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1 表面电阻测试仪校准规范 1 范围 本规范适用于防静电物体表面电阻测量的表面电阻测试仪 ( 以下简称测试 仪 ) 的校准 本规范不适用于其他用途的表面电阻测试仪和绝缘电阻测试仪 绝 缘电阻表的校准 2 引用文献 JJF 国家计量校准规范编写规则 JJF 通用计量术语及定义 JJF 测量不确定度评定与表示 GB/T /IEC 固体绝缘材料体积电阻率和表面电阻率试验方法 IEC 静电环境下电子原器件的防护 一般要求 IEC 地板覆盖层和已安装地板电阻的标准测试方法 JJG 高绝缘电阻测量仪 ( 高阻计 ) 检定规程 使用本规程时, 应注意使用上述引用文献的现行有效版本 3 名词术语 3.1 表面电极间电阻 surface resistance between electrodes 在试样的表面上两电极间所加电压与在规定的电化时间里流过两电极间的 电流之商, 在两电极上可能形成的极化忽略不计 成份 注 1: 通常电流主要流过试样的一个表面层, 但也包括流过试样体积内的 3.2 电极 electrodes 具有一定形状 尺寸和结构的与被测样相接触的导体 删除的内容 : 在试样的某一表面上两电极间所加电压与经过一定时间后流过两电极间的电流之商 ; 该电流主要为流过试样表层的电流, 也包括一部分流过试样体积的电流成分 在两电极间可能形成的极化忽略不计

2 4 概述 表面电阻测试仪是用于测量防静电物体 ( 地面 工作台面 服装等 ) 表面电极间电阻的专用测试仪器, 其测试电压一般为 100 和 10( 或 9), 有时也被称为 表面电阻 ( 率 ) 测试仪 表面电阻测试仪一般采用两端法测量, 对被测物体表面进行电极间电阻的测量, 确定该物体的表面电阻值 其测量电极分为 : 平行条 ( 平行 ) 电极 重锤形 ( 锤形 ) 电极和环形电极等, 其显示方式有数字显示 模拟指针显示和发光二极管 (LED) 显示 发光二极管显示的测试仪是通过施加于被测物体表面 ( 电阻 ) 上的电压所产生的电流进行内部比较, 驱动反应该电阻阻值数量级所对应的发光二极管工作, 从而确定被测物体表面电极间电阻数量级 其主要由测试电源 比较器 显示器 ( 发光二极管 ) 等部分组成 数字显示 模拟指针显示的测试仪是通过施加于被测物体表面 ( 电阻 ) 的电压所产生的电流进行内部比较放大, 从而确定被测物体表面电极间电阻值 其主要由测试电源 比较放大器 显示器等部分组成 5 计量特性 5.1 电阻测量基本误差, 数字显示 模拟指针显示的测试仪每一测量点的电阻测量基本误差均用 以下公式计算 : 绝对误差公式 : 相对误差公式 : Δ = R Ro (1) δ = R R R o o 100% (2) 式中 : R 被校测试仪示值 ;

3 R o 被校测试仪示值所对应的标准值 发光二极管显示的测试仪由于显示方式的特殊性, 电阻测量的技术指标 由下述方式确定 : 量程 测试仪一般有数个发光二极管显示, 每一个发光二极管显示不同的电阻范 围, 每一个发光二极管显示为一个量程 量程的测量上限值 R M 量程的测量上限值为测试仪的显示由 10 n Ω 量程即将转换到 10 n+1 Ω 量程 时, 在 10 n Ω 量程上测量的最大电阻值 又称量程转换值 注 :1 一般此类测试仪各量程的标称测量上限值为 R M =10 n n Ω n 电阻值数量级指数, 取 3 的自然数 2 标称测量上限值也可由厂商提供 量程的测量下限值 R m 测量下限值为测试仪的显示由 10 n Ω 量程即将转换到 10 n-1 Ω 量程时, 在 10 n Ω 量程上测量的最小电阻值 注 :1 一般此类测试仪各量程的标称测量下限值为 R m =10 n-0.5 Ω n Ω n 电阻数量级指数, 取 3 的自然数 2 标称测量下限值也可由厂商提供 量程的测量中值一般取 1 10 n Ω 删除的内容 : (7) 准确度等级可划分为 2.0,5.0,10,20 级 各等级所对应的基本误差极 限见表 1 表 1 准确度等级 基本误差极限

