第 2 期 朱效立等 : 高线密度犡射线透射光栅的制作工艺 2007 图 犡射线透射光栅的横截面图 犵. 犆狅 犲犮狅狀狅犳犡 狔狀犿狅狀犵狀犵 以将图形精确转移到金属层, 而且金属层的厚度可以和光刻胶的厚度一样, 这更是普通蒸发 剥离技术做不到的. 高线密度犡射线透射光栅对纳米加工技术提出的要求就
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1 第 28 卷第 2 期 2007 年 2 月 半导体学报 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犞狅犾.28 犖狅.2 犇犲犮.,2007 高线密度犡射线透射光栅的制作工艺 2 2, 朱效立马杰曹磊峰杨家敏谢常青刘明陈宝钦牛洁斌 张庆钊姜骥赵珉叶甜春 ( 中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室, 北京 00029) (2 中国工程物理研究院激光聚变中心, 绵阳 62900) 摘要 : 采用电子束光刻 犡射线光刻和微电镀技术, 成功制作了面积为 0 犿犿 0.5 犿犿, 周期为 500 狀犿, 占空比为, 金吸收体厚度为 430 狀犿的可用于犡射线衍射的大面积透射光栅. 首先利用电子束光刻和微电镀技术制备基于镂空薄膜结构的犡射线光刻掩模, 然后利用犡射线光刻经济 高效地复制犡射线透射光栅. 整个工艺流程分别利用了电子束光刻分辨率高和犡射线光刻效率高的优点, 并且可以得到剖面陡直的纳米级光栅线条. 最后, 测量了制作出的犡射线透射光栅对波长为 狀犿同步辐射光的衍射峰, 实验结果表明该光栅具有良好的衍射特性. 关键词 : 电子束光刻 ; 透射光栅 ; 犡射线光刻 ; 犡射线衍射光学元件 犈犈犃犆犆 :2550 犖 ;445;7450 中图分类号 : 犜犖 405 文献标识码 : 犃文章编号 : (2007) 引言 透射光栅通常作为核心器件广泛应用在许多光学系统中, 起着色散 分束 偏振和位相匹配等作用. 人们利用光栅的色散特性制成了犡射线光谱仪, 不仅可以分析物质的组成成分, 而且也是探测恒星 星系和宇宙的强有力的工具.999 年美国哥伦比亚号航天飞机送入太空的钱德拉犡射线天文望远镜, 其 [] 核心元件包括 336 块高 中能犡射线透射光栅 ; 美国国家点火装置中靶核的黑腔能量诊断系统也是由若干块高能犡射线透射光栅组成的 [2]. 同时, 人们对光栅的各种制作技术进行了大量的研究 [3~6]. 线密度光栅的制作方法通常有机械刻划和全息光刻两种. 机械刻划需要复杂的精密机械控制系统, 刻划一块质量良好的高线密度光栅是极其困难的, 稍有不慎就功亏一篑. 全息光刻是利用光的干涉条纹对光刻胶进行曝光的方法, 然后将光刻胶图形转移到下面的抗反射层, 通过微电镀的方法形成重金属吸收体. 麻省理工学院纳米空间中心的科学家成功制备了 5000 线 周期 200 狀犿的高线密度犡射线透射光栅, 并在美国 法国和印度的激光惯性约束核聚变装置 ( 犐犆 ) 上得到了应用 [7~9]. 但是, 全息光刻是利用光的干涉形成正弦分布的光强获得光刻胶图形, 图形的边缘并不光滑. 这种不光滑 的图形在随后进行的刻蚀和微电镀工艺中被精确地转移到了金属层上. 另外, 利用刻蚀技术很难得到侧壁陡直的光栅截面, 得到的截面呈梯形或者倒梯形形状. 根据理论模拟的结果, 光栅的衍射效率取决于栅线条的截面, 也与栅线条的漫散射程度密切相关 [0]. 所以, 采用全息光刻和刻蚀技术制作的透射光栅在一定程度上降低了其衍射效率. 人们也对高线密度光栅的其他加工技术广泛进行了研究, 例如犡射线全息光刻 纳米压印 电子束光刻和犡射线光刻等. 但是, 除了紫外光全息光刻, 鲜有采用其他方法成功制作实用化的高线密度犡射线透射光栅的报道. 原因就在于支撑薄膜工艺 纳米级图形的分辨能力 亚微米厚度的金属层图形的转移技术和工艺成本等诸多因素. 本文将介绍采用电子束光刻 犡射线光刻复制和微电镀技术制作高线密度犡射线透射光栅. 采用电子束光刻和微电镀的方法制作犡射线光刻的掩模版, 然后利用犡射线光刻和微电镀技术复制高线密度犡射线透射光栅. 尽管电子束光刻因为其串行的加工方式具有极低的效率, 但是它具有图形发生能力和最高的分辨率 ( 约 3 狀犿 ), 在微电子工业和纳米加工领域一直发挥着重要的作用 []. 犡射线光刻的优点在于较高的效率 纳米级的分辨率和极强的穿透能力, 在制作具有陡直剖面的纳米级图形方面 [2,3] 具有独一无二的优势. 微电镀技术的优点是可 国家重点基础研究发展规划 ( 批准号 :2007 犆犅 ), 国家高技术研究发展计划 ( 批准号 :2006 犃犃 84334) 和国家自然科学基金 ( 批准号 : ) 资助项目 通信作者. 犈犿犾 : 犿犲. 犮. 犮狀 收到, 定稿 2007 中国电子学会
2 第 2 期 朱效立等 : 高线密度犡射线透射光栅的制作工艺 2007 图 犡射线透射光栅的横截面图 犵. 犆狅 犲犮狅狀狅犳犡 狔狀犿狅狀犵狀犵 以将图形精确转移到金属层, 而且金属层的厚度可以和光刻胶的厚度一样, 这更是普通蒸发 剥离技术做不到的. 高线密度犡射线透射光栅对纳米加工技术提出的要求就是 : 纳米级的分辨能力 较高的效率和陡直剖面, 因而特别适合采用电子束光刻 犡射线光刻复制技术和微电镀技术进行加工. 集成镂空薄膜衬底制备 电子束光刻 犡射线光刻和微电镀多种技术制备实用化的 具有纳米尺度 大面积的犡 射线衍射透射光栅, 目前还未见相关报道. 2 母光栅的制备 犡射线透射光栅的截面如图 所示, 在厚度为 μ 犿聚酰亚胺自支撑薄膜上形成由重金属吸收组成体组成的栅线条. 我们所制作的光栅图形区由 6600 个长和宽分别为 25 和 20μ 犿的单元图形组成, 整个光栅的长和宽分别为 0 和 0 5 犿犿. 为了满足惯性约束核聚变软犡射线能量诊断系统在低能段对透射光栅的要求, 栅线条宽度和厚度分别为 250 和 450 狀犿. 在电子束光刻中, 人们广泛使用犘犕犕犃光刻胶. 但是, 犘犕犕犃胶灵敏度较低, 采用电子束曝光的时间非常长. 例如采用电子束犑犅犡 5000 犔犛电子束曝光机 ( 犑犗犈犔 ) 和犘犕犕犃光刻胶制作上述设计的透射光栅, 曝光时间将超过 60 犺, 研发成本将十分高昂, 而且很容易造成电子束曝光机的机械故障. 