) C 130 外壳 不锈钢 303/ 绝缘件 PTFE/Araldite 密封件 FPM 触点 ( 馈入件和连接件 ) 镀金的青铜 镀金的青铜 镀金的青铜 镀镍的黄铜 真空控制产品目录 B11

143 真空馈入件 电馈入件 DN 40 ISO KF ( 续 ) 尺寸 连接件 : 真空侧 连接件 : 真空侧 馈入件 馈入件馈入件馈入件 连接件 : 空气侧 连接件 : 空气侧 连接件 : 空气侧 连接件 : 空气侧 B12 真空控制产品目录 RIBA10E1

144 电馈入件 真空馈入件 电馈入件 DN 16 CF 选用参数 真空连接 DN 16 CF-F 馈入件数量 1 电压 / 极 仟伏 0.3 电流 / 极 安 120 订购资料 馈入件 连接件 : 真空侧 连接件 : 大气侧 技术规范 烘烤温度 C 400 密闭度 毫巴升 / 秒 5 x 压强 ( 绝对 ) 1 x 毫巴... 2 巴 法兰 不锈钢 304/ 导体 无氧铜 绝缘件 氧化铝陶瓷 Al2O3 重量 0.15 连接件 : 真空侧 2 最大电流 100 烘烤温度 C 400 材料 不锈钢 304/ 连接件 : 大气侧 件数 2 最大电流 安 100 绝缘的, 电压可高至 伏 ( 交流 ) / 伏 ( 直流 ) 无绝缘 烘烤温度 C 150 触点 镀银的黄铜 真空控制产品目录 B13

145 真空馈入件 电馈入件 DN 16 CF ( 续 ) 尺寸 ø SW 8 53 M6 KU 077 B14 真空控制产品目录 RIBA11E1

146 电馈入件 真空馈入件 电馈入件 DN 40 CF 选用参数 真空连接 DN 40 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F 馈入件数量 电压 / 极 仟伏 电流 / 极 安 /1000 1) ) 带水冷 订购资料 馈入件 连接件 : 真空侧 连接件 : 大气侧 连接件 : 大气侧, H 2 O 冷却 技术规范 烘烤温度 C 400 密闭度 毫巴升 / 秒 5 x 压强 ( 绝对 ) 1 x 毫巴... 2 巴 法兰 304/ / / / / 导体 OFC OFC OFC / / 绝缘件 Al2O3 Al2O3 Al2O3 Al2O3 Al2O3 重量 连接件 : 真空侧 电流 安 ) 烘烤温度 C 材料 304/ / / / 连接件 : 大气侧 件数 最大电流 安 绝缘的, 电压高至 伏 ( 交流 )/ 伏 ( 直流 ) 无绝缘 30/60 30/60 30/60 30/60 烘烤温度 C 触点 镀银的黄铜 镀银的黄铜 镀银的黄铜 镀金的黄铜 镀金的黄铜 真空控制产品目录 B15

147 真空馈入件 电馈入件 DN 40 CF ( 续 ) 尺寸 连接件真空侧 连接件真空侧连接件真空侧连接件真空侧连接件真空侧 ø25 ø KH 652 馈入件 馈入件馈入件馈入件馈入件 ø ø22 ø SW 8 53 SW SW 8 53 M6 KU 077 M12 KU 087 M6 KU 077 连接件空气侧 连接件空气侧 连接件空气侧 连接件空气侧 带钎焊的接头 连接件空气侧带钎焊的接头 带防水 1) 最大电流 安 1000 无绝缘, 用于高至 24 烘烤温度 C 120 触点 镀银的黄铜 B16 真空控制产品目录 RIBA12E1-B

148 高电流馈入件 真空馈入件 高电流馈入件 DN 40 ISO KF 性能 选三种电极 滑入装配的馈入件 电流连接件用水冷却的铜 选用参数 真空连接 DN 40 ISO-KF 馈入件数量 1 电压 伏 100 电流 安 250/1500 1) 1) 用水冷却的铜 订购资料 馈入件带 O- 圈 KF 电流连接件用水冷却的铜 2) 直电极 角电极 ) 角电极 技术规范 密闭度毫巴升 / 秒 1 x 10-9 压强 ( 绝对 ) 1 x 10-8 毫巴 巴 ( 最大 10 巴带外对中环 ) 烘烤温度 C 110 外壳 铝 6063/ 绝缘件 热塑和热固件 密封件 FPM 真空控制产品目录 B17

149 真空馈入件 高电流馈入件 DN 40 ISO KF ( 续 ) 尺寸 馈入件 电流连接件用水冷却的铜 / 黄铜 电极铜 / 黄铜 电极铜 / 黄铜 B18 真空控制产品目录 RIBA13E1

150 同轴馈入件 真空馈入件 同轴馈入件 ISO-KF / CF-F BNC / MHV DN 性能 基于 MIL-C-39012A 电压高至 5 仟伏直流 带大气侧连接件 选用参数 真空连接 DN 16 ISO-KF DN 16 ISO-KF DN 16 CF-F DN 16 CF-F DN 40 CF-F 馈入件数量 订购资料 型号 BNC MHV BNC MHV MHV 件号 技术规范 电压交流 50 赫 仟伏 直流 仟伏 电流 安 频率 兆赫 阻抗 Ω 绝缘电阻, 在 20 C Ω 密闭度毫巴升 / 秒 1 x x x x x 压强 ( 绝对 ) 1) 1 x 10-8 毫巴至 1 x 10-8 毫巴至 1 x 毫巴至 1 x 毫巴至 1 x 毫巴至 2.5 巴 2.5 巴 10 巴 10 巴 10 巴 外壳, 法兰, 导体 不锈钢 不锈钢 不锈钢 不锈钢 不锈钢 馈入件, 密封件 Al 2 O 3 Al 2 O 3 Al 2 O 3 Al 2 O 3 Al 2 O 3 烘烤温度带连接件 C 无连接件 C 标准连接大气侧连接件 UG 88/U UG 932/U UG 88/U UG 932/U UG 932/U 电缆 RG 58/U RG 59/U RB 58/U RG 59/U RG 59/U 重量 公斤 ) 压强在 400ºC : 2 巴 真空控制产品目录 B19

