事業放流水標準法規宣導 ( 石油化學業 石油化學專業區污水下水道系統 海 洋放流管線及晶圓製造及半導體製造業 ) 101 年 6 月 27 日 1
內容大綱 壹 緣起貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準參 半導體製造業廢水特性與放流水標準肆 結語 2
3 壹 緣起 現行放流水標準管制項目包括共同適用項目 COD SS 等項 本署自 91 年起即陸續調查石化產業及半導體產業廢水特性, 已掌握主要污染類型 近年來石化產業 VOC/ 塑化劑污染事件, 及高科技產業製程用藥複雜, 均為社對大眾所關切, 基於風險管理及污染預防, 乃優先檢討石化產業及半導體業之放流水標準 本次修法重點, 係依產業特性, 首度將石化業 石化專區 半導體業, 獨立訂定該產業之放流水標準, 並考量部分石化業採海洋放流管線排放, 一併檢討海洋放流水標準, 並同步修正原放流水標準, 以妥善管制產業廢水排放品質
4 貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準 石化產業管制範疇 業別 11. 石油化學業 水污染防治法事業分類及定義 (1) 石油煉製業 : 以石油為原料經蒸餾 精煉 摻配之煉製程序製造石油製品之事業 (2) 石油化學基本原料製造業 : 以石油 天然氣等碳氫化合物經分解 分離 精製製造石油化學上游基本原料之事業 (3) 石油化學中游產品製造業 : 以石油 天然氣 石油化學基本原料製造單體或聚合體等石油化學中游產品之事業 (4) 石油化學下游產品製造業 : 以石油化學中游產品為原料經一次 二次 多次加工製造半成品或最終產品之事業 石油化學專業區污水下水道系統放流水標準石油化學專業區污水下水道系統 : 工業區污水下水道系統其石油化學業和化工業許可核准納管水量達許可核准排放水量百分之五十以上者 未達百分之五十以上之工業區污水下水道系統適用放流水標準第二條石油化學專業區以外工業區之規定
貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 石化業上下游關係 代表性廠商 原油含直鏈烴與芳香族烴輕油含直鏈烴與芳香族烴 石油煉製 中油煉油廠 石化基本原料 烯烴類 芳香烴 乙烯 / 丙烯 / 丁二烯 苯 / 甲苯 / 二甲苯 可能具有高氨氮污染潛勢 基本原料製造 中油煉油廠台塑麥寮廠 石油化學品 酜酸酐 / 酜酸二辛酯 / 聚丙二醇 / 烷基苯 / 酚 / 氯乙烯 橡膠原料 聚丁二烯 / 苯乙烯 - 丁二烯橡膠 / 丙烯 - 丁二烯橡膠 / 熱可塑性橡膠 人纖原料 乙二醇 / 純對苯二甲酸 / 丙烯腈 / 己內醯胺 塑膠原料 低密度聚乙烯 / 高密度聚乙烯 / 聚丙烯 / 聚氯乙烯 / 聚苯乙烯 / 聚對苯二甲酸乙二醇酯 / 丙烯腈 - 苯乙烯 - 丁二烯樹脂 (ABS) 中游產品製造 奇美實業亞東石化東展興業大洋塑膠 染料 接著劑 塗料 不飽和聚酯 環氧樹脂等 輪胎 輸送帶 橡膠油封等 聚酯纖維 聚醯胺纖維 聚丙烯腈纖維 包裝袋 塑膠瓶 塑膠日用品等 下游產品製造 南亞塑膠上曜開發 5 資料來源 : 水污染防治法事業分類及定義 (99.12.15) 和經濟部技術處 (2006)
貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 採海放之事業與下水道系統列管情形 (22 處 ) 海洋放流管線放流水標準適用對象為廢 ( 污 ) 水以海洋放流管線排放於海洋之事業或污水下水道系統 事業別 家數 石油化學業 2 ( 中油煉油 ) 化工業 1 ( 台塑仁武 ) 大發廢水廠 ( 基本金屬 金屬製品 ) 放流水排放站 大林蒲海放管 林園廢水廠 ( 化工 / 石化 ) 放流水排放站 臨海廢水廠 ( 金屬製品 ) 放流水排放站 中油大林廠 臨海廠海洋排放站 海洋放流 發電廠 3 6 自來水廠 9 下水道系統 家數 公共 2 ( 八里 中區 ) 石化專區 2 ( 林園 大社 ) 非石化專區專用 2 ( 臨海 大發 ) 其他指定或場所 1 ( 楠梓 ) 大社廢水廠 ( 化工 / 石化 ) 下水道營運中心 蚵仔寮海放管 台塑仁武廠 大社加壓站 中油高雄廠 楠梓加壓站 楠梓加工出口區 ( 電子製造 ) 蚵仔寮放流加壓站 海洋放流
