EDWARDS 您的首选合作伙伴 在工业应用上,Edwards 真空泵的设计 技术和制造居世界领先地位 Edwards 成立至今已超过 95 年的历史, 具有超过 75 年的旋片泵制造经验, 并在世界范围内提供了约,, 台旋片泵 Edwards 的经营理念 : 通过利用我们丰富的工业生产经验, 为客

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1 ES 单级油封旋片泵 Giving you a clear edge

2 EDWARDS 您的首选合作伙伴 在工业应用上,Edwards 真空泵的设计 技术和制造居世界领先地位 Edwards 成立至今已超过 95 年的历史, 具有超过 75 年的旋片泵制造经验, 并在世界范围内提供了约,, 台旋片泵 Edwards 的经营理念 : 通过利用我们丰富的工业生产经验, 为客户创造价值, 并为客户提供最佳解决方案 利用最具创新的建模技术, 来优化泵的结构, 以便为客户提供系统设计, 从而以最可靠和经济有效的方式使得泵的性能最优化

3 Edwards ES 泵系列新一代旋片泵 Edwards ES 泵系列是新一代单级油封旋片泵 性能强 领先的极限真空度以及扩展的运行压力范围 工业应用范围较广 优异水蒸汽处理能力 低运行成本 较低的运行温度, 使用寿命长 环境保护 泵油排放少 噪音低 比绝大部分单级旋片泵都要低 稳定性 稳定的真空性能 优化的回油系统 运行时无压力波动 便利性 易于集成 内置 ISO 和 BSP 两种接口形式 易于维护 泵油和过滤器易于更换 产能更高 可在用户端现场进行维护, 缩短停机时间 灵活性 可单独使用或与罗茨泵配套使用, 应用范围广 简便实用 可以 EH 系列罗茨泵组成泵组 可以满足不同的性能要求

4 ES 泵技术 ES 系列共有 5 个不同型号 ES65 ~ ES63 ES65 ES ES2 ES3 ES63

5 优化的内部结构 4 标准入口 通过对泵内部结构的精细化改良设计, 以 入口 同时标配 ISO 法兰和 BSP 螺纹两种 确保提供一个一流的无压力波动的极限真 连接形式, 以便用户灵活安装 空, 这在传统单级泵上是不常见的 5 回油系统和高性能泵油 2 油雾过滤器集成了改良的排气油雾过滤装置可以非常有效地阻止油雾进入工作环境 泵可以在一个更为干净和安静的环境下运行 有效的油雾过滤装置配有改进型挡 增强型回油系统使得泵具有极强的真空稳定性 使用 Edwards Ultragrade 2 泵油不仅可以提高真空性能, 同时在高温条件下运行时无油裂解, 进而延长泵油更换周期 油圈, 几乎可以将泵油损失降到零 6 直接驱动技术 3 空冷配备有一个高效的空气冷却管理系统, 使得泵可以在较低温下运行从而延长泵油的使用寿命 直接驱动电机可以使得泵的运行更为紧凑稳定, 进而可以减少维修 电机已经经 UL 和 CE 认证, 达到欧洲最新的 IE3 能效标准 其它技术优势 泵的减振器可以保护泵免受任何形式的震动或噪音引起的振动的影响 标准配制的气镇装置可以增强泵抽取水蒸汽和溶剂类可凝性气体的能力 使用标准工业材料, 如转子 / 定子使用铸铁, 叶片使用玻璃纤维, 这些材料可以提供高效的防磨损保护 易于配件安装, 配套零件可直接通过螺栓拧在泵上 这包括油位开关 PT 温度传感器和一个 2 C 的温度开关 进气口可配置粉尘过滤器和液体捕集器使泵免受灰尘或可凝性蒸汽损害 ES 系列有两种标准维修套件, 客户可以自行维护 清洁保养套件包括基本的耗材, 如泵油 过滤器和气镇阀零件, 推荐的更换间隔约为 3 小时 预防性维修套件主要用于全面保养, 包括附加组件, 如轴承 内部密封套件和旋片

6 应用 ES 泵和罗茨泵的组合安装可以使泵组的真空性能和稳定性完美结合, 这在工业应用当中具有很高的性价比 真空镀膜 连续镀膜生产线的进出口室抽空 卷绕镀膜 光学 眼镜片和显示器件镀膜 表面镀层, 如等离子沉积和反射或装饰性镀层热处理 回火处理 淬火处理 退火处理 真空钎焊 电子束和等离子焊接 干燥处理 变压器干燥 汽车干燥和罐装系统 制冷行业两器干燥 电池和电容器干燥一般工业应用 中央真空系统 灭菌 等离子清洗 / 杀菌 油 / 树脂脱气 食品包装 检漏 低温储罐 真空隔热板 真空隔热玻璃 气体充填