151 真空馈入件 同轴馈入件 BNC / MHV DN ( 续 ) 尺寸 B20 真空控制产品目录 RIBA14E1-A

152 真空馈入件 真空馈入件 真空馈入件 金属 - 陶瓷连接 性能 高级材料允许重复烘烤高至 400 C 选用参数 电压 1) 3 仟伏 2 仟伏 5 仟伏 10 仟伏 订购资料 件号 技术规范 绝缘件 Al2O3 Al2O3 Al2O3 Al2O3 连接 a 铁 - 镍 铁 - 镍 铁 - 镍 铁 - 镍 b 铁 - 镍 不锈钢 不锈钢 不锈钢 304/ / / 烘烤温度 C 密闭度 毫巴升 / 秒 5 x x x x 重量克 ) 基于 VDE 0110 用于空气和双侧在大气压下的表面漏泄. 在压强 <10-4 毫巴下, 允许高至两倍的值. 真空控制产品目录 B21

153 真空馈入件 真空馈入件 金属 - 陶瓷连接件 ( 续 ) 尺寸 ø7.2 ø6.2 ø10 ø9.2 ø10 ø9.2 ø20 ø ø ø ø2.1 ø3.5 ø6 ø ø23 ø6 ø8 10 ø12 ø16 B22 真空控制产品目录 RIBA15E1-A

154 液体馈入件 真空馈入件 液体馈入件 ISO-KF / CF-F DN 40 性能 用于 H 2 O 和 LN 2 绝热的 尤其适用于非常热和非常冷的应用中 选用参数 真空连接 DN 40 ISO-KF DN 40 CF-F 馈入件 / 密封件 焊接的 焊接的 管尺寸 毫米 Ø 8 x 1 Ø 8 x 1 管数 2 2 订购资料 件号 技术规范 密闭度 毫巴升 / 秒 1 x x 压强 10-8 毫巴 巴 10-9 毫巴 巴 温度范围 C 材料 不锈钢 304/ 不锈钢 304/ 重量 公斤 真空控制产品目录 B23

155 真空馈入件 液体馈入件 DN 40 ( 续 ) 尺寸 B24 真空控制产品目录 RIBA16E1

156 观察窗 真空馈入件 观察窗 DN 25 - DN 50 ISO-KF 紫外 红外 透射率 波长 平均透射曲线兰宝石 Kodial 硼硅酸 性能 宽视觉 选用参数 真空连接 DN 25 ISO-KF DN 40 ISO-KF DN 50 ISO-KF 窗 硼硅酸玻璃 密封件 FPM 法兰 铝 6082/ 烘烤温度 C 150 订购资料 件号 技术规范 密闭度 毫巴升 / 秒 1 x 10-9 压强 ( 绝对 ) 1 x 10-8 毫巴... 4 巴 最大, 在 150 C 巴 3 窗厚 毫米 3.8 重量 克 真空控制产品目录 B25

157 真空馈入件 观察窗 DN 25 - DN 50 ISO-KF ( 续 ) 尺寸 装配图 未包含爪夹, 螺丝和夹环 B26 真空控制产品目录 RIBA05E1

158 观察窗 真空馈入件 观察窗 DN 63 - DN 160 ISO-K 紫外 红外 透射率 波长 平均透射曲线兰宝石 Kodial 硼硅酸 性能 宽视觉 选用参数 真空连接 DN 63 ISO-K DN 100 ISO-K DN 160 ISO-K 窗 硼硅酸玻璃 密封件 FPM 法兰 铝 6082/ 烘烤温度 C 150 订购资料 件号 技术规范 密闭度 毫巴升 / 秒 1 x 10-9 压强 ( 绝对 ) 1 x 10-8 毫巴... 2 巴 最大, 在 150 C 巴 1 窗厚 毫米 重量 公斤 ) 未包含爪夹 真空控制产品目录 B27

159 真空馈入件 观察窗 DN 63 - DN 160 ISO-K ( 续 ) 尺寸 [ 毫米 ] 装配图 B28 真空控制产品目录 RIBA06E1

160 观察窗 真空馈入件 观察窗 DN 16 - DN 160 CF 紫外 红外 透射率 波长 平均透射曲线兰宝石 Kodial 硼硅酸 性能 保护窗 用铁镍合金作为过渡材料 选用参数 真空连接 DN 16 CF-F DN 40 CF-F DN 40 CF-F DN 63 CF-F DN 100 CF-F DN 160 CF-F 窗 Kodial 玻璃 Kodial 玻璃 兰宝石玻璃 Kodial 玻璃 Kodial 玻璃 Kodial 玻璃 密封件 铁 / 镍 法兰 不锈钢 304/ 烘烤温度 C 400 订购资料 观察窗 成套螺栓 标准 标准 标准 标准 标准 技术规范 密闭度毫巴升 / 秒 5 x 压强 ( 绝对 ) 最小 毫巴 1 x 最大 巴 2 最大, 在 400 C 巴 1 窗厚 毫米 重量 公斤 真空控制产品目录 B29