7 貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 歷年調查結果水質項目 石化業 石化專區 氨氮 ND~431 1.14~500 凱氏氮 0.26~575 2.48~516 亞硝酸鹽氮 ND~6.50 ND~0.88 硝酸鹽氮 ND~78.7 8.11~35.0 苯 ND~0.00676 ND~0.00634 乙苯 ND ND~0.275 三氯甲烷 ND~0.0134 ND~0.0331 二氯甲烷 ND ND~11.0 1,2- 二氯乙烷 ND~0.00535 ND~2.29 氯乙烯 ND~32.3 ND~0.119 甲基第三丁基醚 ND~0.585 ND~0.355 溴甲烷 ND~0.0585 ND 氯乙烷 ND~0.201 ND 鄰苯二甲酸乙己酯 ND~0.00666 ND 鯉魚急毒性 TU a <1~3.7 <1 水蚤急毒性 TU a <1~>1.43 <1~1 註 :[1] 除急毒性 TU a 無單位外, 其餘為 mg/l 其餘 VOC 和 SVOC 項目大多 ND 或偏低 [2] VOC 和 SVOC 之方法偵測極限 MDL 均低於 0.0123 mg/l, 六種鄰苯二甲酸酯類塑化劑 MDL 小於 0.01 mg/l
8 貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 產業廢水特性 類別項目說明 含氮物質 揮發性有機化合物 (VOC) 半揮發性有機化合物 (SVOC) 氨氮 凱氏氮 硝酸鹽氮 亞硝酸鹽氮 共 61 種, 包含氯烷類 氯烯類和苯類等 共 78 種, 包含 6 種鄰苯二甲酸酯類塑化劑 壬基酚 雙酚 A 等 生物急毒性鯉魚和水蚤 廠內產品不同, 放流水氨氮濃度變化大 己內醯胺 丙烯腈 ABS 樹脂等石化中游製程原物料和產品製造廠, 放流水有機氮和氨氮濃度偏高 ( 最高可達 500 mg/l) 35% 廠家放流水 VOC 檢測結果均為 ND, 其餘廠家檢出濃度亦不高, 如有檢出之項目以含氯和含苯化合物為主, 其中以三氯甲烷副產物較常見 依製程與產品不同, 放流水 VOC 物種變異性大 氯乙烯產業放流水有氯乙烯和 1,2- 二氯乙烷檢出 煉油廠有檢出微量汽油添加劑甲基第三丁基醚 75 種 SVOC 未檢出 其餘 3 種 SVOC 檢出濃度低 ( 均小於 0.01 mg/l) 多數廠家 TU a 小於 1.43 少數放流水具高氨氮濃度者, 急毒性較顯著
貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 依產業製程與廢水特性 國內調查成果和國外管制趨勢, 訂定管制項目與限值 一般項目 非屬石化業廢水主要特性, 如農藥和重金屬等項目予以刪除 水溫 ph COD 和 SS 等 含氮物質 氨氮會消耗水中溶氧, 造成水質惡化 對水生生物具毒性, 未解離氨 NH 3 鯉科魚類半致死濃度範圍在 1~1.5 mg/l 含氮物質為國際管制趨勢 氨氮和硝酸鹽氮 9 VOC SVOC 風險預防管理 國外放流水標準管制項目 致癌性 生殖毒性或生物累積性 國內主要製造或製程化學品, 且放流水曾檢出 6 種含氯和含苯有機化合物 6 種鄰苯二甲酸酯類塑化劑
貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 放流水氨氮濃度調查顯示,80% 廠商可符合 20 mg/l, 少數高含氮製程廠家氨氮濃度達數百 mg/l, 故依製程特性採不同管制限值 高含氮製程 部分廠家廢水處理單元並無除氮設計, 新增處理程序和效能驗證需要較長改善時間, 故採兩階段管制 第一階段強化製程減排減量和提升廢水處理效能, 管制限值為 150 mg/l 第二階段新增廢水處理程序, 管制限值為 60 mg/l 非高含氮製程與新設 : 20 mg/l 高含氮製程下列含氮製程, 且作業廢水水量達放流口許可核准之排放水量百分之四十以上者 1. 三氟化氮與電子級液氨製造程序 2. 甲基丙烯酸酯類 (MMA) 化學製造程序 3. 丙烯腈製造程序 4. 丙烯腈 - 丁二烯共聚合物 (AB) 化學製造程序 5. 丙烯腈 - 丁二烯 - 苯乙烯共聚合物 (ABS) 化學製造程序 6. 丙烯腈 - 苯乙烯共聚合物 (AS) 化學製造程序 7. 己內醯胺製造程序 8. 硫酸銨化學製造程序 9. 聚醯胺塑膠 ( 尼龍 ) 製造程序 10
11 貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 管制限值 類別 管制項目 石化業 (mg/l) 石化專區 海放 水溫 ph COD SS 等 原限值 原限值 ( 多管制重金屬類項目 ) 一般項目 含氮物質 VOC SVOC 硝酸鹽氮 50( 原限值 ) 50( 原限值 ) - 氨氮 既設高含氮 :150/60 既設非高含氮 / 新設 :20 苯 0.05 乙苯 0.4 二氯甲烷 0.2 三氯甲烷 ( 氯仿 ) 0.6 1,2- 二氯乙烷 0.1 氯乙烯 (VCM) 0.1 鄰苯二甲酸二甲酯 (DMP) 0.2 鄰苯二甲酸二乙酯 (DEP) 0.4 鄰苯二甲酸二丁酯 (DBP) 0.4 鄰苯二甲酸丁苯酯 (BBP) 0.4 鄰苯二甲酸二辛酯 (DNOP) 0.6 鄰苯二甲酸乙己酯 (DEHP) 0.2 既設 150/60 新設 20 原限值 -
12 貳 石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 標準施行時間 類別管制項目石化業石化專區海洋 一般項目 含氮物質 VOC SVOC 水溫 ph COD SS 等 發布日起 發布日起 硝酸鹽氮發布日起發布日起 -- 氨氮 苯 乙苯 新設發布日起發布日起 -- 既設 二氯甲烷 三氯甲烷 1,2- 二氯乙烷 氯乙烯 六種鄰苯二甲酸酯類塑化劑 高含氮製程分 103 年 12 月 31 日起和 105 年 7 月 1 日起兩階段管制 非高含氮製程自 101 年 7 月 1 日起 自 101 年 7 月 1 日起 如提削減計畫並執行者, 其苯 乙苯之管制, 自 103 年 7 月 1 日起 分 103 年 12 月 31 日起和 105 年 7 月 1 日起兩階段管制 適用石油化學基本原料製造業 石油化學中游產品製造業 石油化學下游產品製造業, 自 101 年 7自 101 年 7 月 1 日起月 1 日起 如提削減計畫並執行者, 其二氯甲烷 三氯甲烷 1,2- 二氯乙烷和氯乙烯之管制, 自 103 年 7 月 1 日起 發布日起 --