7 技术数据 单位 ES65 ES ES2 ES3 ES63 名义抽速 5Hz m 3 h - / cfm 64/38 96/56 98/7 293/72 635/374 名义抽速 6Hz m 3 h - / cfm 77/45 5/68 24/4 354/28 769/453 实际有效抽速 5 Hz m 3 h - / cfm 59/35 9/53 9/2 275/62 575/338 实际有效抽速 6 Hz m 3 h - / cfm 7/4 5/62 225/32 32/88 674/397 极限真空 ( 全压 ) 关气镇 极限真空 ( 全压 ) 开气镇 mbar / torr.5/..5/..8/.6.8/.6./.8 mbar / torr./.8 /.5./.8 /.5./.8 进口接头 ISO4/"BSP ISO63/2"BSP ISO63/2"BSP ISO63/2"BSP ISO/3"BSP 出口连接 ISO4//2"BSP ISO4//2"BSP ISO4/2"BSP ISO4/2"BSP ISO/3"BSP 最大允许出口压力表压 最大水蒸汽处理能力 (5Hz) kgh - / lbh -.3/8 6/5.7 2/4.8 3/5. 5.6/3 最大水蒸汽处理能力 (6Hz) kgh - / lbh -.6/ /9.4 8/6. 3/6.6 8./7.8 尺寸 ( 长, 宽, 高 ) mm 725.5*387*36 8*387*36 99*57*462 3*57*462 65*68*589 重量 kg / lb 77/7 94/27 63/359 85/48 56/38 电机防护等级 IP55 IP55 IP55 IP55 IP55 电机功率 5Hz kw / hp.5/ 3 / 3 4.5/6. 6/8. 5/6.7 电机功率 6Hz kw / hp.8/4 3/4. 5.8/ /. 5/2. 噪音等级 (5Hz) db(a) 噪音等级 (6Hz) db(a) 泵油容量 litre 建议使用的泵油 Ultragrade 2 Ultragrade 2 Ultragrade 2 Ultragrade 2 Ultragrade 2

8 ES 泵和罗茨泵组 Edwards 可提供一系列 ES 旋片泵和罗茨泵, 以及成套泵组安装套件 罗茨泵与 ES 旋片泵组合安装可以极大提升真空系统的抽速和提高一个数量级的真空度 Edwards 的应用专家可以帮助您选择最适合您要求的组合 我们可以按要求提供所有组合技术参数表, 上面有每一个组合的抽速, 另有安装图纸可帮助您设计您的系统 EH 系列罗茨泵 EH 系列罗茨泵抽速范围为 3-44 m 3 h -,(5-25 cfm), 配备独特的液力耦合驱动机构, 可以从大气启动并持续运行至极限真空度状态, 进而最多可以节省 5% 的抽空时间 泵组系统 Edwards ES 泵和罗茨泵规格齐全, 均配有成套泵组安装套件, 可以满足客户对于抽空系统的各种特殊要求 通过简单的配置说明表, 客户可以选择合适的 ES 泵和罗茨泵, 这可以让我们组装成一个完全可以随时使用的泵组 根据组合的不同, 泵组可以是框架安装或直接安装, 下方均配有基础底座 同时, 我们可以单独提供泵组安装套件, 这样就可以简单地在现场进行泵组的安装 ES 旋片泵 /EH 罗茨泵可能的组合 ES65 ES ES2 ES3 ES63 注 : 可按要求进行组合 EH25 EH5 EH2 EH26 EH42 直接安装 框架安装 直接安装 框架安装

9 性能曲线 ES65 ES (Torr) (Torr) (m 3 h - ) ES65. 5Hz 6Hz 5Hz 6Hz (ft 3 min - ) 3 (mbar) (m 3 h - ) ES. 5Hz 6Hz 5Hz 6Hz (ft 3 min - ) 3 (mbar) (Pa) (Pa) ES2 ES (Torr) (Torr) 59 (m 3 h - ) ES2. 5Hz 6Hz 5Hz 6Hz (ft 3 min - ) 3 (mbar) (m 3 h - ) ES3. 5Hz 6Hz 5Hz 6Hz (ft 3 min - ) 3 (mbar) (Pa) (Pa) ES (Torr) 59. 关气镇装置 开气镇装置 (m 3 h - ) ES63. 5Hz 6Hz 5Hz 6Hz (ft 3 min - ) 3 (mbar) (Pa)

