光電業放流水標準管制策略專家諮商會

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1 事業放流水標準法規宣導 ( 石油化學業石油化學專業區污水下水道系統海洋放流管線及晶圓製造及半導體製造業 ) 101 年 6 月 27 日 1

2 內容大綱壹緣起貳石油化學產業廢水特性與放流水標準參半導體製造業廢水特性與放流水標準肆結語 2

3 3 壹緣起現行放流水標準管制項目包括共同適用項目 COD SS 等項本署自 91 年起即陸續調查石化產業及半導體產業廢水特性, 已掌握主要污染類型近年來石化產業 VOC/ 塑化劑污染事件, 及高科技產業製程用藥複雜, 均為社對大眾所關切, 基於風險管理及污染預防, 乃優先檢討石化產業及半導體業之放流水標準本次修法重點, 係依產業特性, 首度將石化業石化專區半導體業, 獨立訂定該產業之放流水標準, 並考量部分石化業採海洋放流管線排放, 一併檢討海洋放流水標準, 並同步修正原放流水標準, 以妥善管制產業廢水排放品質

4 4 貳石油化學產業廢水特性與放流水標準石化產業管制範疇業別 11. 石油化學業水污染防治法事業分類及定義 (1) 石油煉製業 : 以石油為原料經蒸餾精煉摻配之煉製程序製造石油製品之事業 (2) 石油化學基本原料製造業 : 以石油天然氣等碳氫化合物經分解分離精製製造石油化學上游基本原料之事業 (3) 石油化學中游產品製造業 : 以石油天然氣石油化學基本原料製造單體或聚合體等石油化學中游產品之事業 (4) 石油化學下游產品製造業 : 以石油化學中游產品為原料經一次二次多次加工製造半成品或最終產品之事業石油化學專業區污水下水道系統放流水標準石油化學專業區污水下水道系統 : 工業區污水下水道系統其石油化學業和化工業許可核准納管水量達許可核准排放水量百分之五十以上者未達百分之五十以上之工業區污水下水道系統適用放流水標準第二條石油化學專業區以外工業區之規定

5 貳石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 石化業上下游關係代表性廠商原油含直鏈烴與芳香族烴輕油含直鏈烴與芳香族烴石油煉製中油煉油廠石化基本原料烯烴類芳香烴乙烯 / 丙烯 / 丁二烯苯 / 甲苯 / 二甲苯可能具有高氨氮污染潛勢基本原料製造中油煉油廠台塑麥寮廠石油化學品酜酸酐 / 酜酸二辛酯 / 聚丙二醇 / 烷基苯 / 酚 / 氯乙烯橡膠原料聚丁二烯 / 苯乙烯 - 丁二烯橡膠 / 丙烯 - 丁二烯橡膠 / 熱可塑性橡膠人纖原料乙二醇 / 純對苯二甲酸 / 丙烯腈 / 己內醯胺塑膠原料低密度聚乙烯 / 高密度聚乙烯 / 聚丙烯 / 聚氯乙烯 / 聚苯乙烯 / 聚對苯二甲酸乙二醇酯 / 丙烯腈 - 苯乙烯 - 丁二烯樹脂 (ABS) 中游產品製造奇美實業亞東石化東展興業大洋塑膠染料接著劑塗料不飽和聚酯環氧樹脂等輪胎輸送帶橡膠油封等聚酯纖維聚醯胺纖維聚丙烯腈纖維包裝袋塑膠瓶塑膠日用品等下游產品製造南亞塑膠上曜開發 5 資料來源 : 水污染防治法事業分類及定義 ( ) 和經濟部技術處 (2006)