161 真空馈入件 观察窗 DN 16 - DN 160 CF ( 续 ) 尺寸 [ 毫米 ] 装配图 B30 真空控制产品目录 RIBA08E1

162 观察窗 真空馈入件 观察窗 DN 63 - DN 160 ISO-F Transmission 透射率 [%] 紫外 UV IR 红外 Wave 波 length 长 [nm] Average 平均透射曲线 transmittance curve 兰宝石 Sapphire Kodial 硼硅酸 Borosilicate 性能 宽视觉 选用参数 真空连接 DN 63 ISO-F DN 100 ISO-F DN 160 ISO-F 窗 硼硅酸玻璃 密封件 FPM 法兰 黑色氧极化铝 6063/ 对中环 铝 6063/ 卡环 不锈钢 304/ 烘烤温度 C 150 订购资料 观察窗 1) 件号 保护玻璃, 5 件 件号 ) 包含爪夹, 螺栓, 螺母和垫圈 技术规范 密闭度毫巴升 / 秒 1 x 10-9 压强 ( 绝对 ) 1 x 10-8 毫巴... 2 巴 最大, 在 150 C 巴 1 窗厚 毫米 保护玻璃厚度 毫米 重量 公斤 真空控制产品目录 B31

163 真空馈入件 观察窗 DN 63 - DN 160 ISO-F ( 续 ) 尺寸 [ 毫米 ] ø92 ø100 ø142 ø154 ø60 ø70 20 装配图 B32 真空控制产品目录 RIBA07E1-A

164 真空球轴承 真空馈入件 真空馈入件 真空球轴承 性能 尤其适用于清洁的真空应用和极低的残余气体要求 带屏蔽 ( 非橡胶密封件 ) 干润滑 轴承间隙小 选用参数 使用寿命 1) ( 转数 ) > 20 百万次 压强 ( 绝对 ) 毫巴 1 x x 10-2 工作温度 2) C 材料 内环, 外环, 球 AISI/DIN 不锈钢 / 笼 AISI/DIN 不锈钢 430 / 涂覆 ( 干润滑 ) 内环, 外环, 笼 Wolfratherm 1) 在半负载和 >1000 转数 / 分时 2) 在 -200 C 下, 韧性下降 订购资料 型号 件号 技术规范 转速, 在 20 C 转数 / 分 C 转数 / 分 负载能力 1) 静态额定负载 (Co) 牛顿 动态额定负载 (C) 牛顿 轴向负载 <<C <<C <<C <<C <<C <<C 根据 ISO G6 / f6 G6 / f6 G6 / f6 G6 / f6 G6 / f6 G6 / f6 重量 克 ) 在 20 C; 半值, 在 300 C 真空控制产品目录 B33

165 真空馈入件 真空球轴承 真空球轴承 ( 续 ) 尺寸 [ 毫米 ] ø4 ø13 5 ø5 ø14 ø6 ø19 ø8 ø22 ø10 ø26 ø12 ø B34 真空控制产品目录 RIBA17E1-B

166 润滑剂和密封材料 真空馈入件 真空馈入件 润滑剂和密封材料 高温润滑剂 在大气压甚至高温下可防止粘住不锈钢螺丝连接件 至少经过 10 次烘烤周期仍保持完全有效 选用参数 耐温 1000 C 包装 28 克 订购资料 型号 C 100 件号 密封材料 用于密封小漏孔 选用参数 耐温 C 型式 粘 喷 包装 克 订购资料 型号 Rhodosil 340 Spray Seal 件号 真空控制产品目录 B35

167 真空馈入件 润滑剂和密封材料 润滑剂和密封材料 ( 续 ) 真空脂 / 油 用于润滑氟橡胶密封件 低蒸汽压强 良好的附着力 选用参数 耐温 C 蒸汽压, 在 20 C 毫巴 <10-8 <5 x 10-7 <10-12 <10-12 < C 毫巴 <7 x <10-7 <10-7 <10-7 包装 25 克 50 克 10 克 30 克 10 毫升 材料 矿物脂 硅脂 氟化脂 氟化脂 氟化油 带 MoS 2 订购资料 型号 Apezon M Dow Corning FU 090 FM 090 OL 090 件号 性能 润滑性 很好 好 好 好 / 很好 好 抗阻能力氧化 很好 很好 很好 很好 化学作用 好 很好 很好 很好 热分解 很好 好 好 好 B36 真空控制产品目录 RIBA18E1

168 真空配件高和超高真空元件

169 真空配件 目录 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件连接件 C1 密封件 C4 法兰 C11 管道配件 C13 波纹管 / 软管带法兰 C16 过渡件 C18 软管, 软管连接件 C22 ISO-K 夹具式法兰元件连接件 C25 密封件 C27 法兰 C30 管道配件 C32 波纹管 / 软管带法兰 C35 过渡件 C36 保护盖 C38 ISO-F 固定式法兰元件法兰元件 C39 UHV CF 法兰元件连接件 C42 密封件 C44 法兰 C46 管道配件 C51 波纹管 / 软管带法兰, 补偿件 C54 过渡件 C55 保护盖 C56 检验文件服务真空控制 A119 Cii 真空控制产品目录

170 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 连接件 夹环蝶形螺母 DN... ISO-KF 件号 A B C 夹环对半 : 铝 380.0/ 螺栓 : 镀镍钢 螺母 : 镀镍锌合金 C A B 夹环六角螺母 DN... ISO-KF 件号 A B C 夹环对半 : 铝 380.0/ 螺栓和螺母 : 镀镍钢 C A B 真空控制产品目录 C1

171 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 连接件 ( 续 ) 快速扣紧夹环 DN... ISO-KF 件号 A B C 弹簧 : 钢 夹环对半 : 铝 380.0/ 手杆 : 聚酰胺 C A B DN... ISO-KF 件号 A B C D* 链节 : 铝 6081/ 牛顿米 螺丝和螺母和螺栓 : 不锈钢 牛顿米 牛顿米 牛顿米 A C A 温度 80 C B 快速扣紧全金属夹环 DN... ISO-KF 件号 A B C 弹簧 : 不锈钢 夹环对半 : 铝 380.0/ 手杆 : 铝 / 温度 150 C 链夹 B C * 最大紧固力矩 C2 真空控制产品目录