4 2.0 ±2.0% 5.0 ±5.0% 10 ±10% 20 ±20% 测试仪可能是多量程仪器, 不同量程允许有不同的准确度等级 但相邻量程的准确度等级只能相差一级 注 : 习惯上常将各量程的最高准确度等级称为测试仪的准确度等级 发光二极管显示的测试仪的准确度等级按量程上限值偏差和量程下限值偏差中的较大者来划分 5.2 端钮电压基本误差 5% 测试仪端钮电压误差应小于基本极限值, 但不得超过额定开路电压的 ± 删除的内容 : 的误差应小于 ±5% 5.3 测量电极的基本要求 电极回路电阻两电极短路时, 回路电阻应小于 10 3 Ω 电极的尺寸平行条电极应对电极长度和两电极间距进行测量, 其相对误差不应超过 ± 1%. 重锤形电极应对电极的尺寸 ( 如 : 圆形直径等 ) 进行测量, 其误差不应超过 5mm. 环形电极应对其内圆电极直径和外圆环内外径进行测量, 其误差不应超过 0.5mm 电极的重量重锤形电极和环形电极应对电极重量进行测量, 其误差不应超过 0.25kg, 注 : 电极的尺寸和重量由于测量物体的要求不同, 也可由厂商提供

5 5.4 安全性能要求由市电供电的测试仪, 应做绝缘电阻和绝缘强度试验 绝缘电阻电源端与机壳之间的绝缘电阻不应小于 20MΩ 耐电压试验 电源端与机壳之间施加试验电压 1.5k, 不应出现击穿和飞弧现象 6 校准条件 删除的内容 : 正弦波 删除的内容 : 击穿电流整定为 5mA, 6.1 环境条件 环境温度 :23 ±5 ; 相对湿度 :40%~60%; 由市电供电的测试仪, 电源有如下要求 : a) 电压 : 变化不超过电源额定电压的 ±10%;; b) 频率 :(50±0.5)Hz; c) 波形 : 正弦, 波形失真度不大于 3% 6.2 测量标准器及其他设备校准测试仪所使用的标准器及其他设备主要有 : 直流高阻箱 直流电压表 删除的内容 : 数字 游标卡尺数字天平屏蔽装置绝缘电阻表耐电压测试仪 测量装置 环境条件 辅助设备等应能保证校准时的测量扩展不确定度不超过被校测试仪最大允许误差的 1/ 直流高阻箱应具有三端测量功能, 其准确度等级应不超过被校测试仪最大 允许误差的 1/4, 调节细度应优于准确度等级的 1/10 删除的内容 : 并具有一定的调节细度

6 6.2.3 直流电压表在实际测量范围内的允许误差应不超过被校测试仪最大允许误差的 1/5, 输入阻抗大于等于 10MΩ 卡尺测量范围 150mm, 最小分度值为 0.1mm 电子天平最大称量 5kg 分度值 10g 屏蔽装置应能模拟被校测试仪的使用状态, 不能产生附加误差, 并应可靠接地 删除的内容 : 数字删除的内容 : 并具有足够的删除的内容 : 测量范围 5kg, 分辨力为 100mg 删除的内容 : 绝缘电阻表的准确度等级不低于 10 级, 测试电压 500; 耐电压测试仪的准确度等级不低于 5 级 7 校准项目和校准方法 7.1 校准项目见表 2 表 2 序号 校准项目 1 外观 2 通电检查 1 3 安全性能检测 绝缘电阻 耐电压试验 4 电阻基本误差 5 端钮开路电压 电极回路电阻 6 测试电极 电极尺寸 2 电极重量 注 :1 仅适用于由市电供电的测试仪, 2 仅适用于圆柱形和环形电极 7.2 校准方法 外观

7 测试仪的机壳 铭牌或说明书上应有以下主要信息 : 产品的名称及型号 制造厂名称或商标 制造日期 出厂编号 电阻测量范围 测量电压 电源输入电压 电极尺寸和重量等 所有的标志应清晰明显, 无影响仪器性能的损坏 所有开关及按钮应灵活可靠 通电检查, 电气工作性能正常, 显示笔划应完整无缺 电极无损伤现象 通电检查所有开关及按钮应灵活可靠 通电检查, 电气工作性能正常, 显示笔划应完整无缺 电极无损伤现象 安全性能由市电供电的测试仪, 应做绝缘电阻和耐电压试验 绝缘电阻电源端与机壳之间施加 500 的直流电压, 测得的绝缘电阻应满足 要求 耐电压试验电源端与机壳之间施加 50Hz 有效值为 1.5k 的试验电压, 击穿电流设定为 5mA, 历时 1min, 应满足 要求 电阻基本误差在校准测试仪电阻示值误差时, 为了使校准数据更加接近实际使用状态下的值, 应使用测试仪原配的测试线及电极在屏蔽装置上进行 校准时接线如图 1 图 1 基本误差校准的接线图