6 貳石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 採海放之事業與下水道系統列管情形 (22 處 ) 海洋放流管線放流水標準適用對象為廢 ( 污 ) 水以海洋放流管線排放於海洋之事業或污水下水道系統事業別家數石油化學業 2 ( 中油煉油 ) 化工業 1 ( 台塑仁武 ) 大發廢水廠 ( 基本金屬金屬製品 ) 放流水排放站大林蒲海放管林園廢水廠 ( 化工 / 石化 ) 放流水排放站臨海廢水廠 ( 金屬製品 ) 放流水排放站中油大林廠臨海廠海洋排放站海洋放流發電廠 3 6 自來水廠 9 下水道系統家數公共 2 ( 八里中區 ) 石化專區 2 ( 林園大社 ) 非石化專區專用 2 ( 臨海大發 ) 其他指定或場所 1 ( 楠梓 ) 大社廢水廠 ( 化工 / 石化 ) 下水道營運中心蚵仔寮海放管台塑仁武廠大社加壓站中油高雄廠楠梓加壓站楠梓加工出口區 ( 電子製造 ) 蚵仔寮放流加壓站海洋放流

7 7 貳石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 歷年調查結果水質項目石化業石化專區氨氮 ND~ ~500 凱氏氮 0.26~ ~516 亞硝酸鹽氮 ND~6.50 ND~0.88 硝酸鹽氮 ND~ ~35.0 苯 ND~ ND~ 乙苯 ND ND~0.275 三氯甲烷 ND~ ND~ 二氯甲烷 ND ND~11.0 1,2- 二氯乙烷 ND~ ND~2.29 氯乙烯 ND~32.3 ND~0.119 甲基第三丁基醚 ND~0.585 ND~0.355 溴甲烷 ND~ ND 氯乙烷 ND~0.201 ND 鄰苯二甲酸乙己酯 ND~ ND 鯉魚急毒性 TU a <1~3.7 <1 水蚤急毒性 TU a <1~>1.43 <1~1 註 :[1] 除急毒性 TU a 無單位外, 其餘為 mg/l 其餘 VOC 和 SVOC 項目大多 ND 或偏低 [2] VOC 和 SVOC 之方法偵測極限 MDL 均低於 mg/l, 六種鄰苯二甲酸酯類塑化劑 MDL 小於 0.01 mg/l

8 8 貳石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 產業廢水特性類別項目說明含氮物質揮發性有機化合物 (VOC) 半揮發性有機化合物 (SVOC) 氨氮凱氏氮硝酸鹽氮亞硝酸鹽氮共 61 種, 包含氯烷類氯烯類和苯類等共 78 種, 包含 6 種鄰苯二甲酸酯類塑化劑壬基酚雙酚 A 等生物急毒性鯉魚和水蚤廠內產品不同, 放流水氨氮濃度變化大己內醯胺丙烯腈 ABS 樹脂等石化中游製程原物料和產品製造廠, 放流水有機氮和氨氮濃度偏高 ( 最高可達 500 mg/l) 35% 廠家放流水 VOC 檢測結果均為 ND, 其餘廠家檢出濃度亦不高, 如有檢出之項目以含氯和含苯化合物為主, 其中以三氯甲烷副產物較常見依製程與產品不同, 放流水 VOC 物種變異性大氯乙烯產業放流水有氯乙烯和 1,2- 二氯乙烷檢出煉油廠有檢出微量汽油添加劑甲基第三丁基醚 75 種 SVOC 未檢出其餘 3 種 SVOC 檢出濃度低 ( 均小於 0.01 mg/l) 多數廠家 TU a 小於 1.43 少數放流水具高氨氮濃度者, 急毒性較顯著

9 貳石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 依產業製程與廢水特性國內調查成果和國外管制趨勢, 訂定管制項目與限值一般項目非屬石化業廢水主要特性, 如農藥和重金屬等項目予以刪除水溫 ph COD 和 SS 等含氮物質氨氮會消耗水中溶氧, 造成水質惡化對水生生物具毒性, 未解離氨 NH 3 鯉科魚類半致死濃度範圍在 1~1.5 mg/l 含氮物質為國際管制趨勢氨氮和硝酸鹽氮 9 VOC SVOC 風險預防管理國外放流水標準管制項目致癌性生殖毒性或生物累積性國內主要製造或製程化學品, 且放流水曾檢出 6 種含氯和含苯有機化合物 6 種鄰苯二甲酸酯類塑化劑