我们采用的更加灵敏的犣犈犘 520 犃正性光刻胶 ( 犖狆狆狅狀犣犲狅狀犆犗., 犔犱.), 它具有 0 狀犿的分辨率, 而且比 犘犕犕犃要灵敏得多, 因而使得曝光时间大大缩短, 使得采用电子束光刻技术制作大面积 纳米级的高线密度光栅成为可能. 应用于犡射线光刻的母光栅掩模的截面结构与图 所示的犡射线透射光栅完全一样, 我们采用聚酰亚胺作为自支撑薄膜. 聚酰亚胺自支撑薄膜具有耐高温 机械性能好 耐强酸和弱碱等优点, 使得在后续工艺中有最大的工艺自由度. 另外, 与常用的氮化硅薄膜相比, 聚酰亚胺薄膜对犡射线具有更高的透过率, 使得曝光过程中积累在掩模上的热量更少, 减少了掩模的热变形, 并提高了犡射线的曝光效率. 图 2 给出了聚酰亚胺和氮化硅对软犡射线的衰减长度的比较. 采用电子束光刻制作犡射线光刻母光栅掩模 图 2 聚酰亚胺和氮化硅的犡射线衰减长度的比较 犵.2 犆狅犿狆狅狀狅犳犲狀狌狅狀犾犲狀犵犺犫犲狑犲犲狀狆狅犾狔犿犱犲狀犱犾犮狅狀狀犱犲 版的工艺流程如图 3 所示.() 在双面抛光的 (00) 硅片上单面旋涂 2μ 犿厚的聚酰亚胺, 并在热板上烘烤, 待冷却后装入特殊制作的卡具, 放入各向同性腐蚀液中 ( 氢氟酸 硝酸和醋酸 ) 对硅进行腐蚀, 得到镂空的聚酰亚胺自支撑薄膜 ;(2) 采用电子束蒸发 ( 犑狅犺狀犲狀犝 狏 92 犈犞犃犘 ) 在聚酰亚胺薄膜上先后蒸发 5 狀犿的铬和 0 狀犿的金, 作为微电镀的种子层, 然后旋涂 500 狀犿厚的犣犈犘 520 犃光刻胶, 在烘箱中 80 下烘烤 40 犿狀, 去除光刻胶的溶剂 ;(3) 采用犑犅犡 5000 犔犛电子束曝光系统进行电子束曝光, 加速电压为 50 犽犞, 曝光束流为 50 狆犃, 整个曝光时间为 0 犺, 然后使用对二甲苯和异丙醇分别作为显影液和定影液进行显影, 得到光栅胶图形 ;(4) 利用反应离子刻蚀去除显影区域的残胶, 将衬底装好放入亚硫酸盐金电镀液, 电镀后的金吸收体厚度为 400 狀犿, 然后去除犣犈犘 520 光刻胶, 并利用感应耦合高密度等离子体 ( 犐犆犘 ) 刻蚀去除铬金电镀种子层, 完成整个犡射线光刻掩模版的工艺流程. 在整个工艺过程中, 每一步都必须小心操作, 每一个细小的失误都有可能使掩模版的制作功亏一篑. 图 3 电子束光刻制备母光栅的工艺流程图 犵.3 犫犮狅狀狆狅犮犲犱狌犲狅犳犿犲犵狀犵
3 半 ２００８ 导 体 学 报 第 ２８ 卷 图 ４ 掩模版上的一个光栅单元 ４ 犗狀犲狌狀 狅狀 犺犲犵 狀犵 犿 犽 图 ４ 是制备光栅的 犡 射线光 刻掩 模 版 照 片 值 得注 意 的 是 光 栅 掩 模 版 的 占 空 比 不 是 １ １ 即 金 吸收体的宽度比间 隔 的 宽 度 要 大 一 些 这 是 因 为 在 犡 射线曝光中 犡 射线的衍射效应会在曝光图形时 产生邻近效应 校正 邻 近 效 应 的 方 法 是 采 用 图 形 校 正技术 即把掩模图形故意做得大一些或者小一些 以得到所 设 计 的 曝 光 线 宽 在 后 续 的 犡 射 线 曝 光 中 我们发现这块掩模版的工艺窗口宽 容易得到显 影彻底的等间距栅线条 ３ 犡 射线光刻复制高线密度光栅 为了满足 犡 射 线 透 射 光 栅 在 惯 性 约 束 核 聚 变 和未来的天文望远 镜 上 的 应 用 采 用 聚 酰 亚 胺 镂 空 薄膜作为自支撑薄膜 犡 射线曝 光复制 犡 射线透射 光栅的工艺过程与电子束曝光制作掩模版的过程相 似 只 是 用 犡 射 线 曝 光 代 替 了 电 子 束 曝 光 而 且 聚 酰亚胺支撑 薄 膜 更 薄 一 点 厚 度 为 １μ犿 犡 射 线 曝 光是在合 肥 国 家 同 步 辐 射 实 验 室 的 光 刻 站 上 进 行 的 合 肥 光 源 的 加 速 电 压 为 ８００犕犲犞 特 征 波 长 为 ２ ４狀犿 特 别 适 合 进 行 犡 射 线 曝 光 将 掩 模 和 衬 底 小心地安装在曝光卡具上 放入真空曝光腔室 使曝 光图形区位于 犡 射线扫描束的 中心 扫描 振镜 和 衬 底之间的距离为 ４犿 而图形区的宽度 仅有 ０ ５犿犿 因此 犡 射 线 入 射 的 角 度 几 乎 等 于 零 曝 光 时 真 空 腔室的压强小于 ５ １０ ４ 犘 设 定 合 适 的 曝 光 剂 量 和曝光时间 进行 曝 光 其 余 过 程 与 第 ２ 部 分 相 似 不再赘述 图 ５ 给出了上述工艺过程得到的高线密度透射 光栅的 犛犈犕 照片 金栅线条的 宽度为 ２５０狀犿 金 吸 收体厚度为 ４３０狀犿 对应于 ４犽犲犞 的 犡 射 线 对 金 的 衰减长度 因为所使用 犡 射线 波长远远 小于 曝 光 的 线条宽度 因而 犡 射线透过掩模时的 衍射 效应 可 以 忽略 可 以 认 为 犡 射 线 是 精 确 沿 直 线 传 播 的 容 易 得到剖面陡直的截 面 后 续 的 微 电 镀 技 术 使 得 光 刻 图 ５ 光栅线条的 犛犈犕 照片 ５ 犛犈犕 狆 犮 狌 犲狅 犳 狀 犿 狅狀犵 狀犵犫 胶图形被精确转移 到 金 电 镀 层 上 图 ６ 给 出 了 透 射 光栅金线 条 的 陡 直 横 截 面 图 用 犛犈犕 观 察 镂 空 薄 膜上的纳米结构的截面 不能采用常用的切片 翻转 ９０ 观察的方法 因为切片破坏 了整 个自 支撑 的薄膜 结构 图 ６ 所示的截 面 是 采 用 聚 焦 离 子 束 刻 蚀 在 选 中的区域切 开 一 个 １０μ犿 ５μ犿 的 长 方 形 然 后 在 扫描电镜中用倾转的 方 法 观 察 得 到 的 犡 射 线 透 射 光栅的衍射效率与 栅 形 状 有 很 大 的 关 系 剖 面 陡 直 的栅线条具有理想 的 矩 形 横 截 面 可 以 精 确 地 利 用 相对简单的矩形模型的透射光栅效率模拟程序对光 栅的衍射特性进行研究 并与实验结果比较 采用电子束光刻 犡 射 线 光 刻 和 微 电 镀 技 术 制 备高线密度 犡 射线透射光栅 充 分利 用了 电子 束 光 刻的高分辨率和同步辐射 犡 射 线光 刻的 短波 长 高 穿透性 高亮度的 特 点 可 以 高 效 率 地 实 现 大 面 积 纳米尺 度 侧 壁 陡 直 的 犡 射 线 透 射 光 栅 的 制 作 犡 射线光刻复制此类 光 栅 的 突 出 优 点 是 效 率 高 工 艺 窗 口 非 常 宽 利 用 高 分 辨 率 高 灵 敏 度 的犣犈犘５２０犃 图 ６ 犡 射线光刻得到的金栅线条剖面 ６ 犆狅 犲 犮 狅狀狅 犳犵狅 犾 犱犵 狀犵犫 狌 狀犵 犡犚犔