一 石油化學業放流水標準 條文 ( 計十條 ) 第一條 本標準依水污染防治法第七條第二項規定訂定之 第二條本標準專用名詞定義如下 : 第三條 一 高含氮製程 : 係指下列含氮製程, 且作業廢水水量達放流口許可核准之排放水量百分之四十以上者 : ( 一 ) 三氟化氮與電子級液氨製造程序 ( 二 ) 甲基丙烯酸酯類 (MMA) 化學製造程序 ( 三 ) 丙烯製造程序 ( 四 ) 丙烯 - 丁二烯共聚合物 (AB) 化學製造程序 ( 五 ) 丙烯 - 丁二烯 - 苯乙烯共聚合物 (ABS) 化學製造程序 ( 六 ) 丙烯 - 苯乙烯共聚合物 (AS) 化學製造程序 ( 七 ) 己內醯胺製造程序 ( 八 ) 硫酸銨化學製造程序 ( 九 ) 聚醯胺塑膠 ( 尼龍 ) 製造程序 二 新設事業 : 指事業於中華民國一百年十二月一日前尚未完成規劃者, 或已完成規劃, 但尚未完成工程招標者 三 既設事業 : 指事業於中華民國一百年十二月一日日前已完成建造 建造中或已完成工程招標者 本標準適用範圍為水污染防治法事業分類及定義公告列管之石油化學業 第四條第五條第六條第七條第八條第九條第十條 本標準規定水質項目及限值如附表 事業及其所屬公會或環境保護相關團體得隨時提出具體科學性數據 資料, 供檢討修正之參考 本標準所定之化學需氧量限值, 係以重鉻酸鉀氧化方式檢測之 ; 真色色度, 係以真色色度法檢測之 本標準各項目限值, 除氫離子濃度指數為一範圍且無單位外, 均為最大限值, 其單位如下 : 一 溫度 : 攝氏度 ( o C) 二 真色色度 : 無單位 三 其餘各項目 : 毫克 / 公升 (mg/l) 本標準各項目限值, 除水溫及氫離子濃度指數外, 事業自水體取水作為冷卻或循環用途之未接觸冷卻水, 如排放於原取水區位之地面水體, 不適用本標準 事業有二種以上不同業別或同一業別有不同製程, 其廢水混合處理及排放者, 應符合各該業別之放流水標準 相同之管制項目有不同管制限值者, 應符合較嚴之限值標準 各業別中之一種業別廢水水量達總廢水量百分之七十五以上, 並裝設有獨立專用累計型水量計測設施者, 得向主管機關申請對共同管制項目以該業別放流水標準管制 前項廢水量所佔比例, 以申請日前半年之紀錄計算之 本標準除另定施行日期者外, 自發布日施行 13
14 一 石油化學業放流水標準 ( 續 ) 附表內容 ( 管制項目計 24 種 ) 管制項目限值 (mg/l) 施行時間 水溫 ph 硝酸鹽氮 正磷酸鹽 酚類 陰離子界面活性劑 油脂 硫化物 原限值 COD SS 真色色度 氨氮 發布日起 10.0 ( 原限值 ) ( 適用排放廢 ( 污 ) 水於水源水質水量保護區內者 ) 發布日起 20 ( 新設事業 ) 發布日起 20 ( 非高含氮製程 ) 自 101 年 7 月 1 日起 150 ( 高含氮製程 ) 自 103 年 12 月 31 日起 60 ( 高含氮製程 ) 自 105 年 7 月 1 日起 苯 0.05 一 自 101 年 7 月 1 日起二 如提削減計畫並執行者, 其苯 乙乙苯 0.4 苯之管制, 自 103 年 7 月 1 日起 二氯甲烷 0.2 三氯甲烷 0.6 1,2- 二氯乙烷 0.1 氯乙烯 0.1 鄰苯二甲酸二甲酯 (DMP) 0.2 鄰苯二甲酸二乙酯 (DEP) 0.4 鄰苯二甲酸二丁酯 (DBP) 0.4 鄰苯二甲酸丁苯酯 (BBP) 0.4 鄰苯二甲酸二辛酯 (DNOP) 0.6 鄰苯二甲酸乙己酯 (DEHP) 0.2 一 適用石油化學基本原料製造業 石油化學中游產品製造業 石油化學下游產品製造業, 自 101 年 7 月 1 日起二 如提削減計畫並執行者, 其二氯甲烷 三氯甲烷 1,2- 二氯乙烷和氯乙烯之管制, 自 103 年 7 月 1 日起
二 石油化學專業區污水下水道系統放流水標準 條文 ( 計九條 ) 15 第一條本標準依水污染防治法第七條第二項規定訂定之 第二條本標準專用名詞定義如下 : 一 七日平均值 : 指間隔每四至八小時採樣一次, 每日共四個水樣, 混合成一個水樣檢測分析, 連續七日之測值再算術平均之 二 新設石化工業區 : 指工業區於中華民國一百年十二月一日前尚未完成規劃者, 或已完成規劃, 但尚未完成工程招標者 三 既設石化工業區 : 指工業區於中華民國一百年十二月一日前已完成建造 建造中或已完成工程招標者 