10 貳石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 放流水氨氮濃度調查顯示,80% 廠商可符合 20 mg/l, 少數高含氮製程廠家氨氮濃度達數百 mg/l, 故依製程特性採不同管制限值高含氮製程部分廠家廢水處理單元並無除氮設計, 新增處理程序和效能驗證需要較長改善時間, 故採兩階段管制第一階段強化製程減排減量和提升廢水處理效能, 管制限值為 150 mg/l 第二階段新增廢水處理程序, 管制限值為 60 mg/l 非高含氮製程與新設 : 20 mg/l 高含氮製程下列含氮製程, 且作業廢水水量達放流口許可核准之排放水量百分之四十以上者 1. 三氟化氮與電子級液氨製造程序 2. 甲基丙烯酸酯類 (MMA) 化學製造程序 3. 丙烯腈製造程序 4. 丙烯腈 - 丁二烯共聚合物 (AB) 化學製造程序 5. 丙烯腈 - 丁二烯 - 苯乙烯共聚合物 (ABS) 化學製造程序 6. 丙烯腈 - 苯乙烯共聚合物 (AS) 化學製造程序 7. 己內醯胺製造程序 8. 硫酸銨化學製造程序 9. 聚醯胺塑膠 ( 尼龍 ) 製造程序 10

11 11 貳石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 管制限值類別管制項目石化業 (mg/l) 石化專區海放水溫 ph COD SS 等原限值原限值 ( 多管制重金屬類項目 ) 一般項目含氮物質 VOC SVOC 硝酸鹽氮 50( 原限值 ) 50( 原限值 ) - 氨氮既設高含氮 :150/60 既設非高含氮 / 新設 :20 苯 0.05 乙苯 0.4 二氯甲烷 0.2 三氯甲烷 ( 氯仿 ) 0.6 1,2- 二氯乙烷 0.1 氯乙烯 (VCM) 0.1 鄰苯二甲酸二甲酯 (DMP) 0.2 鄰苯二甲酸二乙酯 (DEP) 0.4 鄰苯二甲酸二丁酯 (DBP) 0.4 鄰苯二甲酸丁苯酯 (BBP) 0.4 鄰苯二甲酸二辛酯 (DNOP) 0.6 鄰苯二甲酸乙己酯 (DEHP) 0.2 既設 150/60 新設 20 原限值 -

12 12 貳石油化學產業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 標準施行時間類別管制項目石化業石化專區海洋一般項目含氮物質 VOC SVOC 水溫 ph COD SS 等發布日起發布日起硝酸鹽氮發布日起發布日起 -- 氨氮苯乙苯新設發布日起發布日起 -- 既設二氯甲烷三氯甲烷 1,2- 二氯乙烷氯乙烯六種鄰苯二甲酸酯類塑化劑高含氮製程分 103 年 12 月 31 日起和 105 年 7 月 1 日起兩階段管制非高含氮製程自 101 年 7 月 1 日起自 101 年 7 月 1 日起如提削減計畫並執行者, 其苯乙苯之管制, 自 103 年 7 月 1 日起分 103 年 12 月 31 日起和 105 年 7 月 1 日起兩階段管制適用石油化學基本原料製造業石油化學中游產品製造業石油化學下游產品製造業, 自 101 年 7自 101 年 7 月 1 日起月 1 日起如提削減計畫並執行者, 其二氯甲烷三氯甲烷 1,2- 二氯乙烷和氯乙烯之管制, 自 103 年 7 月 1 日起發布日起 --