4 第 2 期 朱效立等 : 高线密度犡射线透射光栅的制作工艺 2009 穿透性 高效率的优点 ; 一旦利用成本高昂的电子束光刻做出一两个高分辨率的掩模版, 犡射线光刻即可在短时间内复制出成百上千个具有更大高宽比 剖面更陡直的性能优良的光栅. 另外, 我们已经成功制备了栅线条分别为 50 和 00 狀犿的透射光栅掩模版, 正在进行犡射线曝光复制工作. 在众多的制作方法中, 电子束光刻 犡射线光刻结合微电镀技术是制作犡射线透射光栅的最有优势的技术之一. 图 犾狀犲 / 犿犿的透射光栅在 狀犿处的衍射峰 犵.7 犇犳犳犮狅狀狆犲犮狌犿狅犳 2000 犾狀犲 / 犿犿狀 犿狅狀犵狀犵 狀犿狑狏犲犾犲狀犵犺 光刻胶进行光栅复制犡射线曝光, 曝光时间仅为 ~3 犿狀, 完成装卸掩模和衬底 曝光以及抽真空等整个曝光过程只需要 30 犿狀左右. 随后, 在合肥国家同步辐射实验室的光谱辐照和计量实验站进行了透射光栅对软犡射线和极紫外光的衍射特性实验, 实验所用的能量范围是 50 犲犞 < 犈 <250 犲犞. 高线密度透射光栅安装在硅光二极管和犛犲狔 狀犿狅犽单色器之间, 安装角分辨率控制在 以内. 犛犲狔 狀犿狅犽单色器采用 500 线和 200 线两个反射光栅选择光子能量, 并在后面插入不同的滤片抑制高次谐波. 同步辐射光通过单色器和不同的滤片, 正入射到光栅上, 利用光栅后面的硅光二极管扫描探测器得到不同的衍射峰强度. 制备的 2000 犾狀犲 / 犿犿犡射线透射光栅对 狀犿波长的同步辐射光的衍射峰如图 7 所示, 正负一级衍射峰左右对称, 一级单边衍射效率与零级衍射效率之比为 7 6%. 衍射实验的结果表明该光栅具有良好的衍射特性, 完全能够满足惯性约束核聚变中靶核附近黑腔能量诊断系统的要求. 4 结论 结合了镂空薄膜制备 电子束光刻 犡射线光刻和微电镀技术, 成功制备了大面积 纳米尺度 2000 犾狀犲 / 犿犿的犡射线透射光栅. 为了制作高分辨率 大面积母光栅, 采用各项同性刻蚀硅的技术制备了镂空的聚酰亚胺衬底, 使用高灵敏的犣犈犘 520 犃电子束光刻胶, 结合微电镀技术制备了周期为 500 狀犿 线密度为 2000 犾狀犲 / 犿犿的母光栅, 即犡射线光刻的掩模版 ; 采用犡射线接触式光刻, 结合可以精确转移光刻胶图形的微电镀技术, 经济 高效地复制出了剖面陡直 金吸收体厚度为 430 狀犿的犡射线透射光栅, 可以满足惯性约束核聚变靶核附近黑腔能量诊断系统的要求. 这种制作方法的优势在于 : 充分利用了电子束光刻高分辨和犡射线光刻高 致谢感谢北京同步辐射实验室的伊福廷副研究员和张菊芳工程师在纳米尺度微电镀方面给予的帮助和有益的讨论 ; 感谢合肥国家同步辐射实验室刘刚副教授和阚娅工程师在犡射线曝光方面给予的支持与帮助 ; 感谢合肥国家同辐射实验室的周洪军高级工程师和霍同林工程师在光谱测量方面给与的帮助 ; 感谢中国科学院微电子研究所纳米加工与新器件集成技术实验室的工程师张培文和李萌在电子束蒸发和感应耦合等离子体刻蚀方面给予的帮助. 参考文献 [] 犛犮犺犲狀犫狌犵犕犔, 犃狌犮狅狀犚犑, 犾犲犿狀犵犚犆, 犲犾. 犫犮 狅狀狅犳犺犵犺 犲狀犲犵狔犡 狔狀犿狅狀犵狀犵犳狅犺犲犱 狏狀犮犲犱犡 狔狅狆犺狔犮犳犮犾狔 ( 犃犡犃 ). 犛犘犐犈,994, 2280:8 [2] 犔犲犲狆犲犚犑, 犆犺狀犱犾犲犌犃, 犆狅狅狆犲犌犠, 犲犾. 犜犵犲犱犵 狀狅犮狔犲犿犳狅犺犲狀狅狀犾犵狀狅狀犳犮犾狔. 犚犲狏犲狑狅犳犛犮犲狀犳犮犐狀狌犿犲狀,997,68():868 [3] 犡狌犡狀犵犱狅狀犵, 犎狅狀犵犢犾狀, 犜狀犢狀犵犮犺狅, 犲犾. 犫犮 狅狀狅犳犲犾犳 狌狆狆狅狀犵狀犿狅狀犵狀犵犳狅狆犾犿犱犵 狀狅犮. 犛犘犐犈,999,3766:380 [4] 犓犾犲狔犈犅, 犘狌狓犗. 犈 犫犲犿狀犱犲犿狑犲犺狅 狆犮犺犇犗犈狀犱犵狀犵犳狅犈犝 922 犗犜犃狀犱狅犺犲狅狆犮犾犕 犮狅狔犲犿. 犛犘犐犈,996,2783:46 [5] 犛狅犾犽犎犎, 犇狏犱犆, 犌狅犫犲犮犺犑, 犲犾. 犛狌犫 50 狀犿狆犲狅犱狆 犲狀狑犺犈犝犞狀犲犳犲犲狀犮犲犾犺狅犵狆犺狔. 犕犮狅犲犾犲犮狅狀犈狀犵,2003,67/68:56 [6] 犆犺狀犵犆犺犺犺狅, 犎犲犾犿狀狀犚犓, 犾犲犿狀犵犚犆, 犲犾, 犫犮 狅狀狅犳狑 狅狅犺犱犳犳犮狅狀犵狀犵狌狀犵狀狀狅犿狆狀犾 犺狅犵狆犺狔. 犑犞犮犛犮犜犲犮犺狀狅犾犅,2003,2(6):2755 [7] 犅犾狅狅犿犲狀犜犕, 犕犮犺狀犕, 犇犲狀犲狌犾犛, 犲犾.22 狀犿犿 犿犲狅狀狀犲犳犲犲狀犮犲犾犺狅犵狆犺狔. 犗狆犮犈狓狆犲,2006,4 (4 ):6434 [8] 犛犾犼犛, 犃狅犞, 犓狌犿犫犺犲犛犚, 犲犾. 犛狌犱狔狅犳犱犳犳犮狅狀犲犳犳犮犲狀犮狔狅犳犳犲犲 狀犱狀犵狀犿狅狀犵狀犵狀犽犲犞狆犲犮犾犲犵狅狀狌狀犵犾犲狆狅犱狌犮犲犱狆犾犿. 犗狆犮狀犱犔 犲犜犲犮犺狀狅犾狅犵狔,998,30:407 [9] 犚狌犵犵犾犲犔犈, 犆狌狀犲狅犕犈, 犘狅犲犑犔, 犲犾. 犕犲狌犲犿犲狀狅犳犺犲犲犳犳犮犲狀犮狔狅犳犵狅犾犱狀犿狅狀犵狀犵狀犺犲 00 狅 5000 犲犞狆犺狅狅狀犲狀犲犵狔狀犵犲. 犚犲狏犲狑狅犳犛犮犲狀犳犮犐狀狌 犿犲狀,200,72():28 [0] 犘犾犿犲犈犠, 犎狌犾犲狔犕犆, 狀犽犃, 犲犾. 犇犳犳犮狅狀犵 狀犵. 犚犲狆犘狅犵犘犺狔,975,38:975 [] 犅狅犲犃犖, 犎狅狅犾犲犃犆, 犚狔狀犑犕. 犈犾犲犮狅狀犫犲犿犾犺狅犵 狆犺狔 犲狅犾狌狅狀犾犿. 犕犮狅犲犾犲犮狅狀犮犈狀犵狀犲犲狀犵,996,32: 3