第三條 本標準適用範圍為工業區污水下水道系統其石油化學業和化工業許可核准納管水量達許可核准排放水量百分之五十以上者 未達百分之五十以上之工業區污水下水道系統適用放流水標準第二條石油化學專業區以外工業區之規定 第四條第五條 本標準規定水質項目及限值如附表 石油化學專業區污水下水道系統或環境保護相關團體得隨時提出具體科學性數據 資料, 供檢討修正之參考 第六條本標準所定之化學需氧量限值, 係以重鉻酸鉀氧化方式檢測之 ; 真色色度, 係以真色色度法檢測之 第七條本標準各項目限值, 除氫離子濃度指數為一範圍且無單位外, 均為最大限值, 其單位如下 : 一 溫度 : 攝氏度 ( o C) 二 真色色度 : 無單位 三 其餘各項目 : 毫克 / 公升 (mg/l) 第八條本標準各項目限值, 除水溫及氫離子濃度指數外, 石油化學專業區污水下水道系統自水體取水作為冷卻或循環用途之未接觸冷卻水, 如排放於原取水區位之地面水體, 不適用本標準 第九條本標準除另定施行日期者外, 自發布日施行
16 二 石油化學專業區污水下水道系統放流水標準 ( 續 ) 附表內容 ( 管制項目計 40 種 ) 管制項目限值 (mg/l) 施行時間 水溫 ph 硝酸鹽氮 酚類 陰離子界面活性劑 氰化物 油脂 溶解性鐵 溶解性錳 鎘 鉛 總鉻 六價鉻 有機汞 總汞 銅 鋅 銀 鎳 硒 砷 硼 硫化物 真色色度 BOD COD SS 氨氮 原限值 10.0 ( 原限值 ) ( 適用排放廢 ( 污 ) 水於水源水質水量保護區內者 ) 苯 0.05 乙苯 0.4 二氯甲烷 0.2 三氯甲烷 0.6 1,2- 二氯乙烷 0.1 氯乙烯 0.1 鄰苯二甲酸二甲酯 (DMP) 0.2 鄰苯二甲酸二乙酯 (DEP) 0.4 鄰苯二甲酸二丁酯 (DBP) 0.4 鄰苯二甲酸丁苯酯 (BBP) 0.4 鄰苯二甲酸二辛酯 (DNOP) 0.6 鄰苯二甲酸乙己酯 (DEHP) 0.2 發布日起 發布日起 20 ( 新設工業區 ) 發布日起 150 自 103 年 12 月 31 日起 60 自 105 年 7 月 1 日起 自 101 年 7 月 1 日起
17 三 海洋放流水標準 附表內容 ( 管制項目計 30 種 ) 管制項目甲類海域限值乙類海域限值施行時間 BOD COD SS 大腸桿菌群 酚類 氰化物 砷 鎘 總鉻 銅 鉛 總汞 鋅 鎳 原限值 原限值 ph 6.0~9.0 6.0~9.0 油脂 ( 正己烷抽出物 ) 20( 原限值 ) 20( 原限值 ) 總餘氯 1( 原限值 ) 2( 原限值 ) 水溫 42( 原限值 ) 42( 原限值 ) 苯 0.05 0.05 乙苯 0.4 0.4 二氯甲烷 0.2 0.2 三氯甲烷 0.6 0.6 1,2- 二氯乙烷 0.1 0.1 氯乙烯 0.1 0.1 鄰苯二甲酸二甲酯 (DMP) 0.2 0.2 鄰苯二甲酸二乙酯 (DEP) 0.4 0.2 鄰苯二甲酸二丁酯 (DBP) 0.4 0.4 鄰苯二甲酸丁苯酯 (BBP) 0.4 0.4 鄰苯二甲酸二辛酯 (DNOP) 0.6 0.4 鄰苯二甲酸乙己酯 (DEHP) 0.2 0.6 註 : 除 ph 無單位 溫度單位為 o C 大腸桿菌群 CFU/100 ml 外, 其餘單位均為 mg/l 發布日起 自 101 年 7 月 1 日起
參 半導體製造業廢水特性與放流水標準 管制範疇 水污染防治法事業分類及定義 業別 20. 晶圓製造及半導體製造業 (1) 從事以拉晶 晶柱生長 切割 研磨 拋光 蝕刻 清潔等晶圓製備程序之事業 (2) 從事以氧化 微影 蝕刻 摻配 氣相沉積 磊晶 蒸鍍 濺鍍等半導體製造及封裝之事業 18