13 一石油化學業放流水標準條文 ( 計十條 ) 第一條本標準依水污染防治法第七條第二項規定訂定之第二條本標準專用名詞定義如下 : 第三條一高含氮製程 : 係指下列含氮製程, 且作業廢水水量達放流口許可核准之排放水量百分之四十以上者 : ( 一 ) 三氟化氮與電子級液氨製造程序 ( 二 ) 甲基丙烯酸酯類 (MMA) 化學製造程序 ( 三 ) 丙烯製造程序 ( 四 ) 丙烯 - 丁二烯共聚合物 (AB) 化學製造程序 ( 五 ) 丙烯 - 丁二烯 - 苯乙烯共聚合物 (ABS) 化學製造程序 ( 六 ) 丙烯 - 苯乙烯共聚合物 (AS) 化學製造程序 ( 七 ) 己內醯胺製造程序 ( 八 ) 硫酸銨化學製造程序 ( 九 ) 聚醯胺塑膠 ( 尼龍 ) 製造程序二新設事業 : 指事業於中華民國一百年十二月一日前尚未完成規劃者, 或已完成規劃, 但尚未完成工程招標者三既設事業 : 指事業於中華民國一百年十二月一日日前已完成建造建造中或已完成工程招標者本標準適用範圍為水污染防治法事業分類及定義公告列管之石油化學業第四條第五條第六條第七條第八條第九條第十條本標準規定水質項目及限值如附表事業及其所屬公會或環境保護相關團體得隨時提出具體科學性數據資料, 供檢討修正之參考本標準所定之化學需氧量限值, 係以重鉻酸鉀氧化方式檢測之 ; 真色色度, 係以真色色度法檢測之本標準各項目限值, 除氫離子濃度指數為一範圍且無單位外, 均為最大限值, 其單位如下 : 一溫度 : 攝氏度 ( o C) 二真色色度 : 無單位三其餘各項目 : 毫克 / 公升 (mg/l) 本標準各項目限值, 除水溫及氫離子濃度指數外, 事業自水體取水作為冷卻或循環用途之未接觸冷卻水, 如排放於原取水區位之地面水體, 不適用本標準事業有二種以上不同業別或同一業別有不同製程, 其廢水混合處理及排放者, 應符合各該業別之放流水標準相同之管制項目有不同管制限值者, 應符合較嚴之限值標準各業別中之一種業別廢水水量達總廢水量百分之七十五以上, 並裝設有獨立專用累計型水量計測設施者, 得向主管機關申請對共同管制項目以該業別放流水標準管制前項廢水量所佔比例, 以申請日前半年之紀錄計算之本標準除另定施行日期者外, 自發布日施行 13

14 14 一石油化學業放流水標準 ( 續 ) 附表內容 ( 管制項目計 24 種 ) 管制項目限值 (mg/l) 施行時間水溫 ph 硝酸鹽氮正磷酸鹽酚類陰離子界面活性劑油脂硫化物原限值 COD SS 真色色度氨氮發布日起 10.0 ( 原限值 ) ( 適用排放廢 ( 污 ) 水於水源水質水量保護區內者 ) 發布日起 20 ( 新設事業 ) 發布日起 20 ( 非高含氮製程 ) 自 101 年 7 月 1 日起 150 ( 高含氮製程 ) 自 103 年 12 月 31 日起 60 ( 高含氮製程 ) 自 105 年 7 月 1 日起苯 0.05 一自 101 年 7 月 1 日起二如提削減計畫並執行者, 其苯乙乙苯 0.4 苯之管制, 自 103 年 7 月 1 日起二氯甲烷 0.2 三氯甲烷 0.6 1,2- 二氯乙烷 0.1 氯乙烯 0.1 鄰苯二甲酸二甲酯 (DMP) 0.2 鄰苯二甲酸二乙酯 (DEP) 0.4 鄰苯二甲酸二丁酯 (DBP) 0.4 鄰苯二甲酸丁苯酯 (BBP) 0.4 鄰苯二甲酸二辛酯 (DNOP) 0.6 鄰苯二甲酸乙己酯 (DEHP) 0.2 一適用石油化學基本原料製造業石油化學中游產品製造業石油化學下游產品製造業, 自 101 年 7 月 1 日起二如提削減計畫並執行者, 其二氯甲烷三氯甲烷 1,2- 二氯乙烷和氯乙烯之管制, 自 103 年 7 月 1 日起