172 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 连接件 ( 续 ) 夹件 DN... ISO-KF 件号 A C 夹件 : 铝 380.0/ 螺栓 : 不锈钢 螺母 : 镀锌钢 A B D C M6 E C A C A 软管夹夹环 DN... ISO-KF 件号 A B C 夹环对半 : 铝 380.0/ 箍 : 不锈钢 430/ 螺栓, 螺母和螺纹 : 镀锌钢 B Claw Grip DN... ISO-KF 件号 A B C D E 每套 爪 : 铝 6081/ 件. 螺丝和垫圈 : 不锈钢 爪 : 不锈钢 304/ 件. 螺丝和垫圈 : 不锈钢 QIBA01E1-D 真空控制产品目录 C3

173 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 ISO-KF 小型法兰元件 密封件 对中环铝 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : DN ISO-KF 件号 A B C D øa C D øb C4 真空控制产品目录

174 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 密封件 ( 续 ) 对中环不锈钢 303 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : DN ISO-KF 件号 A B C D øa C D øb 真空控制产品目录 C5

175 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 密封件 ( 续 ) 对中环不锈钢 316L 环 : 不锈钢 316L/ 密封件 : 环 : 不锈钢 316L/ 密封件 : 环 : 不锈钢 316L/ 密封件 : 环 : 不锈钢 316L/ 密封件 : 环 : 不锈钢 316L/ 密封件 : DN ISO-KF 件号 A B C D øa C D øb C6 真空控制产品目录

176 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 密封件 ( 续 ) 对中环 无 O- 圈 DN ISO-KF 件号 A B C 铝 6026/EN AW-6026 T 不锈钢 303/ 不锈钢 316L/ øa C øb 外对中环环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 CR 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 FPM 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 NBR 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 EPDM 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 VMQ ( 硅橡胶 ) DN ISO-KF 件号 A B C D øa C D øb 真空控制产品目录 C7

177 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 密封件 ( 续 ) 异径对中环 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 CR ( 氯丁橡胶 ) 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 FPM ( 氟橡胶 ) 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 NBR ( 丁腈橡胶 ) 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 EPDM ( 三元乙丙橡胶 ) 环 : 铝 6026/EN AW-6026 T6 密封件 : 合成橡胶 VMQ ( 硅橡胶 ) 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 合成橡胶 CR ( 氯丁橡胶 ) 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 合成橡胶 FPM ( 氟橡胶 ) 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 合成橡胶 NBR ( 丁腈橡胶 ) 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 合成橡胶 EPDM ( 三元乙丙橡胶 ) 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 合成橡胶 VMQ ( 硅橡胶 ) DN ISO-KF 件号 A B C D E 10 / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / / øa D 环 : 不锈钢 303/ 密封件 : 合成橡胶 FPM ( 氟橡胶 ) 过滤网 : 不锈钢 316L/ DN ISO-KF 件号 A B C D E* m 3 /h m 3 /h m 3 /h m 3 /h m 3 /h C øa øb C øb 对中环带过滤网 孔径 : 0.02 毫米 * 空气 0 C, 20 毫巴差压 D Recommended gas flow direction C8 真空控制产品目录

178 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 密封件 ( 续 ) 对中环带细过滤网内环 : 不锈钢 303/ 止动环 : 不锈钢 304/ 密封件 : 合成橡胶 FPM 过滤网 : 不锈钢 316L/ DN ISO-KF 件号 A B C D C 孔径 : 毫米 毫米的分离度高至 98% DN ISO-KF 件号 A B C D E E C øa øb øa øb D 对中环带节流阀 环 : 铝 6082/ 内件 : 不锈钢 301/ 不锈钢 303/ 密封件 : 合成橡胶 FPM ( 氟橡胶 ) D Recommended gas flow direction O- 圈 DN ISO-KF 件号 A B 每套 合成橡胶 CR ( 氯丁橡胶 ) 件 件 件 件 件 件 件 合成橡胶 FPM ( 氟橡胶 ) 件 件 件 件 件 件 件 øa B 真空控制产品目录 C9

179 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 密封件 ( 续 ) 铟密封件内环 : 不锈钢 304/ 外环 : 铝 5012/ 密封件 : 铟 DN ISO-KF 件号 A B C D E E 铝密封件的 支撑环 DN ISO-KF 件号 A B 用于铝密封件 不锈钢 301/ B øa øa øb øc 工作温度 C D 铝密封件 DN ISO-KF 件号 A B C D * 软化的铝 6082/ øa øb ød 每套 3 件 * 带支撑环 C 可再用 C10 真空控制产品目录 QIBA02E1-D

180 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 法兰 盲板 DN... ISO-KF 件号 A 铝 6082/ 不锈钢 304/ 不锈钢 316L/ 法兰带短管 DN... ISO-KF 件号 A B C 钢 / 不锈钢 304/ 不锈钢 316L/ A øb øc 真空控制产品目录 C11

181 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 法兰 ( 续 ) 法兰中管 DN... ISO-KF 件号 A B C 不锈钢 304/ 不锈钢 316L/ A øb øc 法兰长管 DN... ISO-KF 件号 A B C 钢 / 不锈钢 304/ 不锈钢 316L/ A øb øc C12 真空控制产品目录 QIBA03E1-C

182 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 管配件 弯头 90º 铝 DN... ISO-KF 件号 A B 铝 6082/ A 弯头 45º DN... ISO-KF 件号 A B C 不锈钢 304/ A 45 A B A øb A øb 弯头 90º 不锈钢 DN... ISO-KF 件号 A B 不锈钢 304/ A øc 真空控制产品目录 C13

183 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 管配件 ( 续 ) 三通 DN... ISO-KF 件号 A B C 铝 6082/ 不锈钢 304/ øc A B A 异径三通 DN... ISO-KF 件号 A B C 不锈钢 304/ / / / / / / C B A 四通 DN... ISO-KF 件号 A B C 铝 6082/ 不锈钢 304/ øc A B B A C14 真空控制产品目录