5 200 半导体学报第 28 卷 [2] 犎犵狅狌犲犾犘犐. 犅犾狕犲犱犱犳犳犮狅狀犵狀犵犳犫犮犲犱狌狀犵犡 狔犾犺狅犵狆犺狔 : 犳犫犮狅狀, 犿狅犱犲犾狀犵狀犱犿狌犾狅狀. 犕 犮狅犲犾犲犮狅狀犮犚犲犾犫犾狔,2003,43(2):249 [3] 犛犿犺犎犐, 犛犮犺犲犫狌犵犕犔, 犎犲犮狅犛犇, 犲犾. 犡 狔狀狀狅犾 犺狅犵狆犺狔 : 犲狓犲狀狅狀狅犺犲犾犿狅犳犺犲犾犺狅犵狆犺犮狆狅犮犲. 犕犮狅犲犾犲犮狅狀犈狀犵,996,32:43 犫犮狅狀狅犳犎犵犺 犇犲狀狔犜狀犿狅狀犌狀犵犳狅犡 犚狔犇犳犮狅狀 犣犺狌犡狅犾, 犕犑犲, 2 犆狅犔犲犳犲狀犵, 犢狀犵犑犿狀 2,, 犡犲犆犺狀犵狇狀犵, 犔狌犕狀犵犆犺犲狀犅狅狇狀, 犖狌犑犲犫狀, 犣犺狀犵犙狀犵狕犺狅, 犑狀犵犑, 犣犺狅犕狀, 狀犱犢犲犜狀犮犺狌狀 ( 犓犲狔犔犫狅狅狔狅犳犖狀狅 犫犮狅狀狀犱犖狅狏犲犾犇犲狏犮犲犐狀犲犵犲犱犜犲犮犺狀狅犾狅犵狔, 犐狀狌犲狅犳犕犮狅犲犾犲犮狅狀犮, 犆犺狀犲犲犃犮犱犲犿狔狅犳犛犮犲狀犮犲, 犅犲犼狀犵 00029, 犆犺狀 ) (2 犖狅狀犾犓犲狔犔犫狅狅狔狅犳犔犲狌狅狀, 犚犲犲犮犺犆犲狀犲狅犳犔犲狌狅狀, 犆犺狀犲犲犃犮犱犲犿狔狅犳犈狀犵狀犲犲狀犵犘犺狔犮, 犕狀狔狀犵 62900, 犆犺狀 ), 犃犫犮 : 犔犵犲犲狀犿狅狀犵狀犵 ( 犜犌 ) 犳狅狅犳犡 狔犱犳犳犮狅狀, 狑犺狀犲狅犳 0 犿犿 0 5 犿犿, 狆犲狅犱狅犳 500 狀犿, 犾狀犲 狆犮犲狅狅犳, 狀犱犵狅犾犱犺犮犽狀犲狅犳 430 狀犿, 犲狌犮犮犲犳狌犾狔犳犫犮犲犱犫狔犮狅犿犫狀狀犵犲犾犲犮狅狀犫犲犿犾 犺狅犵狆犺狔 ( 犈犅犔 ), 犡 狔犾犺狅犵狆犺狔 ( 犡犚犔 ), 狀犱犲犾犲犮狅狆犾狀犵. 犐狀犺犲狆狅犮犲犲, 犺犲犿犽狅犳犜犌狑犺狑犲犾 犱犲犳狀犲犱犺犲犲犱 犿犲狀狅狀犾犲犾犲犳狌犮狌犲狅犵狀犾狔狆犲狀犲犱犫狔犈犅犔狀犱犺犲狀犫狔犲犾犲犮狅狆犾狀犵. 犖犲狓, 犺犲狆狅犮犲犲狅犳犡犚犔狀犱犲犾犲犮狅 狆犾狀犵犾狅狑狌狅犲犳犳犮犲狀犾狔狀犱犮狅 犲犳犳犲犮狏犲犾狔犳犫犮犲犿狀狔犮狅狆犲狅犳犜犌狑犺犺犲犳狅犾狅狑狀犵狑狅犿犼狅犱狏狀犵犲 : 犺犵犺犲狅犾狌狅狀狀犱狏犲犮犾犮狅犲犮狅狀. 犕狅犲狅狏犲, 犺犲犿犲狌犲犿犲狀狅犳犲犳犳犮犲狀犮狔犺犺狅狑狀狆犲犳犲犮狆犲犳狅犿狀犮犲狑犺犲狆犲犮狅犱犳犳犮狅狀狅犳犈犝犞犾犵犺. 犓犲狔狑狅犱 : 狀犿狅狀犵狀犵 ; 犲犾犲犮狅狀犫犲犿犾犺狅犵狆犺狔 ; 犡 狔犾犺狅犵狆犺狔 ; 犡 狔犱犳犳犮狏犲狅狆犮犾犲犾犲犿犲狀 犈犈犃犆犆 :2550 犖 ;445;7450 犃犮犾犲犐犇 : (2007) 犘狅犼犲犮狌狆狆狅犲犱犫狔犺犲犛犲犓犲狔犇犲狏犲犾狅狆犿犲狀犘狅犵犿犳狅犅犮犚犲犲犮犺狅犳犆犺狀 ( 犖狅.2007 犆犅 ), 犺犲犖狅狀犾犖狌犾犛犮犲狀犮犲狅狌狀犱狅狀狅犳犆犺狀 ( 犖狅 ), 狀犱犺犲犖狅狀犾犎犵犺犜犲犮犺狀狅犾狅犵狔犚犲犲犮犺狀犱犇犲狏犲犾狅狆犿犲狀犘狅犵犿狅犳犆犺狀 ( 犖狅 犃犃 84334) 犆狅犲狆狅狀犱狀犵狌犺狅. 犈犿犾 : 犿犲. 犮. 犮狀 犚犲犮犲狏犲犱 犕狔 2007, 犲狏犲犱犿狀狌犮狆犲犮犲狏犲犱 24 犑狌犾狔 犆犺狀犲犲犐狀狌犲狅犳犈犾犲犮狅狀犮
1 21 1990 犽狀狅狑 犾犲犱犵犲犲犮狅狀狅犿狔 21 1999 6 13 2 1999 8 240 10 3 2003 3 5 1 1 3 3 3 6 9 12 12 14 18 21 23 33 41 41 41 47 51 2 51 55 59 59 61 67 69 73 73 73 75 82 84 84 95 98 102 108 108 108 111 115 116 117 119
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中学第二教材：高中语文：选修：语言规范与创新：配套江苏版教材
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北大绿卡：新课标教材课时同步讲练 七年级语文下 人教版
: : : : : : : (CIP) : /,. :,2007 3 ISBN978 7 5602 4795 3 Ⅰ.. Ⅱ.1. 2. Ⅲ. Ⅳ.G634 CIP(2007) 037245 118 (130117) :0431 85695744 85688470 :0431 85695734 :htp: www nenup com :sdcbs@mail jl cn :nenupyuwen@yahoo.cn
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西班牙文学简史
犅狉犲狏犲犎犻狊狋狅狉犻犪犱犲犾犪犔犻狋犲狉犪狋狌狉犪犈狊狆犪 狅犾犪 犛犺犪狀犵犺犪犻犉狅狉犲犻犵狀犔犪狀犵狌犪犵犲犈犱狌犮犪狋犻狅狀犘狉犲狊狊 (CIP) /. : 2005 ( ) 犐犛犅犖 7-81095-810-0 Ⅰ. Ⅱ.1 2 Ⅲ. - Ⅳ. 犐 551.09 犆犐犘 (2005)101131 : ; ; ; ( ) 犻 犻 ; ; : () ; ( ) 20 20059 1 11
中考英语命题趋势与总复习策略 ( ),, (1), ; (2) ; (3) ; (4) ; (5),, ; (6), 2, (1) 120 ; (2) 120 ; (3), ; (4), 6~8, 80~90 ; (5), 1,2 1 ( ) 15% 18% 22% 30%
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163 ( ) Vol.16 No.3 2016 5 JournalofNorthwestA&FUniversity(SocialScienceEdition) May 2016 : (, 401120)! ":! " # $ % &,' ( ) * +, -./ 01 + &, & 23 45,-+67 89:;,-,-,; < ) * = >? @ A " 6 7 B C D E + F,GH8A"67IJ,-
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Unit3 WHEN IGROW UP 乐学单元 亲爱的同学们, 每个人都有梦想, 每个人都对未来从事的职业有一种期待, 你梦想的职业是什么呢? 我们常听到的职业有医生 护士 消防员 警察 飞行员和宇航员 那么他们都做哪些具体的工作呢? 你了解吗? 在这个单元, 他们中的一些代表会走近你, 并告诉你他们的日常生活 让我们赶快一起去看看吧 还有, 当你了解他们的具体工作后, 你是否还坚持你的梦想职业,
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犐犆犛 13.100 犆 57 GBZ128 2002 犛狆犲犮犻犳犻犮犪狋犻狅狀狊犳狅狉犻狀犱犻狏犻犱狌犪犾犿狅狀犻狋狅狉犻狀犵狅犳狅犮犮狌狆犪狋犻狅狀犪犾犲狓狋犲狉狀犪犾犲狓狆狅狊狌狉犲 2016 06 28 2016 11 01!" Ⅲ 1 1 2 1 3 1 4! 2 5 "#$%&' 3 6 $% 4 7 %() 5 8 *+,-./ 6 0+A(1 0+) "#*+.2 8 Ⅰ 4 5,!
