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1 益处 拥有成本更低, 预热速度快 50%, 节能, 低功耗 易于集成, 各种满刻度 法兰和接口, 标配两个 轻松一键调零或远程信号调零指令, 可调零点偏移 诊断端口用于快速维修和维护 两年保修服务, 先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命 卓越的信号稳定性和可重复性, 即使是最苛刻的等离子应用, 都无需长期执行重新校准 合规性与标准 :CE EN UL SEMI RoHS 1

2 订购信息 2

3 精度 (1) % of reading 温度效应 零点 percent FS/ C 温度效应 满量程 % of reading / C 压力, 最大 kpa (absolute) 分辨率 percent FS 最低读数 percent FS 建议的最低读数 percent FS 建议的最低控制压力 percent FS 温度 运行 ( 环境 ) C 在法兰处烘烤 C 贮存 C 电源电压 功耗 ±15 V (±5%) ±15 V (±5%) ±15 V (±5%) 加热时 W 运行温度 W 输出信号 ( 模拟 ) V (dc) 反应时间 (2) ms / 30 (³) 保护等级 IP 40 IP 40 IP 40 标准 CE 合规 EN /-6-3, EN & RoHS ETL 认证 UL , CSA 22.2 No EN /-6-3, EN & RoHS UL , CSA 22.2 No EN /-6-3, EN & RoHS UL , CSA 22.2 No SEMI 合规 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2 电气连接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male 数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 继电器触点 V (dc) 继电器触点 A (dc)

4 滞后 percent FS 诊断端口 协议 RS232-C RS232-C RS232-C 读数 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 设置 暴露于真空的材料 内部容积 Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) 内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内部容积 8 VCR cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 重量 重量 1/2'' 管 g 重量 DN 16 ISO KF g 重量 DN 16 CF-R g 重量 8 VCR g 协议 protocol specialized for 通讯标准 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" 节点地址 物理层 Explicit Device Identification 100BASE-Tx (IEEE 802.3) protocol specialized for ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" Explicit Device Identification 100BASE-Tx (IEEE 802.3) protocol specialized for ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" Explicit Device Identification 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 4

5 数字功能设置 过程数据 邮箱 (CoE) 连接器 电缆 adjust, reset, Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher adjust, reset, Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher adjust, reset, Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher 电缆长度 m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330) DeviceNet 协议 DeviceNet, group 2 slave only MAC ID address by DeviceNet, group 2 slave only address by DeviceNet, group 2 slave only address by 数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 数字功能设置 技术 DeviceNet "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) DeviceNet "Vacuum Gauge Device Profile" (ODVA) 设备类型 ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge ''VG'' vacuum gauge I / O 从属传讯 polling only polling only polling only 真空计 D 型连接器的电源电压 为微型连接器上的 DeviceNet 收发器提供电压 ±15 V / 12 W 24 V nom / <2 W (11 25 V) ±15 V / 12 W 24 V nom / <2 W (11 25 V) ±15 V / 12 W 24 V nom / <2 W (11 25 V) DeviceNet 连接器 microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male microstyle, 5 pin, male CDG( 模拟输出 CDG 电源电压 ) 连接器 DeviceNet 数据率 kbaud 125, 250, 500 by D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male 125, 250, 500 by 125, 250, 500 by 5

6 DeviceNet 电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 500 (1650) 500 (1650) 电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 250 (825) 250 (825) 电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330) Profibus DP 波特率 kbaud 9.6 / 19.2 / / / 500 Profibus DP 9.6 / 19.2 / / / / 19.2 / / / 500 波特率 Mbaud 1.5 / / / 12 Profibus DP 地址 address by address by address by 数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 数字功能设置 Profibus DP 连接器 D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female D-sub, 9 pin, female CDG( 模拟输出 电源电压 ) 连接器 D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male D-sub, 15 pin, male (1) 25 C 环境温度时非线性 滞后 可重复, 运行 2 小时后不产生温度效应 (2) 增加 % FS (3) 仅适用于压力控制类型 (4) 18% 铬,10% 镍,3% 钼,69% 铁 6

7 尺寸 由于我们的持续产品改进计划, 因此产品可能会有变更, 恕不另行通知 RateWatcher 是 INFICON 的商标 所有其他商标均为其各自所有者的财产 ( ) 2014 INFICON

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