184 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 管配件 ( 续 ) 异径四通 DN... ISO-KF 件号 A B C D E F 铝 6082/ / / 不锈钢 304/ / / / øf DN 016 ISO-KF A øe D DN 016 ISO-KF B A 过渡件 DN... ISO-KF 件号 A B 铝 6082/ 不锈钢 304/ øb A 异径管 DN... ISO-KF 件号 A B 铝 6082/ 25 / / / / 不锈钢 303/ / / / / / / A øb QIBA04E1-D 真空控制产品目录 C15

185 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 ISO-KF 小型法兰元件 波纹管 / 软管带法兰 波纹管 DN... ISO-KF 件号 A B C D E 法兰 : 316L/ 波纹管 : 316L/ A 最大内压 : 4 巴 A = 无应力长度 D = 最大离轴偏移 E = 横向位移 B C 金属软管, 高柔性 DN... ISO-KF 件号 A B C 法兰 : 316L/ 波纹管 : 316L/ 最大内压 : 4 巴 B = 多弯曲半径 C = 单弯曲半径 A B/C C16 真空控制产品目录

186 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 波纹管 / 软管带法兰 ( 续 ) 金属软管, 柔性 DN... ISO-KF 件号 A B 法兰 : 304/ 波纹管 : 316Ti/ 最大内压 : 4 巴 B = 单弯曲半径 A B/C PVC 软管 DN... ISO-KF 件号 A B C 软管 : PVC 铸在钢螺旋体中 接头 : 铝 6082/ 软管夹具 : 不锈钢 430/ B = 多弯曲半径 C = 单弯曲半径 A B/C QIBA05E1-C 真空控制产品目录 C17

187 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 ISO-KF 小型法兰元件 过渡件 转接件 ISO-KF/ISO-K ISO-KF/ISO-K 件号 A 铝 6082/ 40 / / 不锈钢 303/ / / / A 转接件 ISO-KF/CF-F ISO-KF/CF-F 件号 A B 不锈钢 304/ / / / / / / / øb A 转接件 ISO-KF/VCR 插座型 ISO-KF/VCR 件号 A 法兰 : 不锈钢 304/ / 1 /4 吋 螺母 : 不锈钢 316L/ / 1 /4 吋 / 1 /2 吋 / 3 /4 吋 A 跨平面的宽度为吋 C18 真空控制产品目录

188 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 过渡件 ( 续 ) 转接件 ISO-KF/VCR 插头型 ISO-KF/VCR 件号 A 法兰 : 不锈钢 304/ / 1 /4 吋 螺母 : 不锈钢 316L/ / 1 /4 吋 / 1 /2 吋 / 3 /4 吋 跨平面的宽度为吋 A 转接件 ISO-KF/Swagelok ISO-KF/Swagelok 件号 A B 法兰 : 不锈钢 304/ / 6 mm ) 螺母 : 不锈钢 316L/ / 10 mm ) / 16 mm ) / 1 /8 吋 ) / 1 /4 吋 ) / 1 /4 吋 ) / 1 /2 吋 ) B 1) 跨平面的宽度为米制 (SI) 2) 跨平面的宽度为吋 A 玻璃管连接件 DN... ISO-KF 件号 A B C D 法兰 : 铝 6082/ 密封件 : 合成橡胶 FPM 管 : Pyrex 玻璃 øb øc D A 真空控制产品目录 C19

189 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 过渡件 ( 续 ) 螺丝拧入式法兰 ISO-KF/DN 件号 A B C D 法兰 : 不锈钢 303/ / M16X M16x 密封件 : 合成橡胶 FPM 10 / G 3 /8 吋 G 3 /8 吋 / G 1 /2 吋 G 1 /2 吋 / G 1 吋 G 1 吋 / G 1 1 /2 吋 G 1 1 /2 吋 41 B ød øc 跨平面的宽度为米制 (SI) A 螺丝拧上式法兰 ISO-KF/DN 件号 A B C D 法兰 : 不锈钢 303/ / G 3 /8 吋 G 3 /8 吋 10 密封件 : 合成橡胶 FPM 16 / G 1 /2 吋 G 1 /2 吋 / G 1 吋 G 1 吋 / G 1 1 /2 吋 G 1 1 /2 吋 38 B ød øc 跨平面的宽度为米制 (SI) A C20 真空控制产品目录

190 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 过渡件 ( 续 ) 转接件 ISO-KF/NPT 插座型 ISO-KF/NPT 件号 A B C D 不锈钢 / 1 /8 吋 /8-27 NPT 16 / 1 /4 吋 /4-18 NPT 25 / 1 /8 吋 /8-27 NPT 25 / 1 /4 吋 /4-18 NPT 25 / 1 /2 吋 /2-14 NPT 25 / 1 吋 /2 NPT 40 / 1 /4 吋 /4-18 NPT 40 / 1 /2 吋 /2-14 NPT 40 / 1 吋 /2 NPT øc B ød 跨平面的宽度为吋 A 转接件 ISO-KF/NPT 插头型 ISO-KF/NPT 件号 A B C D 不锈钢 303 / / 1 /8 吋 /8-27 NPT 16 / 1 /4 吋 /4-18 NPT 25 / 1 /8 吋 /8-27 NPT 25 / 1 /4 吋 /4-18 NPT 25 / 1 /2 吋 /2-14 NPT 25 / 1 吋 /2 NPT 40 / 1 /4 吋 /4-18 NPT B 40 / 1 /2 吋 /2-14 NPT 40 / 1 吋 /2 NPT 40 / 1 1 /4 吋 / /2 NPT 40 / 1 1 /2 吋 / /2 NPT 跨平面的宽度为吋 40 / 2 吋 /2 NPT A øc ød QIBA06E1-D 真空控制产品目录 C21