19 參 半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 歷年調查結果 水質項目 晶圓製造 積體電路製造 封裝測試 其他 導電度 (μs/cm) 253~5,830 184~5,600 73~2,440 52~2,680 BOD 0.2~176 2.0~19.9 ND~20.2 0.8~1.1 COD 2.6~256 7.1~39.4 ND~38.4 ND~7.3 銅 ND~0.0343 0.00770~0.193 ND~0.200 ND~0.0991 鎳 ND~0.114 ND~0.0154 ND~0.129 ND~0.162 鋅 ND~0.354 ND~0.0528 ND~0.0156 ND~0.0573 氟離子 0.05~25.2 0.04~4.88 0.07~2.03 0.05~13.1 氨氮 0.05~23.6 0.7~79.1 ND~5.75 0.05~0.50 凱氏氮 0.12~24.0 0.94~115 ND~8.6 0.19~1.0 亞硝酸鹽氮 ND~3.3 ND~3.42 ND~0.17 ND 硝酸鹽氮 0.10~70.3 0.25~51.9 0.10~4.8 0.02~2.46 TTO ND~0.0108 ND ND~0.0147 0.00084~0.0224 異丙醇 ND~1.31 ND~3.83 ND~0.586 ND~1.67 丙酮 ND~14.5 0.845~3.0 ND~0.269 ND~0.118 氫氧化四甲基銨 ND~1.13 0.518~9.36 ND~0.360 ND PFOS ND ND~34 10-6 ND ND PFOA ND~687 10-6 ND~704 10-6 ND~98 10-6 ND~175 10-6 總磷 0.008~0.357 0.10~5.70 0.016~4.99 ND~0.70 鯉魚急毒性 TU a <1~4.55 <1 <1~3.62 <1 水蚤急毒性 TU a <1~3.32 1.24~>5 <1~>5 <1~>1.43 註 :[1] 其他事業如雷射二極體 電晶體 整流器等相關產品 [2] 未註明單位者為 mg/l [3] TTO30 種化合物之方法偵測極限 MDL 均小於 0.00569 mg/l,pfoa 和 PFOS 之 MDL 分別為 33 10-6 和 330 10-6 mg/l
參 半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 產業廢水特性 類別項目說明 重金屬 / 兩性元素 含氮污染物 硼 鎘 鉻 銅 鎳 鉛 鋅 鐵 錳砷 銀 鎵 銦 鉬 鋁等 25 種 氟離子 氨氮 凱氏氮 硝酸鹽氮 亞硝酸鹽氮 鋁 鐵和鎳檢出濃度偏高 錳 銅 鋅 硼 錫和鎢濃度低, 最高檢出約 0.1 mg/l, 其餘元素檢出結果多為 ND 或低於 0.001 mg/l 主要來源為蝕刻液氟化銨和氫氟酸 主要污染來源為蝕刻液的氟化銨 顯影劑和氨水等 積體電路和晶圓製造廠家氨氮檢出濃度較高 20 VOC /SVOC 製程化學品 含磷污染物 生物急毒性 VOC 共 61 種如氯烷類 氯烯類和苯類等 ;SVOC 共 78 種如鄰苯二甲酸酯類塑化劑等 如光阻劑 PGMEA 去光阻劑 DMSO 和 MEA 顯影劑 TMAH 丙酮 異丙醇 PFOA 和 PFOS 等約 14 種 正磷酸鹽和總磷 鯉魚和水蚤 55 種 VOC 和 73 種 SVOC 未檢出, 其餘 11 種化合物檢出濃度低 ( 均小於 0.03 mg/l), 以三氯甲烷較常檢出 TTO 檢出濃度低於 0.0224 mg/l 積體電路製造光阻劑 去光阻劑 顯影劑 異丙醇和丙酮使用量較高 以異丙醇 丙酮和 TMAH 較常檢出 PFOA 和 PFOS 檢出濃度與水體背景濃度相近 主要污染來源為磷酸和蝕刻液 視各廠情況不定, 調查結果顯示氨氮濃度高,TU a 亦相對高, 但 TU a 尚有其他影響因子