10 ES/EH 泵组性能曲线 ( 关气镇 ) ES (m 3 h - ) (Torr) 353 ES EH25. ES EH min - ) ES2 2 8 (m 3 h - ) (Torr) 76 ES2 EH5. ES2 EH min - ) (mbar) (mbar) (Pa) (Pa) ES3 (m 3 h - ) (Torr) 2354 ES3 EH5. ES3 EH ES3 EH ES3 EH min - ) ES63 (m 3 h - ) (Torr) 4 ES63 EH ES63 EH ES63 EH min - ) (mbar) (mbar) (Pa) (Pa) ES/EH 泵组性能曲线 ( 开气镇 ) ES (m 3 h - ) ES EH25. ES EH5. 75 (Torr) min - ) ES2 2 8 (m 3 h - ) (Torr) 76 ES2 EH5. ES2 EH min - ) (mbar) (mbar) (Pa) (Pa) ES3 3 2 (m 3 h - ) (Torr) ES3 EH5. ES3 EH2. ES3 EH26. ES3 EH min - ) ES63 (m 3 h - ) (Torr) ES63 EH ES63 EH ES63 EH min - ) (mbar) (mbar) (Pa) (Pa). 5Hz 6HZ

11 尺寸说明 ES65 ES ES2 mm ( 英寸 ) A B C D E F G H I J K L M N O P ES (236) 3.8 (.5) 8.6 (.34) (28.56) 346 (3.62) 7 (6.73) 36 (4.2) 387 (5.24) 27 (.63) 276 (.86) 34 (3.39) 224 (8.82) (3.97) 68 (68) 27 (.63) 237 (9.33) ES 6.5 (23.64) 3.8 (.5) 8.6 (.34) 8 (3.88) 353 (3.89) 7 (6.73) 36 (4.2) 387 (5.24) 275 (.83) 293 (.53) 34 (3.39) 226 (8.9) (3.97) 68 (68) 27 (.63) 237 (9.33) ES2 74 (28.) 8 (.) 9 (.75) 99 (38.97) 2 (7.9) 2 (8.26) 47 (8.34) 462 (8.9) 57 (2.35) 323 (7) 375 (4.76) 76 (6.92) 8 (4.65) 375 (4.76) 49 (9.29) 3 (2)

12 尺寸说明 ES3 ES63 mm ( 英寸 ) A B C D E F G H I J K L M N O P ES3 822 (336) 7.4 (.29) 9 (.75) 3 (43.42) 98 (7.8) 2 (8.27) 47 (8.54) 462 (8.9) 57 (2.35) 323 (7) 373 (4.69) 222 (8.74) 8 (4.65) 375 (4.76) 492 (9.37) 356 (4.2) ES (48.58) 49 (45.24) 9 (.35) 8 (.3) ES 泵可选配件 65 (65.) 589 (23.8) 68 (26.77) 33 (99) 432 (7.) 我们有一整套的可选配件可以用来简单地对泵进行控制 油位开关 用于远距离监控油位, 防止泵在缺油的状态下运行 温度传感器和温度开关 57 (9.96) (4.82) 45 (5.7) (.9) 334 (3.5) 52 (2.6) PT 温度传感器和 2 C 温度开关用于远距离监控油温, 防止泵在油温过高的状态下运行 入口过滤器 / 捕集器 524 (2.63) 入口粉尘过滤器通过阻止杂物进入泵内, 入口液体捕集器可以防止高浓度的可凝性气体进入泵内, 可以延长泵的正常运行时间