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第 1 期柳龙华, 等 : 大高宽比 高线密度 X 射线透射光栅的制作 73 1 引言 X 射线显微成像技术具有高分辨率 高穿透性等优点, 可实现厚物质的内部三维结构的观察, [1 4] 在生物医学和纳米材料领域有广泛的应用 当前, 利用 X 射线透射光栅进行 X 射线显微成像 [5] 的研究已成为
![第 1 期柳龙华, 等 : 大高宽比 高线密度 X 射线透射光栅的制作 73 1 引言 X 射线显微成像技术具有高分辨率 高穿透性等优点, 可实现厚物质的内部三维结构的观察, [1 4] 在生物医学和纳米材料领域有广泛的应用 当前, 利用 X 射线透射光栅进行 X 射线显微成像 [5] 的研究已成为](/thumbs/91/104930802.jpg "第 1 期柳龙华, 等 : 大高宽比 高线密度 X 射线透射光栅的制作 73 1 引言 X 射线显微成像技术具有高分辨率 高穿透性等优点, 可实现厚物质的内部三维结构的观察, [1 4] 在生物医学和纳米材料领域有广泛的应用 当前, 利用 X 射线透射光栅进行 X 射线显微成像 [5] 的研究已成为")
第 17 卷 2009 年 1 月 第 1 期 光学精密工程 OpticsandPrecisionEngineering Vol.17 No.1 Jan.2009 文章编号 1004 924X(2009)01 0072 06 大高宽比 高线密度犡射线透射光栅的制作 柳龙华, 刘刚, 熊瑛, 黄新龙, 陈洁, 李文杰, 田金萍, 田扬超 ( 中国科学技术大学国家同步辐射实验室, 安徽合肥 230029)
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( ) : ( ) ( ) ( ) 2003 10 5 2004 2004 7 1 1. 1 2. 8 3. 15 4. 21 ( ) 27 81 13. 81 14. 89 15. 94 16. 99 ( ) 103 30 5. 30 6. 38 7. ( ) 45 8. 53 ( ) 59 105 17. 105 18. ( ) 111 19. 116 20. 121 ( ) 128 60 9.
暋暋图书在版编目 (CIP) 数据播音主持快速入门十八招儿 / 赵秀环编著. 北京 : 中国传媒大学出版社, ISBN978 灢 7 灢 5657 灢 0136 灢 8 栺灡栙播 暋栻灡栙赵 暋栿. 栙播音 语言艺术暋栚广播节目 主持人 语言艺术暋栛电视节目 主持人 语言艺术桇灡栙 G2
暋暋图书在版编目 (CIP) 数据播音主持快速入门十八招儿 / 赵秀环编著. 北京 : 中国传媒大学出版社,2011.1 ISBN978 灢 7 灢 5657 灢 0136 灢 8 栺灡栙播 暋栻灡栙赵 暋栿. 栙播音 语言艺术暋栚广播节目 主持人 语言艺术暋栛电视节目 主持人 语言艺术桇灡栙 G222.2 中国版本图书馆 CIP 数据核字 (2010) 第 261459 号 暋暋播音主持快速入门十八招儿
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326 201812 JournalofSoiland WaterConservation Vol.32No.6 Dec.,2018 WX)] [ &- 1, 1,V 1,V + 2,3, 1,5 1,3 (1. 8 7:;, 100193;2. 28 Q., 276700;3.$ 8 &7 ) #$\, 276700) (: [) @ \0 OT :29T: *,Z G,G, :, % :2(0,0.05,0.1,0.25,0.5,1.0g/L)
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半 ２ 导 些技术实现了 ２０狀犿 线 条 曝 光 并 通 过 应 用 光 学 光 刻系统和电子束光刻系统之间的匹配与混合光刻技 图 １ 光学和电子束曝光系统 体 学 报 第 ２７ 卷 术及纳米结构图形加工 技术实现 ２０ ５０狀犿 犆犕犗犛 器件和 １００狀犿 犎犈犕犜 器件的研制 犑犅犡５０００
第 27 卷增刊 2006 年 12 月 半导体学报 犆犎犐犖犈犛犈犑犗犝犚犖犃犔犗犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犞狅.27 犛狌狆狆犿狀犇犮.,2006 光学和电子束曝光系统之间的匹配与混合光刻技术 陈宝钦 刘明徐秋霞薛丽君李金儒汤跃科赵珉刘珠明王德强任黎明胡勇龙世兵陆晶杨清华张立辉牛洁斌 ( 中国科学院微电子研究所微细加工与纳米技术研究室, 北京 100029) 摘要 : 介绍如何实现光学和电子束曝光系统之间的匹配和混合光刻的技术,
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 犛犖 / 犜 进出口化妆品中氢溴酸右美沙芬的测定液相色谱法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳犱犲狓狋狉狅犿犲狋犺狅狉狆犺犪狀犺狔犱狉狅犿犻犱犲犻狀犮狅狊犿犲狋犻犮狊犳狅狉犻犿狆狅狉狋犪狀犱犲狓狆狅狉狋 犔犻狇狌犻犱犮犺狉狅犿犪狋狅犵狉犪狆犺狔犿
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 进出口化妆品中氢溴酸右美沙芬的测定液相色谱法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳犱犲狓狋狉狅犿犲狋犺狅狉狆犺犪狀犺狔犱狉狅犿犻犱犲犻狀犮狅狊犿犲狋犻犮狊犳狅狉犻犿狆狅狉狋犪狀犱犲狓狆狅狉狋 犔犻狇狌犻犱犮犺狉狅犿犪狋狅犵狉犪狆犺狔犿犲狋犺狅犱 2009 02 20 发布 2009 09 01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 前 言 本标准的附录
BuletinofSoiland WaterConservation Vol.38,No.5 Oct.,2018 >O ) ( = X 8 /,6 + V -. 1,5 2,3,# 3 2, 2,8 4 (1. Z[ G, O ;2. Z[ (, O ;
385 201810 BuletinofSoiland WaterConservation Vol.38,No.5 Oct.,2018 >O ) ( =X 8 /,6 +V -. 1,5 2,3,# 3 2, 2,8 4 (1.Z[ G, O 730070;2.Z[ (, O 730070; 3.< CD, O 730000;4. Z( L) 0 G, L 430074). /:[]5 T ' ]!,^
前 言 本标准的附录 A 为资料性附录 本标准由国家认证认可监督管理委员会提出并归口 本标准由中华人民共和国上海出入境检验检疫局负责起草 本标准主要起草人 : 倪昕路 韩丽 周瑶 郭德华 朱坚 本标准系首次发布的检验检疫行业标准 Ⅰ
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 犛犖 / 犜 2326 2009 食品及油脂中反式脂肪酸含量的检测傅立叶变换红外光谱法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳狋狉犪狀狊犳犪狋狔犪犮犻犱狊犻狀犳狅狅犱狊狋狌犳犪狀犱狅犻犾狊 犉犜犐犚犿犲狋犺狅犱 2009 07 07 发布 2010 01 16 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 前 言 本标准的附录 A 为资料性附录 本标准由国家认证认可监督管理委员会提出并归口
JOURNALOFXI ANJIAOTONG UNIVERSITY Vol.46 No.10 Oct.2012 犖犪犽犪犵犪犿犻 犿, ( )-/*<= ) : Nakagami 犿!"#$%&' # (#$)*+,-./0(EPA