參 半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 依產業製程與廢水特性 國內調查成果和國外管制趨勢, 訂定管制項目與限值 一般項目 氟化物 含氮物質 非屬半導體業主要特性, 如農藥等項目予以刪除 氟化物 ( 不含複合離子 ) 修正為 氟鹽, 將複合離子納入管制 氨氮會消耗水中溶氧, 造成水質惡化 對水生生物具毒性, 未解離氨 NH 3 鯉科魚類半致死濃度範圍在 1~1.5 mg/l 含氮物質為國際管制趨勢 水溫 ph COD 和 SS 等 氟鹽 氨氮和硝酸鹽氮 21 VOC SVOC 風險預防管理, 加強督促廠商委善管理廠內含氯和含苯等致癌性較顯著化合物之使用 美國電子業和台灣光電業和科學園區已管制 13 種 VOC 17 種 SVOC (3 種塑化劑 ) TTO
參 半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 管制項限值及標準施行時間 類別管制項目限值施行時間 22 一般項目含氮物質 VOC SVOC 水溫 ph COD 和 SS 等原限值發布日起 氟鹽 15 ( 原限值 ) 發布日起 氨氮 10.0 ( 原限值 ) 適用排放廢 ( 污 ) 水於水源水質水量保護區內者 20 ( 新設事業 ) 75 發布日起 自 101 年 7 月 1 日起, 如提削減計畫並執行者, 自 102 年 7 月 1 日起 30 自 104 年 7 月 1 日起 硝酸鹽氮 50 ( 原限值 ) 發布日起 TTO 1.37 發布日起
參 半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 類別 總毒性有機物 TTO (30 項 ) 英文名稱 中文名稱 CAS No. 1,2-dichlorobenzene 1,2- 二氯苯 95-50-1 類別 英文名稱 中文名稱 CAS No. 2-Chlorophenol 鄰氯酚 95-57-8 1,3-dichlorobenzene 1,3- 二氯苯 541-73-1 2,4-Dichlorophenol 2,4- 二氯酚 120-83-2 苯類 1,4-dichlorobenzene 1,4- 二氯苯 106-46-7 4-Nitrophenol 4- 硝基苯酚 100-02-7 酚類 1,2,4-trichlorobenzene 1,2,4- 三氯苯 120-82-1 Pentachlorophenol 五氯酚 87-86-5 Toluene 甲苯 108-88-3 2-Nitrophenol 2- 硝基酚 88-75-5 Ethylbenzene 乙苯 100-41-4 Phenol 酚 108-95-2 Chloroform 三氯甲烷 67-66-3 2,4,6-Trichlorophenol 2,4,6- 三氯酚 88-06-2 烷類 1,2-dichloroethane 1,2- 二氯乙烷 107-06-2 酯類 Bis(2- ethylhexyl)phthalate 鄰苯二甲酸二 (2- 乙己基 ) 酯 117-81-7 Methylene chloride 二氯甲烷 75-09-2 Di-n-butylphthalate 鄰苯二甲酸二正丁酯 84-74-2 1,1,1-trichloroethane 1,1,1- 三氯乙烷 71-55-6 Butylbenzylphthalate 鄰苯二甲酸丁基苯甲酯 85-68-7 1,1,2-trichloroethane 1,1,2- 三氯乙烷 79-00-5 Anthracene 蒽 120-12-7 烯類 23 Dichlorobromomethane 二氯溴甲烷 75-27-4 1,2-Diphenylhydrazine 1,2- 二苯基聯胺 122-66-7 其他 Tetrachloroethylene 四氯乙烯 127-18-4 Isophorone 異佛樂酮 78-59-1 Trichloroethylene 三氯乙烯 79-01-6 Carbon tetrachloride 四氯化碳 56-23-5 1,1-dichloroethylene 1,1- 二氯乙烯 75-35-4 Naphthalene 萘 91-20-3