15 二石油化學專業區污水下水道系統放流水標準條文 ( 計九條 ) 15 第一條本標準依水污染防治法第七條第二項規定訂定之第二條本標準專用名詞定義如下 : 一七日平均值 : 指間隔每四至八小時採樣一次, 每日共四個水樣, 混合成一個水樣檢測分析, 連續七日之測值再算術平均之二新設石化工業區 : 指工業區於中華民國一百年十二月一日前尚未完成規劃者, 或已完成規劃, 但尚未完成工程招標者三既設石化工業區 : 指工業區於中華民國一百年十二月一日前已完成建造建造中或已完成工程招標者第三條本標準適用範圍為工業區污水下水道系統其石油化學業和化工業許可核准納管水量達許可核准排放水量百分之五十以上者未達百分之五十以上之工業區污水下水道系統適用放流水標準第二條石油化學專業區以外工業區之規定第四條第五條本標準規定水質項目及限值如附表石油化學專業區污水下水道系統或環境保護相關團體得隨時提出具體科學性數據資料, 供檢討修正之參考第六條本標準所定之化學需氧量限值, 係以重鉻酸鉀氧化方式檢測之 ; 真色色度, 係以真色色度法檢測之第七條本標準各項目限值, 除氫離子濃度指數為一範圍且無單位外, 均為最大限值, 其單位如下 : 一溫度 : 攝氏度 ( o C) 二真色色度 : 無單位三其餘各項目 : 毫克 / 公升 (mg/l) 第八條本標準各項目限值, 除水溫及氫離子濃度指數外, 石油化學專業區污水下水道系統自水體取水作為冷卻或循環用途之未接觸冷卻水, 如排放於原取水區位之地面水體, 不適用本標準第九條本標準除另定施行日期者外, 自發布日施行

16 16 二石油化學專業區污水下水道系統放流水標準 ( 續 ) 附表內容 ( 管制項目計 40 種 ) 管制項目限值 (mg/l) 施行時間水溫 ph 硝酸鹽氮酚類陰離子界面活性劑氰化物油脂溶解性鐵溶解性錳鎘鉛總鉻六價鉻有機汞總汞銅鋅銀鎳硒砷硼硫化物真色色度 BOD COD SS 氨氮原限值 10.0 ( 原限值 ) ( 適用排放廢 ( 污 ) 水於水源水質水量保護區內者 ) 苯 0.05 乙苯 0.4 二氯甲烷 0.2 三氯甲烷 0.6 1,2- 二氯乙烷 0.1 氯乙烯 0.1 鄰苯二甲酸二甲酯 (DMP) 0.2 鄰苯二甲酸二乙酯 (DEP) 0.4 鄰苯二甲酸二丁酯 (DBP) 0.4 鄰苯二甲酸丁苯酯 (BBP) 0.4 鄰苯二甲酸二辛酯 (DNOP) 0.6 鄰苯二甲酸乙己酯 (DEHP) 0.2 發布日起發布日起 20 ( 新設工業區 ) 發布日起 150 自 103 年 12 月 31 日起 60 自 105 年 7 月 1 日起自 101 年 7 月 1 日起

17 17 三海洋放流水標準附表內容 ( 管制項目計 30 種 ) 管制項目甲類海域限值乙類海域限值施行時間 BOD COD SS 大腸桿菌群酚類氰化物砷鎘總鉻銅鉛總汞鋅鎳原限值原限值 ph 6.0~ ~9.0 油脂 ( 正己烷抽出物 ) 20( 原限值 ) 20( 原限值 ) 總餘氯 1( 原限值 ) 2( 原限值 ) 水溫 42( 原限值 ) 42( 原限值 ) 苯乙苯二氯甲烷三氯甲烷 ,2- 二氯乙烷氯乙烯鄰苯二甲酸二甲酯 (DMP) 鄰苯二甲酸二乙酯 (DEP) 鄰苯二甲酸二丁酯 (DBP) 鄰苯二甲酸丁苯酯 (BBP) 鄰苯二甲酸二辛酯 (DNOP) 鄰苯二甲酸乙己酯 (DEHP) 註 : 除 ph 無單位溫度單位為 o C 大腸桿菌群 CFU/100 ml 外, 其餘單位均為 mg/l 發布日起自 101 年 7 月 1 日起

