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均石
8 years ago
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x 大气压至超高真空真空计 INFICON 贝阿德 - 阿尔珀特皮拉尼 (Pirani) 型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中, 测量范围为 5 10-10 毫巴至大气压 (3.

1 x 大气压至超高真空真空计 INFICON 贝阿德 - 阿尔珀特皮拉尼 (Pirani) 型复合真空计将两种真空计的功能融合到一个紧凑型装置中, 测量范围为毫巴至大气压 ( 托至大气压 ) 多项技术相结合降低了安装设置和集成的复杂性选择带有两根氧化钇镀层铱丝的 BPG400 型真空计, 价格经济, 且可重复测量基准压力传感元件自带的在轨校准数据在更换传感器时确保了高再现性益处测量范围非常广, 从毫巴至大气压 ( 托至大气压 ) 毫巴过程压力范围内 5% 的优良可重复性皮拉尼联锁保护单丝, 防止过早烧毁两根使用寿命长的氧化钇铱丝备有可选的图形显示屏和现场总线接口高真空皮拉尼自动调节, 减少操作员干预易于更换的传感元件与板载校准数据确保高再现性 RoHS 合规订购信息 1 x 大气压至超高真空真空计

2 BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R 真空计 D BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R D 型真空计 E ECAT, DN 25 ISO-KF E ECAT, DN 40 CF-R L BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R P BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF P BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R 规格测量范围 ( 空气 O₂ CO N₂) 测量范围 ( 空气 O₂ CO N₂) 精度 mbar 5 10 ¹⁰ 1000 Torr ¹⁰ ⁸ 10 ² 毫巴 % of reading ±15 可重复性 10 ⁸ 10 ² 毫巴 % of reading 5 除气 (1) p < ⁶ mbar electron bombardment, max. 3 min 压力, 最大 bar (absolute) 2 温度运行 ( 环境 ) C 贮存 C 在法兰处烘烤, 无电子设备无电子设备, 在法兰处烘烤 L C 80 C 150 电源电压 V (dc) 电源电压 A (dc) 0.8 输出信号模拟输出信号 V x 大气压至超高真空真空计

3 测量范围 V 错误信号 V 0.1 / 0.3 / 0.5 输出信号模拟电压与压强 volts per decade 0.75 输出信号模拟最小负载电阻 kω 10 设定点数量 1 继电器触点 n.o., potential free 范围 mbar 1 10 ⁹ 100 滞后 % of reading 10 触点额定值 V (dc) 30 触点额定值 A (dc) 0.5 数字功能接口 ( 数字 )(2) 发射控制单丝单丝状态 / 继电器电气连接 degas RS232C automatic / manual via interface two Yt₂O₃ coated Ir LED / relay D-Sub, 15-pin, male 电缆长度, 最大 (3) m (ft.) 100 (330) 暴露于真空的材料 Yt₂O₃, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass 内部容积 KF / CF cm³ (in.³) 24 (1.46) / 34 (2.1) 重量 KF / CF g 450 / 710 保护等级波特率 kbaud 9.6 / 19.2 / / / 500 波特率 Mbaud 1.5 / 12 IP30 3 x 大气压至超高真空真空计

4 地址数字功能模拟功能 2 switches (address ) or network programmable read pressure, select units: Torr, mbar, Pa; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and warn 0 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B : 设定点数量 2 : 继电器触点连接器 n.o., potential free D-Sub, 9-pin, female CDG( 模拟输出电源电压设定点 ) 连接器 D-Sub, 15-pin, male : 范围 mbar 1 10 ⁹ 100 : 滞后 % of reading 10 : 触点额定值 V (dc) 30 : 触点额定值 A (dc) 0.5 协议 MAC ID 数字功能模拟功能技术规格设备 I / O 从属传讯, group 2 slave only 2 switches (address 00-63) or network programmable read pressure, select units: Torr, mbar, Pa ; emission control, degas function, monitor gauge status, filament status, safe state allows definition of behavior in case of error, detailed alarm and 0 10 V analog output pressure indication, two setpoint relays A + B "Vacuum Gauge Device Profile" ''CG'' for combination gauge polling only : 设定点数量 2 : 继电器触点连接器 n.o., potential free Microstyle, 5-pin 4 x 大气压至超高真空真空计

5 BPG( 模拟输出电源电压设定点 ) 连接器 D-Sub, 15-pin, male 数据率开关 kbaud 125, 250, 500 or network programmable 电缆长度 125 kbps m (ft.) 500 (1650) 电缆长度 250 kbps m (ft.) 250 (825) 电缆长度 500 kbps m (ft.) 100 (330) : 范围 mbar 1 10 ⁹ 100 : 滞后 % of reading 10 : 触点额定值 V (dc) 30 电源电压 V (dc) 真空计电源电压 V (dc) : 触点额定值 A (dc) 0.5 电源电压 A (dc) 0.5 真空计电源电压 A (dc) 0.8 以太网以太网协议通讯标准节点地址 protocol specialized for EtherCAT ETG.5003 Part 1 "Semiconductor Device Profile" ETG.5003 Part 2080 "Specific Device Profile: Vacuum Pressure Gauge" Explicit Device Identification 物理层 100BASE-Tx (IEEE 802.3) 以太网数字功能过程数据邮箱 (CoE) 以太网连接件电缆 read pressure, select units: Torr, mbar, Pa emission control, degas function monitor gauge status, filament status safe state allows definition of behavior in case of error detailed alarm and warning Fixed PDO mapping and configurable PDO mapping SDO requests, responses and information RJ45, 8-pin (socket), IN and OUT shielded Ethernet CAT5e or higher 5 x 大气压至超高真空真空计

6 以太网电缆长度 m (ft.) 100 (330) 1) 除气期间降低精度 2) 同时使用 RS232C 或 VGC40x 系列控制器, 不允许使用现场总线 3) 适用于 RS232C 运行 <30m 备件 BPG402 Spare measurement system DN40CF-R BPG402 感应器附件 Baffle for BPG BPG400 24V 电源中心圈 with baffle DN 25 KF x 大气压至超高真空真空计

7 尺寸由于我们的持续产品改进计划, 因此产品规格可能会有变更, 恕不另行通知 RateWatcher 是 INFICON 的商标所有其他商标均为其各自所有者的财产 SPTS Number removed ( ) 2016 INFICON

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rptProductDatasheet 益处拥有成本更低, 预热速度快 50%, 节能, 低功耗易于集成, 各种满刻度法兰和接口, 标配两个轻松一键调零或远程信号调零指令, 可调零点偏移诊断端口用于快速维修和维护两年保修服务, 先进的加热概念和真空计保护延长了使用寿命卓越的信号稳定性和可重复性, 即使是最苛刻的等离子应用, 都无需长期执行重新校准合规性与标准 :CE EN UL SEMI RoHS 1 订购信息 2 精度