46 0 00 JOURNALOFXI ANJIAOTONG UNIVERSITY Vol.46 No.0 Oct.0 犖犪犽犪犵犪犿犻 犿, )-/*?@AB-C.DE,7007, ) : Nakagami 犿!"#$%&' # #$)*+,-./0EPA) -.,34567+89:;.SER) -./0?/@ 8ASER @B,CD!E " A A5FGH, IJKGH
前 言 本标准的附录 A 附录 B 和附录 C 为资料性附录 本标准由国家认证认可监督管理委员会提出并归口 本标准起草单位 : 中华人民共和国山西出入境检验检疫局 本标准主要起草人 : 薛平 连庚寅 宋欢 苑利 杜利君 潘雅丽 宋洁 康杰 本标准系首次发布的出入境检验检疫行业标准 Ⅰ
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 犛犖 / 犜 2115 2008 进出口食品和饲料中总氮及粗蛋白的检测方法杜马斯燃烧法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳狋犺犲狋狅狋犪犾狀犻狋狉狅犵犲狀犮狅狀狋犲狀狋犪狀犱犮犪犾犮狌犾犪狋犻狅狀狅犳狋犺犲犮狉狌犱犲狆狉狅狋犲犻狀犮狅狀狋犲狀狋犻狀犳狅狅犱犪狀犱犳犲犲犱犳狅狉犻犿狆狅狉狋犪狀犱犲狓狆狅狉狋 犆狅犿犫狌狊狋犻狅狀犪犮犮狅狉犱犻狀犵狋狅狋犺犲犇狌犿犪狊狆狉犻狀犮犻狆犾犲
前 言 本标准按照 GB/T 给出的规则起草 本标准由国家认证认可监督管理委员会提出并归口 本标准起草单位 : 中华人民共和国山东出入境检验检疫局 中华人民共和国陕西出入境检验检疫局 中华人民共和国黑龙江出入境检验检疫局 本标准主要起草人 : 王建华 汤志旭 孙忠松 王艳丽 王松 李
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 犛犖 / 犜 2646 2010 进出口食品中吡螨胺残留量检测方法气相色谱 质谱法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳狋犲犫狌犳犲狀狆狔狉犪犱狉犲狊犻犱狌犲狊犻狀犳狅狅犱犳狅狉犻犿狆狅狉狋犪狀犱犲狓狆狅狉狋 犌犆 犕犛犿犲狋犺狅犱 2010 11 01 发布 2011 05 01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 前 言 本标准按照 GB/T1.1
前 言 本标准按照 GB/T 给出的规则起草 本标准代替 SN 出口肉及肉制品中甲萘威残留量检验方法 本标准与 SN 相比, 主要技术变化如下 : 样品净化方法采用全自动凝胶渗透色谱净化方法替代原有的液液分配法 ; 测定采用柱后衍生液相色谱 荧光检
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 犛犖 / 犜 0122 2011 代替 SN0122 1992 进出口肉及肉制品中甲萘威残留量检验方法液相色谱 柱后衍生荧光检测法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳犮犪狉犫犪狉狔犾狉犲狊犻犱狌犲狊犻狀犿犲犪狋犪狀犱犿犲犪狋狆狉狅犱狌犮狋狊犳狅狉犻犿狆狅狉狋犪狀犱 犲狓狆狅狉狋 犎犘犔犆 犳犾狌狅狉犲狊犮犲犱犲狋犲犮狋狅狉狑犻狋犺狆狅狊狋犮狅犾狌犿狀犱犲狉犻狏犪狋犻狅狀
前 言 本标准的附录 A 附录 B 和附录 C 为资料性附录 本标准由国家认证认可监督管理委员会提出并归口 本标准起草单位 : 中华人民共和国山西出入境检验检疫局 本标准主要起草人 : 薛平 连庚寅 宋欢 苑利 杜利君 潘雅丽 宋洁 康杰 本标准系首次发布的出入境检验检疫行业标准 Ⅰ
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 犛犖 / 犜 2115 2008 进出口食品和饲料中总氮及粗蛋白的检测方法杜马斯燃烧法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳狋犺犲狋狅狋犪犾狀犻狋狉狅犵犲狀犮狅狀狋犲狀狋犪狀犱犮犪犾犮狌犾犪狋犻狅狀狅犳狋犺犲犮狉狌犱犲狆狉狅狋犲犻狀犮狅狀狋犲狀狋犻狀犳狅狅犱犪狀犱犳犲犲犱犳狅狉犻犿狆狅狉狋犪狀犱犲狓狆狅狉狋 犆狅犿犫狌狊狋犻狅狀犪犮犮狅狉犱犻狀犵狋狅狋犺犲犇狌犿犪狊狆狉犻狀犮犻狆犾犲
第 12 期 薛 红 等 : 低 杂 散 锁 相 环 中 的 电 荷 泵 设 计 1989 犉 犻 犵.2 图 2 电 荷 泵 模 型 犕 狅 犱 犲 犾 狅 犳 犮 犺 犪 狉 犵 犲 狆 狌 犿 狆 图 3 电 荷 泵 电 路 犉 犻 犵 3 犆 犻 狉 犮 狌 犻 狋 狊 犮 犺 犲 犿 犪
第 28 卷 第 12 期 2007 年 12 月 半 导 体 学 报 犆 犎 犐 犖 犈 犛 犈 犑 犗 犝 犚 犖 犃 犔 犗 犉 犛 犈 犕 犐 犆 犗 犖 犇 犝 犆 犜 犗 犚 犛 犞 狅 犾.28 犖 狅.12 犇 犲 犮.,2007 低 杂 散 锁 相 环 中 的 电 荷 泵 设 计 薛 红 李 智 群 王 志 功 李 伟 章 丽 ( 东 南 大 学 射 频 与 光 电 集 成 电 路
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批发零售业实用英语对话及词汇手册
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前 言 本标准的附录 A 附录 B 和附录 C 均为资料性附录 本标准由国家认证认可监督管理委员会提出并归口 本标准起草单位 : 中华人民共和国湖南出入境检验检疫局 本标准主要起草人 : 颜鸿飞 张莹 孙菲 胡宇东 黄志强 付善良 李拥军 王美玲 本标准系首次发布的出入境检验检疫行业标准 Ⅰ
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 动物源食品中乙氧喹啉残留量的测定方法高效液相色谱法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳犲狋犺狅狓狔狇狌犻狀狉犲狊犻犱狌犲狊犻狀犳狅狅犱狊狋狌犳狊狅犳犪狀犻犿犪犾狅狉犻犵犻狀 犎犘犔犆犿犲狋犺狅犱 2010 03 02 发布 2010 09 16 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 前 言 本标准的附录 A 附录 B 和附录 C 均为资料性附录 本标准由国家认证认可监督管理委员会提出并归口
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第 期 李 伟 等 用 方 法 对 中 国 历 史 气 温 数 据 插 值 可 行 性 讨 论
李 伟 李 庆 祥 江 志 红 使 用 插 值 方 法 对 已 经 过 质 量 控 制 和 均 一 化 的 年 月 年 月 中 国 全 部 基 本 基 准 站 气 温 资 料 逐 月 进 行 空 间 插 值 通 过 站 点 的 实 际 序 列 与 插 值 后 格 点 序 列 进 行 比 较 针 对 相 关 系 数 和 线 性 趋 势 等 多 个 量 来 检 验 方 法 对 气 候 资 料 插 值 的
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李 一 博 孙 立 瑛 靳 世 久 邢 菲 菲 杜 刚 基 于 大 型 常 压 立 式 金 属 储 罐 底 板 在 线 声 发 射 检 测 及 定 位 的 原 理 针 对 声 发 射 检 测 过 程 中 因 声 源 性 质 不 明 确 导 致 的 罐 底 完 整 性 评 价 结 果 不 准 确 的 问 题 采 用 小 波 分 析 方 法 对 罐 底 声 发 射 信 号 进 行 了 分 解 通 过 提
何 秋 琳 张 立 春 视 觉 学 习 研 究 进 展 视 觉 注 意 视 觉 感 知
第 卷 第 期 年 月 开 放 教 育 研 究 何 秋 琳 张 立 春 华 南 师 范 大 学 未 来 教 育 研 究 中 心 广 东 广 州 随 着 图 像 化 技 术 和 电 子 媒 体 的 发 展 视 觉 学 习 也 逐 步 发 展 为 学 习 科 学 的 一 个 研 究 分 支 得 到 研 究 人 员 和 教 育 工 作 者 的 广 泛 关 注 基 于 此 作 者 试 图 对 视 觉 学 习