191 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 ISO-KF 小型法兰元件 软管, 软管连接件 软管转接件 90º DN... ISO-KF 件号 A B C D 铝 6082/ A øc ød C = 套管 / 软管的常规连接 B 软管转接件用于橡胶软管 DN... ISO-KF 件号 A B C 铝 6082/ 不锈钢 303/ øb øc C = 软管的常规连接 A 软管连接件 DN... ISO-KF 件号 A B C 铝 6082/ øc øb C = 套管 / 软管的常规连接 A C22 真空控制产品目录

192 ISO-KF 小型法兰元件 真空配件 软管, 软管连接件 ( 续 ) 套管带软管夹 DN... ISO-KF 件号 A B C D E 软管夹具 : 不锈钢 430/ 套管 : 合成橡胶 CR B C ød øe 最大内压 : 1 巴 A 软管夹 DN... ISO-KF 件号 A B 不锈钢 430/ A B PVC 软管 DN... ISO-KF 件号 A B C 铸在螺旋弹簧中 øb øa 或真空应用指示长度为米 C min 橡胶软管 DN... ISO-KF 件号 A B 用于真空应用 指示长度为米硬度 : 55 ± 5 Shore A ( 邵氏硬度 ) 温度 : C øb øa 真空控制产品目录 C23

193 真空配件 ISO-KF 小型法兰元件 软管, 软管连接件 ( 续 ) 保护盖 DN... ISO-KF 件号 A B C 聚乙烯 øb øa C C24 真空控制产品目录 QIBA07E1-C

194 ISO-K 夹具式法兰元件 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 连接件 夹具 DN... ISO-K 件号 A B C 每套 镀锌钢 1045/ 件 件 件. 不锈钢 316/ 件 件. B C A 夹具无槽 DN... ISO-K 件号 A B C 每套 夹具 : 铝 6082/ 件. 螺丝 : 镀锌钢 1045/ 夹具 : 镀锌钢 1045/ 件. 螺丝 : 镀锌钢 1045/ 件 件 件. 夹法兰和基板无槽 C A B 夹具基板有槽 DN... ISO-K 件号 A B C 每套 夹具 : 镀锌钢 1045/ 件. 螺丝 : 镀锌钢 1045/ 件 件 件. C B A 夹法兰 / 基板有槽 真空控制产品目录 C25

195 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 连接件 ( 续 ) 夹法兰 有槽 DN... ISO-K 件号 A B C 每套 镀锌钢 1045/ 件 件 件 件. C B A 夹法兰有槽 / 基板 C26 真空控制产品目录 QIBA08E1-B

196 ISO-K 夹具式法兰元件 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 密封件 对中环 DN... ISO-K 件号 A B C D 内环 : 铝 6082/ 外环 : 铝 6082/ 密封件 : 合成橡胶 CR 内环 : 铝 6082/ 外环 : 铝 6082/ 密封件 : 合成橡胶 FPM 内环 : 不锈钢 304/ 外环 : 铝 6082/ 密封件 : 合成橡胶 FPM D C øb øa 真空控制产品目录 C27

197 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 密封件 ( 续 ) 对中环带细过滤网 DN... ISO-K 件号 A B C D 内环 : 不锈钢 304/ 外环 : 铝 6082/ 密封件 : 合成橡胶 FPM 卡环 : 不锈钢 304/ 沙粒过滤网 : 不锈钢 304/ 过滤网 : 不锈钢 316L/ D øa øb 孔径 毫米 毫米的分离度高至 98% C O- 圈 DN... ISO-K 件号 A B 每套 合成橡胶 CR 件 件 件 件 件 件 合成橡胶 FPM 件 件 件 件 件 件 øa B C28 真空控制产品目录

198 ISO-K 夹具式法兰元件 真空配件 密封件 ( 续 ) 铝密封件 DN... ISO-K 件号 A B C D E 软化的铝 6082/ 数量 夹具 爪夹 DN 63 ISO -K 4 DN 100 ISO-K 6 8 DN 160 ISO-K 8 8 DN 250 ISO-K E øa øb øc D QIBA09E1-A 真空控制产品目录 C29

199 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 ISO-K 夹具式法兰元件 法兰 盲板 DN... ISO-K 件号 A B 铝 EN AW-6082 T 镀镍钢 A570/ 不锈钢 304/ B øa 焊接法兰 DN... ISO-K 件号 A B C D E 钢 / 钢 A570/ 不锈钢 304/ 不锈钢 304/ øa øc øb E D C30 真空控制产品目录

200 ISO-K 夹具式法兰元件 真空配件 法兰 ( 续 ) 带管法兰 DN... ISO-K 件号 A B C 法兰 : 钢 / 管 : 钢 / 不锈钢 304/ 不锈钢 304/ A øc øb QIBA10E1-C 真空控制产品目录 C31

201 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 ISO-K 夹具式法兰元件 管配件 弯头 90º DN... ISO-K 件号 A B 不锈钢 304/ * * * * * A øb A 三通 DN... ISO-K 件号 A B 不锈钢 304/ A øb A 异径三通 DN... ISO-K 件号 A B C 不锈钢 304/ 160/ / / C B A C32 真空控制产品目录

202 ISO-K 夹具式法兰元件 真空配件 管配件 ( 续 ) 四通 DN... ISO-K 件号 A B 不锈钢 304/ A øb A 异径四通 DN... ISO-K 件号 A B C D E 不锈钢 304/ DN 40 ISO-KF DN 25 ISO-KF B A E D 1 x DN 16 ISO-KF 1 x DN 25 ISO-KF 1 x DN 40 ISO-KF C DN 16 ISO-KF 异径管 DN... ISO-K 件号 A 不锈钢 303/ 80/ / / / / / A 真空控制产品目录 C33

203 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 管配件 ( 续 ) 过渡件 DN... ISO-K 件号 A B 不锈钢 304/ øb A C34 真空控制产品目录 QIBA11E1-D