18 參半導體製造業廢水特性與放流水標準管制範疇水污染防治法事業分類及定義業別 20. 晶圓製造及半導體製造業 (1) 從事以拉晶晶柱生長切割研磨拋光蝕刻清潔等晶圓製備程序之事業 (2) 從事以氧化微影蝕刻摻配氣相沉積磊晶蒸鍍濺鍍等半導體製造及封裝之事業 18

19 19 參半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 歷年調查結果水質項目晶圓製造積體電路製造封裝測試其他導電度 (μs/cm) 253~5, ~5,600 73~2,440 52~2,680 BOD 0.2~ ~19.9 ND~ ~1.1 COD 2.6~ ~39.4 ND~38.4 ND~7.3 銅 ND~ ~0.193 ND~0.200 ND~ 鎳 ND~0.114 ND~ ND~0.129 ND~0.162 鋅 ND~0.354 ND~ ND~ ND~ 氟離子 0.05~ ~ ~ ~13.1 氨氮 0.05~ ~79.1 ND~ ~0.50 凱氏氮 0.12~ ~115 ND~ ~1.0 亞硝酸鹽氮 ND~3.3 ND~3.42 ND~0.17 ND 硝酸鹽氮 0.10~ ~ ~ ~2.46 TTO ND~ ND ND~ ~ 異丙醇 ND~1.31 ND~3.83 ND~0.586 ND~1.67 丙酮 ND~ ~3.0 ND~0.269 ND~0.118 氫氧化四甲基銨 ND~ ~9.36 ND~0.360 ND PFOS ND ND~ ND ND PFOA ND~ ND~ ND~ ND~ 總磷 0.008~ ~ ~4.99 ND~0.70 鯉魚急毒性 TU a <1~4.55 <1 <1~3.62 <1 水蚤急毒性 TU a <1~ ~>5 <1~>5 <1~>1.43 註 :[1] 其他事業如雷射二極體電晶體整流器等相關產品 [2] 未註明單位者為 mg/l [3] TTO30 種化合物之方法偵測極限 MDL 均小於 mg/l,pfoa 和 PFOS 之 MDL 分別為和 mg/l

20 參半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 產業廢水特性類別項目說明重金屬 / 兩性元素含氮污染物硼鎘鉻銅鎳鉛鋅鐵錳砷銀鎵銦鉬鋁等 25 種氟離子氨氮凱氏氮硝酸鹽氮亞硝酸鹽氮鋁鐵和鎳檢出濃度偏高錳銅鋅硼錫和鎢濃度低, 最高檢出約 0.1 mg/l, 其餘元素檢出結果多為 ND 或低於 mg/l 主要來源為蝕刻液氟化銨和氫氟酸主要污染來源為蝕刻液的氟化銨顯影劑和氨水等積體電路和晶圓製造廠家氨氮檢出濃度較高 20 VOC /SVOC 製程化學品含磷污染物生物急毒性 VOC 共 61 種如氯烷類氯烯類和苯類等 ;SVOC 共 78 種如鄰苯二甲酸酯類塑化劑等如光阻劑 PGMEA 去光阻劑 DMSO 和 MEA 顯影劑 TMAH 丙酮異丙醇 PFOA 和 PFOS 等約 14 種正磷酸鹽和總磷鯉魚和水蚤 55 種 VOC 和 73 種 SVOC 未檢出, 其餘 11 種化合物檢出濃度低 ( 均小於 0.03 mg/l), 以三氯甲烷較常檢出 TTO 檢出濃度低於 mg/l 積體電路製造光阻劑去光阻劑顯影劑異丙醇和丙酮使用量較高以異丙醇丙酮和 TMAH 較常檢出 PFOA 和 PFOS 檢出濃度與水體背景濃度相近主要污染來源為磷酸和蝕刻液視各廠情況不定, 調查結果顯示氨氮濃度高,TU a 亦相對高, 但 TU a 尚有其他影響因子