參 半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 條文 ( 計十條 ) 第一條本標準依水污染防治法第七條第二項規定訂定之 第二條本標準專用名詞定義如下 : 一 總毒性有機物 : 係指 1,2- 二氯苯 1,3- 二氯苯 1,4- 二氯苯 1,2,4- 三氯苯 甲苯 乙苯 三氯甲烷 1,2- 二氯乙烷 二氯甲烷 1,1,1- 三氯乙烷 1,1,2- 三氯乙烷 二氯溴甲烷 四氯乙烯 三氯乙烯 1,1- 二氯乙烯 2- 氯酚 2,4- 二氯酚 4- 硝基酚 五氯酚 2- 硝基酚 酚 2,4,6- 三氯酚 鄰苯二甲酸乙己酯 鄰苯二甲酸二丁酯 鄰苯二甲酸丁苯酯 蒽 1,2- 二苯基聯胺 異佛爾酮 四氯化碳及萘, 計三十種化合物之濃度總和 二 新設事業 : 指事業於中華民國一百年十二月一日前尚未完成規劃者, 或已完成規劃, 但尚未完成工程招標者 三 既設事業 : 指事業於中華民國一百年十二月一日前已完成建造 建造中或已完成工第三條本標準適用對象為水污染防治法事業分類及定義程招標者 公告列管之晶圓製造及半導體製造業 第四條本標準規定水質項目及限值如附表 第五條事業及其所屬公會或環境保護相關團體得隨時提出具體科學性數據 資料, 供檢討修正之參考 第六條本標準所定之化學需氧量限值, 係以重鉻酸鉀氧化方式檢測之 第七條本標準各項目限值, 除氫離子濃度指數為一範圍且無單位外, 均為最大限值, 其單位如下 : 一 溫度 : 攝氏度 ( o C) 二 其餘各項目 : 毫克 / 公升 (mg/l) 第八條本標準各項目限值, 除水溫及氫離子濃度指數外, 事業自水體取水作為冷卻或循環用途之未接觸冷卻水, 如排放於原取水區位之地面水體, 不適用本標準 第九條事業有二種以上不同業別或同一業別有不同製程, 其廢水混合處理及排放者, 應符合各該業別之放流水標準 相同之管制項目有不同管制限值者, 應符合較嚴之限值標準 各業別中之一種業別廢水水量達總廢水量百分之七十五以上, 並裝設有獨立專用累計型水量計測設施者, 得向主管機關申請對共同管制項目以該業別放流水標準管制 前項廢水量所佔比例, 以申請日前半年之紀錄計算之 第十條本標準除另定施行日期者外, 自發布日施行 24
25 參 半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 附表內容 ( 管制項目計 28 種 ) 管制項目限值施行時間 水溫 ph 硝酸鹽氮 正磷酸鹽 酚類 陰離子界面活性劑 氰化物 油脂 溶解性鐵 溶解性錳 鎘 鉛 總鉻 六價鉻 總汞 銅 鋅 銀 鎳 硒 砷 硼 硫化物 COD SS 真色色度 原限值 發布日起 氟鹽 15 發布日起 氨氮 10 ( 適用排放廢 ( 污 ) 水於水源水質水量保護區內者 ) 發布日起 20 ( 新設事業 ) 發布日起 75 自 101 年 7 月 1 日起, 如提削減計畫並執行者, 自 102 年 7 月 1 日起 30 自 104 年 7 月 1 日起 總毒性有機物 1.37 發布日起 註 : 除 ph 和真色色度無單位, 溫度單位為 o C 外, 其餘單位均為 mg/l
肆 結語 除石油化學產業及半導體業外, 本署仍逐步檢討其他產業放流水標準, 以維護環境水體品質 26
簡報完畢 敬請指教 27