204 ISO-K 夹具式法兰元件 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 波纹管 / 软管带法兰 波纹管 DN... ISO-K 件号 A B C D E 法兰 : 不锈钢 304/ 波纹管 : 不锈钢 316Ti/ A ød 最大内压 1.5 巴 A = 无应力长度 E = 最大离轴偏移 B C 金属软管 DN... ISO-K 件号 A B C 法兰 : 不锈钢 304/ 波纹管 : 不锈钢 316Ti/ A 最大内压 1.5 巴 B = 多弯曲半径 C = 单弯曲半径 B/C QIBA12E1-A 真空控制产品目录 C35

205 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 ISO-K 夹具式法兰元件 过渡件 转接法兰 ISO-K/ISO-F ISO-K / ISO-F 件号 A 不锈钢 304/ 160/ / / / / A 转接法兰 ISO-K/ISO-KF ISO-K / ISO-KF 件号 A 铝 6082/ 63/ / 不锈钢 303/ 63/ / / / A C36 真空控制产品目录

206 ISO-K 夹具式法兰元件 真空配件 过渡件 ( 续 ) 转接法兰 CF/ISO-K ISO-CF / ISO-K 件号 A B C 不锈钢 304/ 63/ / / A 转接法兰 DN/ISO-K DN... ISO-K 件号 A B 铝 6082/ øb A 套管带软管夹 DN... ISO-KF 件号 A B C D E 套管 : 合成橡胶 CR 软管夹具 : 不锈钢 430/ B C ød øe 最大内压 : 1 巴 A QIBA13E1-B 真空控制产品目录 C37

207 真空配件 ISO-K 夹具式法兰元件 ISO-K 夹具式法兰元件 保护盖 保护盖 DN... ISO-K 件号 A B C 聚乙烯 øb øa C C38 真空控制产品目录 QIBA14E1-A

208 ISO-F 固定式法兰元件 真空配件 ISO-F 固定式法兰元件 法兰元件 带保持环的法兰套环 DN... ISO-F 件号 A B C 法兰 : DN : 镀镍钢 / DN : 镀镍钢 / 保持环 : 镀镍钢 øb øc A 转接法兰 ISO-K / ISO-F DN... ISO-F 件号 A 不锈钢 304/ / / / / / A 真空控制产品目录 C39

209 真空配件 ISO-F 固定式法兰元件 法兰元件 ( 续 ) 测量用的法兰 DN... ISO-F 件号 A B C 铝 6082/ M M 10 不锈钢 304/ M M M 10 øb 1 DN 016 ISO-KF* C * 内含爪环 DN 16 ISO-KF A 成套六角螺栓 DN... ISO-F 件号 A B 每套 镀锌钢 件 件 件 件 B A 密封碟片 DN... ISO-F 件号 A B C 碟片 : 铝 6082/ O- 圈 : 合成橡胶 CR øa øc B C40 真空控制产品目录

210 ISO-F 固定式法兰元件 真空配件 O- 圈 DN... ISO-F 件号 A B 每套 合成橡胶 CR 件 件 件 件 B øa QIBA15E1-B 真空控制产品目录 C41

211 真空配件 UHV CF 法兰元件 UHV CF 法兰元件 连接件 六角螺栓带螺母 DN... CF 件号 A B 每套 C* 螺栓 : 不锈钢 316/ x M4 3.5 牛顿米 垫圈 : 不锈钢 304/ x M6 10 牛顿米 螺母 : 不锈钢 316/ x M8 20 牛顿米 x M8 20 牛顿米 x M8 20 牛顿米 x M8 20 牛顿米 x M10 30 牛顿米 x M10 30 牛顿米 A * 紧固力矩 B 六角螺栓无螺母 DN... CF 件号 A 每套 B* 螺栓 : 不锈钢 316/ x M4 4 牛顿米 垫圈 : 不锈钢 304/ x M6 10 牛顿米 x M8 20 牛顿米 A * 紧固力矩 六角螺栓带双螺母 DN...CF 件号 A B C 双螺母 D* 螺栓 : 不锈钢 316/ x M4/3 4 牛顿米 垫圈 : 不锈钢 304/ x M6/3 10 牛顿米 双螺母 : 不锈钢 316/ x M8/3 20 牛顿米 x M8/8 20 牛顿米 x M8/10 20 牛顿米 C A * 紧固力矩 B C42 真空控制产品目录

212 UHV CF 法兰元件 真空配件 连接件 ( 续 ) 成套双头螺栓 DN... CF 件号 A 每套 B* 螺栓 : 不锈钢 316/ x M4 4 牛顿米 垫圈 : 不锈钢 304/ x M6 10 牛顿米 螺母 : 不锈钢 316/ x M8 20 牛顿米 A * 紧固力矩 螺纹润滑剂 件号 耐温 C 克 C 至少经过 10 个烘烤周期后仍保持完全有效 QIBA16E1-A 真空控制产品目录 C43

213 真空配件 UHV CF 法兰元件 UHV CF 法兰元件 密封件 高质量和镀银的铜密封垫圈经严格设计, 用于高端的超高真空应用中. 为确保最高的质量, 这些密封垫圈采用无氧铜材料制成, 经过严格的检验, 清洗和单个包装. 铜密封垫圈 DN... CF 件号 A B C 每套 高质量 件 铜 OFHC / 件 件 件 件 件 件 件 件 øc øb 单个包装 A 铜密封垫圈镀银 DN... CF 件号 A B C 每套 高质量 件 铜 OFHC / 件 双面镀银 件 件 件 件 件 øc øb 单个包装 A C44 真空控制产品目录

214 UHV CF 法兰元件 真空配件 密封件 ( 续 ) FPM 密封件 DN... CF 件号 A B C D 每套 合成橡胶 FPM 件 件 øc øb A A D 件 件 件 件 øc øb FPM 密封件带支撑环 DN... CF 件号 A B C D 每套 密封件 : 合成橡胶 FPM 件 支撑环 : 铝 6082/ A øb øc ød QIBA17E1-B 真空控制产品目录 C45

