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16 标 本 缓 急 的 护 理 原 则 不 包 括 ( 扶 正 祛 邪 法 ) 17 顺 从 疾 病 假 象 而 进 行 护 理 的 方 法 为 ( 反 护 法 ) 18 下 列 属 于 正 护 法 的 是 ( 虚 则 补 之 ) 19 因 中 气 不 足 脾 阳 不 运 而 致 的 腹 胀 便

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规格 类型 1000... 500 Torr / mbar 200... 1 Torr / mbar 0.5... 0.1 Torr / mbar 精度 (1) % of reading 0.2 0.2 0.4 温度效应 零点 percent FS/ C 0.0025 0.0025 0.005 温度效应 满量程 % of reading / C 0.02 0.02 0.02 压力, 最大 kpa (absolute) 400 260 130 分辨率 percent FS 0.003 0.003 0.003 最低读数 percent FS 0.01 0.01 0.01 建议的最低读数 percent FS 0.05 0.05 0.05 建议的最低控制压力 percent FS 0.5 0.5 0.5 温度 运行 ( 环境 ) C +10 +50 +10 +50 +10 +50 在法兰处烘烤 C 110 110 110 贮存 C 20 +85 20 +85 20 +85 电源电压 功耗 +14 +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 +30 VDC or ±15 V (±5%) +14 +30 VDC or ±15 V (±5%) 加热时 W 16 16 16 运行温度 W 11 11 11 输出信号 ( 模拟 ) V (dc) 0 +10 0 +10 0 +10 反应时间 (2) ms 1 1 1 保护等级 IP 30 IP 30 IP 30 标准 CE 合规 EN 61000 6 2/-6-3, EN 61010 & RoHS ETL 认证 UL 61010 1, CSA 22.2 No.61010 1 EN 61000 6 2/-6-3, EN 61010 & RoHS UL 61010 1, CSA 22.2 No.61010 1 EN 61000 6 2/-6-3, EN 61010 & RoHS UL 61010 1, CSA 22.2 No.61010 1 SEMI 合规 SEMI S2 SEMI S2 SEMI S2 电气连接 D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male D-sub, 15 pole, male 数量 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 2 (SP1,SP2) 继电器触点 V (dc) 30 30 30 3

规格 类型 1000... 500 Torr / mbar 200... 1 Torr / mbar 0.5... 0.1 Torr / mbar 继电器触点 A (dc) 0.5 0.5 0.5 滞后 percent FS 1 1 1 诊断端口 协议 USB USB USB 读数 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 设置 暴露于真空的材料 内部容积 adjust, factory reset, DC offset Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) adjust, factory reset, DC offset Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) adjust, factory reset, DC offset Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L (⁴)) 内部容积 1/2'' 管 cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内部容积 DN 16 ISO KF cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内部容积 DN 16 CF-R cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 内部容积 8 VCR cm³ (in.³) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 4.2 (0.26) 重量 重量 1/2'' 管 g 837 837 837 重量 DN 16 ISO KF g 852 852 852 重量 DN 16 CF-R g 875 875 875 重量 8 VCR g 897 897 897 协议 protocol specialized for 通讯标准 ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" 节点地址 Explicit Device Identification protocol specialized for ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" Explicit Device Identification protocol specialized for ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" Explicit Device Identification 4

规格 类型 1000... 500 Torr / mbar 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 200... 1 Torr / mbar 0.5... 0.1 Torr / mbar 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 数字功能读取 pressure, status, ID pressure, status, ID pressure, status, ID 数字功能设置 过程数据 邮箱 (CoE) 连接器 电缆 adjust, reset, DC offset Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher adjust, reset, DC offset Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher adjust, reset, DC offset Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher 电缆长度 m (ft.) 100 (330) 100 (330) 100 (330) 5

尺寸 www.inficon.com reachus@inficon.com 由于我们的持续产品改进计划, 因此产品规格可能会有变更, 恕不另行通知 RateWatcher 是 INFICON 的商标 所有其他商标均为其各自所有者的财产 (2014-07) 2014 INFICON