8 一般测试仪有不同的测试电压挡, 在不同的测试电压挡下有不同的电阻测 量范围 因此在进行电阻基本误差的测量时, 要在所有测试电压挡下进行 数字显示和模拟指针显示测试仪电阻基本误差的测量 全校量程的选择 : 应在准确度等级最高的电阻量程中选择一个 ( 或用户指 定 ) 为全校量程, 其他量程则称为非全校量程 在全校量程上应选择不少于 3 个测量点进行校准, 在非全校量程中可选择 不少于 2 个测量点进行校准 测量点的选择应包括 0.1 倍的满度值 0.5 倍的满 度值和满度值或满度值的附近值 其他测量点可以均匀选择 1) 数字显示的测试仪在电阻基本误差测量时, 应调节直流高阻箱置电阻 值 R, 读取测试仪上显示值 R 按公式(1) 或 (2) 计算误差 o 2) 模拟指针显示的测试仪在电阻基本误差测量时, 应先增加直流高阻箱的 电阻值使测试仪指针依次停到标尺内所选定的带数字 R 的分度线上, 读取直流高 阻箱对应的电阻值 R, 直到量程最大值 然后使指针偏过量程最大值, 再减小直 o 流高阻箱的电阻值使测试仪指针依次停到标尺内所选定的带数字 R 的分度线上, 再读取直流高阻箱对应的电阻值 R, 取两次中偏差较大者, 按公式 (1) 或 (2) 计算误差 发光二极管 (LED) 显示的测试仪在电阻基本误差测量 量程 o 全校量程为 10 5 Ω 和 10 9 Ω 量程 ( 或用户指定 ), 其他量程则称为非全校 在全校量程上应选择测量下限值 R 测量中值和测量上限值 R 行校准, 非全校量程均仅对测量中值进行校准 1) 实际测量下限值 R m 的测量 m M 三个点进 应先增加直流高阻箱的电阻值使测试仪刚由 10 4 Ω(10 8 Ω) 量程转换到 10 5 Ω(10 9 Ω) 量程时, 在 10 5 Ω(10 9 Ω) 量程完全显示时, 读取直流高阻箱的电 阻值, 用此方法重复做 3 次, 取其平均值为 10 5 Ω(10 9 Ω) 量程实际测量下限值 R m 按公式(3) 计算出测量下限值的偏差 Δ m = Rm - R m (3)

9 2) 实际测量上限值 R M 的测量 应先减小直流高阻箱的电阻值使测试仪刚由 Ω(10 6 Ω) 量程转换到 10 9 Ω(10 5 Ω) 量程时, 在 10 9 Ω(10 5 Ω) 量程完全量程显示时, 读取直流高阻箱 的电阻值, 用此方法重复做 3 次, 取其平均值为 10 9 Ω(10 5 Ω) 量程实际测量上 限值 R M 按公式 (4) 计算出测量上限值的偏差 Δ M = RM - 3) 量程的测量中值的测量 R M (4) 输入 1 10 n Ω 电阻值时, 测试仪应在相应的量程上正确显示 开路电压 用直流电压表, 在测试仪测量状态下, 对其端钮开路电压进行测量, 读取直流 电压表所显示的值 u, 按公式 (5) 计算出端钮开路电压误差 : 式中 : U u δ u = 100% (5) u δ u 测试仪电压的相对误差 ; 删除的内容 : 输入阻抗足够大的 误差小于 ±1% 的 U 测试仪的电压标称值 ; u 测试仪的电压实际值 测试电极 电极回路电阻被校测试仪在图 1 所示状态时, 将直流高阻箱电阻调至零, 测量此时电阻, 看测试仪的示值应小于 Ω 电极的尺寸用游标卡尺对电极长度 两电极间距和直径等进行测量, 读取游标卡尺的示值为实际值 用下式计算出其误差 : Δ l = l - l 0 (6) 或 δ l =(l-l 0 )/ l 0 100% (7) 式中 :Δ l 绝对误差 δ l 相对误差 l 标称值 l 0 实际值