215 真空配件 UHV CF 法兰元件 UHV CF 法兰元件 法兰 盲板 DN... CF-F 件号 A B C 不锈钢 304/ 不锈钢 316L/ 不锈钢 316LN/ øb C A 盲板, 可旋转的 DN... CF-R 件号 A B C D E 不锈钢 304/ 不锈钢 316LN/ ød E B A øc C46 真空控制产品目录

216 UHV CF 法兰元件 真空配件 法兰 ( 续 ) 焊接法兰 DN... CF-F 件号 A B C D E 不锈钢 304/ B 不锈钢 316L/ E 不锈钢 316LN/ øc ød A 焊接法兰, 可旋转的 DN... CF-R 件号 A B C D E 不锈钢 304/ 不锈钢 316LN/ øc B E ød A 真空控制产品目录 C47

217 真空配件 UHV CF 法兰元件 法兰 ( 续 ) 焊接法兰带螺孔的 DN... CF-F 件号 A B C D E 不锈钢 304/ xM xM xM x M8 B øc ød E A 焊接法兰 规管用的 DN... CF-F 件号 A B C D E F G F 不锈钢 304/ G E øc øf ød B A H C48 真空控制产品目录

218 UHV CF 法兰元件 真空配件 法兰 ( 续 ) 带管的法兰 DN... CF-F 件号 A B C D 不锈钢 304/ øb øc D A 法兰带可旋转管 DN... CF-R 件号 A B C D 不锈钢 304/ øb øc D A 真空控制产品目录 C49

219 真空配件 UHV CF 法兰元件 法兰 ( 续 ) 异径法兰 CF-F/CF-F DN... CF-F 件号 A B C D 不锈钢 304/ / xM4 63/ xM6 100/ xM6 100/ xM8 160/ xM6 160/ xM8 不锈钢 316LN/ / xM4 63/ xM6 100/ xM6 100/ xM8 160/ xM6 160/ xM8 øc D øb A C50 真空控制产品目录 QIBA18E1-B

220 UHV CF 法兰元件 真空配件 UHV CF 法兰元件 管配件 中间段法兰 DN... CF 件号 A B C D 不锈钢 304/ CF-R CF-F ød A +B C 绝缘的中间段 法兰 DN... CF 件号 A B C D E F G 法兰 : 不锈钢 304/ 绝缘体 : 陶瓷 Al 2 O 中间绝缘体 / 法兰 : FeNi 烘烤温度 : 350 C G = 在 20 仟伏和 10-4 毫巴下的表面漏电率 CF-R CF-F ød øf 烘烤温度 : 350 C G = 在 20 仟伏和 10-4 毫巴下的表面漏电率 E A +B C 真空控制产品目录 C51

221 真空配件 UHV CF 法兰元件 管配件 ( 续 ) 异径管 CF/CF DN... CF 件号 A B C D 不锈钢 304/ / / / / / CF-F CF-R ød A +B C 弯头 90º DN... CF 件号 A B C D 不锈钢 304/ CF-F A +B C ød CF-R A +B C 三通 DN... CF 件号 A B C D 不锈钢 304/ CF-R CF-F A +B C ød CF-R A +B C 52 真空控制产品目录

222 UHV CF 法兰元件 真空配件 管配件 ( 续 ) 四通 DN... CF 件号 A B C D 不锈钢 304/ CF-F CF-R CF-F A +B C ød CF-R A +B C 双四通 DN... CF 件号 A B C D 不锈钢 304/ CF-F CF-R CF-F A +B C ød 3 可旋转法兰 3 固定法兰 CF-R A +B C 异径四通 DN... CF 件号 A B C D E F 不锈钢 304/ CF-F D A +B C CF-R DN 40 CF-F DN 16 CF-F 2 DN 16 CF-F 2 DN 40 CF-F F +B C E +B C QIBA19E1-A 真空控制产品目录

223 真空配件 UHV CF 法兰元件 UHV CF 法兰元件 波纹管 / 软管带法兰, 补偿件 补偿件 DN...CF-F 件号 A B C D E F G 法兰 : 不锈钢 304/ 波纹管 : 不锈钢 316Ti/ ød E G 最大内压对 DN 40: 4 巴最大内压对 DN 63/100: 1.5 巴 A +B C 波纹管 DN...CF 件号 A B C D E F G 法兰 : 不锈钢 304/ 波纹管 : 不锈钢 316Ti/ CF-F CF-R øf ød øe A = 无应力长度最大内压对 DN 40: 4 巴最大内压对 DN : 1.5 巴 A +B C Flexible Metal 软管 DN...CF 件号 A B C D E F G 法兰 : 不锈钢 304/ 波纹管 : 不锈钢 316Ti/ B A B F = 多弯曲半径 G = 单弯曲半径最大内压 : 5 巴 øc ød F/G øe 54 真空控制产品目录 QIBA20E1-A

224 UHV CF 法兰元件 真空配件 UHV CF 法兰元件 过渡件 转接件 CF-F/ISO-KF DN...CF-F 件号 A B 不锈钢 304/ / / / / / / / øb A 转接件 CF-F/ISO-K DN... CF-F 件号 A B C D 不锈钢 304/ / / / ød A +B C QIBA21E1-A 真空控制产品目录

225 真空配件 UHV CF 法兰元件 UHV CF 法兰元件 保护盖 保护盖 DN... CF 件号 A B C 聚乙烯 øb øa C 56 真空控制产品目录 QIBA22E1-A

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227 真空计, 配件和馈入件真空控制产品目录 本手册中涉及的产品, 其商标所有权归属于生产该产品的公司. 由于我们持续不断的产品改进程序, 技术规范随时更改, 恕不另行通知. tilc85e1-i 2014 INFICON