13 ES/EH 泵组 直接安装 mm ( 英寸 ) ES/EH25 ES/EH5 ES2/EH5 ES2/EH2 ES3/EH5 ES3/EH2 ES63/EH2 A B C D E F G H I J K 744 (29.29) 78 (3.7) 83 (3) 758 (29.84) 82 (3.97) 758 (29.84) 58 (4.57) 424 (6.69) 424 (6.69) 52 (2.5) 52 (2.5) 52 (2.5) 52 (2.5) 649 (25.55) 269 (.59) 269 (.59) 26 (.24) 26 (.24) 37 (9) 37 (9) 376 (4.8) 85 (33.5) 94 (35.78) 995 (39.7) 44 (4.) 4 (43.64) 8 (43.62) 645 (64.76) 55 (65) 55 (65) 584 (299) 65 (24.2) 584 (299) 65 (24.2) 772 (3.39) 49 (9.29) 49 (9.29) 49 (9.29) 49 (9.29) 49 (9.29) 49 (9.29) 62 (24.4) 22 (7.95) 22 (7.95) 257 (.2) 257 (.2) 257 (.2) 257 (.2) 367 (4.45) 99 (3.9) (3.98) 76 (6.93) 76 (6.93) 222 (8.74) 222 (8.74) 375 (4.76) 37 (5.39) 237 (9.33) 3 (2) 3 (2) 256 (.8) 256 (.8) 522 (2.55) 355 (3.98) 355 (3.98) 425 (6.73) 425 (6.73) 425 (6.73) 425 (6.73) 582 (29) 8 (3.4) 8 (3.4) 8 (3.4) 8 (3.4) 8 (3.4) 8 (3.4) 8 (3.4) ES/EH 泵组 框架安装 mm ( 英寸 ) ES3/EH26 ES3/EH42 ES63/EH26 ES63/EH42 A B C D E F G H I J K 9 (495) 9 (495) 28 (47.95) 28 (47.95) 573 (256) 573 (256) 7 (27.6) 7 (27.6) 45 (7.72) 45 (7.72) 53 (2.2) 53 (2.2) 225 (48.22) 362 (53.62) 536 (6.47) 536 (6.47) 5 (4.34) 5 (4.34) 8 (46.46) 8 (46.46) 95 (37.4) 95 (37.4) 8 (452) 8 (452) 257 (.2) 257 (.2) 367 (4.45) 367 (4.45) 222 (8.74) 268 (.55) 375 (4.76) 375 (4.76) 356 (4.2) 42 (5.83) 522 (2.55) 522 (2.55) 655 (25.79) 655 (25.79) 775 (3.5) 775 (3.5) 345 (3.55) 345 (3.55) 345 (3.55) 345 (3.55)

14 服务和支持 ES 系列单级油封旋片泵的设计特点具有多种优势, 日常清洁保养和全面大修保养仅需使用少许专用 工具和掌握基本专业知识便可 日常维护活动仅需在泵的安装位进行, 而全面大修保养也仅需在任何用来执行标准工业现场设备维护的车间进行 想要进行自行管理维修的客户可以从以下 ES 系列进行选择 : 专用备件配套工具包括进行日常维护或全方位维护工作所需的简易工具应有的所有工具 维护手册和简短的视频文件包含完整的产品范围和翻新程序 完成关键轴承和轴封移除和更换工作的低成本专用工具 Edwards 合格的工程师将前往现场为您提供客户培训课程, 这样您可以完全独立掌握产品的维护技能 对于需要更多 Edwards 技术支持的客户, 我们提供针对以下 ES 系列快速有效的维护解决方案 : 对于技术能力有限的客户, 或只相信 Edwards 的合格维修服务团队的客户, 我们将提供现场维修技术支持 我们的全球服务网包括所有遍及全世界的主要工业区域, 可以为您提供一系列定价灵活的现场服务 零件编号 说明 零件编号 说明 维修工具 维修备件 A222 密封组件工具 ES65/ A27285 进口阀弹簧 ES65/ES A2222 轴封安装基座 ES65/ A 排气阀 ES65/ES A2224 轴承移除工具 ES 65/ A273 啮合联轴器环 ES65/ES A2226 轴承移除安装基座 ES65/ A 排气阀 ES2 A2228 整套工具对 ES65/ 进行定期检修 A27286 进口阀弹簧 ES2/ES3 A2222 一次密封装配工具 ES2/3 A27287 进口阀弹簧 ES63 A22222 轴封安装基座 ES2/3 A 排气阀 ES3 A22224 转子固定工具 ES2/3 A 排气阀 ES63 A22226 二次密封装配工具 ES2/3 A 附加排气阀 ES63 A22228 二次密封装配附加工具 ES2/3 A273 啮合联轴器环 ES63 A2223 整套定期检修工具 ES2/3 A2732 啮合联轴器环 ES2/ES3 A22232 轴承移除工具 ES63 保养箱 A22234 轴承移除安装基座 ES63 A ES65/ 真空泵日常维护 3 小时 A22236 密封和轴承安装基座 ES63 A ES2 真空泵日常维护 3 小时 A22238 轴封装配工具 ES63 A ES3 真空泵日常维护 3 小时 A2224 联轴器安装工具 ES63 A ES63 真空泵日常维护 3 小时 A22242 一次轴承装配工具 ES63 A 定期检修 ES65 A22244 整套定期检修工具 ES63 A 定期检修 ES A 定期检修 ES2 A 定期检修 ES3 A 定期检修 ES63