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精 勤 求 学 自 强 不 息 Born to win! 解 析 : 由 极 限 的 保 号 性 知 存 在 U ( a) 当 a 时 f ( ) f ( a) 故 f ( ) 在 点 a 不 取 极 值 f ( ) f ( a) f ( ) f ( a) lim lim a a a a ( a)
年 考 研 数 学 二 模 拟 题 ( 二 ) 参 考 答 案 本 试 卷 满 分 5 考 试 时 间 8 分 钟 一 选 择 题 :~8 小 题 每 小 题 分 共 分 下 列 每 小 题 给 出 的 四 个 选 项 中 只 有 一 项 符 合 题 目 要 求 的 请 将 所 选 项 前 的 字 母 填 在 答 题 纸 指 定 位 置 上 () 在 点 处 不 存 在 极 限 的 函 数 是 (
前 言 本标准的附录 A 和附录 B 均为资料性附录 本标准由国家认证认可监督管理委员会提出并归口 本标准起草单位 : 中华人民共和国黑龙江出入境检验检疫局 中华人民共和国重庆出入境检验检疫局 中华人民共和国辽宁出入境检验检疫局 本标准主要起草人 : 刘永 杨长志 王国民 康庆贺 林维宣 李贤良 吴
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 进出口动物源性食品中乌洛托品残留量的检测方法液相色谱 质谱 / 质谱法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳狌狉狅狋狉狅狆犻狀犲狉犲狊犻犱狌犲犻狀犳狅狅犱狊狋狌犳狊狅犳 犪狀犻犿犪犾狅狉犻犵犻狀犳狅狉犻犿狆狅狉狋犪狀犱犲狓狆狅狉狋 犔犆 犕犛 / 犕犛犿犲狋犺狅犱 2008 11 18 发布 2009 06 01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 发布 前
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254 20188 ResearchofSoiland WaterConservation Vol.25,No.4 Aug.,2018 = (./ 1, / 2,3,F=G 1,HIJ KLM 1,NO 2,3,-> 1 (1.`O, ` 7 712100;2.Q$I Gb 4@ \F$%)*, ` 7 712100;3.Q$I,O 100049) 0 1:#4RS @,&./,A_0 N 0 L
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导 数 和 微 分 的 概 念 导 数 的 几 何 意 义 和 物 理 意 义 函 数 的 可 导 性 与 连 续 性 之 间 的 关 系 平 面 曲 线 的 切 线 和 法 线 导 数 和 微 分 的 四 则 运 算 基 本 初 等 函 数 的 导 数 复 合 函 数 反 函 数 隐 函 数 以
2015 年 考 研 数 学 二 考 试 大 纲 考 试 科 目 : 高 等 数 学 线 性 代 数 考 试 形 式 和 试 卷 结 构 一 试 卷 满 分 及 考 试 时 间 试 卷 满 分 为 150 分, 考 试 时 间 为 180 分 钟. 二 答 题 方 式 答 题 方 式 为 闭 卷 笔 试. 三 试 卷 内 容 结 构 高 等 教 学 约 78% 线 性 代 数 约 22% 四 试 卷
初中学习顾问·八年级·语文·人民教育版
(CIP)../,.- :,2009.6 ISBN978 7 80210 001 5 Ⅰ. Ⅱ.1 2 Ⅲ.- - Ⅳ.G634 CIP(2009)068072 : : () 15 100039 88636417 88637120 www.xycbs.com E mailaaa@xycbs.com 710 1020 1/32 11 290 20096 120096 1 ISBN978 7 80210
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社会 构造组织观念 自我检查和审干 １９５２ １９６０ 张 ２０１７ ５ 犆犑犛 第 ３７ 卷 静 摘 要 根据江南某地在 ２０ 世纪 ５０ 年代部分干部的思想检查 工作报告 年终 总结 组织审干汇报等档案材 料 本 文 探 索 国 家 政 权 建 设 的 历 史 文 章 关 注 的 重点 在于认识
社会 自我检查和审干 １９５２ １９６０ 张 ２０１７ ５ 犆犑犛 第 ３７ 卷 静 摘 要 根据江南某地在 ２０ 世纪 ５０ 年代部分干部的思想检查 工作报告 年终 总结 组织审干汇报等档案材 料 本 文 探 索 国 家 政 权 建 设 的 历 史 文 章 关 注 的 重点 在于认识政权转换时期 国 家 如 何 构 造 新 的 治 理 结 构 通 过 梳 理 相 关 的 历史文献 本文表明 国家运用特有的组织化权力
前 言 本标准的附录 A 为规范性附录, 附录 B 和附录 C 为资料性附录 本标准由国家认证认可监督管理委员会提出并归口 本标准由中华人民共和国辽宁出入境检验检疫局 中华人民共和国浙江出入境检验检疫局 中国检验检疫科学研究院 中华人民共和国黑龙江出入境检验检疫局负责起草 本标准主要起草人 : 林维
中华人民共和国出入境检验检疫行业标准 进出口动物源性食品中糖皮质激素类兽药残留量的检测方法液相色谱 质谱 / 质谱法 犇犲狋犲狉犿犻狀犪狋犻狅狀狅犳犵犾狌犮狅犮狅狉狋犻犮狅狊狋犲狉狅犻犱狊狉犲狊犻犱狌犲狊犻狀犳狅狅犱狊狋狌犳狊狅犳 犪狀犻犿犪犾狅狉犻犵犻狀犳狅狉犻犿狆狅狉狋犪狀犱犲狓狆狅狉狋 犔犆 犕犛 / 犕犛犿犲狋犺狅犱 2008 11 18 发布 2009 06 01 实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
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1932 19 tionoftheoralcavitytissue. 犓犲狔狑狅狉犱狊 :OpticalCoherenceTomography (OCT);spectral domain;parotidgland;histopathology 1 (Optical Coherence Tomography OCT) [1],,, [2], 20 90,OCT, D.Huang J.G.Fujimoto
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作 为 生 产 者 式 文 本 的 女 性 主 义 通 俗 小 说 梅 丽 本 文 借 鉴 文 化 研 究 理 论 家 约 翰 费 斯 克 的 生 产 者 式 文 本 这 一 概 念 考 察 女 性 主 义 通 俗 小 说 的 文 本 特 征 写 作 策 略 和 微 观 政 治 意 义 女 性 主 义 通 俗 小 说 通 过 对 传 统 通 俗 小 说 的 挪 用 和 戏 仿 传 播 女 性 主 义
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昆虫记
(CIP) / ()(Fabre,J.H.); :,2009.9 () ISBN9787560148311 Ⅰ1 Ⅱ 1 2 Ⅲ.1 Ⅳ.1Q9649 CIP(2009)166480 : :()(Fabre,J.H.) : : : : :JYC : :421 :130021 :0431-88499826 :htp://wwwjlupcomcn Email:jlup@mailjlueducn : :155
86 农 业 机 械 学 报 2009 年 而 造 成 的 水 锤 事 故, 因 此 具 有 构 造 简 单 造 价 低 安 装 方 便 不 受 安 装 条 件 限 制 等 优 点 但 是, 由 于 进 气 和 排 气 时 气 液 两 相 流 过 渡 过 程 的 影 响 因 素 复 杂, 管 道 中