10 1) 平行条电极 用游标卡尺对电极的长度和两电极内侧间距进行测量, 取游标卡尺读数为实 际值, 用 (7) 式计算出长度和两电极间距的相对误差 2) 重锤形电极用游标卡尺对电极圆形接触面的直径进行测量, 取游标卡尺读数为实际值 用 (6) 式计算出电极直径的误差 3) 环形电极用游标卡尺对其内圆形电极直径和外圆环形电极的内外径进行测量 取游标卡尺读数为测量实际值 用 (6) 式计算出其误差 电极的重量用电子天平对电极的重量进行测量, 读取电子天平的示值为实际值 用下式计算出其误差 : Δ g = G - G 0 (8) 式中 :Δ g 绝对误差 G 标称值 G 0 实际值 用电子天平分别对每个重锤形电极和环形电极的每个电极重量进行测量, 读 取电子天平的示值为电极重量的实际值 用 (8) 式计算出其误差 8 校准结果表达 8.1 校准数据应记入校准原始记录 校准原始记录的格式参见附录 A B C 8.2 被校测试仪的误差经数据计算后, 应采用 4 舍 5 入及偶数法则进行修约 该数据末位数修约到被校测试仪基本误差极限的 1/10 位 8.3 判断测试仪的误差是否超过基本误差极限时, 应以修约后的数据为依据 8.4 校准证书 ( 报告 ) 的要求 校准证书 ( 报告 ) 应给出外观 通电检查和安全性能检测的结果和电阻基本误差 端钮电压和测试电极测量结果的数值

11 8.4.2 校准证书 ( 报告 ) 至少应给出电阻基本误差测量结果的扩展不确定度, 包 含因子 k 取 2 9 复校时间间隔 建议复校时间间隔一般为 1 年 附录 A 表面电阻测试仪 ( 数显 ) 校准记录 委托方校准日期唯一性号 器具名称 型号规格 设备编号 制造厂 出厂编号 准确度等级 地点 : 本所实验室它 现场实验室温度 湿度 %RH 其 依据 : 技术说明书 其它 一 外观 : 二 通电检查 : 三 绝缘电阻 : 四 耐电压试验 : 五 电阻基本误差 示值 示值 量程 标准值 量程 标准值 六 端钮开路电压 () 标称值

12 实际值七 测试电极回路电阻 : 小于 10 3 Ω 大于 10 3 Ω 平行条电极 (mm): 长 = 间距 = 重锤形电极 : 直径 (mm): D 1 = D 2 = 重量 (kg): G 1 = G 2 = 园环形电极 : 直径 (mm): 内圆 D 1 =, 环内径 D 2 =, 环外径 D 3 = 主要计量器具 重量 (kg): G 1 = G 2 = 名称型号规格编号有效期至 不确定度评估 标准器具 测量重复性 合成不确定度 u c 扩展不确定度 U (k= ) 备注 : 结论 : 年 建议校准周期 校准人员 核验人员

13 附录 B 删除的内容 : 表面电阻测试仪 ( 模拟 ) 校准记录 委托方校准日期唯一性号 器具名称 型号规格 设备编号 制造厂 出厂编号 准确度等级 地点 : 本所实验室它 现场实验室温度 湿度 %RH 其 依据 : 技术说明书 其它 一 外观 : 二 通电检查 : 三 绝缘电阻 : 四 绝缘强度 : 五 电阻基本误差 标准值 标准值 量程 示值 量程 示值 量程 示值 标

14 准值 标准值 量程 示值 六 端钮开路电压 () 标称值 实际值 七 测试电极 回路电阻 : 小于 10 3 Ω 大于 10 3 Ω 平行条电极 (mm): 长 = 间距 = 重锤形电极 : 直径 (mm): D 1 = D 2 = 重量 (kg): G 1 = G 2 = 园环形电极 : 直径 (mm): 内圆 D 1 =, 环内径 D 2 =, 环外径 D 3 = 主要计量器具 重量 (kg): G 1 = G 2 = 名称型号规格编号有效期至 不确定度评估 标准器具 测量重复性 合成不确定度 u c 扩展不确定度 U (k= ) 备注 : 结论 : 年 建议校准周期 校准人员 核验人员

15 附录 C 表面电阻测试仪 (LED) 校准记录 委托方校准日期唯一性号 器具名称 型号规格 设备编号 制造厂 出厂编号 准确度等级 地点 : 本所实验室它 现场实验室温度 湿度 %RH 其 依据 : 技术说明书 其它 一 外观 : 二 通电检查 : 三 绝缘电阻 : 四 绝缘强度 : 五 电阻基本误差 量程 标称上限值 测量值 实际上限值 量程 标称下限值 测量值 实际下限值 标准值

16 量程显示值 标准值 量程显示值 六 端钮电压 () 七 测试电极 标称值回路电阻 : 小于 10 3 Ω 大于 10 3 Ω 实际值平行条电极 (mm): 长 = 间距 = 主要计量器具 名称型号规格编号有效期至 不确定度评估 标准器具 测量重复性 合成不确定度 u c 扩展不确定度 U (k= ) 备注 : 结论 : 年 建议校准周期 校准人员 核验人员

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