21 參半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 依產業製程與廢水特性國內調查成果和國外管制趨勢, 訂定管制項目與限值一般項目氟化物含氮物質非屬半導體業主要特性, 如農藥等項目予以刪除氟化物 ( 不含複合離子 ) 修正為氟鹽, 將複合離子納入管制氨氮會消耗水中溶氧, 造成水質惡化對水生生物具毒性, 未解離氨 NH 3 鯉科魚類半致死濃度範圍在 1~1.5 mg/l 含氮物質為國際管制趨勢水溫 ph COD 和 SS 等氟鹽氨氮和硝酸鹽氮 21 VOC SVOC 風險預防管理, 加強督促廠商委善管理廠內含氯和含苯等致癌性較顯著化合物之使用美國電子業和台灣光電業和科學園區已管制 13 種 VOC 17 種 SVOC (3 種塑化劑 ) TTO

22 參半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 管制項限值及標準施行時間類別管制項目限值施行時間 22 一般項目含氮物質 VOC SVOC 水溫 ph COD 和 SS 等原限值發布日起氟鹽 15 ( 原限值 ) 發布日起氨氮 10.0 ( 原限值 ) 適用排放廢 ( 污 ) 水於水源水質水量保護區內者 20 ( 新設事業 ) 75 發布日起自 101 年 7 月 1 日起, 如提削減計畫並執行者, 自 102 年 7 月 1 日起 30 自 104 年 7 月 1 日起硝酸鹽氮 50 ( 原限值 ) 發布日起 TTO 1.37 發布日起

23 參半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 類別總毒性有機物 TTO (30 項 ) 英文名稱中文名稱 CAS No. 1,2-dichlorobenzene 1,2- 二氯苯類別英文名稱中文名稱 CAS No. 2-Chlorophenol 鄰氯酚 ,3-dichlorobenzene 1,3- 二氯苯 ,4-Dichlorophenol 2,4- 二氯酚苯類 1,4-dichlorobenzene 1,4- 二氯苯 Nitrophenol 4- 硝基苯酚酚類 1,2,4-trichlorobenzene 1,2,4- 三氯苯 Pentachlorophenol 五氯酚 Toluene 甲苯 Nitrophenol 2- 硝基酚 Ethylbenzene 乙苯 Phenol 酚 Chloroform 三氯甲烷 ,4,6-Trichlorophenol 2,4,6- 三氯酚烷類 1,2-dichloroethane 1,2- 二氯乙烷酯類 Bis(2- ethylhexyl)phthalate 鄰苯二甲酸二 (2- 乙己基 ) 酯 Methylene chloride 二氯甲烷 Di-n-butylphthalate 鄰苯二甲酸二正丁酯 ,1,1-trichloroethane 1,1,1- 三氯乙烷 Butylbenzylphthalate 鄰苯二甲酸丁基苯甲酯 ,1,2-trichloroethane 1,1,2- 三氯乙烷 Anthracene 蒽烯類 23 Dichlorobromomethane 二氯溴甲烷 ,2-Diphenylhydrazine 1,2- 二苯基聯胺其他 Tetrachloroethylene 四氯乙烯 Isophorone 異佛樂酮 Trichloroethylene 三氯乙烯 Carbon tetrachloride 四氯化碳 ,1-dichloroethylene 1,1- 二氯乙烯 Naphthalene 萘