2009 年 6 月 农 业 机 械 学 报 第 40 卷 第 6 期 空 气 阀 水 锤 防 护 特 性 的 主 要 影 响 参 数 分 析 及 优 化 刘 志 勇 刘 梅 清 ( 武 汉 大 学 动 力 与 机 械 学 院, 武 汉 430072) 摘 要 对 空 气 阀 水 锤 防 护 特 性 的 主 要 影 响 因 素 进 行 了 试 验 分 析 结 果 表 明 : 在 合 理 位 置 安
2017,26(10): 犃犮狋犪犃犵狉犻犮狌犾狋狌狉犪犲犅狅狉犲犪犾犻 狅犮犮犻犱犲狀狋犪犾犻狊犛犻狀犻犮犪 doi: /j.issn : :htp://kns.cnki.net/kcms/detail/
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979 DOI:10.13350/j.cjpb.180911 ] MIC10(!F F,G H,IJ,KLL,MNO,, + ( V )!", 6T 6 6 )` _6/ F 45@, 6 _ 6/ F 45@, 6!, 214064) /0FG K,-10(MIC10),.3 45:; H PCR (RT PCR) RNA H/0 cdna,q 7 cdna 8? MIC10 D X,' FG'
社会 犃犫 : 犃狆狀, 犺犺狏狀狅犺犱狅狀狀狌狅狀犺狅狀犺狆犫狑狀犵狅狀狀犱狌. 犅犱狅狀犺犱犳狅犿 10 犆犺狀, 犺狌犱狔狀狔狕犱犺犿狆狅犳犵狅狌犳犺狅狀狅狌, 犵狀狌, 狀犱狌狅犳犵狅狌狆狅狀犵犱犳狀犱狌狀犺犱犳狀犱犿狅犱狅犳狅狅狀. 犜犺狌犱狔犺犱犳狅狅狑狀犵犳狀犱狀犵 :(
差序格局下的宗教信仰和信任 基于中国十城市的经验数据 阮荣平 摘 王 社会 ２０１１ ４ 犆犑犛 第 ３１ 卷 兵 要 目前学界对宗教与信任关系的研究尚未达成一致意 见 基 于 中 国 １０ 个城市的调查数据 本研究 分 析 了 宗 教 信 仰 对 社 会 化 信 任 一 般 化 信 任 和 差 序格局结构中不同半径群体信任的 影 响 研 究 发 现 １ 宗 教 对 信 任 尤 其 是 社 会化信任具有显著的正向影响
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工 程 硕 士 数 学 考 试 大 纲 与 要 求 ( 包 括 高 等 数 学 和 线 性 代 数 ) 一 函 数 极 限 与 连 续 第 一 部 分 : 高 等 数 学 考 试 内 容 函 数 的 概 念 及 表 示 法 函 数 的 有 界 性 单 调 性 周 期 性 和 奇 偶 性 复 合 函 数 反 函 数 分 段 函 数 和 隐 函 数 基 本 初 等 函 数 的 性 质 及 其 图 形 初
Microsoft Word - 第7章 图表反转形态.doc
第 七 章 图 表 反 转 形 态 我 们 知 道 市 场 趋 势 共 有 三 种 : 上 升 趋 势 下 降 趋 势 和 横 向 整 理 市 场 的 价 格 波 动 都 是 运 行 在 这 三 种 趋 势 中, 所 有 的 走 势 都 是 这 三 种 趋 势 的 排 列 组 合 如 图 市 场 趋 势 结 构 示 意 图 7-1 所 示 市 场 趋 势 结 构 示 意 图 7-1 图 市 场 趋
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结 果 与 讨 论
倪 卓 杜 学 晓 王 帅 邢 锋 以 脲 醛 树 脂 为 囊 壁 双 酚 型 环 氧 树 脂 为 囊 芯 采 用 原 位 聚 合 法 合 成 环 氧 树 脂 微 胶 囊 根 据 化 学 反 应 动 力 学 得 到 脲 醛 树 脂 预 聚 体 及 微 胶 囊 囊 壁 合 成 反 应 过 程 中 的 速 率 方 程 测 定 不 同 温 度 下 甲 醛 浓 度 随 时 间 变 化 的 曲 线 确 定 不
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第 卷第 期 月 年 电 压 与 声 光 邑 夹 心 式 压 电超 声 复 频 换 能 器 的 研 究 林 书 玉 陕西 师 范 大 学 应 用 声 学 研 究 所 西 安 摘要 对 具 有 多个 共 振 频 率 的 纵 向振 动 夹 心 式 压 电 超 吉 换 能 器 进 行 了 研 究 该 换 能 器 由 多 组 压 电陶 瓷 片及 金 属 棒 组 成 在 一 维 纵 向振 动 理 论 及 等
深圳市新亚电子制程股份有限公司
证 券 代 码 :002388 证 券 简 称 : 新 亚 制 程 公 告 编 号 :2016-053 深 圳 市 新 亚 电 子 制 程 股 份 有 限 公 司 2016 年 第 二 次 临 时 股 东 大 会 决 议 公 告 本 公 司 及 董 事 会 全 体 成 员 保 证 公 告 内 容 真 实 准 确 和 完 整, 不 存 在 虚 假 记 载 误 导 性 陈 述 或 者 重 大 遗 漏 特
说 明 为 了 反 映 教 运 行 的 基 本 状 态, 为 校 和 院 制 定 相 关 政 策 和 进 行 教 建 设 与 改 革 提 供 据 依 据, 校 从 程 资 源 ( 开 类 别 开 量 规 模 ) 教 师 结 构 程 考 核 等 维 度, 对 2015 年 春 季 期 教 运 行 基
内 部 资 料 东 北 师 范 大 教 运 行 基 本 状 态 据 报 告 2015 年 春 季 期 教 务 处 2015 年 10 月 27 日 说 明 为 了 反 映 教 运 行 的 基 本 状 态, 为 校 和 院 制 定 相 关 政 策 和 进 行 教 建 设 与 改 革 提 供 据 依 据, 校 从 程 资 源 ( 开 类 别 开 量 规 模 ) 教 师 结 构 程 考 核 等 维 度,
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抗 日 战 争 研 究 % 年 第 期! # # % %
以 翁 文 灏 为 核 心 的 考 察 李 学 通 本 文 以 先 后 任 国 民 政 府 国 防 设 计 委 员 会 秘 书 长 和 军 委 会 资 源 委 员 会 秘 书 长 的 翁 文 灏 为 中 心 考 察 年 国 防 设 计 委 员 会 成 立 至 年 初 战 时 经 济 体 制 建 立 期 间 国 民 政 府 以 工 矿 业 为 重 点 的 抗 战 经 济 准 备 工 作 作 者 认 为
《应用数学Ⅰ》教学大纲
高 等 数 学 教 学 大 纲 学 时 数 :124 学 时. 适 用 专 业 : 计 算 机 系 电 子 系 建 工 系 机 电 系 各 专 业. 参 加 讨 论 人 员 : 数 学 研 究 室 全 体 成 员. 执 笔 人 : 朱 玉 清 审 定 人 : 许 洪 范 编 写 日 期 :2001 年 5 月 至 2001 年 11 月.2003 年 3 至 5 月 进 一 步 修 订. 高 等 数
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国 际 关 系 理 论 类 比 认 知 与 毛 泽 东 的 对 外 政 策 张 清 敏 潘 丽 君 人 的 认 识 过 程 经 常 受 到 认 知 能 力 有 限 决 策 环 境 不 确 定 以 及 信 息 过 量 等 问 题 的 制 约 在 这 个 过 程 中 人 们 经 常 借 用 类 比 从 历 史 中 寻 找 启 发 帮 助 认 知 环 境 和 制 定 政 策 作 者 依 据! 毛 泽 东
西 南 民 族 学 院 学 报 哲 学 社 会 科 学 版 第 卷 资 料 来 源 中 国 统 计 年 鉴 年 年 新 中 国 五 十 年 统 计 资 料 汇 编 中 国 人 口 统 计 年 鉴 年 数 据 资 料 来 源 中 国 统 计 年 鉴 中 国 统 计 出 版 社 年 版 资 料 来 源
郑 长 德 教 育 的 发 展 人 力 资 源 的 开 发 是 决 定 西 部 民 族 地 区 未 来 发 展 的 关 键 因 素 之 一 是 实 施 西 部 大 开 发 战 略 提 高 其 经 济 竞 争 力 和 综 合 实 力 的 重 要 保 障 本 文 从 西 部 民 族 地 区 教 育 发 展 的 现 状 入 手 指 出 中 华 人 民 共 和 国 成 立 多 年 来 西 部 民 族 地 区