15 订购信息 ES 选择范围 说明 ES65 - ASIA 2V (5/6Hz) & 38V (6Hz) IE3 ES65 - EU/USA/CHINA 38-4V(5Hz) & 23/46V (6Hz) IE3 ES - ASIA 2V (5/6Hz) & 38V (6Hz) IE3 ES - EU/USA/CHINA 38-4V(5Hz) & 23/46V (6Hz) IE3 ES2 - ASIA 2V (5/6Hz) & 38V (6Hz) IE3 ES2 - EU/USA/CHINA 38-4V(5Hz) & 23/46V (6Hz) IE3 ES3 - ASIA 2V (5/6Hz) & 38V (6Hz) IE3 ES3 - EU/USA/CHINA 38-4V(5Hz) & 23/46V (6Hz) IE3 ES63 - ASIA 2V (5/6Hz) & 38V (6Hz) IE3 ES63 - EU/USA/CHINA 38-4V(5Hz) & 23/46V (6Hz) IE3 配件 零件编号 A A A A A A A A A A ES/EH 泵组配置订购信息 ES 泵 ES 2 ES2 3 ES3 4 ES63 EH 罗茨泵 EH25 2 EH5 3 EH2 4 EH26 5 EH42 组合套件 ES/EH25 2 ES/EH5 3 ES2/EH5 或 ES3/EH5 4 ES2/EH2 或 ES3/EH2 5 ES3/EH26 或 ES3/EH42 6 ES63/EH2 7 ES63/EH26 或 ES63/EH42 说明 ES65/ES 油位开关 ES65/ES 油位开关和 2 C 温度开关 ES65/ES 油位开关 & PT 温度传感器 ES65/ES PT 温度传感器 ES2/ES3 油位开关 ES2/ES3 油位开关和 2 C 温度开关 ES2/ES3 油位开关和 PT 温度传感器 ES2/ES3 PT 温度传感器 ES63 油位开关 ES63 油位开关 & 2 C 温度开关 ES63 油位开关 & PT 温度传感器 ES63 PT 温度传感器 ITO 入口液体捕集器 ITO3 入口液体捕集器 ITO8 入口液体捕集器 ITM 入口粉尘过滤器 ITM3 入口粉尘过滤器 ITM8 入口粉尘过滤器 零件编号 A A A A A A A A A A A A A442 A443 A444 A4432 A4433 A4434 E T - - 电源 ES 泵配件 无 罗茨泵入口密封网筛 PT 温度传感器 无 2 油位传感器 ISO63 3 油位传感器 + 2 C 2 ISO 4 油位传感器 + PT 3 ISO6 罗茨泵油位监控器 无 OLM5 油位监控器 欧盟 _38-4V, 5Hz 2 美国 _23/46V, 6Hz 3 亚洲 _2V, 5Hz 4 亚洲 _2V/38V 6Hz

16 全球联系方式 欧洲英国克劳利 英国 ( 适用本地话费 ) 比利时布鲁塞尔 法国巴黎 德国慕尼黑 意大利米兰 美国尼亚加拉 ( 免费电话 ) 巴西 圣保罗 以色列加特村 亚太地区中国大陆 ( 免费电话 ) 印度浦那 日本八千代 韩国盆唐区 新加坡 台湾竹南镇 出版物编号 : A , 第 D 期 Edwards 有限公司 25 年版权 保留一切权利 Edwards 的名称及 Edwards 标识都是 Edwards 有限公司的商标 我们尽量准确地对我们的产品和服务进行描述, 但是我们并不保证本数据表中提供的任何信息的准确性或完整性 Edwards 有限公司在英格兰和威尔士注册, 注册号 62475, 注册办公地址 :Manor Royal, Crawley, West Sussex RH 9LW, UK edwardsvacuum.com

252=1507

252=1507 使 用 之 前 产 品 特 点 ------------------------------------------------- 各 部 分 构 件 名 称 ---------------------------------------- 2 安 全 标 志 ------------------------------------------------- 2 安 全 注 意 事 项 ----------------------------------------

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