24 參半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 條文 ( 計十條 ) 第一條本標準依水污染防治法第七條第二項規定訂定之第二條本標準專用名詞定義如下 : 一總毒性有機物 : 係指 1,2- 二氯苯 1,3- 二氯苯 1,4- 二氯苯 1,2,4- 三氯苯甲苯乙苯三氯甲烷 1,2- 二氯乙烷二氯甲烷 1,1,1- 三氯乙烷 1,1,2- 三氯乙烷二氯溴甲烷四氯乙烯三氯乙烯 1,1- 二氯乙烯 2- 氯酚 2,4- 二氯酚 4- 硝基酚五氯酚 2- 硝基酚酚 2,4,6- 三氯酚鄰苯二甲酸乙己酯鄰苯二甲酸二丁酯鄰苯二甲酸丁苯酯蒽 1,2- 二苯基聯胺異佛爾酮四氯化碳及萘, 計三十種化合物之濃度總和二新設事業 : 指事業於中華民國一百年十二月一日前尚未完成規劃者, 或已完成規劃, 但尚未完成工程招標者三既設事業 : 指事業於中華民國一百年十二月一日前已完成建造建造中或已完成工第三條本標準適用對象為水污染防治法事業分類及定義程招標者公告列管之晶圓製造及半導體製造業第四條本標準規定水質項目及限值如附表第五條事業及其所屬公會或環境保護相關團體得隨時提出具體科學性數據資料, 供檢討修正之參考第六條本標準所定之化學需氧量限值, 係以重鉻酸鉀氧化方式檢測之第七條本標準各項目限值, 除氫離子濃度指數為一範圍且無單位外, 均為最大限值, 其單位如下 : 一溫度 : 攝氏度 ( o C) 二其餘各項目 : 毫克 / 公升 (mg/l) 第八條本標準各項目限值, 除水溫及氫離子濃度指數外, 事業自水體取水作為冷卻或循環用途之未接觸冷卻水, 如排放於原取水區位之地面水體, 不適用本標準第九條事業有二種以上不同業別或同一業別有不同製程, 其廢水混合處理及排放者, 應符合各該業別之放流水標準相同之管制項目有不同管制限值者, 應符合較嚴之限值標準各業別中之一種業別廢水水量達總廢水量百分之七十五以上, 並裝設有獨立專用累計型水量計測設施者, 得向主管機關申請對共同管制項目以該業別放流水標準管制前項廢水量所佔比例, 以申請日前半年之紀錄計算之第十條本標準除另定施行日期者外, 自發布日施行 24

25 25 參半導體製造業廢水特性與放流水標準 ( 續 ) 附表內容 ( 管制項目計 28 種 ) 管制項目限值施行時間水溫 ph 硝酸鹽氮正磷酸鹽酚類陰離子界面活性劑氰化物油脂溶解性鐵溶解性錳鎘鉛總鉻六價鉻總汞銅鋅銀鎳硒砷硼硫化物 COD SS 真色色度原限值發布日起氟鹽 15 發布日起氨氮 10 ( 適用排放廢 ( 污 ) 水於水源水質水量保護區內者 ) 發布日起 20 ( 新設事業 ) 發布日起 75 自 101 年 7 月 1 日起, 如提削減計畫並執行者, 自 102 年 7 月 1 日起 30 自 104 年 7 月 1 日起總毒性有機物 1.37 發布日起註 : 除 ph 和真色色度無單位, 溫度單位為 o C 外, 其餘單位均為 mg/l

26 肆結語除石油化學產業及半導體業外, 本署仍逐步檢討其他產業放流水標準, 以維護環境水體品質 26

27 簡報完畢敬請指教 27

石油化學業放流水標準

石油化學業放流水標準化工業放流水標準中華民國 105 年 1 月 6 日行政院環境保護署環署水字第 1040110367 號令修正發布第二條四條條文第一條第二條本標準依水污染防治法第七條第二項規定訂定之本標準所定高含氮製程, 指下列含氮製程, 且作業廢水水量達放流口許可核准之排放水量百分之四十以上之化工業者 : 一氨化學製造程序二氮肥製造程序三銨肥化學製造程序四磷酸銨鹽肥料製造程序五含氮複肥製造程序